KR20090049985A - 변위감응기를 이용한 스크라이빙 방법 및 장치 - Google Patents

변위감응기를 이용한 스크라이빙 방법 및 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20090049985A
KR20090049985A KR1020080097686A KR20080097686A KR20090049985A KR 20090049985 A KR20090049985 A KR 20090049985A KR 1020080097686 A KR1020080097686 A KR 1020080097686A KR 20080097686 A KR20080097686 A KR 20080097686A KR 20090049985 A KR20090049985 A KR 20090049985A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
needle
scribing
workpiece
displacement
displacement sensor
Prior art date
Application number
KR1020080097686A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101010787B1 (ko
Inventor
배응준
Original Assignee
배응준
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 배응준 filed Critical 배응준
Publication of KR20090049985A publication Critical patent/KR20090049985A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101010787B1 publication Critical patent/KR101010787B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
    • H01L21/77—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate
    • H01L21/78—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67092—Apparatus for mechanical treatment
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)

Abstract

본 발명은 변위감응기를 이용한 스크라이빙 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 스크라이빙 공정시 가공물의 변위 변화에 따라 적절한 파워를 설정하도록 하여, 가공물의 불량율을 제로화시킬 수 있는 변위감응기를 이용한 스크라이빙 방법 및 장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 변위감응기를 이용한 스크라이빙 방법 및 장치는 가공물과 니들 사이의 변위를 감지하는 변위감응기가 구비됨으로써, 스크라이빙 공정시 니들이 가공물에 가하는 파워, 포스 또는 니들의 위치를 제어하여 가공물의 파손이나 불량율을 제로화 시킬 수 있는 효과가 있다.
스크라이빙, 변위감응기, 가공물, 평탄도

Description

변위감응기를 이용한 스크라이빙 방법 및 장치{Method and Apparatus for Scribing of Substrate using Displacement Sensor}
본 발명은 변위감응기를 이용한 스크라이빙 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 스크라이빙 공정시 가공물의 변위 변화에 따라 적절한 파워를 설정하도록 하여, 가공물의 불량율을 제로화시킬 수 있는 변위감응기를 이용한 스크라이빙 방법 및 장치에 관한 것이다.
일반적으로 스크라이빙 공정은 평탄한 형상의 글래스 상면에 적층된 보호필름을 스크라이빙하기 위한 공정을 말하며, 가공물 상면에 각선을 형성해 그 각선을 따라 휠, 니들 등을 이용해 하부 방향으로 힘을 가하면서 스크라이빙한다.
도 1은 종래의 스크라이빙 장치를 나타낸 도면이고, 도 2는 도 1에 도시된 휠 헤드를 나타낸 도면이다. 도 1 및 도 2를 참조하면, 종래의 스크라이빙 장치는 가공물에 크랙을 형성하는 스크라이빙 휠(180), 스크라이빙 휠(180)을 고정하기 위 한 휠 홀더(170) 및 휠 홀더(170)을 장착하기 위한 휠 헤드(200)를 구비한다.
스크라이빙 휠(180)은 가장자리를 일정한 각도로 연마한 직경 2~3mm 사이의 원형 디스크 형상으로 가공물과 직접 접촉되어 가공물에 소정 깊이의 크랙을 형성하게 된다.
휠 홀더(170)는 휠 헤드(200)로부터 가해지는 압력을 스크라이빙 휠(180)에 전달함과 아울러 스크라이빙 휠(180)을 고정 및 지지하는 역할을 한다. 이를 위해, 휠 홀더(170)는 스크라이빙 휠(180)을 고정하는 고정나사(190)와, 고정된 스크라이빙 휠(180)을 지지하기 위한 휠 고정 지그(140)와, 휠 홀더(170)를 휠 헤드(200)에 장착하기 위한 베어링(160)으로 구성된다.
휠 헤드(200)는 도시하지 않은 콤프레셔에 의해 공급되는 압축 공기의 공기압(Air Pressure)에 따라 휠 홀더(170)를 하강 및 상승시키게 된다. 이를 위해, 휠 헤드(200)는 휠 홀더(170)가 장착되는 홀더 장착부(220), 스크라이빙 휠(180)과 가공물의 접촉을 제어하는 스위치부(240) 및 외부로부터 공급되는 압축 공기의 공기압을 휠 홀더(170)에 공급하는 에어 실린더부(260)로 구성된다. 이와 같은, 휠 헤드(200)는 볼 스크류(Ball Screw), 풀리-벨트(Pulley-Belt) 및 LM 가이드(또는 리니어 가이드)와 같은 이송장치의 구동축을 따라 이송된다.
도 3은 종래의 스크라이빙 공정을 나타낸 도면이다. 보다 자세히 설명하면, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이 에어 실린더부(260)에 콤프레셔에 의해 압축공기가 공급되면 압축된 공기의 에어압에 의해 가압체(270)가 상부가공물(2a)쪽으로 하강하게 된다. 가압체(270)를 하강시키는 에어압은 바(250)에 전달되고, 바(250)는 고정축(280)을 중심으로 하여 소정 각도(a에서 b로 이동)로 기울어지면서 상부가공물(2a) 쪽으로 하강하게 된다. 바(250)의 하강으로 인해 휠 홀더(170) 및 가압 돌기(230)에 에어압이 전달된다. 이때, 휠 홀더(170)는 전달된 에어압에 의해 휠(180)을 상부가공물(2a) 속으로 침투시키게 된다.
또한, 가압돌기(230)는 에어압의 전달을 검출부(290)에 알리게 되고 이로 인해 검출부(290)는 전기신호를 온(on)상태로 인식하여 휠 헤드(200)의 위치를 제어하게 된다. 이때, 휠 헤드(200)가 볼 스크류, 풀리 벨트 및 LM 가이더 등과 같은 이송장치의 구동축(300)을 따라 소정 깊이의 수직크랙(d1)을 형성하게 된다. 이러한 수직크랙(d1)이 형성되면 도시하지 않은 브레이킹바를 이용하여 가공물(2)에 충격을 가해 수직크랙(d1)을 크게 형성시키게 된다. 그 후, 동일한 방법으로 하부가공물(2b)에 수직크랙(d1)을 형성시키기도 한다.
그러나, 이와 같은 종래의 스크라이빙 장치는 가공물의 미세한 굴곡을 고려하지 않고 스크라이빙 공정을 수행한다. 가공물 자체의 제조공정 중에 가공물의 면에는 빈번하게 굴곡이 생긴다. 이러한 굴곡을 종래의 스크라이빙 장치를 이용하여 스크라이빙할 경우, 도드라진 굴곡의 경우 크랙이 너무 깊게 생기거나, 가공물이 파손된다. 또한, 가공물이 함몰된 경우 크랙이 생기지 않아 가공물에 스크라이빙이 되지 않는 문제점이 있다.
상기와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 스크라이빙 공정시 가공물의 파손이나 가공물층 절단 불량을 감소시키고, 가공물에 안정적으로 크랙이 형성되도록 스크라이빙이 가능한 스크라이빙 방법 및 장치를 제공하도록 하는 데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 구성은, 니들의 위치 또는 파워를 제어하는 제어단계(a); 상기 니들이 가공물에 일정 파워를 가하며 스크라이빙하는 스크라이빙단계(b); 상기 가공물과 상기 니들 사이의 높이 변화를 감지하는 감지단계(c); 상기 감지단계(c)에서 측정된 변위값과 기설정된 변위값을 비교, 판단하는 비교단계(d); 상기 비교단계(d)에서의 결과에 따라 상기 니들의 위치값 또는 파워값을 변환시키는 변환단계(e); 및 상기 변환단계(e) 이후에 상기 제어단계(a)로 피드백하는 피드백단계(f);를 포함하는 것을 특징으로 하는 변위감응기를 이용한 스크라이빙 방법을 제공한다.
또한, 가공물을 스크라이빙하기 위한 스크라이빙 장치에 있어서, 가공물을 스크라이빙하는 니들; 상기 니들의 위치를 상하로 조절하는 액츄에이터; 상기 니들과 상기 가공물의 높이 변화를 감지하는 변위감응기; 및 상기 액츄에이터를 제어하는 제어부; 를 포함하여 구성되고, 상기 제어부는 기설정된 변위값과 상기 변위감 응기에서 측정된 변위값을 비교하여 상기 니들의 위치값을 변환시키고 피드백시켜, 상기 변위감응기에 측정된 변위에 따라 상기 니들의 위치를 변환시킬 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 변위감응기를 이용한 스크라이빙 장치를 제공한다.
상기 니들 상부에 위치하여 상기 니들에 파워를 인가하는 서보제어기구;를 거 포함하고, 상기 액츄에이터는 상기 서보제어기구와 연결되고, 상기 제어부는 상기 액츄에이터와 상기 서보제어기구를 제어하며, 기설정된 변위값과 상기 변위감응기에서 측정된 변위값을 비교하여 상기 니들의 위치값 또는 파워값을 변환시키고 피드백시켜, 상기 변위감응기에 측정된 변위에 따라 상기 니들의 위치 또는 파워를 변환시킬 수 있도록 하는 것을 특징으로 한다.
가공물을 스크라이빙하기 위한 스크라이빙 장치에 있어서, 가공물을 스크라이빙하는 니들; 상기 니들 상부에 위치하여 상기 니들에 파워를 인가하는 서보제어기구; 상기 니들과 상기 가공물의 높이 변화를 감지하는 변위감응기; 및 상기 서보제어기구를 제어하는 제어부; 를 포함하여 구성되고, 상기 제어부는 기설정된 변위값과 상기 변위감응기에서 측정된 변위값을 비교하여 상기 니들의 파워값을 변환시키고 피드백시켜, 상기 변위감응기에 측정된 변위에 따라 상기 니들의 파워를 변환시킬 수 있도록 하는 것을 특징으로 한다.
상기 액츄에이터는 피에조 엑츄에이터(Piezo-Actuator)인 것을 특징으로 한다. 상기 액츄에이터는 서보 엑츄에이터(Servo-Actuator)인 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 변위감응기를 이용한 스크라이빙 방법 및 장치는 가공물과 니들 사이의 변위를 감지하는 변위감응기가 구비됨으로써, 스크라이빙 공정시 니들이 가공물에 가하는 포스, 파워 또는 니들의 위치를 조절하여 가공물의 파손이나 불량율을 제로화시킬 수 있는 효과가 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 변위감응기를 이용한 스크라이빙 방법 및 장치를 더욱 상세히 설명한다.
도 4는 본 발명의 스크라이빙 공정을 나타낸 순서도이다. 도 4를 참조하면, 스크라이빙 공정은 제어단계, 스크라이빙 단계, 감지단계, 비교단계, 변환단계, 피드백단계를 포함하여 구성된다.
제어단계는 니들의 위치 또는 포스, 파워를 제어하는 단계이며, 스크라이빙 단계는 니들을 가공물에 접촉시켜 가공물에 소정 깊이의 크랙을 형성하는 단계이고, 감지단계는 상기 가공물과 상기 니들 사이의 높이 변화, 변위값 변화를 감지하는 단계이다.
그리고 비교단계는 상기 감지단계에서 측정된 변위값과 기설정된 변위값을 비교하여 측정된 값이 기설정된 값보다 '크다' 또는 '작다' 또는 '일치한다'를 판단하는 단계이고, 변환단계는 상기 비교단계에서 판단된 결과에 따라 니들의 위치 또는 포스, 파워를 변환시키는 단계이며, 피드백단계는 상기 변환단계에서 변환된 값을 상기 제어단계로 피드백시키는 단계이다.
즉, 본 발명의 스크라이빙 공정은 상기 비교단계에서 가공물과 니들 사이에 높이 변화에 따라 측정된 변위값이 기설정된 변위값보다 크거나 또는 작으면, 상기 변환단계에서 니들의 처음 위치 또는 파워를 변환시켜서 변환된 값을 상기 제어단계로 전달하여 니들의 위치 또는 파워가 변환되는 것이다.
이러한 공정은, 높이 변화를 감지하고, 비교하는 단계를 더 포함시켜서, 미세한 높이 변화를 감지하고, 이에 따라 니들의 위치 또는 가해지는 파워를 즉시로 변환시킬 수 있도록 하는 효과를 갖는다. 이하 파워, 포스 또는 압력에 해당되는 용어는 파워로 통칭하여 사용, 표현할 수 있다.
도 5는 본 발명의 스크라이빙 장치를 나타낸 도면이고, 도 6은 본 발명의 스크라이브 기구를 상세하게 나타낸 사시도이다. 도 5 및 도 6을 참조하면, 본 발명에 따른 스크라이빙 장치는 가공물을 스크라이빙하는 니들(10), 가공물과 니들(10) 사이의 높이 변화를 감지하는 변위감응기(20), 상기 니들(10)에 파워, 포스를 가하는 서보제어기구(30), 상기 니들(10)의 위치를 상하로 조절하는 액츄에이터(40), 상기 서보제어기구(30)와 상기 액츄에이터(40)를 제어하는 제어부(60), 상기 변위감응기(20)로 측정된 값에 따라 상기 니들(10)의 위치값 또는 파워값을 변환시켜 상기 제어부(60)로 피드백시키는 변환수단(50)을 포함하여 구성된다. 변환수단(50)은 제어부(60) 내에 구성하는 것도 가능하다.
상기 니들(10)은 그 선단부가 원뿔 형상을 이루어 뾰족하게 되어 있다. 이 니들(10)의 하단부에는 각뿔 형상을 이루는 다이아몬드 또는 고강도 입자가 고착되어있다. 이 다이아몬드 또는 고강도 입자의 정점이 아래를 향하여 가공물의 상면에 접촉된다.
상기 변위감응기(20)는 가공물과 니들(10) 사이의 높이 변화를 측정하여, 측정된 변위값을 상기 변환수단(50)으로 제공하며, 가공물과 니들(10) 사이의 높이 변화를 측정하기 위해 니들(10) 부근에 설치되는 것이 바람직하다.
상기 서보제어기구(30)는 서보제어기(미도시)를 포함하여 구성되며, 서보제어기에 공급되는 파워를 통해 니들(10)이 가공물에 파워, 포스를 가하는 것으로, 상기 니들(10) 상측에 설치되는 것이 바람직하다.
상기 액츄에이터(40)는 모터(72), 플레이트(74), 가이드(76) 및 슬라이더(78)를 포함하여 구성되는 슬라이더 기구(70)에 설치고정되며, 상기 니들(10)을 상하로 이동 또는 진동시키는 역할을 한다.
여기서, 상기 액츄에이터(40)는 수직방향으로 동작하는 피에조 액추에이터 (Piezo-Actuator) 또는 서보 액추에이터(Servo-Actuator)로 구성하는 것이 바람직하다. 피에조 액츄에이터는 고주파 교류전압을 받아서 수직방향으로 주기적으로 신축하는 것이고, 서보 액추에이터는 서보제어 값을 받아서 수직방향으로 제어량만큼 신축되어 니들(10)을 수직방향으로 동작시킨다.
그러면 이 주기적 신축에 따른 동작이 니들(10)를 통해서 가공물에 전달되고, 가공물에는 수직크랙을 형성하게 된다. 이러한 진동에 의한 스크라이빙은 가공물을 국소적으로 파괴시켜 가공물의 스크라이빙을 양호하게 하며, 가공물에 수평크 랙이 발생하는 것을 방지할 수 있게 된다.
상기 제어부(60)는 상기 서보제어기구(30)를 제어하여 상기 니들(10)이 가공물에 가하는 파워, 포스를 조절하거나 또는 상기 액츄에이터(40)를 제어하여 상기 니들(10)의 위치가 상승 또는 하강하도록 조절한다. 상기 제어부(60)는 도시하지 않은 스크라이빙 본체에 설치된다.
상기 변환수단(50)은 상기 변위감응기(20)에 기설정된 변위값과 측정된 변위값을 비교, 판단하여 그 결과에 따라 상기 니들(10)의 위치값 또는 파워값, 포스값을 변환시켜 상기 제어부(60)로 피드백시키는 역할을 하며, 상기 제어부(60) 부근에 설치되는 것이 바람직하다.
도 7은 본 발명에 따른 스크라이빙 장치의 작동상태를 나타낸 도면이다. 도 7을 참조하여, 본 발명에 따른 스크라이빙 장치의 작동에 대해 설명한다. 가공물(1)을 따라 이동시키는 이동기구(미도시)에 의해 니들(10)이 이동을 하면, 니들(10)이 가공물(1) 고정 상태에서 상면의 스크라이브를 실행한다. 이때, 니들(10)이 굴곡면이 있는 가공물(1)을 지나갈 때, 초기 설정 파워에서의 니들(10)의 변위가 순간적으로 변하기 때문에 이 변위량을 변위감응기(20)가 측정하게 된다. 전술한 측정방법으로 니들(10)의 변위량을 측정한 결과, 측정값이 기설정된 값에서 벗어나 있으면 니들(10)의 파워 또는 위치를 단계적으로 미세하게 증감, 변화시키게 된다.
여기에서, 니들(10)의 파워를 미세하게 조정할 수 있도록 하기 위해서는, 니 들(10)을 가압하는 가압수단으로 서보제어기(미도시)를 사용하고, 이 서보제어기에 공급되는 파워를 조절하는 서보제어기구(30)가 미세한 파워설정을 하게 됨으로써, 니들(10)에 가해지는 파워를 제어할 수 있게 된다.
또한, 니들(10)의 위치를 미세하게 조정할 수 있도록 하기 위해서는, 니들(10)의 위치를 제어하는 수단으로 피에조, 서보 액츄에이터(40)를 사용하여 니들(10)의 위치를 빠르게 이동시킨다. 이에 따라, 니들(10)은 가공물(1) 상면을 따라 이동하면서 가공물(1) 상면 또는 상측에 위치되는 막(1a)에 연속된 수직 크랙(d')을 발생시킬 수 있고, 더 나아가서는 스크라이브선을 형성할 수 있게 된다.
이와 같이 구성되는 본 발명의 스크라이빙 장치는 스크라이빙 공정시 상기 변위감응기(20)의 검출에 의해서 니들(10)의 위치 또는 파워가 제어됨으로써, 가공물(1)의 글래스(1b)에는 충격이 가지 않도록 하고 가공물(1) 상면 또는 상측의 막(1a)만 스크라이브하여 보다 안정적이고 정밀한 스크라이빙 공정이 이루어질 수 있게 된다.
한편, 파워 조절을 위한 서보제어기구(30)와 위치 조절을 위한 액츄에이터(40)는 동시에 복합적으로 적용할 수도 있으나, 둘 중 어느 하나만으로 니들(10)의 파워만을 제어하거나, 니들(20)의 위치만을 제어하도록 할 수도 있다.
도 8은 함몰된 굴곡이 있는 가공물을 스크라이빙하는 공정을 나타낸 도면이고, 도 9는 돌출된 굴곡이 있는 가공물을 스크라이빙하는 공정을 나타낸 도면이다. 가공물 자체의 제조공정에 따라 가공물의 면에는 빈번한 굴곡을 가지고 있으나, 이 러한 굴곡면 중에 함몰된 굴곡면 또는 돌출된 굴곡면을 갖는 가공물을 스크라이빙하기 위한 공정은 다음과 같다.
가공물을 이송시키는 이송장치에 의해 가공물이 이송되거나, 가공물이 고정된 상태에서 니들이 이송되면, 니들(10)은 일정한 파워로 가공물을 가압하며 가공물을 스크라이브한다. 이때, 가공물에 굴곡면이 있을 때, 상기 변위감응기(20)가 순간적으로 니들(10)의 높이 변화를 측정하게 되고, 측정된 값은 상기 변환수단(50)으로 제공되어 미리 설정된 기준값과 측정값을 비교하여 측정값이 기준값과 크거나 혹은 작은가를 판단하게 된다.
도 8과 같이, 니들(10)이 함몰된 굴곡면을 지날 때, 변위감응기(20)로 측정된 측정값이 기설정된 기준값보다 작아지게 되어, 상기 변환수단(50)은 감소된 양을 보정하여 니들(10)이 가공물을 긁는 깊이가 균일하도록 니들(10)의 위치값 또는 파워값을 변환시킨다. 이렇게 변환된 값은 상기 제어부(60)로 제공되고, 이후에 상기 서보제어기구(30)를 통해 가공물에 가하는 파워가 조절되거나 또는 상기 액츄에이터(40)를 통해 변위값이 조절된다.
도 9와 같이, 니들(10)이 돌출된 굴곡면을 지날 때, 변위감응기(20)로 측정된 측정값이 기설정된 기준값보다 크게 되어, 상기 변환수단(50)은 증가된 양을 보정하여 니들(10)이 가공물을 긁는 깊이가 균일하도록 니들(10)의 위치 또는 파워를 변환시킨다. 이렇게 변환된 값은 상기 제어부(60)로 제공되고, 이후에 상기 서보제어기구(30)를 통해 가공물에 가하는 파워가 조절되거나 또는 상기 액츄에이터(40)를 통해 변위값이 조절된다.
도 10은 스크라이브 된 가공물의 상태를 나타낸 도면이다. 도 10을 참조하면, 상기와 같은 작업 공정을 거쳐 스크라이빙 작업이 완료되면, 가공물(1) 또는 상측에 위치되는 막(1a)이 스크라이브된다. 이러한 과정을 통해 일련의 공정이 마무리된다.
이와 같이 본 발명의 스크라이빙 장치는 최적의 평탄도를 유지하면서, 균일하지 않은 가공물(1)을 정밀하게 스크라이빙함으로써, 가공물(1)의 파손이나 가공물층 절단 불량을 최소화할 수 있는 효과가 있다.
지금까지 기술한 바와 같이, 본 발명은 가공물을 스크라이브할 때에 가공물에 함몰된 굴곡면 또는 돌출된 굴곡면이 존재하면, 변위감응기가 니들과 가공물 사이의 높이 변화에 따른 설정값을 보정해줌으로써, 가공물에 균일한 평탄면을 형성하게 해주고, 가공물의 파손 및 가공층 절단 불량을 제로화시키는 것이 가능한 장점이 있다.
본 발명은 상기 실시예에서 상세히 설명되었지만, 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.
도 1은 종래의 스크라이빙 장치를 나타낸 도면이다.
도 2는 도 1에 도시된 휠 헤드를 나타낸 도면이다.
도 3은 종래의 스크라이빙 공정을 나타낸 도면이다.
도 4는 본 발명의 스크라이빙 공정을 나타낸 순서도이다.
도 5는 본 발명의 스크라이빙 장치를 나타낸 도면이다.
도 6은 본 발명의 스크라이브 기구를 상세하게 나타낸 사시도이다.
도 7은 본 발명에 따른 스크라이빙 장치의 작동상태를 나타낸 도면이다.
도 8은 함몰된 굴곡이 있는 가공물을 스크라이빙하는 공정을 나타낸 도면이다.
도 9는 돌출된 굴곡이 있는 가공물을 스크라이빙하는 공정을 나타낸 도면이다.
도 10은 스크라이브 된 가공물의 상태를 나타낸 도면이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
10: 니들
20: 변위감응기
30: 서보제어기구
40: 액츄에이터
50: 변환수단
60: 제어부

Claims (6)

  1. 니들의 위치 또는 파워를 제어하는 제어단계(a);
    상기 니들이 가공물에 일정 파워를 가하며 스크라이빙하는 스크라이빙단계(b);
    상기 가공물과 상기 니들 사이의 높이 변화를 감지하는 감지단계(c);
    상기 감지단계(c)에서 측정된 변위값과 기설정된 변위값을 비교, 판단하는 비교단계(d);
    상기 비교단계(d)에서의 결과에 따라 상기 니들의 위치값 또는 파워값을 변환시키는 변환단계(e); 및
    상기 변환단계(e) 이후에 상기 제어단계(a)로 피드백하는 피드백단계(f);를 포함하는 것을 특징으로 하는 변위감응기를 이용한 스크라이빙 방법.
  2. 가공물을 스크라이빙하기 위한 스크라이빙 장치에 있어서,
    가공물을 스크라이빙하는 니들;
    상기 니들의 위치를 상하로 조절하는 액츄에이터;
    상기 니들과 상기 가공물의 높이 변화를 감지하는 변위감응기; 및
    상기 액츄에이터를 제어하는 제어부; 를 포함하여 구성되고,
    상기 제어부는 기설정된 변위값과 상기 변위감응기에서 측정된 변위값을 비 교하여 상기 니들의 위치값을 변환시키고 피드백시켜, 상기 변위감응기에 측정된 변위에 따라 상기 니들의 위치를 변환시킬 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 변위감응기를 이용한 스크라이빙 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 니들 상부에 위치하여 상기 니들에 파워를 인가하는 서보제어기구;를 거 포함하고,
    상기 액츄에이터는 상기 서보제어기구와 연결되고,
    상기 제어부는 상기 액츄에이터와 상기 서보제어기구를 제어하며, 기설정된 변위값과 상기 변위감응기에서 측정된 변위값을 비교하여 상기 니들의 위치값 또는 파워값을 변환시키고 피드백시켜, 상기 변위감응기에 측정된 변위에 따라 상기 니들의 위치 또는 파워를 변환시킬 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 변위감응기를 이용한 스크라이빙 장치.
  4. 가공물을 스크라이빙하기 위한 스크라이빙 장치에 있어서,
    가공물을 스크라이빙하는 니들;
    상기 니들 상부에 위치하여 상기 니들에 파워를 인가하는 서보제어기구;
    상기 니들과 상기 가공물의 높이 변화를 감지하는 변위감응기; 및
    상기 서보제어기구를 제어하는 제어부; 를 포함하여 구성되고,
    상기 제어부는 기설정된 변위값과 상기 변위감응기에서 측정된 변위값을 비교하여 상기 니들의 파워값을 변환시키고 피드백시켜, 상기 변위감응기에 측정된 변위에 따라 상기 니들의 파워를 변환시킬 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 변위감응기를 이용한 스크라이빙 장치.
  5. 제 2 항에 있어서,
    상기 액츄에이터는 피에조 엑츄에이터(Piezo-Actuator)인 것을 특징으로 하는 변위감응기를 이용한 스크라이빙 장치.
  6. 제 2 항에 있어서,
    상기 액츄에이터는 서보 엑츄에이터(Servo-Actuator)인 것을 특징으로 하는 변위감응기를 이용한 스크라이빙 장치.
KR1020080097686A 2007-11-14 2008-10-06 변위감응기를 이용한 스크라이빙 방법 및 장치 KR101010787B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070115977 2007-11-14
KR20070115977 2007-11-14

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20090049985A true KR20090049985A (ko) 2009-05-19
KR101010787B1 KR101010787B1 (ko) 2011-01-25

Family

ID=40858585

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020080097686A KR101010787B1 (ko) 2007-11-14 2008-10-06 변위감응기를 이용한 스크라이빙 방법 및 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101010787B1 (ko)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20130113227A (ko) * 2012-04-05 2013-10-15 주식회사 탑 엔지니어링 스크라이브 장치, 기판 절단 장치 및, 기판 스크라이브 방법
KR20190032721A (ko) * 2017-09-19 2019-03-28 주식회사 탑 엔지니어링 스크라이빙 장치
KR20190036238A (ko) * 2017-09-27 2019-04-04 주식회사 탑 엔지니어링 기판 절단 장치

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08225333A (ja) * 1995-02-21 1996-09-03 Asahi Glass Co Ltd 板ガラスの切断方法及び装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20130113227A (ko) * 2012-04-05 2013-10-15 주식회사 탑 엔지니어링 스크라이브 장치, 기판 절단 장치 및, 기판 스크라이브 방법
KR20190032721A (ko) * 2017-09-19 2019-03-28 주식회사 탑 엔지니어링 스크라이빙 장치
KR20190036238A (ko) * 2017-09-27 2019-04-04 주식회사 탑 엔지니어링 기판 절단 장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR101010787B1 (ko) 2011-01-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20110095062A1 (en) Breaking apparatus and breaking method
KR100657196B1 (ko) 스크라이브 라인 형성장치 및 스크라이브 라인 형성방법
TWI380958B (zh) 劃線裝置
CN100480001C (zh) 划线器
KR100573986B1 (ko) 스크라이브 헤드 및 그 스크라이브 헤드를 이용한 스크라이브 장치 및 스크라이브 방법
KR100681828B1 (ko) 멀티 절단 시스템
JPWO2008126502A1 (ja) スクライブ装置及びスクライブ方法
JP2006231698A (ja) 超音波溶着装置
KR101010787B1 (ko) 변위감응기를 이용한 스크라이빙 방법 및 장치
JP2016007660A (ja) 超音波振動切断装置
JP4843180B2 (ja) チップホルダー、スクライブヘッドおよびスクライブ装置ならびにスクライブ方法
JP4142458B2 (ja) 硬質脆性板の振動スクライブ方法及び装置
KR102067987B1 (ko) 기판 절단 장치
KR20200065211A (ko) 스크라이빙 장치
KR101066140B1 (ko) 스크라이빙 장치 및 방법
JP7393963B2 (ja) 研削装置
CN111093897A (zh) 板状玻璃的制造方法
TWI521730B (zh) Substrate processing equipment
KR101653179B1 (ko) 스크라이빙 장치
US20170225287A1 (en) Grinding tool
JP4339732B2 (ja) 精密研削装置および精密研削方法
KR102571055B1 (ko) 스크라이빙 방법 및 스크라이빙 장치
JP2007190624A (ja) 板材加工定盤
KR20190091952A (ko) 기판 절단 장치
JP7436288B2 (ja) 保護部材形成装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140121

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150116

Year of fee payment: 5

LAPS Lapse due to unpaid annual fee