JP3665571B2 - 対象物を貯蔵するための、特にウェハ、フラットパネル又はｃｄ等のディスク状の対象物を貯蔵するための装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
本発明は、対象物を貯蔵するための、特にウェハ、フラットパネル又はＣＤ等のディスク状の対象物を貯蔵するための装置に関する。
【０００２】
半導体工業においてウェハ（例えばシリコンをベースとするディスク、フラットパネル又はＣＤ）を製造及び処理する技術分野において、ウェハは、種々異なる処理ステーションの間を頻繁に移動させられることが一般的かつ必要である。しかしながら、ウェハが当分必要とされない場合又はウェハがそれぞれ次の処理ステーションへ移動させられる前に、前記ウェハを貯蔵する必要がある。
【０００３】
例えば、プロセス制御のため、クリーニング工具に影響するため、処理工具を調査するため、新たな製品を試験する等のために、いわゆる試験ウェハが処理システムにおいて使用される。これらの試験ウェハは、ウェハを製造及び処理するためにシステム内で頻繁に循環させられる。すなわち、試験ウェハは、一般的に、異なる処理ステーションの間を移動させられる。しかしながら、前記種々異なる試験ウェハは、必ずしも全時間を通じて使用されるわけではない。したがって、試験ウェハは、必要ない場合には、ウェハを貯蔵するための装置に貯蔵されなければならない。
【０００４】
通常、ウェハは、一般的に自動化された貯蔵装置に、ミニエンバイロメント条件の下で貯蔵される。本発明では、ミニエンバイロメントとは、製品を汚染及び人間から隔離するために囲いによって形成された、局部に制限された環境を規定する。このようなミニエンバイロメントに対する要求は、例えばＳＥＭＩスタンダードＥ４４に示されている。公知の装置においては、ウェハの貯蔵及び回復は、容器において又は露出したウェハとして行われる。
【０００５】
後者の場合、ウェハは、これらのウェハを貯蔵するのに適した多数の開放構造の室を含む貯蔵キャビネットに貯蔵される。ウェハを室に装入したり室から取出したりするために、前記ウェハをハンドリングするための可動な手段が設けられている。この手段は、ロボットとして形成することができ、このロボットは、選択されたウェハを掴み、このウェハを装置の装入ポートにまで移動させ、この装入ポートからウェハは、予定された処理ステーションにまで搬送される。露出したウェハの貯蔵のハンドリング時間は極めて短いが、これは幾つかの欠点を有している。ウェハは、開放構造の室に貯蔵されるので、例えばアウトガスによるクロスコンタミネーション又は可能なウェハ破壊によるストック全体の汚染等の危険性に曝される。
【０００６】
これに対し、ウェハを、容器を貯蔵する装置に貯蔵することが知られている。この場合、ウェハは容器内に貯蔵される。通常、容器はドアによってロックされている。容器からウェハを選択するために、容器は、容器ハンドリング手段、例えばロボットによって、ウェハを貯蔵するために装置に定置に設けられた装入／取出ステーションにまで移動させられなければならない。
【０００７】
この装入／取出ステーションは、容器のドアを開閉するための装置と、ウェハを容器に装入したり容器から取り出したりしかつ選択されたウェハを装入ポートへ搬送するための装置とを有しており、前記装入ポートから前記ウェハが個々の処理ステーションへ搬送される。公知のタイプの装入／取出ステーションは、例えばＳＥＭＩスタンダードＥ６２によって規定されている。このような装置を使用することによってウェハの汚染を防止することができる。なぜならば、容器は、閉鎖された容器ドアによってシールされるからである。しかしながら、説明した形式のウェハ貯蔵は、構造が極めて複雑である上、著しく時間を消費する。
【０００８】
まず、装置には、容器のための別個の装入／取出ステーションが設けられていなければならない。前記ステーションは、特定のドア整合機構と、容器ドアのためのロック／ロック解除機構と、特定のシール領域と、ウェハを容器に装入する／容器から取り出すための別の手段とを必要とする。これは、構造的観点から極めて複雑である。さらに、装入／取出ステップ中のウェハの損傷を回避するために、選択された容器は前記装入／取出ステーション内に正確に配置されなければならない。したがって、複数の制御手段が必要である。最後に、容器をハンドリングするための別個の手段が必要である。
【０００９】
ウェハを貯蔵する前記形式は、装入／取出ステーションへの容器のハンドリングと、装入／取出ステーションにおけるウェハからのハンドリングとを必要とする。このことは著しく時間を消費する。
【００１０】
従来技術を考慮して、本発明の課題は、前記欠点を解決する、対象物を貯蔵するための装置を提供することである。
【００１１】
この課題は、独立請求項１に記載の装置によって及び独立請求項１８に記載の装置の使用によって解決された。本発明の別の利点、特徴、側面及び詳細は、従属請求項、詳細な説明及び添付の図面より明らかとなる。
【００１２】
本発明によれば、ディスク状対象物を貯蔵するための装置が提供され、この装置には、ミニエンバイロメント条件を有する閉システムである貯蔵キャビネットが設けられており、該貯蔵キャビネットが、複数のディスク状対象物を貯蔵するように構成された複数の定置の容器を貯蔵しており、該定置の容器が、それぞれの取外し可能なドアによってロックされておりかつ、少なくとも前記容器に貯蔵される／前記容器から取り出されるディスク状対象物の装入／取出し作業の間は前記貯蔵キャビネット内に定置に配置されており、前記貯蔵キャビネットが、該貯蔵キャビネットから搬出されることができるように設計された付加的な容器を貯蔵するように構成されており、複数の対象物を装入する／取り出すための唯一の装置が設けられており、該唯一の装置が、該唯一の装置に結合された可動な対象物ハンドリング装置及びドア開放装置を有しており、前記可動な対象物ハンドリング装置が、前記定置の容器から対象物の内の少なくとも１つを装入しかつ取り出すように構成されており、前記対象物ハンドリング装置が、前記定置の容器の内の１つから取り出された対象物を前記付加的な容器に装入するように構成されており、前記ドア開放装置が、前記定置の容器に接近するように配置されておりかつ、前記可動な対象物ハンドリング装置が前記貯蔵キャビネット内の前記定置の容器に貯蔵される／前記定置の容器から取り出されるディスク状対象物の装入／取出し作業を行う一方で前記取外し可能なドアを取り外すことによって前記可動なドアを開放させるように、及び前記定置の容器の前記取外し可能なドアを閉鎖するように構成されている。
【００１３】
本発明によれば、対象物を貯蔵するための装置が提供され、この装置は前記対象物を容器に貯蔵するが、前記容器をハンドリングするための手段を有していない。したがって、容器は少なくとも装入／取出作業中は定置の位置にとどまる。容器は、クリーニング及び保守のためにのみ貯蔵キャビネットから（有利には手作業で）取り外せばよい。
【００１４】
容器を移動させる代わりに、可動なドア開放手段が設けられており、このドア開放手段は定置の容器にまで移動させられることができ、これにより、容器のドアをロック／ロック解除して、前記対象物をハンドリングするための前記可動な手段に、対象物へのアクセスを与える。したがって、本発明は、工業における共通の標準として装入／取出ステーションの定置の部分ではないドア開放手段を説明している。前記手段は、規定された領域内で自由に位置決めされかつ移動させられることができる。ドア開放手段は、容器全体を移動させることなしに容器のドアを開放させる。
【００１５】
これにより、ハンドリング時間を著しく節約することができる。
【００１６】
本発明による装置は、露出した対象物を貯蔵する解決手段よりも優れている。対象物は、対象物が容器に挿入されるか容器から取り出されない限り、通常ドアによって閉鎖された容器に貯蔵されているので、前記対象物の汚染又は損傷、ひいては対象物の破壊によるストック全体の汚染を防止することができる。
【００１７】
本発明は、特定の種類の対象物に制限されない。つまり、全ての種類の対象物を本発明による装置によって貯蔵することができ、これらの対象物は有利にはミニエンバイロメント条件下に貯蔵されなければならない。ミニエンバイロメントという言葉は、詳細な説明の導入部において既に説明した。
【００１８】
有利には、装置は、ウェハ、フラットパネル又はＣＤ等のディスク状の対象物を貯蔵するために使用される。特に、装置は、３００ｍｍ以上の直径を有するウェハを貯蔵するために使用される。
【００１９】
有利には、装置は、異なる容器の間を頻繁に移動させられるウェハを貯蔵する。このようなウェハは、例えば試験ウェハ、ＡＮＫＯ（Anlagen-Kontrolle(system check））ウェハ、生産ディスク等である。本発明は前記の例に限定されない。
【００２０】
装置がウェハを貯蔵するために使用される場合、前記ドア開放手段はＳＥＭＩスタンダードＥ６２に従って設計されてよく、ドア開放手段に関するＳＥＭＩスタンダードＥ６２の開示は、引用により本発明の説明に組み込まれる。本発明によるドア開放手段は、ＦＩＭＳ（Front Opening Interface Mechanical Standard）インターフェース又はＳＥＭＩ Ｅ６２に規定されているようなロードポートの定置の部分ではない。
【００２１】
このような装置の利点は、種々異なる容器の間を頻繁に移動させられるウェハを容器に貯蔵することができ、ウェハの個々の容器内容を様々な他の容器の内容から自動的に構成するように、自動化されたハンドリングシステムをその周りに設計することができる。この作業のためには、容器をハンドリングするための手段は必要ないので、ハンドリング時間が節約される。
【００２２】
本発明によれば、個々の容器のドアは、前記ドア開放手段によってロック解除されて開放される。さらに、ドアがドア開放手段によって容器から取り外されることは有利である。このような場合、前記対象物（ウェハ）をハンドリングするための手段が対象物を掴んで移動させる間、ドア開放手段はドアを保持する。択一的に、ドア開放手段は、ドアを貯蔵キャビネットの内部に置き、作業が終了した後に掴むことができる。しかしながら、本発明は前記の例に限定されない。
【００２３】
有利には、前記対象物をハンドリングするための可動な手段と、前記ドア開放手段とは、前記対象物を装入する／取り出すための唯一の装置に配置／結合されている。このような、唯一の装置は、構造的に見てあまり複雑ではない。さらに、唯一の装置は多くのスペースを必要としない。さらに、前記装置を制御するために１つの制御ユニットしか必要ではない。両手段を唯一の装置に組み合わせることが可能であるのは、容器のドアを開放させるステップと、対象物の装入／取出ステップとは、相前後して行われるからである。
【００２４】
有利には、対象物を装入する／取り出すための装置はロボット、特にロボットアームとして形成されている。ロボットは全ての可能な方向に可動である。したがって、貯蔵キャビネットには容器が閉鎖詰め込み式（close-packed way）に補足されることができる。装置がウェハを貯蔵するために使用される場合、装入／取出のための装置は、付加的な特徴としてドア開放手段を含むウェハハンドリングロボットであることができる。
【００２５】
さらに、前記対象物をハンドリングするための手段、及び／又は前記ドア開放手段、及び／又は前記対象物を装入する／取り出すための手段、を制御するために制御ユニットが設けられていてよい。この制御ユニットは前記手段又は前記装置を選択された容器へ移動させるために使用することができる。さらに、制御ユニットは容器ドアの開閉作業を制御することができる。さらに制御ユニットは対象物、例えば貯蔵作業中の前記容器におけるウェハ、の分類を管理することができる。したがって、制御ユニットは、異なる容器における及び種々異なる容器のためのウェハ管理、例えば試験ウェハ管理を制御してよい。
【００２６】
有利には、前記貯蔵キャビネットは閉システムとして形成されていてよい。このような閉システムはミニエンバイロメント条件を提供することができるので、貯蔵された対象物の汚染を防止することができる。これは、半導体工業におけるウェハの貯蔵に特に適している。
【００２７】
有利には、ドアを開放するための前記手段は、容器のドアを保持しかつ／又は取り外すための手段から成っている。このような手段は例えばＳＥＭＩスタンダードＥ６２及びＥ６３に記載されており、これらのスタンダードの内容は前記手段に関連して引用により本発明の説明に組み込まれる。
【００２８】
有利な実施例において、ドアを保持しかつ／又は取り外すための前記手段は、吸着カップ等の吸着手段及び／又はドア開放キー及び／又はピン及び／又は掴み手段から成っている。これらの手段は例えばＳＥＭＩ Ｅ６２に従う手段であることができる。このような手段は、ドア整合手段、例えば位置合わせピン、ラッチキー等のロッキング手段、容器ドアを保持しかつ取り外すための吸着カップ等から成っていることができる。説明した手段が、ドアを保持しかつ／又は取り外すための前記手段のための非制限的な例として理解すべきことが自明であることは当然である。
【００２９】
有利には、前記対象物をハンドリングするための手段は吸着カップ等の吸着手段及び／又は掴み手段から成っていてよい。本発明は、説明した特定の実施例に制限されない。前記対象物をハンドリングするための全ての種類の手段を使用することができ、これらの手段は、対象物を汚染又は損傷することなくこの対象物を貯蔵するために前記装置内で前記対象物を移動させることができる。
【００３０】
有利には、対象物を貯蔵するための前記容器は、箱ハウジングと箱開口とから成る箱として形成されていてよい。前記箱開口は前記ドアによってロックされている。このような箱は保護用可搬式容器であることができる。有利には、前記箱は、ＳＥＭＩスタンダードＥ４４及びＥ６２に規定されたＦＯＵＰ（前面開放型統一ポッド、Front Opening Unified Pod）として実施することができ、ＦＯＵＰに関するＳＥＭＩスタンダードの内容は引用により本願の説明に組み込まれる。
【００３１】
箱は２つ以上の対象物を貯蔵することができる。箱がウェハを貯蔵するために使用される場合、箱は、例えば１３個、２５個又は５０個のウェハを支持することができる。
【００３２】
箱はＳＥＭＩスタンダードＥ４７．１に従って設計することができ、このスタンダードの内容は引用により本願の説明に組み込まれる。前記スタンダードによれば、箱はドアと箱ハウジングとを有している。箱ハウジングの上面には上面ハンドリングフランジが設けられていてよく、この上面ハンドリングフランジにより、自動化された材料ハンドリングシステム（ＡＭＨＳ）が箱を搬送することができる。さらに、側部ハンドルが設けられていてもよく、この側部ハンドルによりオペレータは手動で箱を搬送することができる。さらに、箱は位置合わせピンのための穴と、ドア検出パッドとを有していてよく、選択的に搬送レールと、側部におけるハンドルとを有していてよい。搬送レールは、箱を貯蔵キャビネット内に貯蔵するために働く。前記箱の底部には搬送レールを選択的に設けることができる。さらに、底部は様々な検出パッド、情報パッド、ピン等を有することができる。有利には、箱の前記ドアは前側に設けられていてよい。箱がＦＯＵＰとして形成される場合、ドアは箱の前側に配置されている。
【００３３】
有利には、シール手段が前記箱ハウジングと前記ドアとの間に設けられていてよい。このようなシール手段は、ドアが閉鎖されるならば、前記容器に貯蔵された対象物が汚染から付加的に保護されるという効果を有する。
【００３４】
有利には、前記対象物を貯蔵するための１又は２つ以上のカセットが設けられており、このカセットは前記容器内に貯蔵されている。カセットは、１つ又は２つ以上の対象物、例えばウェハを保持する開放構造体である。カセットは前記箱内に取外し可能に又は取外し不可能に貯蔵することができる。
【００３５】
有利には、容器から取り出されたこのような対象物を貯蔵するための手段が設けられており、この手段は容器として形成されていると有利である。このような手段は、様々な異なる容器から取り外された対象物を、前記貯蔵キャビネット内に貯蔵するために働き、これにより、対象物の新たな個々のロットを構成する。対象物は前記手段内で処理システムの選択された位置へ搬送されることができる。
【００３６】
有利には、対象物をハンドリングするための前記可動な手段、及び／又はドアを開放させるための手段、及び／又は容器から取り出された対象物を貯蔵するための前記手段は、閉鎖されたシステムとして形成された前記貯蔵キャビネット内に配置することができる。特に、貯蔵キャビネットがミニエンバイロメント条件下に保持されるならば、装入／取出ステップ中の対象物の汚染を防止することができる。
【００３７】
有利には、ヘッドポートを設けることができ、このヘッドポートは前記貯蔵キャビネットに結合されている。有利には、前記ヘッドポートはロッキングシステムから成ることができる。このようなヘッドポートを介して、選択された対象物を貯蔵キャビネットの内部から取り出すことができる。ロッキングシステムは、ドアと、ヒンジ結合されたプレートと、ロック等から成ることができる。
【００３８】
本発明による装置はハンドリング時間の著しい節約をもたらすことができる。その例を以下に説明する。
【００３９】
例によれば、予定された仕事は５個のＦＯＵＰから２５個のウェハのロットを構成することである。ＦＯＵＰ移動ごとのサイクル時間は３０秒、公知の装置のドア開閉シーケンスは５秒、本発明による装置のドア開閉シーケンスは７秒、公知の装置のウェハハンドリングシーケンスは１０秒、本発明による装置のウェハハンドリングシーケンスは１５秒であるとする。
【００４０】
これらの条件において、別個のＦＯＵＰハンドリング手段を備えた公知の装置の伝統的な作業は６６０秒かかる。これは以下の公式に基づく：
ＦＯＵＰの移動１２回×３０秒＋開閉動作１０回×５秒＋ウェハの移動２５回×１０秒＝６６０秒。
【００４１】
本発明による装置を備えた新たな作業は４４５秒しかかからない。これは以下の公式に基づく：
開閉作業１０回×７秒＋ウェハの移動２５回×１５秒＝４４５秒。
【００４２】
例におけるハンドリング時間の節約は約３．６分又は３３％である。
【００４３】
本発明は、添付の図面を参照した本発明の実施例の以下の説明を参照することによりさらに深く理解されるであろう。
【００４４】
図１には、ウェハ２３を貯蔵するために働く装置１０が示されている。この装置１０は半導体又はＣＤ技術の分野において、すなわちプロセスウェハ２３を製造するために使用される。図１は、前記装置の概略的な上面図である。分かり易くするために、装置１０の蓋は省略されている。
【００４５】
装置１０は、４つの側壁１１を備えた貯蔵キャビネット２４から成っている。貯蔵キャビネット２４は閉システム１２として形成されている。したがって、貯蔵キャビネット２４内にミニエンバイロメント条件を形成することが可能である。側壁１１にはウェハ２３を貯蔵するための多数の容器１３が取り付けられている。装置１０は容器１３の複数の列を有している。図１には、１１個の容器１３を含む最上位の列のみが示されている。各容器１３内には１３個、２５個又は５０個のウェハ２３を貯蔵することができる。
【００４６】
ウェハ２３を前記容器に装入するため又は容器から取り出すために、このようなウェハ２３をハンドリングするための手段１５が設けられている。ウェハ２３をハンドリングするために、前記手段１５は吸着カップ等の吸着手段及び／又は掴み手段から成っていてよい。
【００４７】
さらに、ドア開放手段１６が設けられており、このドア開放手段１６は容器１３のドア１４を開放させることができる。前記ドア開放手段１６は、前記ドア１４を保持しかつ／又は取り外すための手段１８、例えば吸着手段及び／又はドア開放キー及び／又はピン及び／又は掴み手段を有している。
【００４８】
前記ウェハ２３をハンドリングするための手段１５と、前記ドア開放手段１６とは、前記ウェハ２３を装入する／取り出すための唯一の装置１７に配置されている／結合されている。装置１７は、ロボット、この実施例においてはロボットアームとして形成されている。したがって、両手段１５及び１６は前記貯蔵キャビネット２４内に可動に配置されており、この場合、前記手段１５，１６は全ての方向に自由に移動させられてよい。前記ロボットアームの長さは、望ましいならばテレスコープ式に変化させられてよい。
【００４９】
装置１７及び／又は手段１５及び１６の移動を制御するために制御ユニット１９が設けられており、この制御ユニット１９はコンジット２０を介して装置１７及び／又は手段１５，１６にそれぞれ接続されている。
【００５０】
複数の容器１３から取り出されたウェハ２３をウェハ２３の新たなロットに構成し、このロットを、貯蔵キャビネット２４から、処理システムにおける別の処理ユニットへ搬送するために、このようなウェハ２３を貯蔵するための手段２１が設けられている。前記手段２１は容器として形成されていると有利である。
【００５１】
ウェハ２３又は付加的な容器２１を貯蔵キャビネット２４から取り外すために、貯蔵キャビネット２４に結合されたヘッドポート２２が設けられている。このヘッドポート２２はロック又はドアとして形成することができる。ミニエンバイロメント条件が貯蔵キャビネット２４内に形成される場合、貯蔵キャビネット２４内のいかなる汚染をも回避するためにヘッドポート２２はロックとして形成されていると有利である。
【００５２】
図２は、箱として形成された容器１３を示している。箱１３は箱ハウジング３０と箱開口３１とから成っている。図２による箱１３から取り外されたドア１４は通常箱１３の前側３６に設けられている。別の実施例では、ドア１４は箱１３の底部３７に設けられていてもよい。さらに箱１３は上面ハンドリングフランジ３２を有しており、この上面ハンドリングフランジ３２によって前記箱は自動材料ハンドリングシステムによって搬送することができる。
【００５３】
ウェハ２３を箱１３に貯蔵するために、カセット３３が設けられている。カセット３３は箱１３内に貯蔵されているので、破線で示されている。カセット３３を箱１３内に固定するために、孔３５及びピン３４が設けられている。
【００５４】
以下に装置１０の作業を説明する。
【００５５】
従来技術から知られている解決手段とは対照的に、本発明による装置１０は可動なドア開放手段１６を有しており、ドア開放手段１６は、ウェハを装入／取出するために容器１３を移動させなければならない、別個の装入／取出システムの定置の部分ではない。この代わりに、ドア開放手段１６は貯蔵キャビネット２４内でロボットアーム１７に取り付けられている。ロボットアーム１７は、規定された領域内でドア開放手段１６を自由に位置決めすることができる。ドア開放手段１６は容器ドア１４を開放させ、容器１３全体を取り出すことなしにドアを取り外す。
【００５６】
前記装置１０の利点は、種々異なる容器１３の間を頻繁に移動させられるウェハ（例えば試験ウェハ）を容器１３に貯蔵することができ、ウェハ２３を装入する／取り出すための自動化された装置１７がその周りに設計されており、これにより、前記容器をハンドリングするための手段を必要とすることなしに、様々な他の容器１３の内容から、容器２１内の多数のウェハ２３を構成するようになっていることである。容器１３は貯蔵キャビネット２４内に定置に配置されており、ドア１４がロック解除され、ドア開放手段１６とドア１４を保持する／取り外すための手段１８とによって取り外される。ドア開放手段１６は、ウェハ２３をハンドリングするための手段１５が貯蔵キャビネット２４内でウェハ２３を移動させている間、ドア１４を保持してよい。又はドア１４を貯蔵キャビネット２４内に置き、貯蔵作業が終了した後に再び掴むことも可能である。
【００５７】
本発明による装置１０を用いることによりハンドリング時間を著しく節約することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明による、対象物を貯蔵するための装置の、概略的な上面図である。
【図２】 対象物を貯蔵するための容器の概略的な側面図である。
【符号の説明】
１０ 装置、 １１ 側壁、 １２ 閉システム、 １３ 容器、 １４ ドア、 １５ 手段、 １６ ドア開放手段、 １７ 装置、 １７ ロボットアーム、 １８ 手段、 １９ 制御ユニット、 ２０ コンジット、 ２１ 手段、 ２１ 容器、 ２２ ヘッドポート、 ２３ ウェハ、 ２４ 貯蔵キャビネット、 ３０ 箱ハウジング、 ３１ 箱開口、 ３２ 上面ハンドリングフランジ、 ３３ カセット、 ３４ ピン、 ３５ 孔、 ３６ 前側、 ３７ 底部
本発明は、対象物を貯蔵するための、特にウェハ、フラットパネル又はＣＤ等のディスク状の対象物を貯蔵するための装置に関する。
【０００２】
半導体工業においてウェハ（例えばシリコンをベースとするディスク、フラットパネル又はＣＤ）を製造及び処理する技術分野において、ウェハは、種々異なる処理ステーションの間を頻繁に移動させられることが一般的かつ必要である。しかしながら、ウェハが当分必要とされない場合又はウェハがそれぞれ次の処理ステーションへ移動させられる前に、前記ウェハを貯蔵する必要がある。
【０００３】
例えば、プロセス制御のため、クリーニング工具に影響するため、処理工具を調査するため、新たな製品を試験する等のために、いわゆる試験ウェハが処理システムにおいて使用される。これらの試験ウェハは、ウェハを製造及び処理するためにシステム内で頻繁に循環させられる。すなわち、試験ウェハは、一般的に、異なる処理ステーションの間を移動させられる。しかしながら、前記種々異なる試験ウェハは、必ずしも全時間を通じて使用されるわけではない。したがって、試験ウェハは、必要ない場合には、ウェハを貯蔵するための装置に貯蔵されなければならない。
【０００４】
通常、ウェハは、一般的に自動化された貯蔵装置に、ミニエンバイロメント条件の下で貯蔵される。本発明では、ミニエンバイロメントとは、製品を汚染及び人間から隔離するために囲いによって形成された、局部に制限された環境を規定する。このようなミニエンバイロメントに対する要求は、例えばＳＥＭＩスタンダードＥ４４に示されている。公知の装置においては、ウェハの貯蔵及び回復は、容器において又は露出したウェハとして行われる。
【０００５】
後者の場合、ウェハは、これらのウェハを貯蔵するのに適した多数の開放構造の室を含む貯蔵キャビネットに貯蔵される。ウェハを室に装入したり室から取出したりするために、前記ウェハをハンドリングするための可動な手段が設けられている。この手段は、ロボットとして形成することができ、このロボットは、選択されたウェハを掴み、このウェハを装置の装入ポートにまで移動させ、この装入ポートからウェハは、予定された処理ステーションにまで搬送される。露出したウェハの貯蔵のハンドリング時間は極めて短いが、これは幾つかの欠点を有している。ウェハは、開放構造の室に貯蔵されるので、例えばアウトガスによるクロスコンタミネーション又は可能なウェハ破壊によるストック全体の汚染等の危険性に曝される。
【０００６】
これに対し、ウェハを、容器を貯蔵する装置に貯蔵することが知られている。この場合、ウェハは容器内に貯蔵される。通常、容器はドアによってロックされている。容器からウェハを選択するために、容器は、容器ハンドリング手段、例えばロボットによって、ウェハを貯蔵するために装置に定置に設けられた装入／取出ステーションにまで移動させられなければならない。
【０００７】
この装入／取出ステーションは、容器のドアを開閉するための装置と、ウェハを容器に装入したり容器から取り出したりしかつ選択されたウェハを装入ポートへ搬送するための装置とを有しており、前記装入ポートから前記ウェハが個々の処理ステーションへ搬送される。公知のタイプの装入／取出ステーションは、例えばＳＥＭＩスタンダードＥ６２によって規定されている。このような装置を使用することによってウェハの汚染を防止することができる。なぜならば、容器は、閉鎖された容器ドアによってシールされるからである。しかしながら、説明した形式のウェハ貯蔵は、構造が極めて複雑である上、著しく時間を消費する。
【０００８】
まず、装置には、容器のための別個の装入／取出ステーションが設けられていなければならない。前記ステーションは、特定のドア整合機構と、容器ドアのためのロック／ロック解除機構と、特定のシール領域と、ウェハを容器に装入する／容器から取り出すための別の手段とを必要とする。これは、構造的観点から極めて複雑である。さらに、装入／取出ステップ中のウェハの損傷を回避するために、選択された容器は前記装入／取出ステーション内に正確に配置されなければならない。したがって、複数の制御手段が必要である。最後に、容器をハンドリングするための別個の手段が必要である。
【０００９】
ウェハを貯蔵する前記形式は、装入／取出ステーションへの容器のハンドリングと、装入／取出ステーションにおけるウェハからのハンドリングとを必要とする。このことは著しく時間を消費する。
【００１０】
従来技術を考慮して、本発明の課題は、前記欠点を解決する、対象物を貯蔵するための装置を提供することである。
【００１１】
この課題は、独立請求項１に記載の装置によって及び独立請求項１８に記載の装置の使用によって解決された。本発明の別の利点、特徴、側面及び詳細は、従属請求項、詳細な説明及び添付の図面より明らかとなる。
【００１２】
本発明によれば、ディスク状対象物を貯蔵するための装置が提供され、この装置には、ミニエンバイロメント条件を有する閉システムである貯蔵キャビネットが設けられており、該貯蔵キャビネットが、複数のディスク状対象物を貯蔵するように構成された複数の定置の容器を貯蔵しており、該定置の容器が、それぞれの取外し可能なドアによってロックされておりかつ、少なくとも前記容器に貯蔵される／前記容器から取り出されるディスク状対象物の装入／取出し作業の間は前記貯蔵キャビネット内に定置に配置されており、前記貯蔵キャビネットが、該貯蔵キャビネットから搬出されることができるように設計された付加的な容器を貯蔵するように構成されており、複数の対象物を装入する／取り出すための唯一の装置が設けられており、該唯一の装置が、該唯一の装置に結合された可動な対象物ハンドリング装置及びドア開放装置を有しており、前記可動な対象物ハンドリング装置が、前記定置の容器から対象物の内の少なくとも１つを装入しかつ取り出すように構成されており、前記対象物ハンドリング装置が、前記定置の容器の内の１つから取り出された対象物を前記付加的な容器に装入するように構成されており、前記ドア開放装置が、前記定置の容器に接近するように配置されておりかつ、前記可動な対象物ハンドリング装置が前記貯蔵キャビネット内の前記定置の容器に貯蔵される／前記定置の容器から取り出されるディスク状対象物の装入／取出し作業を行う一方で前記取外し可能なドアを取り外すことによって前記可動なドアを開放させるように、及び前記定置の容器の前記取外し可能なドアを閉鎖するように構成されている。
【００１３】
本発明によれば、対象物を貯蔵するための装置が提供され、この装置は前記対象物を容器に貯蔵するが、前記容器をハンドリングするための手段を有していない。したがって、容器は少なくとも装入／取出作業中は定置の位置にとどまる。容器は、クリーニング及び保守のためにのみ貯蔵キャビネットから（有利には手作業で）取り外せばよい。
【００１４】
容器を移動させる代わりに、可動なドア開放手段が設けられており、このドア開放手段は定置の容器にまで移動させられることができ、これにより、容器のドアをロック／ロック解除して、前記対象物をハンドリングするための前記可動な手段に、対象物へのアクセスを与える。したがって、本発明は、工業における共通の標準として装入／取出ステーションの定置の部分ではないドア開放手段を説明している。前記手段は、規定された領域内で自由に位置決めされかつ移動させられることができる。ドア開放手段は、容器全体を移動させることなしに容器のドアを開放させる。
【００１５】
これにより、ハンドリング時間を著しく節約することができる。
【００１６】
本発明による装置は、露出した対象物を貯蔵する解決手段よりも優れている。対象物は、対象物が容器に挿入されるか容器から取り出されない限り、通常ドアによって閉鎖された容器に貯蔵されているので、前記対象物の汚染又は損傷、ひいては対象物の破壊によるストック全体の汚染を防止することができる。
【００１７】
本発明は、特定の種類の対象物に制限されない。つまり、全ての種類の対象物を本発明による装置によって貯蔵することができ、これらの対象物は有利にはミニエンバイロメント条件下に貯蔵されなければならない。ミニエンバイロメントという言葉は、詳細な説明の導入部において既に説明した。
【００１８】
有利には、装置は、ウェハ、フラットパネル又はＣＤ等のディスク状の対象物を貯蔵するために使用される。特に、装置は、３００ｍｍ以上の直径を有するウェハを貯蔵するために使用される。
【００１９】
有利には、装置は、異なる容器の間を頻繁に移動させられるウェハを貯蔵する。このようなウェハは、例えば試験ウェハ、ＡＮＫＯ（Anlagen-Kontrolle(system check））ウェハ、生産ディスク等である。本発明は前記の例に限定されない。
【００２０】
装置がウェハを貯蔵するために使用される場合、前記ドア開放手段はＳＥＭＩスタンダードＥ６２に従って設計されてよく、ドア開放手段に関するＳＥＭＩスタンダードＥ６２の開示は、引用により本発明の説明に組み込まれる。本発明によるドア開放手段は、ＦＩＭＳ（Front Opening Interface Mechanical Standard）インターフェース又はＳＥＭＩ Ｅ６２に規定されているようなロードポートの定置の部分ではない。
【００２１】
このような装置の利点は、種々異なる容器の間を頻繁に移動させられるウェハを容器に貯蔵することができ、ウェハの個々の容器内容を様々な他の容器の内容から自動的に構成するように、自動化されたハンドリングシステムをその周りに設計することができる。この作業のためには、容器をハンドリングするための手段は必要ないので、ハンドリング時間が節約される。
【００２２】
本発明によれば、個々の容器のドアは、前記ドア開放手段によってロック解除されて開放される。さらに、ドアがドア開放手段によって容器から取り外されることは有利である。このような場合、前記対象物（ウェハ）をハンドリングするための手段が対象物を掴んで移動させる間、ドア開放手段はドアを保持する。択一的に、ドア開放手段は、ドアを貯蔵キャビネットの内部に置き、作業が終了した後に掴むことができる。しかしながら、本発明は前記の例に限定されない。
【００２３】
有利には、前記対象物をハンドリングするための可動な手段と、前記ドア開放手段とは、前記対象物を装入する／取り出すための唯一の装置に配置／結合されている。このような、唯一の装置は、構造的に見てあまり複雑ではない。さらに、唯一の装置は多くのスペースを必要としない。さらに、前記装置を制御するために１つの制御ユニットしか必要ではない。両手段を唯一の装置に組み合わせることが可能であるのは、容器のドアを開放させるステップと、対象物の装入／取出ステップとは、相前後して行われるからである。
【００２４】
有利には、対象物を装入する／取り出すための装置はロボット、特にロボットアームとして形成されている。ロボットは全ての可能な方向に可動である。したがって、貯蔵キャビネットには容器が閉鎖詰め込み式（close-packed way）に補足されることができる。装置がウェハを貯蔵するために使用される場合、装入／取出のための装置は、付加的な特徴としてドア開放手段を含むウェハハンドリングロボットであることができる。
【００２５】
さらに、前記対象物をハンドリングするための手段、及び／又は前記ドア開放手段、及び／又は前記対象物を装入する／取り出すための手段、を制御するために制御ユニットが設けられていてよい。この制御ユニットは前記手段又は前記装置を選択された容器へ移動させるために使用することができる。さらに、制御ユニットは容器ドアの開閉作業を制御することができる。さらに制御ユニットは対象物、例えば貯蔵作業中の前記容器におけるウェハ、の分類を管理することができる。したがって、制御ユニットは、異なる容器における及び種々異なる容器のためのウェハ管理、例えば試験ウェハ管理を制御してよい。
【００２６】
有利には、前記貯蔵キャビネットは閉システムとして形成されていてよい。このような閉システムはミニエンバイロメント条件を提供することができるので、貯蔵された対象物の汚染を防止することができる。これは、半導体工業におけるウェハの貯蔵に特に適している。
【００２７】
有利には、ドアを開放するための前記手段は、容器のドアを保持しかつ／又は取り外すための手段から成っている。このような手段は例えばＳＥＭＩスタンダードＥ６２及びＥ６３に記載されており、これらのスタンダードの内容は前記手段に関連して引用により本発明の説明に組み込まれる。
【００２８】
有利な実施例において、ドアを保持しかつ／又は取り外すための前記手段は、吸着カップ等の吸着手段及び／又はドア開放キー及び／又はピン及び／又は掴み手段から成っている。これらの手段は例えばＳＥＭＩ Ｅ６２に従う手段であることができる。このような手段は、ドア整合手段、例えば位置合わせピン、ラッチキー等のロッキング手段、容器ドアを保持しかつ取り外すための吸着カップ等から成っていることができる。説明した手段が、ドアを保持しかつ／又は取り外すための前記手段のための非制限的な例として理解すべきことが自明であることは当然である。
【００２９】
有利には、前記対象物をハンドリングするための手段は吸着カップ等の吸着手段及び／又は掴み手段から成っていてよい。本発明は、説明した特定の実施例に制限されない。前記対象物をハンドリングするための全ての種類の手段を使用することができ、これらの手段は、対象物を汚染又は損傷することなくこの対象物を貯蔵するために前記装置内で前記対象物を移動させることができる。
【００３０】
有利には、対象物を貯蔵するための前記容器は、箱ハウジングと箱開口とから成る箱として形成されていてよい。前記箱開口は前記ドアによってロックされている。このような箱は保護用可搬式容器であることができる。有利には、前記箱は、ＳＥＭＩスタンダードＥ４４及びＥ６２に規定されたＦＯＵＰ（前面開放型統一ポッド、Front Opening Unified Pod）として実施することができ、ＦＯＵＰに関するＳＥＭＩスタンダードの内容は引用により本願の説明に組み込まれる。
【００３１】
箱は２つ以上の対象物を貯蔵することができる。箱がウェハを貯蔵するために使用される場合、箱は、例えば１３個、２５個又は５０個のウェハを支持することができる。
【００３２】
箱はＳＥＭＩスタンダードＥ４７．１に従って設計することができ、このスタンダードの内容は引用により本願の説明に組み込まれる。前記スタンダードによれば、箱はドアと箱ハウジングとを有している。箱ハウジングの上面には上面ハンドリングフランジが設けられていてよく、この上面ハンドリングフランジにより、自動化された材料ハンドリングシステム（ＡＭＨＳ）が箱を搬送することができる。さらに、側部ハンドルが設けられていてもよく、この側部ハンドルによりオペレータは手動で箱を搬送することができる。さらに、箱は位置合わせピンのための穴と、ドア検出パッドとを有していてよく、選択的に搬送レールと、側部におけるハンドルとを有していてよい。搬送レールは、箱を貯蔵キャビネット内に貯蔵するために働く。前記箱の底部には搬送レールを選択的に設けることができる。さらに、底部は様々な検出パッド、情報パッド、ピン等を有することができる。有利には、箱の前記ドアは前側に設けられていてよい。箱がＦＯＵＰとして形成される場合、ドアは箱の前側に配置されている。
【００３３】
有利には、シール手段が前記箱ハウジングと前記ドアとの間に設けられていてよい。このようなシール手段は、ドアが閉鎖されるならば、前記容器に貯蔵された対象物が汚染から付加的に保護されるという効果を有する。
【００３４】
有利には、前記対象物を貯蔵するための１又は２つ以上のカセットが設けられており、このカセットは前記容器内に貯蔵されている。カセットは、１つ又は２つ以上の対象物、例えばウェハを保持する開放構造体である。カセットは前記箱内に取外し可能に又は取外し不可能に貯蔵することができる。
【００３５】
有利には、容器から取り出されたこのような対象物を貯蔵するための手段が設けられており、この手段は容器として形成されていると有利である。このような手段は、様々な異なる容器から取り外された対象物を、前記貯蔵キャビネット内に貯蔵するために働き、これにより、対象物の新たな個々のロットを構成する。対象物は前記手段内で処理システムの選択された位置へ搬送されることができる。
【００３６】
有利には、対象物をハンドリングするための前記可動な手段、及び／又はドアを開放させるための手段、及び／又は容器から取り出された対象物を貯蔵するための前記手段は、閉鎖されたシステムとして形成された前記貯蔵キャビネット内に配置することができる。特に、貯蔵キャビネットがミニエンバイロメント条件下に保持されるならば、装入／取出ステップ中の対象物の汚染を防止することができる。
【００３７】
有利には、ヘッドポートを設けることができ、このヘッドポートは前記貯蔵キャビネットに結合されている。有利には、前記ヘッドポートはロッキングシステムから成ることができる。このようなヘッドポートを介して、選択された対象物を貯蔵キャビネットの内部から取り出すことができる。ロッキングシステムは、ドアと、ヒンジ結合されたプレートと、ロック等から成ることができる。
【００３８】
本発明による装置はハンドリング時間の著しい節約をもたらすことができる。その例を以下に説明する。
【００３９】
例によれば、予定された仕事は５個のＦＯＵＰから２５個のウェハのロットを構成することである。ＦＯＵＰ移動ごとのサイクル時間は３０秒、公知の装置のドア開閉シーケンスは５秒、本発明による装置のドア開閉シーケンスは７秒、公知の装置のウェハハンドリングシーケンスは１０秒、本発明による装置のウェハハンドリングシーケンスは１５秒であるとする。
【００４０】
これらの条件において、別個のＦＯＵＰハンドリング手段を備えた公知の装置の伝統的な作業は６６０秒かかる。これは以下の公式に基づく：
ＦＯＵＰの移動１２回×３０秒＋開閉動作１０回×５秒＋ウェハの移動２５回×１０秒＝６６０秒。
【００４１】
本発明による装置を備えた新たな作業は４４５秒しかかからない。これは以下の公式に基づく：
開閉作業１０回×７秒＋ウェハの移動２５回×１５秒＝４４５秒。
【００４２】
例におけるハンドリング時間の節約は約３．６分又は３３％である。
【００４３】
本発明は、添付の図面を参照した本発明の実施例の以下の説明を参照することによりさらに深く理解されるであろう。
【００４４】
図１には、ウェハ２３を貯蔵するために働く装置１０が示されている。この装置１０は半導体又はＣＤ技術の分野において、すなわちプロセスウェハ２３を製造するために使用される。図１は、前記装置の概略的な上面図である。分かり易くするために、装置１０の蓋は省略されている。
【００４５】
装置１０は、４つの側壁１１を備えた貯蔵キャビネット２４から成っている。貯蔵キャビネット２４は閉システム１２として形成されている。したがって、貯蔵キャビネット２４内にミニエンバイロメント条件を形成することが可能である。側壁１１にはウェハ２３を貯蔵するための多数の容器１３が取り付けられている。装置１０は容器１３の複数の列を有している。図１には、１１個の容器１３を含む最上位の列のみが示されている。各容器１３内には１３個、２５個又は５０個のウェハ２３を貯蔵することができる。
【００４６】
ウェハ２３を前記容器に装入するため又は容器から取り出すために、このようなウェハ２３をハンドリングするための手段１５が設けられている。ウェハ２３をハンドリングするために、前記手段１５は吸着カップ等の吸着手段及び／又は掴み手段から成っていてよい。
【００４７】
さらに、ドア開放手段１６が設けられており、このドア開放手段１６は容器１３のドア１４を開放させることができる。前記ドア開放手段１６は、前記ドア１４を保持しかつ／又は取り外すための手段１８、例えば吸着手段及び／又はドア開放キー及び／又はピン及び／又は掴み手段を有している。
【００４８】
前記ウェハ２３をハンドリングするための手段１５と、前記ドア開放手段１６とは、前記ウェハ２３を装入する／取り出すための唯一の装置１７に配置されている／結合されている。装置１７は、ロボット、この実施例においてはロボットアームとして形成されている。したがって、両手段１５及び１６は前記貯蔵キャビネット２４内に可動に配置されており、この場合、前記手段１５，１６は全ての方向に自由に移動させられてよい。前記ロボットアームの長さは、望ましいならばテレスコープ式に変化させられてよい。
【００４９】
装置１７及び／又は手段１５及び１６の移動を制御するために制御ユニット１９が設けられており、この制御ユニット１９はコンジット２０を介して装置１７及び／又は手段１５，１６にそれぞれ接続されている。
【００５０】
複数の容器１３から取り出されたウェハ２３をウェハ２３の新たなロットに構成し、このロットを、貯蔵キャビネット２４から、処理システムにおける別の処理ユニットへ搬送するために、このようなウェハ２３を貯蔵するための手段２１が設けられている。前記手段２１は容器として形成されていると有利である。
【００５１】
ウェハ２３又は付加的な容器２１を貯蔵キャビネット２４から取り外すために、貯蔵キャビネット２４に結合されたヘッドポート２２が設けられている。このヘッドポート２２はロック又はドアとして形成することができる。ミニエンバイロメント条件が貯蔵キャビネット２４内に形成される場合、貯蔵キャビネット２４内のいかなる汚染をも回避するためにヘッドポート２２はロックとして形成されていると有利である。
【００５２】
図２は、箱として形成された容器１３を示している。箱１３は箱ハウジング３０と箱開口３１とから成っている。図２による箱１３から取り外されたドア１４は通常箱１３の前側３６に設けられている。別の実施例では、ドア１４は箱１３の底部３７に設けられていてもよい。さらに箱１３は上面ハンドリングフランジ３２を有しており、この上面ハンドリングフランジ３２によって前記箱は自動材料ハンドリングシステムによって搬送することができる。
【００５３】
ウェハ２３を箱１３に貯蔵するために、カセット３３が設けられている。カセット３３は箱１３内に貯蔵されているので、破線で示されている。カセット３３を箱１３内に固定するために、孔３５及びピン３４が設けられている。
【００５４】
以下に装置１０の作業を説明する。
【００５５】
従来技術から知られている解決手段とは対照的に、本発明による装置１０は可動なドア開放手段１６を有しており、ドア開放手段１６は、ウェハを装入／取出するために容器１３を移動させなければならない、別個の装入／取出システムの定置の部分ではない。この代わりに、ドア開放手段１６は貯蔵キャビネット２４内でロボットアーム１７に取り付けられている。ロボットアーム１７は、規定された領域内でドア開放手段１６を自由に位置決めすることができる。ドア開放手段１６は容器ドア１４を開放させ、容器１３全体を取り出すことなしにドアを取り外す。
【００５６】
前記装置１０の利点は、種々異なる容器１３の間を頻繁に移動させられるウェハ（例えば試験ウェハ）を容器１３に貯蔵することができ、ウェハ２３を装入する／取り出すための自動化された装置１７がその周りに設計されており、これにより、前記容器をハンドリングするための手段を必要とすることなしに、様々な他の容器１３の内容から、容器２１内の多数のウェハ２３を構成するようになっていることである。容器１３は貯蔵キャビネット２４内に定置に配置されており、ドア１４がロック解除され、ドア開放手段１６とドア１４を保持する／取り外すための手段１８とによって取り外される。ドア開放手段１６は、ウェハ２３をハンドリングするための手段１５が貯蔵キャビネット２４内でウェハ２３を移動させている間、ドア１４を保持してよい。又はドア１４を貯蔵キャビネット２４内に置き、貯蔵作業が終了した後に再び掴むことも可能である。
【００５７】
本発明による装置１０を用いることによりハンドリング時間を著しく節約することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明による、対象物を貯蔵するための装置の、概略的な上面図である。
【図２】 対象物を貯蔵するための容器の概略的な側面図である。
【符号の説明】
１０ 装置、 １１ 側壁、 １２ 閉システム、 １３ 容器、 １４ ドア、 １５ 手段、 １６ ドア開放手段、 １７ 装置、 １７ ロボットアーム、 １８ 手段、 １９ 制御ユニット、 ２０ コンジット、 ２１ 手段、 ２１ 容器、 ２２ ヘッドポート、 ２３ ウェハ、 ２４ 貯蔵キャビネット、 ３０ 箱ハウジング、 ３１ 箱開口、 ３２ 上面ハンドリングフランジ、 ３３ カセット、 ３４ ピン、 ３５ 孔、 ３６ 前側、 ３７ 底部
Claims (18)
- ディスク状対象物を貯蔵するための装置において、
ミニエンバイロメント条件を有する閉システムである貯蔵キャビネットが設けられており、該貯蔵キャビネットが、複数のディスク状対象物を貯蔵するように構成された複数の定置の容器を貯蔵しており、該定置の容器が、それぞれの取外し可能なドアによってロックされておりかつ、少なくとも前記容器に貯蔵される／前記容器から取り出されるディスク状対象物の装入／取出し作業の間は前記貯蔵キャビネット内に定置に配置されており、前記貯蔵キャビネットが、該貯蔵キャビネットから搬出されることができるように設計された付加的な容器を貯蔵するように構成されており、
複数の対象物を装入する／取り出すための唯一の装置が設けられており、該唯一の装置が、該唯一の装置に結合された可動な対象物ハンドリング装置及びドア開放装置を有しており、
前記可動な対象物ハンドリング装置が、前記定置の容器から対象物の内の少なくとも１つを装入しかつ取り出すように構成されており、前記対象物ハンドリング装置が、前記定置の容器の内の１つから取り出された対象物を前記付加的な容器に装入するように構成されており、
前記ドア開放装置が、前記定置の容器に接近するように配置されておりかつ、前記可動な対象物ハンドリング装置が前記貯蔵キャビネット内の前記定置の容器に貯蔵される／前記定置の容器から取り出されるディスク状対象物の装入／取出し作業を行う一方で前記取外し可能なドアを取り外すことによって前記可動なドアを開放させるように、及び前記定置の容器の前記取外し可能なドアを閉鎖するように構成されていることを特徴とする、ディスク状対象物を貯蔵するための装置。 - 前記対象物（２３）をハンドリングするための可動な手段（１５）と、前記ドア開放手段（１６）とが、前記対象物（２３）を挿入する／取り出すための唯一の装置（１７）に配置／結合されている、請求項１記載の装置。
- 前記対象物（２３）を挿入しかつ取り出すための装置（１７）が、ロボット、特にロボットアームとして形成されている、請求項２記載の装置。
- 前記対象物（２３）をハンドリングするための前記手段（１５）、及び／又は前記ドア開放手段（１６）、及び／又は前記対象物（２３）を装入する／取り出すための装置（１７）、を制御するための制御ユニット（１９）が設けられている、請求項１から３までのいずれか１項記載の装置。
- 前記貯蔵キャビネット（２４）が、閉システムとして形成されている、請求項１から４までのいずれか１項記載の装置。
- 前記ドア（１４）を開放させるための手段（１６）が、容器（１３）のドア（１４）を保持しかつ／又は取り外すための手段から成っている、請求項１から５までのいずれか１項記載の装置。
- 前記ドア（１４）を保持しかつ／又は取り外すための手段（１８）が、吸着カップ等の吸着手段及び／又はドア開放キー及び／又はピン及び／又は掴み手段から成っている、請求項６記載の装置。
- 前記対象物（２３）をハンドリングするための手段（１５）が、吸着カップ等の吸着手段及び／又は掴み手段から成っている、請求項１から７までのいずれか１項記載の装置。
- 前記対象物（２３）を貯蔵するための容器（１３）が、箱ハウジング（３０）と箱開口（３１）とから成る箱として形成されており、前記箱開口（３１）が前記ドア（１４）によってロックされている、請求項１から８までのいずれか１項記載の装置。
- 前記ドア（１４）が、前記箱の前側（３６）及び／又は底部（３７）に設けられている、請求項９記載の装置。
- 前記箱ハウジング（３０）と前記ドア（１４）との間にシール手段が設けられている、請求項９又は１０記載の装置。
- 前記対象物（２３）を貯蔵するための１つ又は２つ以上のカセット（３３）が設けられており、該カセットが前記容器（１３）内に貯蔵されている、請求項９から１１までのいずれか１項記載の装置。
- 前記容器（１３）から取り出された前記対象物（２３）を貯蔵するための手段（２１）が設けられており、該手段（２１）が有利には容器として形成されている、請求項１から１２までのいずれか１項記載の装置。
- 前記対象物（２３）をハンドリングするための前記可動な手段（１５）、及び／又は前記ドア（１４）を開放させるための前記手段、及び／又は前記容器（１３）から取り出された対象物（２３）を貯蔵するための前記手段（２１）が、閉システム（１２）として形成された前記貯蔵キャビネット（２４）内に配置されている、請求項５から１４までのいずれか１項記載の装置。
- ヘッドポート（２２）が設けられており、該ヘッドポート（２２）が前記貯蔵キャビネット（２４）に結合されている、請求項１から１４までのいずれか１項記載の装置。
- 前記ヘッドポート（２２）がロッキングシステムから成っている、請求項１５記載の装置。
- 前記装置（１０）がミニエンバイロメントとして提供されている、請求項１から１６までのいずれか１項記載の装置。
- ウェハ（２３）を貯蔵するため、特に３００ｍｍ以上の直径を有するウェハを貯蔵するための請求項１から１７までのいずれか１項記載の装置（１０）の使用。
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