KR20130113227A - 스크라이브 장치, 기판 절단 장치 및, 기판 스크라이브 방법 - Google Patents

스크라이브 장치, 기판 절단 장치 및, 기판 스크라이브 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 기판에 형성된 스크라이브 예정라인에 압력을 가하여 소정의 깊이를 갖는 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 유닛; 및 상기 스크라이브 유닛에 설치되며, 상기 스크라이브 라인의 깊이가 기설정되는 기준깊이를 이루도록 상기 스크라이브 유닛의 이동을 제어하는 깊이조절유닛을 포함하는 스크라이브 장치를 제공한다. 본 발명은 기판 절단 장치 및, 기판 스크라이브 방법도 제공한다.

Description

스크라이브 장치, 기판 절단 장치 및, 기판 스크라이브 방법{SCRIBE APPARATUS AND APPARATUS FOR CUTTING PANEL AND METHOD FOR SCRIBING PANEL}
본 발명은 스크라이브 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판 상에 균일한 깊이를 갖는 스크라이브 라인을 형성하기 위한 스크라이브 장치, 기판 절단 장치 및, 기판 스크라이브 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 액정 표시 장치는 전극 패턴이 형성된 2장의 유리 기판에 배향막 및 스페이서를 형성하고, 결합시켜 다수의 액정셀을 형성한 후 스크라이브 장치를 이용하여 액정셀 별로 브레이킹 함으로써 제조된다.
상기 스크라이브 장치로 구현되는 스크라이브 공정은 다이아몬드 또는 초경합금 재질의 휠을 사용하여 기판 표면에 일정한 압력을 가하면서 회전 이동시켜. 기판의 표면에 대하여 수직 방향으로 크랙을 형성하는 공정이다.
종래에는 상기와 같이 스크라이브 공정이 진행되는 기판의 일면이 불균일한 면을 형성하는 경우, 스크라이브 라인의 깊이가 일정하게 형성되지 못하는 문제점이 있다.
따라서, 종래에는 불균일한 깊이를 갖는 스크라이브 라인을 브레이킹하는 경우에, 브레이킹되는 면이 고르지 않게 형성되어 브레이킹되는 단위기판들 중 다수가 불량 처리되는 문제점이 있다.
따라서, 근래에 들어, 균일한 깊이를 갖는 스크라이브 라인을 형성하기 위한 스크라이브 부재의 기준 위치를 다양한 기판의 표면 상태에 대응하여 실시간으로 보정함과 아울러, 스크라이브 라인이 형성되는 동안 깊이를 균일하게 조절할 수 있는 가술 개발이 요구되고 있다.
본 발명과 관련된 선행 문헌으로는 대한민국 공개특허 제10-2009-0082964호(2009년 8월 3일 공개)가 있다.
상기 선행 문헌에는 자중으로 휠 홀더에 인가되는 가압력을 일정하게 유지하도록 하여 수직크랙의 깊이를 균일하게 유지시키는 기술이 개시된다.
본 발명의 목적은, 기판 상에 균일한 깊이를 갖는 스크라이브 라인을 형성하도록 스크라이브 휠의 기준 위치를 설정하고, 기판에 항상 균일한 깊이를 갖는 스크라이브 라인을 형성할 수 있는 스크라이브 장치, 기판 절단 장치 및, 기판 스크라이브 방법을 제공함에 있다.
일 양태에 있어서, 본 발명은 기판에 형성된 스크라이브 예정라인에 압력을 가하여 소정의 깊이를 갖는 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 유닛과; 상기 스크라이브 유닛에 설치되며, 상기 스크라이브 라인의 깊이가 기설정되는 기준깊이를 이루도록 상기 스크라이브 유닛의 이동을 제어하는 깊이조절유닛을 포함하는 스크라이브 장치를 제공한다.
다른 양태에 있어서, 본 발명은 상기 스크라이브 장치와; 상기 스크라이브 라인을 따라 브레이킹하는 브레이킹장치를 포함하는 기판 절단 장치를 제공한다.
또 다른 양태에 있어서, 본 발명은 스크라이브 유닛에 구비되는 스크라이브 휠을 이동시켜 기판에 소정의 깊이를 갖는 스크라이브 라인을 형성하도록 상기 기판에 형성된 스크라이브 예정라인에 접하도록 하는 제 1단계와; 상기 깊이가 기설정되는 기준깊이에 이르도록 상기 스크라이브 휠의 위치를 이동시키는 제 2단계를 포함하는 기판 스크라이브 방법을 제공한다.
본 발명은 기판 상에 균일한 깊이를 갖는 스크라이브 라인을 형성하도록 스크라이브 휠의 기준 위치를 설정하고, 기판 상에 항상 균일한 깊이를 갖는 스크라이브 라인을 형성할 수 있는 효과를 갖는다.
도 1은 본 발명의 제 1실시예 따르는 스크라이브 장치의 대기 상태를 보여주는 도면이다.
도 2는 본 발명의 제 1실시예를 따르는 기판 스크라이브 장치의 작동 상태를 보여주는 도면이다.
도 3은 본 발명에 따르는 스크라이브 라인 형성 과정의 일 예를 보여주는 도면이다.
도 4는 본 발명에 따르는 스크라이브 라인 형성 과정의 다른 예를 보여주는 도면이다.
도 5는 본 발명의 제 2실시예를 따르는 스크라이브 장치의 대기 상태를 보여주는 도면이다.
도 6은 본 발명의 제 2실시예를 따르는 스크라이브 장치의 작동 상태를 보여주는 도면이다.
도 7은 본 발명의 제 3실시예를 따르는 스크라이브 장치의 대기 상태를 보여주는 도면이다.
도 8은 본 발명의 제 3실시예를 따르는 스크라이브 장치의 작동 상태를 보여주는 도면이다.
도 9는 본 발명의 기판 스크라이브 방법의 일 예를 보여주는 흐름도이다.
도 10은 본 발명의 기판 스크라이브 방법의 다른 예를 보여주는 흐름도이다.
도 11은 본 발명의 기판 스크라이브 방법의 또 다른 예를 보여주는 흐름도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 스크라이브 장치, 기판 절단 장치 및, 기판 스크라이브 방법을 설명한다.
먼저, 본 발명의 스크라이브 장치를 설명한다.
제 1실시예
도 1은 본 발명의 제 1실시예 따르는 스크라이브 장치의 대기 상태를 보여준다.
도 1을 참조 하면, 본 발명의 스크라이브 장치는 크게 스크라이브 유닛(100)과, 깊이조절유닛(300)으로 구성된다.
상기 스크라이브 유닛(100)은 스크라이브 헤드(110)와, 휠 고정체(130)와, 스크라이브 휠(140)로 구성된다. 상기 스크라이브 유닛(100)은 이동부(150)에 의하여 일정 방향으로 이동될 수 있다. 상기 이동부(150)는 상기 스크라이브 유닛(100)을 X축 또는 Y축으로 이동시킬 수 있는 겐트리와 같은 장치일 수 있다.
상기 스크라이브 헤드(110)는 기판(10)의 상부에 배치된다. 상기 기판(10)은 글래스 기판인 것이 바람직하다.
상기 휠 고정체(140)는 상기 스크라이브 헤드(110)의 하단에 설치되며, 상기 휠 고정체(140)의 하단은 스크라이브 헤드(110)의 하단으로 돌출된다.
상기 휠 고정체(140)의 하단에는 스크라이브 휠(140)이 회전 가능하도록 설치된다. 상기 스크라이브 휠(140)은 기판(10)의 표면에 접함과 아울러, 소정 방향을 따라 회전되면서 기판(10)의 표면에 소정의 깊이를 갖는 스크라이브 라인을 형성하는 역할을 한다.
여기서, 상기 스크라이브 라인의 형성은 상기 스크라이브 휠(140) 뿐만 아니라, 기판(10)의 표면에 스크레치와 같은 스크라이브 라인을 형성할 수 있는 부재 모두 채택 가능할 수 있다.
상기 스크라이브 헤드(110)는 상술된 이동부(150)와 연결된다.
상기 이동부(150)는 상기 스크라이브 헤드(110)가 이동 가능하도록 배치되는 헤드 프레임(미도시)과, 상기 헤드 프레임에 설치되며, 상기 헤드(110)를 이동시키는 리니어 모터(미도시)를 포함한다. 여기서, 상기 리니어 모터는 후술되는 제어부(320)로부터 제어 신호를 전송 받아 구동될 수 있다.
따라서, 상기 이동부(150)의 구동에 의해, 스크라이브 헤드(110)는 X축 또는 Y축을 따라 이동될 수 있다.
상기 깊이조절유닛(300)은 상기 스크라이브 라인의 깊이가 기설정되는 기준깊이(Ds, 도 2참조)를 이루도록 상기 스크라이브 유닛(110)의 승강 이동을 제어할 수 있다.
상기 깊이조절유닛(300)은 크게 거리측정부(310)와, 승강부(330)와, 제어부(320)로 구성된다.
상기 거리측정부(310)는 광센서와 초음파 센서 중 어느 하나를 사용할 수 있다. 여기서, 상기 거리측정부(310)는 일정 위치까지의 거리값을 측정할 수 있는 센서 모두 채택 가능할 수 있다.
도면에 도시되지는 않았지만, 상기 거리 측정부(310)는 광을 출사하는 발광부(絹돕◎와, 일정 위치에서 반산되는 광을 수광하는 수광부(미도시)로 구성될 수 있다.
상기 거리 측정부(310)는 광의 출사 및 수광하기 까지의 시간을 기초로 일정 위치까지의 거리값을 측정할 수 있다.
여기서, 상기 거리 측정부(310)는 헤드(110)의 외주의 일정 위치에 설치될 수 있다.
도면에 도시되지는 않았지만, 상기 거리측정부(310)는 상기 스크라이브 헤드(110)에서 탈착 가능할 수 있다. 상기 탈착 방식은 볼트 체결과 같은 체결 방식이 채택될 수 있다. 따라서, 거리측정부(310)가 오동작되는 경우에, 이를 새로이 교체할 수 있는 잇점이 있다.
또한, 상기 거리측정부(310)는 스크라이브 헤드(110)에서 상하 또는 좌우로의 위치가 슬라이딩 동작되어 측정 위치가 가변될 수 있도록 설치될 수도 있다. 따라서, 거리측정부(310)를 사용한 측정 위치를 변경하여 측정할 수 있는 잇점도 있다.
도면에 도시되지 않았지만, 상기 거리 측정부(310)는 각도조절부재(미도시)와 연결될 수 있다.
상기 각도조절부재는 상기 거리측정부(310)를 일정 각도로 회전가변 시킬 수 있는 장치일 수 있다. 따라서, 상기 각도 조절 부재는 상기 거리 측정부(310)의 위치를 회전시킴으로써, 거리값 측정 위치를 가변시킬 수 있다. 상기 회전은 상하 또는 좌우로의 회전일 수 있다.
상술한 거리 측정부(310)는 스크라이브 휠(140) 인근 영역의 임의의 위치에서의 기판(10) 표면 또는 상면과의 거리값을 측정할 수 있다. 여기서, 상기 임의의 위치에는 스크라이브 예정 라인이 형성된다.
또한, 스크라이브 헤드(110)는 상기 승강부(330)의 구동에 의해 Z축을 따라 승강될 수 있다.
상기 승강부(330)는 상기 스크라이브 헤드(110)와 연결된다. 상기 승강부(330)는 Z축 모터 또는 승강 실린더를 사용할 수 있다.
상기 거리 측정부(310)와 승강부(330)는 제어부(320)와 전기적으로 연결된다.
상기 제어부(320)는 상기 거리 측정부(310)로부터 측정된 거리값(d)을 전송 받는다. 상기 측정된 거리값(d)은 기판(10)의 표면, 즉 기판(10)에 형성된 스크라이브 예정 라인까지의 거리값인 것이 좋다.
또한, 상기 제어부(320)에는 도 2에 도시된 바와 같은, 기준거리값(d0)이 기설정된다.
상기 기준거리값(d0)은 도 2에 도시되는 바와 같이 스크라이브 휠(140)이 기판(10)의 표면에 압력을 가하여 기준깊이(Ds)를 이루는 경우에 거리측정부(310)로부터 측정되는 기판(10)의 표면까지의 거리값이다.
상기 제어부(320)는 상기 측정된 거리값(d)이 상기 기준 거리값(d0)과 동일해지도록 상기 승강부(330)의 승강이동을 제어할 수 있다.
물론, 상기 기준 거리값(d0)은 일정의 오차 범위를 가질 수 있다. 바람직하게 제어부(320)는 상기 측정된 거리값(d)이 상기 기준 거리값(d0)의 오차 범위에 이루도록 상기 승강부(330)의 승강이동을 제어할 수도 있다.
상술한 기준거리값(d0)의 오차범위는 기판(10)의 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 경우, 불량을 방지할 수 있는 최소한의 범위로서, 이는 다수의 경험치로서 취득될 수 있다.
한편, 상기 스크라이브 유닛(110)에는 회전부(120)가 설치될 수도 있다. 상기 회전부(120)는 제어부(320)로부터 제어 신호를 전송 받아 회전된다. 상기 회전은 수평회전일 수 있다. 상기에 기술된 거리측정부(310)는 상기 회전부(120)에 설치될 수 있다.
상기 회전부(120)는 휠 고정체(140)를 회전시킬 수 있도록 스크라이브 헤드(110)에 설치될 수 있다. 상기 회전부(120)는 회전모터일 수 있다. 물론, 상기 회전부(120)는 상기 휠 고정체(130)와 축연결되어 상기 휠 고정체(130)를 회전시킬 수 있는 수단 모두 포함될 수 있다.
상기 제어부(320)는 기판(10)의 표면 또는 상면에 형성되는 스크라이브 예정라인과의 거리값을 측정할 수 있도록 상기 회전부(120)를 사용하여 상기 거리측정부(310)를 회전시킬 수 있다.
따라서, 거리측정부(310)를 회전부(120)에 의해 회전시킴으로써 측정 대상 위치인 스크라이브 예정라인을 향하도록 정확하게 위치시킬 수 있다.
다음은, 상술된 구성을 참조로 하여, 본 발명의 제 1실시예를 따르는 스크라이브 장치의 작용을 설명한다.
도 2는 본 발명의 제 1실시예를 따르는 기판 스크라이브 장치의 작동 상태를 보여준다.
본 발명의 스크라이브 장치의 작용을 설명함에 있어서, 기판(10) 상면에 스크라이브 라인을 형성하는 예를 대표적으로 설명한다.
도면에 도시되지는 않았지만, 기판(10)의 상부에 위치되는 스크라이브 유닛(100)는 기판(10) 하부에도 동일한 구성의 다른 스크라이브 유닛(미도시)이 서로 마주보도록 배치되고, 이들은 동시에 구동될 수 있다.
제어부(320)에는 도 2에 도시된 바와 같은, 기준깊이(Ds)가 기설정된다.
상기 기준깊이(Ds)는 상술한 바와 같이, 스크라이브 휠(140)이 기판(10)의 상면을 가압하여 누르는 경우 발생되는 소정의 깊이이다.
즉, 상기 기준깊이(Ds)는 상기 기판(10)의 상면과, 기판(10)을 누르는 상태에서 소정의 깊이를 이루어 위치되는 스크라이브 휠(140)의 하단과의 거리값이다.
여기서, 상기 기준깊이(Ds)는 상기 스크라이브 휠(140)의 회전동작을 통하여 기판(10) 상면에 스크라이브 라인을 효율적으로 형성할 수 있는 바람직한 깊이이다.
이때, 스크라이브 헤드(110)에 구비된 거리측정부(310)와 기판(10) 상면은 기준거리값(d0)을 형성한다.
따라서, 본 발명에서의 제어부(320)에는 실질적으로 상기 기준깊이(Ds)를 형성할 수 있는 기준거리값(d0)이 기설정된다.
상기와 같이 제어부(320)에 기준깊이(Ds)에 따르는 기준 거리값(d0)이 설정되면, 도 1에 도시되는 바와 같이, 이동부(150)의 구동에 의해 스크라이브 유닛(100)은 기판(10)의 상부에 위치된다.
이때, 상기 기판(10)의 상면에는 스크라이브 라인이 형성될 스크라이브 예정 라인이 형성된다.
따라서, 도 1에 도시되는 바와 같이 스크라이브 휠(140)은 스크라이브 예정 라인의 상부에 위치될 수 있다.
이어, 거리측정부(310)는 기판(10)의 표면, 즉 상면까지의 거리값(d)을 측정하고, 상기 측정된 거리값(d)을 제어부(320)로 전송한다.
상기 제어부(320)는 상기 측정된 거리값(d)이 상기 기준 거리값(d0)과 동일한지의 여부를 판단한다.
상기 제어부(320)는 상기 측정된 거리값(d)이 상기 기준 거리값(d0)과 동일해지도록 승강부(330)의 승강이동을 제어한다.
상기 스크라이브 유닛(100)은 상기 승강부(330)의 승강이동에 의해 하강된다.
상기 측정된 거리값(d)과 상기 기준 거리값(d0)이 서로 동일해지는 시점에서, 도 2에 도시되는 바와 같이, 휠 고정체(130) 하단에 설치된 스크라이브 휠(140)은 기판(10)의 상면을 소정의 깊이로 누르도록 위치된다.
여기서, 상기 스크라이브 휠(140)의 회전 방향은 X축을 따를 수 있다. 이러한 경우, 기판(10)에 형성된 스크라이브 예정라인에 압력을 가하여 X축 스크라이브 라인을 형성하는 경우이다.
물론, 상기 휠 고정체(130)의 회전 동작에 의하여 상기 스크라이브 휠(140)의 회전 방향이 Y축을 따르도록 변경되는 경우, 이는 기판(10)에 형성된 스크라이브 예정라인에 압력을 가하여 Y축 스크라이브 라인을 형성하는 경우이다.
하기에서는 X축 스크라이브 라인의 형성 예를 대표적으로 설명한다.
상술한 바와 같이, 스크라이브 휠(140)은 상기 기준깊이(Ds)를 이루도록 기판(10)의 상면을 누르도록 위치된다.
따라서, 스크라이브 휠(140)은 바람직한 기준깊이(Ds)를 이루는 스크라이브 라인을 형성할 수 있는 기준 위치에 위치 및 대기될 수 있다.
이어, 상기 제어부(320)는 이동부(150)의 작동을 제어한다.
상기 이동부(150)는 스크라이브 유닛(100)을 도시되지 않은 구동장치를 사용하여 X축을 따라 미리 정해진 이동 길이 및 이동 속도로 이동시킨다.
이때, 본 발명에 따르는 깊이조절유닛(300)은 제어부(320)를 사용하여 기판(10) 상면까지의 거리값(d)이 상기 기준 거리값(d0)을 형성하도록 승강부(330)의 승강 유동을 실시간으로 제어하여 스크라이브 휠(140)의 상하 위치를 가변 조절한다.
이에 따라, 스크라이브 헤드가 X축을 따라 이동됨과 아울러, 스크라이브 휠(140)은 기판의 상면에서 상기 기준깊이(Ds)를 균일하게 유지하면서 X축 스크라이브 라인을 형성할 수 있다.
상기 제어부(320)는 상기 X축 스크라이브 라인의 형성이 완료되었는지를 판단한다.
상기 X축 스크라이브 라인의 형성이 완료되면, 제어부(320)는 구동 장치 및 승강부(330)의 작동을 제어하여, 도 1에 도시된 바와 같이 스크라이브 휠(140)을 원위치로 복귀시킨다.
본 발명의 제 1실시예는 기판(10)에 형성된 스크라이브 예정 라인에 스크라이브 라인을 형성하는 경우, 스크라이브 휠(140)이 기판(10) 표면에서 기준깊이(Ds)를 이루도록 스크라이브 휠(140)의 승강 높이를 실시간으로 조절하여 균일한 깊이의 스크라이브 라인을 형성할 수 있는 기준 위치로 위치시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 제 1실시예는 tm크라이브 라인이 형성되는 동안, 스크라이브 라인의 깊이를 실시간으로 모니터링 및 균일한 깊이를 갖도록 제어할 수 있다.
한편, 상기 제어부(320)는 기판(10)의 상면에 형성되는 스크라이브 예정라인과의 거리값을 측정할 수 있도록 상기 회전부(120)를 사용하여 상기 거리측정부(310)를 회전시킴으로써, 기판(10) 상면에서 스크라이브 라인이 형성될 위치가 아닌 다른 위치에서의 거리값 측정 오류를 미연에 방지할 수 있다.
도 3은 본 발명에 따르는 스크라이브 라인 형성 과정의 일 예를 보여준다.
도 3은 기판의 상면이 평평하지 않은 일 예로서, 기판(10)의 상면이 일측에서 타측을 따라 하향 경사지도록 형성된 예를 보여준다.
도 3을 참조 하면, 본 발명에 따르는 스크라이브 휠(140)은 기준깊이(Ds)를 이루도록 기판(10)의 상면을 가압하여 누르도록 배치된다.
그리고, 상기 제 1실시예에서 상술한 바와 같이, 상기 스크라이브 휠(140)은 기판(10)의 경사진 상면을 따라 이동되면서 실시간으로 기준깊이(Ds)를 형성하도록 승강 조절된다.
따라서, 상기와 같은 방식으로 형성된 스크라이브 라인의 깊이는 기판(10)의 경사진 면에 상관없이 균일한 기준깊이(Ds)로 형성될 수 있다.
도 4는 본 발명에 따르는 스크라이브 라인 형성 과정의 다른 예를 보여준다.
도 4는 기판의 상면이 평평하지 않은 다른 예로서, 기판(10')의 상면이 상방으로 볼록하게 휘어진 예를 보여준다.
본 발명에 따르는 스크라이브 휠(140)은 기준깊이(Ds)를 이루도록 기판(10')의 상면을 가압하여 누르도록 배치된다.
그리고, 상술한 바와 같이 상기 스크라이브 휠(140)은 기판(10')의 볼록한 상면을 따라 이동되면서, 실시간으로 기준깊이(Ds)를 형성하도록 승강 조절된다.
따라서, 상기와 같은 방식으로 형성된 스크라이브 라인의 깊이는 기판(10')의 볼록한 상면에 상관없이 균일한 기준깊이(Ds)로 형성될 수 있다.
본 발명에 따르는 제 1실시예는 스크라이브 라인을 형성하기 위해 기판의 표면에 스크라이브 휠이 최초로 접하는 경우, 휠이 장착된 스크라이브 헤드의 위치 정보를 사용하여 균일한 깊이를 갖는 스크라이브 라인 형성을 위한 스크라이브 휠의 기준 위치를 조절할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르는 제 1실시예는, 스크라이브 라인을 형성하면서, 실시간으로 기판에 균일한 스크라이브 라인의 깊이가 형성되도록 할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르는 제 1실시예는 스크라이브 라인이 형성되는 기판 표면이 평평하지 않게 형성되더라도, 항상 기판에 균일한 깊이의 스크라이브 라인이 형성되도록 할 수 있다.
또한, 본 발명의 제 1실시예는 스크라이브 라인의 깊이를 균일하게 형성함으로써, 후속 공정에서 스크라이브 라인을 브레이킹하는 경우 브레이킹되는 면이 고르도록 할 수 있다.
또한, 본 발명의 제 1실시예는 상기와 같이 고른 브레이킹 면을 형성함으로써, 제조되는 각 셀의 테두리 부분에서의 파손을 미연에 방지하고, 생산되는 제품 불량률을 저감시킬 수 있다.
제 2실시예
도 5는 본 발명의 제 2실시예를 따르는 스크라이브 장치의 대기 상태를 보여주고, 도 6은 본 발명의 제 2실시예를 따르는 스크라이브 장치의 작동 상태를 보여준다.
도 5를 참조 하면, 상기 스크라이브 장치는 스크라이브 유닛(100)과, 깊이조절유닛(301)으로 구성된다.
상기 스크라이브 유닛(100)은 기판(10)에 형성된 스크라이브 예정라인에 압력을 가하여 소정의 깊이를 갖는 스크라이브 라인을 형성하는 장치로서, 상기 제 1실시예에서 언급된 구성과 실질적으로 동일하므로 이하의 설명은 생략하기로 한다.
상기 깊이조절유닛(301)은 압력측정부(340)와, 승강부(330)와, 제어부(320)로 구성된다.
상기 압력측정부(340)는 스크라이브 휠(140)의 둘레를 따라 설치될 수 있다. 따라서, 상기 압력측정부(340)는 스크라이브 휠(140)이 회전되면서 기판(10)에 형성된 스크라이브 예정라인에 압력을 가하는 경우에 발생되는 압력을 측정할 수 있다.
상기 압력측정부(340)는 스크라이브 휠(140)에서 발생되는 압력값을 감지하는 로드셀일 수도 있다. 물론, 상기 압력측정부(340)는 상기 로드셀 이외에 스크라이브 휠(140)에서 발생되는 압력값을 측정할 수 있는 장치 모두 채택될 수 있다.
상기 승강부(330)는 제어부(320)로부터 제어 신호를 전달 받아, 스크라이브 헤드(110)를 승강이동시키는 장치이다.
상기 제어부(320)에는 기준압력값(p0)이 기설정된다. 상기 기준압력값(p0)은 제 1실시예에 언급된 기준깊이(Ds)를 이루는 경우에 스크라이브 휠(140)에 의해 기판(10)의 표면에 가해지는 압력값이다.
그리고, 상기 제어부(320)는 측정되는 압력값(p)이 상기 기준압력값(p0)과 동일해지도록 승강부(330)의 승강 이동을 제어한다.
물론, 상기 기준압력값(p0)은 일정의 오차 범위를 가질 수 있다. 바람직하게 제어부(320)는 상기 측정된 압력값(p)이 상기 기준압력값(p0)의 오차 범위에 포함되도록 상기 승강부(330)의 승강이동을 제어할 수도 있다.
상술한 기준압력값(p0)의 오차범위는 기판(10)에 스크라이브 라인을 형성하는 경우, 불량을 방지할 수 있는 최소한의 범위로서, 이는 다수의 경험치로서 취득될 수 있다.
다음은, 상술된 구성을 참조로 하여, 본 발명의 제 2실시예를 따르는 스크라이브 장치의 작용을 설명한다.
도 5는 본 발명의 제 2실시예를 따르는 스크라이브 유닛이 기판의 상부에서 대기하고 있는 상태를 보여준다.
상기 스크라이브 장치의 작용을 설명함에 있어서, 제 1실시예에서와 같이 기판(10) 표면 중 상면에 X축 스크라이브 라인을 형성하는 예를 대표적으로 설명한다.
도 5를 참조 하면, 제어부(320)에는 기준압력값(p0)이 기설정된다.
상기 기준압력값(p0)은 상술한 바와 같이, 미리 설정된 기준깊이(Ds)를 이루는 스크라이브 라인을 형성하는 경우에 요구되는 압력값이다.
상기와 같이 제어부(320)에 기준압력값(p0)이 설정되면, 도 5에 도시되는 바와 같이, 이동부(150)의 구동에 의해 스크라이브 유닛(100)은 기판(10)의 상부에 위치된다. 이때, 상기 기판(10)에는 스크라이브 라인이 형성될 스크라이브 예정 라인이 형성된다.
따라서, 도 5에 도시되는 바와 같이 스크라이브 휠(140)은 스크라이브 예정 라인과 최초로 접할 수 있다.
이어, 도 6을 참조 하면, 승강부(330)는 상기 제어부(320)로부터 전기적 신호를 전달 받아 스크라이브 헤드(110)를 하강시킨다. 따라서, 스크라이브 휠(140)은 기판(10)의 상면에 압력을 가하면서 누룰 수 있다.
이와 동시에, 압력측정부(340)는 상기 압력에 대한 압력값(p)을 측정하고, 이를 제어부(320)로 전송한다.
상기 제어부(320)는 측정되는 압력값(p)이 기준압력값(p0)과 동일해지도록 승강부(330)의 승강이동을 제어한다.
따라서, 스크라이브 휠(140)은 기준깊이(Ds)를 이루도록 기판(10)에 형성된 스크라이브 예정라인에 압력을 가하여 누룰 수 있다.
따라서, 스크라이브 휠(140)은 바람직한 기준깊이(Ds)를 이루는 스크라이브 라인을 형성할 수 있는 기준 위치에 위치 및 대기될 수 있다.
이어, 상기 제어부(320)는 이동부(150)의 작동을 제어한다.
상기 이동부(150)는 스크라이브 유닛을 도시되지 않은 구동장치를 사용하여 X축을 따라 미리 정해진 이동 길이 및 이동 속도로 이동시킨다.
이때, 본 발명에 따르는 깊이조절유닛(301)은 제어부(320)를 사용하여 기판(10) 상면의 스크라이브 예정라인에 가해지는 압력값(p)이 상기 기준압력값(p0)을 형성하도록 승강부(330)의 승강 유동을 실시간으로 제어하여 스크라이브 휠(140)의 상하 위치를 가변 조절한다.
이에 따라, 스크라이브 헤드(110)가 X축을 따라 이동됨과 아울러, 스크라이브 휠(140)은 기판의 상면에서 상기 기준깊이(Ds)를 균일하게 유지하면서 회전되어 X축 스크라이브 라인을 형성할 수 있다.
상기 제어부(320)는 상기 X축 스크라이브 라인의 형성이 완료되었는지를 판단한다.
상기 X축 스크라이브 라인의 형성이 완료되면, 제어부(320)는 구동 장치 및 승강부(330)의 작동을 제어하여, 도 6에 도시된 바와 같이 스크라이브 휠(140)을 원위치로 복귀시킨다.
본 발명에 따르는 제 2실시예는 스크라이브 라인을 형성하기 위해 기판의 표면에 스크라이브 휠이 최초로 접하는 경우, 기판에 가해지는 압력값 정보를 사용하여, 스크라이브 라인이 균일한 깊이를 이룰 수 있는 스크라이브 휠의 기준 위치를 조절할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르는 제 2실시예는, 스크라이브 라인을 형성하면서, 실시간으로 기판에 균일한 스크라이브 라인의 깊이가 형성되도록 할 수 있다.
제 3실시예
도 7은 본 발명의 제 3실시예를 따르는 스크라이브 장치의 대기 상태를 보여주고, 도 8은 본 발명의 제 3실시예를 따르는 스크라이브 장치의 작동 상태를 보여준다.
도 7을 참조하면, 상기 스크라이브 장치는 스크라이브 유닛(100)과, 깊이조절유닛(302)으로 구성된다.
상기 스크라이브 유닛(100)은 상기 제 1,2실시예의 구성과 실질적으로 동일하기 때문에 구체적인 구성의 설명을 생략한다.
상기 깊이조절유닛(302)은 크게 거리측정부(312)와, 압력측정부(340)와, 제어부(320)로 구성된다.
상기 거리측정부(312)는 스크라이브 유닛(100)에 설치되어 기판(10)이 표면 또는 상면까지의 거리값(d)을 측정하여, 이를 제어부(320)로 전송한다. 상기 거리측정부(312)는 상기 제 1,2실시예에서 언급된 구성과 실질적으로 동일할 수 있다.
상기 압력측정부(340)는 스크라이브 휠(140)에 의해 기판(10)에 형성된 스크라이브 예정라인에 가해지는 압력값(p)을 측정하여, 이를 제어부(320)로 전송한다. 상기 압력측정부(340)는 상기 제 2실시예에서 언급된 구성과 실질적으로 동일할 수 있다.
상기 제어부(320)에는 기준거리값(d0)과, 기준압력값(p0)이 기설정된다.
상기 기준거리값(d0)은 제 1실시예에서와 같이 기준깊이(Ds)를 이루는 경우에 거리측정부(312)로부터 기판(10)의 표면까지 측정되는 거리값이다.
상기 기준압력값(p0)은 상기 기준깊이(Ds)를 이루는 경우에 기판(10)의 표면 또는 스크라이브 예정라인에 가해지는 압력값이다.
또한, 상기 제어부(320)에는, 상기 측정되는 거리값(d)이 기준거리값(d0)과 동일해질 수 있는 승강부(330)의 제1승강위치값(P1)이 저장되고, 상기 측정되는 압력값(p)이 기준압력값(p0)과 동일해질 수 있는 승강부의 제2승강위치값(P1)이 저장된다.
여기서, 상기 제 1,2승강위치값(P1,P2)은 실질적으로 스크라이브 휠(140)의 승강 위치값인 것이 좋다.
상기 제 1,2승강위치값(P1,P2)은 도면에 도시되지는 않았지만, 승강부(330)에 구비되어, 승강부(330)의 승강 이동시 Z축으로의 위치값을 인식하여 제어부(320)로 전송할 수 있는 센서에 의해 측정될 수 있다.
실질적으로 승강부(330)는 스크라이브 휠(140)을 구비하는 스크라이브 헤드(110)를 승강시킴으로써, 스크라이브 휠(140)의 승강이동을 제어한다.
따라서, 상기 스크라이브 휠(140)을 승강이동시키는 경우 승강부(330)는 승강위치값이 가변된다.
따라서, 본 발명의 제 3실시예에서의 제 1,2승강위치값(P1,P2)은 승강부(330)의 승강위치값일 수 있다.
상기 제어부(320)는 상기 제 1승강위치값(P1)과 상기 제 2승강위치값(P2)과의 평균위치값(Pav)을 산출하고, 상기 평균위치값(Pav)을 이루도록 상기 승강부(330)의 승강이동을 제어한다.
한편, 상기 스크라이브 유닛(100)에는 제 1실시예에서와 같이 회전부(120)가 더 설치되고, 거리측정부(312)는 상기 회전부(120)에 설치될 수 있다. 따라서, 제 1실시예에서와 같이, 거리측정부(312)의 측정 위치를 가변시킬 수 있다.
다음은, 상술된 구성을 참조로 하여, 본 발명의 제 3실시예를 따르는 스크라이브 장치의 작용을 설명한다.
도 7은 본 발명의 제 3실시예를 따르는 스크라이브 유닛(100)이 기판(10)의 상부에서 대기하고 있는 상태를 보여준다.
이때, 스크라이브 휠(140)은 기판(10)의 상면에 형성된 스크라이브 에정라인의 상부에 위치된다.
제어부(320)는 승강부(330)를 사용하여, 스크라이브 휠(140)이 상기 기판(10)의 상면에 형성된 스크라이브 예정라인을 소정의 압력으로 누룰 수 있도록 스크라이브 헤드(110)를 하강시킨다.
따라서, 스크라이브 휠(140)은 기판(10)의 상면에 압력을 가하여 최초로 접할 수 있다.
이와 동시에, 거리측정부(312)는 기판(10)의 상면까지의 거리값(d)을 측정하여, 이를 제어부(320)로 전송하고, 압력측정부(340)는 스크라이브 휠(140)에 의해 기판(10)의 상면에 가해지는 압력값(p)을 측정하여 이를 제어부(320)로 전송한다.
상기 제어부(320)는, 상기 측정되는 거리값(d)이 상술된 바와 같이 산출되는 평균거리값(Pav)을 이루도록 승강부(330)의 승강이동을 제어한다.
이에 따라, 도 8에 도시되는 바와 같이, 상기 스크라이브 휠(140)은 기판(10)의 상면에서 기준깊이(Ds)를 이루도록 위치된다.
따라서, 스크라이브 휠(140)은 바람직한 기준깊이(Ds)를 이루는 스크라이브 라인을 형성할 수 있는 기준 위치에 위치 및 대기될 수 있다.
이어, 이동부(150)는 제어부(320)로부터 제어 신호를 받아 스크라이브 유닛(100)을 도시되지 않은 구동장치를 사용하여 X축을 따라 미리 정해진 이동 길이 및 이동 속도로 이동시킨다.
이때, 본 발명에 따르는 깊이조절유닛(302)은 승강부(330)의 승강 유동을 실시간으로 제어하여 스크라이브 휠(140)의 상하 위치를 가변 조절한다.
이에 따라, 스크라이브 헤드(110)가 X축을 따라 이동됨과 아울러, 스크라이브 휠(140)은 기판(10)의 상면에서 상기 기준깊이(Ds)를 균일하게 유지하면서 회전되어 X축 스크라이브 라인을 형성할 수 있다.
상기 제어부(320)는 상기 X축 스크라이브 라인의 형성이 완료되었는지를 판단한다.
상기 X축 스크라이브 라인의 형성이 완료되면, 제어부(320)는 구동 장치 및 승강부(330)의 작동을 제어하여, 도 7에 도시된 바와 같이 스크라이브 휠(140)을 원위치로 복귀시킨다.
본 발명의 제 3실시예는 스크라이브 라인을 형성하기 위해 기판의 표면에 스크라이브 휠이 최초로 접하는 경우, 휠이 장착되는 스크라이브 헤드의 위치 정보 및 기판에 가해지는 압력값 정보를 동시에 사용하여, 균일한 깊이를 갖는 스크라이브 라인 형성을 위한 스크라이브 휠의 기준 위치를 정밀하게 조절할 수 있다.
본 발명의 제 3실시예는 회전부를 사용하여 상기 거리측정부를 회전시킬 수 있기 때문에, 기판 상면에서 스크라이브 라인이 형성될 위치가 아닌 다른 위치에서의 거리값 측정 오류를 미연에 방지할 수 있다.
본 발명에 따르는 제 3실시예는, 스크라이브 라인을 형성하면서, 실시간으로 기판에 균일한 스크라이브 라인의 깊이가 보다 정밀하게 형성되도록 할 수 있다.
기판 절단 장치
본 발명의 기판 절단 장치는 스크라이브 장치와, 브레이킹 장치(미도시)를 포함한다.
상기 스크라이브 장치는 상술된 제 1,2,3실시예에 언급된 스크라이브 장치 중 어느 하나가 채택될 수 있다.
상기 브레이킹 장치는 스크라이브 라인이 형성된 기판(10)에서, 상기 스크라이브 라인에 브레이킹을 실시하여, 기판(10)을 다수의 단위 기판으로 브레이킹 할 수 있다.
따라서, 상기 스크라이브 장치에 의해 스크라이브 라인은 기판(10)의 표면에서 균일한 깊이를 이루어 형성되고, 브레이킹 장치는 상기 스크라이브 라인을 브레이킹하기 때문에, 브레이킹 후, 각 단위기판들의 테두리는 브레이킹에 의한 파손 불량없이 깨끗한 브레이킹 면을 이룰 수 있다. 이는, 각 셀단위로 브레이킹되어 제조되는 단위 기판 자체의 품질 향상을 도모할 수 있다.
기판 스크라이브 방법
본 발명의 기판 스크라이브 방법은 도 1 내지 도 8을 참조 하여 설명한 스크라이브 유닛의 구성을 참조하기로 한다.
도 10은 기판 스크라이브 방법의 일 예를 보여주는 흐름도이다.
제 1단계
스크라이브 유닛(100)을 기판(10)의 상부에 위치시킨다.
여기서, 상기 기판(10)의 표면 또는 상면에는 스크라이브 예정라인이 미리 형성된다.
상기 스크라이브 유닛(100)에 구비되는 스크라이브 휠(140)을 상기 스크라이브 예정라인에 최초로 접하도록 이동시킨다. 상기 이동은 승강부(330)의 구동에 의하여 실시될 수 있다.
이때, 상기 스크라이브 휠(140)이 기판에 소정의 깊이를 형성하도록 위치시킨다.
제 2단계
승강부(330)를 사용하여 스크라이브 휠(140)을 상기 깊이가 기설정되는 기준깊이(Ds)에 이르도록 이동 위치시킨다.
상기 제 2단계를 상세하게 설명한다.
도 10을 참조 하면, 상기 기준깊이(Ds)를 이루는 경우에 상기 기판(10)의 상부에 위치되는 측정위치에서 상기 기판(10)의 표면까지 측정되는 기준거리값(d0)을 설정한다.
스크라이브 유닛(100)에 설치되는 거리측정부(310)를 사용하여 기판(10)의 표면까지의 거리값(d)을 측정하고, 이를 제어부(320)로 전송한다.
상기 제어부(320)는 상기 측정되는 거리값(d)이 상기 기설정된 기준거리값(d0)과 동일한 지의 여부를 판단한다.
상기 측정되는 거리값(d)과 상기 기설정된 기준거리값(d0)이 서로 동일하게 형성되도록 스크라이브 휠(140)을 위치시킨다.
따라서, 상기 스크라이브 휠(140)은 기준깊이(Ds)를 갖는 스크라이브 라인을 형성할 수 있는 기준 또는 대기 위치에 위치될 수 있다.
이어, 상기 스크라이브 휠(140)을 이동시키면서 스크라이브 라인을 형성한다.
상기 스크라이브 휠(140)의 이동은 제 1,2,3실시예에서 언급된 바와 같이 이동부에 의해 스크라이브 유닛(100)이 이동됨으로써 구현된다.
만일, 상기 측정되는 거리값(d)과 상기 기설정된 기준거리값(d0)이 서로 동일하지 않는 경우, 제어부(320)는 측정되는 거리값(d)과 기준거리값(d0)이 서로 동일해질때까지 스크라이브 휠(140)의 승강이동을 제어하여 스크라이브 휠(140)의 기준 위치를 조절한다.
즉, 상기 거리측정부(310)는 스크라이브 휠(140)의 회전 이동에 의해 스크라이브 라인을 하는 동안에 기판(10)의 표면과의 거리값(d)을 실시간으로 측정하고, 제어부(320)는 측정되는 거리값(d)과 기준거리값(d0)이 서로 동일해질 수 있도록 승강부(330)를 사용하여 스크라이브 휠(140)의 승강 위치를 조절한다.
이어, 제어부(320)는 스크라이브 라인의 형성이 완료되었는지를 판단한다.
스크라이브 라인의 형성이 완료된 경우에, 제어부(320)는 이동부(150) 및 승강부(330)를 사용하여 스크라이브 휠(140)을 원위치로 복귀시킨다.
상기에 기술되는 방법은 본 발명에 따르는 제 1실시예의 구성을 통한 작용을 참조할 수 있다.
도 11은 기판 스크라이브 방법의 다른 예를 보여주는 흐름도이다.
도 11을 참조 하면, 상술된 기준깊이(Ds)를 이루는 경우에 상기 스크라이브 휠(140)이 상기 스크라이브 예정라인에 가하는 기준압력값(p0)을 설정한다.
스크라이브 휠(140)의 둘레에 설치되는 압력측정부(P0)를 사용하여 스크라이브 휠(140)이 기판(10)의 스크라이브 예정라인에 접하는 경우에 발생되는 압력값(p)을 측정하여, 이를 제어부(320)로 전송한다.
상기 압력측정부(340)는 상기 제 2실시예에 언급된 구성을 사용할 수 있다.
상기 제어부(320)는 상기 측정되는 압력값(p)이 상기 기설정된 기준압력값(p0)과 동일한 지의 여부를 판단한다.
상기 측정되는 압력값(p)과 상기 기설정된 기준압력값(p0)이 서로 동일해지도록 스크라이브 휠(140)의 승강 위치를 조절한다. 따라서, 스크라이브 휠(140)은 기준깊이(Ds)를 갖는 스크라이브 라인을 형성하기 위한 기준 또는 대기 위치에 위치된다.
이어, 스크라이브 휠(140)을 기판(10)을 따라 이동시키면서 스크라이브 라인을 형성한다.
상기 스크라이브 휠(140)의 이동은 제 1,2,3실시예에서 언급된 바와 같이 이동부(150)에 의해 스크라이브 유닛(100)이 이동됨으로써 구현된다.
만일, 상기 측정되는 압력값(p)과 상기 기설정된 기준압력값(p0)이 서로 동일하지 않는 경우, 제어부(320)는 측정되는 압력값(p)과 기준압력값(p0)이 서로 동일해질때까지 스크라이브 휠(140)의 승강이동을 제어한다.
이어, 상기 압력측정부(340)는 스크라이브 휠(140)의 회전 이동에 의해 스크라이브 라인을 하는 동안에 발생되는 압력값(p)을 실시간으로 측정하고, 제어부(320)는 측정되는 압력값(p)과 기준압력값(p0)이 서로 동일해질 수 있도록 승강부(330)를 사용하여 스크라이브 휠(140)의 승강 위치를 연속적으로 조절한다.
이어, 제어부(320)는 스크라이브 라인의 형성이 완료되었는지를 판단한다.
스크라이브 라인의 형성이 완료된 경우에, 제어부(320)는 이동부(150) 및 승강부(330)를 사용하여 스크라이브 휠(140)을 원위치로 복귀시킨다.
상기에 기술되는 방법은 본 발명에 따르는 제 2실시예의 구성을 통한 작용을 참조할 수 있다.
도 12는 기판 스크라이브 방법의 또 다른 예를 보여주는 흐름도이다.
도 12를 참조 하면, 상술된 기준깊이(Ds)를 이루는 경우에 스크라이브 유닛(100)의 측정위치에서 상기 스크라이브 예정라인까지의 기준거리값(ds)을 설정한다.
이와 아울러, 상술된 기준깊이(Ds)를 이루는 경우에 상기 스크라이브 휠(140)이 상기 스크라이브 예정라인에 가하는 기준압력값(p0)을 설정한다.
거리측정부(312)를 사용하여 기판(10)의 표면에 형성되는 스크라이브 예정라인까지의 거리값(d)을 측정하고, 압력측정부(340)를 사용하여 스크라이브 휠(140)이 스크라이브 예정라인에 접하는 경우에 발생되는 압력값(p)을 측정한다.
제어부(320)는 상기 측정되는 거리값(d)이 기준거리값(d0)과 동일해지는 스크라이브 휠(140)의 승강위치를 제 1승강 위치값(P1)으로 저장하고, 상기 측정되는 압력값(p)이 기준압력값(p+0)과 동일해지는 스크라이브 휠(140)의 승강위치를 제 2승강 위치값(P2)으로 저장한다,
여기서, 상기 제 1,2승강위치값(P1,P2)은 상기 제3실시예에서 언급한 바와 같이 승강부(330)의 승강위치값일 수 있다.
제어부(320)는 상기 제 1,2승강 위치값(P1,P2)의 평균위치값(Pav)을 산출하여 저장한다.
그리고, 제어부(320)는 승강부(330)를 사용하여 상기 평균위치값(Pav)을 이루도록 스크라이브 휠(140)의 승강 위치를 제어한다.
상기 스크라이브 휠(140)의 승강 이동은 제 1,2,3실시예에서 언급된 바와 같이 이동부에 의해 스크라이브 유닛(100)이 이동됨으로써 구현된다.
이어, 제어부(320)는 스크라이브 라인의 형성이 완료되었는지를 판단한다.
스크라이브 라인의 형성이 완료된 경우에, 제어부(320)는 이동부(150) 및 승강부(330)를 사용하여 스크라이브 휠(140)을 원위치로 복귀시킨다.
상기에 기술되는 방법은 본 발명에 따르는 제 3실시예의 구성을 통한 작용을 참조할 수 있다.
본 발명에 따르는 실시예는 기준깊이를 형성하도록 기판 상면과의 거리값으로 확인하고, 기판에 가해지는 압력을 추가적으로 더 확인함으로써, 스크라이브 휠의 대기 위치를 더욱 정밀하게 제어할 수 있음과 아울러, 더욱 정확한 기준깊이를 갖는 스크라이브 라인을 형성할 수 있다.
10 : 기판 100 : 스크라이브 유닛
110 : 스크라이브 헤드 120 : 회전부
130 : 휠 고정체 140 : 스크라이브 휠
150 : 이동부 300, 301, 302 : 깊이조절부
310, 312 : 거리 측정부 320 : 제어부
330 : 승강부 340 : 압력측정부
Ds : 기준깊이 d : 거리값
d0 : 기준거리값 p : 압력값
p0 : 기준압력값 P1 : 제 1승강위치값
P2 : 제 2승강위치값 Pav : 평균위치값

Claims (11)

  1. 기판에 형성된 스크라이브 예정라인에 압력을 가하여 소정의 깊이를 갖는 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 유닛; 및
    상기 스크라이브 유닛에 설치되며, 상기 스크라이브 라인의 깊이가 기설정되는 기준깊이를 이루도록 상기 스크라이브 유닛의 이동을 제어하는 깊이조절유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 깊이조절유닛은,
    상기 스크라이브 유닛에 설치되며, 상기 기판의 표면까지의 거리값을 측정하는 거리 측정부와,
    상기 스크라이브 유닛을 승강이동시키는 승강부와,
    상기 거리값에 대한 기준거리값이 기설정되고, 측정되는 상기 거리값이 상기 기준거리값과 동일해지도록 상기 승강부의 승강이동을 제어하는 제어부를 구비하되,
    상기 기준거리값은 상기 기준깊이를 이루는 경우에 상기 거리 측정부로부터 기판의 표면까지 측정되는 거리값인 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 깊이조절유닛은,
    상기 압력에 대한 압력값을 측정하는 압력측정부와,
    상기 스크라이브 유닛을 승강시키는 승강부와,
    상기 압력값에 대한 기준압력값이 기설정되고, 측정되는 상기 압력이 상기 기준압력값과 동일해지도록 상기 승강부의 승강이동을 제어하는 제어부를 구비하되,
    상기 기준압력값은 상기 기준깊이를 이루는 경우에 상기 기판의 표면에 가해지는 압력값인 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 깊이조절유닛은,
    상기 스크라이브 유닛에 설치되며, 상기 기판의 표면까지의 거리값을 측정하는 거리측정부와,
    상기 압력에 대한 압력값을 측정하는 압력측정부와,
    상기 스크라이브 유닛을 승강시키는 승강부와,
    상기 거리값에 대한 기준거리값이 기설정되고, 측정되는 상기 거리값이 상기 기준거리값과 동일해지는 상기 승강부의 제 1승강위치값을 저장하고, 상기 압력값에 대한 기준압력값이 기설정되고, 측정되는 상기 압력값이 상기 기준압력값과 동일해지는 상기 승강부의 제 2승강위치값을 저장하여, 상기 제 1승강위치값과 상기 제 2승강위치값과의 평균위치값을 산출하고, 상기 평균위치값을 이루도록 상기 승강부의 승강이동을 제어하는 제어부를 구비하되.
    상기 기준거리값은 상기 기준깊이를 이루는 경우에 상기 거리측정부로부터 상기 기판의 표면까지 측정되는 거리값이고,
    상기 기준압력값은 상기 기준깊이를 이루는 경우에 상기 기판의 표면에 가해지는 압력값인 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
  5. 제 2항 또는 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 거리측정부는, 상기 스크라이브유닛에 설치되는 회전부와 연결되고,
    상기 회전부는, 상기 스크라이브 예정라인을 측정할 수 있도록 상기 거리측정부를 회전시키는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
  6. 제 3항 또는 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 스크라이브유닛에는 회전되어 상기 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 휠이 설치되고,
    상기 압력측정부는, 상기 스크라이브 휠의 둘레를 따라 설치되어, 상기 스크라이브 라인을 형성하는 동안에 상기 압력값을 연속적으로 측정하는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
  7. 제 1항 내지 제 6항 중 어느 한 항의 스크라이브 장치; 및
    상기 스크라이브 라인을 따라 브레이킹하는 브레이킹장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치.
  8. 스크라이브 유닛에 구비되는 스크라이브 휠을 이동시켜 기판에 소정의 깊이를 갖는 스크라이브 라인을 형성하도록 상기 기판에 형성된 스크라이브 예정라인에 접하도록 하는 제 1단계; 및
    상기 깊이가 기설정되는 기준깊이에 이르도록 상기 스크라이브 휠의 위치를 이동시키는 제 2단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 스크라이브 방법.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 제 2단계는,
    상기 기준깊이를 이루는 경우에 상기 기판의 상부에 위치되는 측정위치에서 상기 기판의 표면까지 측정되는 기준 거리값을 설정하고,
    상기 기판의 상부의 측정위치에서 상기 기판의 표면까지의 거리값을 측정하고,
    측정되는 상기 거리값이 상기 기준거리값과 동일해지도록 상기 스크라이브 휠의 승강 위치를 제어하는 것을 특징으로 하는 기판 스크라이브 방법.
  10. 제 8항에 있어서,
    상기 제 2단계는,
    상기 기준깊이를 이루는 경우에 상기 휠이 상기 스크라이브 예정라인에 가하는 기준압력값을 설정하고,
    상기 휠이 상기 스크라이브 예정라인에 접하는 경우 발생되는 압력값을 측정하고,
    측정되는 상기 압력값이 상기 기준압력값과 동일해지도록 상기 스크라이브 휠의 승강 위치를 제어하는 것을 특징으로 하는 기판 스크라이브 방법.
  11. 제 8항에 있어서,
    상기 기준깊이를 이루는 경우에 상기 기판의 상부에 위치되는 측정위치에서 상기 스크라이브 예정라인까지의 기준 거리값을 설정하고,
    상기 기준깊이를 이루는 경우에 상기 휠이 상기 스크라이브 예정라인에 가해지는 기준압력값을 설정하고,
    상기 기판의 상부에 위치되는 측정위치에서 상기 스크라이브 예정라인까지의 거리값을 측정하고,
    상기 휠이 상기 스크라이브 예정라인에 접하는 경우 발생되는 압력값을 측정하고,
    측정되는 상기 거리값이 상기 기준거리값과 동일해지는 상기 스크라이브 휠의 승강위치를 제 1승강위치값으로 설정하고,
    측정되는 상기 압력값이 상기 기준압력값과 동일해지는 상기 스크라이브 휠의 승강위치를 제 2승강위치값으로 설정하고,
    상기 제 1승강위치값과 상기 제 2승강위치값과의 평균위치값을 산출하고,
    상기 평균위치값을 이루도록 상기 스크라이브 휠의 승강 위치를 제어하는 것을 특징으로 하는 기판 스크라이브 방법.
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