CN217468357U - 一种晶圆存放盒 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种晶圆存放盒，涉及半导体封装技术领域，旨在解决不能存放不同尺寸的晶圆的问题。其技术方案要点是：包括相互对称的两个放置架，两个放置架相互靠近的一侧开设有放置槽，两个放置架之间的距离小于晶圆本体的直径，放置槽沿其高度方向的顶端延伸并贯通，晶圆本体沿竖直方向插入到放置槽内，放置架的一侧设有用于驱动两个放置架相互靠近或远离的驱动结构，通过在晶圆本体的表面覆盖UV膜，UV膜采用UV涂料进行涂覆，能够阻隔紫外光及短波长可见光，避免紫外光对晶圆本体造成损坏，保证了晶圆本体的质量。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体封装技术领域，更具体地说，它涉及一种晶圆存放盒。
背景技术
晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。
晶圆在进行多个工序加工完成后，需要进行存放，现有的存放盒都是对应相应尺寸的晶圆，如若需要存放不同尺寸的晶圆，便要更换存放盒，进行存放，提高了成本。
本实用新型提出一种新的技术方案来解决上述的技术问题。
实用新型内容
针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种晶圆及其存放盒，通过结构的设置达到适应不同尺寸的目的。
本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种晶圆，包括晶圆本体，所述晶圆本体的表面覆盖有UV膜。
通过采用上述技术方案，通过在晶圆本体的表面覆盖UV膜，UV膜采用UV 涂料进行涂覆，能够阻隔紫外光及短波长可见光，避免紫外光对晶圆本体造成损坏，保证了晶圆本体的质量。
本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种晶圆存放盒，包括相互对称的两个放置架，两个所述放置架相互靠近的一侧开设有放置槽，两个所述放置架之间的距离小于晶圆本体的直径，所述放置槽沿其高度方向的顶端延伸并贯通，所述晶圆本体沿竖直方向插入到放置槽内，所述放置架的一侧设有用于驱动两个放置架相互靠近或远离的驱动结构。
通过采用上述技术方案，设置相互对称的两个放置架，在两个放置架相互靠近的一侧开设有放置槽，放置槽沿其高度方向的顶端延伸并贯通，将晶圆本体沿竖直方向插入到放置槽内，当到达放置槽的底部时，由于两个放置架之间的距离小于晶圆本体的直径，放置槽的底部托举晶圆本体避免晶圆脱离放置架，在放置架的一侧设有驱动结构，利用驱动结构，驱动两个放置架相互靠近或远离，使得两个放置架之间的距离增加或者减小，从而能够对应不同尺寸的晶圆本体，节约成本，减小了资源的利用，增加了存放盒的通用性，且放置方便。
本实用新型进一步设置为：所述驱动结构包括交叉设置并相互转动连接的驱动杆和从动杆，所述放置架的一侧固定连接有连接件，所述驱动杆和从动杆的两端均转动连接有连接块，所述连接件上开设有供连接块滑动的滑轨。
通过采用上述技术方案，转动驱动杆，带动连接块移动，由于连接块在连接件上的滑轨滑动，使得连接块拉动连接件，从动杆反向转动，相同滑轨内的两个连接块相互远离，从而使得两个放置架相互靠近，减小两个放置架之间的距离，反向转动驱动杆，带动连接块移动，使得连接块推动连接件，相同滑轨内的两个连接块相互靠近，从而使得两个放置架相互远离，增加了两个放置架之间的距离，使得存放盒整体能够对应不同尺寸的晶圆本体，节约成本，减小了资源的利用。
本实用新型进一步设置为：所述驱动结构还包括驱动轴，所述驱动轴穿插过驱动杆和从动杆，所述驱动轴的外周壁上固定连接有驱动块，所述驱动杆远离从动杆的一侧开设有供驱动块插入的凹槽。
通过采用上述技术方案，转动驱动轴，驱动轴上的驱动块转动，驱动块插入到凹槽内，带动凹槽移动从而使驱动杆转动。
本实用新型进一步设置为：所述驱动轴远离驱动块的一端固定连接有限位板。
通过采用上述技术方案，在驱动轴远离驱动块的一端固定连接有限位板，避免驱动杆和从动杆脱离驱动轴。
本实用新型进一步设置为：所述连接件远离放置架的一侧阵列分布有与滑轨相通的若干螺纹孔。
通过采用上述技术方案，在连接件远离放置架的一侧阵列分布有与滑轨相通的若干螺纹孔，利用螺栓对滑轨内的连接块进行固定，使得连接块固定在相应位置，避免驱动杆发生转动，使得晶圆本体的放置更加稳定。
本实用新型进一步设置为：两个所述放置架远离驱动结构的一侧固定连接有伸缩板。
通过采用上述技术方案，在两个放置架远离驱动结构的一侧固定连接有伸缩板，对整体结构进行加强。
本实用新型进一步设置为：所述放置架的底部固定连接有呈弧形的托块，所述放置槽沿托块延伸。
通过采用上述技术方案，在放置架的底部固定连接有呈弧形的托块，放置槽沿托块延伸，使得放置槽的底端呈弧形，与晶圆本体的外侧壁相配合，使得晶圆本体的放置更加稳定。
综上所述，本实用新型具有以下有益效果：
设置相互对称的两个放置架，在两个放置架相互靠近的一侧开设有放置槽，放置槽沿其高度方向的顶端延伸并贯通，将晶圆本体沿竖直方向插入到放置槽内，当到达放置槽的底部时，由于两个放置架之间的距离小于晶圆本体的直径，放置槽的底部托举晶圆本体避免晶圆脱离放置架，在放置架的一侧设有驱动结构，利用驱动结构，驱动两个放置架相互靠近或远离，使得两个放置架之间的距离增加或者减小，从而能够对应不同尺寸的晶圆本体，节约成本，减小了资源的利用，增加了存放盒的通用性，且放置方便。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为图1中A处的放大图；
图3为图1中B处的放大图。
图中：1、晶圆本体；2、放置架；3、放置槽；4、驱动杆；5、从动杆； 6、驱动轴；7、连接件；8、连接块；9、滑轨；10、驱动块；11、凹槽；12、限位板；13、螺纹孔；14、伸缩板；15、托块。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本实用新型进行详细描述。
一种晶圆，如图1所示，包括晶圆本体1，晶圆本体1的表面覆盖有保护膜，保护膜可采用PET薄膜，在PET薄膜的表面上涂覆UV涂料，形成UV 膜，对晶圆本体1进行保护，避免紫外光对晶圆本体1造成损害，并且加强了PET薄膜的性能。
一种晶圆存放盒，如图1所示，包括相互对称的两个放置架2，两个放置架2相互靠近的一侧均开设有放置槽3，并沿放置架2的长度方向阵列分布若干个，两个放置架2的一侧安装有用于驱动两个放置架2相互靠近或远离的驱动结构。
如图1所示，放置架2的底部一体连接有呈弧形的托块15，放置槽3沿竖直方向的两端延伸并贯通，两个放置架2远离驱动结构的一侧通过螺栓固定连接有伸缩板14，伸缩板14包括安装在放置架2上的两个外接板以及内板，两个外接板相互靠近的一侧均开设有滑腔，内板与滑腔的内壁滑动连接。
如图1-图3所示，驱动结构包括驱动轴6、驱动杆4以及从动杆5，驱动杆4和从动杆5交叉套设在驱动轴6上并与驱动轴6转动连接，驱动轴6 靠近驱动杆4的一端一体连接有驱动块10，驱动杆4远离从动杆5的一侧开设有供驱动块10插入的凹槽11，驱动轴6远离驱动块10的一端通过螺栓固定连接有限位板12，驱动轴6另一端一体连接有旋钮，驱动杆4和从动杆5 的两端均通过轴孔配合的方式转动连接有连接块8，两个放置架2的一侧一体连接有连接件7，连接件7上开设有供连接块8滑动的滑轨9，连接件7远离放置架2的一侧阵列分布有与滑轨9相通的若干螺纹孔13，连接块8上也开设有相互配合的螺纹孔13，利用螺栓配合螺纹孔13将连接块8固定在相应位置。
工作原理：转动驱动轴6，驱动轴6上的驱动块10转动，驱动块10插入到凹槽11内，带动凹槽11移动从而使驱动杆4转动，带动连接块8移动，由于连接块8在连接件7上的滑轨9滑动，使得连接块8拉动连接件7，从动杆5与驱动杆4的转动方向相反，相同滑轨9内的两个连接块8相互远离，从而使得两个放置架2相互靠近，减小两个放置架2之间的距离，反向转动驱动杆4，带动连接块8移动，使得连接块8推动连接件7，相同滑轨9内的两个连接块8相互靠近，从而使得两个放置架2相互远离，增加了两个放置架2之间的距离，使得存放盒整体能够对应不同尺寸的晶圆本体1，节约成本，减小了资源的利用。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (7)
1.一种晶圆存放盒，其特征在于：包括晶圆本体(1)，所述晶圆本体(1)的表面覆盖有UV膜；还包括相互对称的两个放置架(2)，两个所述放置架(2)相互靠近的一侧开设有放置槽(3)，两个所述放置架(2)之间的距离小于晶圆本体(1)的直径，所述放置槽(3)沿其高度方向的顶端延伸并贯通，所述晶圆本体(1)沿竖直方向插入到放置槽(3)内，所述放置架(2)的一侧设有用于驱动两个放置架(2)相互靠近或远离的驱动结构。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆存放盒，其特征在于：所述驱动结构包括交叉设置并相互转动连接的驱动杆(4)和从动杆(5)，所述放置架(2)的一侧固定连接有连接件(7)，所述驱动杆(4)和从动杆(5)的两端均转动连接有连接块(8)，所述连接件(7)上开设有供连接块(8)滑动的滑轨(9)。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆存放盒，其特征在于：所述驱动结构还包括驱动轴(6)，所述驱动轴(6)穿插过驱动杆(4)和从动杆(5)，所述驱动轴(6)的外周壁上固定连接有驱动块(10)，所述驱动杆(4)远离从动杆(5)的一侧开设有供驱动块(10)插入的凹槽(11)。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆存放盒，其特征在于：所述驱动轴(6)远离驱动块(10)的一端固定连接有限位板(12)。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆存放盒，其特征在于：所述连接件(7)远离放置架(2)的一侧阵列分布有与滑轨(9)相通的若干螺纹孔(13)。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆存放盒，其特征在于：两个所述放置架(2)远离驱动结构的一侧固定连接有伸缩板(14)。
7.根据权利要求1所述的一种晶圆存放盒，其特征在于：所述放置架(2)的底部固定连接有呈弧形的托块(15)，所述放置槽(3)沿托块(15)延伸。
Priority Applications (1)
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2021
- 2021-11-26 CN CN202122944398.2U patent/CN217468357U/zh active Active
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