CN220743862U - 一种晶圆专用储存架 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆专用储存架，包括放置架，所述放置架的内侧等距设置有多个层架，所述层架的内侧开设有放置槽，所述层架上位于放置槽的外侧还开设有U型槽口，所述层架的两端设置有螺纹杆，所述螺纹杆上设置有转杆，所述放置槽的内侧位于螺纹杆的一端安装有夹板，所述夹板的一侧设置有夹块，所述夹块的一端设置有限位杆；通过设置的该可调节的储存架，当使用该储存架放置晶圆时，若需要存放不同规格与类型的晶圆时，可调节层架的大小，使得在该储存架上可放置不同类型大小的晶圆，且放置时还可进行夹持，保证晶圆放置的稳定性，避免晶圆放置后移动或运输过程中，晶圆掉落，从而提高了该装置的稳定性。

Description

一种晶圆专用储存架

技术领域

本实用新型属于晶圆储存架技术领域，具体涉及一种晶圆专用储存架。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。

在申请号为201610877792.X的专利中，公开了晶圆专用储存架，通过间隔设置的支撑框，晶圆的安放操作简单，支撑框可调节角度，方便储存架根据需要置入包装箱中，使用方便，但是在该储存架使用时，安放槽的大小固定，当放置不同类型的晶圆时，无法稳定放置，移动或者放置过程中，晶圆容易晃动掉落，影响晶圆放置时的稳定性，降低该储存架的实用性的问题，为此我们提出一种晶圆专用储存架。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆专用储存架，以解决上述背景技术中提出的在该储存架使用时，安放槽的大小固定，当放置不同类型的晶圆时，无法稳定放置，移动或者放置过程中，晶圆容易晃动掉落，影响晶圆放置时的稳定性，降低该储存架的实用性的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆专用储存架，包括放置架，所述放置架的内侧等距设置有多个层架，所述层架的内侧开设有放置槽，所述层架上位于放置槽的外侧还开设有U型槽口，所述层架的两端设置有螺纹杆，所述螺纹杆上设置有转杆，所述放置槽的内侧位于螺纹杆的一端安装有夹板，所述夹板的一侧设置有夹块，所述夹块的一端设置有限位杆，所述限位杆上安装有弹簧，所述限位杆的一端设置有限位板，所述夹块的另一端设置有橡胶垫片。

优选的，所述夹板通过螺纹杆在所述U型槽口内限位移动。

优选的，所述夹板的表面开设有限位孔，所述夹块与夹板之间通过限位杆贯穿限位孔，且所述夹块的与夹板之间通过限位板限位在限位孔内。

优选的，所述放置槽的内侧对称设置有两个夹板，且两个夹板上均设置以后夹块，同时两个夹块的一侧均设置有带有弧面的橡胶垫片。

优选的，所述层架的外侧安装有防尘罩，所述层架的表面设置有卡座，所述层架的外侧嵌设安装有密封条，所述防尘罩的内侧对称设置有卡块。

优选的，所述防尘罩与层架之间通过卡座、卡块卡接，同时还通过密封条接触密封。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

(1)通过设置的该可调节的储存架，当使用该储存架放置晶圆时，若需要存放不同规格与类型的晶圆时，可调节层架的大小，使得在该储存架上可放置不同类型大小的晶圆，且放置时还可进行夹持，保证晶圆放置的稳定性，避免晶圆放置后移动或运输过程中，晶圆掉落，从而提高了该装置的稳定性；

(2)同时在层架上还设置有防尘用的防尘罩，且防尘罩通过卡设拆装，方便快捷，当晶圆放置在层架中后，为了防止灰尘等落在晶圆表面，可通过防尘罩的作用，将层架罩设，防止灰尘等落在晶圆的表面，影响晶圆的洁净度，更好的存放晶圆，提高了该储存架的实用性与便捷性。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型层架的俯视截面结构示意图；

图3为本实用新型夹板的结构示意图；

图4为本实用新型层架的俯视结构示意图；

图5为本实用新型防尘罩的左视结构示意图；

图中：100、放置架；101、层架；102、放置槽；103、U型槽口；200、夹板；201、螺纹杆；202、转杆；203、夹块；204、限位杆；205、限位板；206、橡胶垫片；207、弹簧；300、防尘罩；301、密封条；302、卡座；303、卡块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例1

请参阅图1、图2、图3、图4和图5，本实用新型提供一种技术方案：晶圆加工后，为了避免相互接触造成的磕碰与磨损，通常需要专用放置结构，从而方便运输与储存，一种晶圆专用储存架，包括放置架100，放置架100的内侧等距设置有多个层架101，层架101的内侧开设有放置槽102，层架101上位于放置槽102的外侧还开设有U型槽口103，在晶圆存放时，通过U型槽口103方便将晶圆推入与导出，层架101的两端螺纹旋设安装有螺纹杆201，螺纹杆201的一端固定设置有转杆202，放置槽102的内侧位于螺纹杆201的另一端安装有夹板200，夹板200的一侧连接有夹块203，夹块203的一端设置有一体式的限位杆204，限位杆204上安装有弹簧207，限位杆204的一端设置有限位板205，夹块203的另一端粘设有橡胶垫片206，在夹持时通过橡胶垫片206可避免晶圆的边缘处破损，夹板200通过螺纹杆201在U型槽口103内限位移动，即保证夹板200稳定移动，同时方便调节，夹板200的表面开设有限位孔，夹块203与夹板200之间通过限位杆204贯穿限位孔，贯穿限位可提高夹板200安装的稳定性，更好的夹持固定，且夹块203的与夹板200之间通过限位板205限位在限位孔内，放置槽102的内侧对称设置有两个夹板200，且两个夹板200上均设置以后夹块203，同时两个夹块203的一侧均设置有带有弧面的橡胶垫片206，更好的存放晶圆使用，当使用该申请中的储存架放置晶圆时，若需要存放不同规格的晶圆时，例如需要同时放置十二寸与八寸的晶圆时，为了适配放置大小，可通过转杆202转动调节螺纹杆201，螺纹杆201转动带动夹板200在放置槽102内限位移动，然后将晶圆放入放置槽102内，放置与取出时通过U型槽口103可方便存取，在晶圆放入时，晶圆的两端接触挤压夹块203，夹块203通过限位杆204与弹簧207限位移动，并提供一定的夹持作用力，从而将晶圆稳定的夹持在放置槽102中，通过该结构即可存放不同大小的晶圆，同时夹持结构的作用可更好的固定晶圆，避免放置后晶圆晃动磕碰，更好的放置晶圆。

实施例2

结合实施例1，请参阅图1、图2、图3、图4和图5，本实用新型提供一种技术方案：一种晶圆专用储存架，层架101的外侧安装有防尘罩300，层架101的表面设置有一体式的卡座302，层架101的外侧嵌设安装有密封条301，防尘罩300的内侧对称设置有一体式的卡块303，防尘罩300与层架101之间通过卡座302与卡块303卡接，卡接结构方便拆装操作，提高拆装时的便捷性，同时还通过密封条301接触密封，当晶圆放置在放置槽102后，还可取出防尘罩300，然后将防尘罩300卡入层架101上，防尘罩300通过卡块303、卡座302与卡接对位，且防尘罩300与层架101之间通过密封条301接触密封，避免放置时灰尘落在存放的晶圆表面，从而更好的放置晶圆，同时提高了该装置存放时的稳定性与实用性。

实施例3

结合实施例1和实施例2得到本实施例，通过设置的可调节的夹板200，当将不同大小的晶圆放置在层架101内部时，可通过调节夹板200用于放置不同大小的晶圆，并且放置时还可起到夹持稳定的作用，避免移动与存放过程中晶圆晃动颠簸，同时当晶圆放置在层架101中后，还可将防尘罩300卡接安装在层架101外侧，起到密封防尘的作用，放置存放时灰尘落在晶圆上，从而提高了该装置的实用性。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种晶圆专用储存架，包括放置架(100)，其特征在于：所述放置架(100)的内侧等距设置有多个层架(101)，所述层架(101)的内侧开设有放置槽(102)，所述层架(101)上位于放置槽(102)的外侧还开设有U型槽口(103)，所述层架(101)的两端设置有螺纹杆(201)，所述螺纹杆(201)上设置有转杆(202)，所述放置槽(102)的内侧位于螺纹杆(201)的一端安装有夹板(200)，所述夹板(200)的一侧设置有夹块(203)，所述夹块(203)的一端设置有限位杆(204)，所述限位杆(204)上安装有弹簧(207)，所述限位杆(204)的一端设置有限位板(205)，所述夹块(203)的另一端设置有橡胶垫片(206)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆专用储存架，其特征在于：所述夹板(200)通过螺纹杆(201)在所述U型槽口(103)内限位移动。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆专用储存架，其特征在于：所述夹板(200)的表面开设有限位孔，所述夹块(203)与夹板(200)之间通过限位杆(204)贯穿限位孔，且所述夹块(203)的与夹板(200)之间通过限位板(205)限位在限位孔内。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆专用储存架，其特征在于：所述放置槽(102)的内侧对称设置有两个夹板(200)，且两个夹板(200)上均设置以后夹块(203)，同时两个夹块(203)的一侧均设置有带有弧面的橡胶垫片(206)。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆专用储存架，其特征在于：所述层架(101)的外侧安装有防尘罩(300)，所述层架(101)的表面设置有卡座(302)，所述层架(101)的外侧嵌设安装有密封条(301)，所述防尘罩(300)的内侧对称设置有卡块(303)。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆专用储存架，其特征在于：所述防尘罩(300)与层架(101)之间通过卡座(302)、卡块(303)卡接，同时还通过密封条(301)接触密封。