KR20140049078A - 와이어 소 - Google Patents

와이어 소 Download PDF

Info

Publication number
KR20140049078A
KR20140049078A KR1020147007219A KR20147007219A KR20140049078A KR 20140049078 A KR20140049078 A KR 20140049078A KR 1020147007219 A KR1020147007219 A KR 1020147007219A KR 20147007219 A KR20147007219 A KR 20147007219A KR 20140049078 A KR20140049078 A KR 20140049078A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
workpiece
wire
roller
clamping
pressing
Prior art date
Application number
KR1020147007219A
Other languages
English (en)
Inventor
히토시 시마다
토모유키 카와츠
요스케 야부
아키라 타니자키
Original Assignee
코마츠 엔티씨 가부시끼가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 코마츠 엔티씨 가부시끼가이샤 filed Critical 코마츠 엔티씨 가부시끼가이샤
Publication of KR20140049078A publication Critical patent/KR20140049078A/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
    • B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
    • B23D57/0046—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of devices for feeding, conveying or clamping work
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
    • B23D57/0007—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00 using saw wires
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B27/00—Other grinding machines or devices
    • B24B27/06—Grinders for cutting-off
    • B24B27/0633—Grinders for cutting-off using a cutting wire
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B41/00—Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
    • B24B41/005—Feeding or manipulating devices specially adapted to grinding machines
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B41/00—Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
    • B24B41/06—Work supports, e.g. adjustable steadies
    • B24B41/067—Work supports, e.g. adjustable steadies radially supporting workpieces

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
  • Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)

Abstract

와이어(12)는 복수의 가공용 롤러(11)의 주변을 복수 회 주회한다. 와이어(12)의 주회 영역의 상방에는 워크피스(W)를 가로 방향으로부터 탄성적으로 협지하는 협지 기구(13)와 협지 기구(13)에 협지된 워크피스(W)를 와이어(12)를 향해 밀어 내리는 압하 기구(25)가 설치되어 있다.

Description

와이어 소{WIRE SAW}
본 발명은 반도체 재료, 자성 재료, 세라믹스 등의 취성(脆性) 재료로 이루어진 워크피스(workpiece)를 와이어에 의해 절단하는 와이어 소에 관한 것이다.
특허 문헌 1에는 이러한 종류의 와이어 소가 개시된다. 상기 문헌에 개시되어 있는 와이어 소는 복수의 가공용 롤러들과 와이어를 구비하고 있다. 와이어는 복수의 가공용 롤러들의 주변을 복수 회 주회한다. 와이어의 주회 영역의 상방에는 승강 기구가 배치되어 있다. 워크피스는 카본 플레이트 및 설치판을 통하여 승강 기구에 착탈된다. 워크피스는 접착제에 의해 카본 플레이트 및 설치판에 고정되어 있다. 가공용 롤러가 회전하면, 와이어는 복수의 가공용 롤러들의 주변을 주회한다. 이 때, 와이어에는 연마 입자를 포함하는 가공 액이 공급된다. 이 상태로 승강 기구가 하강 동작을 하면, 워크피스가 와이어에 압부되어 절단된다.
그러나, 종래의 와이어 소는 워크피스의 절단 가공에 앞서, 워크피스를 접착제로 카본 플레이트 및 설치판에 접착할 필요가 있다. 또한, 워크피스의 절단 가공 후에는 가공된 워크피스를 카본 플레이트 및 설치판으로부터 박리할 필요가 있다. 이와 같이, 절단 가공의 전후 작업에 손이 많이 가기 때문에, 가공 능률이 저하되고 제조 비용이 상승하는 문제가 있다.
특허 문헌 1: 일본 특허 공개 공보 제2002-120139호
본 발명의 목적은 절단 가공의 전후의 워크피스 접착이나 박리를 위한 작업이 불필요한 와이어 소를 제공하는 것이다.
상술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 제1 양태에 의하면, 복수의 가공용 롤러들과 상기 복수의 가공용 롤러들의 주변을 복수 회 주회시킨 와이어를 포함하는 와이어 소가 제공된다. 상기 와이어 소는 상기 와이어의 주회 영역의 상방에 있어서 워크피스를 가로 방향으로부터 탄성적으로 협지하는 협지(挾持) 수단과 상기 협지 수단에 협지된 워크피스를 상기 와이어를 향해서 밀어 내리는 압하(押下) 수단을 포함한다.
이러한 구성에 의하면, 상기 워크피스가 상기 와이어의 주회 영역의 상방에 있어서 상기 협지 수단에 의해 가로 방향으로부터 탄성적으로 협지된다. 또한, 상기 워크피스는 상기 협지 수단에 의해 협지되면서, 상기 압하 수단에 의해 와이어를 향해 밀어 내려질 수 있다. 이와 같이 하면, 종래 구성과는 달리 워크피스의 절단 가공 전에 워크피스를 접착제에 의해 카본 플레이트 및 설치판에 접착하거나, 워크피스의 절단 가공 후에 워크피스를 카본 플레이트 및 설치판으로부터 박리하거나 하는 작업이 불필요하게 된다. 또한, 워크피스를 와이어 상에 연속적으로 보내줄 수 있다. 따라서, 워크피스의 가공 능률이 향상되고 제조 비용이 저감된다.
상기 와이어 소의 협지 수단은 상기 워크피스의 측면을 받는 평판 부재와 스프링력을 이용하여 상기 워크피스를 상기 평판 부재를 향해 가압하는 가압 부재를 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 워크피스의 측면은 상기 워크피스의 길이 방향을 따라 연장되는 측면뿐만 아니라 길이 방향의 단부에 위치하는 단면도 포함한다.
상기 와이어 소는 상기 와이어의 주회 영역의 하방에서 상기 워크피스를 가로 방향으로부터 탄성적으로 협지하는 보조　협지 수단을 구비하는 것이 바람직하다.
상기 와이어 소의 보조　협지 수단은 워크의 측면을 수용하는 평판 부재와 스프링력을 이용하여 상기 워크피스를 상기 평판 부재를 향해 가압하기 위한 가압 부재를 구비하는 것이 바람직하다.
상기 와이어 소의 가공용 롤러들 사이에서 상기 와이어의 주회 영역의 하방으로 롤러가 구비되고, 상기 롤러는 가공용 롤러의 축선과 평행한 축선을 중심으로 회전하며, 상기 회전하는 롤러의 외주면과 상기 와이어 사이의 최단 거리는 상기 워크피스의 반경보다 길고, 상기 워크피스의 직경보다 짧게 설정되어, 상기 와이어에 의해 절단된 워크피스가 상기 롤러의 외주면에 압접(壓接)되는 것이 바람직하다.
상기 와이어 소는 상기 롤러를 회전시키기 위한 구동 수단을 구비하는 것이 바람직하다.
도 1은 본 발명의 제1 실시 형태에 관련되는 와이어 소를 나타내는 단면도이다.
도 2는 도 1의 2-2선을 따라 절단한 단면도이다.
도 3은 본 발명의 제2 실시 형태에 관련되는 와이어 소를 나타내는 단면도이다.
도 4는 본 발명의 제3 실시 형태에 관련되는 와이어 소를 나타내는 단면도이다.
도 5는 본 발명의 제4 실시 형태에 관련되는 와이어 소를 나타내는 단면도이다.
도 6은 변경예의 와이어 소를 나타내는 단면도이다.
제1 실시 형태
이하, 본 발명의 와이어 소를 구체화한 제1 실시 형태에 대해서 도 1 및 도 2를 참조하여 설명한다.
도 1 및 도 2에서 나타내는 바와 같이, 와이어 소는 도시하지 않은 프레임과 한 쌍의 가공용 롤러들(11)을 구비한다. 각 가공용 롤러(11)는 프레임 상에서 회전 가능하도록 지지되어 있다. 각 가공용 롤러(11)의 외주면에는 복수의 환상구(環狀溝)들(11a)이 소정의 피치로 형성되어 있다. 와이어(12)는 환상구들(11a)을 따라 구비되어 있다. 와이어(12)는 양 가공용 롤러들(11)의 주변을 복수 회 주회한다.
가공용 롤러들(11) 사이에서 와이어(12)의 주회 영역의 상방에는 협지(挾持) 수단으로 한 쌍의 협지 기구들(13)들이 배치되어 있다. 협지 기구들(13)은 워크피스(workpiece)(W)를 가로 방향으로부터 탄성적으로 협지한다. 워크피스(W)는 단면이 사각 형상을 가지는 각주 형상이지만, 원주 형상 등의 형상이어도 좋다. 각 협지 기구(13)는 가공용 롤러(11)의 축선을 따라 연장되는 한 쌍의 가이드판들(14, 15)을 구비하고 있다. 가이드판들(14, 15)은 가로 방향으로 간격을 두어 배치되어 있다. 가이드판(14)에는 지지공(14a)이 형성되어 있다. 지지공(14a)에는 가압 부재로서 협지 부재(16)가 삽입되어 있다. 협지 부재(16)는 평판 부재로서 가이드판(15)에 대하여 접리(接離) 가능하도록 지지되어 있다. 가이드판(14)의 측면에는 보유판(17)이 복수의 나사들(18)에 의해 부착되어 있다. 보유판(17)은 협지 부재(16)를 지지공(14a)으로부터 탈락하지 않도록 유지한다. 협지 부재(16)와 보유판(17) 사이에는 복수의 스프링(19)들이 개장(介裝)되어 있다. 스프링(19)은 협지 부재(16)를 가이드판(15)을 향해 가세(付勢)한다.
도 2에 나타내는 바와 같이, 양　가이드판들(14, 15)의 제1 단부 사이에는 평판 부재로서 규제판(規制板)(20)이 배치되어 있다. 양　가이드판들(14, 15)의 제2 단부 사이에는 지지판(21)이 배치되어 있다. 지지판(21)의 내측에는 가압 부재로서 위치 결정 부재(22)가 배치되어 있다. 위치 결정 부재(22)는 규제판(20)에 대하여 접리 가능하다. 위치 결정 부재(22)와 지지판(21) 사이에는 스프링(23)이 개장되어 있다. 스프링(23)은 위치 결정 부재(22)를 규제판(20)을 향해 가세한다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 각 협지 기구(13)의 상방에는 한 쌍의 송출 기구(24)들이 배치되어 있다. 각 송출 기구(24)는 대응하는 협지 기구(13)의 외측에 각각 배치되어 있다. 송출 기구(24)는 가이드판들(14, 15) 사이의 상방에서 복수의 워크피스(W)들을 하나씩 차례로 송출한다. 가이드판들(14, 15) 사이에 송출된 워크피스(W)는 협지 부재(16)와 가이드판(15)에 의해 가로 방향으로부터 탄성적으로 협지된다. 이때, 도 2에 나타내는 바와 같이, 워크피스(W)의 길이 방향의 양 단부가 위치 결정 부재(22)와 규제판(20)에 의해 협지된다. 이에 의해, 가공용 롤러(11)의 축선 방향에 있어서의 워크피스(W)의 위치가 결정된다.
협지 기구(13)의 상방에는 압하(押下) 수단으로서 압하 기구(25)가 배치되어 있다. 압하 기구(25)는 각 협지 기구(13)에 의해 협지된 워크피스(W)를 와이어(12)를 향해서 밀어 내린다. 압하 기구(25)는 승강체(26)와 승강체(26)의 하면에 설치된 한 쌍의 압하 부재들(27)을 구비한다. 승강체(26)는 프레임 상에 승강 가능하도록 지지되어 있다. 압하 부재(27)의 하단에는 합성수지로 이루어진 압하 밸브(27a)가 설치되어 있다. 압하 밸브(27a)는 압하 부재(27)의 하단에 대하여 탈착된다. 가공용 롤러들(11) 사이를 와이어(12)가 주행하고 있을 때에, 승강체(26)와 함께 압하 부재(27)가 하강하는 것으로써, 워크피스(W)가 와이어(12)를 향해 밀어 내려져 절단된다.
가공용 롤러들(11) 사이에서 와이어(12)의 주회(周回) 영역의 하방에는 보조 협지 수단으로서 한 쌍의 보조 협지 기구들(28)이 배치되어 있다. 한 쌍의 보조　협지 기구들(28)은 각 협지 기구(13)와 대응하도록 각기 배치되어 있다. 보조 협지 기구(28)는 협지 기구(13)와 동일하게 가이드판들(14, 15), 협지 부재(16), 보유판(17), 스프링(19) 등을 구비한다. 와이어(12)에 의해 얇게 절단된 워크피스(W)는 가이드판(15) 및 협지 부재(16)에 의해 협지된 후, 가이드판(15) 및 협지 부재(16)에 의한 협지로부터 개방된다. 이러한 보조 협지 기구(28)에 있어서, 협지 부재(16)는 가압 부재로 기능하고 가이드판(15)은 평판 부재로 기능한다.
보조 협지 기구(28)의 하방에는 제품 배출용의 슈터(29)가 배치되어 있다. 절단된 워크피스(W)는 가이드판(15) 및 협지 부재(16)에 의한 협지로부터 개방된 후, 양 협지 부재(16)들 및 가이드판(15) 사이로부터 낙하하고 슈터(29)를 통해서 외부에 배출된다.
이하, 상술한 와이어 소의 작용을 설명한다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 상기 와이어 소가 운전될 때에 복수의 워크피스들(W)이 송출 기구(24)에 의해 가이드판들(14, 15) 사이에 송출된다. 이어서, 복수의 워크피스들(W)이 압하 부재(27)에 의해 밀어 내려져 협지 부재(16)와 가이드판(15) 사이에 배치된다. 또한, 복수의 워크피스들(W)은 협지 부재(16)와 가이드판(15)에 의해 가로 방향으로부터 탄성적으로 협지된다. 이 경우, 도 2에 나타내는 바와 같이, 워크피스(W)의 길이 방향의 양 단부가 위치 결정 부재(22)와 규제판(20)에 의해 탄성적으로 협지된다. 이에 의해, 가공용 롤러(11)의 축선 방향에 있어서의 워크피스(W)의 위치가 결정된다.
이와 같은 상태로 가공용 롤러들(11)이 회전하고, 가공용 롤러들(11) 사이에서 와이어(12)의 주행이 개시되면, 도시되지 않은 노즐로부터 와이어(12) 상으로 가공 액이 공급된다. 또한, 승강체(26)에 의해 압하 부재(27)가 하강함으로써, 워크피스(W)가 협지 부재(16) 및 가이드판(15)에 의해 협지된 채 와이어(12)를 향해 밀어 내려져 절단된다. 절단된 워크피스(W)는 협지 기구(13)의 협지 부재(16) 및 가이드판(15)에 의한 협지로부터 개방된 후, 보조 협지 기구(28)의 협지 부재(16) 및 가이드판(15)에 의해 협지되면서 슈터(29) 상으로 낙하한다. 이어서, 워크피스(W)는 슈터(29)를 통해서 외부로 배출된다.
따라서, 상술한 제1 실시 형태에 의하면 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.
(1) 워크피스(W)는 와이어(12)의 주회 영역의 상방에서 협지 기구(13)에 의해 가로 방향으로부터 탄성적으로 협지된다. 또한, 워크피스(W)는 협지 기구(13)에 의해 보유되면서 압하 기구(25)에 의해 와이어(12)를 향해서 밀어 내려질 수 있다. 이와 같은 구성에 의하면, 종래 구성과는 다르게 워크피스(W)의 절단 가공 전에 워크피스(W)를 접착제에 의해 카본 플레이트 및 설치판에 접착하거나, 워크피스(W)의 절단 가공 후에 워크피스(W)를 카본 플레이트 및 설치판으로부터 박리하는 작업이 불필요하게 된다. 또한, 복수의 워크피스들(W)을 와이어(12) 상에 순서대로 송출하는 것으로써, 워크피스(W)의 절단 가공을 연속적으로 수행할 수 있다. 따라서, 워크피스(W)의 가공 능률이 향상되며 제조 비용이 저감된다.
(2) 얇게 절단된 워크피스(W)는 와이어(12)의 주회 영역의 하방에서 보조　협지 기구(28)에 의해 탄성적으로 협지된다. 이에 의해, 얇게 절단된 워크피스(W)의 불안정한 거동을 방지할 수 있고, 워크피스(W)의 파손을 미연에 방지할 수 있다.
제2 실시 형태
이하, 본 발명의 와이어 소를 구체화한 제2 실시 형태에 대해서 제1 실시 형태와 다른 부분을 중심으로 설명한다.
도 3에 나타내는 바와 같이, 가공용 롤러들(11) 사이에서 와이어(12)의 주회 영역의 상방에는 제1 실시 형태와 동일한 구조의 1기의 협지 기구(13)가 배치되어 있다. 또한, 가공용 롤러들(11) 사이에서 와이어(12)의 주회 영역의 하방에는 제1 실시 형태와 동일한 구조의 1기의 보조　협지 기구(28)가 배치되어 있다. 더욱이, 압하 기구(25)에는 협지 기구(13)에 대응되게 하나의 압하 부재(27)가 구비되어 있다. 제2 실시 형태에 의하면, 먼저 단면 원형 형상의 워크피스(W)가 송출 기구(24)에 의해 협지 기구(13)내로 송출된다. 이어서, 워크피스(W)가 협지 기구(13)에 의해 협지된 상태로 압하 기구(25)의 압하 부재(27)에 의해 와이어(12)를 향해 밀어 내려져 절단된다.
따라서, 제2 실시 형태에 의하면 제1 실시 형태에 따른 (1) 및 (2)에 기재한 효과들과 거의 동일한 효과를 얻을 수 있다.
제3 실시 형태
다음으로, 본 발명의 와이어 소를 구체화한 제3 실시 형태에 대해서 제1 실시 형태와 다른 부분을 중심으로 설명한다.
도 4에 나타내는 바와 같이, 가공용 롤러들(11) 사이에서 와이어(12)의 주회 영역의 상방에 제1 실시 형태와 동일한 구조의 1기의 협지 기구(13)가 배치되어 있다. 제3 실시 형태에서는 제1 실시 형태에 있어서의 압하 기구(25)의 압하 부재(27)에 대신하여, 승강체(26)의 하부에 한 쌍의 압하 롤러들(31)이 배치되어 있다. 양 압하 롤러들(31)은 가공용 롤러(11)의 축선과 평행한 축선을 중심으로 회전한다. 제3 실시 형태에 의하면, 단면이 원형 형상을 갖는 워크피스(W)가 압하 롤러(31)에 의해 상방에서 압접되어 와이어(12)를 향해 밀어 내려질 수 있다.
또한, 와이어(12)의 주회 영역의 하방에는 제1 실시 형태의 보조 협지 기구(28)에 대신하여 회전 롤러(32)가 협지 기구(13)와 대응되게 배치되어 있다. 회전 롤러(32)는 가공용 롤러(11)의 축선과 평행한 축선을 중심으로 회전한다. 회전 롤러(32)에는 구동 수단으로서 모터(33)가 연결되어 있다. 회전 롤러(32)는 모터(33)에 의해 회전한다. 와이어(12)에 의해 절단된 워크피스(W)가 회전 롤러(32)의 외주면에 압접되면, 회전 롤러(32)의 회전에 추종하여 회전한다. 회전 롤러(32)의 외주면과 와이어(12) 사이의 최단 거리는 워크피스(W)의 반경보다 길며, 워크피스(W)의 직경보다 짧게 설정되어 있다.
제3 실시 형태에 의하면, 단면이 원형 형상의 워크피스(W)가 협지 기구(13)에 의해 협지된 상태로 압하 롤러(31)에 의해 밀어 내려질 수 있으며 와이어(12)에 의해 절단된다. 이 때, 워크피스(W)가 협지 기구(13)의 협지 영역을 넘으면, 협지 기구(13)에 의한 협지 상태로부터 개방된다. 이에 따라, 워크피스(W)가 와이어(12)의 주행에 추종하여 회전된다. 이 후, 워크피스(W)가 회전 롤러(32)의 외주면에 압접되면, 워크피스(W)는 회전 롤러(32)의 회전에 의한 회전력을 받는다. 이 때, 와이어(12)의 주행에 추종하여 회전하는 워크피스(W)와 같은 방향(도 4의 시계 방향)으로 롤러(32)가 회전할 경우, 워크피스(W)의 회전은 롤러(32)에 의해 감속된다. 이 때문에, 단위 시간당 워크피스(W)에 대한 칼집량이 적어지고, 절단 정밀도가 향상한다. 이에 비하여, 와이어(12)의 주행 방향으로 추종하여 회전하는 워크피스(W)와는 역방향(도 4의 반시계 방향)으로 롤러(32)가 회전할 경우, 워크피스(W)의 회전은 롤러(32)에 의해 증속된다. 이 때문에, 단위 시간당 워크피스(W)에 대한 칼집량이 많아지고, 절단 효율이 높아진다.
따라서, 제3 실시 형태에 의하면, 제1 실시 형태에 따른 (1)에 기재한 효과에 더하여 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.
(3) 가공용 롤러들(11) 사이에서 와이어(12)의 주회 영역의 하방에는 모터(33)에 의해 회전하는 롤러(32)가 설치되어 있다. 롤러(32)는 가공용 롤러(11)의 축선과 평행한 축선을 중심으로 회전한다. 원주 형상의 워크피스(W)는 와이어(12)에 의해 절단된 후, 롤러(32)의 외주면에 압접된다. 또한, 회전 롤러(32)의 외주면과 와이어(12) 사이의 최단 거리는 워크피스(W)의 반경보다 길고, 워크피스(W)의 직경보다 짧게 설정되어 있다. 이 때문에, 워크피스(W)가 와이어(12)에 의해 절단되면서 롤러(32)에 압접되었을 때, 워크피스(W)에는 회전 롤러(32)의 회전에 의한 회전력이 부여된다. 이에 따라, 워크피스(W) 전체를 절단 가공하는데 와이어(12)의 주회 영역을 넘는 위치까지 워크피스(W)를 밀어 내릴 필요가 없다. 따라서, 워크피스(W)의 가공 능률이 향상된다.
(4) 모터(33)의 회전 방향을 선택하는 것에 의하여 절단 효율 또는 절단 정밀도 중에서 어느 쪽을 우선할지를 설정할 수 있다.
제4 실시 형태
이하, 본 발명의 와이어 소를 구체화한 제4 실시 형태에 대해서 제1 실시 형태와 다른 부분을 중심으로 설명한다.
도 5에 나타내는 바와 같이, 협지 기구(13)는 복수 조의 제1 협지 롤러들(34), 제2 협지 롤러들(35) 및 스프링들(36)을 구비한다. 복수 조의 제1 협지 롤러들(34), 제2 협지 롤러들(35) 및 스프링들(36)은 와이어(12)의 주회 영역의 상방에서 상하 방향으로 간격을 두어 각각 배치되어 있다. 각 제1 협지 롤러(34)는 와이어(12)의 주행 방향에 있어서의 제1 위치에서 회전 가능하게 배치되어 있다. 각 제2 협지 롤러(35)는 와이어(12)의 주행 방향에 있어서의 상기 제1 위치보다도 상류측에 배치되어 있다. 제1 및 제2 협지 롤러들(34, 35)은 모두 회전 가능하다. 제2 협지 롤러(35)는 제1 협지 롤러(34)에 대하여 접리 가능하도록 배치되어 있다. 각 스프링(36)은 제2 협지 롤러(35)를 제1 협지 롤러(34)를 향해서 가세한다.
또한, 각 제1 협지 롤러(34)는 도시되지 않은 모터에 의해 도 5의 반시계 방향으로 동기 회전한다. 상기 모터 및 각 제1 협지 롤러(34)에 의해 워크피스(W)를 와이어(12)를 향해 밀어 내리기 위한 압하 기구(25)가 구성되어 있다. 와이어(12)의 주회 영역의 하방에는 보조 협지 기구(28)가 배치되어 있다. 보조 협지 기구(28)는 협지 기구(13)와 동일한 구성으로 1조의 제1 협지 롤러(34), 제2 협지 롤러(35) 및 스프링(36)으로 이루어진다.
제4 실시 형태에 의하면, 단면이 사각 형상의 워크피스(W)가 협지 기구(13)의 제1 협지 롤러(34)와 제2 협지 롤러(35) 사이에 협지된다. 이러한 상태로 워크피스(W)는 제1 협지 롤러(34)의 회전에 의해 와이어(12)를 향해 밀어 내려져 절단된다.
따라서, 제4 실시 형태에 의하면, 제1 실시 형태에 따른 (1)에 기재된 효과 및 제3 실시 형태에 따른 (3)에 기재된 효과와 거의 같은 효과를 얻을 수 있다.
또한, 상술한 각　실시 형태는 다음과 같이 변경될 수 있다.
각 실시 형태는 협지 기구(13)의 구성 및 압하 기구(25)의 구성을 변경할 수 있다. 예를 들면, 보조　협지 기구(28)를 생략해도 좋다.
제3 실시 형태에서 모터(33)의 회전 속도를 변경할 수 있다.
제3 실시 형태에서 회전 롤러(32)를 자유롭게 회전시켜도 좋다. 이 경우, 워크피스(W)는 와이어(12)의 주행에 추종하여 회전한다.
도 6에 나타내는 바와 같이, 워크피스(W)가 통 형상을 가질 경우, 와이어(12)의 하방에 워크피스(W)의 내측에 삽입되는 하부 압하 부재(51)를 설치해도 좋다. 즉, 워크피스(W)가 와이어(12)보다도 하방으로 이동했을 때, 하부 압하 부재(51)가 워크피스(W)의 측방에 있는 퇴피 위치로부터 워크피스(W)의 내측에 삽입된다. 또한, 워크피스(W)의 절단이 완료될 때까지, 하부 압하 부재(51)가 하강하고, 워크피스(W)를 밀어 내릴 수 있다. 이러한 구성에 의하면, 상부측의 압하 부재(27)는 와이어(12)에 접하기 직전까지 하강하는 것이 좋다. 이 경우, 하부 압하 부재(51)는 압하 기구(25)를 구성한다.
제1 실시 형태에 있어서 보조　협지 기구(28)의 가이드판(15)을 도 1의 가이드 위치로부터 가이드판(14)과는 반대 방향으로 이동시켜도 좋다. 즉, 모든 워크피스(W)의 절단이 종료된 시점으로 가이드판(15)을 가이드판(14)으로부터 이간시켜, 최종적으로는 얇게 절단된 워크피스(W)를 보조 협지 기구(28)로부터 개방하여 슈터(29)에 낙하시켜도 좋다.

Claims (6)

  1. 복수의 가공용 롤러들과 상기 복수의 가공용 롤러들의 주변을 복수 회 주회시킨 와이어를 구비하는 와이어 소에 있어서,
    상기 와이어의 주회 영역의 상방에서 상기 워크피스를 가로 방향으로부터 탄성적으로 협지하는 협지 수단과,
    상기 협지 수단에 협지된 상기 워크피스를 상기 와이어를 향해 밀어 내리는 압하 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 와이어 소.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 협지 수단은 상기 워크피스의 측면을 받는 평판 부재와 스프링력을 이용하여 상기 워크피스를 상기 평판 부재를 향해 가압하는 가압 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 와이어 소.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 와이어의 주회 영역의 하방에서 상기 워크피스를 가로 방향으로부터 탄성적으로 협지하는 보조 협지 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 와이어 소.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 보조 협지 수단은 상기 워크피스의 측면을 받는 평판 부재와 스프링력을 이용하여 상기 워크피스를 평판 부재를 향해 가압하기 위한 가압 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 와이어 소.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 가공용 롤러들 사이에서 상기 와이어의 주회 영역의 하방으로 롤러가 설치되고,
    상기 롤러는 상기 가공용 롤러들의 축선과 평행한 축선을 중심으로 회전하며,
    상기 회전하는 롤러의 외주면과 상기 와이어 사이의 최단 거리는 상기 워크피스의 반경보다 길고, 상기 워크의 직경보다 짧게 설정되어,
    상기 와이어에 의해 절단된 상기 워크피스가 상기 롤러의 외주면에 압접되는 것을 특징으로 하는 와이어 소.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 롤러를 회전시키기 위한 구동 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 와이어 소.
KR1020147007219A 2011-08-22 2012-08-20 와이어 소 KR20140049078A (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2011-180677 2011-08-22
JP2011180677A JP5185419B2 (ja) 2011-08-22 2011-08-22 ワイヤソー
PCT/JP2012/071004 WO2013027702A1 (ja) 2011-08-22 2012-08-20 ワイヤソー

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20140049078A true KR20140049078A (ko) 2014-04-24

Family

ID=47746442

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020147007219A KR20140049078A (ko) 2011-08-22 2012-08-20 와이어 소

Country Status (7)

Country Link
US (1) US10124431B2 (ko)
JP (1) JP5185419B2 (ko)
KR (1) KR20140049078A (ko)
CN (1) CN103429387B (ko)
CH (1) CH707317B1 (ko)
TW (1) TWI441702B (ko)
WO (1) WO2013027702A1 (ko)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5056859B2 (ja) 2007-12-19 2012-10-24 信越半導体株式会社 ワイヤソーによるワークの切断方法およびワイヤソー

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
IT1129399B (it) * 1980-12-15 1986-06-04 Ferrero & C Spa P Procedimento per ritagliare valve di gusci formate in una cialda di wafer
JPH07304030A (ja) * 1994-05-13 1995-11-21 M Setetsuku Kk インゴット切断装置
JP2870452B2 (ja) * 1995-05-31 1999-03-17 信越半導体株式会社 ワイヤソー
US6279564B1 (en) 1997-07-07 2001-08-28 John B. Hodsden Rocking apparatus and method for slicing a workpiece utilizing a diamond impregnated wire
US5878737A (en) 1997-07-07 1999-03-09 Laser Technology West Limited Apparatus and method for slicing a workpiece utilizing a diamond impregnated wire
KR20010021539A (ko) * 1997-07-07 2001-03-15 존 비. 호드스덴 다이아몬드 함유 와이어를 이용하여 작업물을 얇게절단하기 위한 장치 및 방법
US6024080A (en) 1997-07-07 2000-02-15 Laser Technology West Limited Apparatus and method for slicing a workpiece utilizing a diamond impregnated wire
JPH11165250A (ja) * 1997-12-08 1999-06-22 Tokyo Seimitsu Co Ltd ワイヤソー
JP2000271848A (ja) * 1999-03-25 2000-10-03 Nippei Toyama Corp ワイヤソーにおけるワークの加工方法
MY126994A (en) * 1999-12-14 2006-11-30 Hitachi Metals Ltd Method and apparatus for cutting a rare earth alloy
JP2002120139A (ja) 2000-10-13 2002-04-23 Nippei Toyama Corp ワーク支持装置及びそれを用いたワイヤソー
CH696807A5 (fr) * 2003-01-13 2007-12-14 Hct Shaping Systems S A Dispositif de sciage par fil.
JP4314582B2 (ja) 2004-11-29 2009-08-19 株式会社Ｓｕｍｃｏ ワイヤソーを用いたワーク切断方法
JP2007160431A (ja) * 2005-12-12 2007-06-28 Takatori Corp ワイヤソーによる切断方法とワイヤソーの切断ワーク受け部材
JP5003294B2 (ja) 2007-06-08 2012-08-15 信越半導体株式会社 切断方法
US20100126488A1 (en) * 2008-11-25 2010-05-27 Abhaya Kumar Bakshi Method and apparatus for cutting wafers by wire sawing
JP4355029B1 (ja) 2009-04-24 2009-10-28 Ｔｄｋ株式会社 ワーク切断装置およびワーク切断方法
CN201552489U (zh) * 2009-11-26 2010-08-18 上海日进机床有限公司 金刚线切片机的切割机构
JP5365621B2 (ja) 2010-12-28 2013-12-11 Ｔｄｋ株式会社 ワーク切断装置及びワーク切断方法
DE102011008400B4 (de) 2011-01-12 2014-07-10 Siltronic Ag Verfahren zur Kühlung eines Werkstückes aus Halbleitermaterial beim Drahtsägen

Also Published As

Publication number Publication date
US10124431B2 (en) 2018-11-13
JP5185419B2 (ja) 2013-04-17
JP2013043225A (ja) 2013-03-04
WO2013027702A1 (ja) 2013-02-28
CN103429387B (zh) 2015-05-06
US20160175953A1 (en) 2016-06-23
CN103429387A (zh) 2013-12-04
TW201309406A (zh) 2013-03-01
TWI441702B (zh) 2014-06-21
CH707317B1 (en) 2017-04-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2036698B1 (en) Filament winding apparatus
JP6421658B2 (ja) ブレード自動交換装置及びブレード自動交換方法
US20220063049A1 (en) Apparatus and method for cutoff machining sintered magnet
CN105417238A (zh) 一种分切复卷机
CN107464958B (zh) 自动套管机及其加工方法
CN103950120A (zh) 一种六导轮多线切割机
CN1384780A (zh) 制造轮胎带材的方法和设备
CN101572222A (zh) 保护带粘贴装置
CN106006079A (zh) 一种玻纤纱管运输装置及其控制方法
CN103495678A (zh) 一种绕线机
KR20140049078A (ko) 와이어 소
CN102951440A (zh) 一种自动上下料装置
CN106077173A (zh) 钢板折弯装置
CN216001001U (zh) 一种硅棒加工设备
CN113681737A (zh) 一种硅棒加工设备
CN202240850U (zh) 全自动抛光机
CN110626787B (zh) 物料检测系统及物料检测方法
CN107706459B (zh) 自动套管机及其垫片冲压安装装置
JP7052467B2 (ja) エスカレータの手摺の製造装置、製造方法及び梱包方法
CN113319725A (zh) 细长轴抛光装置及自动抛光方法
CN112499382A (zh) 锡丝卷绕机及其卷绕下料机构
US20120152074A1 (en) Device for separating band strips of a longitudinally divided band, particularly a metal band
CN210489429U (zh) 一种电感线圈生产用电子加工设备
CN216465478U (zh) 一种硅棒加工设备
CN107611484B (zh) 自动套管机及其出料装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
A302 Request for accelerated examination
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application