CN211879353U - 一种smt晶圆固定装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种SMT晶圆固定装置，包括晶圆盒，所述晶圆盒的内壁滑动连接有限位箱，所述晶圆盒的正面和背面均固定安装有固定块，所述固定块的右侧面固定安装有固定杆，所述固定杆的右端转动连接有转杆，所述转杆的右端开设有螺纹槽，所述螺纹槽的内壁螺纹连接有限位杆，所述限位杆的右端固定安装有衔接杆，所述衔接杆的侧面与限位箱的右侧面固定连接。该SMT晶圆固定装置，通过设置晶圆盒、限位箱、横向固定框、竖向固定框、固定块、固定杆、转杆、限位杆和衔接杆，当晶圆存放在晶圆盒中的竖向固定框和横向固定框内时，转动转杆，限位箱向左移动，从而使限位箱内壁的竖向固定框将晶圆夹紧固定，保证了晶圆在搬运过程中的稳定性。

Description

一种SMT晶圆固定装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆固定技术领域，具体为一种SMT晶圆固定装置。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主。

在集成电路生产制造过程中，为了确保晶圆的安全储存和搬运，避免破损和污染，广泛运用晶圆盒作为晶圆的承载及运输工具，晶圆盒内部的大多是设置多个固定槽来承载晶圆，晶圆在存放和取出时不可避免的会对晶圆造成摩擦，造成晶圆表面边缘处磨损，而且在搬运的过程中，晶圆容易在固定槽中晃动，甚至出现脱离固定槽的情况，影响晶圆的完整性。

因此，我们需要一种SMT晶圆固定装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种SMT晶圆固定装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种SMT晶圆固定装置，包括晶圆盒，所述晶圆盒的内壁滑动连接有限位箱，所述晶圆盒的左内壁和限位箱的右内壁均固定安装有若干个竖向固定框，所述晶圆盒的内底壁固定安装有若干个横向固定框，若干个所述横向固定框和左侧竖向固定框的内壁均搭接有晶圆，所述晶圆盒的正面和背面均固定安装有固定块，所述固定块的右侧面固定安装有固定杆，所述固定杆的右端转动连接有转杆，所述转杆的左端开设有凹槽，所述凹槽的内壁固定安装有轴承，所述轴承的内壁与固定杆的右端表面固定连接，所述转杆的右端开设有螺纹槽，所述螺纹槽的内壁螺纹连接有限位杆，所述限位杆的右端固定安装有衔接杆，所述衔接杆的侧面与限位箱的右侧面固定连接。

优选的，所述竖向固定框和横向固定框的内壁均固定连接有海绵层。

优选的，所述限位箱的正面和背面均固定安装有滑块，所述晶圆盒的内前壁和内后壁均开设有供滑块滑动的滑槽。

优选的，所述限位杆的左端表面开设有与螺纹槽适配的螺纹。

优选的，所述晶圆盒的上表面通过合页转动连接有盒盖，所述盒盖的上表面固定安装有用于打开盒盖的把手。

优选的，所述转杆的表面套设有防滑橡胶套。

有益效果

本实用新型提供了一种SMT晶圆固定装置，具备以下有益效果：

1.该SMT晶圆固定装置，通过设置晶圆盒、限位箱、横向固定框、竖向固定框、固定块、固定杆、转杆、限位杆和衔接杆，当晶圆存放在晶圆盒中的竖向固定框和横向固定框内时，转动转杆，限位箱向左移动，从而使限位箱内壁的竖向固定框将晶圆夹紧固定，保证了晶圆在搬运过程中的稳定性。

2.该SMT晶圆固定装置，通过设置盒盖和把手，使晶圆在存放和取出时更加方便，通过设置海绵层，使晶圆盒中的晶圆在存取时不会受到硬性摩擦，达到了保护晶圆的效果，同时也缓解了搬运过程中的震动或晃动。

附图说明

图1为本实用新型正剖结构示意图；

图2为本实用新型正视结构示意图；

图3为本实用新型转杆正剖结构示意图；

图4为本实用新型俯剖结构示意图。

图中：1晶圆盒、2限位箱、3竖向固定框、4横向固定框、5晶圆、6固定块、7固定杆、8转杆、9轴承、10限位杆、11衔接杆、12海绵层、13滑块、14盒盖、15把手、16防滑橡胶套。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种SMT晶圆固定装置，包括晶圆盒1，晶圆盒1的上表面通过合页转动连接有盒盖14，盒盖14的上表面固定安装有用于打开盒盖14的把手15，晶圆盒1的内壁滑动连接有限位箱2，限位箱2的正面和背面均固定安装有滑块13，晶圆盒1的内前壁和内后壁均开设有供滑块13滑动的滑槽。

晶圆盒1的左内壁和限位箱2的右内壁均固定安装有若干个竖向固定框3，晶圆盒1的内底壁固定安装有若干个横向固定框4，竖向固定框3和横向固定框4的内壁均固定连接有海绵层12，若干个横向固定框4和左侧竖向固定框3的内壁均搭接有晶圆5，通过设置盒盖14和把手15，使晶圆5在存放和取出时更加方便，通过设置海绵层12，使晶圆盒1中的晶圆5在存取时不会受到硬性摩擦，达到了保护晶圆5的效果，同时也缓解了搬运过程中的震动或晃动。

晶圆盒1的正面和背面均固定安装有固定块6，固定块6的右侧面固定安装有固定杆7，固定杆7的右端转动连接有转杆8，转杆8的表面套设有防滑橡胶套16，转杆8的左端开设有凹槽，凹槽的内壁固定安装有轴承9，轴承9的内壁与固定杆7的右端表面固定连接，转杆8的右端开设有螺纹槽，螺纹槽的内壁螺纹连接有限位杆10，限位杆10的左端表面开设有与螺纹槽适配的螺纹，限位杆10的右端固定安装有衔接杆11，衔接杆11的侧面与限位箱2的右侧面固定连接，通过设置晶圆盒1、限位箱2、横向固定框4、竖向固定框3、固定块6、固定杆7、转杆8、限位杆10和衔接杆11，当晶圆5存放在晶圆盒1中的竖向固定框3和横向固定框4内时，转动转杆8，限位箱2向左移动，从而使限位箱2内壁的竖向固定框3将晶圆5夹紧固定，保证了晶圆5在搬运过程中的稳定性。

工作原理：在对晶圆5进行存放时，首先通过把手15打开盒盖14，将晶圆5放置在晶圆盒1内壁的竖向固定框3和横向固定框4内并与海绵层12接触，通过设置海绵层12，使晶圆盒1中的晶圆5在存取时不会受到硬性摩擦，达到了保护晶圆5的效果，同时也缓解了搬运过程中的震动或晃动，之后转动转杆8，转杆8的转动带动限位杆10向左移动，限位杆10向左移动带动限位箱2向左移动，从而使限位箱2内壁的竖向固定框3将晶圆5夹紧固定，保证了晶圆5在搬运过程中的稳定性，存放完成后通过把手15关闭盒盖14。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种SMT晶圆固定装置，包括晶圆盒(1)，其特征在于：所述晶圆盒(1)的内壁滑动连接有限位箱(2)，所述晶圆盒(1)的左内壁和限位箱(2)的右内壁均固定安装有若干个竖向固定框(3)，所述晶圆盒(1)的内底壁固定安装有若干个横向固定框(4)，若干个所述横向固定框(4)和左侧竖向固定框(3)的内壁均搭接有晶圆(5)，所述晶圆盒(1)的正面和背面均固定安装有固定块(6)，所述固定块(6)的右侧面固定安装有固定杆(7)，所述固定杆(7)的右端转动连接有转杆(8)，所述转杆(8)的左端开设有凹槽，所述凹槽的内壁固定安装有轴承(9)，所述轴承(9)的内壁与固定杆(7)的右端表面固定连接，所述转杆(8)的右端开设有螺纹槽，所述螺纹槽的内壁螺纹连接有限位杆(10)，所述限位杆(10)的右端固定安装有衔接杆(11)，所述衔接杆(11)的侧面与限位箱(2)的右侧面固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种SMT晶圆固定装置，其特征在于：所述竖向固定框(3)和横向固定框(4)的内壁均固定连接有海绵层(12)。

3.根据权利要求1所述的一种SMT晶圆固定装置，其特征在于：所述限位箱(2)的正面和背面均固定安装有滑块(13)，所述晶圆盒(1)的内前壁和内后壁均开设有供滑块(13)滑动的滑槽。

4.根据权利要求1所述的一种SMT晶圆固定装置，其特征在于：所述限位杆(10)的左端表面开设有与螺纹槽适配的螺纹。

5.根据权利要求1所述的一种SMT晶圆固定装置，其特征在于：所述晶圆盒(1)的上表面通过合页转动连接有盒盖(14)，所述盒盖(14)的上表面固定安装有用于打开盒盖(14)的把手(15)。

6.根据权利要求1所述的一种SMT晶圆固定装置，其特征在于：所述转杆(8)的表面套设有防滑橡胶套(16)。

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