KR20130079555A

KR20130079555A - 진공 처리 장치

Info

Publication number: KR20130079555A
Application number: KR1020137010365A
Authority: KR
Inventors: 타카요시 히로노; 이사오 타다
Original assignee: 가부시키가이샤 알박
Priority date: 2010-10-06
Filing date: 2011-09-07
Publication date: 2013-07-10
Also published as: CN103154311B; US20130168243A1; JP5604525B2; US9109284B2; CN103154311A; TW201239123A; WO2012046384A1; JPWO2012046384A1

Abstract

장치의 소형화를 꾀하여 생산성이 좋은 저비용의 진공 처리 장치를 제공한다. 길이가 긴 시트 모양 기재(S)를, 진공 처리실(1)을 통하여 반송하고, 이 진공 처리실에서 시트 모양 기재에 소정의 처리를 실시한다. 진공 처리실(1)에, 단일의 처리 유니트(3)가 설치되고, 피드 롤러(6)와 권취 롤러(7)가 설치되는 진공 보조실(2)이 연달아 설치된다. 진공 처리실에서 처리 유니트 양측에 걸쳐 한 쌍의 제 1 롤러 유니트(4)가 구비되고, 제 1 롤러 유니트의 각각이 동일 간격으로 배치된 복수의 롤러(42)를 가지고, 각 롤러를 축 방향으로 서로 다르게 옮겨 배치하여, 시트 모양 기재가 두 롤러 유니트의 각 롤러에 나선 모양으로 감아 걸린다. 처리 유니트에 대향하는 시트 모양 기재의 한쪽 면을 표면으로 하고, 시트 모양 기재의 이면이 처리 유니트에 대향할 때에 이 시트 모양 기재의 일부를 소정 폭으로 처리 유니트 측에 시프트하는 시프트 수단(5)을 더 구비한다.

Description

진공 처리 장치{VACUUM TREATMENT APPARATUS}

본 발명은 길이가 긴 시트 모양 기재를 진공 처리실을 통하여 반송하고, 이 진공 처리실에서 시트 모양 기재에 소정의 처리를 실시하는 진공 처리 장치에 관한 것이다.

길이가 길고 수지제인 시트 모양 기재는 가요성(可撓性)을 가지고 가공성도 좋은 것으로부터, 그 표면에 소정의 금속막이나 산화물막 등의 소정의 박막을 성막하거나, 열처리나 플라즈마 처리를 실시하거나 하여 전자 부품이나 광학 부품으로 하는 것이 일반적으로 알려져 있고, 용도에 따라서는, 시트 모양 기재의 표면과 이면 양면에 동일한 소정 처리를 실시하는 경우가 있다.

이러한 시트 모양 기재의 표면과 이면 양면에 소정 처리를 실시하는 장치로서, 피드(feed) 롤러와, 권취(卷取) 롤러와, 시트 모양 기재를 감아내어 반송하는 반송 수단을 구비한 반송실 내에, 시트 모양 기재의 한쪽 면(표면)에 소정 처리를 행하는 하나의 처리 수단을 가지는 제 1 처리실과, 한쪽 면에 처리가 실시된 시트 모양 기재의 다른 면(이면)에, 상기와 동일한 처리를 실시하는 다른 처리 수단을 구비한 제 2 처리실을 각각 연달아 설치한 것이 알려져 있다(예를 들어, 특허 문헌 1 참조).

그러나, 상기 종래 예의 것에서는, 시트 모양 기재의 표면과 이면 양면으로의 처리를 별개의 처리실에서 실시하기 때문에, 장치 자체가 대형화할 뿐만 아니라, 부품 개수도 증가하여 고비용을 초래한다. 게다가, 피드 롤러로부터 피딩한 시트 모양 기재를 두 진공 처리실을 통하여 권취 롤러에 권취할 때까지의 경로가 길고, 생산성도 나쁘다.

[특허 문헌]

특허 문헌 1 : 일본 특허 출원 공개 제 2009-13473호 공보

본 발명은 이상의 점을 고려하여, 장치의 소형화를 꾀하여 생산성이 좋은 저비용의 진공 처리 장치를 제공하는 것을 그 과제로 하고 있다.

상기 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은 길이가 긴 시트 모양 기재를, 진공 처리실을 통하여 반송하고, 이 진공 처리실에서 시트 모양 기재에 소정의 처리를 실시하는 진공 처리 장치로서, 진공 처리실에, 단일의 처리 유니트가 설치됨과 동시에, 피드 롤러와 권취 롤러의 적어도 한쪽이 설치되는 진공 보조실이 연달아 설치된 것에 있어서, 진공 처리실에서 처리 유니트 양측에 걸쳐 한 쌍의 제 1 롤러 유니트가 구비되고, 제 1 롤러 유니트의 각각이 동일 간격으로 배치된 복수의 롤러를 가지고, 제 1 롤러 유니트의 각 롤러를 축 방향으로 서로 다르게 옮겨 배치하여, 시트 모양 기재가 각 롤러에 나선 모양으로 감아 걸릴 수 있도록 구성하고, 제 1 롤러 유니트의 일측의 각 롤러로부터 타측의 각 롤러로 향하는, 처리 유니트에 대향하는 시트 모양 기재의 한쪽 면을 표면으로 하고, 시트 모양 기재의 이면이 처리 유니트에 대향할 때에 이 시트 모양 기재의 일부를 소정 폭으로 처리 유니트 측에 시프트하는 시프트 수단을 더 구비하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 의하면, 한 쌍의 롤러 유니트에 의해, 처리 유니트의 전방에서, 이 처리 유니트에 대하여 시트 모양 기재의 표면 및 이면이 교대로 대향하도록 시트 모양 기재를 주회(周回) 반송됨과 동시에, 시프트 수단에 의해, 시트 모양 기재의 일부를, 예를 들어, 처리 유니트로부터 시트 모양 기재의 표면 또는 이면까지의 거리를 대략 동일하게 되도록 시프트 시키도록 하였기 때문에, 단일의 처리 유니트에서 효율적으로 시트 모양 기재의 표면과 이면에 동일 처리를 실시할 수 있다. 이 때문에, 상기 종래 예와 같이, 복수의 처리실을 필요로 하지 않고, 장치의 소형화를 꾀함과 동시에, 부품 개수를 적게 하여 저비용화를 꾀할 수 있다. 게다가, 시트 모양 기재의 표면과 이면 양면이 복수 회 처리 유니트에 대향하도록 하면, 시트의 반송 속도를 향상시킬 수 있고, 생산성도 좋다.

본 발명에서는, 상기 시프트 수단은, 상기 한 쌍의 제 1 롤러 유니트의 안쪽에서 처리 유니트의 양측에 배치된 다른 한 쌍의 제 2 롤러 유니트이며, 제 2 롤러 유니트는, 상기 처리 유니트 측에 시프트된 시트 모양 기재의 일부와, 상기 제 1 롤러 유니트 일측의 각 롤러로부터 타측의 각 롤러로 향하는 시트 모양 기재의 부분과의 처리 유니트로부터의 거리가 동등하게 되도록 배치되는 것이 바람직하다. 이것에 의하면, 간단한 구성으로, 처리 유니트로부터 시트 모양 기재의 표면 또는 이면까지의 거리를 대략 동일하게 맞추는 것이 실현될 수 있다. 또한, 본 발명에서, 동등하게는, 처리 유니트로부터 시트 모양 기재의 표면 또는 이면까지의 거리가 엄밀하게 일치하고 있는 경우뿐만 아니라, 예를 들어, 처리 유니트를 스퍼터링 성막용의 음극 유니트로 하고, 시트 모양 기재의 표면 또는 이면에 동시에 성막 처리하는 것과 같은 경우에, 동일한 막 두께로 성막할 수 있도록 음극 유니트에 대하여 제 2 롤러 유니트가 근접하거나 그 사이를 떨어뜨리고 있는 것과 같은 경우를 포함한다.

또한, 본 발명에서는, 청구항 1 또는 청구항 2에 기재된 진공 처리 장치로서, 처리 유니트가 스퍼터링 성막용의 음극 유니트인 것에 있어서, 상기 음극 유니트를, 진공 처리실을 구획하여 형성하는 벽면에 설치함과 동시에, 이 벽면에 대향하는 다른 벽면에 단일의 진공 보조실을 연달아 설치하고, 이 진공 보조실에 피드 롤러와 권취 롤러를 배치하여 구성하여 두면, 진공 처리 장치를 더욱 소형화할 수 있어서 좋다.

그런데, 예를 들어, 시트 모양 기재를 소정 온도로 가열한 상태에서 성막 처리를 행한 후, 처리 직후의 시트 모양 기재를 권취 롤러로 권취하면, 시트 모양 기재의 처리면이 변질하는 등의 문제가 생길 우려가 있다. 이 때문에, 예를 들어, 처리 후의 시트 모양 기재를 소정 온도 이하까지 냉각하여 권취 롤러에 권취하게 된다. 이 경우, 가이드 롤러나 권취 롤러의 회전축을 냉각하여 시트 모양 기재를 열교환으로 냉각하는 것이 고려될 수 있지만, 이것에서는 장치 구성이 복잡하게 된다.

따라서, 상기 권취 롤러의 상류측에서 시트 모양 기재에 대향시켜서 냉각 패널을 설치하여 두면, 이 냉각 패널의 시트 모양 기재와의 대향 면이 흡열 면으로서의 역할을 완수하고, 시트 모양 기재를 효율적으로 냉각할 수 있다. 게다가, 냉각 패널이 예를 들어, 극저온(수십 K)으로 유지된 크라이오(cryo) 패널인 것과 같은 경우, 이 패널에 진공 보조실 내의 수분 등이 흡착됨으로써, 진공 보조실의 고진공도 유지에 기여하고, 예를 들어, 진공 보조실에 설치하는 펌프를 배기 능력이 낮고, 저비용인 것을 이용할 수가 있는 등, 유리하다.

도 1은 본 발명의 제 1 실시 형태의 진공 처리 장치를 도시하는 대표적 단면도이다.
도 2는 진공 처리실 내에서의 시트 모양 기재의 반송을 설명하는 부분 확대 사시도이다.
도 3은 제 2 실시 형태의 진공 처리 장치를 도시하는 대표적 단면도이다.

이하, 도면을 참조하여, 처리 유니트를 스퍼터링 성막용의 음극 유니트로 하고, 시트 모양 기재의 표면과 이면 양면에 성막하는 경우를 예로, 본 발명의 실시 형태의 진공 처리 장치에 대해 설명한다.

도 1 및 도 2를 참조하여, SM은 본 실시 형태의 진공 처리 장치이다. 이 진공 처리 장치(SM)는 도시하지 않은 진공 펌프로 진공 배기되는 직육면체 형상의 진공 처리실(1)과, 이 진공 처리실(1)의 일 측면으로 연달아 설치된 진공 보조실(2)을 구비하고, 시트 모양 기재(S)를, 진공 보조실(2)로부터 진공 처리실(1)을 통하여 반송하고, 이 진공 처리실(1)에서 시트 모양 기재(S)로 성막할 수 있다. 진공 처리실(1)에는, 진공 보조실(2)에 대향하는 타 측면으로 단일의 음극 유니트(3)가 장착되어 있다.

음극 유니트(3)는, 시트 모양 기재(S)의 표면과 이면 양면에 형성하고자 하는 박막의 조성에 따라 형성된 타겟(31)을 구비한다. 타겟(31)은 예를 들어, 직사각형이며, 후술하는 바와 같이 타겟(31)의 전방을 주회 반송되는 시트 모양 기재(S)의 전체 폭보다 큰 폭을 가지도록 제작되고(도 2 참조), 백킹 플레이트(32)에 접합된 상태에서 진공 처리실(1) 내에 설치된다. 또한, 음극 유니트(3) 자체는, 공지의 구조를 가지는 것을 이용할 수 있기 때문에, 여기에서는 상세한 설명을 생략한다. 또한, 도 1 중, 33a, 33b는 방착판, 34는 카드 유니트의 커버, 35는 양극 링이다.

진공 처리실(1)에는, 타겟(31)을 그 길이 방향(도 1 중, 상하 방향) 양측에 걸쳐, 한 쌍의 롤러 유니트(4u, 4d)가 설치되어 있다. 이들의 롤러 유니트를 제 1 롤러 유니트(4u, 4d)로 하고, 제 1 롤러 유니트(4u, 4d)의 각각은 동일한 구성을 가지고, 제 1 축체(41)와, 이 제 1 축체(41)에 동일 간격으로 회전 가능하게 외장된 4개의 제 1 롤러(42)로 구성된다. 제 1 축체(41)의 각각은, 미사용 시의 타겟(31)의 스퍼터 면(31a)에 각각 평행이고, 동시에, 타겟(31)의 스퍼터 면(31a)으로부터 소정 간격을 두어서 배치되고 있다(스퍼터 면(31a)과 두 축체(41)와의 간격은 동등하다). 또한, 제 1 축체(41)의 한쪽과 다른 쪽은, 제 1 롤러(42)의 각각이 축 방향으로 서로 다르게 어긋나도록 배치된다. 또한, 제 1 롤러 유니트(4u, 4d)의 구성은 상기한 것으로 한정되는 것이 아니고, 또한, 제 1 롤러(42)의 개수도 시트 모양 기재(S)의 폭이나 성막 속도를 고려하여 적절하게 설정된다.

또한, 진공 처리실(1)에는, 제 1 롤러 유니트(4u, 4d)의 안쪽에서 타겟(31)을 그 길이 방향(도 1 중, 상하 방향)에 걸쳐 양측에, 다른 한 쌍의 롤러 유니트(5u, 5d)가 설치되고, 이들 한 쌍의 롤러 유니트(5u, 5d)가, 시트 모양 기재(S)의 일부를 소정 폭으로 처리 유니트 측에 시프트하는 본 실시 형태의 시프트 수단을 구성한다. 시프트 수단인 롤러 유니트를 제 2 롤러 유니트(5u, 5d)로 하고, 제 2 롤러 유니트(5u, 5d)의 각각은 동일한 구성을 가지고, 제 2 축체(51)와, 이 제 2 축체(51)에 동일 간격으로 회전 가능하게 외장한 4개의 제 2 롤러(52)로 구성된다. 제 2 롤러(52)의 직경은 제 1 롤러(42)의 직경보다 작게 설정되어 있다. 제 2 축체(51)의 한쪽과 다른 한쪽은, 제 1 축체(41)에 각각 평행이고, 제 2 롤러(52)가 제 1 롤러(42)의 상호 간에 위치함과 동시에 제 2 롤러(52)의 각각이 축 방향으로 서로 다르게 어긋나고, 동시에, 제 1 축체(41)보다 음극 유니트(3) 측으로 편심하여 배치되어 있다. 이 경우, 스퍼터 면(31a)과 두 제 2 축체(51)와의 간격도 동등하다. 또한, 제 2 롤러 유니트(5u, 5d)의 구성은 상기한 것으로 한정되는 것이 아니고, 예를 들어, 2 롤러(52)의 직경을 제 1 롤러(42)의 직경과 동일하게 설정하고, 제 1 축체(41) 및 제 2 축체(51)를 타겟(31)의 스퍼터 면(31a)에 평행한 동일 평면 내에 배치하여도 좋고, 또한, 제 2 롤러(52)의 개수 등도 제 1 롤러(42)에 따라 적절하게 설정된다.

진공 보조실(2)은 진공 처리실(1)과 마찬가지로, 도시하지 않은 진공 펌프로 진공 배기되고, 그 내부에는, 도시를 생략한 구동원을 구비한 피드 롤러(6)와, 도시를 생략한 구동원을 구비한 권취 롤러(7)가 설치되어 있다. 권취 롤러(7)의 상류 측에는, 시트 모양 기재(S)의 텐션을 측정하는 측정기(8)가 설치되고, 이 측정기(8)의 측정 결과에 따라, 피드 롤러(6)나 권취 롤러(7)의 회전 속도가 적절하게 제어되도록 되어 있다. 또한, 도 1 중, GR은 가이드 롤러이다. 이하에, 진공 보조실(2) 내의 피드 롤러(6)로부터 피딩하고, 진공 처리실(1)을 지난 후, 권취 롤러(7)로 권취할 때까지의 시트 모양 기재(S)의 반송을 설명한다.

피드 롤러(6)로부터 피딩한 시트 모양 기재(S)는, 진공 처리실(1)과 진공 보조실(2)과의 당접면에 형성한 투시구멍(11a)을 지나서 진공 처리실(1)에 보내진다. 진공 처리실(1)에서, 시트 모양 기재(S)는, 도 1 중 아래쪽의 제 1 롤러 유니트(4d)의 축 방향 일측(도 2 중, 앞쪽)에 위치하는 제 1 롤러(42a)에 의해 먼저 음극 유니트(3)측(시계 회전)으로 감아 걸리고, 위쪽의 제 1 롤러 유니트(4u)의 축 방향 일측(도 2 중, 앞쪽)에 위치하는 제 1 롤러(42b)에 음극 유니트(3) 측으로부터 감아 걸린다. 이때, 음극 유니트(3)의 타겟(31)에 대향하는 시트 모양 기재(S)의 한쪽 면이 표면이 되고, 스퍼터 면(31a)과 평행하게 이 스퍼터 면(31a)을 횡단하게 된다.

제 1 롤러(42b)를 지난 시트 모양 기재(S)는, 가이드 수단인 제 2 롤러 유니트(5u, 5d)의 축 방향 일측(도 2 중, 앞쪽)에 위치하는 제 2 롤러(52a, 52b)의 음극 유니트(3)측을 각각 경유하여, 아래쪽의 제 1 롤러 유니트(4d)의 축 방향 일측(도 2 중, 앞쪽)의 롤러(42a)에 서로 이웃하는 다음의 롤러(42c)로 안내되고, 음극 유니트(3)와는 반대쪽으로부터 감아 걸린다(즉, 제 1 롤러 유니트(4u, 4d)에만 시트 모양 기재(S)를 감아 거는 경우, 나선 모양을 이루도록 감아 걸린다). 이때, 두 제 2 롤러(52a, 52b) 사이를 시트 모양 기재(S)가 반송되는 동안, 시트 모양 기재(S)의 일부의 이면이 타겟(31)의 스퍼터 면(31a)에 대향하게 된다(즉, 시트 모양 기재(S)의 이면이, 스퍼터 면(31a)과 평행하게 이 스퍼터 면(31a)을 횡단하게 된다). 그리고, 두 제 2 축체(51)의 위치를 적절하게 설정하면, 제 1 롤러(42a, 42b) 사이를 반송되는 시트 모양 기재(S)의 표면과, 제 2 롤러(52a, 52b) 사이를 반송되는 시트 모양 기재(S)의 이면과, 타겟(31)의 스퍼터 면(31a)과의 사이의 거리를 대략 동일하게 맞출 수 있다.

상기와 같이 각 롤러(42, 52)로의 시트 모양 기재(S)의 감아 걸기를 축 방향 타측까지 행한다. 그리고, 아래쪽의 제 2 롤러 유니트(5d)의 축 방향 타측(도 2 중, 뒤쪽)에 위치하는 롤러(52e)를 지난 시트 모양 기재(S)가, 진공 처리실(1)과 진공 보조실(2)과의 당접면에 형성한 다른 투시구멍(11b)을 통하여 진공 보조실(2)로 되돌려지고, 권취 롤러(7)로 권취한다.

이것에 의해, 시트 모양 기재(S)가, 음극 유니트(3)의 전방에서, 그 표면 및 이면이 교대로 음극 유니트(3)에 대향하도록 주회 반송된다. 그리고, 타겟(31)의 전방 공간에 희가스를 도입한 상태에서 타겟(3)에, 도시하지 않은 전원으로부터 음의 전위를 갖는 소정 전력을 투입하면, 타겟(31)의 스퍼터 면(31a) 전방 공간에 플라즈마가 형성되고, 타겟(31)이 스퍼터링 되고, 타겟으로부터 비산(飛散)한 스퍼터 입자가 시트 모양 기재(S)의 표면과 이면 양면에 각각 부착, 퇴적하고, 시트 모양 기재(S)의 표면과 이면 양면에 대략 동일한 두께로 소정의 박막이 성막된다.

이상 설명한 바와 같이, 상기 실시 형태에 의하면, 제 1 롤러 유니트(4u, 4d)에 의해, 음극 유니트(3)의 전방에서, 이 음극 유니트(3)에 대하여 시트 모양 기재(S)의 표면 및 이면이 교대로 대향하도록 시트 모양 기재(S)를 주회 반송됨과 동시에, 시프트 수단인 제 2 롤러 유니트(5u, 5d)에 의해, 음극 유니트(3)로부터, 성막될 수 있는 시트 모양 기재(S)의 표면 또는 이면까지의 거리를 대략 동일하게 할 수 있기 때문에, 단일의 음극 유니트(3)에서 효율적으로 시트 모양 기재(S)의 표면과 이면 양면에 대략 동등한 막 두께로 성막할 수가 있다. 이 때문에, 상기 종래 예와 같이, 복수의 처리실을 필요로 하지 않고, 장치의 소형화를 꾀할 수 있음과 동시에, 부품 개수를 적게 하여 저비용화를 꾀할 수가 있다. 게다가, 시트 모양 기재(S)의 표면과 이면 양면이 복수 회 처리 유니트에 대향하였기 때문에, 시트 모양 기재(S)의 반송 속도를 향상할 수 있고, 생산성도 좋다. 또한, 음극 유니트(3)와 진공 보조실(2)을, 진공 처리실(1)을 구획하여 형성하는 벽면 중에서 대향면에 각각 설치함과 동시에, 진공 보조실(2)에 피드 롤러(6)와 권취 롤러(7)를 배치하였기 때문에, 진공 처리 장치(SM)를 한층 소형화할 수 있다.

그런데, 예를 들어, 시트 모양 기재(S)를 성막 처리하는 경우, 용도에 따라서는, 피드 롤러(6)의 하류 측에 가열 수단(도시하지 않음)을 설치하고, 성막 처리 전에 시트 모양 기재(S)를 소정 온도로 가열하고, 이 상태에서 성막 처리를 행하는 경우가 있다. 이러한 경우에, 처리 직후의 시트 모양 기재(S)를 권취 롤러(7)로 권취하면, 시트 모양 기재(S)에 성막한 막이 변질하는 등의 문제가 생길 우려가 있다.

따라서, 본 실시 형태에서는, 권취 롤러(7)의 상류 측에서 시트 모양 기재에 대향시켜서 크라이오 패널(냉각 패널)(9)을 설치하고 있다(도 1 참조). 크라이오 패널(9)은 예를 들어, 폐 사이클의 헬륨 냉동기 등, 공지의 구도의 냉동 유니트(9a)를 구비하고, 냉동 유니트(9a)로부터의 냉매로 극저온(예를 들어, 수십 K)으로 유지되게 되어 있다. 이 경우, 크라이오 패널(9)의 시트 모양 기재(S)와의 대향면은 시트 모양 기재(S)보다 폭 넓게 형성되어 있다. 이것에 의해, 크라이오 패널(9)의 시트 모양 기재(S)와의 대향면이 흡열면으로서의 역할을 완수하고, 시트 모양 기재(S)를 효율적으로 냉각할 수가 있다. 게다가, 크라이오 패널(9)에 진공 보조실(2) 내의 수분 등이 흡착됨으로써, 진공 보조실(2)의 고진공도 유지에 기여하고, 예를 들어, 진공 보조실(2)에 설치하는 펌프를 배기 능력이 낮은, 저비용의 것을 이용할 수가 있는 등, 유리하다. 또한, 크라이오 패널(9)을 가이드 롤에 대향시켜서 설치하고, 가이드 롤 자체를 냉각하여 시트 모양 기재(S)를 냉각하도록 하여도 좋다.

또한, 본 실시 형태에서는, 냉각 패널로서 크라이오 패널(9)을 이용하는 것을 예로 설명하고 있지만, 시트 모양 기재(S)로부터 흡열하여 냉각할 수 있는 것이면, 이것으로 한정되는 것은 아니다. 또한, 냉각 패널을 이용한 본 발명의 시트 모양 기재(S)의 냉각 방법은 상기 실시 형태의 진공 처리 장치뿐만 아니라, 상기 종래 예와 같은 구조의 것을 포함하는 다른 권취 방식의 진공 처리 장치 전반에 넓게 적용 가능하다.

상기 실시 형태에서는, 처리 유니트로서 음극 유니트(3)를 이용하는 것을 예로 설명하였지만, 이것으로 한정되는 것은 아니고, 음극 유니트는 저항 가열식 증발원이나 CVD법에 의한 것이어도 좋고, 또한, 성막원 외에 플라즈마 가스 등을 설치하여 표면 처리하도록 한 처리 유니트이어도 본 발명은 적용할 수 있다.

또한, 상기 실시 형태에서는, 시프트 수단을 한 쌍의 제 2 롤러 유니트(5u, 5d)로 구성한 것을 예로 설명하였지만, 시트 모양 기재(S)의 일부를 소정 폭으로 처리 유니트(3) 측에 시프트할 수 있는 것이면, 특히 제한되는 것은 아니다. 예를 들어, 처리 유니트(3)에 대하여 진퇴 가능한 구동축과, 이 구동축의 선단에 회전 가능하게 장착한 롤러로 가이드 수단을 구성하고, 이 시프트 수단을 처리 유니트 양측에 걸쳐 배치하여 두고, 각 가이드 수단을 동기하여 처리 유니트 측으로 이동하고, 시트 모양 기재(S)를 일정한 폭으로 처리 유니트 측에 변위시키도록 하여도 좋다. 이것에 의하면, 처리 유니트와 시트 모양 기재(S)까지의 거리를 표면과 이면에서 임의로 변경할 수 있다.

또한, 상기 실시 형태에서는, 진공 처리 장치를 가장 소형화할 수 있도록, 1개의 진공 보조실(2)에 피드 롤러와 권취 롤러를 설치한 것을 예로 설명하였지만, 장치의 레이아웃은 이것으로 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 도 3에 도시한 바와 같이, 진공 처리실(1)의 서로 대향하는 측면에 각각 진공 보조실(2a, 2b)을 연달아 설치하고, 상류 측의 진공 보조실에 설치한 피드 롤러(6)로부터, 진공 처리실(1)을 통하여, 하류 측의 진공 보조실(2b)에 설치한 권취 롤러(7)에 권취하도록 시트 모양 기재를 반송하여도 좋다.

SM : 진공 처리 장치 1 : 진공 처리실
2 : 진공 보조실 3 : 음극 유니트(처리 유니트)
4u, 4d : 제 1 롤러 유니트 41 : 제 1 축체
42 : 제 1 롤러 5u, 5d : 제 2 롤러 유니트(시프트 수단)
51 : 제 2 축체 52 : 제 2 롤러
6 : 피드 롤러 7 : 권취 롤러
9 : 크라이오 패널(냉각 패널)

Claims

길이가 긴 시트 모양 기재를 진공 처리실을 통하여 반송하고, 이 진공 처리실에서 시트 모양 기재에 소정의 처리를 실시하는 진공 처리 장치로서, 진공 처리실에, 단일의 처리 유니트가 설치됨과 동시에, 피드 롤러와 권취 롤러의 적어도 한쪽이 설치되는 진공 보조실이 연달아 설치된 것에 있어서, 진공 처리실에서 처리 유니트 양측에 걸쳐 한 쌍의 제 1 롤러 유니트가 구비되고, 제 1 롤러 유니트의 각각이 동일 간격으로 배치된 복수의 롤러를 가지고, 각 롤러를 축 방향으로 서로 다르게 옮겨 배치하여, 시트 모양 기재가 각 롤러에 나선 모양으로 감아 걸리도록 구성하고, 제 1 롤러 유니트의 일측의 각 롤러로부터 타측의 각 롤러로 향하는, 처리 유니트에 대향하는 시트 모양 기재의 한쪽 면을 표면으로 하고, 시트 모양 기재의 이면이 처리 유니트에 대향할 때에 이 시트 모양 기재의 일부를 소정 폭으로 처리 유니트 측에 시프트하는 시프트 수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 시프트 수단은, 상기 한 쌍의 제 1 롤러 유니트의 안쪽에서 처리 유니트의 양측에 배치된 다른 한 쌍의 제 2 롤러 유니트이며, 제 2 롤러 유니트는, 상기 처리 유니트 측에 시프트된 시트 모양 기재의 일부와, 상기 제 1 롤러 유니트 일측의 각 롤러로부터 타측의 각 롤러로 향하는 시트 모양 기재의 부분과의 처리 유니트로부터의 거리가 동등하게 되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
처리 유니트가 스퍼터링 성막용의 음극 유니트인 것에 있어서, 상기 음극 유니트를 진공 처리실을 구획하여 형성하는 벽면에 설치함과 동시에, 이 벽면에 대향하는 다른 벽면에 단일의 진공 보조실을 연달아 설치하고, 이 진공 보조실에 피드 롤러와 권취 롤러를 배치하여 구성한 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.
청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
상기 권취 롤러의 상류 측에서 시트 모양 기재에 대향시켜서 냉각 패널을 설치한 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.