CN214848540U - 一种八寸框架 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种八寸框架，涉及到晶圆存储领域，包括两个固定板，两个所述固定板相对的一侧内壁靠近上方的位置安装有连接板，两个所述固定板相对的一侧外壁上开有多个滑槽，多个所述滑槽的内壁均设有滑动机构，两侧对应的所述滑动机构安装有圆环盘，所述圆环盘的顶部开有安装槽，两个所述固定板的内壁靠近滑槽的上下两侧均开有卡槽，所述卡槽内壁滑动卡接有挡板，所述挡板贴合在所述圆环盘的顶部。本实用新型通过设置滑槽、滑动机构、圆环盘、卡槽和挡板，在对晶圆进行存储时，将晶圆置于圆环盘的安装槽内卡接固定，然后利用挡板挡在圆环盘表面，对晶圆进行限定阻挡，从而保证晶圆的存储。

Description

一种八寸框架

技术领域

本实用新型涉及晶圆存储领域，特别涉及一种八寸框架。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，目前国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主，晶圆在存储时需要使用到一种八寸框架。

在现有的技术中，多数八寸框架在晶圆存储时，晶圆贴合在托盘表面，移动托盘时容易造成晶圆的不同步运动，即晶圆与托盘分离，容易造成晶圆脱落，从而对晶圆造成损伤，对晶圆的保护不到位，框架在使用时不方便，因此我们公开了一种八寸框架来满足人们的需求。

实用新型内容

本申请的目的在于提供一种八寸框架，以解决上述背景技术中提出的问题，本实用新型通过设置圆环盘，在取用时拉动圆环盘，即可将晶圆片推出，且晶圆片在圆环盘内部限定与圆环盘一同移动，而不会脱离掉落。

为实现上述目的，本申请提供如下技术方案：一种八寸框架，包括两个固定板，两个所述固定板相对的一侧内壁靠近上方的位置安装有连接板，两个所述固定板相对的一侧外壁上开有多个滑槽，多个所述滑槽的内壁均设有滑动机构，两侧对应的所述滑动机构安装有圆环盘，所述圆环盘的顶部开有安装槽，两个所述固定板的内壁靠近滑槽的上下两侧均开有卡槽，所述卡槽内壁滑动卡接有挡板，所述挡板贴合在所述圆环盘的顶部，两个所述固定板相对一侧内壁靠近底部的位置安装有底板。

基于上述结构，通过设置滑槽、滑动机构、圆环盘、卡槽和挡板，在对晶圆进行存储时，将晶圆置于圆环盘的安装槽内卡接固定，然后利用挡板挡在圆环盘表面，对晶圆进行限定阻挡，从而保证晶圆的存储，在取用时拉动圆环盘，即可将晶圆片推出，且晶圆片在圆环盘内部限定与圆环盘一同移动，而不会脱离掉落。

优选地，所述滑动机构包括滑块，所述滑块滑动连接在所述滑槽的内壁上，所述滑块的一端安装在所述圆环盘的一侧外壁上。

进一步地，通过设置滑块和滑槽，滑块一侧滑动连接在滑槽内，滑块另一侧安装在圆环盘上，通过滑块滑动带动圆环盘的移动。

优选地，所述连接板顶部开有矩形槽，所述矩形槽外壁上设有夹持机构。

进一步地，通过设置矩形槽和夹持机构，夹持机构便于拿握，从而便于夹持装置进行移动。

优选地，所述夹持机构包括两个固定条，两个所述固定条安装在所述矩形槽内壁靠近两侧的位置，两个所述固定条一侧的两端靠近矩形槽的内侧的位置均安装有连接杆，对应的两个所述连接杆转动套接有把手。

进一步地，通过设置固定条、连接杆和把手，用连接杆安装把手，把手可以绕连接杆转动，便于把手摆放，以及便于拿取装置。

优选地，所述连接板的一侧外壁上安装有第一玻璃板，所述第一玻璃板的两端贴合在两个所述固定板的内壁上。

进一步地，通过设置第一玻璃板，利用第一玻璃板在顶部的一侧对晶圆进行防护，以保护晶圆的存储。

优选地，所述连接板的另一侧外壁上安装有第二玻璃板，所述第二玻璃板的两端贴合在两个所述固定板的内壁上。

进一步地，通过设置第二玻璃板，利用第二玻璃板在顶部的一侧对晶圆进行防护，以保护晶圆的存储。

优选地，两个所述固定板的一侧外壁上均安装有橡胶垫，两个所述固定板的底部外壁上均安装有垫板。

进一步地，通过设置橡胶垫和垫板，利用橡胶垫在两侧起到缓冲支撑作用以保护装置，利用底部的垫板垫高底部，对底部进行保护。

综上，本实用新型的技术效果和优点：

1、本实用新型中，通过设置滑槽、滑动机构、圆环盘、卡槽和挡板，在对晶圆进行存储时，将晶圆置于圆环盘的安装槽内卡接固定，然后利用挡板挡在圆环盘表面，对晶圆进行限定阻挡，从而保证晶圆的存储，在取用时拉动圆环盘，即可将晶圆片推出，且晶圆片在圆环盘内部限定与圆环盘一同移动，而不会脱离掉落。

2、本实用新型中，通过设置橡胶垫和垫板，利用橡胶垫在两侧起到缓冲支撑作用以保护装置，利用底部的垫板垫高底部，对底部进行保护，通过设置的连接杆和把手，利用连接杆安装把手，通过把手方便拿取装置，通过设置的第一玻璃板和第二玻璃板，利用第一玻璃板和第二玻璃板在顶部进行防护。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型中的立体结构示意图；

图2为本实用新型中的俯视结构示意图；

图3为图1中A处放大结构示意图；

图4为本实用新型中圆环盘和滑块连接处的结构示意图。

图中：1、固定板；2、卡槽；3、圆环盘；4、安装槽；5、连接板；6、橡胶垫；7、垫板；8、挡板；9、底板；10、第一玻璃板；11、第二玻璃板；12、矩形槽；13、连接杆；14、把手；15、固定条；16、滑槽；17、滑块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例：参考图1-4所示的一种八寸框架，包括两个固定板1，两个固定板1相对的一侧内壁靠近上方的位置安装有连接板5，两个固定板1相对的一侧外壁上开有多个滑槽16，多个滑槽16的内壁均设有滑动机构，两侧对应的滑动机构安装有圆环盘3。

圆环盘3的顶部开有安装槽4，两个固定板1的内壁靠近滑槽16的上下两侧均开有卡槽2，卡槽2内壁滑动卡接有挡板8，挡板8贴合在圆环盘3的顶部，两个固定板1相对一侧内壁靠近底部的位置安装有底板9，通过设置圆环盘3，在取用时拉动圆环盘3，即可将晶圆片推出，且晶圆片在圆环盘3内部限定与圆环盘3一同移动，而不会脱离掉落。

基于上述结构，通过设置滑槽16、滑动机构、圆环盘3、卡槽2和挡板8，在对晶圆进行存储时，将晶圆置于圆环盘3的安装槽4内卡接固定，然后利用挡板8挡在圆环盘3表面，对晶圆进行限定阻挡，从而保证晶圆的存储，在取用时拉动圆环盘3，即可将晶圆片推出，且晶圆片在圆环盘3内部限定与圆环盘3一同移动，而不会脱离掉落。

本实施例中，如图3所示，滑动机构包括滑块17，滑块17滑动连接在滑槽16的内壁上，滑块17的一端安装在圆环盘3的一侧外壁上，通过设置滑块17和滑槽16，滑块17一侧滑动连接在滑槽16内，滑块17另一侧安装在圆环盘3上，通过滑块17滑动带动圆环盘3的移动。

本实施例中，如图2所示，连接板5顶部开有矩形槽12，矩形槽12外壁上设有夹持机构，通过设置矩形槽12和夹持机构，夹持机构便于拿握，从而便于夹持装置进行移动。

本实施例中，如图2所示，夹持机构包括两个固定条15，两个固定条15安装在矩形槽12内壁靠近两侧的位置，两个固定条15一侧的两端靠近矩形槽12的内侧的位置均安装有连接杆13，对应的两个连接杆13转动套接有把手14，通过设置固定条15、连接杆13和把手14，用连接杆13安装把手14，把手14可以绕连接杆13转动，便于把手14摆放，以及便于拿取装置。

本实施例中，如图2所示，连接板5的一侧外壁上安装有第一玻璃板10，第一玻璃板10的两端贴合在两个固定板1的内壁上，通过设置第一玻璃板10，利用第一玻璃板10在顶部的一侧对晶圆进行防护，以保护晶圆的存储。

本实施例中，如图2所示，连接板5的另一侧外壁上安装有第二玻璃板11，第二玻璃板11的两端贴合在两个固定板1的内壁上，通过设置第二玻璃板11，利用第二玻璃板11在顶部的一侧对晶圆进行防护，以保护晶圆的存储。

本实施例中，如图1所示，两个固定板1的一侧外壁上均安装有橡胶垫6，两个固定板1的底部外壁上均安装有垫板7，通过设置橡胶垫6和垫板7，利用橡胶垫6在两侧起到缓冲支撑作用以保护装置，利用底部的垫板7垫高底部，对底部进行保护。

本实用工作原理：

通过设置滑槽16、滑动机构、圆环盘3、卡槽2和挡板8，在对晶圆进行存储时，将晶圆置于圆环盘3的安装槽4内卡接固定，然后利用挡板8挡在圆环盘3表面，对晶圆进行限定阻挡，从而保证晶圆的存储，在取用时拉动圆环盘3，即可将晶圆片推出，且晶圆片在圆环盘3内部限定与圆环盘3一同移动，而不会脱离掉落，安装时可以安装多个圆环盘3和挡板8，即可同时存储多个晶圆。

通过设置橡胶垫6和垫板7，利用橡胶垫6在两侧起到缓冲支撑作用以保护装置，利用底部的垫板7垫高底部，对底部进行保护，通过设置的连接杆13和把14手，利用连接杆13安装把手14，通过把手方便拿取装置，通过设置的第一玻璃板10和第二玻璃板11，利用第一玻璃板10和第二玻璃板11在顶部进行防护。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种八寸框架，包括两个固定板(1)，其特征在于：两个所述固定板(1)相对的一侧内壁靠近上方的位置安装有连接板(5)，两个所述固定板(1)相对的一侧外壁上开有多个滑槽(16)，多个所述滑槽(16)的内壁均设有滑动机构，两侧对应的所述滑动机构安装有圆环盘(3)，所述圆环盘(3)的顶部开有安装槽(4)，两个所述固定板(1)的内壁靠近滑槽(16)的上下两侧均开有卡槽(2)，所述卡槽(2)内壁滑动卡接有挡板(8)，所述挡板(8)贴合在所述圆环盘(3)的顶部，两个所述固定板(1)相对一侧内壁靠近底部的位置安装有底板(9)。

2.根据权利要求1所述的一种八寸框架，其特征在于：所述滑动机构包括滑块(17)，所述滑块(17)滑动连接在所述滑槽(16)的内壁上，所述滑块(17)的一端安装在所述圆环盘(3)的一侧外壁上。

3.根据权利要求1所述的一种八寸框架，其特征在于：所述连接板(5)顶部开有矩形槽(12)，所述矩形槽(12)外壁上设有夹持机构。

4.根据权利要求3所述的一种八寸框架，其特征在于：所述夹持机构包括两个固定条(15)，两个所述固定条(15)安装在所述矩形槽(12)内壁靠近两侧的位置，两个所述固定条(15)一侧的两端靠近矩形槽(12)的内侧的位置均安装有连接杆(13)，对应的两个所述连接杆(13)转动套接有把手(14)。

5.根据权利要求1所述的一种八寸框架，其特征在于：所述连接板(5)的一侧外壁上安装有第一玻璃板(10)，所述第一玻璃板(10)的两端贴合在两个所述固定板(1)的内壁上。

6.根据权利要求5所述的一种八寸框架，其特征在于：所述连接板(5)的另一侧外壁上安装有第二玻璃板(11)，所述第二玻璃板(11)的两端贴合在两个所述固定板(1)的内壁上。

7.根据权利要求1所述的一种八寸框架，其特征在于：两个所述固定板(1)的一侧外壁上均安装有橡胶垫(6)，两个所述固定板(1)的底部外壁上均安装有垫板(7)。

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