CN210182351U - 一种晶圆扩膜机用调节底座 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了晶圆扩膜机辅助设备技术领域的一种晶圆扩膜机用调节底座，包括有座体，所述座体左右两侧底部设置有耳板，本实用新型将扩膜机安装在底座上使用，避免扩膜机机底直接与地面接触，能够有效避免扩膜机机壳受潮腐蚀的问题，通过在座体底部设置的可调节升降的机构，能够调节扩膜机的工作高度，使其更适于不同身高的使用者使用，且其升降调节能力能够控制减震滚轮是否与地面接触，从而有效控制装置的工作状态，通过载板以及减震机构，使得装置在纵向上具有一定减震效果，在搬运过程中能有效保护扩膜机，通过设置的伸缩夹板以及锁紧螺杆，能够对不同尺寸的扩膜机进行有效夹持，提高了适用性。

Description

一种晶圆扩膜机用调节底座

技术领域

本实用新型涉及晶圆扩膜机辅助设备技术领域，具体为一种晶圆扩膜机用调节底座。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。

晶圆在生产过程中涉及到贴膜、激光切膜、去膜、倒模、扩膜等工艺。为了保证晶圆的晶粒满足检测需求，需要对其进行剔粒操作。但是，由于晶圆各相邻芯粒之间无任何空隙，会导致在剔粒过程中，相邻芯粒出现崩边、划伤的异常问题，严重影响晶圆质量，不利于后续的生产需求。因此，需要对晶圆进行扩膜处理，增大晶粒之间的间隙便于剔粒

扩膜机广泛应用于发光二极管、中小功率三极管、背光源、LED、集成电路和一些特殊半导体器件生产中的晶粒扩张工序。扩膜机是将排列紧密的LED晶片均匀分开，使之更好地植入焊接工件上。它利用LED薄膜的加热可塑性，将单张LED晶片均匀地向四周扩散，达到满意的晶片间隙后自动成型，膜片紧绷不变行，恒温设计，操作简单。

现有大中型扩膜机在使用时一般都是直接置于地面使用，扩膜机底部容易受潮腐蚀，且由于扩膜机重量较大，因而搬运较为费力，同时现有扩膜机高度不一，不同身高的使用者使用起来存在不便。基于此，本实用新型设计了一种晶圆扩膜机用调节底座，以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆扩膜机用调节底座，以解决上述背景技术中提出的现有大中型扩膜机在使用时一般都是直接置于地面使用，扩膜机底部容易受潮腐蚀，且由于扩膜机重量较大，因而搬运较为费力，同时现有扩膜机高度不一，不同身高的使用者使用起来存在不便的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆扩膜机用调节底座，包括有座体，所述座体左右两侧底部设置有耳板，所述耳板底端设置有减震滚轮，所述座体底端开设有丝杆槽，所述丝杆槽内水平转动设置有丝杆，所述座体右侧壁开设有电机槽，所述电机槽内设置有电机，所述丝杆右端贯穿丝杆槽右侧壁连接电输出轴端，所述丝杆上左右对称设置有第一滑块，所述第一滑块底端铰接有支撑杆，所述座体底端左右两侧对称设置有伸缩杆，每侧所述伸缩杆有两组，每侧所述伸缩杆底端设置有条形底板，所述支撑杆底端铰接条形底板顶端中部，所述座体顶端开设有滑槽，所述滑槽内滑动抵接设置有载板，所述滑槽底壁中部开设有内槽，所述内槽内设置有减震机构，所述减震机构顶端连杆铰接载板底端，所述座体顶端固定设置有限位框，所述限位框内侧壁中部均设置有伸缩夹板，所述限位框外壁中部均开设有凹槽，所述凹槽内螺接设置有锁紧螺杆，且锁紧螺杆另一端贯穿限位框侧壁。

优选的，所述减震滚轮包括有固定套，所述固定套内腔滑动设置有滚轮，所述滚轮顶端与固定套内腔之间设置有第一弹簧。

优选的，所述减震机构包括有光杆，所述光杆水平固接于光杆槽内，所述光杆中部绕接有第二弹簧，所述第二弹簧两端固接有第二滑块，且光杆滑动贯穿第二滑块，第二滑块顶端铰接有连杆，所述连杆顶端铰接载板底端。

优选的，所述伸缩夹板包括有小型伸缩杆，所述小型伸缩杆有两组，所述小型伸缩杆活动杆端设置有夹板，所述夹板工作面上设置有缓冲材料。

优选的，所述丝杆为双旋向丝杆。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型将扩膜机安装在底座上使用，避免扩膜机机底直接与地面接触，能够有效避免扩膜机机壳受潮腐蚀的问题，通过在座体底部设置的可调节升降的机构，能够调节扩膜机的工作高度，使其更适于不同身高的使用者使用，且其升降调节能力能够控制减震滚轮是否与地面接触，从而有效控制装置的工作状态，通过载板以及减震机构，使得装置在纵向上具有一定减震效果，在搬运过程中能有效保护扩膜机，通过设置的伸缩夹板以及锁紧螺杆，能够对不同尺寸的扩膜机进行有效夹持，提高了适用性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型左视图；

图3为本实用新型A处放大示意图；

图4为本实用新型减震滚轮结构示意图；

图5为本实用新型减震机构结构示意图。

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1-座体，2-耳板，3-减震滚轮，4-丝杆槽，5-丝杆，6-电机槽，7-电机，8-第一滑块，9-支撑杆，10-伸缩杆，11-条形底板，12-滑槽，13-载板，14-内槽，15-减震机构，16-限位框，17-伸缩夹板，18-凹槽，19-锁紧螺杆，31-固定套，32-滚轮，33-第一弹簧，151-光杆，152-第二弹簧，153-第二滑块，154-连杆，171-小型伸缩杆，172-夹板，173-缓冲材料。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-5，本实用新型提供一种技术方案：一种晶圆扩膜机用调节底座，包括有座体1，座体1左右两侧底部设置有耳板2，耳板2底端设置有减震滚轮3，座体1底端开设有丝杆槽4，丝杆槽4内水平转动设置有丝杆5，座体1右侧壁开设有电机槽6，电机槽6内设置有电机7，丝杆5右端贯穿丝杆槽4右侧壁连接电7输出轴端，丝杆5上左右对称设置有第一滑块8，第一滑块8底端铰接有支撑杆9，座体1底端左右两侧对称设置有伸缩杆10，每侧伸缩杆10有两组，每侧伸缩杆10底端设置有条形底板11，支撑杆9底端铰接条形底板11顶端中部，座体1顶端开设有滑槽12，滑槽12内滑动抵接设置有载板13，滑槽12底壁中部开设有内槽14，内槽14内设置有减震机构15，减震机构15顶端连杆铰接载板13底端，座体1顶端固定设置有限位框16，限位框16内侧壁中部均设置有伸缩夹板17，限位框16外壁中部均开设有凹槽18，凹槽18内螺接设置有锁紧螺杆19，且锁紧螺杆19另一端贯穿限位框16侧壁。

进一步的，减震滚轮3包括有固定套31，固定套31内腔滑动设置有滚轮32，滚轮32顶端与固定套31内腔之间设置有第一弹簧33，该结构具有减震功能。

进一步的，减震机构15包括有光杆151，光杆151水平固接于光杆槽14内，光杆151中部绕接有第二弹簧152，第二弹簧152两端固接有第二滑块153，且光杆151滑动贯穿第二滑块153，第二滑块153顶端铰接有连杆154，连杆154顶端铰接载板13底端，该结构具有减震功能。

进一步的，伸缩夹板17包括有小型伸缩杆171，小型伸缩杆171有两组，小型伸缩杆171活动杆端设置有夹板172，夹板172工作面上设置有缓冲材料173，该结构夹板172能够灵活移动，增加了夹紧区间。

进一步的，丝杆5为双旋向丝杆。

本实施例的一个具体应用为：本装置为一种晶圆扩膜机用调节底座，主要适用于大中型扩膜机，本装置电机7通过外部控制开关与外部电源电性连接，使用前，将装置推动至指定使用地点，再启动电机7，电机7启动带动丝杆5旋转，双旋向丝杆5带动两侧的第一滑块8相互靠近或远离，控制第一滑块8相互远离，第一滑块8远离使得支撑杆9与水平面夹角越来越大，势必使得会推动座体1向上运动，座体1向上运动的同时伸缩杆10配合伸长，座体1持续上升直至减震滚轮3脱离地面，此时停止电机7，装置稳定放置，然后再将扩膜机本体放置到载板13上，放置好扩膜机后，旋动锁紧螺杆19，使得锁紧螺杆19一端推动夹板172靠近扩膜机机壳，继续旋动锁紧螺杆19，使得夹板172与扩膜机之间紧贴，最后，再根据身高需要，启动电机7，调整座体1的高度，使得扩膜机工作台面高度适合使用者使用。本装置通过载板13以及减震机构15，使得装置在纵向上具有一定减震效果，在搬运过程中能有效保护扩膜机，通过设置的伸缩夹板17以及锁紧螺杆19，能够对不同尺寸的扩膜机进行有效夹持，提高了装置适用性。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

Claims (5)

1.一种晶圆扩膜机用调节底座，包括有座体(1)，其特征在于：所述座体(1)左右两侧底部设置有耳板(2)，所述耳板(2)底端设置有减震滚轮(3)，所述座体(1)底端开设有丝杆槽(4)，所述丝杆槽(4)内水平转动设置有丝杆(5)，所述座体(1)右侧壁开设有电机槽(6)，所述电机槽(6)内设置有电机(7)，所述丝杆(5)右端贯穿丝杆槽(4)右侧壁连接电机(7)输出轴端，所述丝杆(5)上左右对称设置有第一滑块(8)，所述第一滑块(8)底端铰接有支撑杆(9)，所述座体(1)底端左右两侧对称设置有伸缩杆(10)，每侧所述伸缩杆(10)有两组，每侧所述伸缩杆(10)底端设置有条形底板(11)，所述支撑杆(9)底端铰接条形底板(11)顶端中部，所述座体(1)顶端开设有滑槽(12)，所述滑槽(12)内滑动抵接设置有载板(13)，所述滑槽(12)底壁中部开设有内槽(14)，所述内槽(14)内设置有减震机构(15)，所述减震机构(15)顶端连杆铰接载板(13)底端，所述座体(1)顶端固定设置有限位框(16)，所述限位框(16)内侧壁中部均设置有伸缩夹板(17)，所述限位框(16)外壁中部均开设有凹槽(18)，所述凹槽(18)内螺接设置有锁紧螺杆(19)，且锁紧螺杆(19)另一端贯穿限位框(16)侧壁。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆扩膜机用调节底座，其特征在于：所述减震滚轮(3)包括有固定套(31)，所述固定套(31)内腔滑动设置有滚轮(32)，所述滚轮(32)顶端与固定套(31)内腔之间设置有第一弹簧(33)。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆扩膜机用调节底座，其特征在于：所述减震机构(15)包括有光杆(151)，所述光杆(151)水平固接于内槽(14)内，所述光杆(151)中部绕接有第二弹簧(152)，所述第二弹簧(152)两端固接有第二滑块(153)，且光杆(151)滑动贯穿第二滑块(153)，第二滑块(153)顶端铰接有连杆(154)，所述连杆(154)顶端铰接载板(13)底端。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆扩膜机用调节底座，其特征在于：所述伸缩夹板(17)包括有小型伸缩杆(171)，所述小型伸缩杆(171)有两组，所述小型伸缩杆(171)活动杆端设置有夹板(172)，所述夹板(172)工作面上设置有缓冲材料(173)。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆扩膜机用调节底座，其特征在于：所述丝杆(5)为双旋向丝杆。

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