CN219418958U - 一种晶圆料盒固定机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种晶圆料盒固定机构，包括：料盒固定座；夹紧单元，设于料盒固定座上，用于对晶圆放料盒的位置进行限位固定；限位组件，设于料盒固定座上，用于配合夹紧单元对晶圆放料盒进行限位固定；旋转组件，用于使料盒固定座进行旋转从而让料盒固定座再使晶圆放料盒处于放置工位以及检测工位之间进行切换。在本实用新型中，因为当工作人员将晶圆放料盒放到料盒固定座上并使晶圆放料盒处于放置工位时，晶圆会受其倾斜角度以及惯性的作用，统一向相对于晶圆放料盒开口端的一端滑动，从而使晶圆放料盒中的晶圆能够排列整齐，进而保证了机械手取用晶圆时的稳定性，使得解决了拿取晶圆不稳定以及晶圆容易掉落的问题。

Description

一种晶圆料盒固定机构

技术领域

本实用新型涉及晶圆生产加工技术领域，具体涉及一种晶圆料盒固定机构。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，是高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。之后，硅晶棒再经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。当晶圆在生产完成后，需要对晶圆的性能以及品质进行检测，从而判断生产出的晶圆是否合格。

在现有技术中，当需要对晶圆的性能以及品质进行检测时，工作人员需要手动将生产好的晶圆放入晶圆放料盒内，然后再将晶圆放料盒放入到晶圆检测用放料装置中，最后由晶圆检测装置中的机械手将晶圆放料盒取出，并将其放在检测位置上。但是，在手动将晶圆放入晶圆放料盒中时，由于晶圆放料盒一般是水平放置，所以手动放入晶圆会使晶圆受惯性的作用在晶圆放料盒内有一定的水平滑动。并且，在将晶圆放料盒放置在晶圆检测用放料装置上时，由于晶圆放料盒自身出现位置移动以及放置姿势改变的情况下，会使晶圆放料盒中晶圆的位置发生改变，导致晶圆在晶圆放料盒内会出现排列不齐的情况。又因为，晶圆检测装置中的机械手只会按照晶圆排列对齐时的预定位置取用晶圆，所以导致排列不齐的晶圆在被取用时，会存在拿取晶圆不稳定以及晶圆容易掉落的问题，具有局限性。

实用新型内容

本实用新型是为了解决上述问题而进行的，目的在于提供一种晶圆料盒固定机构。

本实用新型提供了一种晶圆料盒固定机构，设于晶圆检测用放料装置上，用于对晶圆放料盒进行定位固定，并将晶圆放料盒内的晶圆排列整齐，晶圆放料盒至少具有两个侧板和连接在侧板上方的顶板，两个侧板的一端与顶板的一端形成用于取放晶圆的侧向开口端，两个侧板之间设有用于放置晶圆的放置台，两个侧板的一端上均设有沿开口端的端面向两个侧板的外侧延伸的凸出板，具有这样的特征，包括：料盒固定座，用于放置晶圆放料盒；夹紧单元，设于料盒固定座上，用于对晶圆放料盒的位置进行限位固定；限位组件，设于料盒固定座上，用于配合夹紧单元对晶圆放料盒进行限位固定；旋转组件，用于使料盒固定座进行旋转，从而让料盒固定座在使晶圆放料盒处于开口端倾斜朝向晶圆检测用放料装置的内侧上方的放置工位，以及使晶圆放料盒处于开口端水平朝向晶圆检测用放料装置的内侧的检测工位之间进行切换。

在本实用新型提供的晶圆料盒固定机构中，还可以具有这样的特征：旋转组件包括两个第一连接件和第一驱动件，两个第一连接件的一端分别连接于料盒固定座的两侧，另一端均与第一驱动件的输出端连接，第一驱动件设于料盒固定座的下方，第一驱动件通过两个第一连接件驱动料盒固定座进行转动。

在本实用新型提供的晶圆料盒固定机构中，还可以具有这样的特征：夹紧单元包括第一限位件和夹紧组件，第一限位件呈板条状，第一限位件设于料盒固定座上，且位于开口端的前侧，第一限位件的长度等于或大于两个侧板之间的尺寸，夹紧组件用于与第一限位件相配合从而夹紧凸出板。

在本实用新型提供的晶圆料盒固定机构中，还可以具有这样的特征：夹紧组件包括第二连接件、两个承托件、两个夹紧件以及第二驱动件，第二连接件设于料盒固定座的下方，第二连接件与第二驱动件的输出端连接，两个承托件均设于第二连接件上，承托件的上表面均与料盒固定座的上表面平齐，两个夹紧件分别设于两个承托件上，且分别与两个凸出板对应设置，两个夹紧件用于与第一限位件相配合从而分别对两个凸出板进行夹紧，第二驱动件设于料盒固定座的下方，第二驱动件通过第二连接件和承托件驱动两个夹紧件靠近或远离第一限位件。

在本实用新型提供的晶圆料盒固定机构中，还可以具有这样的特征：料盒固定座上开设有供两个承托件移动的开口。

在本实用新型提供的晶圆料盒固定机构中，还可以具有这样的特征：夹紧件呈L型结构，具有横部和竖部，横部用于与第一限位件相配合从而夹紧对应的凸出板，竖部用于与另一夹紧件的竖部相配合从而夹紧两个侧板。

在本实用新型提供的晶圆料盒固定机构中，还可以具有这样的特征：晶圆放料盒的两个侧板的一端上分别设有锁销和锁孔，第一限位件朝向晶圆放料盒的外壁上设有用于与锁销卡合的凹槽和用于与锁孔卡合的凸起。

在本实用新型提供的晶圆料盒固定机构中，还可以具有这样的特征：夹紧单元还包括两个滑杆和两个滑块，两个滑杆设于料盒固定座的下方，两个滑杆分别与两个承托件对应设置，两个滑块均设于第二连接件上，并分别与两个滑杆滑动连接。

在本实用新型提供的晶圆料盒固定机构中，还可以具有这样的特征：料盒固定座具有用于放置晶圆放料盒的底板，底板在晶圆放料盒处于检测工位时与地面平行。

在本实用新型提供的晶圆料盒固定机构中，还可以具有这样的特征：限位组件包括两个第二限位件，两个第二限位件之间的距离等于晶圆放料盒的两个侧板之间的距离。

实用新型的作用与效果

根据本实用新型所涉及的晶圆检测用放料装置，因为料盒固定座能够放置不同尺寸的晶圆放料盒，且旋转组件能够使料盒固定座进行转动，使得料盒固定座上的晶圆放料盒能够处于开口端倾斜朝向机架内侧上方的放置工位或开口端水平朝向机架内侧的检测工位，所以当工作人员将晶圆放料盒放到料盒固定座上并使晶圆放料盒处于放置工位，此时，晶圆放料盒中的晶圆会受其倾斜角度和惯性的作用，统一向相对于晶圆放料盒开口端的一端滑动，使得晶圆放料盒中的晶圆能够排列整齐，从而能够解决晶圆在晶圆放料盒内出现排列不齐的问题。然后，旋转组件再使料盒固定座进行转动，使晶圆放料盒处于检测工位，因为晶圆放料盒内的晶圆已排列整齐，所以晶圆检测装置中的机械手在取用晶圆放料盒时，不会出现拿取晶圆不稳定以及晶圆容易掉落的问题，从而保证了晶圆检测装置中的机械手取用晶圆时的稳定性。

附图说明

图1是本实用新型的实施例中晶圆料盒固定机构设于晶圆检测用放料装置上的结构示意图；

图2是本实用新型的实施例中晶圆料盒固定机构设于晶圆检测用放料装置上另一视角下的结构示意图；

图3是图2中的A处放大图；

图4是本实用新型的实施例中晶圆料盒固定机构的结构示意图；

图5是本实用新型的实施例中晶圆料盒固定机构另一视角下的结构示意图；

图6是图5中的B处放大图；

图7是本实用新型的实施例中晶圆放料盒的结构示意图；

图8是本实用新型的实施例中晶圆放料盒另一视角下的结构示意图；

图9是本实用新型的实施例中晶圆放料盒放置于晶圆料盒固定机构上并处于放置工位的示意图；

图10是本实用新型的实施例中晶圆放料盒放置于晶圆料盒固定机构上并处于检测工位的示意图。

100、晶圆检测用放料装置；10、晶圆料盒固定机构；11、料盒固定座；111、底板；112、开口；12、旋转组件；121、第一连接件；122、第一驱动件；13、夹紧单元；131、第一限位件；1311、凸起；1312、凹槽；132、夹紧组件；1321、第二连接件；1322、承托件；1323、夹紧件；1324、第二驱动件；133、滑杆；134、滑块；14、限位组件；141、第二限位件；20、晶圆放料盒；21、侧板；22、顶板；23、凸出板；24、放置台；25、锁销；26、锁孔；27、通孔；28、下板；30、基座。

具体实施方式

为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，以下实施例结合附图对本实用新型作具体阐述。

实施例

图1是本实用新型中晶圆料盒固定机构设于晶圆检测用放料装置上的结构示意图。

如图1所示，本实施例提供了一种晶圆料盒固定机构10，设于晶圆检测用放料装置100上，用于对晶圆放料盒20进行定位固定，并将晶圆放料盒20内的晶圆排列整齐，晶圆放料盒20至少具有两个侧板21和连接在侧板21上方的顶板22，两个侧板21的一端与顶板22的一端形成用于取放晶圆的侧向开口端，两个侧板21之间设有用于放置晶圆的放置台24，两个侧板21的一端上均设有沿开口端的端面向两个侧板21的外侧延伸的凸出板23，包括：料盒固定座11、旋转组件12、夹紧单元13以及限位组件14。在本实施例中，晶圆放料盒20还包括连接在两个侧板21下方的下板28。

图2是本实用新型中晶圆料盒固定机构的结构示意图，图3是图2中的A处放大图。

如图1、图2以及图3所示，料盒固定座11用于放置晶圆放料盒20。在本实施例中，料盒固定座11上开设有供夹紧单元13中部分零件移动的开口112，料盒固定座11具有用于放置晶圆放料盒20的底板111，底板111在晶圆放料盒20处于检测工位时与地面平行。其中，底板111位于晶圆检测用放料装置100中基座30的上方，所以便于夹紧单元13中的部分零件安装在料盒固定座11的下方，从而保证了本实用新型晶圆料盒固定机构10的实用效果。

如图1所示，旋转组件12用于使料盒固定座11进行旋转从而让料盒固定座11再使晶圆放料盒20处于开口端倾斜朝向晶圆检测用放料装置100的内侧上方的放置工位以及使晶圆放料盒20处于开口端水平朝向晶圆检测用放料装置100的内侧的检测工位之间进行切换。在本实施例中，旋转组件12包括两个第一连接件121和第一驱动件122，两个第一连接件121的一端分别连接于料盒固定座11的两侧，另一端均与第一驱动件122的输出端连接，第一驱动件122设于料盒固定座11的下方，第一驱动件122通过两个第一连接件121驱动料盒固定座11进行转动。其中，第一驱动件122为双头双输出电机，并位于晶圆检测用放料装置100中基座30的下方，两个第一连接件121的一端贯穿晶圆检测用放料装置100的基座30连接于料盒固定座11的两侧，另一端分别与第一驱动件122的两个输出端连接。晶圆检测用放料装置100的基座30上开设有供两个第一连接件121进行转动的匚形孔。工作时，因为第一驱动件122为双头双输出电机，所以能够同时通过两个第一连接件121使料盒固定座11进行旋转，从而保证了料盒固定座11两侧转动的角度相同，使得底板111不会向两侧倾斜，进而保证了料盒固定座11转动时的稳定性。又因为基座30上开设有供两个第一连接件121进行转动的匚形孔，所以两个第一连接件121能够带动料盒固定座11进行旋转，从而保证了本实用新型晶圆料盒固定机构10工作的无缺性。

图4是本实用新型中晶圆料盒固定机构的结构示意图，图5是本实用新型中晶圆料盒固定机构另一视角下的结构示意图，图6是图5中的B处放大图，图7是本实用新型中晶圆放料盒的结构示意图，图8是本实用新型中晶圆放料盒另一视角下的结构示意图。

如图2至图8所示，夹紧单元13设于料盒固定座11上，用于对晶圆放料盒20的位置进行限位固定。在本实施例中，夹紧单元13包括第一限位件131和夹紧组件132，第一限位件131呈板条状，第一限位件131设于料盒固定座11上，且位于开口端的前侧，第一限位件131的长度等于或大于两个侧板21之间的尺寸，夹紧组件132用于与第一限位件131相配合从而夹紧凸出板23。其中，晶圆放料盒20的两个侧板21的一端上分别设有锁销25和锁孔26，第一限位件131朝向晶圆放料盒20的外壁上设有用于与锁销25卡合的凹槽1312和用于与锁孔26卡合的凸起1311。而且，第一限位件131朝向晶圆放料盒20的外壁上设有用于与锁销25卡合的凹槽1312，也可设置成孔的形式。工作时，工作人员将晶圆放料盒20放置在料盒固定座11的底板111上，然后将晶圆放料盒20上的锁销25与锁孔26分别与第一限位件131上的凹槽1312和凸起1311卡合，从而对晶圆放料盒20进行初步的定位固定，防止晶圆放料盒20发生位置移动的问题，进而当晶圆放料盒20处于放置工位时，保证晶圆放料盒20中的晶圆会受倾斜角度以及惯性的作用，统一向相对于晶圆放料盒20开口端的一端滑动，使得晶圆放料盒20中的晶圆能够排列整齐。

在本实施例中，夹紧组件132包括第二连接件1321、两个承托件1322、两个夹紧件1323以及第二驱动件1324，第二连接件1321设于料盒固定座11的下方，第二连接件1321与第二驱动件1324的输出端连接，两个承托件1322均设于第二连接件1321上，承托件1322的上表面均与料盒固定座11的上表面平齐，两个夹紧件1323分别设于两个承托件1322上，且分别与两个凸出板23对应设置，两个夹紧件1323用于与第一限位件131相配合从而分别对两个凸出板23进行夹紧，第二驱动件1324设于料盒固定座11的下方，第二驱动件1324通过第二连接件1321和承托件1322驱动两个夹紧件1323靠近或远离第一限位件131。夹紧件1323呈L型结构，具有横部和竖部，横部用于与第一限位件131相配合从而夹紧对应的凸出板23，竖部用于与另一夹紧件1323的竖部相配合从而夹紧两个侧板21。其中，第二驱动件1324优选为电动推缸，两个承托件1322分别位于料盒固定座11上的两个开口112中，两个侧板21的外板面且靠近第一限位件131以及底板111的位置上均设有通孔27。当晶圆放料盒20上的锁销25和锁孔26分别与第一限位件131上的凹槽1312和凸起1311卡合之后，第二驱动件1324驱动第二连接件1321进行移动，使得第二连接件1321上的两个承托件1322分别在料盒固定座11上的两个开口112中进行移动，并使得两个承托件1322上的两个夹紧件1323靠近第一限位件131，从而两个夹紧件1323的横部能够配合第一限位件131对晶圆放料盒20的两个凸出板23进行夹紧。又因为两个夹紧件1323相对设置在两个承托件1322上，所以两个夹紧件1323的竖部能够相互配合对晶圆放料盒20的两个侧板21进行夹紧，或是两个夹紧件1323的竖部能够分别与两个侧板21上的通孔27卡合，来实现对晶圆放料盒20的两个侧板21进行夹紧的目的，从而加强了对晶圆放料盒20的定位固定，进而当晶圆放料盒20处于放置工位时，晶圆放料盒20不会发生移动，提高了对晶圆放料盒20内晶圆的防护，并保证了本实用新型晶圆料盒固定机构10使晶圆能够排列整齐的工作效果。

在本实施例中，夹紧单元13还包括两个滑杆133和两个滑块134，两个滑杆133设于料盒固定座11的下方，两个滑杆133分别与两个承托件1322对应设置，两个滑块134均设于第二连接件1321上，并分别与两个滑杆133滑动连接。其中，两个滑杆133分别贯穿两个承托件1322。当第二驱动件1324驱动第二连接件1321进行移动时，第二连接件1321上的滑块134也会在对应的滑杆133上进行滑动，从而能够减小第二驱动件1324的驱动力，并提高第二连接件1321的移动效果，进而能够提高第二连接件1321移动过程中的稳定性，并保证夹紧组件132能够配合第一限位件131对晶圆放料盒20的夹紧效果。

如图2所示，限位组件14设于料盒固定座11上，用于配合夹紧单元13对晶圆放料盒20进行限位固定。在本实施例中，限位组件14包括两个第二限位件141，两个第二限位件141之间的距离等于晶圆放料盒20的两个侧板21之间的距离。其中，第二限位件141能够为L型结构或块状结构。工作时，因为两个第二限位件141之间的距离等于晶圆放料盒20的两个侧板21之间的距离，所以两个第二限位件141能够防止晶圆放料盒20处于放置工位时，发生左右移动，从而进一步的提高了对晶圆放料盒20的定位固定，进而保证了本实用新型晶圆料盒固定机构10工作时的稳定性。

图9是本实用新型的实施例中晶圆放料盒放置于晶圆料盒固定机构上并处于放置工位的示意图，图10是本实用新型的实施例中晶圆放料盒放置于晶圆料盒固定机构上并处于检测工位的示意图。

如图1至图10所示，当本实用新型晶圆料盒固定机构10进行工作时，工作人员需要预先将晶圆放置到晶圆放料盒20中，并预先通过第一驱动件122驱动两个第一连接件121使料盒固定座11进行旋转。然后工作人员将晶圆放料盒20放置到料盒固定座11上。接着，工作人员将晶圆放料盒20上的锁销25和锁孔26分别与第一限位件131上凹槽1312和凸起1311卡合。紧接着，工作人员再通过第二驱动件1324驱动第二连接件1321移动，使两个承托件1322在相对应的开口112中进行移动，并使两个承托件1322上的两个夹紧件1323向第一限位件131移动，从而使两个夹紧件1323的横部能够配合第一限位件131分别对晶圆放料盒20的两个凸出板23进行夹紧，使两个夹紧件1323的竖部能够相互配合对晶圆放料盒20的两个侧板21进行夹紧。此时，晶圆放料盒20处于开口端倾斜朝向晶圆检测用放料装置100的内侧上方的放置工位，所以晶圆放料盒20内的晶圆会受到倾斜角度以及惯性的作用下，统一向相对于晶圆放料盒20开口端的一端滑动，使得晶圆放料盒20中的晶圆能够排列整齐。最后，工作人员再通过第一驱动件122驱动两个第一连接件121使料盒固定座11进行旋转，从而让晶圆放料盒20处于开口端水平朝向晶圆检测用放料装置100的内侧的检测工位。此时，因为晶圆放料盒20中的晶圆排列整齐，所以方便了晶圆检测装置中的机械手取用晶圆，从而不会出现在取用晶圆时存在不稳定的问题以及存在晶圆容易掉落的问题。

实施例的作用与效果

根据本实施例所涉及的晶圆料盒固定机构，因为旋转组件能够使料盒固定座进行旋转，并使料盒固定座上的晶圆放料盒能够处于开口端倾斜朝向晶圆检测用放料装置的内侧上方的放置工位或开口端水平朝向晶圆检测用放料装置的内侧的检测工位，所以当工作人员将晶圆放料盒放到料盒固定座上并使晶圆放料盒处于放置工位时，晶圆放料盒中的晶圆会受其倾斜角度以及惯性的作用，统一向相对于晶圆放料盒开口端的一端滑动，从而能够解决晶圆因水平滑动导致排列不齐的问题，使得晶圆放料盒中的晶圆排列整齐。然后旋转组件再次使料盒固定座进行旋转，使得晶圆放料盒处于检测工位时，因为晶圆放料盒中的晶圆已排列整齐，所以能够解决晶圆取用时存在极不稳定的问题以及存在晶圆容易掉落的问题，从而保证了晶圆检测装置中的机械手取用晶圆时的稳定性。并且，又因为料盒固定座上的夹紧单元和限位组件能够对晶圆放料盒进行固定，所以旋转组件使料盒固定座进行转动时，晶圆放料盒不会发生移动，从而保证了本实用新型晶圆料盒固定机构工作时的稳定性。

进一步地，因为晶圆料盒固定机构中第一驱动件为双头双输出电机，所以能够同时通过两个第一连接件使料盒固定座进行旋转，从而保证了料盒固定座两侧转动的角度相同，使得底板不会向两侧倾斜，进而保证了料盒固定座转动时的稳定性。

进一步地，因为晶圆料盒固定机构中第一限位件朝向晶圆放料盒的外壁上设有用于与锁销卡合的凹槽和用于与锁孔卡合的凸起，所以能够对晶圆放料盒进行初步的定位固定，防止晶圆放料盒出现位置移动的问题，从而当晶圆放料盒处于放置工位时，保证晶圆放料盒中的晶圆会受倾斜角度以及惯性的作用，统一向相对于晶圆放料盒开口端的一端滑动，使得晶圆放料盒中的晶圆能够排列整齐。

进一步地，因为晶圆料盒固定机构中第二驱动件通过第二连接件和承托件驱动两个夹紧件靠近或远离第一限位件，且夹紧件的横部用于与第一限位件相配合从而夹紧对应的凸出板，竖部用于与另一夹紧件的竖部相配合从而夹紧两个侧板，所以加强了对晶圆放料盒的定位固定，从而当晶圆放料盒处于放置工位时，晶圆放料盒不会发生移动，进而提高了对晶圆放料盒内晶圆的防护，并保证了本实用新型晶圆料盒固定机构使晶圆能够排列整齐的工作效果。

进一步地，因为晶圆料盒固定机构中夹紧单元还包括两个滑杆和两个滑块，所以当第二驱动件驱动第二连接件进行移动时，第二连接件上的滑块也会在对应的滑杆上进行滑动，从而能够减小第二驱动件的驱动力，并提高第二连接件的移动效果，进而能够提高第二连接件移动过程中的稳定性，并保证夹紧组件能够配合第一限位件对晶圆放料盒的夹紧效果。

进一步地，因为晶圆料盒固定机构中两个第二限位件之间的距离等于晶圆放料盒的两个侧板之间的距离，所以两个第二限位件能够防止晶圆放料盒处于放置工位时，发生左右移动，从而进一步的提高了对晶圆放料盒的定位固定，进而保证了本实用新型晶圆料盒固定机构工作时的稳定性。

上述实施方式为本实用新型的优选案例，并不用来限制本实用新型的保护范围。

Claims (8)

1.一种晶圆料盒固定机构，设于晶圆检测用放料装置上，用于对晶圆放料盒进行定位固定，并将所述晶圆放料盒内的晶圆排列整齐，所述晶圆放料盒至少具有两个侧板和连接在所述侧板上方的顶板，两个所述侧板的一端与所述顶板的一端形成用于取放晶圆的侧向开口端，两个所述侧板之间设有用于放置晶圆的放置台，两个所述侧板的一端上均设有沿所述开口端的端面向两个所述侧板的外侧延伸的凸出板，其特征在于，包括：

料盒固定座，用于放置所述晶圆放料盒；

夹紧单元，设于所述料盒固定座上，用于对所述晶圆放料盒的位置进行限位固定，所述夹紧单元包括第一限位件和夹紧组件，

所述第一限位件呈板条状，所述第一限位件设于所述料盒固定座上，且位于所述开口端的前侧，所述第一限位件的长度等于或大于两个所述侧板之间的尺寸，

所述夹紧组件用于与所述第一限位件相配合从而夹紧所述凸出板；

限位组件，设于所述料盒固定座上，用于配合所述夹紧单元对所述晶圆放料盒进行限位固定；

旋转组件，用于使所述料盒固定座进行旋转，从而让所述料盒固定座使所述晶圆放料盒处于所述开口端倾斜朝向所述晶圆检测用放料装置的内侧上方的放置工位，以及使所述晶圆放料盒处于所述开口端水平朝向所述晶圆检测用放料装置的内侧的检测工位之间进行切换；

其中，所述晶圆放料盒的两个侧板的一端上分别设有锁销和锁孔，所述第一限位件朝向所述晶圆放料盒的外壁上设有用于与所述锁销卡合的凹槽和用于与所述锁孔卡合的凸起。

2.根据权利要求1所述的晶圆料盒固定机构，其特征在于：

其中，所述旋转组件包括两个第一连接件和第一驱动件，

两个所述第一连接件的一端分别连接于所述料盒固定座的两侧，另一端均与所述第一驱动件的输出端连接，所述第一驱动件设于所述料盒固定座的下方，所述第一驱动件通过两个所述第一连接件驱动所述料盒固定座进行转动。

3.根据权利要求1所述的晶圆料盒固定机构，其特征在于：

其中，所述夹紧组件包括第二连接件、两个承托件、两个夹紧件以及第二驱动件，

所述第二连接件设于所述料盒固定座的下方，所述第二连接件与所述第二驱动件的输出端连接，

两个所述承托件均设于所述第二连接件上，所述承托件的上表面均与所述料盒固定座的上表面平齐，

两个所述夹紧件分别设于两个所述承托件上，且分别与两个所述凸出板对应设置，两个所述夹紧件用于与所述第一限位件相配合从而分别对两个所述凸出板进行夹紧，

所述第二驱动件设于所述料盒固定座的下方，所述第二驱动件通过所述第二连接件和所述承托件驱动两个所述夹紧件靠近或远离所述第一限位件。

4.根据权利要求3所述的晶圆料盒固定机构，其特征在于：

其中，所述料盒固定座上开设有供两个所述承托件移动的开口。

5.根据权利要求3所述的晶圆料盒固定机构，其特征在于：

其中，所述夹紧件呈L型结构，具有横部和竖部，所述横部用于与所述第一限位件相配合从而夹紧对应的所述凸出板，所述竖部用于与另一所述夹紧件的竖部相配合从而夹紧两个所述侧板。

6.根据权利要求1所述的晶圆料盒固定机构，其特征在于：

其中，夹紧单元还包括两个滑杆和两个滑块，

两个所述滑杆设于所述料盒固定座的下方，两个所述滑杆分别与所述夹紧组件中的两个承托件对应设置，

两个所述滑块均设于所述夹紧组件中的第二连接件上，并分别与两个所述滑杆滑动连接。

7.根据权利要求1所述的晶圆料盒固定机构，其特征在于：

其中，所述料盒固定座具有用于放置所述晶圆放料盒的底板，所述底板在所述晶圆放料盒处于检测工位时与地面平行。

8.根据权利要求1所述的晶圆料盒固定机构，其特征在于：

其中，所述限位组件包括两个第二限位件，两个所述第二限位件之间的距离等于所述晶圆放料盒的两个侧板之间的距离。