CN217468361U - 一种晶圆放置盒 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种晶圆放置盒，涉及半导体封装技术领域，旨在解决晶圆拿取不方便的问题。其技术方案要点是：包括晶圆本体，晶圆本体的表面覆盖有防护膜，防护膜的表面设有防静电层，包括盒体，所述盒体内沿其长度方向阵列分布有若干放置架组，所述放置架组包括滑动连接在盒体内的第一放置架和第二放置架，所述第一放置架和第二放置架上均开设有用于容纳晶圆本体的放置槽，所述盒体上设有用于控制第一放置架和第二放置架交替活动的驱动结构。利用驱动结构控制每组放置架组的第一放置架和第二放置架交替活动，改变了相邻两个放置槽之间的间距，使得晶圆本体的拿取更加方便。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体封装技术领域，更具体地说，它涉及一种晶圆及其放置盒。
背景技术
晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。
现有的放置盒在存放晶圆时，均是将每个晶圆存放在放置盒上的每个存放槽内，由于每个存放槽的间距很小，如若存放在中间的晶圆造成损坏，需要更换时，拿取不方便，并且间距小还会触碰到相邻的晶圆，用力过大也会造成不必要的损失，如若要拿取方便，需要将一侧的晶圆全部拿出，操作繁杂。
本实用新型提出一种新的技术方案来解决上述的技术问题。
实用新型内容
针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种晶圆及其放置盒，通过结构的设置达到拿取方便的目的。
本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：包括晶圆本体，所述晶圆本体的表面覆盖有防护膜，所述防护膜的表面设有防静电层。
通过采用上述技术方案，在晶圆本体的表面覆盖有防护膜，防护膜的表面设有防静电层，防静电层采用AS-PSA防静电胶带，具有很好的防静电效果，且能够稳定的固定在防护膜表面，保证了晶圆本体的质量。
本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：包括盒体，所述盒体内沿其长度方向阵列分布有若干放置架组，所述放置架组包括滑动连接在盒体内的第一放置架和第二放置架，所述第一放置架和第二放置架上均开设有用于容纳晶圆本体的放置槽，所述盒体上设有用于控制第一放置架和第二放置架交替活动的驱动结构。
通过采用上述技术方案，盒体内沿其长度方向阵列分布有若干放置架组，放置架组包括滑动连接在盒体内的第一放置架和第二放置架，晶圆本体放置在每个第一放置架和第二放置架上的放置槽内，利用驱动结构控制每组放置架组的第一放置架和第二放置架交替活动，改变了相邻两个放置槽之间的间距，使得晶圆本体的拿取更加方便。
本实用新型进一步设置为：所述盒体上开设有供第一放置架和第二放置架滑动的滑槽，所述第一放置架和第二放置架沿竖直方向与滑槽的内壁滑动连接。
通过采用上述技术方案，在盒体上开设有供第一放置架和第二放置架滑动的滑槽，限制了第一放置架和第二放置架的活动轨迹，使得第一放置架和第二放置架沿竖直方向与滑槽的内壁滑动更加稳定。
本实用新型进一步设置为：所述盒体上开设有用于容纳驱动结构的空腔，所述驱动结构包括丝杆以及若干与放置架组配合的驱动块，所述丝杆从盒体的一侧穿入到空腔内并与空腔的内壁转动连接，所述驱动块位于第一放置架和第二放置架之间并螺纹连接在丝杆上，所述第一放置架和第二放置架相互靠近的一侧开设有与驱动块配合的导向面。
通过采用上述技术方案，利用驱动结构，转动丝杆，带动驱动块移动，靠近第一放置架上的导向面，导向面起导向作用，驱动块与导向面抵触，继续移动驱动块，推动第一放置架沿竖直方向向上移动，反向转动丝杆，带动驱动块反向移动，靠近第二放置架上的导向面，推动第二放置架沿竖直方向向上移动，控制每组第一放置架和第二放置架交替上升，改变了相邻两个放置槽之间的间距，使得晶圆本体的拿取更加方便。
本实用新型进一步设置为：所述驱动块的两侧也开设有与导向面配合的斜面。
通过采用上述技术方案，在驱动块的两侧也开设有与导向面配合的斜面，使得驱动块驱动第一放置架和第二放置架移动更加方便、稳定。
本实用新型进一步设置为：所述丝杆的一端伸出盒体并固定连接有旋钮。
通过采用上述技术方案，通过将丝杆的一端伸出盒体并固定连接有旋钮，使得丝杆的转动更加方便。
本实用新型进一步设置为：所述第一放置架和第二放置架的底部均固定连接有弹性件，所述弹性件远离第一放置架和第二放置架的一端固定连接在盒体的内壁上,所述弹性件用于拉动放置架组靠近盒体内壁。
通过采用上述技术方案，通过设置弹性件，当驱动块远离第一放置架和第二放置架时，弹性件通过自身的弹性拉到放置架组靠近盒体内壁，避免放置架组自身活动。
综上所述，本实用新型具有以下有益效果：
盒体内沿其长度方向阵列分布有若干放置架组，放置架组包括滑动连接在盒体内的第一放置架和第二放置架，晶圆本体放置在每个第一放置架和第二放置架上的放置槽内，利用驱动结构控制每组放置架组的第一放置架和第二放置架交替活动，改变了相邻两个放置槽之间的间距，使得晶圆本体的拿取更加方便。
附图说明
图1为本实用新型的爆炸图；
图2为图1中A处的放大图；
图3为本实用新型隐藏盒体后的结构示意图；
图4为图3中B处的放大图。
图中：1、晶圆本体；2、盒体；3、第一放置架；4、第二放置架；5、滑槽；6、丝杆；7、驱动块；8、旋钮；9、弹性件；10、放置槽；11、导向面； 12、斜面。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本实用新型进行详细描述。
一种晶圆，如图1所示，包括晶圆本体1，晶圆本体1的表面覆盖有防护膜，防护膜的表面设有防静电层，防静电层采用AS-PSA防静电胶带，具有很好的防静电效果，且能够稳定的固定在防护膜表面，保证了晶圆本体1 的质量。
一种晶圆放置盒，如图1和图2所示，包括盒体2，盒体2内沿其长度方向阵列分布有若干放置架组，放置架组包括滑动连接在盒体2内的第一放置架3和第二放置架4，第一放置架3和第二放置架4上均开设有用于容纳晶圆本体1的放置槽10，放置槽10的内壁上通过粘结剂固定连接有橡胶垫，盒体2上设有用于控制第一放置架3和第二放置架4交替活动的驱动结构。
如图1-图4所示，盒体2上开设有供第一放置架3和第二放置架4滑动的滑槽5，第一放置架3和第二放置架4沿竖直方向与滑槽5的内壁滑动连接，盒体2上开设有用于容纳驱动结构的空腔，驱动结构包括丝杆6以及若干与放置架组配合的驱动块7，丝杆6从盒体2的一侧穿入到空腔内并与空腔的内壁通过轴孔配合的方式转动连接，丝杆6的一端伸出盒体2并焊接有旋钮8，驱动块7位于第一放置架3和第二放置架4之间，驱动块7靠近丝杆6的一侧一体连接有凸块并螺纹连接在丝杆6上，第一放置架3和第二放置架4相互靠近的一侧开设有与驱动块7配合的导向面11，驱动块7的两侧也开设有与导向面11配合的斜面12，第一放置架3和第二放置架4的底部均焊接有弹性件9，弹性件9远离第一放置架3和第二放置架4的一端焊接在盒体2的内壁上,弹性件9用于拉动放置架组靠近盒体2内壁。
工作原理：将晶圆本体1放置到盒体2上的放置槽10内，如若晶圆本体 1损坏，转动旋钮8，使得丝杆6转动，带动螺纹连接在丝杆6上的驱动块7 移动，靠近相应的第一放置架3或第二放置架4，使得第一放置架3或第二放置架4沿竖直方向上升，此时弹性件9受到外力影响产生形变，改变了相邻两个放置槽10之间的间距，使得晶圆本体1的拿取更加方便，更换完晶圆本体1后，转动丝杆6，带动驱动块7远离第一放置架3或第二放置架4，使得驱动块7位于第一放置架3或第二放置架4之间，弹性件9不受外力影响，拉动第一放置架3和第二放置架4靠近盒体2的内壁，使得晶圆本体1的保持更加稳定。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (6)
1.一种晶圆放置盒，其特征在于：包括晶圆本体(1)，所述晶圆本体(1)的表面覆盖有防护膜，所述防护膜的表面设有防静电层，包括盒体(2)，所述盒体(2)内沿其长度方向阵列分布有若干放置架组，所述放置架组包括滑动连接在盒体(2)内的第一放置架(3)和第二放置架(4)，所述第一放置架(3)和第二放置架(4)上均开设有用于容纳晶圆本体(1)的放置槽(10)，所述盒体(2)上设有用于控制第一放置架(3)和第二放置架(4)交替活动的驱动结构。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆放置盒，其特征在于：所述盒体(2)上开设有供第一放置架(3)和第二放置架(4)滑动的滑槽(5)，所述第一放置架(3)和第二放置架(4)沿竖直方向与滑槽(5)的内壁滑动连接。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆放置盒，其特征在于：所述盒体(2)上开设有用于容纳驱动结构的空腔，所述驱动结构包括丝杆(6)以及若干与放置架组配合的驱动块(7)，所述丝杆(6)从盒体(2)的一侧穿入到空腔内并与空腔的内壁转动连接，所述驱动块(7)位于第一放置架(3)和第二放置架(4)之间并螺纹连接在丝杆(6)上，所述第一放置架(3)和第二放置架(4)相互靠近的一侧开设有与驱动块(7)配合的导向面(11)。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆放置盒，其特征在于：所述驱动块(7)的两侧也开设有与导向面(11)配合的斜面(12)。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆放置盒，其特征在于：所述丝杆(6)的一端伸出盒体(2)并固定连接有旋钮(8)。
6.根据权利要求5所述的一种晶圆放置盒，其特征在于：所述第一放置架(3)和第二放置架(4)的底部均固定连接有弹性件(9)，所述弹性件(9)远离第一放置架(3)和第二放置架(4)的一端固定连接在盒体(2)的内壁上,所述弹性件(9)用于拉动放置架组靠近盒体(2)内壁。
Priority Applications (1)
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2021
- 2021-12-21 CN CN202123233533.9U patent/CN217468361U/zh active Active
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