KR20130076801A - Film defect inspection device, defect inspection method, and release film - Google Patents

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Abstract

장척물의 필름의 결함을 검출하는 검사 장치로서, 상기 필름의 한쪽면측에 상기 필름을 조명하는 조명 수단과, 상기 조명 수단과 상기 필름 사이에 설치된 제 1 편광판과, 상기 필름의 다른쪽면측에 설치된 제 2 편광판과, 상기 필름의 다른쪽면측에 설치되고 상기 조명 수단으로부터 조명되어 상기 제 1 편광판, 상기 필름 및 상기 제 2 편광판을 투과해온 투과광을 수광하는 수광 수단을 갖고, 상기 제 1 편광판의 각도를 상기 제 1 편광판의 면 내에서, 상기 제 2 편광판의 각도를 상기 제 2 편광판의 면 내에서 각각 독자적으로 조정하는 각도 조정 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 필름의 결함 검사 장치로 한다.An inspection apparatus for detecting a defect in a film of a long object, comprising: illumination means for illuminating the film on one side of the film, a first polarizing plate provided between the illumination means and the film, and an agent provided on the other side of the film. 2 a polarizing plate and light receiving means which is provided on the other side of the film and is illuminated from the illumination means and receives the transmitted light that has passed through the first polarizing plate, the film and the second polarizing plate, and the angle of the first polarizing plate In the surface of a said 1st polarizing plate, it has angle adjusting means which respectively independently adjusts the angle of a said 2nd polarizing plate in the surface of a said 2nd polarizing plate, It is set as the defect inspection apparatus of the film characterized by the above-mentioned.

Description

필름의 결함 검사 장치, 결함 검사 방법 및 이형 필름{FILM DEFECT INSPECTION DEVICE, DEFECT INSPECTION METHOD, AND RELEASE FILM}FILM DEFECT INSPECTION DEVICE, DEFECT INSPECTION METHOD, AND RELEASE FILM}

본 발명은 피검사 필름의 광학적 결함 검사를 간이하고 또한 용이하게 행하고, 특히 편광판 제조 공정에 사용하는 편광판 이형 필름의 편광판 가공 처리 전에 있어서 결함 검사를 연속적으로 행하는 편광판 이형 필름의 결함 검사 장치 및 결함 검사 방법의 기술분야에 속하는 것이다.This invention performs the optical defect inspection of the to-be-tested film easily and easily, and the defect inspection apparatus and defect inspection of the polarizing plate release film which carry out defect inspection continuously before the polarizing plate processing of the polarizing plate release film especially used for a polarizing plate manufacturing process. It belongs to the technical field of the method.

최근, 종래의 디스플레이인 CRT에 비해 박형(薄型) 경량화, 저소비전력, 고화질화의 이점을 갖는 액정 디스플레이(LCD)의 수요가 급속하게 확대되고 있고, 특히 대화면 모니터나 32인치 이상의 대화면 TV용도의 LCD가 급속하게 신장되고 있다. LCD의 대화면화에 따라 백라이트의 휘도를 높이는 것이나, 휘도를 향상시키는 기능성 필름을 장착하는 것 등에 의해 대화면에서도 휘도를 충분히 확보한 LCD로 하는 경우가 많다. 이러한 고휘도 타입의 LCD에서는 휘도가 높기 때문에 디스플레이 중에 존재하는 작은 결점이 문제가 되는 경우가 많고, 편광판, 위상차판과 같은 광학 특성을 갖는 구성 부재에 있어서는 지금까지의 LCD에서는 문제가 되지 않았던 사이즈의 결점이 문제가 되고 있다. 그 때문에, 각 광학 부재의 제조 공정에 있어서의 결점의 발생을 막는 한편, 결점이 발생했다고 해도 결점으로서 확실하게 인지할 수 있는 검사성의 향상도 중요해지고 있다.Recently, the demand for liquid crystal displays (LCDs), which has advantages of thin, light weight, low power consumption, and high image quality, has been rapidly expanded compared to conventional display, CRT. It is growing rapidly. In many cases, LCDs having sufficient brightness are secured even on a large screen by increasing the brightness of the backlight according to the large screen of the LCD or by attaching a functional film to improve the brightness. In such high-brightness type LCDs, since the luminance is high, small defects existing in the display are often a problem, and in the case of constituent members having optical characteristics such as polarizers and retarders, defects of sizes that have not been a problem in LCDs up to now. This is a problem. Therefore, the occurrence of defects in the manufacturing process of each optical member is prevented, and the improvement of inspection property which can be reliably recognized as a defect even if a defect arises is also important.

편광판의 결점 검사는 크로스니콜법에 의한 육안 검사가 일반적이지만, 32인치 이상의 대화면 TV용으로 사용하는 편광판에서는 크로스니콜법을 이용한 자동 검사기에 의한 검사도 여러 가지로 검토되고 있다.The defect inspection of a polarizing plate is generally visual inspection by the cross nicol method, but the inspection by the automatic inspection machine using a cross nicol method is also examined by the polarizing plate used for large-screen TV of 32 inches or more.

이 크로스니콜법은 2매의 편광판을 그 배향 주축을 직교시켜서 암시야(暗視野)를 만들고, 그 사이에 필름 등의 측정 대상품을 끼워서 투과광에 의해 관찰하는 방법이다. 크로스니콜로 배치함으로써 가령 결함이 존재하지 않으면 촬상부로부터 전면 흑색의 화상이 입력되지만, 결함이 존재하면 그 부분이 흑색으로 되지 않는다. 즉, 편광판 중에 이물이나 결점이 있으면 휘점으로서 나타나므로 결점 검사를 할 수 있다고 하는 것이다. 여기에서, 편광판에는 점착제층을 통해서 1축 또는 2축 연신된 배향 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름을 이형 필름으로서 접합하고 있으므로, 이 이형 필름의 광학적 결점이 더해지면 이형 필름의 휘점이 증가하여 결점 검사의 장해가 된다. 지금까지, 이형 필름 중의 이물이나 표면의 상처가 결점 검사시의 휘점이 되는 것은 알려져 있다.This cross nicol method is a method in which two polarizing plates are orthogonal to the orientation main axis to form a dark field, and a measurement target product such as a film is sandwiched therebetween and observed by transmitted light. By arranging in cross nicol, for example, when a defect does not exist, the front black image is input from an imaging part, but when a defect exists, the part does not turn black. That is, when a foreign material or a fault exists in a polarizing plate, it appears as a bright point, and it can say that a fault inspection can be performed. Here, since the oriented polyethylene terephthalate film uniaxially or biaxially stretched through the pressure-sensitive adhesive layer is bonded to the polarizing plate as the release film, when the optical defect of the release film is added, the bright point of the release film increases, and the defect inspection is prevented. do. It is known that foreign matter in the release film or scratches on the surface is a bright spot at the time of defect inspection.

그러나, 배향 필름은 박막화의 관점에서도 제법으로서도 유리하지만, 연신에 의한 배향에 기인한 복굴절(위상차)을 갖기 때문에 입사되는 직선 편광은 투과에 의해 타원 편광이 되어버려 실질적으로는 크로스니콜의 상태로는 되지 않는다. 즉, 2매의 편광판을 직교시키는 것만으로는 촬상부에 입력되는 가시광의 수광량이 필름의 복굴절에 의해 영향을 받아버린다.However, although the alignment film is advantageous from the viewpoint of thinning, it has a birefringence (phase difference) due to the orientation due to stretching, so that the incident linearly polarized light becomes elliptical polarized light by transmission and is substantially in the state of cross nicol. It doesn't work. That is, only by orthogonally crossing two polarizing plates, the light-receiving amount of the visible light input to an imaging part is influenced by birefringence of a film.

연신에 의해 제조되는 필름에 있어서는 특허문헌 1에 개시되는 바와 같이, 연신 단부에 대하여 중앙부가 늦게 연신되는 것에 의한 보잉(bowing)이라는 현상이 발생한다. 이것은 단부를 파지한 상태에서의 가열 연신에 의해, 제조되는 필름의 중앙부가 자체 중량이나 열수축 응력에 의해 중력 방향이나 제조 공정의 진행 방향에 대하여 잡아당겨져 아래로 드리워짐으로써 공정 내의 필름이 현수선(懸垂線)(카테나리 곡선)을 구성하는 것에 기인하는 현상이다. 이 때문에, 배향 필름의 복굴절은 특허문헌 1에 있어서의 2색성과 마찬가지로 필름 폭 방향으로 다르다. 그 결과, 필름 제조시의 폭 방향에 있어서의 위치에 의해 필름의 중앙부와 단부에서 필름 중에 존재하는 결함 검사를 정밀도 좋게 행할 수 없는 부위가 존재한다고 하는 문제가 발생하고 있었다.In the film manufactured by extending | stretching, as shown by patent document 1, the phenomenon of bowing by extending | stretching a center part late with respect to a extending | stretching edge part arises. This is caused by heat stretching in the state where the end is gripped, so that the center portion of the film to be produced is pulled down against the gravity direction or the advancing direction of the manufacturing process by its own weight or heat shrinkage stress, and the film in the process is suspended. It is a phenomenon resulting from what constitutes a line (category curve). For this reason, birefringence of an oriented film differs in the film width direction similarly to the dichroism in patent document 1. As a result, there existed a problem that the site | part which cannot perform the defect inspection which exists in a film in the film at the center part and the edge part of a film with high precision by the position in the width direction at the time of film manufacture has arisen.

이러한 문제를 해결한 필름의 결함 검출 장치로서 하기 특허문헌 2에 개시되는 검사 장치가 공지되어 있다. 이 결함 검사 장치는 광원과 촬상부의 광로 상의 사이에 검사용 편광판을 갖고, 필름의 복굴절(위상차)을 캔슬하기 위해서 촬상부에 입력되는 가시광의 수광량이 최소값이 되도록 검사용 편광판의 상대 각도 위치를 조정하고, 크로스니콜 상태에서 편광판 부착 필름 중의 결함을 검사하는 장치이다.As a defect detection apparatus of the film which solved such a problem, the inspection apparatus disclosed by following patent document 2 is known. This defect inspection apparatus has an inspection polarizing plate between a light source and the optical path of an imaging part, and adjusts the relative angle position of the inspection polarizing plate so that the light reception amount of the visible light input into an imaging part may be a minimum value in order to cancel the birefringence (phase difference) of a film. And it is an apparatus which examines the defect in the film with a polarizing plate in a cross nicol state.

그러나, 상기 특허문헌 2에서는 폭 방향으로 복굴절의 편차를 갖는 필름을 검사하는 경우에 있어서는 폭 방향으로 복수대의 촬상부 및 편광판을 가질 필요가 있다. 본 발명자들의 지견에 의하면, 이때 촬상부에 입력되는 가시광의 수광량이 최소값이 되도록 편광판 각도를 조정하는 것만으로는 촬상부 위치마다, 즉 폭 방향으로 균일한 수광량을 얻는 것이 어렵고, 예를 들면 필름 폭 방향으로 필름 단부와 중앙부의 수광량 레벨에 차가 발생해버린다. 그 때문에, 폭 방향으로 복굴절의 편차를 갖는 필름을 검사하는 경우, 동시에 정밀도 좋게 결함 검사를 행할 수 없다.However, in the said patent document 2, when inspecting the film which has a birefringence deviation in the width direction, it is necessary to have several imaging part and polarizing plate in the width direction. According to the findings of the present inventors, it is difficult to obtain a uniform amount of light received at each position of the image capturing unit, i.e., in the width direction, only by adjusting the angle of the polarizing plate such that the amount of visible light input to the image capturing unit is a minimum value at this time. The difference arises in the light reception amount level of a film edge part and a center part in a direction. Therefore, when inspecting the film which has the birefringence deviation in the width direction, defect inspection cannot be performed with high precision simultaneously.

또한, 본 발명자들의 지견에 의하면 큰 광량 변화를 초래하는 결함은 어떻게 됐든, 작은 광량 변화밖에 초래하지 않는 결함의 경우에는 크로스니콜 검사시의 시야가 가장 어두워지도록 편광판을 배치했을 경우에는 콘트라스트 차가 더욱 작아져 검출이 곤란해진다.Further, according to the findings of the present inventors, in the case of a defect causing a large light quantity change, in the case of a defect that causes only a small light quantity change, the contrast difference is smaller when the polarizing plate is arranged so that the field of vision during cross nicol inspection is darkest. Detection is difficult.

일본 특허 공고 소 39-029214호 공보Japanese Patent Publication No. 39-029214 일본 특허 공개 2007-213016호 공보Japanese Patent Publication No. 2007-213016

본 발명의 목적은 필름 폭 방향으로 복굴절의 편차를 갖는 필름에 있어서도 정밀도 좋게 결함 검사를 행할 수 있고, 또한 결함부와 정상부의 콘트라스트를 크게 하여 정밀도 좋게 검사 가능한 결함 검사 장치를 제공하는 것에 있다.An object of the present invention is to provide a defect inspection apparatus capable of inspecting defects with high accuracy even in a film having a birefringence deviation in the film width direction, and further increasing the contrast between the defect portion and the top portion.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 의하면 소정 폭을 갖는 장척물의 필름의 결함을 검출하는 검사 장치로서, 상기 필름의 한쪽면측에 상기 필름을 조명하는 조명 수단과, 상기 조명 수단과 상기 필름 사이에 설치된 제 1 편광판과, 상기 필름의 다른쪽면측에 설치된 제 2 편광판과, 상기 필름의 다른쪽면측에 설치되고 상기 조명 수단으로부터 조명되어 상기 제 1 편광판, 상기 필름 및 상기 제 2 편광판을 투과해온 투과광을 수광하는 수광 수단을 갖고, 상기 제 1 편광판의 각도를 상기 제 1 편광판의 면 내에서, 상기 제 2 편광판의 각도를 상기 제 2 편광판의 면 내에서 각각 독자적으로 조정하는 각도 조정 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 필름의 결함 검사 장치가 제공된다.In order to achieve the above object, according to the present invention, an inspection apparatus for detecting a defect of a film of a long object having a predetermined width, comprising: illumination means for illuminating the film on one side of the film, and between the illumination means and the film. A first polarizing plate provided, a second polarizing plate provided on the other side of the film, and transmitted light which is provided on the other side of the film and is illuminated from the illumination means and has passed through the first polarizing plate, the film and the second polarizing plate Having a light receiving means for receiving light, and having angle adjusting means for independently adjusting the angle of the first polarizing plate in the plane of the first polarizing plate and the angle of the second polarizing plate in the plane of the second polarizing plate, respectively. A defect inspection apparatus for a film is provided.

또한, 본 발명의 바람직한 형태에 의하면 상기 제 2 편광판 및 상기 수광 수단이 상기 필름의 폭 방향으로 복수개 배치되어 있고, 상기 제 2 각도 조정 수단이 상기 복수의 제 2 편광판에 각각 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 필름의 결함 검사 장치가 제공된다.Moreover, according to a preferable aspect of the present invention, a plurality of the second polarizing plate and the light receiving means are arranged in the width direction of the film, and the second angle adjusting means is provided in the plurality of second polarizing plates, respectively. The defect inspection apparatus of the film provided is provided.

또한, 본 발명의 바람직한 형태에 의하면 상기 제 1 편광판의 각도를 상기 제 1 면 내에서 조정하는 각도 조정 수단은 상기 제 1 편광판을 회전시킬 때의 지점으로서 기능하는 축과, 상기 제 1 편광판의 단부를 힘점(力点)으로 해서 대략 회전 방향으로 밀고 당기는 직동(直動) 기구를 갖는 것을 특징으로 하는 필름의 결함 검사 장치가 제공된다.Moreover, according to the preferable aspect of this invention, the angle adjusting means which adjusts the angle of a said 1st polarizing plate in a said 1st surface has an axis which functions as a point at the time of rotating the said 1st polarizing plate, and the edge part of a said 1st polarizing plate A film | membrane inspection apparatus of the film characterized by having a linear motion mechanism which pushes and pulls in a substantially rotational direction as a force point.

또한, 본 발명의 바람직한 형태에 의하면 상기 제 1, 제 2 편광판의 각도가 1° 이하의 회전 정밀도로 적어도 -8°∼＋8°의 범위로 조정되는 것을 특징으로 하는 필름의 결함 검사 장치가 제공된다.Moreover, according to the preferable aspect of this invention, the angle of the said 1st, 2nd polarizing plate is adjusted in the range of at least -8 degrees-+8 degrees with rotation precision of 1 degrees or less, The film defect inspection apparatus characterized by the above-mentioned is provided. .

또한, 본 발명의 다른 형태에 의하면 소정 폭을 갖는 장척물의 필름의 결함을 검출하는 결점 검사 방법으로서, 상기 필름의 한쪽면측에 설치한 조명 수단에 의해 상기 필름을 조명하고, 상기 조명 수단과 상기 필름 사이에 제 1 편광판을 설치하고, 상기 필름의 다른쪽면측에 제 2 편광판을 설치하고, 상기 조명 수단으로부터 조명되어 상기 제 1 편광판, 상기 필름 및 상기 제 2 편광판을 투과해온 투과광을 상기 필름의 다른쪽면측에 설치한 수광 수단에 의해 수광하고, 상기 제 1 편광판의 각도를 상기 제 1 편광판의 면 내에서, 상기 제 2 편광판의 각도를 상기 제 2 편광판의 면 내에서 각각 독자적으로 조정하는 것을 특징으로 하는 필름의 결함 검사 방법이 제공된다.Moreover, according to another aspect of the present invention, as a defect inspection method for detecting a defect of a film of a long object having a predetermined width, the film is illuminated by illumination means provided on one side of the film, and the illumination means and the film A first polarizing plate is provided in between, and a second polarizing plate is provided on the other side of the film, and the transmitted light which is illuminated from the illumination means and has passed through the first polarizing plate, the film and the second polarizing plate is different from the film. It receives by the light receiving means provided in the side surface side, and adjusts the angle of the said 2nd polarizing plate independently in the surface of a said 2nd polarizing plate, respectively in the surface of a said 1st polarizing plate, and is characterized by the above-mentioned. The defect inspection method of the film provided is provided.

또한, 본 발명의 바람직한 형태에 의하면 상기 제 2 편광판 및 상기 수광 수단을 상기 필름의 폭 방향으로 복수개 배치하고, 배치 위치에 따라서 상기 제 2 편광판의 각도를 독자적으로 조정하는 것을 특징으로 하는 필름의 결함 검사 방법이 제공된다.Moreover, according to the preferable aspect of this invention, a plurality of said 2nd polarizing plate and the said light receiving means are arrange | positioned in the width direction of the said film, and the angle of the said 2nd polarizing plate is adjusted independently according to an arrangement position, The defect of the film characterized by the above-mentioned. An inspection method is provided.

또한, 본 발명의 바람직한 형태에 의하면 상기 제 1 편광판의 각도를 상기 제 1 면 내에서 조정할 때에 상기 제 1 편광판을 회전시킬 때의 지점으로서 기능하는 축과, 상기 제 1 편광판의 단부를 힘점으로 해서 대략 회전 방향으로 밀고 당기는 직동 기구에 의해 편광판 각도가 1° 이하의 회전 정밀도로 미조정되는 것을 특징으로 하는 필름의 결함 검사 방법이 제공된다.Moreover, according to the preferable aspect of this invention, when the angle of a said 1st polarizing plate is adjusted in the said 1st surface, the axis | shaft which functions as a point at the time of rotating the said 1st polarizing plate, and the edge part of a said 1st polarizing plate as a power point The film | membrane inspection method of the film characterized by the fine adjustment of the polarizing plate angle to rotation precision of 1 degrees or less by the linear motion mechanism pushing and pulling in a substantially rotation direction.

또한, 본 발명의 바람직한 형태에 의하면 상기 필름이 검사되는 영역에 있어서 상기 제 1, 제 2 편광판의 각도를 상기 수광 수단에 있어서의 수광량이 256계조에서 10∼30의 범위가 되도록 각도를 어긋나게 해서 검사하는 것을 특징으로 하는 필름의 결함 검사 방법이 제공된다.Moreover, according to the preferable aspect of this invention, in the area | region where the said film is examined, the angle of the said 1st, 2nd polarizing plate is inspected by shifting an angle so that the light reception amount in the said light receiving means may be in the range of 10-30 in 256 gradations. The defect inspection method of the film characterized by the above-mentioned.

또한, 본 발명의 바람직한 형태에 의하면 상기 필름이 검사되는 영역에 있어서 상기 제 1, 제 2 편광판의 각도를 상기 수광 수단에 있어서의 수광량이 256계조에서 30∼50의 범위가 되도록 각도를 어긋나게 해서 검사하는 것을 특징으로 하는 필름의 결함 검사 방법이 제공된다.Moreover, according to the preferable aspect of this invention, in the area | region where the said film is examined, the angle of the said 1st, 2nd polarizing plate is inspected by shifting an angle so that the light reception amount in the said light receiving means may be in the range of 30-50 in 256 tones. The defect inspection method of the film characterized by the above-mentioned.

또한, 본 발명의 바람직한 형태에 의하면 상기 필름이 검사되는 영역에 있어서 상기 제 1, 제 2 편광판의 각도를 상기 수광 수단에 있어서의 수광량이 최소값이 되는 상태로부터 1∼2°의 범위로 어긋나게 한 상태에서 검사하는 것을 특징으로 하는 필름의 결함 검사 방법이 제공된다.Moreover, according to the preferable aspect of this invention, in the area | region where the said film is inspected, the state which shifted the angle of the said 1st, 2nd polarizing plate in the range of 1-2 degrees from the state in which the light reception amount in the said light receiving means becomes a minimum value Provided is a method for inspecting defects of a film, wherein the film is inspected.

또한, 본 발명의 바람직한 형태에 의하면 검사 대상의 필름에 있어서 다른 광학 필름이나 광학 부재를 접합하기 전의 이형 필름의 상태에서 결함 검사를 적용하는 것을 특징으로 하는 필름의 결함 검사 방법이 제공된다.Moreover, according to the preferable aspect of this invention, the defect inspection method of the film characterized by applying defect inspection in the state of the release film before bonding another optical film and an optical member in the film to test | inspection is provided.

또한, 본 발명의 다른 형태에 의하면 소정 폭을 갖는 장척물의 필름의 결함을 검출하는 검사 장치로서, 상기 필름의 한쪽면측에 상기 필름을 조명하는 조명 수단과, 상기 조명 수단과 상기 필름 사이에 설치된 제 1 편광판과, 상기 필름의 다른쪽면측에 설치된 제 2 편광판과, 상기 필름의 다른쪽면측에 설치되고 상기 조명 수단으로부터 조명되어 상기 제 1 편광판, 상기 필름 및 상기 제 2 편광판을 투과해온 투과광을 수광하는 수광 수단을 갖고, 상기 제 1 편광판의 각도를 상기 제 1 편광판의 면 내에서, 상기 제 2 편광판의 각도를 상기 제 2 편광판의 면 내에서 각각 독자적으로 조정하는 각도 조정 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 필름의 결함 검사 방법에 의해 결함 검사가 실시된 것을 특징으로 하는 이형 필름이 제공된다.Moreover, according to another aspect of the present invention, there is provided an inspection apparatus for detecting a defect of a film of a long object having a predetermined width, comprising: illumination means for illuminating the film on one side of the film, and an agent provided between the illumination means and the film. 1 a polarizing plate, a second polarizing plate provided on the other side of the film, and a transmitted light which is provided on the other side of the film and is illuminated from the illumination means and has passed through the first polarizing plate, the film and the second polarizing plate. And an angle adjusting means for independently adjusting the angle of the first polarizing plate in the plane of the first polarizing plate, and the angle of the second polarizing plate in the plane of the second polarizing plate, respectively. Defect inspection was performed by the defect inspection method of the said film, The release film characterized by the above-mentioned.

여기에서 편광판이란 특정 방향으로 진동하고 있는 광만을 투과시키는 성질을 가지는 판 형상 또는 필름 형상의 것을 말한다.The polarizing plate herein refers to a plate or film having a property of transmitting only light that vibrates in a specific direction.

여기에서 이형 필름이란 편광판이나 위상차판 등의 광학 부재의 제조나 검사, 출하시에 광학 특성을 잃어버리지 않도록 보호하기 위해서 부착되고 사용시에 박리될 목적으로 사용되는 필름이다. 이 목적으로부터 부착에 필요한 점착층을 표면에 형성하고 있어도 좋고, 또한 사용시에 박리시키도록 이형층을 표면에 형성하고 있어도 좋다.Here, a release film is a film used for the purpose of sticking and peeling at the time of use, in order to protect so that optical characteristics may not be lost at the time of manufacture, inspection, or shipment of optical members, such as a polarizing plate and a retardation plate. From this purpose, the adhesion layer required for adhesion may be formed on the surface, and the release layer may be formed on the surface so that it may peel at the time of use.

여기에서, 다른 광학 필름이나 광학 부재를 접합하기 전의 이형 필름의 상태란 편광 특성을 가지는 물질, 즉 입사된 편광을 변화시켜서 투과·출력시키는 물질을 접합하고 있지 않은 상태를 가리킨다.Here, the state of the release film before bonding another optical film and an optical member refers to the state which is not bonding the substance which has polarization characteristic, ie, the substance which changes and transmits and outputs incident polarization.

(발명의 효과)(Effects of the Invention)

본 발명에 의하면, 필름 폭 방향으로 복굴절의 편차를 갖는 필름에 있어서도 정밀도 좋게 결함 검사를 행할 수 있고, 또한 결함부와 정상부의 콘트라스트를 크게 하여 정밀도 좋게 검사 가능한 결함 검사 장치를 행할 수 있다.According to the present invention, even in a film having a birefringence deviation in the film width direction, defect inspection can be performed with high accuracy, and a defect inspection apparatus capable of inspecting with high accuracy by increasing the contrast of the defect portion and the top portion can be performed.

도 1은 본 발명의 결함 검출 장치의 하나의 형태를 나타낸 개략 사시도이다.
도 2는 본 발명의 결함 검출 장치의 하나의 형태를 나타낸 다른 개략 사시도이다.
도 3은 본 발명의 결함 검출 장치의 하나의 형태를 나타낸 개략 단면도이다.
도 4는 필름 폭 방향에 있어서의 편광판 각도와 그때의 수광량 분포를 나타낸 모식도이다.
도 5는 필름 폭 방향에 있어서의 편광판 각도와 그때의 수광량 분포를 나타낸 다른 모식도이다.
도 6은 필름 폭 방향의 각 수광 수단에 있어서의 수광량 분포를 나타낸 모식도이다.
도 7은 필름 폭 방향에 있어서의 편광판 각도와 그때의 수광량 분포를 나타낸 다른 모식도이다.
도 8은 필름 폭 방향의 각 수광 수단에 있어서의 수광량 분포를 나타낸 다른 모식도이다.
도 9는 종래 기술에 의한 결점 검출에서의 백그라운드 노이즈와 결점부의 수광량의 관계(a), 및 본 발명 기술에 의한 결점 검출에서의 백그라운드 노이즈와 결점부의 수광량의 관계(b)를 대비한 모식도이다.
도 10은 본 발명의 결함 검출 장치에 있어서 제 1 편광판을 회전시킬 때의 지점 및 힘점의 배치의 하나의 형태를 나타낸 모식도이다.
도 11은 본 발명의 결함 검출 장치에 있어서 제 1 편광판을 대략 회전 방향으로 밀고 당기는 직동 기구의 하나의 형태를 나타낸 모식도이다.
도 12는 본 발명의 결함 검출 장치에 있어서 제 2 편광판을 회전시킬 때의 지점 및 힘점의 배치의 하나의 형태를 나타낸 모식도이다.
도 13은 본 발명의 결함 검출 장치에 있어서 제 2 편광판을 회전시키는 기구의 하나의 형태를 나타낸 모식도(a), 및 그것에 의한 제 2 편광판의 회전의 하나의 형태를 나타낸 모식도(b)이다.
도 14는 상온에서의 필름 가공시에 발생한 표면 결함을 본 발명의 수광 수단에 있어서의 수광량이 256계조에서 10∼30의 범위로 해서 촬상한 화상(a), 및 256계조에서 30∼50의 범위로 해서 촬상한 화상(a'), 및 필름 제조시나 가열시에 발생한 표면 결함을 본 발명의 수광 수단에 있어서의 수광량이 256계조에서 10∼30의 범위로 해서 촬상한 화상(b), 및 256계조에서 30∼50의 범위로 해서 촬상한 화상(b')이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a schematic perspective view which shows one form of the defect detection apparatus of this invention.
2 is another schematic perspective view showing one embodiment of the defect detection apparatus of the present invention.
3 is a schematic cross-sectional view showing one embodiment of the defect detection apparatus of the present invention.
It is a schematic diagram which shows the polarizing plate angle in the film width direction, and the light reception amount distribution at that time.
It is another schematic diagram which shows the polarizing plate angle in the film width direction, and the light reception amount distribution at that time.
It is a schematic diagram which shows the light reception amount distribution in each light receiving means of a film width direction.
It is another schematic diagram which shows the polarizing plate angle in the film width direction, and the received light quantity distribution at that time.
8 is another schematic diagram showing the light-receiving amount distribution in each light-receiving means in the film width direction.
Fig. 9 is a schematic diagram in which the relationship (a) between the background noise in the defect detection according to the prior art and the light reception amount in the defect portion and the relationship (b) between the background noise and the light reception amount in the defect portion in the defect detection according to the present invention are compared.
It is a schematic diagram which shows one form of arrangement | positioning of a point and a force point at the time of rotating a 1st polarizing plate in the defect detection apparatus of this invention.
It is a schematic diagram which shows one form of the linear motion mechanism which pushes and pulls a 1st polarizing plate in a substantially rotating direction in the defect detection apparatus of this invention.
It is a schematic diagram which shows one form of arrangement | positioning of a point and a force point at the time of rotating a 2nd polarizing plate in the defect detection apparatus of this invention.
It is a schematic diagram (a) which shows one form of the mechanism which rotates a 2nd polarizing plate in the defect detection apparatus of this invention, and a schematic diagram (b) which shows one form of rotation of a 2nd polarizing plate by it.
Fig. 14 is an image (a) obtained by photographing surface defects generated at the time of film processing at normal temperature in the light receiving means of the light receiving means of the present invention in the range of 256 to 10 to 30 and the range of 30 to 50 at 256 tones. Image (b ') and the image defect (b) which imaged the surface defect which arose at the time of film manufacture or the heating, and the film | membrane received in the light-receiving means of this invention as the range of 10-30 in 256 tones, and 256 It is an image (b ') picked up in the range of 30-50 in gradation.

이하, 도면을 이용하여 상세하게 설명한다. 본 발명의 결함 검사 장치는 도 1에 나타내는 바와 같이, 필름면이 검사되는 영역에 있어서 필름의 한쪽면측에 제 1 편광판을, 다른쪽면측에 제 2 편광판을 필름과 평행하게 배치하고, 상기 제 1 편광판을 사이에 두고 편광판의 외측으로부터 필름을 조명하는 조명 수단과, 상기 필름의 다른쪽면측에 있어서 제 1 편광판, 필름 및 제 2 편광판을 투과해온 투과광을 수광하는 수광 수단을 갖는다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, it demonstrates in detail using drawing. In the defect inspection apparatus of this invention, as shown in FIG. 1, in the area | region where a film surface is inspected, the 1st polarizing plate is arrange | positioned at one side of a film, and the 2nd polarizing plate is arrange | positioned in parallel with a film at the other side, and said 1st Illumination means which illuminates a film from the outer side of a polarizing plate across a polarizing plate, and light receiving means which receives the transmitted light which permeate | transmitted the 1st polarizing plate, a film, and a 2nd polarizing plate in the other surface side of the said film.

본 발명의 결함 검사 장치가 적용되는 필름으로서는 편광판, 위상차판과 같은 광학 부재의 이형 필름으로서 사용되는 필름, 구체적으로는 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET) 필름 등의 플라스틱 필름을 들 수 있다.As a film to which the defect inspection apparatus of this invention is applied, the film used as a release film of optical members, such as a polarizing plate and a retardation plate, specifically, a plastic film, such as a polyethylene terephthalate (PET) film, is mentioned.

또한, 제 1 편광판에 대하여 적용할 수 있는 편광판은 필름을 조명하는 조명 수단으로부터의 광을 남기지 않고 편광시킬 수 있는 사이즈이면 특별하게 한정되지 않고 시판의 편광판을 적용할 수 있지만, 조명 수단으로부터 필름을 조명하는 광을 남기지 않고 충분하게 편광시키기 위해서 조명 수단의 조명 범위를 충분하게 커버할 수 있는 사이즈일 필요가 있고, 바람직하게는 필름과 평행한 평면에 있어서의 크기가 조명 수단보다 큰 편광판을 사용하는 것이 좋다. 더욱 바람직하게는 복수의 조명 수단을 필름의 폭 방향으로 배열하여 사용하는 경우에는 그 조명 수단의 수와 같은 수의 편광판을 사용함으로써 보다 고정밀도로 크로스니콜 광학계의 조정이 가능해진다.In addition, the polarizing plate which can be applied to the first polarizing plate is not particularly limited as long as it can be polarized without leaving light from the lighting means for illuminating the film, and commercially available polarizing plates can be applied. In order to sufficiently polarize without leaving light to be illuminated, it is necessary to have a size that can sufficiently cover the illumination range of the lighting means, preferably using a polarizing plate having a size in a plane parallel to the film larger than the lighting means. It is good. More preferably, when using a plurality of lighting means arranged in the width direction of the film, the cross nicol optical system can be adjusted more accurately by using the same number of polarizing plates as the number of the lighting means.

또한, 제 2 편광판에 대해서도 마찬가지로 필름을 투과해 수광 수단에 입사되는 조명광을 남기지 않고 편광시킬 수 있는 사이즈이면 특별하게 한정되지 않고 시판의 편광판을 적용할 수 있지만, 바람직하게는 수광 수단과 동수의 편광판을 사용하고, 또한 각각의 편광판을 수광 수단의 수광부 앞면에 배치함으로써 각 수광 수단마다 편광판의 각도 조정이 가능해지기 때문에 보다 고정밀도로 크로스니콜 광학계의 조정이 가능해지는 것이 좋다.In addition, the size of the second polarizing plate is not particularly limited as long as it can transmit the film and polarize it without leaving the illumination light incident on the light receiving means, but a commercially available polarizing plate can be applied, but preferably the same number of polarizing plates as the light receiving means. Since the polarizing plate can be adjusted for each light receiving means by placing each polarizing plate on the front surface of the light receiving unit of the light receiving means, the cross nicol optical system can be adjusted with higher accuracy.

또한, 수광 수단에 대해서는 편광판을 통해서 결점에서의 조명 수단으로부터의 산란·반사광을 수광할 수 있는 것이면 특별하게 한정되지 않지만, 비용이나 신호 처리의 용이함에서 시판의 CCD 카메라 또는 CMOS 카메라를 사용하는 것이 바람직하다. 더욱 바람직하게는 설치 스페이스나 카메라 1대당 촬상 시야로부터 수광소자인 CCD 또는 CMOS가 1직선 형상으로 배열되어 있는 라인 센서 카메라를 사용하는 것이 바람직하다. 또한, 비용, 수광 정밀도, 검사 범위를 고려하여 도 2에 나타내는 바와 같이 필요에 따라서 복수의 수광 수단을 폭 방향으로 배열하여 사용하는 것도 바람직하다.The light receiving means is not particularly limited as long as it can receive scattering and reflected light from the lighting means at the defect through the polarizing plate, but it is preferable to use a commercially available CCD camera or a CMOS camera for cost and ease of signal processing. Do. More preferably, it is preferable to use a line sensor camera in which a CCD or CMOS, which is a light receiving element, is arranged in a linear shape from an installation space or an imaging visual field per camera. In addition, in consideration of cost, light receiving accuracy, and inspection range, as shown in FIG. 2, it is also preferable to use a plurality of light receiving means arranged in the width direction as necessary.

또한, 조명 수단에 대해서는 필름에 있어서의 검사 범위를 균일하게 조명할 수 있는 것이 바람직하고, 예를 들면 라인 형상으로 발광 소자를 배열한 라인 형상의 LED 조명이나, 로드 형상의 형광등, 또한 메탈할라이드 램프 등의 광원으로부터의 광을 광파이버를 이용해서 로드 형상의 라이트 가이드로 안내하여 조명하는 방법을 적용할 수 있다. 특히, 조명 광량이 크기 때문에 메탈할라이드 램프 광원으로부터의 광을 광파이버를 이용해서 로드 형상의 라이트 가이드로 안내하여 조명하는 방법이 바람직하다. 이 경우, 특히 필름의 폭이 크고 검사 범위가 넓은 경우에는 1개의 긴 라이트 가이드에서는 비용이 커지기 때문에, 비용이나 검사 범위, 및 수광 수단의 개수를 고려하여 복수의 조명 수단을 필름의 폭 방향으로 배열하여 사용해도 좋다.In addition, it is preferable to be able to illuminate the test | inspection range in a film uniformly about a lighting means, For example, the linear LED lighting which arranged the light emitting element in line shape, the fluorescent lamp of rod shape, and the metal halide lamp It is possible to apply a method of guiding and illuminating light from a light source such as a light guide having a rod shape using an optical fiber. In particular, since the amount of illumination light is large, a method of guiding and illuminating light from the metal halide lamp light source with a rod-shaped light guide using an optical fiber is preferable. In this case, especially in the case where the film is large in width and the inspection range is large, the cost is increased in one long light guide, so that a plurality of lighting means are arranged in the width direction of the film in consideration of the cost, the inspection range, and the number of light receiving means. You may use it.

또한, 필름과 제 1, 제 2 편광판, 조명 수단, 수광 수단의 각각의 위치 관계에 대해서는 결점에서의 조명 수단으로부터의 산란·반사광을 가능한 한 강한 강도로 수광할 수 있도록 하기 위해서, 도 3에 나타낸 바와 같이 1직선 형상으로 배치되는 것이 바람직하다. 더욱 바람직하게는 검사 대상인 필름의 면과 상기 직선이 수직인 것이 설치의 용이함, 보수성의 관점에서 바람직하다.In addition, about the positional relationship of a film, a 1st, 2nd polarizing plate, an illumination means, and a light receiving means, in order to be able to receive the scattered and reflected light from an illumination means in a fault with strong intensity as shown in FIG. It is preferable to arrange | position in one linear shape as mentioned. More preferably, the surface of the film to be inspected and the straight line are vertical are preferable from the viewpoint of ease of installation and water retention.

또한, 제 1 편광판과 제 2 편광판의 관계에 대해서는 상기 크로스니콜법에 있어서의 크로스니콜의 상태로 배치함으로써 상기 크로스니콜법과 마찬가지의 방법으로 결함 검사를 행할 수 있다. 그 경우, 가령 결함이 존재하지 않으면 촬상부로부터 전면 흑색의 화상이 입력되지만, 결함이 존재하면 그 부분이 흑색으로 되지 않는다. 즉, 편광판 중에 이물이나 결점이 있으면 휘점으로서 나타난다. 수광 수단에 의해 얻어진 신호는 신호 처리 수단에 의해 처리되어 결점의 유무 판정 등의 처리가 행해진다.Moreover, about the relationship between a 1st polarizing plate and a 2nd polarizing plate, defect inspection can be performed by the method similar to the said cross nicol method by arrange | positioning in the state of the cross nicol in the said cross nicol method. In that case, if a defect does not exist, for example, the front black image is input from the imaging unit, but if a defect exists, the portion does not turn black. That is, if there exists a foreign material or a fault in a polarizing plate, it will appear as a bright spot. The signal obtained by the light receiving means is processed by the signal processing means, and processing such as determination of the presence or absence of a defect is performed.

또한, 제 1, 제 2 편광판 각도가 각각 독자적으로 조정되는 것이 바람직하다. 이것은 폭 방향으로 복굴절의 편차를 가지는 필름의 경우, 크로스니콜이 되는 제 1, 제 2 편광판의 각도가 필름의 폭 방향으로 다르기 때문에, 도 4에 나타내는 바와 같이 필름의 중심 부근과 필름의 끝 부근에서 복굴절(위상차)이 다르기 때문에, 가령 제 1 편광판 각도 및 제 2 편광판 각도를 폭 방향으로 각각 같은 각도로 했을 경우 폭 방향으로 최적인 크로스니콜의 조건이 되지 않기 때문에, 수광 수단으로 입광되는 수광량에 폭 방향으로 차가 발생해버린다. 또한, 도 4에 있어서 L·C·R이란 필름의 진행 방향을 향해서 좌·중앙·우를 나타낸다.Moreover, it is preferable that the angle of a 1st, 2nd polarizing plate is adjusted independently each. This is because in the case of a film having a birefringence deviation in the width direction, since the angles of the first and second polarizing plates which become cross nicol are different in the width direction of the film, as shown in FIG. 4, in the vicinity of the center of the film and near the end of the film. Since the birefringence (phase difference) is different, for example, when the angles of the first polarizing plate and the second polarizing plate are equal to each other in the width direction, the optimum cross nicol condition in the width direction is not achieved. A car is generated in the direction. In addition, in FIG. 4, L * C * R shows the left, center, and right toward the advancing direction of a film.

따라서, 도 5에 나타내는 바와 같이 제 1 편광판 각도와 제 2 편광판 각도를 필름의 폭 방향에 대하여 모든 수광 수단에 있어서 각각의 수광량이 가장 적은 각도로 각각 조정함으로써 폭 방향으로 광학적으로 최적인 크로스니콜의 조건에 가까운 상태가 얻어지기 때문에 보다 바람직하다. 여기에서, 편광판 각도를 조정한다는 것은 제 1, 제 2 편광판 모두 필름의 면과 평행하게, 또한 필름의 주행 방향에 대하여 내측 또는 외측으로 회전시키는 것을 말한다. 또한, 조정되는 각도의 방향이나 크기는 필름의 폭 방향의 편광 특성에 따라 다르지만, 예를 들면 도 4에 나타내는 바와 같이 필름의 폭 방향의 편광 특성이 U자형으로 되는 경우에는 U자형에 맞추어 제 1, 제 2 편광판 모두 중앙을 경계로 필름의 좌측의 편광판과 필름의 우측의 편광판에서는 회전시키는 방향이 반대로 되는 경향이 있고, 또한 필름의 중앙과 비교해서 단부는 최적인 각도가 커지는 경향이 있다.Therefore, as shown in FIG. 5, the cross nicol optically optimal in the width direction is adjusted by adjusting the angle of the first polarizing plate and the angle of the second polarizing plate to the angle with the smallest amount of light received in all light receiving means with respect to the width direction of the film. It is more preferable because a state close to the condition is obtained. Here, adjusting the polarizing plate angle means rotating both the first and second polarizing plates in parallel with the surface of the film and inward or outward with respect to the traveling direction of the film. In addition, although the direction and magnitude | size of the angle to be adjusted depend on the polarization characteristic of the width direction of a film, for example, as shown in FIG. 4, when the polarization characteristic of the width direction of a film turns into a U shape, it is 1st according to U shape. In the polarizing plate on the left side of the film and the polarizing plate on the right side of the film, both the second polarizing plate has a tendency to be reversed, and the optimal angle of the end portion tends to increase as compared with the center of the film.

더욱 바람직하게는 상기 제 1 편광판의 각도를 상기 제 1 면 내에서 조정하는 각도 조정 수단은 상기 제 1 편광판을 회전시킬 때의 지점으로서 기능하는 축과, 상기 제 1 편광판의 단부를 힘점으로 해서 대략 회전 방향으로 밀고 당기는 직동 기구를 갖는 것이 좋다. 이것은 제 1 편광판은 검사되는 필름의 전체 폭을 커버할 필요가 있기 때문에, 대형 LCD 텔레비전용 등 2m를 초과하는 광학 필름에 대해서는 그 이상의 폭을 갖는 제 1 편광판을 필요로 하는 것에 기인한다. 도 10과 같은 이 정도로 넓고 큰 제 1 편광판(2)을 1° 이하의 회전 정밀도로 경사지게 하기 위해서는 단순한 스테핑모터나 서보모터에 의한 회전 기구로는 회전각의 위치 결정이나 재현성이 부족하고, 도 11과 같은 직동 기구(15)에 의해 도 10에 있는 바와 같은 힘점(13)을 움직이게 함으로써 지점(14)을 축으로 제 1 편광판(2)의 단부를 대략 회전 방향으로 밀고 당기게 하는 것이 회전 정밀도의 면에서 바람직하다. 또한, 서보모터에 의해 직동 기구(15)를 구동하는 것이 정지 정밀도뿐만 아니라 구동 동작의 완료를 피드백으로 확인하는 점이나, 대부하시에 있어서도 토크의 안정성을 확보하는 점에서 바람직하다.More preferably, the angle adjusting means for adjusting the angle of the first polarizing plate within the first surface is roughly formed by using an axis serving as a point when the first polarizing plate is rotated and an end of the first polarizing plate as a force point. It is desirable to have a linear mechanism for pushing and pulling in the direction of rotation. This is due to the fact that the first polarizing plate needs to cover the entire width of the film to be inspected, and therefore requires a first polarizing plate having a width larger than that for the optical film exceeding 2 m such as for a large LCD television. In order to incline such a large and large first polarizing plate 2 as shown in FIG. 10 with a rotational accuracy of 1 ° or less, a simple stepping motor or a rotation mechanism by a servo motor lacks the positioning and reproducibility of the rotation angle. By moving the force point 13 as shown in FIG. 10 by the linear motion mechanism 15 such that the end of the first polarizing plate 2 is pushed and pulled in the direction of rotation about the point 14 as an axis, the plane of rotational accuracy is obtained. Preferred at In addition, it is preferable to drive the linear motion mechanism 15 by the servomotor in terms of confirming not only the stopping accuracy but also the completion of the driving operation by feedback, and ensuring the stability of torque even under heavy load.

더욱 바람직하게는 수광 수단의 수광량을 모니터링함으로써 최적인 각도가 되도록 모터 등의 가동 수단을 이용하여 자동적으로 조정되는 것이 좋다. 이때, 편광판 각도가 필름의 폭 방향의 복굴절 편차의 변화에 대응할 필요가 있는 것과, 편광판의 조정 정밀도가 높은 쪽이 보다 완전한 크로스니콜의 상태에 근접함에 따라 결과적으로 높은 검사 정밀도가 얻어지는 점에서 제 1, 제 2 편광판 각도가 1° 이하의 회전 정밀도로 -8°∼＋8°의 범위로 조정되는 것이 바람직하다. 제 2 편광판 각도의 조정 기구로서는 도 12 및 도 13에 보이는 바와 같이, 제 2 편광판(3)의 단부를 지점(18)을 축으로 한 지레 형상의 기구에 의해 보다 지점(18)에 가까운 힘점(17)에서 구동하는 것이 바람직하다. 이것은 단순하게 제 2 편광판(3)의 단부를 직접 스테핑모터, 서보모터 등의 회전 기구나 그것들을 사용한 직동 기구에 의해 구동할 경우에 비해서 보다 지점(18)에 가까운 힘점(17)을 구동시킴으로써 지레의 원리에 의해 적은 힘, 즉 도 13에 있어서의 제 2 편광판을 회전시키는 기구의 구동 장치(19)의 토크가 작은 것이라도 제 2 편광판을 작은 힘으로 크게 회전시키는 것이 가능해지기 때문이다. 또한, 이 지레가 되는 부분에 대해서는 도 13에 보이는 바와 같은 봉 형상의 것으로 -8°∼＋8°라고 하는 매우 미소한 각도 조정에는 충분하지만, 구동측과 마찬가지로 원반을 이용해도 마찬가지의 효과를 얻는 것은 가능하다.More preferably, it is automatically adjusted using moving means such as a motor so as to obtain an optimum angle by monitoring the light receiving amount of the light receiving means. At this time, it is necessary that the angle of the polarizing plate correspond to the change in the birefringence deviation in the width direction of the film. It is preferable that a 2nd polarizing plate angle is adjusted to the range of -8 degrees-+8 degrees with the rotation precision of 1 degrees or less. As the adjustment mechanism of 2nd polarizing plate angle, as shown in FIG. 12 and FIG. 13, the force point (closer to the point 18) by the lever-shaped mechanism which made the edge part of the 2nd polarizing plate 3 the point 18 as the axis ( It is preferable to drive in 17). This is simply performed by driving the force point 17 closer to the point 18 than the case where the end portion of the second polarizing plate 3 is directly driven by a rotating mechanism such as a stepping motor or a servomotor or a linear motion mechanism using them. This is because even if the small force, that is, the torque of the drive device 19 of the mechanism for rotating the second polarizing plate in FIG. 13 is small, the second polarizing plate can be largely rotated with a small force. In addition, about this part used as a lever, it is rod-shaped as shown in FIG. 13, and it is enough for the very small angle adjustment of -8 degrees-+8 degrees, However, similar effects are obtained even if a disc is used similarly to the drive side. It is possible.

더욱 바람직하게는 상기 필름이 검사되는 영역에 있어서 상기 제 1, 제 2 편광판의 각도를 상기 수광 수단에 있어서의 수광량이 256계조에서 10∼30의 범위가 되도록 각도를 어긋나게 해서 검사하는 것이 좋다. 이에 따라, 도 14(a), 도 14(a')에 보이는 바와 같이 상온에서의 필름 가공시에 발생한 표면 결함을 보다 높은 피크 강도로 선명하게 포착할 수 있다.More preferably, in the region where the film is inspected, the angles of the first and second polarizing plates may be inspected by shifting the angle so that the light receiving amount in the light receiving means is in the range of 10 to 30 in 256 gradations. Thereby, as shown in FIG.14 (a) and FIG.14 (a '), the surface defect which generate | occur | produced at the time of film processing at normal temperature can be captured clearly with a higher peak intensity.

또한, 더욱 바람직하게는 상기 필름이 검사되는 영역에 있어서 상기 제 1, 제 2 편광판의 각도를 상기 수광 수단에 있어서의 수광량이 256계조에서 30∼50의 범위가 되도록 각도를 어긋나게 해서 검사하는 것이 좋다. 이에 따라, 도 14(b), 도 14(b')에 보이는 바와 같이 필름 제조시나 가열시에 발생한 표면 결함을 보다 넓은 폭의 큰 상으로서 포착할 수 있다.More preferably, in the region where the film is inspected, the angles of the first and second polarizing plates may be inspected by shifting the angles so that the amount of light received in the light receiving means is in the range of 30 to 50 in 256 gradations. . Thereby, as shown in FIG.14 (b), FIG.14 (b '), the surface defect which arises at the time of film manufacture or the heating can be captured as a larger wider image.

더욱 바람직하게는 크로스니콜의 상태에서 1∼2°의 범위로 편광판의 각도를 어긋나게 해서 설치하는 것이 바람직하다. 이것은 상술한 방법에 의해 제 1, 제 2 편광판 각도를 각각 최적인 각도로 조정됨으로써 폭 방향으로 최적인 크로스니콜의 조건에 근접한 상태로 한 경우라도 각 수광 수단에 있어서 크로스니콜의 상태가 다르기 때문에, 예를 들면 수광 수단의 개수가 5개인 경우에는 도 6에 나타내는 바와 같이 수광량의 베이스라인이 필름의 중심 부근과 끝에서 다른 수광량의 분포가 발생한다. 그러나, 각 수광 수단은 최적인 편광판 각도로 조정되어 있기 때문에, 예를 들면 필름의 끝 부근의 수광량의 베이스라인을 낮춰서 중심 부근에 맞추는 것은 곤란하다. 그래서, 도 7에 나타낸 바와 같이 각 수광 수단의 앞면에 배치되어 있는 제 2 편광판의 각도를 1∼2°의 범위로 어긋나게 함으로써, 수광량의 베이스라인을 높이는 방향으로 조정함으로써 보잉에 의한 복굴절의 곡선적인 분포를 갖는 필름에 대해서도 도 8에 나타내는 바와 같이 각각의 수광 수단의 수광량을 폭 방향으로 균일화시켜 직선성을 얻는 것이 가능해진다.More preferably, the angle of the polarizing plate is shifted and provided in the range of 1 to 2 degrees in the state of cross nicol. This is because the state of cross nicol is different in each light receiving means even when the first and second polarizing plate angles are adjusted to the optimum angles by the above-described method, even when the conditions are close to the conditions of cross nicol optimal in the width direction. For example, when the number of light receiving means is five, as shown in FIG. 6, the distribution of the light reception amount which the baseline of light reception amount differs in the vicinity of the center of a film, and an edge | tip is generated. However, since each light receiving means is adjusted to the optimal polarizing plate angle, it is difficult to lower the baseline of the light receiving amount near the end of the film and to adjust the center of light to the vicinity. Therefore, as shown in FIG. 7, by shifting the angle of the second polarizing plate disposed on the front surface of each light receiving means in the range of 1 to 2 °, the birefringence curve by the bowing is adjusted by adjusting the baseline of the light receiving amount in the direction of raising. Also about the film which has a distribution, as shown in FIG. 8, it becomes possible to equalize the light reception amount of each light receiving means in a width direction, and to obtain linearity.

이에 따라, 필름의 폭 방향으로 검출 감도를 일정하게 하는 것이 가능해지고, 도 9(a)에 나타내는 바와 같은 종래 기술에 비해서 본 발명 기술에 의해 도 9(b)에 있는 바와 같이, 결점이 없는 부분의 수광량의 베이스라인이 보다 밝은 방향으로 조정됨과 아울러 공기층에 의한 광산란분 등에 의해 발생하는 백그라운드 노이즈가 커버됨으로써 노이즈 N이 N'로 저감될 수 있어 S/N비를 높일 수 있다. 이에 따라, 종래 기술보다 결점이 없는 부분의 수광량의 베이스라인에 대하여 결점 검지를 위한 역치를 근접시키는 것이 가능해지고, 결점에 의해 역치를 초과하는 수광량을 검지하는 폭 h도 h'로 보다 널리 확보할 수 있기 때문에 보다 고밀도이고 또한 보다 오검출이 적은 검사가 가능해진다.Thereby, it becomes possible to make a detection sensitivity constant in the width direction of a film, and it is a part without a fault, as shown in FIG. 9 (b) by the technique of this invention compared with the prior art as shown in FIG.9 (a). Since the baseline of the received amount of light is adjusted in a brighter direction and the background noise generated by light scattering by the air layer or the like is covered, the noise N can be reduced to N ', thereby increasing the S / N ratio. As a result, the threshold for detecting defects can be brought closer to the baseline of the amount of received light without a defect than in the prior art, and the width h for detecting the received light amount exceeding the threshold due to the defect can be more widely ensured by h '. As a result, a higher density and less false detection can be performed.

[실시예][Example]

[실시예 1]Example 1

피검사 샘플로서 토레이제 "루미러(Lumirror)" [38R64]를 준비했다.A Toray "Lumirror" [38R64] was prepared as a test sample.

본 발명의 결함 검사 장치에 있어서, 조명 수단으로서 250W의 메탈할라이드(메지로 프레시전 제 BMH-250A)를 사용하고, 수광 수단으로서 분해능 25㎛의 CCD 카메라(DALSA 제 P3-80-8K-40)와 제 2 편광판을 조합시켜서 복수 배치하고, 피검사 샘플에 대해서 검사 폭 1255㎜를 촬상하여 베이스 수광량의 확인을 행했다.In the defect inspection apparatus of the present invention, a CCD camera having a resolution of 25 µm (DALSA P3-80-8K-40) using a 250W metal halide (Mejiro Precision BMH-250A) as an illuminating means and a light receiving means. And a 2nd polarizing plate were combined, and it arrange | positioned in multiple numbers, the inspection width 1255 mm was imaged about the to-be-tested sample, and the base light-receiving amount was confirmed.

베이스 수광량의 평가는 제 1 편광판, 제 2 편광판의 양쪽 각도를 조정하고, 전체 검사 폭에서의 수광량의 256계조에서 평가했을 때의 평균값이 최소가 된 상태에서 수광량의 최대값과 최소값의 차를 확인하고, 이 차를 수광량 편차로서 평가했다. 실시예에 있어서의 수광량 편차는 20 이하인 것을 확인했다.Evaluation of base light reception amount adjusts both angles of a 1st polarizing plate and a 2nd polarizing plate, and confirms the difference between the maximum value and the minimum value of light reception amount in the state in which the average value when it evaluated at 256 gray levels of the light reception amount in the whole inspection width became the minimum. And this difference was evaluated as light-light-quantity variation. It was confirmed that the light-light-quantity variation in an Example is 20 or less.

또한, 제 1 편광판, 제 2 편광판의 양쪽의 각도를 조정함으로써 베이스 수광량을 256계조에서 10∼30, 및 30∼50의 범위로 조정 가능한 것을 확인했다. 이것으로부터 실시예 1의 조건에서는 필름 폭 방향으로 복굴절의 편차를 갖는 필름에 있어서도 검사 정밀도가 균일하여 정밀도 좋게 검사를 행할 수 있는 것을 확인했다.Moreover, it was confirmed that the base light-receiving amount can be adjusted in the range of 10-30 and 30-50 by 256 tones by adjusting the angle of both a 1st polarizing plate and a 2nd polarizing plate. From this, the conditions of Example 1 confirmed that even in the film which has the birefringence deviation in the film width direction, an inspection precision is uniform and it can test | inspect accurately.

실시예 1에 있어서의 조건에 의해 구체적으로 표면 결함을 촬상한 것을 도 14에 나타낸다. 상온에서의 PET 필름 가공시에 발생한 표면 결함을 본 발명의 수광 수단에 있어서의 수광량이 256계조에서 10∼30의 범위로 하여 촬상한 화상 (a), 및 256계조에서 30∼50의 범위로 하여 촬상한 화상 (a')를 비교하면, 베이스라인으로부터의 피크 강도는 (a)에서 40, (a')에서 17이었다. 즉, 이렇게 상온에서 필름 표면에 발생한 결함을 검출하는 것에 있어서는 본 발명의 수광 수단에 있어서의 수광량이 256계조에서 10∼30의 범위로 하여 촬상함으로써 S/N비의 향상이 실현되었다.14 shows an image of surface defects specifically under the conditions in Example 1. FIG. Surface defects generated at the time of PET film processing at room temperature are taken in the image (a) and the range of 30 to 50 at 256 tones. Comparing the picked-up image (a '), the peak intensities from the baseline were 40 in (a) and 17 in (a'). That is, in detecting the defect which occurred in the film surface at normal temperature in this way, the improvement of the S / N ratio was implement | achieved by image picking up the light reception amount in the light receiving means of this invention in the range of 10-30 in 256 gradations.

또한, PET 필름 제조에 있어서의 가열 연신시에 발생한 표면 결함을 본 발명의 수광 수단에 있어서의 수광량이 256계조에서 10∼30의 범위로 하여 촬상한 화상 (b), 및 256계조에서 30∼50의 범위로 하여 촬상한 화상 (b')를 비교하면, 베이스라인으로부터의 피크 강도는 (b)에서 80, (b')에서 70이었지만, 검출되는 폭은 (b)에서 760, (b')에서 940으로 큰 차가 보였다. 즉, 이렇게 가열 공정에 의해 필름 표면에 발생한 결함을 검출하는 것에 있어서는 본 발명의 수광 수단에 있어서의 수광량이 256계조에서 30∼50의 범위로 하여 촬상함으로써 역치를 초과하는 수광량을 검지하는 폭(h)의 향상이 실현되었다.Moreover, the image (b) which imaged the surface defect which arose at the time of the heat drawing in PET film manufacture in the light receiving means of this invention in the range of 256 to 10 to 30, and 30-50 to 256 tones. When comparing the image (b ') picked up in the range of, the peak intensity from the baseline was 80 in (b) and 70 in (b'), but the detected width was (760) in (b) and (b '). In 940 a big car was seen. That is, in detecting the defect which occurred in the film surface by the heating process in this way, the width | variety (h) which detects the light reception amount exceeding a threshold by image picking up in the light-receiving amount in the light-receiving means of this invention in the range of 30-50 in 256 gradations (h ) Is achieved.

[비교예 1]Comparative Example 1

실시예 1에 있어서의 같은 장치, 같은 필름을 사용하여 카메라측에 설치되어 있는 제 2 편광판의 각도를 일률적으로 고정하고, 광원측에 설치된 제 1 편광판의 각도만을 조정함으로써 특허문헌 2에 기재되어 있는 바와 같이 편광판의 상대 각도만을 조정하는 것 이외에는 실시예와 마찬가지로 촬상하여 베이스 수광량의 확인을 행했다.It is described in patent document 2 by uniformly fixing the angle of the 2nd polarizing plate provided in the camera side using the same apparatus and the same film in Example 1, and adjusting only the angle of the 1st polarizing plate provided in the light source side. As described above, imaging was performed in the same manner as in the example except that only the relative angles of the polarizing plates were adjusted.

비교예 1의 조건에서는 수광량 편차 30보다 커지고, 베이스 수광량을 256계조에서 10∼30, 및 30∼50의 범위로 조정할 수는 없었다. 이것으로부터 비교예의 조건에서는 필름 폭 방향으로 복굴절의 편차를 갖는 필름에서는 검사 정밀도가 균일하게 되지 않고, 정밀도 좋은 검사를 행할 수 없는 것이 확인되었다.Under the conditions of Comparative Example 1, the light reception amount deviation was greater than 30, and the base light reception amount could not be adjusted in the range of 10 to 30 and 30 to 50 in 256 gradations. From this, it was confirmed that in the film of the comparative example in the conditions of a comparative example, in the film which has the birefringence deviation, inspection precision does not become uniform and inspection with high precision cannot be performed.

(산업상의 이용 가능성)(Industrial availability)

본 발명은 필름의 결함 검출 장치에 한하지 않고 투과성이 있는 종이나 시트 형상인 것의 결함 검출 장치 등에도 응용할 수 있지만, 그 응용 범위가 이것들에 한정되는 것은 아니다.Although this invention is applicable not only to the defect detection apparatus of a film but also to the defect detection apparatus of a permeable paper or sheet form, etc., the application range is not limited to these.

1 : 검사 대상의 필름 2 : 제 1 편광판
3 : 제 2 편광판 4 : 조명 수단
5 : 수광 수단 6 : 신호 처리 수단
7 : 제조시에 좌측의 부분으로부터 얻어진 필름
8 : 제조시에 중앙부로부터 얻어진 필름
9 : 제조시에 우측의 부분으로부터 얻어진 필름
10 : 제조시에 좌측의 부분으로부터 얻어진 필름에 있어서의 수광량 분포
11 : 제조시에 중앙부로부터 얻어진 필름에 있어서의 수광량 분포
12 : 제조시에 우측의 부분으로부터 얻어진 필름에 있어서의 수광량 분포
13 : 제 1 편광판을 회전시킬 때의 힘점
14 : 제 1 편광판을 회전시킬 때의 지점
15 : 제 1 편광판을 대략 회전 방향으로 밀고 당기는 직동 기구
16 : 직동 기구의 구동 장치
17 : 제 2 편광판을 회전시킬 때의 힘점
18 : 제 2 편광판을 회전시킬 때의 지점
19 : 제 2 편광판을 회전시키는 기구의 구동 장치1: Film to be inspected 2: First polarizing plate
3: second polarizer 4: lighting means
5: light receiving means 6: signal processing means
7: Film obtained from the left part at the time of manufacture
8: film obtained from the center part at the time of manufacture
9: film obtained from the right side at the time of manufacture
10: Light-receiving amount distribution in the film obtained from the left part at the time of manufacture
11: Light-receiving amount distribution in the film obtained from the center part at the time of manufacture
12: Light-receiving amount distribution in the film obtained from the part of the right side at the time of manufacture
13: Force point when rotating the first polarizing plate
14: point when rotating the first polarizing plate
15: The linear motion mechanism for pushing and pulling the first polarizing plate in the approximately rotational direction
16: drive device of linear motion mechanism
17: force point when rotating the second polarizing plate
18: point when rotating the second polarizing plate
19: drive device of mechanism for rotating second polarizing plate

Claims (12)

장척물의 필름의 결함을 검출하는 검사 장치로서:
상기 필름의 한쪽면측에 상기 필름을 조명하는 조명 수단과, 상기 조명 수단과 상기 필름 사이에 설치된 제 1 편광판과, 상기 필름의 다른쪽면측에 설치된 제 2 편광판과, 상기 필름의 다른쪽면측에 설치되고 상기 조명 수단으로부터 조명되어 상기 제 1 편광판, 상기 필름 및 상기 제 2 편광판을 투과해온 투과광을 수광하는 수광 수단을 갖고,
상기 제 1 편광판의 각도를 상기 제 1 편광판의 면 내에서, 상기 제 2 편광판의 각도를 상기 제 2 편광판의 면 내에서 각각 독자적으로 조정하는 각도 조정 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 필름의 결함 검사 장치.As an inspection apparatus for detecting defects in long films:
Illuminating means for illuminating the film on one side of the film, a first polarizing plate provided between the illuminating means and the film, a second polarizing plate provided on the other side of the film, and provided on the other side of the film And light-receiving means which is illuminated from said illumination means and receives the transmitted light which has transmitted through said first polarizing plate, said film and said second polarizing plate,
It has angle adjusting means which adjusts the angle of a said 1st polarizing plate independently in the surface of a said 1st polarizing plate, and each of an angle of a said 2nd polarizing plate in the surface of a said 2nd polarizing plate, The defect inspection apparatus of the film characterized by the above-mentioned. . 제 1 항에 있어서,
상기 제 2 편광판 및 상기 수광 수단은 상기 필름의 폭 방향으로 복수개 배치되어 있고, 상기 제 2 각도 조정 수단은 상기 복수의 제 2 편광판에 각각 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 필름의 결함 검사 장치.The method of claim 1,
The second polarizing plate and the light receiving means are arranged in plural in the width direction of the film, and the second angle adjusting means is provided in the plurality of second polarizing plates, respectively. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 제 1 편광판의 각도를 상기 제 1 면 내에서 조정하는 각도 조정 수단은 상기 제 1 편광판을 회전시킬 때의 지점으로서 기능하는 축과, 상기 제 1 편광판의 단부를 힘점으로 해서 대략 회전 방향으로 밀고 당기는 직동 기구를 갖는 것을 특징으로 하는 필름의 결함 검사 장치.3. The method according to claim 1 or 2,
An angle adjusting means for adjusting the angle of the first polarizing plate within the first surface is pushed in an approximately rotational direction using an axis serving as a point when the first polarizing plate is rotated and an end of the first polarizing plate as a force point. It has a pulling linear mechanism, the defect inspection apparatus of the film characterized by the above-mentioned. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제 1, 제 2 편광판의 각도는 1° 이하의 회전 정밀도로 적어도 -8°∼＋8°의 범위로 조정되는 것을 특징으로 하는 필름의 결함 검사 장치.The method according to any one of claims 1 to 3,
The angle of the said 1st, 2nd polarizing plate is adjusted to the range of -8 degrees-+8 degrees at least by the rotation precision of 1 degrees or less, The defect inspection apparatus of the film characterized by the above-mentioned. 장척물의 필름의 결함을 검출하는 결점 검사 방법으로서:
상기 필름의 한쪽면측에 설치한 조명 수단에 의해 상기 필름을 조명하고, 상기 조명 수단과 상기 필름 사이에 제 1 편광판을 설치하고, 상기 필름의 다른쪽면측에 제 2 편광판을 설치하고, 상기 조명 수단으로부터 조명되어 상기 제 1 편광판, 상기 필름 및 상기 제 2 편광판을 투과해온 투과광을 상기 필름의 다른쪽면측에 설치한 수광 수단에 의해 수광하고, 상기 제 1 편광판의 각도를 상기 제 1 편광판의 면 내에서, 상기 제 2 편광판의 각도를 상기 제 2 편광판의 면 내에서 각각 독자적으로 조정하는 것을 특징으로 하는 필름의 결함 검사 방법.As a defect inspection method for detecting defects in long films:
Illuminating the film by means of illumination provided on one side of the film, providing a first polarizing plate between the illumination means and the film, and providing a second polarizing plate on the other side of the film, Transmitted light transmitted from the first polarizing plate, the film, and the second polarizing plate by light receiving means provided on the other surface side of the film, and the angle of the first polarizing plate is in-plane of the first polarizing plate. In which the angle of the said 2nd polarizing plate is adjusted independently in the surface of the said 2nd polarizing plate, The defect inspection method of the film characterized by the above-mentioned. 제 5 항에 있어서,
상기 제 2 편광판 및 상기 수광 수단을 상기 필름의 폭 방향으로 복수개 배치하고, 배치 위치에 따라서 상기 제 2 편광판의 각도를 독자적으로 조정하는 것을 특징으로 하는 필름의 결함 검사 방법.The method of claim 5, wherein
The 2nd polarizing plate and the said light receiving means are arrange | positioned in the width direction of the said film, and the angle of the said 2nd polarizing plate is adjusted independently according to an arrangement position, The defect inspection method of the film characterized by the above-mentioned. 제 5 항 또는 제 6 항에 있어서,
상기 제 1 편광판의 각도를 상기 제 1 면 내에서 조정할 때에 상기 제 1 편광판을 회전시킬 때의 지점으로서 기능하는 축과, 상기 제 1 편광판의 단부를 힘점으로 해서 대략 회전 방향으로 밀고 당기는 직동 기구에 의해 상기 편광판 각도가 1° 이하의 회전 정밀도로 미조정되는 것을 특징으로 하는 필름의 결함 검사 방법.The method according to claim 5 or 6,
In the linear motion mechanism which pushes and pulls in the direction of rotation about the axis which functions as a point at the time of rotating the said 1st polarizing plate at the time of adjusting the angle of the said 1st polarizing plate in the said 1st surface, and the edge part of the said 1st polarizing plate as a force point. The polarizing plate angle is fine-adjusted by the rotation precision of 1 degrees or less by the defect inspection method of the film characterized by the above-mentioned. 제 5 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제 1, 제 2 편광판의 각도를 상기 수광 수단에 있어서의 수광량이 256계조에서 10∼30의 범위가 되도록 각도를 어긋나게 해서 검사하는 것을 특징으로 하는 필름의 결함 검사 방법.8. The method according to any one of claims 5 to 7,
The angle of the said 1st, 2nd polarizing plate is inspected by shifting an angle so that the light reception amount in the said light receiving means may be in the range of 10-30 in 256 gradations, The defect inspection method of the film characterized by the above-mentioned. 제 5 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제 1, 제 2 편광판의 각도를 상기 수광 수단에 있어서의 수광량이 256계조에서 30∼50의 범위가 되도록 각도를 어긋나게 해서 검사하는 것을 특징으로 하는 필름의 결함 검사 방법.8. The method according to any one of claims 5 to 7,
The angle of the said 1st, 2nd polarizing plate is inspected by shifting an angle so that the light-receiving amount in the said light receiving means may be in the range of 30-50 in 256 gradations, The defect inspection method of the film characterized by the above-mentioned. 제 5 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제 1, 제 2 편광판의 각도를 상기 수광 수단에 있어서의 수광량이 최소값이 되는 상태로부터 1∼2°의 범위로 어긋나게 한 상태에서 검사하는 것을 특징으로 하는 필름의 결함 검사 방법.10. The method according to any one of claims 5 to 9,
It examines in the state which shifted the angle of the said 1st, 2nd polarizing plate in the range of 1-2 degrees from the state in which the light reception amount in the said light receiving means becomes a minimum value, The defect inspection method of the film characterized by the above-mentioned. 제 5 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,
다른 광학 필름이나 광학 부재를 접합시키기 전의 이형 필름의 상태에서 결함 검사를 적용하는 것을 특징으로 하는 필름의 결함 검사 방법.11. The method according to any one of claims 5 to 10,
The defect inspection method of the film characterized by applying defect inspection in the state of the release film before bonding another optical film or an optical member. 제 5 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 기재된 필름의 결함 검사 방법에 의해 결함 검사를 실시한 것을 특징으로 하는 이형 필름.The defect inspection was performed by the defect inspection method of the film in any one of Claims 5-11, The release film characterized by the above-mentioned.
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