KR20140047619A - 박리 용이성 점착 필름 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 가공 종료 후의 피착체로부터의 박리를 용이하게 하고 박리시에 피착체를 변형·파손시키는 경우도 없는 박리 용이성 점착 필름을 제공하는 것을 과제로 한다.
상기 과제를 해결하기 위해 본 발명의 박리 용이성 점착 필름은 열수축하는 제1 필름(수축성 필름), 접착제와 함께 반응성 올리고머를 포함하는 접착층, 열수축하지 않는 제2 필름(비수축성 필름) 및 박리 용이성 점착층을 이 순서대로 적층해서 구성하고, 반응성 올리고머는 접착층 중에 접착제 100 중량부에 대해서 12 중량부 이상 130 중량부 이하의 양으로 포함되어 있으며, 박리 용이성 점착층은 점착제와 함께 반응성 올리고머를 포함하는 열경화 박리 타입의 박리 용이성 점착층으로 구성되어 있는 것이 바람직하고, 제1 필름은 120℃에서의 주수축방향에 있어서의 수축률이 50% 이상 90% 이하가 바람직하다.

Description

박리 용이성 점착 필름{Easily releasable adhesive film}
본 발명은 박리 용이성 점착 필름에 관한 것이다. 특히 반도체용 재료 등의 피착체에 대한 가공시의 가고정용 시트 용도로 바람직하게 사용되는 박리 용이성 점착 필름에 관한 것이다.
최근 들어 세라믹 콘덴서나 실리콘 웨이퍼, 유리 웨이퍼 등의 반도체용 재료 등에 대해서 박형화 또는 경량화의 요망이 높아지고 있다. 예를 들면 반도체용 재료인 실리콘 웨이퍼에 관해서는 두께를 100 ㎛ 이하로 설계하는 것이 증가하고 있다. 이러한 박막 웨이퍼는 매우 물러 깨지기 쉽다. 이에 이러한 박막 웨이퍼의 가공시에 있어서의 깨짐을 방지하기 위해서, 가고정용으로서 박리 용이성을 갖는 점착 필름을 당해 웨이퍼에 첩착(貼着)하여 당해 가고정한 웨이퍼에 연마나 다이싱 등의 가공을 실시한 후, 빛이나 열 등의 외부 에너지의 부가에 의해 점착 필름의 점착력을 저하시켜 당해 웨이퍼로부터 박리한다고 하는 방법이 채용되고 있다.
이러한 점착 필름으로서 예를 들면 수축성 필름, 범용 접착제로 구성되는 접착층, 비수축성 필름, 점착층이 순서대로 적층되어 이루어지는 박리 용이성 점착 필름이 제안되어 있다(특허문헌 1). 이러한 박리 용이성 점착 필름은 피착체로부터의 박리시에 가열함으로써 수축성 필름을 수축시키고, 이것에 의해 당해 점착 필름의 피착체가 존재하는 쪽과는 반대쪽을 오목 컬링시킨다. 그 결과 피착체와의 접지 면적이 저하되어 당해 점착 필름의 박리를 용이하게 하고 있다.
일본국 특허공개 제2000-129227호 공보
특허문헌 1의 기술의 박리 용이성 점착 필름은 확실하게 수축성 필름을 가열함으로써 수축 변형시켜 피착체로부터의 박리를 용이하게 하고 있는 것으로 생각된다. 그러나 특허문헌 1에는 수축성 필름과 비수축성 필름을 접착하는 접착층에 관한 구체적 기재가 부족하고 접착층에 관한 설계 사상은 존재하지 않는다. 범용 접착제를 사용하는 것 이외에 언급되어 있지 않기 때문이다.
따라서 특허문헌 1의 기술에 있어서 당해 점착 필름의 사용 조건에 따라서는 하기와 같은 문제가 발생하는 경우가 있다. 예를 들면 당해 점착 필름을 가열했을 때에 수축성 필름의 수축 작용을 접착층이 저해해 버려 피착체로부터의 용이한 박리가 저해되는 경우가 있다. 이러한 점착 필름을 피착체로부터 무리하게 박리하려고 하면 당해 피착체를 변형·파손시켜 버린다. 또는 당해 점착 필름의 가열 과정에서 접착층과 비수축성 필름의 계면에서 박리되어 버려 당해 점착 필름으로서의 몸을 이루지 않게 되는 경우도 있다.
본 발명의 일측면에서는 가공 종료 후의 피착체로부터 용이하게 박리할 수 있고, 박리시에 피착체를 변형·파손시키는 경우도 없는 박리 용이성 점착 필름을 제공한다.
본 발명자들은 열수축하는 제1 필름에 특정 재료로 이루어지는 접착층을 조합시킴으로써 가공 종료 후의 피착체로부터의 박리를 용이하게 하고, 박리시에 피착체를 변형·파손시키는 경우도 없는 박리 용이성 점착 필름을 얻을 수 있는 것을 발견하고 본 발명에 이르렀다.
본 발명의 박리 용이성 점착 필름은 열수축하는 제1 필름(수축성 필름), 접착제와 함께 반응성 올리고머를 포함하는 접착층, 열수축하지 않는 제2 필름(비수축성 필름) 및 박리 용이성 점착층을 이 순서대로 적층해서 구성하였다. 특히 반응성 올리고머를 접착층 중에 접착제 100 중량부에 대해서 12 중량부 이상 130 중량부 이하의 양으로 포함시킨 것을 특징으로 한다.
본 발명의 가(假)고정용 시트는 피착체를 가공할 때에 그 피착체에 첩합(貼合)하여 사용되는 것으로, 본 발명의 박리 용이성 점착 필름으로 구성한 것을 특징으로 한다.
본 발명은 아래의 태양을 포함한다.
(1) 접착층을 0.5 ㎛ 이상 10 ㎛ 이하의 두께로 형성할 수 있다.
(2) 박리 용이성 점착층을 점착제와 함께 반응성 올리고머를 포함하는 열경화 박리 타입의 박리 용이성 점착층으로 구성할 수 있다.
(3) 반응성 올리고머는 적어도 우레탄아크릴레이트계 올리고머를 포함할 수 있다. 우레탄아크릴레이트계 올리고머로서 중량 평균 분자량이 300 이상 30,000 이하인 것을 사용할 수 있다.
(4) 제1 필름으로서 120℃에서의 주수축방향에 있어서의 수축률이 50% 이상 90% 이하인 것을 사용할 수 있다. 제1 필름으로서 120℃에서의 주수축방향 이외의 방향에 있어서의 수축률이 10% 이하인 것을 사용할 수 있다.
(5) 제2 필름으로서 120℃에서의 수축률이 10% 미만인 것을 사용할 수 있다.
본 발명의 박리 용이성 점착 필름은 특정량의 반응성 올리고머를 포함하는 접착층을 열수축하는 제1 필름에 조합하여 구성하고 있기 때문에, 가공 종료 후의 피착체에 열을 가하는 것만으로 피착체로부터 용이하게 박리할 수 있고 또한 피착체를 변형·파손시키는 경우도 없다. 이 때문에 본 발명의 박리 용이성 점착 필름은 피착체의 일례로서의 반도체용 재료 등에 대한 공정용 부재(예를 들면 가고정용 시트)로서 적합하게 사용할 수 있다.
본 발명의 박리 용이성 점착 필름은 열수축하는 제1 필름(이하 간단히 「수축성 필름」이라고도 한다.), 접착제와 함께 반응성 올리고머를 포함하는 접착층, 열수축하지 않는 제2 필름(이하 간단히 「비수축성 필름」이라고도 한다.) 및 박리 용이성 점착층을 이 순서대로 적층하여 구성한 것을 특징으로 한다. 이하, 각 구성 요소의 실시 형태에 대해서 설명한다.
본 발명에서 사용하는 수축성 필름은 가열에 의해 수축하는(즉 열수축하는) 필름이라면 특별히 한정되지 않지만, 바람직하게는 가열했을 때에 1축방향 이상으로 수축하는 것을 사용한다. 「1축방향 이상으로 수축하는」 것이면 되고, 1축방향(예를 들면 MD방향)만으로 수축하는 것 외에 1축방향으로 주된 수축을 나타내는 동시에 그 1축방향과는 상이한 방향(예를 들면 1축방향에 대해서 직교하는 방향인 2축방향(TD방향))으로 부차적인 수축을 나타내는 것을 사용해도 된다. 또한 본 예에 있어서 주된 수축을 나타내는 방향(1축방향)을 「주수축방향」이라 하는 경우가 있다. 또한 수축성 필름은 단층품이어도 되고, 복수 층으로 이루어지는 적층품이어도 된다. 적층품은 수축성 필름의 적층품 외에 적층품 전체의 수축률을 후술하는 범위로 조정할 수 있는 한, 후술하는 비수축성 필름을 포함한 형태로의 적층품을 사용하는 것도 가능하다.
이러한 수축성 필름을 구비한 본 발명의 박리 용이성 점착 필름에 열을 가하면 당해 수축성 필름이 수축을 일으켜 후술하는 비수축성 필름을 잡아 당기게 되고, 이것에 의해 피착체로부터 박리 용이성 점착층을 포함한 박리 용이성 점착 필름 전체를 용이하게 박리할 수 있다.
본 발명에서 사용하는 수축성 필름은 주수축방향(전술)에 있어서의 수축률이 바람직하게는 50% 이상, 보다 바람직하게는 70% 이상이고, 바람직하게는 90% 이하이다. 수축률이 적절히 조정된 수축성 필름을 후술하는 특정 재료로 이루어지는 접착층과 조합시킴으로써, 박형화, 소형화된 피착체에 사용했다 하더라도 피착체로부터 본 발명의 박리 용이성 점착 필름을 용이하게 박리할 수 있고 또한 당해 피착체를 변형·파손시키는 경우도 없다.
본 발명에서 사용하는 수축성 필름은 주수축방향 이외의 방향에 있어서의 수축률이 바람직하게는 10% 이하, 더욱 바람직하게는 5% 이하이다.
또한 본 예에 있어서 「수축률」이란 수축성 필름을 120℃로 가열한 전후의 치수 변화를 토대로 산출되는 것을 말한다(하기 산출식을 참조).
[산출식]
Figure pct00001
수축성 필름의 수축성은 예를 들면 압출기에 의해 압출된 필름에 연신처리를 실시함으로써 부여할 수 있다.
이러한 수축성 필름으로서는 예를 들면 폴리에틸렌테레프탈레이트 등의 폴리에스테르, 폴리에틸렌이나 폴리프로필렌 등의 폴리올레핀, 폴리노르보르넨, 폴리이미드, 폴리아미드, 폴리우레탄, 폴리스티렌, 폴리염화비닐리덴, 폴리염화비닐 등으로부터 선택되는 1종 또는 2종 이상의 수지로 이루어지는 1축연신 필름을 들 수 있다. 그 중에서도 후술하는 접착층의 접착층 도공액의 도공 작업성 등이 우수한 점에서 폴리에스테르계 수지, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 폴리노르보르넨 등의 폴리올레핀계 수지(환상 폴리올레핀계 수지를 포함한다), 폴리우레탄계 수지로 이루어지는 1축연신 필름이 바람직하다.
수축성 필름의 두께는 특별히 한정되지 않고 후술하는 비수축성 필름과의 밸런스로부터 적당히 선택하면 된다. 바람직하게는 5 ㎛~300 ㎛로 하고, 더욱 바람직하게는 10 ㎛~100 ㎛로 한다. 수축성 필름의 두께를 300 ㎛ 이하로 함으로써 피착체의 가공 정밀도의 저하를 방지할 수 있다. 또한 두께를 5 ㎛ 이상으로 함으로써 가열 후의 피착체로부터의 박리를 용이한 것으로 할 수 있다.
또한 수축성 필름의 표면은 인접하는 층과의 밀착성을 높이거나 박리 용이성 점착 필름의 첩착(貼着) 유무를 식별하기 위해 공지의 표면처리, 예를 들면 플라즈마처리, 코로나 방전처리, 원자외선 조사처리, 샌드블라스트처리, 크롬산처리, 알칼리처리, 오존 폭로, 화염 폭로, 고압 전격 폭로, 이온화 방사선처리 등의 화학적 또는 물리적 처리, 언더코팅 이접착층, 착색층의 형성 등의 코팅처리가 실시되어 있어도 된다.
본 발명에서 사용하는 접착층은 수축성 필름과 비수축성 필름을 접착시키기 위해 설치되는 것이다. 본 발명에서 사용하는 접착층은 가열에 의해 수축성 필름이 수축해도 응집파괴를 일으키지 않는 것으로, 수축성 필름을 비수축성 필름에 추종시키는 것이어야만 한다.
본 발명에서 사용하는 접착층은 적어도 접착제와 반응성 올리고머를 포함한다.
접착제로서는 예를 들면 고무계, 아크릴계, 비닐알킬에테르계, 실리콘계, 폴리아미드계, 폴리우레탄계, 폴리에스테르계, 폴리에테르계, 스티렌-디엔 블록 공중합체계 등의 범용 접착제나 이들 범용 접착제에 융점이 약 200℃ 이하인 열용융성 수지를 배합한 크리프 특성 개량형 접착제 등을 들 수 있다. 이들 접착제는 1종 또는 복수 종을 조합해서 사용하는 것도 가능하다.
본 발명에서는 접착층을 구성하는 재료로서 접착제뿐 아니라 반응성 올리고머를 병용함으로써 가열에 의해 반응성 올리고머가 중합반응을 일으켜 폴리머화하게 된다(반응성 올리고머의 중합반응). 반응성 올리고머의 중합반응은 반응성 올리고머끼리와, 반응성 올리고머 및 접착제 사이에서 행해진다. 그것에 의해 수축성 필름의 수축과 동시에 접착층의 충분한 수축을 일으켜 피착체로부터의 박리 용이성이 얻어지게 된다. 또한 특히 특정 수축률로 이루어지는 수축성 필름과 함께 사용함으로써 박형화, 소형화된 피착체를 가공(다이싱 등)하는 경우에도 피착체를 변형·파손시키는 경우 없이 한층 더 용이하게 피착체로부터 박리하는 것이 가능해진다.
접착층 중으로의 반응성 올리고머의 배합량은 상기 효과를 발현할 수 있는 한 특별히 한정되지 않는다. 일례를 들자면 다음과 같다.
반응성 올리고머는 접착층 중에 접착제 100 중량부에 대해서 12 중량부 이상의 양으로 포함되어 있는 것이 필요하고, 바람직하게는 15 중량부 이상, 더욱 바람직하게는 40 중량부 이상이다. 반응성 올리고머의 함유량이 12 중량부 이상이면 수축성 필름의 가열시의 수축성능을 저해해 버리는 것을 효과적으로 방지할 수 있다. 그 결과 피착체로부터의 한층 더 용이한 박리가 가능해져 당해 피착체가 변형·파손되어 버리는 것을 방지할 수 있다.
반응성 올리고머는 접착층 중에 접착제 100 중량부에 대해서 130 중량부 이하의 양으로 포함되어 있는 것이 필요하고, 바람직하게는 120 중량부 이하, 보다 바람직하게는 70 중량부 이하이다. 반응성 올리고머의 함유량이 130 중량부 이하이면 피착체로부터 박리 용이성 점착 필름을 박리할 때에 접착층과 비수축성 필름의 계면에서의 박리를 효과적으로 방지할 수 있어 박리 용이성 점착 필름으로서의 몸을 유지할 수 있다.
본 예에 있어서 접착층에 포함시키는 반응성 올리고머의 특히 바람직한 함유량(최적 범위)은 40 중량부 이상 70 중량부 이하이다. 이와 같이 반응성 올리고머의 함유량이 최적화된 접착층을 특히 특정 수축률로 이루어지는 수축성 필름과 조합시킴으로써, 가열 후에 박리 용이성 점착 필름을 피착체로부터의 박리할 때에 그 박리 용이성 점착 필름의 피착체에 대한 접지 면적이 거의 없어진다. 그 결과 박리 용이성 점착 필름의 단부를 손으로 잡아당기는 등의 특별한 작업을 행하지 않아도 피착체로부터 박리 용이성 점착 필름이 자연적으로 박리되어 그 박리 용이성 점착 필름의 박리가 매우 용이해진다.
본 발명에 있어서 「반응성 올리고머」란 열처리에 의해 3차원 망상화할 수 있는 분자 내에 광중합성 탄소-탄소 이중결합을 적어도 2개 이상 갖는 저분자량 화합물이나 올리고머를 말한다. 이러한 것으로서는 다관능 아크릴레이트계 화합물을 들 수 있다.
다관능 아크릴레이트계 화합물로서는 예를 들면 트리메틸올프로판트리아크릴레이트, 테트라메틸올메탄테트라아크릴레이트, 펜타에리스리톨트리아크릴레이트, 펜타에리스리톨테트라아크릴레이트, 디펜타에리스리톨모노히드록시펜타아크릴레이트, 디펜타에리스리톨헥사아크릴레이트 또는 1,4-부틸렌글리콜디아크릴레이트, 1,6-헥산디올디아크릴레이트, 폴리에틸렌글리콜디아크릴레이트, 올리고에스테르아크릴레이트, 우레탄아크릴레이트계 올리고머, 폴리에스테르아크릴레이트계 올리고머 등을 들 수 있다. 특히 이들 중에서도 접착성의 관점에서 우레탄아크릴레이트계 올리고머를 사용하는 것이 바람직하다.
우레탄아크릴레이트계 올리고머란 탄소-탄소 이중결합을 적어도 2개 이상 갖는 가열경화성 화합물로, 예를 들면 폴리에스테르형 또는 폴리에테르형 등의 폴리올 화합물과 다가 이소시아네이트 화합물, 예를 들면 2,4-톨릴렌디이소시아네이트, 2,6-톨릴렌디이소시아네이트, 1,3-크실릴렌디이소시아네이트, 1,4-크실릴렌디이소시아네이트, 디페닐메탄4,4-디이소시아네이트 등을 반응시켜 얻어지는 말단 이소시아네이트 우레탄 프리폴리머에 히드록실기를 갖는 아크릴레이트 또는 메타크릴레이트, 예를 들면 2-히드록시에틸아크릴레이트, 2-히드록시에틸메타크릴레이트, 2-히드록시프로필아크릴레이트, 2-히드록시프로필메타크릴레이트, 폴리에틸렌글리콜아크릴레이트, 폴리에틸렌글리콜메타크릴레이트 등을 반응시켜 얻어지는 것을 들 수 있다.
우레탄아크릴레이트계 올리고머를 반응성 올리고머로서 사용하는 경우에는 특히 분자량이 바람직하게는 300 이상, 보다 바람직하게는 1000 이상이고, 바람직하게는 30,000 이하, 보다 바람직하게는 8,000 이하인 것을 사용하면 피착체가 거친 것이라도 당해 피착체에 점착제가 남아 버리는 것을 방지할 수 있다. 또한 분자량의 값은 테트라히드로푸란 등 이동상 용매를 사용한 폴리스티렌 환산의 중량 평균 분자량(Mw)으로서 구해진다. 또한 우레탄아크릴레이트계 올리고머의 관능기 수는 6을 초과하는 것인 것이 도막 박리 방지의 관점에서 바람직하다.
이상의 화합물에 대해서는 시판품을 사용할 수 있다. 예를 들면 신나카무라 화학공업사 제조의 상품명 NK 올리고 시리즈의 U-15HA, UA-32P, U-324A 등；DIC사 제조의 상품명 유니딕 시리즈의 V-4000BA 등을 들 수 있다.
또한 접착층에는 폴리이소시아네이트나 알킬에테르화 멜라민 화합물 등의 경화제나 중합개시제 등을 함유시키는 것이 바람직하다.
또한 접착층의 두께는 접착제의 종류에 따라 상이해지지만 바람직하게는 0.5 ㎛ 이상, 보다 바람직하게는 2 ㎛ 이상이고, 바람직하게는 10 ㎛ 이하로 한다. 접착층의 두께를 0.5 ㎛ 이상으로 함으로써 가열 후의 수축성 필름과 비수축성 필름의 접착이 보다 양호한 것이 된다. 한편 10 ㎛ 이하로 함으로써 가열 후에 피착체로부터 보다 용이하게 박리하기 쉬워진다. 또한 접착층의 두께는 지나치게 두꺼우면 가열시에 수축성 필름이 수축했을 때에 접착층 및 비수축성 필름이 당해 수축성 필름에 적절하게 추종하지 못하여, 피착체로부터 박리 용이성 점착층째 용이하게 벗겨낼 수 없게 되어 가는 경향으로 된다.
본 발명에서 사용하는 비수축성 필름은 가열에 의해 수축성 필름이 수축할 때의 수축력에 대해서 반작용의 힘을 산출하는 것으로 되어, 박리 용이성 점착 필름을 피착체로부터 용이하게 박리하기 위한 우력(偶力)을 발생시키는 역할을 한다. 비수축성 필름을 수축성 필름과 박리 용이성 점착층 사이에 배치함으로써 피착체에 박리 용이성 점착층을 풀남음 없이 박리 용이성 점착층을 포함한 박리 용이성 점착 필름을 용이하게 벗겨낼 수 있게 된다.
본 발명에서 사용하는 비수축성 필름은 가열해도 수축하지 않는(즉 열수축하지 않는) 필름이라면 특별히 한정되지 않는다. 본 예에 있어서 「열수축하지 않는」다는 것은 비수축성 필름을 120℃로 가열한 전후의 치수 변화를 토대로 산출되는 수축률(전술)이 주수축방향 및 그 주수축방향 이외의 방향(모두 전술)의 어느 것에 있어서도 바람직하게는 10% 미만, 더욱 바람직하게는 5% 이하인 것을 말한다.
이러한 비수축성 필름으로서는 예를 들면 폴리에틸렌나프탈레이트, 폴리카보네이트, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 폴리부텐, 폴리메틸펜텐, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리부틸렌테레프탈레이트, 폴리부타디엔, 폴리우레탄, 폴리스티렌, 트리아세틸셀룰로오스, 아크릴, 폴리염화비닐, 노르보르넨 화합물 등의 플라스틱 필름을 들 수 있다. 또한 중합체 구성 단위로서 카르복실기를 갖는 화합물을 포함하는 중합체 필름 또는 이것과 범용 중합체 필름의 적층체를 사용하는 것도 가능하다. 비수축성 필름은 단층품이어도 되고, 복수 층으로 이루어지는 적층품이어도 된다. 적층품은 비수축성 필름의 적층품 외에 적층품 전체의 수축률을 상기 범위로 조정할 수 있는 한, 상기 수축성 필름을 포함한 형태로의 적층품을 사용하는 것도 가능하다.
본 예에서는 비수축성 필름으로서 상기 수축성 필름의 수축률과의 차가 바람직하게는 50% 이상 되는 수축률을 갖는 것을 선택하여 사용하는 것이 바람직하다. 수축성 필름의 수축률과의 차가 50% 이상 되는 수축률을 갖는 비수축성 필름을 사용함으로써, 가열 후의 박리 용이성 점착 필름 전체의 상기 벗겨짐 효과가 한층 더 높아져 박리성이 한층 더 향상되는 이점을 기대할 수 있다.
비수축성 필름의 두께는 특별히 한정되지 않지만 지나치게 얇으면 취급성이 나쁘고, 지나치게 두꺼우면 가열시에 수축성 필름이 수축했을 때에 당해 수축성 필름에 추종하지 못하여 피착체로부터 박리 용이성 점착층째 벗겨낼 수 없게 된다고 하는 관점에서 2~300 ㎛, 더 나아가서는 10~125 ㎛로 하는 것이 바람직하다.
또한 비수축성 필름의 표면은 인접하는 층과의 밀착성을 높이거나 박리 용이성 점착 필름의 첩착 유무를 식별하기 위해 전술한 수축성 필름과 동일한 표면처리가 실시되어 있어도 된다.
또한 본 발명에서 사용하는 수축성 필름과 비수축성 필름의 차이는 그 수축률이 상이한 점에 있다. 예를 들면 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름을 제조할 때에 그의 제조 조건 등을 적당히 설정함으로써 수축률이 상이한 2종의 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름을 제조하는 것이 가능하다.
본 발명에서 사용하는 박리 용이성 점착층은 가열 전은 점착력을 갖지만 가열 후는 점착력이 저하되는 것이다. 박리 용이성 점착 필름의 피착체에 점부(粘付)하는 쪽에 이러한 박리 용이성 점착층을 설치함으로써, 당해 박리 용이성 점착 필름에 열을 가했을 때 수축성 필름의 수축에 의해 당해 박리 용이성 점착 필름이 피착체에 대해서 볼록 컬링이 되어 당해 피착체로의 접지 면적이 저하된다. 이것에 더하여 당해 박리 용이성 점착층 자체의 가열 후의 점착력 저하에 의해 박리 용이성 점착 필름과 피착체의 점착력이 현저하게 저하된다. 그것에 의해 박리 용이성 점착 필름을 박리 용이성 점착층째 용이하게 박리하는 것이 가능해진다.
이러한 박리 용이성 점착층으로서는 가열에 의해 점착력이 저하되는 기능을 발휘하는 것이라면 재질은 특별히 한정되지 않는다. 예를 들면 (1) 가열에 의해 발포 및/또는 팽창하는 열팽창성 입자를 점착제에 사용하고 가열함으로써 열팽창 입자를 발포 및/또는 팽창시켜 피착체와의 접지 면적을 저하시켜서 점착력을 저하시키는 「열발포 박리 타입」의 재질로 구성할 수 있다. 또는 (2) 점착제와 반응성 올리고머를 사용하여 가열에 의한 반응성 올리고머의 중합반응에 의해 피착체로의 점착력을 저하시키는 「열경화 박리 타입」의 재질로 구성하는 것도 가능하다.
본 발명에서 사용하는 박리 용이성 점착층을 상기 (1)의 열발포 박리 타입의 재질로 구성한 경우 점착력 저하를 위해 열팽창성 입자를 발포 및/또는 팽창시킬 필요가 있는데, 이러한 열팽창성 입자의 입경은 어느 정도 크지 않으면 효과적으로 성능을 발휘하지 못할 우려가 있다. 또한 입경이 큰 열팽창성 입자의 탈락을 방지하기 위해 도막도 어느 정도 두꺼운 것으로 하지 않으면 안 될 우려도 있다. 이것에 대해서 상기 (2)의 열경화 박리 타입의 재질로 구성한 것이라면 도막 두께의 제약이 없기 때문에 도막 두께를 얇게 할 수 있다. 그것에 의해 박리 용이성 점착 필름 전체를 얇은 것으로 할 수 있기 때문에 최근 들어서의 박형화, 소형화된 실리콘 웨이퍼 등과 같은 피착체를 가공하는 정밀도를 향상시킬 수 있다.
또한 박리 용이성을 발휘하는 점착층으로서 특허문헌 1에 나타내는 바와 같이 (3) 에너지선 경화형 수지를 사용하고 에너지선을 조사함으로써 점착력을 저하시키는 「에너지선 조사 박리 타입」의 재질로 구성하는 것도 생각할 수 있다. 그러나 이러한 에너지선 조사 박리 타입의 박리 용이성 점착층을 사용한 박리 용이성 점착 필름으로 하면 에너지선을 당해 박리 용이성 점착층까지 도달시킬 필요가 있는 것으로부터 기재인 수축성 필름이나 비수축성 필름을 투명한 것으로 설계해야만 한다. 또한 에너지선 경화형 수지로 이루어지는 것이라면 점착력이 완전히 내려가지 않아 박형화, 소형화된 피착체로부터 용이하게 박리시키는 것이 곤란해지기 때문에 바람직하지 않다.
상기 (1)의 열발포 박리 타입의 박리 용이성 점착층으로서는 점착성을 부여하기 위한 점착제 및 열팽창성을 부여하기 위한 열팽창성 입자(마이크로 캡슐)를 포함하여 이루어지는 것을 들 수 있다. 점착제로서는 전술한 접착층을 구성하는 접착제로서 열거한 것과 동일한 것이 사용된다. 점착제는 점착성 성분(베이스 폴리머) 외에 가교제(예를 들면 폴리이소시아네이트, 알킬에테르화 멜라민 화합물 등), 점착 부여제(예를 들면 로진 유도체 수지, 폴리테르펜 수지, 석유 수지, 유용성 페놀 수지 등), 가소제, 충전제, 노화 방지제 등의 적절한 첨가제를 포함하고 있어도 된다.
열팽창성 입자로서는 예를 들면 이소부탄, 프로판, 펜탄 등의 가열에 의해 용이하게 가스화하여 팽창하는 물질을 탄성을 갖는 껍질 내에 내포시킨 미립자면 된다. 상기 껍질은 열용융성 물질이나 열팽창에 의해 파괴되는 물질로 형성되는 경우가 많다. 상기 껍질을 형성하는 물질로서, 예를 들면 염화비닐리덴-아크릴로니트릴 공중합체, 폴리비닐 알코올, 폴리비닐부티랄, 폴리메틸메타크릴레이트, 폴리아크릴로니트릴, 폴리염화비닐리덴, 폴리설폰 등을 들 수 있다. 열팽창성 미소구는 관용의 방법, 예를 들면 코아세르베이션(coacervation)법, 계면중합법 등에 의해 제조할 수 있다. 또한 열팽창성 미소구에는 예를 들면 마이크로스피어[상품명, 마츠모토 유지 제약사 제조] 등의 시판품도 있다.
가열처리에 의해 박리 용이성 점착층의 접착력을 효율적으로 저하시키기 위해서 체적 팽창률이 5배 이상, 그 중에서도 7배 이상, 특히 10배 이상이 되기까지 파열되지 않는 적당한 강도를 갖는 열팽창성 미소구가 바람직하다.
열팽창성 입자의 배합량은 박리 용이성 점착층의 팽창배율이나 접착력의 저하성 등에 따라서 적당히 설정할 수 있지만, 통상은 박리 용이성 점착층을 형성하는 점착제100 중량부에 대해서 예를 들면 1~150 중량부, 바람직하게는 10~130 중량부, 더욱 바람직하게는 20~100 중량부이다.
열팽창성 입자의 크기는 박리 용이성 점착층의 두께에 따라 상이해지기 때문에 일률적으로 말할 수 없지만, 초기(열을 가하기 전의 상태)의 점착성을 얻는다고 하는 관점 및 가열 후 전자부품으로부터 양호한 박리성을 얻는다고 하는 관점에서 평균 입자경이 하한으로서 1.5 ㎛ 이상, 더 나아가서는 4 ㎛ 이상이 바람직하고, 상한으로서 15 ㎛ 미만, 더 나아가서는 10 ㎛ 미만으로 하는 것이 바람직하다. 또한 열팽창성 입자의 평균 입자경은 박리 용이성 점착층 두께의 60~90%, 더 나아가서는 70~80%인 것이 바람직하다.
열발포 박리 타입의 박리 용이성 점착층의 두께는 하한으로서 2 ㎛ 이상, 바람직하게는 5 ㎛ 이상이고, 상한으로서 20 ㎛ 미만, 바람직하게는 15 ㎛ 미만이다. 두께가 지나치게 두꺼우면 다이싱시의 압력에 의해 박리 용이성 점착층이 움직여 다이싱 후의 전자부품의 정밀도가 나빠져 수율이 저하된다. 한편 두께가 지나치게 얇으면 초기의 점착성이 지나치게 낮을 가능성이 있다. 또한 박리 용이성 점착층의 두께가 지나치게 얇으면 첨가하는 열팽창성 입자도 과도하게 작은 것이 되어, 박리 용이성 점착층의 가열 후의 변형도가 작고 점착력(점착성)이 저하되기 어려워지는 경향이 있다.
상기 (2)의 열경화 박리 타입의 박리 용이성 점착층으로서는 점착제 및 반응성 올리고머를 포함하는 것을 들 수 있다. 점착제로서는 전술한 접착층을 구성하는 접착제로서 열거한 것과 동일한 것이 사용된다. 이들 중에서도 아크릴계의 점착제를 사용하는 것이 바람직하다. 또한 박리 용이성 점착층은 점착성 성분(베이스 폴리머) 외에 경화제(예를 들면 폴리이소시아네이트, 알킬에테르화 멜라민 화합물 등), 점착 부여제(예를 들면 로진 유도체 수지, 폴리테르펜 수지, 석유 수지, 유용성 페놀 수지 등), 중합개시제, 가소제, 충전제, 노화 방지제 등의 적절한 첨가제를 포함하고 있어도 된다. 반응성 올리고머로서는 접착층을 구성하는 반응성 올리고머로서 열거한 것과 동일한 것을 들 수 있다.
열경화 박리 타입의 박리 용이성 점착층의 두께는 하한으로서 2 ㎛ 이상, 바람직하게는 5 ㎛ 이상이고, 상한으로서 15 ㎛ 미만, 바람직하게는 10 ㎛ 미만이다. 두께를 15 ㎛ 미만으로 함으로써 최근 들어서의 박형화, 소형화된 실리콘 웨이퍼 등과 같은 피착체를 높은 정밀도로 다이싱할 수 있다. 한편 두께를 2 ㎛ 이상으로 함으로써 초기 점착성의 저하를 방지할 수 있다.
또한 본 발명의 박리 용이성 점착 필름은 취급성을 향상시키기 위해 박리 용이성 점착층의 표면에 세퍼레이터를 설치하는 것이 바람직하다. 이러한 세퍼레이터로서는 특별히 한정되지 않지만 예를 들면 폴리에틸렌 라미네이트지나 폴리프로필렌, 폴리에틸렌, 폴리에스테르, 폴리카보네이트, 트리아세틸셀룰로오스, 폴리염화비닐, 아크릴, 폴리스티렌, 폴리아미드, 폴리이미드, 염화비닐리덴-염화비닐 공중합체 등의 플라스틱 필름이나 상기 플라스틱 필름의 한쪽 면에 이형(離型)처리를 실시한 것 등을 들 수 있다.
세퍼레이터의 두께는 특별히 한정되지 않지만 일반적으로는 10 ㎛~250 ㎛, 바람직하게는 20 ㎛~125 ㎛인 것이 사용된다.
또한 본 발명의 박리 용이성 점착 필름은 전술한 비수축성 필름과 박리 용이성 점착층 사이에 다른 점착층(제2 점착층)을 갖는 것이어도 된다. 제2 점착층을 가짐으로써 이것이 없는 경우와 비교하여 비수축성 필름과 박리 용이성 점착층의 접착성을 향상시킬 수 있다.
이러한 제2 점착층에 사용하는 점착제로서는 특별히 한정되지 않고 전술한 박리 용이성 점착층과 동일한 점착제를 사용할 수 있다.
제2 점착층의 두께로서는 하한으로서 1 ㎛ 이상, 바람직하게는 3 ㎛ 이상이고, 상한으로서 20 ㎛ 미만, 바람직하게는 10 ㎛ 미만이다. 두께가 지나치게 두꺼우면 전술한 박리 용이성 점착층과 마찬가지로 가공시의 압력에 의해 제2 점착층이 움직여 가공 후의 전자부품의 정밀도가 나빠져 수율이 저하된다. 또한 두께가 지나치게 얇으면 비수축성 필름과의 접착성을 향상시키는 효과가 얻어지기 어렵다.
본 발명의 가열 전의 박리 용이성 점착 필름의 피착체에 대한 점착력에 관해서는 JIS Z0237：2000의 180도 박리시험에 기초하는 점착력이 2~10 N/25 ㎜인 것이 바람직하고, 3~7 N/25 ㎜인 것이 보다 바람직하다. 또한 여기에서의 박리속도는 300 ㎜/min로 한다.
이상과 같은 본 발명의 박리 용이성 점착 필름을 제조하는 방법으로서는, 예를 들면 전술한 박리 용이성 점착층을 구성하는 재료를 혼합하여 박리 용이성 점착층 도포액으로 하고 종래 공지의 코팅방법, 예를 들면 바코터, 다이코터, 블레이드코터, 스핀코터, 롤코터, 그라비아코터, 플로우코터, 스프레이, 스크린 인쇄 등에 의해 전술한 비수축성 필름 상에 도포한 후, 필요에 따라 건조시켜 전술한 세퍼레이터와 첩합한다.
다음으로 상기 비수축성 필름의 다른 한쪽 면에 전술한 접착제, 반응성 올리고머, 희석 용매 및 첨가제를 혼합해서 접착층 도포액으로 하여 상기와 동일한 종래 공지의 코팅방법에 의해 도포한 후, 필요에 따라 건조시켜 전술한 수축성 필름과 첩합하여 필요에 따라 에이징(예를 들면 23℃, 7일간)함으로써 본 발명의 박리 용이성 점착 필름을 얻을 수 있다.
또한 예를 들면 전술한 비수축성 필름의 한쪽 면에 상기와 동일하게 하여 접착층을 형성하고 얻어진 접착층의 표면과 전술한 수축성 필름을 첩합하여 기재 필름을 제작한다.
다음으로 전술한 세퍼레이터 상에 상기와 동일하게 하여 박리 용이성 점착층을 형성하고, 이어서 전술한 점착제 및 필요에 따라 희석 용매나 첨가제를 혼합해서 점착층 도포액을 제작하여 당해 박리 용이성 점착층 위에 도포, 건조시켜 박리 용이성 점착층 위에 점착층을 형성한다. 얻어진 점착층의 표면과 상기에서 제작한 기재 필름의 비수축성 필름을 첩합하고 상기와 동일하게 하여 에이징함으로써 본 발명의 박리 용이성 점착 필름을 얻을 수 있다.
또한 이상의 설명에서는 본 발명의 박리 용이성 점착 필름의 제조방법의 일례에 대해서 설명했지만 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니고, 예를 들면 세퍼레이터 상에 박리 용이성 점착층, (필요에 따라 점착층), 비수축성 필름, 접착층을 순서대로 형성하고 수축성 필름과 첩합함으로써 제작해도 된다.
이상과 같이 본 발명의 박리 용이성 점착 필름은 특정량의 반응성 올리고머를 포함하는 접착층을 수축성 필름(바람직하게는 소정 온도 범위 내에 있어서의 수축률을 특정값으로 한 것)에 조합하여 구성하고 있기 때문에, 가공 종료 후의 피착체에 열을 가하는 것만으로 피착체로부터 용이하게 박리할 수 있고 또한 피착체를 변형·파손시키는 경우도 없다. 이 때문에 본 발명의 박리 용이성 점착 필름은 피착체로서의 반도체용 재료(특히 최근 들어 박형화·소형화된 실리콘 웨이퍼나 유리 웨이퍼 등)에 대한 각종 가공(다이싱이나 연삭 등)을 위한 가고정용 시트로서 적합하게 사용할 수 있다.
실시예
아래에 실시예에 의해 본 발명을 더욱 상세하게 설명한다. 또한 본 실시예에 있어서 「부」, 「%」는 특별히 나타내지 않는 한 중량 기준이다.
1. 박리 용이성 점착 필름의 제작
[실시예 1]
비열수축성 필름(120℃에 있어서의 열수축률 10% 미만, 두께 38 ㎛, 폴리에틸렌나프탈레이트 필름, 코스모샤인 A4300：도요 보세키사)의 한쪽 면에 하기 처방의 박리 용이성 점착층 도포액을 바코터법에 의해 도포, 건조시켜서 두께 7 ㎛의 박리 용이성 점착층을 형성하여 세퍼레이터(두께 25 ㎛, 폴리에틸렌나프탈레이트 필름, MRF：미츠비시 화학 폴리에스테르 필름사)의 이형처리면과 첩합하였다.
＜실시예 1의 박리 용이성 점착층 도포액의 처방＞
·아크릴계 점착제 57.1부
(SK 다인 SW-2B：소켄 화학사, 고형분 35%)
·우레탄아크릴레이트계 올리고머 20부
(NK 올리고 U-15HA：신나카무라 화학공업사, 45000 mPa·s/40℃, 평균 분자량 2300, 관능기 수 15, 고형분 100%)
·중합개시제 4부
(OTAZO-15：오츠카 화학사, 고형분 100%)
·경화제(폴리이소시아네이트) 5부
(코로네이트 L45E：닛폰 폴리우레탄 공업사, 고형분 45%)
·초산에틸 57.5부
·메틸에틸케톤 57.5부
이어서 비열수축성 필름의 박리 용이성 점착층이 형성되어 있지 않은 면에 하기 처방의 접착층 도포액을 바코터법에 의해 도포, 건조시켜서 두께 5 ㎛의 접착층을 형성하고 열수축성 필름(120℃에 있어서의 열수축률 70% 이상, 두께 50 ㎛, 폴리에틸렌나프탈레이트 필름, 스페이스클린 S7561：도요 보세키사)과 첩합하여 실시예 1의 박리 용이성 점착 필름을 제작하였다.
＜실시예 1의 접착층 도포액의 처방＞
·폴리우레탄계 접착제 85부
(타케락 A971：미츠이 화학사, 고형분 50%)
·우레탄아크릴레이트계 올리고머 15부
(NK 올리고 U-15HA：신나카무라 화학공업사, 메틸에틸케톤으로 고형분 50%로 조정하였다)
·중합개시제 0.23부
(OTAZO-15：오츠카 화학사, 고형분 100%)
·경화제(폴리이소시아네이트) 9.7부
(타케네이트 D110N：미츠이 화학사, 고형분 60%)
·톨루엔 57부
·메틸에틸케톤 57부
[실시예 2]
실시예 1의 접착층 도포액에 있어서의 폴리우레탄계 접착제를 70 중량부로 하고, 우레탄아크릴레이트계 올리고머를 30 중량부로 하며, 중합개시제를 0.45 중량부로 한 이외는 실시예 1과 동일하게 하여 실시예 2의 박리 용이성 점착 필름을 제작하였다.
[실시예 3]
실시예 1의 접착층 도포액에 있어서의 폴리우레탄계 접착제를 60 중량부로 하고, 우레탄아크릴레이트계 올리고머를 40 중량부로 하며, 중합개시제를 0.6 중량부로 한 이외는 실시예 1과 동일하게 하여 실시예 3의 박리 용이성 점착 필름을 제작하였다.
[실시예 4]
실시예 1의 접착층 도포액에 있어서의 폴리우레탄계 접착제를 50 중량부로 하고, 우레탄아크릴레이트계 올리고머를 50 중량부로 하며, 중합개시제를 0.75 중량부로 한 이외는 실시예 1과 동일하게 하여 실시예 4의 박리 용이성 점착 필름을 제작하였다.
[비교예 1]
실시예 1의 접착층 도포액에 있어서의 폴리우레탄계 접착제를 100 중량부로 하고, 우레탄아크릴레이트계 올리고머 및 중합개시제를 제외시킨 이외는 실시예 1과 동일하게 하여 비교예 1의 박리 용이성 점착 필름을 제작하였다.
[비교예 2]
실시예 1의 접착층 도포액에 있어서의 폴리우레탄계 접착제를 91 중량부로 하고, 우레탄아크릴레이트계 올리고머를 9 중량부로 하며, 중합개시제를 0.14 중량부로 한 이외는 실시예 1과 동일하게 하여 비교예 2의 박리 용이성 점착 필름을 제작하였다.
[비교예 3]
실시예 1의 접착층 도포액에 있어서의 폴리우레탄계 접착제를 40 중량부로 하고, 우레탄아크릴레이트계 올리고머를 60 중량부로 하며, 중합개시제를 0.9 중량부로 한 이외는 실시예 1과 동일하게 하여 비교예 3의 박리 용이성 점착 필름을 제작하였다.
[비교예 4]
실시예 1의 접착층 도포액에 있어서의 폴리우레탄계 접착제를 30 중량부로 하고, 우레탄아크릴레이트계 올리고머를 70 중량부로 하며, 중합개시제를 1.05 중량부로 한 이외는 실시예 1과 동일하게 하여 비교예 4의 박리 용이성 점착 필름을 제작하였다.
2. 평가
(1) 가열 전의 점착력
각 예의 박리 용이성 점착 필름으로부터 각각 세퍼레이터를 박리하여 박리 용이성 점착층을 노출시키고, 그 위에 유리 웨이퍼를 첩착 고정하였다. 이어서 박리 용이성 점착 필름에 대해서 JIS Z0237：2000에 준하여 텐실론 만능 인장시험기(텐실론 HTM-100：오리엔테크사)를 사용하여 박리 용이성 점착 필름쪽으로부터 180° 박리시험을 행하였다. 시험편은 폭 25 ㎜로 하였다. 측정결과를 표 1에 나타낸다.
(2) 가열 후의 박리성
(1)과 동일하게 각 예의 박리 용이성 점착 필름으로부터 각각 세퍼레이터를 박리하여 박리 용이성 점착층을 노출시키고, 그 위에 유리 웨이퍼를 첩착 고정하였다. 이어서 당해 박리 용이성 점착 필름을 유리 웨이퍼째 100℃의 오븐에 5분간 투입하여 가열처리를 행하였다. 가열에 의해 박리 용이성 점착 필름이 유리 웨이퍼에 대해서 볼록 컬링되어 점착부 단부로부터 박리되기 시작하여 유리 웨이퍼로의 접지 면적이 매우 작아져 손으로 잡아 당기는 등 작업을 행하지 않고 유리 웨이퍼로부터 자연적으로 박리된 것을 「◎」, 유리 웨이퍼로부터 자연적으로 박리되지는 않았지만 진동을 부여함으로써 용이하게 박리할 수 있었던 것을 「○」, 박리 용이성 점착 필름이 적절하게 컬링되지 않아 용이하게 박리할 수 없었던 것을 「×」, 가열시에 박리 용이성 점착 필름이 접착층과 비수축성 필름의 계면에서 박리되어 버려 박리 용이성 점착 필름으로서의 몸을 이루지 않게 되어 버린 것을 「-」로 하였다. 측정결과를 표 1에 나타낸다.
Figure pct00002
표 1의 결과로부터 아래의 것을 이해할 수 있다. 실시예 1~4의 박리 용이성 점착 필름은 가열 전의 점착력이 충분함에도 불구하고 가열 후에 유리 웨이퍼로부터의 박리를 용이하게 행할 수 있었다.
특히 실시예 2 및 3의 박리 용이성 점착 필름은 가열 후에 있어서의 유리 웨이퍼로부터의 박리가 손으로 잡아 당기는 등의 작업을 행하지 않고 자연적으로 박리되는 것으로 매우 용이하였다. 이와 같이 평가가 두드러진 것은 실시예 1, 4와 비교하여 접착층 중에서의 반응성 올리고머량이 적절했었던 것에 의한 것으로 생각하고 있다.
한편 비교예 1의 박리 용이성 점착 필름은 접착층 중에 반응성 올리고머가 포함되어 있지 않았다. 이 때문에 가열 전의 점착력은 양호하였지만 가열 후에 접착층이 수축성 필름의 수축 작용을 저해해 버려 박리 용이성 점착 필름이 유리 웨이퍼에 대해서 적절히 볼록 컬링되지 않았다. 이것에 의해 박리 용이성 점착 필름의 유리 웨이퍼로부터의 박리가 용이하지 않게 되었다.
또한 비교예 2의 박리 용이성 점착 필름은 접착층 중에 접착제뿐 아니라 반응성 올리고머도 함유하는 것이었지만 접착층 중의 반응성 올리고머의 함유량이 접착제 100 중량부에 대해서 12 중량부 미만이었다. 이 때문에 가열 후에 접착층이 수축성 필름의 수축 작용을 저해해 버려 박리 용이성 점착 필름이 유리 웨이퍼에 대해서 적절히 볼록 컬링되지 않았다. 이것에 의해 박리 용이성 점착 필름의 유리 웨이퍼로부터의 박리가 용이하지 않게 되었다.
또한 비교예 3 및 4의 박리 용이성 점착 필름은 접착층 중의 반응성 올리고머의 함유량이 접착제 100 중량부에 대해서 130 중량부를 초과하고 있었다. 이 때문에 박리 용이성 점착 필름을 가열했을 때에 비수축성 필름에 대한 접착층의 접착력이 불충분해져, 이것에 기인하여 가열 후의 박리 용이성 점착 필름을 유리 웨이퍼로부터 박리한 경우 접착층과 비수축성 필름의 계면에서 박리를 발생시켰다. 그 결과 박리 용이성 점착 필름으로서의 몸을 이루지 못하게 되어 버렸다.
[실시예 5]
우레탄아크릴레이트계 올리고머로서 상품명：U-15HA 대신에 상품명：UA-32P(신나카무라 화학공업사 제조, 평균 분자량 1560, 관능기 수 9)를 사용한 이외는 실시예 1과 동 처방의 접착층 도포액을 준비하고, 그 후 실시예 1과 동일하게 하여 박리 용이성 점착 필름을 제작하여 동일한 평가를 행한 결과 실시예 1과 동일한 평가가 얻어졌다.

Claims (6)

  1. 열수축하는 제1 필름, 접착제와 함께 반응성 올리고머를 포함하는 접착층, 열수축하지 않는 제2 필름 및 박리 용이성 점착층을 이 순서대로 적층해서 구성되어 있고,
    상기 반응성 올리고머는 상기 접착층 중에 상기 접착제 100 중량부에 대해서 12 중량부 이상 130 중량부 이하의 양으로 포함되어 있는 것을 특징으로 하는 박리 용이성 점착 필름.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 접착층은 두께가 0.5 ㎛ 이상 10 ㎛ 이하인 점착 필름.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 박리 용이성 점착층은 점착제와 함께 반응성 올리고머를 포함하는 열경화 박리 타입의 박리 용이성 점착층으로 구성되어 있는 점착 필름.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 반응성 올리고머로서 적어도 우레탄아크릴레이트계 올리고머를 포함하는 점착 필름.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 필름은 120℃에서의 주수축방향에 있어서의 수축률이 50% 이상 90% 이하인 점착 필름.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 기재된 점착 필름으로 구성한, 피착체를 가공할 때에 그 피착체에 첩합(貼合)하여 사용되는 가(假)고정용 시트.
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