CN218827013U - 一种晶圆运输盒 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆运输盒，包括防护壳体，所述防护壳体的上部开设有锁定腔，所述锁定腔的内部中间转动安装有螺杆所述螺杆上螺纹连接有移动板，所述移动板的两端下部分别设有卡块；所述防护壳体的内部设有晶圆花篮，所述晶圆花篮包括有晶圆花篮架，所述晶圆花篮架的两端分别安装有第一端板和第二端板，所述晶圆花篮架包括有两侧的竖直侧板、两个倾斜侧板和底板，所述竖直侧板和所述倾斜侧板的内侧安装有两个橡胶板，所述底板的上部中间安装有一个橡胶板，所述橡胶板上开设有若干晶圆放置槽。本实用新型具有防护壳体进行安全防护，便于进行抽拉安装，以及能够实现锁定，防止在转运的时候发生掉落。

Description

一种晶圆运输盒

技术领域

本实用新型涉及晶圆技术领域，具体为一种晶圆运输盒。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。

晶圆在生产结束后，需要进行存放和转运，在晶圆进行转运的时候，需要使用到运输装置，但是，现有的输运装置仅仅采用的是晶圆花篮，晶圆花篮在使用的时候是敞开的，容易造成晶圆受到损坏，并且在转运的时候，容易发生掉落晶圆，不便于进行使用等问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆运输盒，具有防护壳体进行安全防护，便于进行抽拉安装，以及能够有效的实现锁定，防止在转运的时候发生掉落等优点，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种晶圆运输盒，包括防护壳体，所述防护壳体的上部开设有锁定腔，所述锁定腔的内部中间转动安装有螺杆所述螺杆上螺纹连接有移动板，所述移动板的两端下部分别固定设有卡块，所述防护壳体的两侧边分别固定设有侧滑块，所述防护壳体的底部固定设有底滑块，所述防护壳体的上部两端开设有连接槽，所述防护壳体的前端下部两侧分别焊接有第一限位板；

所述防护壳体的内部设有晶圆花篮，所述晶圆花篮包括有晶圆花篮架，所述晶圆花篮架的两端分别固定安装有第一端板和第二端板，所述晶圆花篮架包括有两侧的竖直侧板，两侧所述竖直侧板的下部设有倾斜侧板，两侧所述倾斜侧板之间设有底板，所述竖直侧板和所述倾斜侧板的内侧固定安装有两个橡胶板，所述底板的上部中间固定安装有一个橡胶板，所述橡胶板上开设有若干晶圆放置槽，两侧所述竖直侧板的一端上部开设有卡合槽。

较佳的，所述第一端板的下部设有两个第二限位板，所述第二限位板与所述第一限位板滑动接触。

较佳的，两侧所述竖直侧板的外侧开设有第一滑动槽，所述底板的底部开设有第二滑动槽，所述侧滑块滑动处于所述第一滑动槽的内部，所述底滑块滑动处于所述第二滑动槽的内部。

较佳的，两侧所述竖直侧板上开设有第一减重孔，两侧所述倾斜侧板上开设有第二减重孔，所述第一端板和所述第二端板上开设有第三减重孔。

较佳的，所述锁定腔的端部固定设有封板，所述封板螺纹连接在所述螺杆上，所述螺杆的顶端焊接有转盘。

较佳的，所述防护壳体的一端焊接有尾板，所述防护壳体的上部设有第一把手，所述第二端板上设有第二把手。

较佳的，两侧所述竖直侧板的端部活动处于所述连接槽的内部，所述卡块卡合连接在所述卡合槽的内部。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型在使用的时候，将晶圆花篮滑动安装在防护壳体的内部，可以在使用的时候或者是转运的时候，不会使得晶圆受到任何损坏，保持晶圆的安全性，并且在晶圆花篮的内部设有橡胶板，可以对晶圆进行分离，防止晶圆接触，在转运的时候发生碰撞，并且晶圆花篮实现在防护壳体的内部实现侧向抽拉，通过侧滑块和底滑块实现对晶圆花篮进行限位和支撑，保持滑动的稳定性，并且便于晶圆放置在晶圆花篮内，以及在防护壳体上部设有螺杆连接的移动板和卡块，可以在晶圆花篮放置好的时候，通过螺杆调动移动板和卡块将晶圆花篮进行锁定，放置在转运的时候，发生掉落。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的部分结构示意图；

图3为本实用新型的防护壳体内部示意图；

图4为本实用新型的晶圆花篮和锁件结构示意图；

图5为本实用新型的晶圆花篮的结构示意图。

图中：1、防护壳体；2、锁定腔；3、螺杆；4、转盘；5、移动板；6、封板；7、卡块；8、侧滑块；9、底滑块；10、连接槽；11、第一限位板；12、尾板；13、晶圆花篮；1301、晶圆花篮架；13011、竖直侧板；13012、倾斜侧板；13013、底板；1302、第一端板；1303、第二端板；1304、橡胶板；1305、晶圆放置槽；1306、卡合槽；1307、第二限位板；1308、第一滑动槽；1309、第二滑动槽；1310、第一减重孔；1311、第三减重孔；1312、第二减重孔；1313、第二把手；14、第一把手。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-5，本实用新型提供一种技术方案：

一种晶圆运输盒，包括防护壳体1，述防护壳体1的上部开设有锁定腔2，所述锁定腔2的内部中间转动安装有螺杆3所述螺杆3上螺纹连接有移动板5，所述移动板5的两端下部分别固定设有卡块7，所述防护壳体1的两侧边分别固定设有侧滑块8，所述防护壳体1的底部固定设有底滑块9，所述防护壳体1的上部两端开设有连接槽10，所述防护壳体1的前端下部两侧分别焊接有第一限位板11；

所述防护壳体1的内部设有晶圆花篮13，所述晶圆花篮13包括有晶圆花篮架1301，所述晶圆花篮架1301的两端分别固定安装有第一端板1302和第二端板1303，所述晶圆花篮架1301包括有两侧的竖直侧板13011，两侧所述竖直侧板13011的下部设有倾斜侧板13012，两侧所述倾斜侧板13012之间设有底板13013，所述竖直侧板13011和所述倾斜侧板13012的内侧固定安装有两个橡胶板1304，所述底板13013的上部中间固定安装有一个橡胶板1304，所述橡胶板1304上开设有若干晶圆放置槽1305，两侧所述竖直侧板13011的一端上部开设有卡合槽1306。

具体的，在使用的时候，先将晶圆花篮13通过第二把手1313进行拉出防护壳体1，并且在第一端板1302的下部设有两个第二限位板1307，在防护壳体1的端部设有第一限位板11，第二限位板1307与第一限位板11滑动接触，可以防止晶圆花篮13拉动过度，造成脱落，以及在竖直侧板13011的外侧开设有第一滑动槽1308，底板13013的底部开设有第二滑动槽1309，且防护壳体1上的侧滑块8滑动处于第一滑动槽1308的内部，底滑块9滑动处于第二滑动槽1309的内部，可以对晶圆花篮13进行支撑和限位，保持移动的稳定性，并且两侧竖直侧板13011上开设有第一减重孔1310，两侧倾斜侧板13012上开设有第二减重孔1312，第一端板1302和第二端板1303上开设有第三减重孔1311，通过第一减重孔1310、第二减重孔1312和第三减重孔1311的设定，可以减少晶圆花篮13的重量，便于进行拉动和携带，然后将加工过的晶圆放置在晶圆花篮架1301内侧的橡胶板1304上，并且每一个晶圆放置在一个晶圆放置槽1305的内部，放置晶圆接触和碰撞，在装满晶圆后，将晶圆花篮13推送进入到防护壳体1的内部然后转动螺杆3上的转盘4，使得螺杆3能够带动移动板5向下移动，使得卡块7能够卡合连接在处于连接槽10内部的竖直侧板13011上端的卡合槽1306的内部，实现对晶圆花篮13进行锁定，锁定腔2的端部固定设有封板6，封板6螺纹连接在螺杆3上，通过封板6的设定可以保持螺杆3的稳定性，且防护壳体1的一端焊接有尾板12，防护壳体1的上部设有第一把手14，尾板12的设定实现对防护壳体1的一端进行封闭，防止晶圆花篮13移动过度，以及第一把手14便于进行搬运携带；

当需要将内部的晶圆进行取下的时候，转动转盘4，使得螺杆3能够带动移动板5和卡块7脱离卡合槽1306，然后将晶圆花篮13取出，再将晶圆一个接一个的取出即可。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种晶圆运输盒，包括防护壳体(1)，其特征在于：所述防护壳体(1)的上部开设有锁定腔(2)，所述锁定腔(2)的内部中间转动安装有螺杆(3)所述螺杆(3)上螺纹连接有移动板(5)，所述移动板(5)的两端下部分别固定设有卡块(7)，所述防护壳体(1)的两侧边分别固定设有侧滑块(8)，所述防护壳体(1)的底部固定设有底滑块(9)，所述防护壳体(1)的上部两端开设有连接槽(10)，所述防护壳体(1)的前端下部两侧分别焊接有第一限位板(11)；

所述防护壳体(1)的内部设有晶圆花篮(13)，所述晶圆花篮(13)包括有晶圆花篮架(1301)，所述晶圆花篮架(1301)的两端分别固定安装有第一端板(1302)和第二端板(1303)，所述晶圆花篮架(1301)包括有两侧的竖直侧板(13011)，两侧所述竖直侧板(13011)的下部设有倾斜侧板(13012)，两侧所述倾斜侧板(13012)之间设有底板(13013)，所述竖直侧板(13011)和所述倾斜侧板(13012)的内侧固定安装有两个橡胶板(1304)，所述底板(13013)的上部中间固定安装有一个橡胶板(1304)，所述橡胶板(1304)上开设有若干晶圆放置槽(1305)，两侧所述竖直侧板(13011)的一端上部开设有卡合槽(1306)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆运输盒，其特征在于：所述第一端板(1302)的下部设有两个第二限位板(1307)，所述第二限位板(1307)与所述第一限位板(11)滑动接触。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆运输盒，其特征在于：两侧所述竖直侧板(13011)的外侧开设有第一滑动槽(1308)，所述底板(13013)的底部开设有第二滑动槽(1309)，所述侧滑块(8)滑动处于所述第一滑动槽(1308)的内部，所述底滑块(9)滑动处于所述第二滑动槽(1309)的内部。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆运输盒，其特征在于：两侧所述竖直侧板(13011)上开设有第一减重孔(1310)，两侧所述倾斜侧板(13012)上开设有第二减重孔(1312)，所述第一端板(1302)和所述第二端板(1303)上开设有第三减重孔(1311)。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆运输盒，其特征在于：所述锁定腔(2)的端部固定设有封板(6)，所述封板(6)螺纹连接在所述螺杆(3)上，所述螺杆(3)的顶端焊接有转盘(4)。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆运输盒，其特征在于：所述防护壳体(1)的一端焊接有尾板(12)，所述防护壳体(1)的上部设有第一把手(14)，所述第二端板(1303)上设有第二把手(1313)。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆运输盒，其特征在于：两侧所述竖直侧板(13011)的端部活动处于所述连接槽(10)的内部，所述卡块(7)卡合连接在所述卡合槽(1306)的内部。

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