CN118315327A - 一种晶圆载片台 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种晶圆载片台，涉及晶圆加工领域，包括底座，底座顶部固定连接有立架，底座侧面螺纹连接有螺纹杆，螺纹杆底部固定连接有手轮，螺纹杆顶部转动连接有托板，底座顶部固定连接有传送带，通过控制电动伸缩杆D运转，可以使电热台向上插入半圆孔，可以对储片壳内侧的晶圆进行托起，通过程序控制电动伸缩杆C运转，可以使其带动开架向左右两侧平移，可以将左右两侧的储片壳向左右两侧分开，可以防止在对晶圆保护结构分开时对晶圆底部摩擦，可以使晶圆在载片台上定位更为稳定准确，解决了现有载片台在装载晶圆时晶圆底部容易与载片台发生水平方向的摩擦，会降低使晶圆在载片台上定位的稳定性和准确性的问题。

Description

一种晶圆载片台

技术领域

本发明涉及晶圆加工技术领域，特别涉及一种晶圆载片台。

背景技术

在进行晶圆测试时，需要从常温到高温范围内进行温度调整，以便再现芯片装入状态或进行加速测试，如发明专利CN109732473A公开了一种晶圆载片台及晶圆装卸机构，晶圆载片台包括至少一组定位环；每组定位环包括一个下定位环和一个侧定位环，所述下定位环的内侧壁上设置有至少三个用于承载晶圆的承载板，所述下定位环用于和抛光头的顶端抵接，所述侧定位环用于和抛光头的侧壁抵接，以改善现有技术中存在晶圆载片台在与抛光结构之间配合过程中容易产生误差，导致工作效率的降低技术问题。

然而上述的载片台在装载晶圆时晶圆底部容易与载片台发生水平方向的摩擦，会降低使晶圆在载片台上定位的稳定性和准确性，不便于对同批次晶圆进行依次检测，现有载片台在使用时不便于对晶圆进行分批检测，不便于对检测后的晶圆进行快速排出。

发明内容

有鉴于此，本发明提供一种晶圆载片台通过控制电动伸缩杆D运转，可以使其伸缩部带动电热台向上平移，可以使电热台向上插入半圆孔，可以对储片壳内侧的晶圆进行托起，通过程序控制电动伸缩杆C运转，可以使其带动开架向左右两侧平移，可以将左右两侧的储片壳向左右两侧分开，可以防止在对晶圆保护结构分开时对晶圆底部摩擦，可以使晶圆在载片台上定位更为稳定准确。

本发明提供了一种晶圆载片台的目的与功效，具体包括底座；所述底座顶部固定连接有立架，底座侧面螺纹连接有螺纹杆，螺纹杆底部固定连接有手轮，螺纹杆顶部转动连接有托板，底座顶部固定连接有传送带，底座顶部固定连接有电动伸缩杆A，电动伸缩杆A伸缩部固定连接有拉架，拉架左右两侧底部滑动连接有弹簧楔块A；所述立架顶部固定连接有滑台，滑台顶部固定连接有电动伸缩杆B，电动伸缩杆B伸缩部前端固定连接有推架，推架与滑台滑动连接；所述立架前端固定连接有定位仓，定位仓左侧开设有装卸槽；所述定位仓内侧设置有更换仓，更换仓内侧立面处开设有垂直槽，更换仓内侧底部固定连接有支撑弹簧，支撑弹簧顶部固定连接有推板，推板外侧固定连接有滑块，滑块与垂直槽滑动连接，支撑弹簧顶部固定连接有推板。

可选地，所述更换仓顶部固定连接有顶座，顶座内侧滑动连接有弹簧楔块B。

可选地，所述定位仓前端立面处固定连接有电动伸缩杆C，电动伸缩杆C伸缩部的顶部左右两侧固定连接有往复丝杠，往复丝杠数量设置为二组。

可选地，所述往复丝杠的滚珠螺母座顶部固定连接有开架，开架底部滑动连接有固定楔块。

可选地，所述定位仓顶部前端固定连接有加热载台，加热载台顶部固定连接有电热环台。

可选地，所述加热载台内侧固定连接有电动伸缩杆D，电动伸缩杆D伸缩部顶部固定连接有电热台，电热环台与电热台滑动连接。

可选地，所述更换仓内侧设置有储片壳，储片壳内侧立面处开设有圆孔，圆孔内侧固定连接有拉簧套管，每两组储片壳的拉簧套管滑动连接，储片壳内侧设置有储存槽。

可选地，所述储存槽底部开设有半圆孔，储片壳顶部开设有顶楔槽，储片壳外侧立面处开设有侧楔槽。

有益效果

根据本发明的各实施例的载片台，将储片壳从上向下垂直放置进更换仓内部，可以使储片壳底部接触推板，通过支撑弹簧和滑块与垂直槽配合，可以使推板向上垂直弹性支撑，将储片壳依次放置进更换仓内部后，可以使弹簧楔块B底部平面对储片壳侧边顶面进行限位，可以使更换仓对储片壳进行储存，使用者可以握住更换仓左侧的提手将更换仓装入定位仓内部后，通过转动手轮可以使其带动托板对更换仓底部进行支撑，通过定位仓顶部结构可以对更换仓顶端进行限位，可以对大批量晶圆片进行装载，当对同一批次晶圆进行检查时，可以通过程序控制电动伸缩杆B运转，可以使其伸缩部带动推架对定位仓最顶端的储片壳向前推动，可以将储片壳向前推出至加热载台顶部，可以对各组晶圆进行依次检测，便于对晶圆进行分批检测。

此外，通过控制电动伸缩杆D运转，可以使其伸缩部带动电热台向上平移，可以使电热台向上插入半圆孔，可以对储片壳内侧的晶圆进行托起，通过程序控制电动伸缩杆C运转，可以使其伸缩部带动左右两侧往复丝杠向下平移，可以使其带动开架底部的固定楔块插入顶楔槽，通过控制往复丝杠运转，可以使其带动开架向左右两侧平移，可以将左右两侧的储片壳向左右两侧分开，可以防止在对晶圆保护结构分开时对晶圆底部摩擦，可以使晶圆在载片台上定位更为稳定准确。

此外，通过控制开架对储片壳进行分离后，控制电热台下移可以使晶圆与电热台和电热环台同步接触，可以对晶圆进行常温到高温调节，以便再现装入状态或进行加速测试。

此外，对晶圆进行检测后，通过控制电动伸缩杆A运转，可以使其带动拉架向后平移，可以使拉架套接在储片壳左右两侧，可以使弹簧楔块A与侧楔槽进行限位，通过控制开架复位后，控制电动伸缩杆C运转，可以使其带动开架向上平移，可以解除对顶楔槽的限位，通过控制电动伸缩杆A伸缩部收缩，可以带动检测后的储片壳向前拉动，将储片壳移动至传送带上方后，储片壳可以向下掉落在传送带上，便于对检测后的晶圆进行快速排出。

附图说明

为了更清楚地说明本发明的实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单地介绍。

下面描述中的附图仅仅涉及本发明的一些实施例，而非对本发明的限制。

在附图中：

图1是本发明实施例一的载片台整体的左侧结构示意图。

图2是图1中A的局部放大示意图。

图3是本发明实施例一的更换仓的立体拆解结构示意图。

图4是本发明实施例一的载片台整体的立体拆解结构示意图。

图5是图4中B的局部放大示意图。

图6是本发明实施例一的载片台开架的仰视结构示意图。

图7是本发明实施例一的加热载台的侧剖面示意图。

图8是本发明实施例二的储片壳的结构示意图。

附图标记列表

1、底座；控制电动伸缩杆D(602)运转，可以使其伸缩部带动电热台(603)向上平移，可以使电热台(603)向上插入半圆孔(703)，可以对储片壳(7)内侧的晶圆进行托起，通过程序控制电动伸缩杆C(5)运转，可以使其伸缩部带动左右两侧往复丝杠(501)向下平移，可以使其带动开架(502)底部的固定楔块(503)插入顶楔槽，通过控制往复丝杠(501)运转，可以使其带动开架(502)向左右两侧平移，可以将左右两侧的储片壳(7)向左右两侧分开

101、立架；102、螺纹杆；103、托板；104、传送带；105、电动伸缩杆A；106、拉架；107、弹簧楔块A；

2、滑台；

201、电动伸缩杆B；202、推架；

3、定位仓；

4、更换仓；

401、垂直槽；402、支撑弹簧；403、推板；404、滑块；405、顶座；406、弹簧楔块B；

5、电动伸缩杆C；

501、往复丝杠；502、开架；503、固定楔块；

6、加热载台；

601、电热环台；602、电动伸缩杆D；603、电热台；

7、储片壳；

701、拉簧套管；702、储存槽；703、半圆孔；704、顶楔槽；705、侧楔槽。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明的实施方式作进一步详细描述。

实施例：请参考图1至图7所示：

本发明提供一种晶圆载片台，包括底座1；底座1顶部固定连接有立架101，底座1侧面螺纹连接有螺纹杆102，螺纹杆102底部固定连接有手轮，螺纹杆102顶部转动连接有托板103，底座1顶部固定连接有传送带104，底座1顶部固定连接有电动伸缩杆A105，电动伸缩杆A105伸缩部固定连接有拉架106，拉架106左右两侧底部滑动连接有弹簧楔块A107；立架101顶部固定连接有滑台2，滑台2顶部固定连接有电动伸缩杆B201，电动伸缩杆B201伸缩部前端固定连接有推架202，推架202与滑台2滑动连接；立架101前端固定连接有定位仓3，定位仓3左侧开设有装卸槽；定位仓3内侧设置有更换仓4，更换仓4内侧立面处开设有垂直槽401，更换仓4内侧底部固定连接有支撑弹簧402，支撑弹簧402顶部固定连接有推板403，推板403外侧固定连接有滑块404，滑块404与垂直槽401滑动连接，支撑弹簧402顶部固定连接有推板403，更换仓4顶部固定连接有顶座405，顶座405内侧滑动连接有弹簧楔块B406，将储片壳7从上向下垂直放置进更换仓4内部，可以使储片壳7底部接触推板403，通过支撑弹簧402和滑块404与垂直槽401配合，可以使推板403向上垂直弹性支撑，将储片壳7依次放置进更换仓4内部后，可以使弹簧楔块B406底部平面对储片壳7侧边顶面进行限位，可以使更换仓4对储片壳7进行储存，使用者可以握住更换仓4左侧的提手将更换仓4装入定位仓3内部后，通过转动手轮可以使其带动托板103对更换仓4底部进行支撑，通过定位仓3顶部结构可以对更换仓4顶端进行限位，可以对大批量晶圆片进行装载，当对同一批次晶圆进行检查时，可以通过程序控制电动伸缩杆B201运转，可以使其伸缩部带动推架202对定位仓3最顶端的储片壳7向前推动，可以将储片壳7向前推出至加热载台6顶部，可以对各组晶圆进行依次检测。

如图1至图6所示，定位仓3前端立面处固定连接有电动伸缩杆C5，电动伸缩杆C5伸缩部的顶部左右两侧固定连接有往复丝杠501，往复丝杠501数量设置为二组，往复丝杠501的滚珠螺母座顶部固定连接有开架502，开架502底部滑动连接有固定楔块503，通过程序控制电动伸缩杆C5运转，可以使其伸缩部带动左右两侧往复丝杠501向下平移，可以使其带动开架502底部的固定楔块503插入顶楔槽704，通过控制往复丝杠501运转，可以使其带动开架502向左右两侧平移，可以将左右两侧的储片壳7向左右两侧分开。

如图2至图7所示，定位仓3顶部前端固定连接有加热载台6，加热载台6顶部固定连接有电热环台601，加热载台6上方设置有检测设备，加热载台6内侧固定连接有电动伸缩杆D602，电动伸缩杆D602伸缩部顶部固定连接有电热台603，电热环台601与电热台603滑动连接，通过控制电动伸缩杆D602运转，可以使其伸缩部带动电热台603向上平移，可以使电热台603向上插入半圆孔703，可以对储片壳7内侧的晶圆进行托起，通过控制开架502对储片壳7进行分离后，控制电热台603下移可以使晶圆与电热台603和电热环台601同步接触，可以对晶圆进行常温到高温调节，以便再现装入状态或进行加速测试。

实施例二：

在实施例一的基础上，如图8所示，传送带104水平高度低于加热载台6，更换仓4内侧设置有储片壳7，储片壳7内侧立面处开设有圆孔，圆孔内侧固定连接有拉簧套管701，每两组储片壳7的拉簧套管701滑动连接，储片壳7内侧设置有储存槽702，储存槽702内侧设置有晶圆片，储存槽702底部开设有半圆孔703，储片壳7顶部开设有顶楔槽704，储片壳7外侧立面处开设有侧楔槽705，对晶圆进行检测后，通过控制电动伸缩杆A105运转，可以使其带动拉架106向后平移，可以使拉架106套接在储片壳7左右两侧，可以使弹簧楔块A107与侧楔槽705进行限位，通过控制开架502复位后，控制电动伸缩杆C5运转，可以使其带动开架502向上平移，可以解除对顶楔槽704的限位，通过控制电动伸缩杆A105伸缩部收缩，可以带动检测后的储片壳7向前拉动，将储片壳7移动至传送带104上方后，储片壳7可以向下掉落在传送带104上，便于对检测后的晶圆进行快速排出。

本实施例的具体使用方式与作用：本发明中，将储片壳7从上向下垂直放置进更换仓4内部，可以使储片壳7底部接触推板403，通过支撑弹簧402和滑块404与垂直槽401配合，可以使推板403向上垂直弹性支撑，将储片壳7依次放置进更换仓4内部后，可以使弹簧楔块B406底部平面对储片壳7侧边顶面进行限位，可以使更换仓4对储片壳7进行储存，使用者可以握住更换仓4左侧的提手将更换仓4装入定位仓3内部后，通过转动手轮可以使其带动托板103对更换仓4底部进行支撑，通过定位仓3顶部结构可以对更换仓4顶端进行限位，可以对大批量晶圆片进行装载，当对同一批次晶圆进行检查时，可以通过程序控制电动伸缩杆B201运转，可以使其伸缩部带动推架202对定位仓3最顶端的储片壳7向前推动，可以将储片壳7向前推出至加热载台6顶部，可以对各组晶圆进行依次检测，通过控制电动伸缩杆D602运转，可以使其伸缩部带动电热台603向上平移，可以使电热台603向上插入半圆孔703，可以对储片壳7内侧的晶圆进行托起，通过控制开架502对储片壳7进行分离后，控制电热台603下移可以使晶圆与电热台603和电热环台601同步接触，可以对晶圆进行常温到高温调节，以便再现装入状态或进行加速测试，对晶圆进行检测后，通过控制电动伸缩杆A105运转，可以使其带动拉架106向后平移，可以使拉架106套接在储片壳7左右两侧，可以使弹簧楔块A107与侧楔槽705进行限位，通过控制开架502复位后，控制电动伸缩杆C5运转，可以使其带动开架502向上平移，可以解除对顶楔槽704的限位，通过控制电动伸缩杆A105伸缩部收缩，可以带动检测后的储片壳7向前拉动，将储片壳7移动至传送带104上方后，储片壳7可以向下掉落在传送带104上，便于对检测后的晶圆进行快速排出。

Claims (4)

1.一种晶圆载片台，其特征在于，包括：底座(1)；所述底座(1)顶部固定连接有立架(101)，底座(1)侧面螺纹连接有螺纹杆(102)，螺纹杆(102)底部固定连接有手轮，螺纹杆(102)顶部转动连接有托板(103)，底座(1)顶部固定连接有传送带(104)，底座(1)顶部固定连接有电动伸缩杆A(105)，电动伸缩杆A(105)伸缩部固定连接有拉架(106)，拉架(106)左右两侧底部滑动连接有弹簧楔块A(107)；所述立架(101)顶部固定连接有滑台(2)，滑台(2)顶部固定连接有电动伸缩杆B(201)，电动伸缩杆B(201)伸缩部前端固定连接有推架(202)，推架(202)与滑台(2)滑动连接；所述立架(101)前端固定连接有定位仓(3)，定位仓(3)左侧开设有装卸槽；所述定位仓(3)内侧设置有更换仓(4)，更换仓(4)内侧立面处开设有垂直槽(401)，更换仓(4)内侧底部固定连接有支撑弹簧(402)，支撑弹簧(402)顶部固定连接有推板(403)，推板(403)外侧固定连接有滑块(404)，滑块(404)与垂直槽(401)滑动连接，支撑弹簧(402)顶部固定连接有推板(403)；定位仓(3)顶部前端固定连接有加热载台(6)，加热载台(6)顶部固定连接有电热环台(601)；加热载台(6)内侧固定连接有电动伸缩杆D(602)，电动伸缩杆D(602)伸缩部顶部固定连接有电热台(603)，电热环台(601)与电热台(603)滑动连接；控制电动伸缩杆D(602)运转，可以使其伸缩部带动电热台(603)向上平移，可以使电热台(603)向上插入半圆孔(703)，可以对储片壳(7)内侧的晶圆进行托起，通过程序控制电动伸缩杆C(5)运转，可以使其伸缩部带动左右两侧往复丝杠(501)向下平移，可以使其带动开架(502)底部的固定楔块(503)插入顶楔槽，通过控制往复丝杠(501)运转，可以使其带动开架(502)向左右两侧平移，可以将左右两侧的储片壳(7)向左右两侧分开；

所述更换仓(4)内侧设置有储片壳(7)，储片壳(7)内侧立面处开设有圆孔，圆孔内侧固定连接有拉簧套管(701)，每两组储片壳(7)的拉簧套管(701)滑动连接，储片壳(7)内侧设置有储存槽(702)；

所述储存槽(702)底部开设有半圆孔(703)，储片壳(7)顶部开设有顶楔槽(704)，储片壳(7)外侧立面处开设有侧楔槽(705)。

2.如权利要求1所述一种晶圆载片台，其特征在于：所述更换仓(4)顶部固定连接有顶座(405)，顶座(405)内侧滑动连接有弹簧楔块B(406)。

3.如权利要求1所述一种晶圆载片台，其特征在于：所述定位仓(3)前端立面处固定连接有电动伸缩杆C(5)，电动伸缩杆C(5)伸缩部的顶部左右两侧固定连接有往复丝杠(501)，往复丝杠(501)数量设置为二组。

4.如权利要求3所述一种晶圆载片台，其特征在于：所述往复丝杠(501)的滚珠螺母座顶部固定连接有开架(502)，开架(502)底部滑动连接有固定楔块(503)。