CN219321313U - 一种晶圆用存储料盒 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种晶圆用存储料盒，包括底座，所述底座的两侧顶端均固定设有支撑板一，所述底座的顶端阵列固定设有多个支撑板二，所述支撑板二均位于所述支撑板一之间，所述支撑板一之间相邻的一侧与所述支撑板二的两侧均阵列开设有多个放置槽，所述底座的顶端阵列贯穿开设有多个凹槽，所述凹槽的底端内壁上均对称贯穿滑动嵌设有多个连接杆，位于同一所述凹槽内的所述连接杆的顶端均固定连接有托板，所述托板的顶端均阵列开设有多个与所述放置槽相匹配的限位槽，所述底座内开设有滑槽，所述滑槽位于所述凹槽的正下方，本实用新型可以方便使用者对料盒内的晶圆进行存放和取用，从而可以有效地提高存储料盒的实用性。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种晶圆用存储料盒，属于晶圆料盒技术领域。
背景技术
晶圆盒在半导体生产中主要起到放置和输送晶圆的作用，为了简化运输和尽可能降低被污染的风险，芯片制造商利用晶圆盒来搬运和储存晶圆，晶圆盒内部有对称的沟槽，尺寸严格统一用于支撑晶圆的两边，通常一个晶圆盒装25片晶圆，晶圆盒一般采用耐温，耐磨，防静电添加的半透明塑料材质，不同颜色的添加剂用于区分半导体生产中的金属制程段。
现有的晶圆料盒大多为一体成型的产品，在存储时，将晶圆一一放置在对应的沟槽内即可，但在取用时，由于晶圆之间的缝隙较小，从而使得晶圆的取用较为不便，往往需要使用其他设备将晶圆托起后才能方便进行拿取，从而使得料盒在使用时较为不便。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种晶圆用存储料盒，本实用新型可以方便使用者对料盒内的晶圆进行存放和取用，从而可以有效地提高存储料盒的实用性，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
一种晶圆用存储料盒，包括底座，所述底座的两侧顶端均固定设有支撑板一，所述底座的顶端阵列固定设有多个支撑板二，所述支撑板二均位于所述支撑板一之间，所述支撑板一之间相邻的一侧与所述支撑板二的两侧均阵列开设有多个放置槽，所述底座的顶端阵列贯穿开设有多个凹槽，所述凹槽的底端内壁上均对称贯穿滑动嵌设有多个连接杆，位于同一所述凹槽内的所述连接杆的顶端均固定连接有托板。
进一步的，所述托板的顶端均阵列开设有多个与所述放置槽相匹配的限位槽。
进一步的，所述底座内开设有滑槽，所述滑槽位于所述凹槽的正下方，所述滑槽内转动设有螺杆，所述螺杆上螺纹套设有滑板，所述连接杆的底端均延伸至所述滑槽内且与所述滑板的顶端固定连接。
进一步的，所述滑板与所述滑槽滑动连接，所述滑板上贯穿固定嵌设有与所述螺杆相匹配的螺纹座。
进一步的，所述螺杆的下部固定套设有锥齿轮一，所述锥齿轮一位于所述滑板的下方，所述底座的前侧下部贯穿转动嵌设有调节杆，所述调节杆的后端延伸至所述滑槽内且固定套设有锥齿轮二，所述锥齿轮一与所述锥齿轮二齿轮啮合。
进一步的，所述滑板上对称贯穿滑动嵌设有多个滑杆，所述滑杆的两端均与所述滑槽相邻的一侧内壁固定连接。
进一步的，所述滑槽的底端内壁上阵列固定设有多个支撑块，所述支撑块上均贯穿固定嵌设有与所述调节杆相匹配的轴套。
本实用新型的有益效果是：
本实用新型通过设置了托板，在使用时，通过转动调节杆，从而使得调节杆带动锥齿轮二进行转动，此时锥齿轮二将通过锥齿轮一带动螺杆进行转动，从而使得螺杆带动滑板进行上下移动，滑板可以通过连接杆带动托板进行上下移动，从而通过托板可以将晶圆托起，从而便于使用者进行取用，本实用新型可以方便使用者对料盒内的晶圆进行存放和取用，从而可以有效地提高存储料盒的实用性。
附图说明
附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的具体实施方式一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。
图1是本实用新型一种晶圆用存储料盒的主视图；
图2是本实用新型一种晶圆用存储料盒的结构示意图；
图3是本实用新型一种晶圆用存储料盒的俯视图；
图4是本实用新型一种晶圆用存储料盒的侧视图；
图中标号：1、底座；2、支撑板一；3、支撑板二；4、放置槽；5、凹槽；6、连接杆；7、托板；8、滑槽；9、螺杆；10、滑板；11、锥齿轮一；12、调节杆；13、锥齿轮二；14、滑杆；15、支撑块。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
实施例1请参阅图1-图4，本实用新型提供一种技术方案：
一种晶圆用存储料盒，包括底座1，底座1的两侧顶端均固定设有支撑板一2，底座1的顶端阵列固定设有多个支撑板二3，支撑板二3均位于支撑板一2之间，支撑板一2之间相邻的一侧与支撑板二3的两侧均阵列开设有多个放置槽4，底座1的顶端阵列贯穿开设有多个凹槽5，凹槽5的底端内壁上均对称贯穿滑动嵌设有多个连接杆6，位于同一凹槽5内的连接杆6的顶端均固定连接有托板7。
具体的，如图1-图4所示，托板7的顶端均阵列开设有多个与放置槽4相匹配的限位槽，底座1内开设有滑槽8，滑槽8位于凹槽5的正下方，滑槽8内转动设有螺杆9，螺杆9上螺纹套设有滑板10，连接杆6的底端均延伸至滑槽8内且与滑板10的顶端固定连接，滑板10与滑槽8滑动连接，滑板10上贯穿固定嵌设有与螺杆9相匹配的螺纹座，螺杆9的下部固定套设有锥齿轮一11，锥齿轮一11位于滑板10的下方，底座1的前侧下部贯穿转动嵌设有调节杆12，调节杆12的后端延伸至滑槽8内且固定套设有锥齿轮二13，锥齿轮一11与锥齿轮二13齿轮啮合，通过转动调节杆12，从而使得调节杆12带动锥齿轮二13进行转动，此时锥齿轮二13将通过锥齿轮一11带动螺杆9进行转动，从而使得螺杆9带动滑板10进行上下移动，滑板10可以通过连接杆6带动托板7进行上下移动，从而通过托板7可以将晶圆托起。
具体的，如图2与图4所示，滑板10上对称贯穿滑动嵌设有多个滑杆14，滑杆14的两端均与滑槽8相邻的一侧内壁固定连接，当滑板10移动时，此时通过滑杆14可以对滑板10起到支撑的作用。
实施例2请参阅图4，本实施例与实施例1的区别在于：滑槽8的底端内壁上阵列固定设有多个支撑块15，支撑块15上均贯穿固定嵌设有与调节杆12相匹配的轴套，通过设置支撑块15，从而可以对调节杆12起到支撑的作用。
本实用新型工作原理：通过转动调节杆12，从而使得调节杆12带动锥齿轮二13进行转动，此时锥齿轮二13将通过锥齿轮一11带动螺杆9进行转动，从而使得螺杆9带动滑板10进行上下移动，滑板10可以通过连接杆6带动托板7进行上下移动，从而通过托板7可以将晶圆托起，当滑板10移动时，此时通过滑杆14可以对滑板10起到支撑的作用，通过设置支撑块15，从而可以对调节杆12起到支撑的作用。
对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
Claims (7)
1.一种晶圆用存储料盒，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的两侧顶端均固定设有支撑板一(2)，所述底座(1)的顶端阵列固定设有多个支撑板二(3)，所述支撑板二(3)均位于所述支撑板一(2)之间，所述支撑板一(2)之间相邻的一侧与所述支撑板二(3)的两侧均阵列开设有多个放置槽(4)，所述底座(1)的顶端阵列贯穿开设有多个凹槽(5)，所述凹槽(5)的底端内壁上均对称贯穿滑动嵌设有多个连接杆(6)，位于同一所述凹槽(5)内的所述连接杆(6)的顶端均固定连接有托板(7)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆用存储料盒，其特征在于：所述托板(7)的顶端均阵列开设有多个与所述放置槽(4)相匹配的限位槽。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆用存储料盒，其特征在于：所述底座(1)内开设有滑槽(8)，所述滑槽(8)位于所述凹槽(5)的正下方，所述滑槽(8)内转动设有螺杆(9)，所述螺杆(9)上螺纹套设有滑板(10)，所述连接杆(6)的底端均延伸至所述滑槽(8)内且与所述滑板(10)的顶端固定连接。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆用存储料盒，其特征在于：所述滑板(10)与所述滑槽(8)滑动连接，所述滑板(10)上贯穿固定嵌设有与所述螺杆(9)相匹配的螺纹座。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆用存储料盒，其特征在于：所述螺杆(9)的下部固定套设有锥齿轮一(11)，所述锥齿轮一(11)位于所述滑板(10)的下方，所述底座(1)的前侧下部贯穿转动嵌设有调节杆(12)，所述调节杆(12)的后端延伸至所述滑槽(8)内且固定套设有锥齿轮二(13)，所述锥齿轮一(11)与所述锥齿轮二(13)齿轮啮合。
6.根据权利要求5所述的一种晶圆用存储料盒，其特征在于：所述滑板(10)上对称贯穿滑动嵌设有多个滑杆(14)，所述滑杆(14)的两端均与所述滑槽(8)相邻的一侧内壁固定连接。
7.根据权利要求6所述的一种晶圆用存储料盒，其特征在于：所述滑槽(8)的底端内壁上阵列固定设有多个支撑块(15)，所述支撑块(15)上均贯穿固定嵌设有与所述调节杆(12)相匹配的轴套。
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2023
- 2023-03-03 CN CN202320374053.4U patent/CN219321313U/zh active Active
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