JP2007190624A - 板材加工定盤 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本板材加工定盤は、一面で板状被加工物Wを支持する可撓性の可変板体2と、この可変板体2の他面を支持し、板状被加工物Wの裏面の凹凸に倣って可変板体2を凹凸変形させる倣い支持手段3を備え、板状被加工物Wの表面に加工ツールを押し付けて平面加工をするときに、板状被加工物Wの裏面の凹凸に倣って倣い支持手段3を進退させ、板状被加工物Wの裏面の凹凸が加工後の板状被加工物Wの表面に転写されるのを防止する。
【選択図】 図1
Description
2 可変板体
3 アクチュエータ
4 ベース
5 取付部材
6 昇降部材
7 上側テーパ部材
8 可動部材
9 下側テーパ部材
10 駆動機構
11 レール
12 サーボモータ
13 ボールねじ
14 雌ねじ部材
15 変位センサー
15a センサー作動子
15b センサー本体
16 インターフェイスユニット
17 サーボアンプ
18 コントローラ
W ガラス基板
Claims (4)
- 一面で板状被加工物を支持する可撓性の可変板体と、この可変板体の他面を支持し、板状被加工物の裏面の凹凸に倣って前記可変板体を凹凸変形させる倣い支持手段を備え、板状被加工物の表面に加工ツールを押し付けて平面加工をするときに、板状被加工物の裏面の凹凸に倣って前記倣い支持手段を進退させ、板状被加工物の裏面の凹凸が加工後の板状被加工物の表面に転写されるのを防止することを特徴とする板材加工定盤。
- 前記倣い支持手段は、多数のアクチュエータからなることを特徴とする請求項1に記載の板材加工定盤。
- 前記アクチュエータはフルクローズド制御されることを特徴とする請求項2に記載の板材加工定盤。
- 予め加工前の板状被加工物の平坦度及び平行度を測定し、そのデータに基づき、倣い支持手段を進退制御させることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の板材加工定盤。
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-
2006
- 2006-01-17 JP JP2006008760A patent/JP2007190624A/ja active Pending
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