KR20130015239A - 웨이퍼 운반용 카세트 제조장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 웨이퍼 운반용 카세트 제조장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 카세트를 기계화 및 자동화하여 제조하여 제품의 생산성과 품질을 향상시키고 제조단가를 절감하도록 한 웨이퍼 운반용 카세트 제조장치에 관한 것이다.
이를 위해, 다수의 지지바를 상부안착프레임과 하부안착프레임 상면의 정해진 위치에 안착하는 지지바 안착유닛과; 상부안착프레임과 하부안착프레임 상부에 구비된 상부커버프레임과 하부커버프레임을 승하강 이동시켜 지지바를 임시 고정시키는 지지바 고정유닛과; 측면판을 임시 고정시켜 지지바 양단에 융착 고정시킬 수 있도록 지지바 안착유닛 양측에 좌우로 슬라이딩 이동 가능하게 설치한 측면판 이동유닛과; 지지바 단부와 측면판 일부분을 가열 및 융해시킬 수 있도록 다수의 히터를 설치하여 지지바 안착유닛과 양측 측면판 이동유닛 사이에 전후좌우로 슬라이딩 이동 가능하게 각각 설치한 히터 이동수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기한 구성에 따라, 지지바 및 측면판의 융해과정에서 융착과정에 이르기까지 카세트 제조에 필요한 제조 공정을 자동화 및 기계화하여 제품을 생산함으로써, 제품의 생산성을 향상시키고, 인건비를 줄여 제품 제조단가를 절감하며, 제품 품질 향상에 기여하여 제품의 신뢰도를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

Description

웨이퍼 운반용 카세트 제조장치{Apparatus for manufacturing cassette to transport the wafers}

본 발명은 웨이퍼 운반용 카세트 제조장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 웨이퍼 보관 및 운반을 위해 사용되는 카세트를 기계화 및 자동화하여 제조함으로써, 카세트의 생산성을 향상시키고, 제조단가를 절감할 수 있도록 한 웨이퍼 운반용 카세트 제조장치에 관한 것이다.

일반적으로, 웨이퍼는 반도체의 재료가 되는 얇은 원판으로, 원재료인 실리콘이나 갈륨비소 등을 단결정 또는 다결정으로 성장시키고, 이를 얇게 슬라이스 절단하여 제조한다.

이러한, 웨이퍼는 반도체회로를 부착하는 판이 보편적이나, 이 외에도 태양광 발전용으로 태양전지회로를 부착하는 판을 지칭하기도 한다.

한편, 웨이퍼에 제공되는 반도체 소자와 회로의 특성 및 수율을 개선하고, 반도체 제조 공정 동안의 오염 및 예기치 않은 오염에 대해 웨이퍼를 보호할 수 있도록 화학 용액으로 웨이퍼의 세척이 실시된다.

웨이퍼를 세척하기 위한 방법에는 대략적으로 두 가지 형태로 나뉘게 되는데, 그 첫 번째로는 화학 용액이 채워진 처리 탱크에서 복수의 웨이퍼를 침지하는 방법이고, 두 번째는 웨이퍼를 하나씩 회전시킴으로써 웨이퍼의 표면에 화학 용액을 공급하는 방법이다.

이와 같은 화학 세척작업 후에, 초순수(ultra pure water)를 이용하여 웨이퍼에 부착된 화학 용액을 제거하고 웨이퍼를 건조시킨 후, 다음의 반도체 제조 공정으로 진행한다.

이처럼, 반도체 웨이퍼의 생산을 위해 화학 용액 등 모든 액체를 이용하는 세척 및 운반 공정에서는 여러 개의 웨이퍼를 꽂은 상태로 운반할 수 있도록 카세트를 사용한다. 보통의 카세트는 대략 10~25매의 웨이퍼를 수평으로 적층된 상태로 보관하고 각각의 웨이퍼가 다른 웨이퍼가 닿지 않도록 하여 로봇의 척에 의해 척킹되어 지정된 위치로 이동시킬 수 있게 된다.

도 1은 상기한 종래의 카세트 중 국내 공개특허공보 공개번호 제2011-0023026호의 "태양전지용 웨이퍼의 카세트 이송장치 및 이를 이용한 태양전지용 웨이퍼의 텍스처 처리장치" 에 도시된 카세트에 대한 것이다.

상기한 카세트에 대해 살펴보면, 소정의 거리를 이격된 상태로 양 측판부(52)(54)가 서로 대향되게 배치되고, 양 측판부(52)(54)에는 핸들러에 결합되기 위해 후크 형태의 걸이홈(58)이 적어도 하나 이상 형성된다.

그리고, 양 측판부(52)(54)의 하부 양측에 두 개의 하부 지지부(56a)(56b)가 설치되고, 양 측판부(52)(54)의 상부 일측에는 한 개의 상부 지지부(56c)가 설치될 수 있다.

이와 같이 카세트(50)에 설치된 하부 지지부(56a)(56b) 및 상부 지지부(56c)는 각각 웨이퍼의 서로 다른 3개의 모서리를 지지하게 됨으로써, 웨이퍼를 안정적으로 수납할 수 있게 된다.

그러나, 상기한 종래 기술은 카세트 제조를 위해 측판부에 상부 지지부와 하부 지지부를 결합하는 과정이 수작업을 통해 이루어지게 됨으로써, 제품 생산성이 저하되는 것은 물론, 제품의 품질이 떨어지고, 추가적인 인건비의 소요와 함께 제품 제조단가가 높아지는 문제가 발생되었다.

대한민국 공개특허공보 공개번호 제2011-0023026호 대한민국 공개특허공보 공개번호 제2001-0019172호

본 발명은 전술한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 웨이퍼 보관 및 운반을 위해 사용되는 카세트를 기계화 및 자동화하여 제조함으로써, 카세트의 생산성을 향상시키고, 제조단가를 절감할 수 있도록 한 웨이퍼 운반용 카세트 제조장치를 제공하는 데 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 구성은, 웨이퍼를 지지하기 위해 카세트에 구비된 다수의 지지바를 상부안착프레임과 하부안착프레임 상면의 정해진 위치에 각각 안착 구비하는 지지바 안착유닛과; 상기 상부안착프레임과 하부안착프레임 상부에 각각 구비된 상부커버프레임과 하부커버프레임을 승하강 이동시켜 상기 지지바를 임시적으로 고정시키는 지지바 고정유닛과; 웨이퍼 양측의 측면판을 임시적으로 고정시켜 측면판을 지지바 양단에 융착 고정시킬 수 있도록 지지바 안착유닛 양측에 좌우로 슬라이딩 이동 가능하게 각각 설치한 측면판 이동유닛과; 다수의 지지바 단부와 측면판 일부분을 가열 및 융해시킬 수 있도록 양방향 가열이 가능하게 다수의 히터를 설치하여 지지바 안착유닛과 양측 측면판 이동유닛 사이에 전후좌우로 슬라이딩 이동 가능하게 각각 설치한 히터 이동수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 지지바 안착유닛은, 베이스플레이트 상부에 고정된 'L' 형상의 고정프레임과; 상면에 지지바가 안착되는 적어도 둘 이상의 안착홈을 형성하여 상기 고정프레임 상부 위치 중에서 하단 부분에 고정시킨 하부안착프레임과; 상면에 지지바가 안착되는 적어도 하나 이상의 안착홈을 형성하여 상기 고정프레임 상부 위치 중에서 상단 부분에 고정시킨 상부안착프레임을 포함하여 구성된다.

그리고, 상기 안착홈 일부에는 지지바에 형성된 지지돌기들이 삽입될 수 있도록 삽입홈을 형성하여 구성된다.

아울러, 상기 지지바 고정유닛은, 탑플레이트 중앙에 고정 설치된 상부승강실린더와; 저면에 지지바를 커버하는 적어도 하나 이상의 커버홈을 형성하되, 상부안착프레임 상면에 안착될 수 있도록 상기 상부승강실린더의 로드에 고정되어 탑플레이트 하부에 승하강 이동 가능하게 설치한 상부커버프레임과; 고정프레임 상단 양측에 고정 설치된 하부승강실린더와; 상기 하부승강실린더 하부에 위치한 고정프레임 양측에 형성된 가이드홀과; 저면에 지지바를 커버하는 적어도 둘 이상의 커버홈을 형성하되, 하부안착프레임 상면에 안착될 수 있도록 상기 하부승강실린더의 로드에 고정되어 가이드홀을 따라 승하강 이동 가능하게 설치한 하부커버프레임을 포함하여 구성된다.

여기서, 상기 커버홈 일부에는 지지바에 형성된 지지돌기들이 삽입될 수 있도록 삽입홈을 형성하여 구성된다.

그리고, 상기 측면판 이동유닛은, 탑플레이트와 베이스플레이트 양측 사이에 수직 설치한 서포트플레이트와; 상기 서포트플레이트 일측에 고정 설치한 서포트브래킷과; 상기 서포트브래킷 일측에 고정 설치한 감속기를 갖는 서보모터와; 양 단부를 상기 서보모터와 서포트플레이트에 회전 가능하게 축 결합한 볼스크류와; 상기 볼스크류에 끼워져 좌우로 이동하는 볼스크류너트와; 상기 볼스크류너트에 고정시키되, 서포트플레이트에 설치된 볼부시에 슬라이드바가 관통되어 좌우로 슬라이딩 이동하고, 선단에 측면판이 임시 고정되는 지그조립체를 포함하여 구성된다.

여기서, 상기 지그조립체는, 볼스크류너트에 고정되는 너트플레이트와; 상기 너트플레이트에 고정시키되, 서포트플레이트에 설치된 볼부시에 관통되어 슬라이딩 이동하는 슬라이드바와; 상기 슬라이드바 단부에 고정되는 슬라이드플레이트와; 카세트의 측면판을 고정시킬 수 있도록 외측면에 판홈을 형성하여 상기 슬라이드플레이트 일측에 설치하는 지그와; 상기 지그의 판홈 내에 끼워진 측면판을 임시적으로 고정시킬 수 있도록 슬라이드플레이트와 지그 사이에 설치한 록킹수단을 포함하여 구성된다.

또한, 상기 록킹수단은 슬라이드플레이트와 지그 사이에 정해진 각도로 로드가 회전되는 회전실린더를 다수 설치하되, 상기 회전실린더의 로드는 판홈의 테두리 외측면에 설치하고, 상기 로드의 단부에는 걸림편을 장착하여 구성된다.

그리고, 상기 히터 이동수단은, 지지바 안착유닛과 양측의 측면판 이동유닛 사이에 설치한 히팅플레이트와; 다수의 지지바 단부와, 이와 동일 축선상에 위치한 측면판 일부분을 가열 및 융해시킬 수 있도록 양방향 가열이 가능하게 히팅플레이트 양면에 각각 설치한 다수의 히터와; 탑플레이트 양측 하부와 베이스플레이트 양측 상부에 각각 설치된 좌우이동실린더와 좌우이동리니어가이드에 의해 상기 히팅플레이트를 좌우로 이동시킬 수 있도록 상기 히팅플레이트 상부와 하부에 각각 연결 설치된 히터 좌우이동유닛과; 상기 히팅플레이트와 히터 좌우이동유닛 사이에 연결 설치된 전후이동실린더와 전후이동리니어가이드에 의해 상기 히팅플레이트를 전후로 이동시키는 히터 전후이동유닛을 포함하여 구성된다.

여기서, 상기 히터 좌우이동유닛은, 서포트플레이트 상단과 하단 일측에 각각 고정 설치한 좌우이동실린더와; 상기 좌우이동실린더의 로드에 결합되어 좌우로 슬라이딩 이동하는 좌우슬라이딩플레이트와; 상부의 좌우슬라이딩플레이트와 탑플레이트 저면 사이와, 하부의 좌우슬라이딩플레이트와 베이스플레이트 상면 사이에 각각 설치하여 상기 좌우슬라이딩플레이트의 좌우 이동을 가이드할 수 있도록 복수의 슬라이드블록과 가이드레일로 구성된 좌우이동리니어가이드를 포함하여 구성된다.

그리고, 상기 좌우이동리니어가이드의 가이드레일은 탑플레이트의 저면과 베이스플레이트의 상면에 각각 고정 설치하고, 상기 슬라이드블록은 상기 가이드레일에 끼워져 상부의 좌우슬라이딩플레이트 상면과 하부의 좌우슬라이딩플레이트 저면에 각각 고정 설치하여 구성된다.

또한, 상기 히터 전후이동유닛은, 히팅플레이트를 향한 상부와 하부의 좌우슬라이딩플레이트 일면에 고정 설치한 전후이동실린더와; 상기 전후이동실린더 외측에 슬라이딩 가능하게 구비된 이송블록과 히팅플레이트에 고정되어 전후로 슬라이딩 이동하는 전후슬라이딩플레이트와; 상부의 전후슬라이딩플레이트와 좌우슬라이딩플레이트 저면 사이와, 하부의 전후슬라이딩플레이트와 좌우슬라이딩플레이트 상면 사이에 각각 설치하여 상기 전후슬라이딩플레이트의 전후 이동을 가이드할 수 있도록 복수의 슬라이드블록과 가이드레일로 구성된 전후이동리니어가이드를 포함하여 구성된다.

여기서, 상기 전후이동리니어가이드의 가이드레일은 상부의 좌우슬라이딩플레이트의 저면과 하부의 좌우슬라이딩플레이트의 상면에 각각 고정 설치하고, 상기 슬라이드블록은 상기 가이드레일에 끼워져 상부의 전후슬라이딩플레이트 상면과 하부의 전후슬라이딩플레이트 저면에 각각 고정 설치하여 구성된다.

아울러, 상기 히터의 발열온도는 개별적으로 제어하되, 하부에서 상부를 향할수록 발열온도를 낮게 설정하여 구성된다.

그리고, 상기 히터는 코일스프링히터와, 카트리지히터와, 세라믹히터 중 어느 하나를 사용한다.

상기한 과제 해결수단을 통해 본 발명은, 지지바 및 측면판의 가열 및 융해과정에서부터 융착 및 접합과정에 이르기까지 카세트 제조에 필요한 대부분의 제조 공정을 자동화 및 기계화하여 제품을 생산함으로써, 카세트 제품의 생산성을 향상시키는 것은 물론, 인건비를 줄여 카세트의 제조단가를 절감할 수 있고, 제품 품질 향상에 기여하여 당해 제품과 생산기업의 신뢰도를 크게 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

도 1은 종래 기술에 의한 웨이퍼의 카세트 이송장치에서의 카세트를 확대하여 도시한 사시도,
도 2는 본 발명에 의한 웨이퍼 운반용 카세트 제조장치의 전체적인 구성을 나타낸 정면도,
도 3a와 도 3b는 본 발명에 의한 상부안착프레임과 하부안착프레임에 지지바가 안착 및 커버되는 상태를 각각 도시한 정면도,
도 4a와 도 4b는 본 발명에 의한 상부안착프레임과 하부안착프레임에 지지바가 안착 및 커버되는 상태를 각각 도시한 배면도,
도 5는 본 발명에 의한 상부안착프레임과 하부안착프레임에 지지바가 안착 및 커버된 상태를 도시한 측단면도,
도 6은 본 발명에 의한 지그조립체의 좌우 이동작용을 도시한 평면도,
도 7은 본 발명에 의한 지그조립체에 설치된 회전실린더와 걸림편의 작동상태도,
도 8은 본 발명에 의한 지그조립체에 구비된 측면판과 지지바가 히터에 의해 가열 및 융해되는 상태를 도시한 정면도,
도 9는 본 발명에 의한 지그조립체에 구비된 측면판과 지지바가 융착되는 상태를 도시한 정면도,
도 10a와 도 10b는 본 발명에 의한 지그조립체와 히터 좌우이동유닛의 좌우 작동관계를 나타낸 정면도,
도 11a와 도 11b는 본 발명에 의한 히터 전후이동유닛의 전후 작동관계를 나타낸 측면도,
도 12는 본 발명에 의한 카세트 제조장치에 의해 제조되는 카세트 사시도.

본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면에 의하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 2 내지 도 12는 본 발명의 웨이퍼 운반용 카세트 제조장치에 대해 도시한 것으로, 크게 지지바 안착유닛과, 지지바 고정유닛과, 측면판 이동유닛과, 히터 이동수단을 포함하여 구성된다.

먼저, 지지바 안착유닛은 웨이퍼를 지지할 수 있도록 카세트(400)에 장착되는 다수의 지지바(410)를 상부안착프레임(130)과 하부안착프레임(140) 상면의 정해진 위치에 각각 안착 구비하는 것으로, 다시 고정프레임(120)과, 하부안착프레임(140)과, 상부안착프레임(130)으로 구성된다.

도 3a, 3b 및 도 5를 통해 구체적으로 살펴보면, 본 발명의 카세트 제조장치가 장치될 수 있도록 하부에 다수의 캐스터를 갖는 메인프레임(100)을 설치하고, 상기 메인프레임(100)의 중간에는 베이스플레이트(110)를 고정 설치한다.

그리고, 상기 베이스플레이트(110) 상부에는 소정 간격을 두고 고정프레임(120)을 설치하되, 상기 고정프레임(120)은 전방을 향하여 개구되게 형성된 'L' 형상으로 형성한다. 또한, 상기 고정프레임(120) 상부 위치 중에서 하단 부분에는 하부안착프레임(140)을 고정 설치하고, 상기 고정프레임(120) 상부 위치 중에서 상기 하부안착프레임(140) 상부에 위치한 상단 부분에는 측면이 대략 사다리꼴 형태의 상부안착프레임(130)을 고정 설치한다.

여기서, 상기 하부안착프레임(140)과 상부안착프레임(130) 상면에는 카세트(400)에 장착되는 지지바(410)가 안착될 수 있도록 안착홈(132)(142)을 형성할 수 있는데, 본 발명에서 제조되는 카세트(400)의 형상을 고려하여 상기 하부안착프레임(140)에는 전방과 후방에 두 개의 안착홈(142)을 형성하고, 상기 상부안착프레임(130)에는 전방과 후방은 물론, 중앙에 돌출 형성된 상면의 전방과 후방에 총 4개의 안착홈(132)을 각각 형성할 수 있다.

다만, 본 발명의 카세트(400)에는 6개의 지지바(410)가 장착되어 상기와 같이 안착홈(132)(142)을 형성하고 있으나, 지지바(410)의 장착 위치 및 개수에 따라 안착홈(132)(142)의 개수와 형성 위치가 달라질 수 있게 된다.

아울러, 상기한 상부안착프레임(130)과 하부안착프레임(140)에 형성된 안착홈(132)(142) 일부에는 지지바(410)에 형성된 지지돌기(412)들이 삽입될 수 있도록 삽입홈(134)(144)을 더 형성할 수 있다.

즉, 상기 상부안착프레임(130) 상부에 형성된 안착홈(132)에는 그 안착홈(132) 바닥에 삽입홈(134)을 형성하고, 상부안착프레임(130) 하부에 형성된 안착홈(132)에는 내측을 향하여 삽입홈(134)을 형성하며, 하부안착프레임(140) 상면에 형성된 안착홈(142)에는 내측을 향하여 삽입홈(144)을 형성한다.

다음으로, 지지바 고정유닛은 상기 상부안착프레임(130)과 하부안착프레임(140) 상부에 각각 구비된 상부커버프레임(170)과 하부커버프레임(190)을 승하강 이동시켜 상기 지지바(410)를 임시적으로 그 움직임을 단속 및 고정시키는 것으로, 다시 상부승강실린더(160)와, 상부커버프레임(170)과, 하부승강실린더(180)와, 가이드홀(125)과, 하부커버프레임(190)을 포함하여 구성된다.

도 3a 내지 도 5를 통해 구체적으로 살펴보면, 베이스플레이트(110) 양측에 수직으로 서포트플레이트(200)를 설치하고, 상기 서포트플레이트(200) 상부에 탑플레이트(150)를 고정 설치하며, 상기 탑플레이트(150) 중앙에 상부승강실린더(160)를 고정 설치한다.

그리고, 상기 상부승강실린더(160)의 로드 하단에 상부커버프레임(170)을 고정 설치하여, 상부승강실린더(160)의 구동조작에 의해 상부커버프레임(170)을 수직으로 승하강 구동한다. 여기서, 상기 탑플레이트(150) 양측에는 볼부시(부호생략)를 더 설치할 수 있고, 상기 상부커버프레임(170) 상면 양측에는 상기 볼부시를 관통하여 슬라이딩될 수 있는 슬라이드바(부호생략)를 더 설치할 수 있다.

그리고, 상기 상부커버프레임(170)은 상부안착프레임(130) 상면에 안착되어 커버되는 것으로, 상기 상부커버프레임(170) 저면에는 상부안착프레임(130) 상면에 형성된 안착홈(132)에 대응하도록 다수의 커버홈(172)을 형성하여 상기 안착홈(132)에 안착된 지지바(410)를 커버 지지한다.

아울러, 고정프레임(120) 후방의 상단 양측에는 하부승강실린더(180)를 고정 설치하고, 상기 양측 하부승강실린더(180) 하부에 위치한 고정프레임(120) 양측에는 가이드홀(125)을 형성한다.

그리고, 상기 하부승강실린더(180)의 로드 하단에 상기 가이드홀(125)을 따라 승하강 이동 가능하게 승강블록(185)을 고정 설치하고, 상기 승강블록(185)은 하부커버프레임(190) 배면에 고정 장착한다. 즉, 하부승강실린더(180)의 구동에 의해 로드와 연결된 승강블록(185)을 승하강 이동시켜 이에 고정된 하부커버프레임(190)을 함께 승하강 이동시킬 수 있게 된다.

또한, 상기 하부커버프레임(190) 저면에는 하부안착프레임(140) 상면에 형성된 안착홈(142)에 대응하도록 적어도 둘 이상의 커버홈(192)을 형성하여 상기 안착홈(142)에 안착된 지지바(410)를 커버 지지한다.

아울러, 상기한 상부커버프레임(170)과 하부커버프레임(190)에 형성된 커버홈(172)(192) 일부에는 지지바(410)에 형성된 지지돌기(412)들이 삽입될 수 있도록 삽입홈(174)(194)를 더 형성할 수 있다.

즉, 상기 상부커버프레임(170) 저면 하부에 형성된 커버홈(132)에는 내측을 향하여 삽입홈(174)을 형성하고, 하부커버프레임(190) 저면에 형성된 커버홈(192)에는 내측을 향하여 삽입홈(194)을 형성한다.

다만, 상부커버프레임(170) 저면 상부에 형성된 커버홈(132)에는 이에 삽입되는 지지바(410)의 지지돌기(412)가 하부를 향하여 커버됨으로써, 삽입홈이 형성되지 않는다.

다음으로, 측면판 이동유닛은, 웨이퍼 양측의 측면판(420)을 임시적으로 고정시켜 측면판(420)을 지지바(410) 양단에 융착 고정시킬 수 있도록 지지바 안착유닛 양측에 좌우로 슬라이딩 이동 가능하게 각각 설치하는 것으로, 다시 서포트플레이트(200)와, 서포트브래킷(210)과, 서보모터(220)와, 볼스크류(230)와, 볼스크류너트(240)와, 지그조립체(250)를 포함하여 구성된다.

도 6 및 도 8을 통해 구체적으로 살펴보면, 탑플레이트(150)와 베이스플레이트(110) 양측 사이에 수직으로 서포트플레이트(200)를 각각 설치하고, 상기 각각의 서포트플레이트(200) 바깥 일측에 서포트브래킷(210)을 고정 설치한다.

그리고, 상기 서포트브래킷(210)의 바깥쪽 일측에는 서보제어가 가능하도록 감속기(225)가 설치된 서보모터(220)를 고정 설치하고, 상기 서보모터(220)와 서포트플레이트(200) 사이에는 볼스크류(230)의 양 단부를 회전 가능하게 설치한다.

또한, 상기 볼스크류(230)에는 상기 볼스크류(230)의 회전 구동에 의해 볼스크류너트(240)를 좌우로 이동 가능하게 끼움 결합하고, 상기 볼스크류너트(240)에는 상기 볼스크류너트(240)와 함께 좌우로 이동 가능하도록 지그조립체(250)를 고정 설치한다.

상기한 지그조립체(250)는 선단에 측면판(420)이 임시 고정된 상태로 서포트플레이트(200)에 설치된 볼부시(205)를 관통하여 좌우로 슬라이딩 이동되는 것으로, 다시 너트플레이트(260)와, 슬라이드바(270)와, 슬라이드플레이트(280)와, 지그(290)와, 록킹수단을 포함하여 구성된다.

도 6 및 도 8을 통해 구체적으로 살펴보면, 볼스크류너트(240)에 너트플레이트(260)를 고정시키고, 상기 너트플레이트(260) 양측에는 슬라이드바(270)를 고정시킨다. 이때, 상기 슬라이드바(270)는 서포트플레이트(200)에 설치된 볼부시(205) 내에 관통되어 설치되는 것으로, 상기 볼스크류너트(240)와 함께 슬라이딩 이동하게 된다.

그리고, 상기 슬라이드바(270) 단부에는 슬라이드플레이트(280)를 고정시키고, 상기 슬라이드플레이트(280) 일측에는 지그(290)를 설치하며, 상기 지그(290) 바깥 일면에는 카세트(400)의 측면판(420)을 끼움 구비할 수 있도록 적어도 측면판(420)보다 크거나 같은 크기의 판홈(292)을 형성하고, 상기 판홈(292)에는 측면판(420)에 형성된 구멍들에 끼워져 측면판(420)의 위치를 잡아주도록 안내구(293)를 더 돌출 설치할 수 있다.

또한, 상기 슬라이드플레이트(280)와 지그(290) 사이에는 상기 지그(290)의 판홈(292) 내에 끼워진 측면판(420)을 임시적으로 고정시킬 수 있도록 록킹수단을 더 설치한다.

이에 상기한 록킹수단에 대해 도 7을 통해 살펴보면, 슬라이드플레이트(280)와 지그(290) 사이에 기설정된 각도만큼 로드의 회전이 가능한 다수의 회전실린더(295)를 각각 설치한다. 이때, 본 발명에서는 로드의 회전 각도가 90°로 설정되는 것이 적절하다.

그리고, 상기 회전실린더(295)의 로드는 상기 지그(290)를 관통하여 판홈(292)의 테두리 외측 부분에 돌출되게 설치하게 되는데, 판홈(292)의 하단 외측과 양측 외측에 설치할 수 있다. 또한, 상기 로드의 단부에는 걸림편(296)을 장착하여 상기 로드의 회전조작을 통해 판홈(292)에 끼워진 측면판(420)을 커버하게 된다.

즉, 판홈(292)에 측면판(420)을 끼움 구비한 상태에서 회전실린더(295)의 회전 조작을 통해 걸림편(296)이 측면판(420)을 향해 90°회전됨으로써, 걸림편(296)이 판홈(292)으로부터 측면판(420)이 떨어지는 것을 지지하게 되는 것이다.

계속해서, 히터 이동수단은 다수의 지지바(410) 단부와 측면판(420) 일부분을 가열 및 융해시킬 수 있도록 양방향 가열이 가능한 다수의 히터(310)를 설치하여 지지바 안착유닛과 양측 측면판 이동유닛 사이에 전후좌우로 슬라이딩 이동 가능하게 각각 설치한 것으로, 다시 히팅플레이트(300)와, 히터(310)와, 히터 좌우이동유닛과, 히터 전우이동유닛을 포함하여 구성된다.

도 10a 내지 도 11b를 통해 구체적으로 살펴보면, 지지바 안착유닛과 양측의 측면판 이동유닛 사이에 히팅플레이트(300)를 설치하고, 상기 히팅플레이트(300) 양측면에는 상하부안착프레임(130)(140)에 설치된 지지바(410) 단부와, 상기 지지바(410)와 동일 축선상에 위치한 측면판(420)의 일부분을 각각 가열 및 융해시킬 수 있도록 양방향 가열이 가능한 히터(310)를 각각 설치한다.

즉, 본 발명의 카세트(400)에는 6개의 지지바(410)가 설치되므로, 도 10a 및 도 11a와 같이 어느 하나의 히팅플레이트(300) 일측면과 타측면에는 지지바(410) 측으로 6개와 지그(290) 측으로 6개를 각각 설치할 수 있게 된다.

여기서, 상기 히터(310)의 발열온도는 개별적으로 제어하되, 하부에서 상부를 향할수록 히터(310)의 발열온도를 낮게 설정한다. 그 이유는 히터(310)에서 발산되는 열이 통상적으로 상부를 향하여 올라가게 됨으로써, 지지바(410)와 측면판(420)에 가해지는 가열온도를 최대한 동일하게 유지시키기 위해 상부의 히터(310) 발열온도를 상대적으로 하부의 것보다 낮게 설정하게 된다.

그리고, 상기 히터(310)는 코일스프링히터와, 카트리지히터와, 세라믹히터 중 어느 하나를 채용하는 것이 적절하나, 이 외에도 다른 종류의 히터를 사용하는 것 또한 본 발명의 구성에 포함됨은 자명하다 할 것이다.

아울러, 탑플레이트(150) 양측 하부와 베이스플레이트(110) 양측 상부에 각각 설치된 좌우이동실린더(320)와 좌우이동리니어가이드(340)에 의해 상기 히팅플레이트(300)를 좌우로 이동시킬 수 있도록 상기 히팅플레이트(300) 상부와 하부에 히터 좌우이동유닛을 각각 연결 설치한다.

이러한, 히터 좌우이동유닛은 다시 좌우이동실린더(320)와, 좌우슬라이딩플레이트(330)와, 좌우이동리니어가이드(340)를 포함하여 구성되는 것으로, 도 10a와 도 10b를 통해 구체적으로 살펴보면, 서포트플레이트(200) 상단과 하단의 바깥쪽 일측에 좌우이동실린더(320)를 각각 고정 설치하고, 상기 좌우이동실린더(320)의 로드에 좌우로 슬라이딩 이동이 가능한 좌우슬라이딩플레이트(330)를 고정 결합한다.

그리고, 상기 상부의 좌우슬라이딩플레이트(330)와 탑플레이트(150) 저면 사이, 그리고 하부의 좌우슬라이딩플레이트(330)와 베이스플레이트(110) 상면 사이에 각각 좌우이동리니어가이드(340)를 설치하여 상기 좌우슬라이딩플레이트(330)와 함께 히팅플레이트(300)의 좌우 이동을 실시할 수 있게 된다.

즉, 탑플레이트(150) 저면에 좌우이동리니어가이드(340)의 일 구성요소인 가이드레일(342)을 고정 설치하고, 상부의 좌우슬라이딩플레이트(330) 상면에 복수의 슬라이드블록(344)을 결합 설치하되, 상기 슬라이드블록(344)은 가이드레일(342)을 따라 슬라이딩 이동 가능하게 설치한다.

또한, 베이스플레이트(110) 상면에 좌우이동리니어가이드(340)의 일 구성요소인 가이드레일(342)을 고정 설치하고, 하부의 좌우슬라이딩플레이트(330) 저면에 복수의 슬라이드블록(344)을 결합 설치하되, 상기 슬라이드블록(344)은 가이드레일(342)을 따라 슬라이딩 이동 가능하게 설치함으로써, 상기한 상하부의 좌우슬라이딩플레이트(330)는 물론, 그 사이에 연결된 히팅플레이트(300)를 좌우로 함께 이동시킬 수 있다.

아울러, 상기 히팅플레이트(300)와 히터 좌우이동유닛 사이에 연결 설치된 전후이동실린더(350)와 전후이동리니어가이드(370)에 의해 상기 히팅플레이트(300)를 전후로 이동시킬 수 있도록 히터 전후이동유닛을 설치한다.

이러한, 상기 히터 전후이동유닛은 다시 전후이동실린더(350)와, 전후슬라이딩플레이트(360)와, 전후이동리니어가이드(370)를 포함하여 구성되는 것으로, 도 11a와 도 11b를 통해 구체적으로 살펴보면, 히팅플레이트(300)를 향한 상부의 좌우슬라이딩플레이트(330) 저면 일부와 하부의 좌우슬라이딩플레이트(330) 상면 일부에 전후이동실린더(350)를 각각 고정 설치한다.

그리고, 상기 전후이동실린더(350) 외측에 전후로 슬라이딩 가능하게 이송블록(355)을 결합 구비하고, 상기 이송블록(355)과 히팅플레이트(300)에 전후슬라이딩플레이트(360)를 각각 고정 설치하여 이송블록(355)과 함께 전후슬라이딩플레이트(360) 및 히팅플레이트(300)를 전후로 슬라이딩 이동시킨다.

즉, 상부의 전후슬라이딩플레이트(360) 저면에 상부의 전후이동리니어가이드(370)의 일 구성요소인 가이드레일(372)을 고정 설치하고, 상부 전후이동실린더(350)의 이송블록(355)에 고정 설치된 상부의 전후슬라이딩플레이트(360) 상면에 복수의 슬라이드블록(374)을 결합 설치하되, 상기 슬라이드블록(374)은 가이드레일(372)을 따라 슬라이딩 이동 가능하게 설치한다.

또한, 하부의 전후슬라이딩플레이트(360) 상면에 하부의 전후이동리니어가이드(370)의 일 구성요소인 가이드레일(372)을 고정 설치하고, 하부 전후이동실린더(350)의 이송블록(355)에 고정 설치된 하부의 전후슬라이딩플레이트(360) 저면에 복수의 슬라이드블록(374)을 결합 설치하되, 상기 슬라이드블록(374)은 가이드레일(372)을 따라 슬라이딩 이동 가능하게 설치함으로써, 상기한 상하부의 전후슬라이딩플레이트(360)는 물론, 그 사이에 연결된 히팅플레이트(300)를 함께 전후로 이동시킬 수 있다.

이와 같이 구성된 본 발명의 작용 및 효과를 상세하게 설명하면 다음과 같다.

본 발명의 웨이퍼 운반용 카세트 제조장치를 통해 카세트(400)를 제조하기 위해서는 먼저, 도 3a 및 도 5와 같이 상부안착프레임(130)에 형성된 안착홈(132)에 4개의 지지바(410)와 하부안착프레임(140)에 형성된 안착홈(142)에 2개의 지지바(410)를 각각 안착 구비하되, 상기 지지바(410)에 형성된 지지돌기(412)가 안착홈(132)(142) 일측의 삽입홈(134)(144)에 끼워질 수 있게 지지바(410)의 위치를 맞추어 안착시킨다.

이 후, 도 7과 같이 양측 지그조립체(250)에 구비된 지그(290) 일면의 판홈(292)에 측면판(420)을 각각 삽입하고, 지그(290)와 슬라이드플레이트(280) 사이에 설치된 회전실린더(295)의 로드를 회전 조작하여 로드 선단에 장착된 걸림편(296)을 측면판(420)을 향해 90°회전시키게 됨으로써, 걸림편(296)이 측면판(420) 일부를 커버하여 측면판(420)이 판홈(292)에서 떨어지는 것을 막는 역할을 하게 된다.

이처럼, 지지바(410)와 측면판(420)을 각각 정해진 위치에 위치시키고 난 후, 장치의 조작스위치를 작동시키게 되면, 기입력된 제어 프로그램에 따라 도 3b와 같이 탑플레이트(150)에 설치된 상부승강실린더(160)의 로드가 하강 이동하면서 상기 로드에 결합된 상부커버프레임(170)이 상부안착프레임(130) 상면에 연접 및 커버되어 상부안착프레임(130)에 안착 구비된 지지바(410)의 움직임을 임시적으로 고정시키게 된다.

이와 동시에, 도 4b와 같이 고정프레임(120)에 설치된 하부승강실린더(180)의 로드 역시 하강 이동하면서 상기 로드에 결합된 승강블록(185)이 고정프레임(120)에 형성된 가이드홀(125)을 따라 하강 이동되고, 또한 상기 승강블록(185)에 결합된 하부커버프레임(190)이 함께 하강 이동되면서 하부안착프레임(140) 상면에 연접 및 커버되어 하부안착프레임(140)에 안착 구비된 지지바(410)의 움직임을 임시적으로 고정시키게 된다.

이처럼, 지지바(410)의 움직임을 고정시킨 후에는 도 11b와 같이 상하부 양측에 각각 설치된 전후이동실린더(350)가 각각 구동되어 상기 전후이동실린더(350)에 결합된 이송블록(355)을 전방을 향하여 정해진 구간만큼 이동시키고, 이와 함께 상기 이송블록(355)에 결합된 전후슬라이딩플레이트(360)와 히팅플레이트(300)를 함께 전방을 향하여 이동시켜 히팅플레이트(300)에 설치된 다수의 히터(310) 위치가 다수의 지지바(410) 단부와, 이와 동일 축선상에 위치한 측면판(420) 사이에 각각 동일 축선상에 놓이게 된다.

이때, 상기 히팅플레이트(300)와 결합된 전후슬라이딩플레이트(360)는 전후이동리니어가이드(370)에 의해 직선으로 슬라이딩 이동됨으로써, 좌우슬라이딩플레이트(330)로부터 자연스럽고 부드럽게 전후로 슬라이딩 이동될 수 있게 된다.

이 후, 도 8 및 도 10b와 같이 상하부 양측에 각각 설치된 좌우이동실린더(320)가 각각 동시에 구동되면서, 상기 좌우이동실린더(320)의 로드에 결합된 좌우슬라이딩플레이트(330)를 지지바(410) 측을 향해 정해진 구간만큼 이동시켜, 상기 좌우슬라이딩플레이트(330)와 함께 히팅플레이트(300)를 지지바(410) 측으로 이동시킨다. 이에, 상기 지지바(410) 측에 결합된 히터(310)들이 지지바(410) 단부에 접촉되면서 각각의 지지바(410) 단부를 가열 및 융해시키게 된다.

이때, 상기 히팅플레이트(300)와 연결된 좌우슬라이딩플레이트(330)는 좌우이동리니어가이드(340)에 의해 직선으로 슬라이딩 이동됨으로써, 탑플레이트(150)로부터 자연스럽고 부드럽게 좌우로 슬라이딩 이동될 수 있게 된다.

또한, 상기한 히팅플레이트(300)의 좌우 이동과 동시에 서보모터(220)가 함께 구동되면서 도 6 및 도 8과 같이 서보모터(220)에 축 결합된 볼스크류(230)가 회전되고, 상기한 볼스크류(230)의 회전작용을 통해 볼스크류(230)에 결합된 볼스크류너트(240)는 물론 상기 볼스크류너트(240)에 결합된 지그조립체(250)를 히터(310) 측을 향해 정해진 구간만큼 이동시킬 수 있게 된다.

이때, 상기와 같이 볼스크류너트(240)가 볼스크류(230)에 회전에 의해 이동되고, 지그조립체(250)에 설치된 슬라이드바(270)가 서포트플레이트(200)에 설치된 볼부시(205)를 관통하여 슬라이드 이동됨으로써, 지그조립체(250)를 자연스럽고 부드럽게 좌우로 슬라이딩 이동시킬 수 있게 된다.

이처럼, 지그조립체(250)의 이동을 통해 지그(290)에 임시 고정된 측면판(420)이 히팅플레이트(300)에 설치된 히터(310)들에 접촉되면서, 접촉이 이루어진 측면판(420) 부분을 가열 및 융해시키게 된다. 여기서, 상기한 지지바(410)와 측면판(420)의 가열 및 융해시간은 약 20~30초 가량 이루어지는 것이 적절하다.

한편, 지지바(410)와 측면판(420)을 융해시키기 위한 소정이 시간이 지난 후에는, 자동으로 서보모터(220)가 구동되어 상기와 같이 히터(310) 측으로 이동된 지그조립체(250)를 도 6에 도시된 본래의 위치로 복귀 이동시키게 됨으로써 측면판(420)의 가열 및 융해작업을 멈추게 된다. 여기서, 상기한 지그조립체(250)의 이동작용은 그 이동 방향만을 달리할 뿐, 앞서 설명한 지그조립체(250)의 이동작용과 실질적으로 동일한 바 중복된 설명은 생략하기로 한다.

또한 이와 동시에, 좌우이동실린더(320)가 구동되어 상기와 같이 지지바(410) 측으로 이동된 좌우슬라이딩플레이트(330) 및 히팅플레이트(300)를 도 10a와 같이 복귀 이동시켜 히터(310)들을 지지바(410)로부터 떨어뜨려 지지바(410) 단부의 가열 및 융해작업을 멈추게 된다.

여기서, 상기한 좌우슬라이딩플레이트(330) 및 히팅플레이트(300)의 좌우 이동작용 역시 그 이동 방향만을 달리할 뿐, 앞서 설명한 히팅플레이트(300)의 좌우 이동작용과 실질적으로 동일한 바 중복된 설명은 생략하기로 한다.

이 후, 전후이동실린더(350)가 구동되어 상기와 같이 전방으로 이동된 전후슬라이딩플레이트(360) 및 히팅플레이트(300)를 도 11a에 도시된 본래의 후방 위치로 복귀 이동시키게 됨으로써, 지지바(410)와 측면판(420) 사이에 히터(310)가 간섭되지 않도록 한다.

여기서, 상기한 전후슬라이딩플레이트(360) 및 히팅플레이트(300)의 전후 이동작용 역시 그 이동 방향만을 달리할 뿐, 앞서 설명한 히팅플레이트(300)의 전후 이동작용과 실질적으로 동일한 바 중복된 설명은 생략하기로 한다.

이 후 다시, 양측 서보모터(220)가 구동되어 지그조립체(250)를 도 9와 같이 정해진 구간만큼 지지바(410) 측으로 이동시켜, 지그(290)에 고정된 측면판(420)의 가열 융해된 부분을 지지바(410) 단부에 접촉 및 가압하게 됨으로써, 지지바(410)가 소정 간격 측면판(420)으로 밀려 들어오면서 지지바(410) 양단에 측면판(420)을 융착 접합할 수 있게 된다.

여기서, 상기한 지지바(410)와 측면판(420)의 융착 및 접합시간은 약 35~45초 가량 이루어지는 것이 적절하다.

한편, 지지바(410)와 측면판(420)을 융착시키기 위한 소정이 시간이 지난 후에는, 도 7의 지그조립체(250)에 설치된 회전실린더(295)의 로드와 걸림편(296)이 다시 역방향으로 90°회전 구동되어 걸림편(296)들이 더 이상 측면판(420)을 지지하지 않게 된다.

이 후, 다시 자동으로 서보모터(220)가 구동되어 상기와 같이 지지바(410) 측으로 이동된 지그조립체(250)를 도 6과 같은 본래의 위치로 복귀 이동시키게 됨으로써 측면판(420)은 지지바(410)에 융착된 상태로 지지바(410)에 고정되고, 측면판(420)이 제거된 지그조립체(250)만이 좌우로 복귀 이동된다.

이 후 다시, 자동으로 상부승강실린더(160)와 하부승강실린더(180)가 구동되어 도 3a 및 도 4a와 같이 각 실린더의 로드가 동시에 상부로 이동되면, 상기 각 로드에 결합된 상부커버프레임(170)과 하부커버프레임(190)이 상부안착프레임(130)과 하부안착프레임(140)과 떨어지면서 상부로 이동하게 된다. 따라서, 상부안착프레임(130)과 하부안착프레임(140)에 지지바(410)들이 안착된 상태에서 지지바(410) 양측에 측면판(420)이 융착 고정된 도 12에 도시한 바와 같은 카세트(400)를 제조할 수 있게 된다.

이와 같이, 본 발명의 웨이퍼 운반용 카세트 제조장치는 지지바(410) 및 측면판(420)의 가열 및 융해과정에서부터 융착 및 접합과정에 이르기까지 카세트(400) 제조에 필요한 대부분의 제조 공정을 자동화 및 기계화하여 제품을 생산함으로써, 카세트(400) 제품의 생산성을 향상시키는 것은 물론, 인건비를 줄여 카세트(400)의 제조단가를 절감할 수 있고, 제품 품질 향상에 기여하여 당해 제품과 그 생산기업의 신뢰도를 크게 향상시킬 수 있게 된다.

한편, 본 발명은 상기한 구체적인 예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

100 : 메인프레임 110 : 베이스플레이트
120 : 고정프레임 125 : 가이드홀
130 : 상부안착프레임 132 : 안착홈
134 : 삽입홈 140 : 하부안착프레임
142 : 안착홈 144 : 삽입홈
150 : 탑플레이트 160 : 상부승강실린더
170 : 상부커버프레임 172 : 커버홈
180 : 하부승강실린더 185 : 승강블록
190 : 하부커버프레임 192 : 커버홈
200 : 서포트플레이트 205 : 볼부시
210 : 서포트브래킷 220 : 서보모터
225 : 감속기 230 : 볼스크류
240 : 볼스크류너트 250 : 지그조립체
260 : 너트플레이트 270 : 슬라이드바
280 : 슬라이드플레이트 290 : 지그
292 : 판홈 295 : 회전실린더
296 : 걸림편 300 : 히팅플레이트
310 : 히터 320 : 좌우이동실린더
330 : 좌우슬라이딩플레이트 340 : 좌우이동리니어가이드
342 : 가이드레일 344 : 슬라이드블록
350 : 전후이동실린더 355 : 이송블록
360 : 전후슬라이딩플레이트 370 : 전후이동리니어가이드
372 : 가이드레일 374 : 슬라이드블록
400 : 카세트 410 : 지지바
412 : 지지돌기 420 : 측면판

Claims (15)

1. 웨이퍼를 지지하기 위해 카세트(400)에 구비된 다수의 지지바(410)를 상부안착프레임(130)과 하부안착프레임(140) 상면의 정해진 위치에 각각 안착 구비하는 지지바 안착유닛과;
   상기 상부안착프레임(130)과 하부안착프레임(140) 상부에 각각 구비된 상부커버프레임(170)과 하부커버프레임(190)을 승하강 이동시켜 상기 지지바(410)를 임시적으로 고정시키는 지지바 고정유닛과;
   웨이퍼 양측의 측면판(420)을 임시적으로 고정시켜 측면판(420)을 지지바(410) 양단에 융착 고정시킬 수 있도록 지지바 안착유닛 양측에 좌우로 슬라이딩 이동 가능하게 각각 설치한 측면판 이동유닛과;
   다수의 지지바(410) 단부와 측면판(420) 일부분을 가열 및 융해시킬 수 있도록 양방향 가열이 가능하게 다수의 히터(310)를 설치하여 지지바 안착유닛과 양측 측면판 이동유닛 사이에 전후좌우로 슬라이딩 이동 가능하게 각각 설치한 히터 이동수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 운반용 카세트 제조장치.
2. 제 1항에 있어서, 상기 지지바 안착유닛은,
   베이스플레이트(110) 상부에 고정된 'L' 형상의 고정프레임(120)과;
   상면에 지지바(410)가 안착되는 복수의 안착홈(142)을 형성하여 상기 고정프레임(120) 하부에 고정시킨 하부안착프레임(140)과;
   상면에 지지바(410)가 안착되는 적어도 하나 이상의 안착홈(132)을 형성하여 상기 고정프레임(120) 상부에 고정시킨 상부안착프레임(130)을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 운반용 카세트 제조장치.
3. 제 2항에 있어서, 상기 안착홈(132)(142) 일부에는 지지바(410)에 형성된 지지돌기(412)들이 삽입될 수 있도록 삽입홈(134)(144)을 형성한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 운반용 카세트 제조장치.
4. 제 1항에 있어서, 상기 지지바 고정유닛은,
   탑플레이트(150) 중앙에 고정 설치된 상부승강실린더(160)와;
   저면에 지지바(410)를 커버하는 적어도 하나 이상의 커버홈(172)을 형성하되, 상부안착프레임(130) 상면에 안착될 수 있도록 상기 상부승강실린더(160)의 로드에 고정되어 탑플레이트(150) 하부에 승하강 이동 가능하게 설치한 상부커버프레임(170)과;
   고정프레임(120) 상단 양측에 고정 설치된 하부승강실린더(180)와;
   상기 하부승강실린더(180) 하부에 위치한 고정프레임(120) 양측에 형성된 가이드홀(125)과;
   저면에 지지바(410)를 커버하는 복수의 커버홈(192)을 형성하되, 하부안착프레임(140) 상면에 안착될 수 있도록 상기 하부승강실린더(180)의 로드에 고정되어 가이드홀(125)을 따라 승하강 이동 가능하게 설치한 하부커버프레임(190)을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 운반용 카세트 제조장치.
5. 제 4항에 있어서, 상기 커버홈(172)(192) 일부에는 지지바(410)에 형성된 지지돌기(412)들이 삽입될 수 있도록 삽입홈(174)(194)을 형성한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 운반용 카세트 제조장치.
6. 제 1항에 있어서, 상기 측면판 이동유닛은,
   탑플레이트(150)와 베이스플레이트(110) 양측 사이에 수직 설치한 서포트플레이트(200)와;
   상기 서포트플레이트(200) 일측에 고정 설치한 서포트브래킷(210)과;
   상기 서포트브래킷(210) 일측에 고정 설치한 감속기(225)를 갖는 서보모터(220)와;
   양 단부를 상기 서보모터(220)와 서포트플레이트(200)에 회전 가능하게 축 결합한 볼스크류(230)와;
   상기 볼스크류(230)에 끼워져 좌우로 이동하는 볼스크류너트(240)와;
   상기 볼스크류너트(240)에 고정시키되, 서포트플레이트(200)에 설치된 볼부시(205)에 슬라이드바(270)가 관통되어 좌우로 슬라이딩 이동하고, 선단에 측면판(420)이 임시 고정되는 지그조립체(250)를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 운반용 카세트 제조장치.
7. 제 6항에 있어서, 상기 지그조립체(250)는,
   볼스크류너트(240)에 고정되는 너트플레이트(260)와;
   상기 너트플레이트(260)에 고정시키되, 서포트플레이트(200)에 설치된 볼부시(205)에 관통되어 슬라이딩 이동하는 슬라이드바(270)와;
   상기 슬라이드바(270) 단부에 고정되는 슬라이드플레이트(280)와;
   카세트(400)의 측면판(420)을 고정시킬 수 있도록 외측면에 판홈(292)을 형성하여 상기 슬라이드플레이트(280) 일측에 설치하는 지그(290)와;
   상기 지그(290)의 판홈(292) 내에 끼워진 측면판(420)을 임시적으로 고정시킬 수 있도록 슬라이드플레이트(280)와 지그(290) 사이에 설치한 록킹수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 운반용 카세트 제조장치.
8. 제 7항에 있어서, 상기 록킹수단은 슬라이드플레이트(280)와 지그(290) 사이에 정해진 각도로 로드가 회전되는 회전실린더(295)를 다수 설치하되, 상기 회전실린더(295)의 로드는 판홈(292)의 테두리 외측면에 설치하고, 상기 로드의 단부에는 걸림편(296)을 장착한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 운반용 카세트 제조장치.
9. 제 1항에 있어서, 상기 히터 이동수단은,
   지지바 안착유닛과 양측의 측면판 이동유닛 사이에 설치한 히팅플레이트(300)와;
   다수의 지지바(410) 단부와, 이와 동일 축선상에 위치한 측면판(420) 일부분을 가열 및 융해시킬 수 있도록 양방향 가열이 가능하게 히팅플레이트(300) 양면에 각각 설치한 다수의 히터(310)와;
   탑플레이트(150) 양측 하부와 베이스플레이트(110) 양측 상부에 각각 설치된 좌우이동실린더(320)와 좌우이동리니어가이드(340)에 의해 상기 히팅플레이트(300)를 좌우로 이동시킬 수 있도록 상기 히팅플레이트(300) 상부와 하부에 각각 연결 설치된 히터 좌우이동유닛과;
   상기 히팅플레이트(300)와 히터 좌우이동유닛 사이에 연결 설치된 전후이동실린더(350)와 전후이동리니어가이드(370)에 의해 상기 히팅플레이트(300)를 전후로 이동시키는 히터 전후이동유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 운반용 카세트 제조장치.
10. 제 9항에 있어서, 상기 히터 좌우이동유닛은,
    서포트플레이트(200) 상단과 하단 일측에 각각 고정 설치한 좌우이동실린더(320)와;
    상기 좌우이동실린더(320)의 로드에 결합되어 좌우로 슬라이딩 이동하는 좌우슬라이딩플레이트(330)와;
    상부의 좌우슬라이딩플레이트(330)와 탑플레이트(150) 저면 사이와, 하부의 좌우슬라이딩플레이트(330)와 베이스플레이트(110) 상면 사이에 각각 설치하여 상기 좌우슬라이딩플레이트(330)의 좌우 이동을 가이드할 수 있도록 복수의 슬라이드블록(344)과 가이드레일(342)로 구성된 좌우이동리니어가이드(340)를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 운반용 카세트 제조장치.
11. 제 10항에 있어서, 상기 좌우이동리니어가이드(340)의 가이드레일(342)은 탑플레이트(150)의 저면과 베이스플레이트(110)의 상면에 각각 고정 설치하고, 상기 슬라이드블록(344)은 상기 가이드레일(342)에 끼워져 상부의 좌우슬라이딩플레이트(330) 상면과 하부의 좌우슬라이딩플레이트(330) 저면에 각각 고정 설치한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 운반용 카세트 제조장치.
12. 제 9항에 있어서, 상기 히터 전후이동유닛은,
    히팅플레이트(300)를 향한 상부와 하부의 좌우슬라이딩플레이트(330) 일면에 고정 설치한 전후이동실린더(350)와;
    상기 전후이동실린더(350) 외측에 슬라이딩 가능하게 구비된 이송블록(355)과 히팅플레이트(300)에 고정되어 전후로 슬라이딩 이동하는 전후슬라이딩플레이트(360)와;
    상부의 전후슬라이딩플레이트(360)와 좌우슬라이딩플레이트(330) 저면 사이와, 하부의 전후슬라이딩플레이트(360)와 좌우슬라이딩플레이트(330) 상면 사이에 각각 설치하여 상기 전후슬라이딩플레이트(360)의 전후 이동을 가이드할 수 있도록 복수의 슬라이드블록(374)과 가이드레일(372)로 구성된 전후이동리니어가이드(370)를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 운반용 카세트 제조장치.
13. 제 12항에 있어서, 상기 전후이동리니어가이드(370)의 가이드레일(372)은 상부의 좌우슬라이딩플레이트(330)의 저면과 하부의 좌우슬라이딩플레이트(330)의 상면에 각각 고정 설치하고, 상기 슬라이드블록(374)은 상기 가이드레일(372)에 끼워져 상부의 전후슬라이딩플레이트(360) 상면과 하부의 전후슬라이딩플레이트(360) 저면에 각각 고정 설치한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 운반용 카세트 제조장치.
14. 제 9항에 있어서, 상기 히터(310)의 발열온도는 개별적으로 제어하되, 하부에서 상부를 향할수록 발열온도를 낮게 설정하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 운반용 카세트 제조장치.
15. 제 9항 또는 제 14항에 있어서, 상기 히터(310)는 코일스프링히터와, 카트리지히터와, 세라믹히터 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 운반용 카세트 제조장치.

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