CN112885759B - 圆传送盒顶部连接件的拆除装置及拆除方法 - Google Patents

圆传送盒顶部连接件的拆除装置及拆除方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种晶圆传送盒顶部的连接件的拆除装置及拆除方法，包括承载台、固定单元及拆除单元，所述固定单元将侧放的晶圆传送盒固定在承载台上，拆除单元的顶块通过螺杆固定在支撑块的上方，并在所述螺杆的带动下上下移动，从连接件的下缘向上推动所述连接件以将所述连接件拆除。本发明提供的晶圆传送盒顶部的连接件的拆除装置减小了晶圆传送盒顶部的连接件拆除的作业难度，规避了暴力拆除导致的盒体损伤问题，且所述拆除装置简单易操作，拆除效率高，风险低。

Description

圆传送盒顶部连接件的拆除装置及拆除方法
技术领域
本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种晶圆传送盒顶部的连接件的拆除装置及拆除方法。
背景技术
在现今的半导体制程中，需要利用多种方法，对晶圆(Wafer)来进行加工，晶圆会经过一系列的制程设备，过程中需要经过多次运送，因此在保管及搬运晶圆时，需要注意不会因外部的冲击而被损伤，并且需要进行管理，以使晶圆的表面不被水分、灰尘、各种有机物等杂质污染。
前开式晶圆传送盒(Front Opening Shipping Box，FOSB)是半导体制程中被使用来保护、运送、并储存晶圆的一种容器，其容置空间可以容纳多片晶圆(一般为25片)。在半导体制造过程中，晶圆传送盒作为晶圆临时存储和各机台间晶圆传送的工具，起到了极其重要的作用。晶圆传送盒的容置空间为密闭的空间，内环境保持稳定和洁净，可以避免晶圆与外环境的直接接触，保证工艺的稳定同时减少环境影响因素。
图1A和图1B为前开式晶圆传送盒的部分结构示意图，如图1A和图1B所示，晶圆被装入晶圆传送盒中后送到相应的制程机台上，机台上的机械臂伸入晶圆传送盒10中抓取晶圆，以对晶圆进行相关操作，在该制程机台完成相关制程后，机台上的机械臂将晶圆放入晶圆传送盒10，再通过晶圆传送盒10将晶圆传送的下一个制程机台上以完成相应的操作。
晶圆传送盒的盒体大致为长方体形，所述盒体包括顶部11、底座12及连接顶部11和底座12的侧壁13，顶部11、底座12和侧壁13共同围设形成容置空间14，其中一侧壁13为盒体的门，可开合以打开或封闭容置空间14，一相对的侧壁13上设置有把手15，两个把手15相对设置从而便于操作人员搬运晶圆传送盒10。所述盒体的顶部11上设置有连接件16，用于在晶圆加工过程中与转运机构连接。即，在晶圆加工过程中，转运结构与晶圆传送盒10的连接件16连接，从而使得晶圆传送盒10通过转运机构移动到不同的制程机台上。所述连接件16一般为法兰(top handle flange)，不同的转运机构对所述连接件16有不同配置要求，所述连接件16日常安装/拆除作业频繁，包装工序作业员需使用橡皮锤及一字螺丝刀，进行晶圆传送盒10的连接件16的日常拆除作业。为保证连接件16在顶部的手持强度，盒体的顶部有卡槽、防脱卡扣及中心孔顶柱等设计，连接件16安装到位后极难拆除，耗时长且不可控暴力拆除导致盒体损伤。
发明内容
本发明的目的在于提供一种晶圆传送盒顶部的连接件的拆除装置及拆除方法，以减小连接件的拆除难度，规避暴力拆除导致的盒体损伤问题。
本发明提供一种晶圆传送盒顶部的连接件的拆除装置，包括：
承载台，用于承载侧放的晶圆传送盒；
固定单元，用于固定所述晶圆传送盒；
拆除单元，包括支撑块、螺杆及顶块，所述支撑块固定在所述承载台的一侧，并与所述连接件的位置相对应，所述顶块通过所述螺杆固定在所述支撑块的上方，转动所述螺杆带动所述顶块上下移动，使所述顶块从所述连接件的下缘向上推动所述连接件以将所述连接件拆除。
可选的，所述顶块上设置有顶舌，所述顶块移动至所述连接件的下缘时，所述顶舌插入位于所述连接件的卡槽内，以将所述连接件与所述晶圆传送盒的顶部解锁。
可选的，所螺杆的顶部设置有手轮，通过转动所述手轮带动所述螺杆转动，以上下移动所述顶块。
可选的，所述拆除单元还包括导杆，所述导杆固定在所述支撑块上，且贯穿所述顶块以在水平方向固定所述顶块。
可选的，所述螺杆的顶部还设置有平衡块，所述螺杆贯穿所述平衡块与所述手轮连接，所述导杆异于所述支撑块的一端固定在所述平衡块上。
可选的，所述拆除装置还包括滑动单元，所述滑动单元包括滑动导轨及滑块，所述滑动导轨固定在所述承载台的一侧，且所述滑动导轨的滑动方向垂直于所述晶圆传送盒的顶部所在的平面，所述支撑块固定在所述滑块上，通过在所述滑动导轨上滑动所述滑块以移动所述拆除单元，使所述顶块在水平方向靠近所述连接件。
可选的，所述固定单元包括固定桩和固定扣，所述固定桩位于所述承载台的两侧，所述固定扣位于所述固定桩的顶部，且通过固定所述晶圆传送盒的两侧的把手以固定所述晶圆传送盒。
相应的，本发明还提供一种晶圆传送盒顶部的连接件的拆除方法，采用如上所述的圆传送盒顶部的连接件的拆除装置进行连接件的拆除，包括：
晶圆传送盒侧放于承载台；
固定单元固定所述晶圆传送盒；以及
拆除单元的顶块在所述螺杆的带动下上下移动，从所述连接件的下缘向上推动所述连接件以将所述连接件拆除。
可选的，所述固定单元的固定桩位于所述承载台的两侧，通过所述固定桩的顶部的固定扣固定所述晶圆传送盒的两侧的把手以固定所述晶圆传送盒。
可选的，所述顶块移动至所述连接件的下缘时，所述顶块上设置的顶舌插入位于所述连接件的卡槽内，以将所述连接件从所述晶圆传送盒的顶部解锁。
可选的，通过转动所述螺杆的顶部的手轮带动所述螺杆，以上下移动所述顶块。
可选的，拆除单元的顶块在所述螺杆的带动下上下移动，从所述连接件的下缘向上推动所述连接件以将所述连接件拆除之前，还包括：所述支撑块固定在滑动单元的滑块上，通过在滑动轨道上滑动所述滑块以移动所述拆除单元，使所述顶块在水平方向靠近所述连接件。
综上，本发明提供的晶圆传送盒顶部的连接件的拆除装置中，固定单元将侧放的晶圆传送盒固定在承载台上，拆除单元的顶块通过螺杆固定在支撑块的上方，并在所述螺杆的带动下上下移动，从连接件的下缘向上推动所述连接件以将所述连接件拆除。本发明提供的晶圆传送盒顶部的连接件的拆除装置减小了晶圆传送盒顶部的连接件拆除的作业难度，规避了暴力拆除导致的盒体损伤问题，且所述拆除装置简单易操作，拆除效率高，风险低。
附图说明
图1A和图1B为前开式晶圆传送盒的部分结构示意图；
图2为本发明一实施例提供的晶圆传送盒顶部的连接件的拆除装置拆除连接件时的立体图；
图3A为本发明一实施例提供的晶圆传送盒顶部的连接件的拆除装置的主视图；
图3B为本发明一实施例提供的晶圆传送盒顶部的连接件的拆除装置的侧视图；
图4为本发明一实施例提供的晶圆传送盒顶部的连接件的拆除方法的流程图；
其中，附图标记为：
10-晶圆传送盒；11-顶部；12-底座；13-侧壁；14-容置空间；15-把手；16-连接件；
100-晶圆传送盒；110-顶部；130-侧壁；130a-晶圆传送盒的前开口；150-把手；160-连接件；
200-拆除装置；210-承载台；220-固定单元；230-拆除单元；231-支撑块；232-螺杆；233-顶块；232a-手轮；233a-顶舌；234-导杆；235-平衡块；221-固定桩；222-固定扣；241-滑动导轨；242-滑块；240-滑动单元。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本发明的晶圆传送盒顶部的连接件的拆除装置及拆除方法作进一步详细说明。根据下面的说明和附图，本发明的优点和特征将更清楚，然而，需说明的是，本发明技术方案的构思可按照多种不同的形式实施，并不局限于在此阐述的特定实施例。附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。
在说明书中的术语“第一”“第二”等用于在类似要素之间进行区分，且未必是用于描述特定次序或时间顺序。要理解，在适当情况下，如此使用的这些术语可替换，例如可使得本文所述的本发明实施例能够以不同于本文所述的或所示的其他顺序来操作。类似的，如果本文所述的方法包括一系列步骤，且本文所呈现的这些步骤的顺序并非必须是可执行这些步骤的唯一顺序，且一些所述的步骤可被省略和/或一些本文未描述的其他步骤可被添加到该方法。若某附图中的构件与其他附图中的构件相同，虽然在所有附图中都可轻易辨认出这些构件，但为了使附图的说明更为清楚，本说明书不会将所有相同构件的标号标于每一图中。
实施例一
图2为本实施例提供的晶圆传送盒顶部的连接件的拆除装置拆除连接件时的立体图，图3A为本实施例提供的晶圆传送盒顶部的连接件的拆除装置的主视图，图3B为本实施例提供的晶圆传送盒顶部的连接件的拆除装置的侧视图。如图2、图3A及图3B所示，本实施例提供的晶圆传送盒顶部的连接件的拆除装置200包括：承载台210，用于承载侧放的晶圆传送盒100；固定单元220，用于固定所述晶圆传送盒100；拆除单元230，包括支撑块231、螺杆232及顶块233，所述支撑块231固定在所述承载台210的一侧，并与所述连接件160的位置相对应，所述顶块233通过所述螺杆232固定在所述支撑块231的上方，转动所述螺杆232带动所述顶块233上下移动，使所述顶块233从所述连接件160的下缘向上推动所述连接件160以将所述连接件160拆除。
具体的，所述晶圆传送盒100为前开式晶圆传送盒，所述晶圆传送盒的侧壁130上设置有把手150，以便于操作人员搬运晶圆传送盒100。所述固定单元220包括固定桩221和固定扣222，所述固定桩221位于所述承载台210的两侧，根据侧放的晶圆传送盒100两侧的把手150的位置设置所述固定桩221的高度，所述固定扣222位于所述固定桩221的顶部，且通过固定所述晶圆传送盒100的两侧的把手150以固定所述晶圆传送盒100。可选的，所述固定桩221例如为一可调节高度的桩体，可根据所要固定的晶圆传送盒的把手位置调节高度，以使固定扣222准确卡扣在晶圆传送盒两侧的把手。当然所述固定单元220也可以采用其他固定结构，只要满足在进行晶圆传送盒顶部的连接件拆除工作之间固定所述晶圆传送盒即可。
所述晶圆传送盒100的顶部110的连接件160例如为一法兰结构，所述连接件160上设置有卡槽(图中未示出)，当所述晶圆传送盒100沿侧壁130(晶圆传送盒的前开口130a)侧放在所述承载台210，所述晶圆传送盒100的顶部110面向拆除装置200，所述连接件160上的卡槽朝向所述承载台210。
所述螺杆232的顶部设置有手轮232a，通过转动所述手轮232a带动所述螺杆232，以上下移动所述顶块233，使所述顶块在竖直方向靠近晶圆传送盒100顶部的连接件160。所述顶块233上设置有顶舌233a，所述顶块233移动至所述连接件160的下缘时，所述顶舌233a插入位于所述连接件160的卡槽(图中未示出)，以将所述连接件160与所述晶圆传送盒100解锁。
所述拆除单元还包括导杆234，所述导杆234固定在所述支撑块231上，且贯穿所述顶块233以在水平方向固定所述顶块233。所述导杆234的数量例如为两个，分别位于所述顶块233的两侧。所述螺杆232位于所述顶块233的中间，并与所述导杆234平行。在本发明其他实施例中，也可以设置其他数量的导杆234的数量，所述螺杆232也可以位于所述顶块233的一侧，本发明对此不作限定。
所述拆除单元230还包括平衡块235，设置在所述螺杆232的顶部，所述螺杆232贯穿所述平衡块235与所述手轮232a连接，所述导杆234异于所述支撑块231的一端固定在所述平衡块235上。所述平衡块235固定所述螺杆232和所述导杆234，结合所述支撑块231使所述拆除单元230维持在平衡状态。
所述拆除装置200还包括滑动单元240，所述滑动单元240包括滑动导轨241及滑块242，所述滑动导轨241固定在所述承载台210的一侧，所述滑动导轨241的滑动方向垂直于所述晶圆传送盒100的顶部所在的平面，所述支撑块231固定在所述滑块242上，在所述滑动导轨241上滑动所述滑块242以移动所述拆除单元230，使所述顶块233在水平方向靠近所述连接件160。所述滑动导轨241例如呈一开口逐渐减小的倒“V”字型，所述滑块242卡扣在所述滑动导轨241内，沿垂直于所述连接件160的方向滑动。本实施例中，所述支撑块231固定在所述滑块242上，通过滑块242带动支撑块231移动，在本发明其他实施例中，所述支撑块231和所述滑块242也可以为一体化结构。
本实施例提供的晶圆传送盒顶部的连接件的拆除装置200中，所述固定单元220将侧放的晶圆传送盒100固定在承载台210上，所述滑动单元240带动所述拆除单元230在水平方向接近晶圆传送盒100顶部的连接件160，并通过拆除单元230的顶块233在所述螺杆232的带动下上下移动，从所述连接件160的下缘向上推动所述连接件160以将所述连接件160拆除。本实施例提供的晶圆传送盒顶部的连接件的拆除装置减小了晶圆传送盒顶部的连接件拆除的作业难度，规避了暴力拆除导致的盒体损伤问题，且所述拆除装置简单易操作，拆除效率高，风险低。
本实施例提供的晶圆传送盒顶部的连接件的拆除装置例如可以应用在300mm半导体晶圆的标准化FOSB出货，在本发明其他实施例中，也可以用于其他类型带有顶部连接件的晶圆传送盒。
实施例二
本实施例提供一种晶圆传送盒顶部的连接件的拆除方法，采用实施例一所提供的晶圆传送盒顶部的连接件的拆除装置，进行连接件的拆除。如图4所述，本实施例提供的晶圆传送盒顶部的连接件的拆除方法包括：
步骤S01：晶圆传送盒侧放于承载台；
步骤S02：固定单元固定所述晶圆传送盒；以及
步骤S03：拆除单元的顶块在所述螺杆的带动下上下移动，从所述连接件的下缘向上推动所述连接件以将所述连接件拆除。
具体的，参考图2至图4所示，首先，所述晶圆传送盒100沿侧壁130(晶圆传送盒的前开口130a)侧放在所述承载台210，所述晶圆传送盒100的顶部110面向拆除装置200，顶部110上的所述连接件160上的卡槽朝向所述承载台210。
接着，所述固定单元220的固定桩221位于所述承载台210的两侧，所述固定桩221的顶部的固定扣222通过固定所述晶圆传送盒100的两侧的把手150以固定所述晶圆传送盒100。
接着，拆除单元230的支撑块231固定在滑动单元240的滑块242上，调节滑动单元240，通过在滑动轨道241上滑动所述滑块242以在垂直于所述晶圆传送盒的顶部所在的方向移动所述拆除单元230，使所述顶块233在水平方向靠近所述连接件160。
接着，通过转动所述螺杆232的顶部的手轮232a带动所述螺杆232，以上下移动所述顶块233。当所述顶块233移动至所述连接件160的下缘时，所述顶块233上设置的顶舌233a插入位于所述连接件160的卡槽内，以将所述连接件160从所述晶圆传送盒100的顶部解锁；继续转动所述螺杆232的顶部的手轮232a，所述顶块233在所述螺杆232的带动下继续向上移动，所述顶块233卡住所述连接件160向上推动所述连接件160以将所述连接件160推离晶圆传送盒100，实现所述连接件160的拆除。
需要说明的是，本说明书中的各个实施例均采用相关的方式描述，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处。尤其，对于结构实施例而言，由于其基本相似于方法实施例，所以描述的比较简单，相关之处参见方法实施例的部分说明即可。
上述描述仅是对本发明较佳实施例的描述，并非对本发明范围的任何限定，本发明领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。

Claims (12)

1.一种晶圆传送盒顶部的连接件的拆除装置，其特征在于，包括：
承载台，用于承载侧放的晶圆传送盒；
固定单元，用于固定所述晶圆传送盒；
拆除单元，包括支撑块、螺杆及顶块，所述支撑块固定在所述承载台的一侧，并与所述连接件的位置相对应，所述顶块通过所述螺杆固定在所述支撑块的上方，转动所述螺杆带动所述顶块上下移动，使所述顶块从所述连接件的下缘向上推动所述连接件以将所述连接件拆除。
2.根据权利要求1所述的晶圆传送盒顶部的连接件的拆除装置，其特征在于，所述顶块上设置有顶舌，所述顶块移动至所述连接件的下缘时，所述顶舌插入位于所述连接件的卡槽内，以将所述连接件与所述晶圆传送盒的顶部解锁。
3.根据权利要求2所述的晶圆传送盒顶部的连接件的拆除装置，其特征在于，所述螺杆的顶部设置有手轮，通过转动所述手轮带动所述螺杆转动，以上下移动所述顶块。
4.根据权利要求2所述的晶圆传送盒顶部的连接件的拆除装置，其特征在于，所述拆除单元还包括导杆，所述导杆固定在所述支撑块上，且贯穿所述顶块以在水平方向固定所述顶块。
5.根据权利要求4所述的晶圆传送盒顶部的连接件的拆除装置，其特征在于，所述螺杆的顶部还设置有平衡块，所述螺杆贯穿所述平衡块与所述手轮连接，所述导杆异于所述支撑块的一端固定在所述平衡块上。
6.根据权利要求1所述的晶圆传送盒顶部的连接件的拆除装置，其特征在于，所述拆除装置还包括滑动单元，所述滑动单元包括滑动导轨及滑块，所述滑动导轨固定在所述承载台的一侧，且所述滑动导轨的滑动方向垂直于所述晶圆传送盒的顶部所在的平面，所述支撑块固定在所述滑块上，通过在所述滑动导轨上滑动所述滑块以移动所述拆除单元，使所述顶块在水平方向靠近所述连接件。
7.根据权利要求1所述的晶圆传送盒顶部的连接件的拆除装置，其特征在于，所述固定单元包括固定桩和固定扣，所述固定桩位于所述承载台的两侧，所述固定扣位于所述固定桩的顶部，且通过固定所述晶圆传送盒的两侧的把手以固定所述晶圆传送盒。
8.一种晶圆传送盒顶部的连接件的拆除方法，其特征在于，采用如权利要求1-7任一项所述的圆传送盒顶部的连接件的拆除装置进行所述连接件的拆除，包括：
晶圆传送盒侧放于承载台；
固定单元固定所述晶圆传送盒；以及
拆除单元的顶块在所述螺杆的带动下上下移动，从所述连接件的下缘向上推动所述连接件以将所述连接件拆除。
9.根据权利要求8所述的晶圆传送盒顶部的连接件的拆除方法，其特征在于，所述固定单元的固定桩位于所述承载台的两侧，通过所述固定桩的顶部的固定扣固定所述晶圆传送盒的两侧的把手以固定所述晶圆传送盒。
10.根据权利要求8所述的晶圆传送盒顶部的连接件的拆除方法，其特征在于，所述顶块移动至所述连接件的下缘时，所述顶块上设置的顶舌插入位于所述连接件的卡槽内，以将所述连接件从所述晶圆传送盒的顶部解锁。
11.根据权利要求8所述的晶圆传送盒顶部的连接件的拆除方法，其特征在于，通过转动所述螺杆的顶部的手轮带动所述螺杆，以上下移动所述顶块。
12.根据权利要求8所述的晶圆传送盒顶部的连接件的拆除方法，其特征在于，拆除单元的顶块在所述螺杆的带动下上下移动，从所述连接件的下缘向上推动所述连接件以将所述连接件拆除之前，还包括：所述支撑块固定在滑动单元的滑块上，通过在滑动轨道上滑动所述滑块以移动所述拆除单元，使所述顶块在水平方向靠近所述连接件。
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