KR20130020029A - 열처리가 가능한 저방사 유리 및 이의 제조방법 - Google Patents

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Abstract

열처리 전후에도 특성의 변화가 없어 열처리가 가능하고 내구성이 우수한 저방사 유리 및 이의 제조 방법에 대하여 개시한다.
본 발명에 따른 열처리 가능한 저방사 유리는 유리 기재의 상부에 형성된 태양광 조절 금속층과, 상기 태양광 조절 금속층의 하부에 형성된 제1유전체층과, 상기 태양광 조절 금속층의 상부에 형성된 제2유전체층 및 상기 제2유전체층 상부에 형성된 최상부 보호층을 포함하고, 상기 제1유전체층은 금속산화물을 포함하는 최하부 유전체층과 금속(산)질화물을 포함하는 하부 금속 보호 유전체층이 적층된 구조를 갖는 것을 특징으로 하여, 열처리 후에도 저방사 유리의 특성 변화가 없는 장점이 있다.

Description

열처리가 가능한 저방사 유리 및 이의 제조방법{TEMPERABLE LOW-EMISSIVITY GLASS AND METHOD FOR PREPARING THEREOF}
본 발명은 저방사 유리 및 이의 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 열처리가 가능하고 내구성이 우수한 저방사 유리 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
저방사 유리(Low-Emissivity glass)는 은(Ag)과 같이 적외선 영역에서의 반사율이 높은 금속을 포함하는 저방사층이 박막으로 증착된 유리를 말한다. 이러한 저방사 유리는 여름에는 태양 복사열을 반사시키고 겨울에는 실내 난방기에서 발생하는 적외선을 보존해 줌으로써 건축물의 에너지 절감효과를 가져오는 기능성 소재이다. 저방사 유리와 관련된 기술은 한국공개특허공보 제10-2010-0021355호 등 다수의 문헌에 공지되어 있다.
일반적으로 저방사층으로 사용되는 은(Ag)은 산화가 잘되므로, 상기 저방사층의 상부, 하부에 산화방지막으로서 유전체층이 증착된다. 또한 이러한 유전체층은 가시광 투과율을 증가시키는 역할도 한다.
종래의 유전체층은 금속 산화물로 구성되며, 아연(Zn), 티타늄(Ti), 주석(Sn) 등의 산화물이나, 아연과 주석의 복합금속(SnZn) 등이 사용되고 있다. 그러나 기존의 유전체층을 구성하는 금속 산화물의 경우 열처리 후에 산화물과 인접한 금속층 사이에서 계면 반응이 일어나기 쉬워 열처리 전후의 가시광 투과율이 달라지기 쉽다는 단점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 열처리 전후에도 방사율과 같은 특성의 변화가 없는 저방사 유리 및 이의 제조방법을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
상기 하나의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 저방사 유리는 유리 기재의 상부에 형성된 태양광 조절 금속층과 상기 태양광 조절 금속층의 하부에 형성된 제1유전체층과 상기 태양광 조절 금속층의 상부에 형성된 제2유전체층 및 상기 제2유전체층 상부에 형성된 최상부 보호층을 포함하고, 상기 제1유전체층은 금속산화물을 포함하는 최하부 유전체층과 금속(산)질화물을 포함하는 하부 금속 보호 유전체층이 적층된 구조를 갖는 것을 특징으로 한다.
상기 다른 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 저방사 유리의 제조 방법은 (a) 유리 기재 상부에 금속산화물을 증착하고, 증착된 상기 금속산화물 상부에 금속(산)질화물을 증착하여 제1유전체층을 형성하는 단계와 (b) 상기 제1유전체층 상부에 태양광 조절 금속층을 형성하는 단계와 (c) 상기 태양광 조절 금속층 상부에 금속(산)질화물을 증착하여 제2유전체층을 형성하는 단계 및 (d) 상기 제2유전체층 상부에 금속산화물을 증착하여 최상부 보호층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 저방사 유리는 유리 기재 상에 형성되는 제1유전체층이 금속산화물로 이루어진 최하부 유전체층과 금속(산)질화물로 이루어진 하부 금속 보호 유전체층이 적층된 구조를 가짐으로써, 상기 금속(산)질화물이 산화물 내의 산소의 영향으로부터 태양광 조절 금속층을 보호하는 장점을 갖는다.
따라서, 본 발명에 따른 저방사 유리는 상기와 같은 구성적 특징으로 인하여 열처리 후에도 가시광 투과율이 우수하고 방사율의 변화가 없는 장점을 갖는다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 저방사 유리의 구조를 나타낸 단면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 저방사 유리의 제조방법을 개략적으로 나타낸 순서도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성요소를 지칭한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 저방사 유리 및 이의 제조 방법에 대하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 저방사 유리의 구조를 나타낸 단면도이다.
도 1을 참조하면, 도시된 저방사 유리(100)는 유리 기재(110)상에 코팅된 제1유전체층(120), 태양광 조절 금속층(130), 제2유전체층(140) 및 최상부 보호층(150)을 포함하는 구조를 갖는다.
이하에서 기재의 “상부(또는 하부)” 또는 기재의 “상(또는 하)”에 임의의 구성이 형성된다는 것은, 임의의 구성이 상기 기재의 상면(또는 하면)에 접하여 형성되는 것을 의미할 뿐만 아니라, 상기 기재와 기재 상에(또는 하에) 형성된 임의의 구성 사이에 다른 구성을 포함하지 않는 것으로 한정하는 것은 아니다.
상기 유리 기재(110)는 건축용으로 사용되고 있는 통상의 소다라임 유리가 사용될 수 있다. 본 발명에 사용되는 유리 기재(110)는 사용 목적에 따라 2 ~ 12 mm의 두께를 가지는 유리를 자유롭게 사용할 수 있다.
본 발명의 저방사 유리(100)는 상기 유리 기재(110) 상에 형성된 제1유전체층(120)을 포함한다. 상기 제1유전체층은 저방사 유리의 열처리시 태양광 조절 금속층으로 전달되는 산소 또는 이온을 차단하는 기능을 수행한다.
본 발명에 따른 상기 제1유전체층(120)은 금속산화물을 포함하는 최하부 유전체층(121)과 금속(산)질화물을 포함하는 하부 금속 보호 유전체층(122)이 적층된 구조를 갖는 것을 특징으로 한다. 여기서 하부 금속 보호 유전체층(122)이 금속(산)질화물을 포함한다는 것은 금속질화물 또는 금속산질화물을 포함하는 것을 의미한다. 즉, 상기 제1유전체층(120)은 유리 기재(110) 상에 형성된 최하부 유전체층(121)과 그 위에 적층되어 형성된 하부 금속 보호 유전체층(122)으로 이루어진 2층 구조를 갖는다.
상기 금속(산)질화물을 포함하는 하부 금속 보호 유전체층(122)은 저방사 유리의 열처리시 금속산화물을 포함하는 최하부 유전체층(121)과 태양광 조절 금속층(130)과의 계면 반응을 막아주고, 상기 태양광 조절 금속층(130)을 보호하는 기능을 수행한다. 이를 통해 본 발명에 따른 저방사 유리(100)는 열처리를 하여도 가시광 투과율과 같은 특성의 변화가 거의 없고, 특히 방사율의 변화가 전혀 없는 우수한 효과를 갖는다.
제1유전체층(120)에서 상기 금속(산)질화물과 금속산화물은 각각 동일한 금속을 포함하고 있는 금속(산)질화물 및 금속산화물로 이루어지는 것이 바람직하다. 상기 제1유전체층(120)이 동일한 금속을 포함하는 금속(산)질화물과 금속산화물의 적층체로 형성됨으로써, 최하부 유전체층(121) 및 하부 금속 유전체층(122)을 이루는 물질 간에 증착이 활성화 될 수 있으며, 또한 저방사 유리 제작 공정의 단순화 및 생산비용 절감의 효과가 있다.
바람직하게는 상기 제1유전체층(120)이 Sn을 함유한 Zn계 산화물 및 (산)질화물을 포함하여 형성될 수 있다. 즉, 상기 제1유전체층(120)은 SnZnOx / SnZnOxNy 또는 SnZnOx / SnZnNx 의 적층 구조로 형성될 수 있다. 상기 산화물 및 (산)질화물의 조성범위는 특별히 제한되지 않으며, 코팅 시 분위기 가스 함량에 따라 다양하게 적용될 수 있다.
상기 최하부 유전체층(121)의 두께는 10 ~ 50 nm의 범위인 것이 바람직하다. 상기 최하부 유전체층(121)의 두께가 10 nm 미만이면 코팅막의 내구성이 떨어지는 문제점이 있고, 50nm를 초과하면 저방사 유리의 광학특성이 저하되는 문제점이 있다.
또한, 상기 하부 금속 보호 유전체층(122)의 두께는 1 ~ 10 nm의 범위인 것이 바람직하다. 상기 하부 금속 보호 유전체층(122)의 두께가 1 nm 미만이면 열처리시 태양광 조절 금속층(130)의 보호막으로써 작용할 수 없는 문제점이 있으며, 10 nm를 초과하면 저방사 유리의 광학특성이 저하되는 문제점이 있다.
본 발명에 따른 저방사 유리에서 상기 제1유전체층(120) 상에는 태양광 조절 금속층(130)이 형성된다. 상기 태양광 조절 금속층(130)은 바람직하게는 저방사층(131) 및 상기 저방사층(131)의 상하부에 형성된 금속보호층(132,133)을 포함할 수 있다.
상기 저방사층(131)은 태양 복사선을 선택적으로 투과 및 반사시키는 기능을 수행한다. 본 발명에 따른 저방사 유리의 저방사층(131)을 이루는 재료로는 은, 금, 구리, 알루미늄 및 백금 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 물질을 포함할 수 있고, 특히, 은이 바람직하다. 상기 은으로 저방사층(131)이 형성될 경우, 높은 전기전도도, 가시광선 영역에서의 낮은 흡수율, 우수한 내구성 등이 만족될 수 있기 때문이다.
상기 저방사층(131)의 상부 및 하부에는 금속보호층(132,133)이 형성될 수 있다. 상기 금속보호층(132,133)은 저방사 유리의 열처리시에 유리 기재에서 확산되는 나트륨 및 공기 중의 산소의 이동을 방해하는 장벽 기능을 수행하고, 저방사층(131)이 높은 열처리 조건하에서도 안정적인 거동이 가능하도록 저방사층(131)의 융착을 돕는 역할을 한다. 또한, 상기 금속보호층(132,133)은 저방사층(131)으로 침투하는 산소를 흡수하는 기능을 수행한다. 상기 금속보호층(132,133)은 니켈, 크롬 또는 니켈크롬 합금으로 이루어질 수 있다.
그리고, 본 발명에 따른 저방사 유리는 상기 태양광 조절 금속층(130) 상에 제2유전체층(140)이 형성된다. 제2유전체층(140)은 상기 제1유전체층(120)과 동일한 기능을 수행한다. 즉, 상기 제2유전체층(140)은 제1유전체층(120)과 마찬가지로 저방사 유리의 열처리시 태양광 조절 금속층(130)으로 전달되는 산소 또는 이온을 차단하는 기능을 수행한다.
상기 제2유전체층(140)을 이루는 재료는 특별히 제한되지 않는다. 상기 제2유전체층은 Al, B, Ti, Nb, Sn 및 Mo으로부터 선택된 하나 이상의 원소가 함유된 금속산화물 또는 (산)질화물 등을 사용할 수 있다. 특히, 상기 제2유전체층(120)은 Sn이 함유된 Zn계 금속질화물을 포함하는 것이 바람직하며, SnZnOxNy 또는 SnZnNx 를 포함할 수 있다. 상기 금속질화물의 조성범위는 특별히 제한되지 않으며, 코팅 시 분위기 가스 함량에 따라 다양하게 적용될 수 있다.
또한, 본 발명의 저방사 유리는 상기 제2유전체층(140) 상에 형성되는 최상부 보호층(150)을 포함한다. 상기 최상부 보호층(150) 역시 제1유전체층(120) 및 제2유전체층(140)과 동일한 기능을 수행한다. 상기 최상부 보호층(150)을 이루는 재료는 특별히 제한되지 않는다. 상기 최상부 보호층(150)은 Al, B, Ti, Nb, Sn 및 Mo으로부터 선택된 하나 이상의 원소가 함유된 금속산화물을 사용할 수 있다. 특히, 상기 최상부 보호층(150)은 Sn이 함유된 Zn계 금속산화물을 포함하는 것이 바람직하며, SnZnOx 를 포함할 수 있다.
도 2는 본 발명에 따른 저방사 유리의 제조방법을 개략적으로 나타낸 순서도이다. 도 2를 참조하면, 도시된 저방사 유리의 제조방법은 (a) 제1유전체층(120) 형성 단계(S200)와 (b) 태양광 조절 금속층(130) 형성 단계(S210), (c) 제2유전체층(140) 형성 단계(S220) 및 (d) 최상부 보호층(150) 형성단계(S230)를 포함한다.
(a) 단계는 유리 기재(110) 상에 제1유전체층(120)을 형성하는 단계이다. 상기 제1유전체층(120)을 형성하기 위해, 상기 유리 기재(110) 상부에 먼저 금속산화물을 증착하고, 증착된 금속산화물 상부에 금속(산)질화물을 증착하여 제1유전체층(120)을 형성한다.
상기 금속산화물은 SnZnOx 로 이루어지는 것이 바람직하다. SnZnOx 층은 산소와 아르곤 분위기 하에서 상기 유리 기재(110) 상에 증착될 수 있다. 또한, 금속(산)질화물은 SnZnOxNy 또는 SnZnNx를 포함하는 것이 바람직하다. 금속질화물로서 SnZnNx 층은 질소와 아르곤의 분위기 하에서 상기 금속산화물층 상에 증착되어 형성될 수 있으며, 금속산질화물로서 SnZnOxNy 층은 질소와 산소 및 아르곤 분위기 하에서 증착할 수 있다.
상기 제1유전체층(120)의 증착 방식은 특별히 제한되는 것은 아니며, 예를 들면 마그네트론 스퍼터 증착기를 이용하여 증착할 수 있다.
다음으로 (b) 단계에서는 제1유전체층(120) 상부에 태양광 조절 금속층(130)을 형성한다. 상기 태양광 조절 금속층(130)은 저방사층(131) 및 상기 저방사층의 상하부에 형성된 금속보호층(132,133)을 포함할 수 있다. 즉, 상기 태양광 조절 금속층(130)은 상기 제1유전체층(120) 상부에 금속 보호층(132)을 증착하고, 상기 금속 보호층(132)의 상부에 저방사층(131)을 증착하여 형성한 후, 상기 저방사층(132) 상부에 금속 보호층(132)을 다시 증착하여 형성할 수 있다.
상기 금속 보호층(132,133) 및 저방사층(131) 역시 증착 방식이 특별히 제한되는 것은 아니며, 예를 들면 마그네트론 스퍼터 증착기를 이용하여 증착할 수 있다.
다음으로 (c) 단계에서는 상기 태양광 조절 금속층(130) 상부에 제2유전체층(140)을 형성하고, (d) 단계에서는 상기 제2유전체층(140) 상부에 최상부 보호층(150)을 형성한다.
상기 제2유전체층(140)은 금속(산)질화물을 증착하여 형성하며, 바람직하게는 SnZnOxNy 또는 SnZnNx를 상기 태양광 조절 금속층(130) 상에 증착하여 형성할 수 있다. 그리고, 상기 최상부 보호층(150)은 금속산화물을 증착하여 형성하며, 바람직하게는 상기 제2유전체층(140) 상부에 SnZnOx 를 증착하여 형성할 수 있다.
이상과 같은 제조 방법을 통하여 본 발명에 따른 저방사 유리의 제조가 가능하다.
[실시예]
이하에서는 본 발명을 실시예 및 비교예에 의하여 더욱 상세히 설명하며, 다만 본 발명이 하기의 실시예에 의하여 제한되는 것은 아니다.
[실시예1]
마그네트론(C-Mag) 스퍼터 증착기를 사용하여, 하기 표 1에 나타낸 바와 같은 조성 및 두께를 갖는 코팅층이 형성된 저방사 유리를 제작하였다.
6 mm 두께를 갖는 투명유리 기재 상에 SnZnOx 층을 산소/아르곤 (산소 50%, 아르곤 50%) 분위기 하에서 두께 21 nm로 증착하였다. 이어서 SnZnNx 층을 질소/아르곤 (질소 50%, 아르곤 50%) 분위기 하에서 4 nm 두께로 증착하여 제1유전체층을 형성하였다. 상기 제1유전체층 상부에 NiCr, Ag, NiCr 층을 아르곤 100% 분위기 하에서 순서대로 증착하여 태양광 조절 금속층을 형성한 후에, 다시 SnZnNx 층을 상기 SnZnNx 층의 증착 조건과 동일한 조건 하에서 증착하여 제2유전체층을 형성하였다. 마지막으로 SnZnOx 층을 상기 SnZnOx 층의 증착 조건과 동일한 조건 하에서 증착하여 실시예 1의 저방사 유리를 제작하였다.
[실시예2 ~4]
SnZnNx 의 두께를 달리한 것을 제외하고는, 실시예 1과 동일한 조건으로 저방사 유리를 제작하였다.
[실시예5]
실시예 1과 동일한 조건으로 저방사 유리를 제작하되, 상기 SnZnNx 층 대신에 SnZnOyNx 층을 증착하였다. 상기 SnZnOyNx 층은 질소/산소/아르곤 (질소 48.5%, 산소 3%, 아르곤 48.5%) 분위기 하에서 2nm 두께로 증착하였다.
[비교예 1]
실시예 1과 동일한 조건으로 저방사 유리를 제작하되, 하부 금속 보호층 및 제2유전체층에 해당하는 SnZnNx 층을 제외한 구조로 저방사 유리를 제작하였다.
[표 1]
Figure pat00001
[실험예]
상기와 같이 제작된 실시예 및 비교예의 저방사 유리 샘플들을 하기와 같은 방법으로 열처리 하였다. 상기 샘플들의 열처리는 실험실용 RTS (rapid thermal annealing system) 장비를 사용하여 수행하였다. 상기 실시예 및 비교예 샘플을 RTS 장비에 넣고, RTS 장비 내부의 온도를 약 670 ℃ 로 5분 동안 승온하고, 상기 온도를 5분 간 유지한 후, 다시 상온으로 내리는 조건으로 열처리 하였다.
상기 실시예 및 비교예 샘플에 대하여 열처리 전후의 가시광 투과율과 헤이즈(Haze)를 haze-gardner plus 장비를 이용하여 측정하였다. 그리고 상기 실시예 및 비교예 샘플의 방사율은 방사율 측정기(Emissiometer MK3)를 이용하여 측정하였다. 이를 통해 측정된 열처리 전후 특성 변화 결과를 하기의 표 2에 정리하였다.
[표 2]
Figure pat00002

표 2를 살펴보면, 실시예 1~5는 비교예 1과 달리 방사율 변화가 없는 것을 알 수 있다. 이에 비해 비교예 1은 열처리 전후의 방사율 변화가 1%로 나타났다. 또한, 실시예들의 가시광 투과율 및 헤이즈의 변화량은 비교예에 비하여 현저하게 적은 것을 알 수 있다. 즉, 실시예에 따른 저방사 유리는 비교예와 달리 SnZnNx 또는 SnZnOxNy 증착막이 태양광 조절 금속층의 보호막으로 기능하여 열처리 후에도 저방사 유리의 특성 변화가 거의 없는 유리한 효과를 갖는 것을 알 수 있다.
이상과 같이 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 이는 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 따라서, 본 발명 사상은 아래에 기재된 특허청구범위에 의해서만 파악되어야 하고, 이의 균등 또는 등가적 변형 모두는 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.
100 : 저방사유리
110 : 유리 기재
120 : 제1유전체층
121 : 최하부 유전체층
122 : 하부 금속 보호 유전체층
130 : 태양광 조절 금속층
131 : 저방사층
132, 133 : 금속보호층
140 : 제2유전체층
150 : 최상부 보호층

Claims (17)

  1. 유리 기재의 상부에 형성된 태양광 조절 금속층;
    상기 태양광 조절 금속층의 하부에 형성된 제1유전체층;
    상기 태양광 조절 금속층의 상부에 형성된 제2유전체층; 및
    상기 제2유전체층 상부에 형성된 최상부 보호층;을 포함하고,
    상기 제1유전체층은 금속산화물을 포함하는 최하부 유전체층과 금속(산)질화물을 포함하는 하부 금속 보호 유전체층이 적층된 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 저방사 유리.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 최하부 유전체층 및 하부 금속 보호 유전체층은
    각각 동일한 금속을 포함하는 것을 특징으로 하는 저방사 유리.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 최하부 유전체층은
    SnZnOx 를 포함하는 것을 특징으로 하는 저방사 유리.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 하부 금속 보호 유전체층은
    SnZnOxNy 또는 SnZnNx 를 포함하는 것을 특징으로 하는 저방사 유리.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 최하부 유전체층은
    두께가 10 ~ 50 nm 인 것을 특징으로 하는 저방사 유리.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 하부 금속 보호 유전체층은
    두께가 1 ~ 10 nm 인 것을 특징으로 하는 저방사 유리.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 태양광 조절 금속층은
    저방사층 및 상기 저방사층의 상하부에 형성된 금속보호층을 포함하는 것을 특징으로 하는 저방사 유리.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 저방사층은
    은, 금, 구리, 알루미늄 및 백금으로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 저방사 유리.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 금속보호층은
    니켈, 크롬 및 니켈크롬으로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 저방사 유리.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 제2유전체층은
    SnZnOxNy 또는 SnZnNx 를 포함하는 것을 특징으로 하는 저방사 유리.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 최상부 보호층은
    SnZnOx 를 포함하는 것을 특징으로 하는 저방사 유리.
  12. (a) 유리 기재 상부에 금속산화물을 증착하고, 증착된 상기 금속산화물 상부에 금속(산)질화물을 증착하여 제1유전체층을 형성하는 단계;
    (b) 상기 제1유전체층 상부에 태양광 조절 금속층을 형성하는 단계;
    (c) 상기 태양광 조절 금속층 상부에 금속(산)질화물을 증착하여 제2유전체층을 형성하는 단계; 및
    (d) 상기 제2유전체층 상부에 금속산화물을 증착하여 최상부 보호층을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 저방사 유리의 제조 방법.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 금속산화물은
    SnZnOx 를 포함하는 것을 특징으로 하는 저방사 유리의 제조 방법.
  14. 제12항에 있어서,
    상기 금속(산)질화물은
    SnZnOxNy 또는 SnZnNx 를 포함하는 것을 특징으로 하는 저방사 유리의 제조 방법.
  15. 제12항에 있어서,
    상기 태양광 조절 금속층은
    저방사층 및 상기 저방사층의 상하부에 형성된 금속보호층을 포함하는 것을 특징으로 하는 저방사 유리의 제조 방법.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 저방사층은
    은, 금, 구리, 알루미늄 및 백금으로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 저방사 유리의 제조 방법
  17. 제15항에 있어서,
    상기 금속보호층은
    니켈, 크롬 및 니켈크롬으로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 저방사 유리의 제조 방법.

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