KR20130024635A - 반응 용기 및 이를 포함하는 진공 열처리 장치 - Google Patents

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Abstract

실시예에 따른 반응 용기는, 성형체 내부에 흑연 분말을 투입하는 단계; 및 상기 성형체를 가압하는 단계를 포함하고, 상기 흑연 분말은 서로 다른 입도를 가지는 제 1 흑연 분말 및 제 2 흑연 분말을 포함할 수 있다.
실시예에 따른 진공 열처리 장치는, 챔버; 상기 챔버 내에 위치하는 반응 용기; 및 상기 챔버 내에서 상기 반응 용기를 가열하는 가열부재를 포함하고, 상기 반응 용기는 흑연을 포함하며, 상기 반응 용기의 밀도는 1.8 이상 내지 2.1 이하일 수 있다.

Description

반응 용기 및 이를 포함하는 진공 열처리 장치{REACTION CONTAINER AND VACUUM HEAT TREATMENT APPARATUS HAVING THE SAME}
실시에는 반응 용기 및 이를 포함하는 진공 열처리 장치에 관한 것이다.
진공 열처리 장치는 원료를 도가니 내에서 열처리하여 원하는 물질을 제조하는 장치로서, 진공 상태에서 열처리를 수행하여 주위로부터의 오염이 발생하지 않는 등의 장점이 있다, 이러한 진공 열처리 장치에서는, 진공으로 유지되는 챔버 내에 단열 부재를 위치시키고 이 단열 부재 내에 히터를 위치시켜 원료를 가열한다.
그런데, 반응 중에 도가니가 원료와 반응하여 생성된 물질이 도가니 내벽에 부착될 수 있다. 이렇게 생성된 물질은 도가니와 다른 물질이므로 이종 물질 간의 열팽창 계수 차이에 의하여 도가니에 열 응력이 가해진다. 심각할 경우 열 응력에 의하여 반응 도중에 도가니가 파손될 수 있다. 이에 의하여 도가니 교체 비용이 고다하게 발생하여 생산성이 저하될 수 있다.
종래에는 반응 용기 내에 버퍼부를 배치하여 반응 중 생성된 물질이 도가니 내부에 증착되는 것을 방지함으로써, 증착된 반응물 또는 생성물 및 도가니 사이의 열팽창 차이로 인한 도가니의 크랙 및 파손을 방지할 수 있었다.
또한, 종래에는 상기 반응 용기의 모양을 변형시킴으로써, 반응 중 생성되는 물질이 도가니 내부에 증착되어 도가니의 파손 및 크랙을 유발하는 것을 방지할 수 있었다. 즉, 도가니와 반응 생성물의 열팽창 차이를 상기 반응 용기의 모양을 변형함으로써 보상하는 방법이 있었다.
그러나, 상기 방법에 의해서도 상기 반응 중 생성 물질이 과도하게 증착되는 경우에는 여전히 도가니의 크랙 및 파손이 발생할 수 있게 된다. 즉, 반응 생성물과 도가니의 이종 물질간의 열팽창 계수 차이는 매우 크기 때문에, 상기 방법들에 의해 이종 물질 간의 열팽창 계수의 차이에 의해 도가니에 작용하는 응력을 막는데는 한계가 있다.
따라서, 상기 도가니의 모양 또는 구조를 변형하지 않으면서, 상기 반응 생성물과 도가니의 열챙창 차이에 따른 응력에 의한 도가니의 크랙 발생 및 파손을 방지할 수 있는 방안이 요구된다.
실시예는 파손을 방지할 수 있는 반응 용기 및 이를 포함하는 진공 열처리 장치 를 제공하고자 한다.
실시예에 따른 반응 용기 제조 방법은, 흑연 분말을 가압하여 성형체를 제조하는 단계; 및 상기 성형체를 가공하여 반응 용기를 제조하는 단계를 포함하고, 상기 흑연 분말의 입경은 10㎛ 내지 100㎛ 일 수 있다.
실시예에 따른 진공 열처리 장치는, 챔버; 상기 챔버 내에 위치하는 반응 용기; 및 상기 챔버 내에서 상기 반응 용기를 가열하는 가열부재를 포함하고, 상기 반응 용기는 흑연을 포함하며, 상기 흑연은 10㎛ 내지 100㎛의 입경을 가질 수 있다.
실시예에 따라 제조되는 반응 용기는 10㎛ 내지 100㎛의 입경을 가지는 흑연 분말로 제조될 수 있다.
이에 따라, 상기 흑연 분말의 기공을 통해 침투하는 SiO 가스와 상기 흑연 분말의 반응성이 감소할 수 있다.
즉, 상기 흑연 분말의 입경을 10㎛ 내지 100㎛ 로 함으로써, 상기 SiO 가스와 상기 흑연 분말의 반응성을 감소하므로, 이로 인해 생성될 수 있는 SiC의 생성을 감소할 수 있다.
따라서, 상기 반응 용기에 생성되는 SiC의 발생을 감소함으로써, 상기 SiC와 흑연의 열팽창 차이로 인한 반응 용기의 크랙 및 파손을 방지할 수 있다.
이에 따라, 상기 반응 용기의 크랙 및 파손을 방지할 수 있으므로, 상기 반응 용기를 포함하는 진공 열처리 장치를 이용한 실리콘 카바이드 분말의 제조시 반응 용기의 교체 또는 수리 등의 횟수가 감소하므로, 보다 높은 제조 효율 및 비용 절감을 가져올 수 있다.
도 1은 실시예에 따른 진공 열처리 장치의 개략적인 도면이다.
도 2는 실시예에 따른 반응 용기 제조 방법의 공정도를 도시한 도면이다.
실시예들의 설명에 있어서, 각 층(막), 영역, 패턴 또는 구조물들이 기판, 각 층(막), 영역, 패드 또는 패턴들의 “상/위(on)”에 또는 “하/아래(under)”에 형성된다는 기재는, 직접(directly) 또는 다른 층을 개재하여 형성되는 것을 모두 포함한다. 각 층의 상/위 또는 하/아래에 대한 기준은 도면을 기준으로 설명한다.
도면에서 각 층(막), 영역, 패턴 또는 구조물들의 두께나 크기는 설명의 명확성 및 편의를 위하여 변형될 수 있으므로, 실제 크기를 전적으로 반영하는 것은 아니다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 1은 실시예에 따른 반응 용기 제조 방법의 공정도를 도시한 도면이다.
도 1을 참조하면, 실시예에 따른 반응 용기 제조 방법은, 흑연 분말을 가압하여 성형체를 제조하는 단계(ST10); 및 상기 성형체를 가공하여 반응 용기를 제조하는 단계(ST20)를 포함하고, 상기 흑연 분말의 입경은 10㎛ 내지 100㎛ 일 수 있다.
흑연 분말을 가압하여 흑연 성형체를 제조하는 단계(ST10)에서는, 상기 흑연 분말을 가압 성형하여 흑연 성형체를 제조할 수 있다.
상기 성형체는 압출, 금형 성형법 또는 냉간정수압 성형법(CIP) 등의 방법을 이용하여 가압 성형될 수 있으나, 상기 실시예에 제한되는 것은 아니며, 다양한 성형 방법을 이용하여 성형체를 제조할 수 있다.
이후, 상기 성형체를 가공하여 반응 용기를 제조하는 단계(ST20)에서는 상기 흑연 성형체를 반응 용기 또는 도가니의 형상으로 가공하여 최종 제품인 반응 용기를 제조할 수 있다.
상기 흑연 분말의 입경은 10㎛ 내지 100㎛ 일 수 있다. 바람직하게는, 상기 흑연 분말의 입경은 15㎛ 내지 100㎛ 일 수 있다. 더 바람직하게는, 상기 흑연 분말의 입경은 15㎛ 내지 50㎛ 일 수 있다.
종래 상기 반응 용기는 3㎛ 내지 10㎛의 입경을 가지는 흑연 분말을 이용하여 제조될 수 있다. 또한, 이에 따라 제조되는 반응 용기의 기공율은 20% 내지 30% 일 수 있다.
이때, 상기 반응 용기 내의 흑연 입자 사이의 기공은 반응 용기의 파손 원인이 될 수 있었다. 즉, 반응 용기 내부에서 탄소원과 규소원을 포함하는 혼합 재료가 반응하는 경우, 반응에 의한 SiO 가스가 상기 반응 용기 내부의 기공을 통해 침투할 수 있는데, 이때, 상기 기공을 통해 반응 용기 내로 침투되는 SiO 가스는 흑연과 반응하여 반응 생성물인 SiC를 생성할 수 있다.
이에 따라, 상기 반응 용기는 반응에 의해 반응 용기에 생성되는 SiC와 흑연 간의 열팽창계수의 차이에 의해 응력을 받게 되어 상기 반응 용기에 크랙이 발생하거나 또는 파손을 야기하는 문제점이 있었다.
상기 SiO 가스와 상기 흑연의 반응성은 상기 흑연 분말의 입경 크기에 따라 달라질 수 있다. 즉, 상기 흑연 분말의 입경이 작으면, 상기 반응성은 커지게 되어 SiC의 생성을 증가시킨다. 반면에 상기 흑연 분말의 입경이 크면, 상기 반응성은 작아지게 되므로 SiC의 생성을 감소시킬 수 있다.
실시예에 따른 반응 용기 제조 방법은 상기 흑연 분말의 입경을 10㎛ 내지 100㎛, 바람직하게는, 15㎛ 내지 100㎛, 더 바람직하게는, 15㎛ 내지 50㎛의 범위로 하여 상기 흑연 분말의 입경을 증가시킴으로써, 상기 반응성을 감소하여 상기 반응에 의한 SiC의 생성을 감소할 수 있다.
이때, 상기 흑연 분말의 입경이 100㎛를 초과하게 되는 경우에는 반응 용기의 파괴 강도가 저하되게 되어 또 다른 문제가 발생할 수 있으므로, 입경 범위는 100㎛ 이하로 제한한다.
따라서, 실시예에 따라 제조되는 반응 용기는 상기 흑연 분말의 입경을 크게 하여, 상기 반응에 의한 반응 생성물을 감소할 수 있으므로, 반응 생성물인 SiC와 흑연 간의 열팽창 계수 차이에 의한 크랙 또는 파손을 감소할 수 있다.
도 2는 실시예에 따른 진공 열처리 장치의 개략적인 도면이다.
도 2를 참조하면, 실시예에 따른 진공 열처리 장치는, 챔버; 상기 챔버 내에 위치하는 반응 용기; 및 상기 챔버 내에서 상기 반응 용기를 가열하는 가열부재를 포함하고, 상기 반응 용기는 흑연을 포함하며, 상기 흑연은 10㎛ 내지 100㎛의 입경을 가질 수 있다.
이를 좀더 상세하게 설명하면 다음과 같다.
분위기 가스 공급 파이프(도시하지 않음)을 통하여 챔버(10)의 외부로 분위기 가스가 주입된다. 분위기 가스로는 아르곤(Ar), 헬륨(He) 등의 불활성 가스를 사용할 수 있다.
챔버(10) 내에 위치하는 단열 부재(20)는 반응 용기(30)가 반응에 적정한 온도로 유지될 수 있도록 단열시키는 역할을 한다. 이러한 단열 부재(20)는 고온에 견딜 수 있도록 흑연을 포함할 수 있다.
단열 부재(20) 내에는 혼합 원료가 충전되고 이들의 반응에 의하여 원하는 물질이 생성되는 반응 용기(30)가 위치한다. 이러한 반응 용기(30)는 고온에 견딜 수 있도록 흑연을 포함할 수 있다.
상기 흑연의 입경은 10㎛ 내지 100㎛ 일 수 있다. 바람직하게는, 상기 흑연 의 입경은 15㎛ 내지 100㎛ 일 수 있다. 더 바람직하게는, 상기 흑연의 입경은 15㎛ 내지 50㎛ 일 수 있다.
상기 흑연의 입경을 증가시킴으로써, 후술하는 SiO 가스와 흑연의 반응성을 감소 시킬수 있다.
반응 중에 생성되는 가스 등은 반응 용기(30)에 연결된 배기구를 통하여 배출될 수 있다.
단열 부재(20)와 반응 용기(30) 사이에는 반응 용기(30)를 가열하는 가열 부재가 위치한다. 이러한 가열 부재는 다양한 방법에 의하여 반응 용기(30)에 열을 제공할 수 있다. 일례로, 가열 부재는 흑연에 전압을 가하여 열을 발생시킬 수 있다.
이러한 진공 열처리 장치는 일례로, 탄소원과 규소원을 포함하는 혼합 원료를 가열하여 탄화규소를 제조하는 탄화 규소의 제조 장치로 이용될 수 있다. 그러나 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다.
상기 반응 용기는 상기 흑연의 입경을 10㎛ 내지 100㎛, 바람직하게는, 15㎛ 내지 100㎛, 더 바람직하게는, 15㎛ 내지 50㎛의 범위로 제한할 수 있다.
상기 SiO 가스와 상기 흑연의 반응은 상기 흑연의 입경 크기와 관계있는데, 상기 흑연의 입경을 증가시킴으로써, 상기 흑연 입자 사이의 기공을 통해 침투하는 SiO 가스와 상기 흑연의 반응성을 감소시킬 수 있으므로, 상기 반응에 의한 반응 생성물인 SiC의 생성을 감소할 수 있다.
이때, 상기 흑연 분말의 입경이 100㎛를 초과하게 되는 경우에는 반응 용기의 파괴 강도가 저하되게 되어 또 다른 문제가 발생할 수 있으므로, 입경 범위는 100㎛ 이하로 제한한다.
따라서, 실시예에 따라 제조되는 반응 용기는 상기 흑연 분말의 입경을 크게 하여, 상기 반응에 의한 반응 생성물을 감소할 수 있으므로, 반응 생성물인 SiC와 흑연 간의 열팽창 계수 차이에 의한 크랙 또는 파손을 감소할 수 있다.
이에 따라, 상기 반응 용기의 크랙 및 파손을 방지할 수 있으므로, 상기 진공 열처리 장치를 이용한 실리콘 카바이드 분말의 제조시 반응 용기의 교체 또는 수리 등의 횟수가 감소하므로, 보다 높은 제조 효율 및 비용 절감을 가져올 수 있다.
상술한 실시예에 설명된 특징, 구조, 효과 등은 본 발명의 적어도 하나의 실시예에 포함되며, 반드시 하나의 실시예에만 한정되는 것은 아니다. 나아가, 각 실시예에서 예시된 특징, 구조, 효과 등은 실시예들이 속하는 분야의 통상의 지식을 가지는 자에 의하여 다른 실시예들에 대해서도 조합 또는 변형되어 실시 가능하다. 따라서 이러한 조합과 변형에 관계된 내용들은 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
또한, 이상에서 실시예들을 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예들에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부한 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

Claims (6)

  1. 흑연 분말을 가압하여 성형체를 제조하는 단계; 및
    상기 성형체를 가공하여 반응 용기를 제조하는 단계를 포함하고,
    상기 흑연 분말의 입경은 10㎛ 내지 100㎛인 반응 용기 제조 방법.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 흑연 분말의 입경은 15㎛ 내지 100㎛인 반응 용기 제조 방법.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 흑연 분말의 입경은 15㎛ 내지 50㎛인 반응 용기 제조 방법.
  4. 챔버;
    상기 챔버 내에 위치하는 반응 용기; 및
    상기 챔버 내에서 상기 반응 용기를 가열하는 가열부재를 포함하고,
    상기 반응 용기는 흑연을 포함하며,
    상기 흑연은 10㎛ 내지 100㎛의 입경을 가지는 진공 열처리 장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 흑연은 15㎛ 내지 100㎛의 입경을 가지는 진공 열처리 장치.
  6. 제 4항에 있어서,
    상기 흑연은 15㎛ 내지 50㎛의 입경을 가지는 진공 열처리 장치.
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DE1533253C3 (de) * 1966-12-01 1975-02-13 Bayer Ag, 5090 Leverkusen Elektroden zum Aufheizen von Sauerstoff und mittels dieser Elektroden durchgeführtes Verfahren
US3972704A (en) * 1971-04-19 1976-08-03 Sherwood Refractories, Inc. Apparatus for making vitreous silica receptacles
JPH01174893A (ja) * 1987-12-26 1989-07-11 Daido Steel Co Ltd 真空炉
US4913706A (en) * 1988-09-19 1990-04-03 International Fuel Cells Corporation Method for making a seal structure for an electrochemical cell assembly
DE4022851A1 (de) * 1990-07-18 1992-01-23 Basf Ag Platin-graphittraeger-katalysatoren und deren verwendung
JP3163676B2 (ja) * 1991-08-27 2001-05-08 大同特殊鋼株式会社 真空加熱方法
JP2003192357A (ja) * 2001-12-25 2003-07-09 Shin Etsu Chem Co Ltd 多孔質ガラス母材の熱処理方法及び装置
KR100535979B1 (ko) * 2003-12-24 2005-12-09 재단법인 포항산업과학연구원 탄소 성형체의 제조방법
CN102781562B (zh) * 2009-12-24 2014-11-19 Lg伊诺特有限公司 用于真空热处理设备的热处理容器

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