CN216084859U - 一种晶圆放置结构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种晶圆放置结构，涉及半导体封装技术领域，旨在解决晶圆放置不稳容易被损坏的问题。其技术方案要点是：包括底座和顶座，底座和顶座之间设有呈环状分布的调节杆、固定杆和铰接杆，调节杆上设有绕其转动的若干放置盘，放置盘的顶面上开设有供晶圆本体放入的放置腔，放置腔内设有压紧晶圆本体的作用力。本实用新型中设置有三氧化二铝和甘油混合而成的材料涂覆的保护膜，利用该类新型材料具有的强度高和耐磨性好的特点来实现对晶圆的稳定保护。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体封装技术领域，更具体地说，它涉及一种晶圆放置结构。
背景技术
晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。
晶圆在生产过程中需要在不同的工序之间频繁的周转，对于晶圆产品表面洁净程度等要求越来越高，产品检测越来越频繁，因而需要对晶圆进行搬运，振动、摩擦和灰尘等很多因素都会影响到晶圆的品质，进而会影响到生产的成品率和产品质量，因而设置一种实现对晶圆稳定收纳的结构就很有必要。
本实用新型提出一种新的技术方案来解决上述的技术问题。
实用新型内容
针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种晶圆放置结构，通过结构的设置达到稳定收纳晶圆的目的。
本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种晶圆放置结构，包括晶圆本体，所述晶圆本体的表面设有保护膜，包括底座和顶座，所述底座和顶座之间设有呈环状分布的调节杆、固定杆和铰接杆，所述调节杆上设有绕其转动的若干放置盘，所述放置盘的顶面上开设有供晶圆本体放入的放置腔，所述放置腔内设有压紧晶圆本体的作用力。
通过采用上述技术方案，利用保护膜具有的强度实现对晶圆本体的保护作用，确保晶圆本体所处状态的稳定，通过顶座和底座的共同作用实现对调节杆、固定杆和铰接杆的稳定支撑，利用调节杆、固定杆和铰接杆的共同作用围成限制放置盘的空间，确保放置盘所处状态的稳定，利用放置盘上开设的放置腔实现对晶圆本体的稳定限位，同时利用放置腔内压紧晶圆本体的作用力的作用下，实现对晶圆本体更加稳定的限位作用，实现对晶圆本体的稳定放置。
本实用新型进一步设置为：所述顶座与调节杆转动连接，相邻两个所述放置盘以及顶座和放置盘之间的间距与两者中心线的重合度成反比。
通过采用上述技术方案，通过转动放置盘或顶座绕调节杆转动，在转动的过程中相邻两个放置盘或放置盘与顶座之间的中心线相互重合时，两者之间的距离最小，当两者之间中心线相互远离时会使得两者相互远离，使得晶圆本体的取放过程更加方便。
本实用新型进一步设置为：所述调节杆设置为螺杆，所述放置盘和顶座均与调节杆螺纹连接，所述顶座和放置盘的底部均固定连接有穿至放置腔内的弹性压紧件。
通过采用上述技术方案，将放置盘与顶座均与调节杆之间设置为螺纹连接的结构，使得放置盘和顶座在调节杆上转动的时候会发生沿竖直方向的位移，进而带弹性压紧件移动并穿入到放置腔内压紧晶圆本体，使得晶圆本体所处的状态更加稳定。
本实用新型进一步设置为：所述放置腔内固定连接有弹性垫层，所述放置腔内设有与其嵌合并与晶圆本体贴合的弹性片。
通过采用上述技术方案，利用弹性片和弹性垫层具有的弹性实现对传递至晶圆本体上振动的削弱，进而实现对晶圆本体的稳定保护。
本实用新型进一步设置为：所述铰接杆的底端与底座铰接，所述底座的顶面上开设有供铰接杆穿入的让位槽。
通过采用上述技术方案，设置的让位槽实现对铰接杆滑动过程的让位作用，同时通过将铰接杆放置在让位槽内，实现对铰接杆的稳定限位，确保铰接杆所处状态的稳定。
本实用新型进一步设置为：所述固定杆和铰接杆的外周壁上均固定连接有保护层。
通过采用上述技术方案，设置的保护层实现对放置盘与固定杆和铰接杆接触时的减震作用，进而减小放置盘与固定和铰接杆接触时产生的振动，使得放置盘内的晶圆本体所处的状态更加稳定。
本实用新型进一步设置为：所述顶座上开设有供铰接杆和固定杆穿入的卡接槽，所述铰接杆和固定杆上均套设有与顶座顶面卡接的限位件，所述铰接杆和固定杆上均设有压紧限位件的压紧件。
通过采用上述技术方案，通过限位件与顶座之间的相互卡接实现对顶座和铰接杆以及顶座与固定杆之间相对滑动的限制作用，利用压紧件对限位件的压紧实现对限位件滑动的限制，实现对顶座所在位置的稳定固定，实现对铰接杆的稳定限制，进而实现对放置盘的稳定限制，确保放置盘以及放置盘内晶圆本体所处状态的稳定，实现对晶圆本体的稳定保护。
综上所述，本实用新型具有以下有益效果：
利用保护膜具有的强度实现对晶圆本体的保护作用，确保晶圆本体所处状态的稳定；通过顶座和底座的共同作用实现对调节杆、固定杆和铰接杆的稳定支撑，利用调节杆、固定杆和铰接杆的共同作用围成限制放置盘的空间，确保放置盘所处状态的稳定，利用放置盘上开设的放置腔实现对晶圆本体的稳定限位，同时利用放置腔内压紧晶圆本体的作用力的作用下，实现对晶圆本体更加稳定的限位作用，实现对晶圆本体的稳定放置。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图一；
图2为本实用新型的结构示意图二；
图3为本实用新型的结构示意图三；
图4为本实用新型的剖视图；
图5为图4中A处的放大图。
图中：1、晶圆本体；2、底座；3、顶座；4、调节杆；5、固定杆；6、铰接杆；7、放置盘；8、放置腔；9、弹性压紧件；10、弹性垫层；11、弹性片；12、让位槽；13、保护层；14、卡接槽；15、限位件；16、压紧件。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本实用新型进行详细描述。
一种晶圆放置结构，如图5所示，包括晶圆本体1，晶圆本体1的表面设有保护膜，保护膜的材质为三氧化二铝和甘油混合材质，利用三氧化二铝具有的强度高的特点来增强晶圆本体1整体的强度和耐磨性能，实现对晶圆本体1的稳定保护。
如图1-图3所示，包括底座2和顶座3，底座2和顶座3的共同作用实现对结构整体的稳定支撑，底座2和顶座3之间设有呈环状分布的调节杆4、固定杆5和铰接杆6，调节杆4上设有绕其转动的若干放置盘7，设置的调节杆4、固定杆5和铰接杆6的共同作用实现对放置盘7的稳定限位，确保放置盘7所处状态的稳定，放置盘7的顶面上开设有供晶圆本体1放入的放置腔8，设置的放置腔8实现对晶圆本体1稳定的放置和限位作用，确保晶圆本体1所处状态的稳定，放置腔8内设有压紧晶圆本体1的作用力，在该作用力的作用下实现对放置腔8内晶圆本体1的进一步压紧，使得晶圆本体1 所处的状态更加稳定，进而实现对晶圆本体1更加稳定的保护作用。
如图1-图3所示，顶座3与调节杆4转动连接，相邻两个放置盘7以及顶座3和放置盘7之间的间距与两者中心线的重合度成反比，在转动顶座3 或放置盘7朝向远离底座2的方向移动时顶座3或放置盘7会向下滑动并使得放置腔8逐渐漏出，使得晶圆本体1的取放过程变得更加方便快捷，在转动顶座3和放置盘7朝向靠近底座2的方向转动时，顶座3或放置盘7会向上移动并将放置腔8收纳起来，在该过程中实现对圆晶本体的稳定保护。
如图2和图3所示，调节杆4设置为螺杆，放置盘7和顶座3均与调节杆4螺纹连接，该结构的设置在转动放置盘7和顶座3的时候可以在螺杆上实现沿竖向的滑动，进而带动放置腔8自底座2的上方滑出，使得晶圆本体 1取放过程变得更加方便，顶座3和放置盘7的底部均固定连接有穿至放置腔8内的弹性压紧件9，弹性压紧件9设置为海绵块，利用形变的弹性压紧件9产生的弹力实现对晶圆本体1的稳定压紧。
如图1、图4和图5所示，放置腔8内固定连接有弹性垫层10，放置腔 8内设有与其嵌合并与晶圆本体1贴合的弹性片11，弹性片11和弹性垫层 10的材质均设置为弹性硅胶，利用弹性硅胶具有的弹性实现对传递至晶圆本体1处振动的吸收和减弱，进而实现对晶圆本体1的稳定保护，铰接杆6的底端与底座2铰接，底座2的顶面上开设有供铰接杆6穿入的让位槽12，设置的让位槽12用于为铰接杆6转动的过程让位，确保铰接杆6转动过程的稳定。
如图4和图5所示，固定杆5和铰接杆6的外周壁上均固定连接有保护层13，保护层13的材质为弹性硅胶，利用弹性硅胶具有的弹性使得固定杆5 和铰接杆6的外周壁具有稳定的弹性，进而在放置盘7与固定杆5和铰接杆 6接触的时候会发生更小的振动，实现对放置盘7内晶圆本体1的稳定保护。
如图2、图4和图5所示，顶座3上开设有供铰接杆6和固定杆5穿入的卡接槽14，铰接杆6和固定杆5上均套设有与顶座3顶面卡接的限位件15，限位件15为套设在铰接杆6和固定杆5上的环状结构，限位件15的底部固定连接有若干插接块，顶座3的顶面上开设供插接块穿入的若干插接槽，通过插接块和插接槽之间的相互卡接实现对限位件15与顶座3之间相互滑动的限制作用，确保顶座3与铰接杆6和固定杆5之间相对关系的稳定，铰接杆 6和固定杆5上均设有压紧限位件15的压紧件16，压紧件16与铰接杆6和固定杆5之间螺纹连接，通过压紧件16与限位件15之间的相互贴合实现对限位件15滑动的限制，进而实现顶座3与铰接杆6和固定杆5之间相对滑动的限制，确保铰接杆6和固定杆5对放置盘7限位功能的稳定，确保放置盘 7以及放置盘7内晶圆本体1所处状态的稳定，实现对晶圆本体1的稳定保护。
工作原理：旋转压紧件16，使得压紧件16远离限位件15，使得压紧件 16丧失对限位件15的压紧作用，将限位件15取下，将铰接杆6绕其铰接点旋转，使得其顶部远离底座2，在该过程中，铰接杆6限制放置盘7转动的功能丧失，转动某个放置盘7，使得放置盘7朝向远离底座2的方向转动，在该过程中通过放置盘7与固定杆5之间的螺纹连接使得放置盘7在转动的过程中向下移动，在该过程中放置盘7的放置腔8逐渐漏出，使得使用者可以很好地实现对晶圆本体1的取放，放置好晶圆本体1之后将放置盘7旋回到底座2的顶部，在该过程中放置盘7逐渐向上移动，位于下方的放置盘7 逐渐靠近位于上方的放置盘7，在该过程中弹性压紧件9被逐渐压紧变形，利用形变的弹性压紧件9产生的弹力实现对晶圆本体1的稳定压紧，实现对晶圆本体1的稳定限位，将铰接杆6和顶座3复位并通过压紧件16和限位件 15实现对顶座3移动的限制，上述便为本实用新型的工作原理。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (7)
1.一种晶圆放置结构，包括晶圆本体(1)，其特征在于：所述晶圆本体(1)的表面设有保护膜，包括底座(2)和顶座(3)，所述底座(2)和顶座(3)之间设有呈环状分布的调节杆(4)、固定杆(5)和铰接杆(6)，所述调节杆(4)上设有绕其转动的若干放置盘(7)，所述放置盘(7)的顶面上开设有供晶圆本体(1)放入的放置腔(8)，所述放置腔(8)内设有压紧晶圆本体(1)的作用力。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆放置结构，其特征在于：所述顶座(3)与调节杆(4)转动连接，相邻两个所述放置盘(7)以及顶座(3)和放置盘(7)之间的间距与两者中心线的重合度成反比。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆放置结构，其特征在于：所述调节杆(4)设置为螺杆，所述放置盘(7)和顶座(3)均与调节杆(4)螺纹连接，所述顶座(3)和放置盘(7)的底部均固定连接有穿至放置腔(8)内的弹性压紧件(9)。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆放置结构，其特征在于：所述放置腔(8)内固定连接有弹性垫层(10)，所述放置腔(8)内设有与其嵌合并与晶圆本体(1)贴合的弹性片(11)。
5.根据权利要求2所述的一种晶圆放置结构，其特征在于：所述铰接杆(6)的底端与底座(2)铰接，所述底座(2)的顶面上开设有供铰接杆(6)穿入的让位槽(12)。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆放置结构，其特征在于：所述固定杆(5)和铰接杆(6)的外周壁上均固定连接有保护层(13)。
7.根据权利要求2所述的一种晶圆放置结构，其特征在于：所述顶座(3)上开设有供铰接杆(6)和固定杆(5)穿入的卡接槽(14)，所述铰接杆(6)和固定杆(5)上均套设有与顶座(3)顶面卡接的限位件(15)，所述铰接杆(6)和固定杆(5)上均设有压紧限位件(15)的压紧件(16)。
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