KR20120131094A - Scribing apparatus - Google Patents

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미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
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Abstract

PURPOSE: A scribe apparatus is provided to prevent the contact of scribing wheels by controlling a first and a second distance according to the thickness of a substrate and to prevent a damage of the scribing wheels. CONSTITUTION: A first scribe head(19) includes a first scribing wheel(22) and a first convex part(23,24). The front end of the first convex part is located before the front end of the first scribing in the direction vertical to the side of a bonding substrate. A second scribe head(20) includes a second scribing wheel(32) and a second convexo part(33,34). The distance between the front end of the first convex part and the first scribing is a first distance. The front end of the second convexo part is located after the front end of the second scribing wheel. The distance between the front end of the second convex part and the second scribing is a second distance. The first distance and the second distance are less than a half of the thickness of the bonding substrate.

Description

스크라이브 장치{SCRIBING APPARATUS}Scribe device {SCRIBING APPARATUS}

본 발명은 2매의 취성 재료 기판을 접합한 접합 기판 등의 양면을 동시에 스크라이브하기 위한 스크라이브 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a scribing apparatus for simultaneously scribing both surfaces of a bonded substrate or the like bonded to two brittle material substrates.

액정 표시 장치 등의 액정 패널은 2매의 유리판을 접합한 구조로 되어 있다. 2매의 유리판을 접합한 접합 기판으로부터 액정 패널을 잘라낸 경우에는, 접합 기판의 상면 및 하면에 스크라이브 라인을 형성할 필요가 있다. 이 때문에 양면을 동시에 스크라이브하기 위한 스크라이브 장치로서, 특허문헌 1의 스크라이브 장치가 알려져 있다. 이것은, 선단에 스크라이빙 휠을 갖는 한쌍의 스크라이브 헤드를, 접합 기판의 면에 평행한 방향으로 이동시킴으로써 접합 기판의 양면에 스크라이브를 행하는 것이다. Liquid crystal panels, such as a liquid crystal display device, have a structure which bonded two glass plates. When the liquid crystal panel is cut out from the bonded substrate on which two glass plates are bonded, it is necessary to form a scribe line on the upper and lower surfaces of the bonded substrate. For this reason, the scribing apparatus of patent document 1 is known as a scribing apparatus for scribing both surfaces simultaneously. This is to scribe on both surfaces of the bonding substrate by moving a pair of scribing heads having a scribing wheel at the tip end in a direction parallel to the surface of the bonding substrate.

국제공개 WO 2009/157440호 공보International Publication WO 2009/157440

종래의 스크라이브 장치로 스크라이브할 때에는, 우선 처음으로, 선단에 스크라이빙 휠을 갖는 한쌍의 스크라이브 헤드를, 접합 기판의 상하 양면에 접근시켜, 스크라이브 개시 위치에 대기시킨다. 이때 접합 기판의 판두께 데이터의 입력 실수나 조작 실수가 있었던 경우에는, 상하의 스크라이빙 휠의 날끝이 충돌하여, 날끝이 손상되는 경우가 있다는 결점이 있었다. 스크라이빙 휠에 손상이 발생된 경우에는, 이후에 정상적으로 스크라이브를 할 수 없어, 잘라낸 액정 패널 등에 불량품이 발생한다는 문제점이 있었다. When scribing with a conventional scribing apparatus, first, a pair of scribing heads having a scribing wheel at the front end are brought close to the upper and lower surfaces of the bonded substrate and held at the scribe start position. At this time, when there is a mistake in inputting the plate thickness data of the bonded substrate or an operation error, there is a drawback that the blade tips of the upper and lower scribing wheels collide and the blade tips are damaged. When the scribing wheel is damaged, there is a problem that scribing cannot be normally performed afterwards, and defective products are generated in the cut-out liquid crystal panel.

본 발명은 이러한 종래의 문제점에 주목하여 이루어진 것으로서, 접합 기판의 양면을 동시에 스크라이브하는 스크라이브 장치에 있어서, 기판의 판두께 데이터의 입력 실수나 조작 실수 등이 있더라도 스크라이빙 휠이 서로 접촉하는 일 없이, 분단 후의 접합 기판에 있어서의 불량품의 발생을 미연에 방지할 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of such a conventional problem, and in a scribing apparatus for scribing both surfaces of a bonded substrate at the same time, the scribing wheels do not touch each other even if there is an input mistake or an operation mistake in the plate thickness data of the substrate. It is an object of the present invention to prevent generation of defective products in a bonded substrate after separation.

이 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 스크라이브 장치는, 취성 재료의 접합 기판의 제1면을 상방으로부터 스크라이브하는 제1 스크라이브 헤드와, 상기 접합 기판의 제2면을 하방으로부터 스크라이브하는 제2 스크라이브 헤드를 갖고, 상기 제1, 제2 스크라이브 헤드 및 상기 접합 기판의 적어도 한쪽을 상기 접합 기판의 면에 평행하게 상대적으로 이동시킴으로써 상기 접합 기판의 양면에서 동시에 스크라이브하는 스크라이브 장치에 있어서, 상기 제1 스크라이브 헤드는, 상기 접합 기판의 제1면을 향하여 배치된 회전이 자유로운 제1 스크라이빙 휠과, 상기 제1 스크라이빙 휠을 사이에 끼워 스크라이브시의 상대적인 평행 이동 방향의 전후에 한쌍으로 배치된 제1 볼록부를 구비함과 함께, 상기 제1 볼록부의 선단은, 상기 접합 기판의 면에 수직인 방향에 있어서, 상기 제1 스크라이빙 휠의 선단보다도, 제1 거리만큼 상방에 위치하고 있고, 상기 제2 스크라이브 헤드는, 상기 접합 기판의 제2면을 향하여 배치된 회전이 자유로운 제2 스크라이빙 휠과, 상기 제2 스크라이빙 휠을 사이에 끼워 스크라이브시의 상대적인 평행 이동 방향의 전후에 한쌍으로 배치된 제2 볼록부를 구비함과 함께, 상기 제2 볼록부의 선단은, 상기 접합 기판의 면에 수직인 방향에 있어서, 상기 제2 스크라이빙 휠의 선단보다도, 제2 거리만큼 하방에 위치하고 있고, 상기 제1 거리 및 제2 거리를, 모두, 스크라이브의 대상이 되는 상기 접합 기판의 두께의 1/2 미만으로 한 것이다.In order to solve this problem, the scribing apparatus of the present invention includes a first scribe head for scribing a first surface of a bonded substrate of brittle material from above, and a second scribe head for scribing a second surface of the bonded substrate from below. A scribing apparatus having a scribe device, wherein the scribe device simultaneously scribes from both surfaces of the bonded substrate by moving at least one of the first and second scribe heads and the bonded substrate relatively in parallel with a surface of the bonded substrate. Is a pair of freely rotating first scribing wheels disposed toward the first surface of the bonded substrate and the first scribing wheels interposed between the first and second scribing wheels, and arranged in pairs before and after the relative parallel movement direction at the time of scribing. While having a convex portion, the distal end of the first convex portion is perpendicular to the plane of the bonded substrate. The first scribing wheel has a second scribing wheel which is located upwards by a first distance from the distal end of the first scribing wheel, and wherein the second scribing head includes a second scribing wheel that is free to rotate toward the second surface of the bonding substrate. And a second convex portion arranged in pairs before and after the relative parallel movement direction during scribing with the second scribing wheel interposed therebetween, and the tip of the second convex portion is perpendicular to the surface of the bonding substrate. In the in-direction, it is located below the tip of the second scribing wheel by the second distance, and the first distance and the second distance are both 1/1 of the thickness of the bonded substrate to be the object of the scribe. It is less than two.

여기에서 상기 제1 스크라이브 헤드의 제1 볼록부는, 상기 제1 스크라이빙 휠의 회전축과 평행한 회전축을 갖는 롤러로 해도 좋다. The first convex portion of the first scribe head may be a roller having a rotation axis parallel to the rotation axis of the first scribing wheel.

여기에서 상기 제2 스크라이브 헤드의 제2 볼록부는, 상기 제2 스크라이빙 휠의 회전축과 평행한 회전축을 갖는 롤러로 해도 좋다. The second convex portion of the second scribe head may be a roller having a rotation axis parallel to the rotation axis of the second scribing wheel.

여기에서 상기 제1, 제2 볼록부는, 상기 접합 기판보다 낮은 강성을 갖는 탄성 변형 가능한 부재에 의해 구성되도록 해도 좋다. The first and second convex portions may be configured by an elastically deformable member having lower rigidity than the bonding substrate.

이러한 특징을 갖는 본 발명에 의하면, 접합 기판의 양면을 동시에 스크라이브하는 스크라이브 장치에 있어서, 스크라이빙 휠의 스크라이브 방향의 전후에 볼록부를 형성하고, 접합 기판의 면에 수직인 방향에서의 볼록부와 스크라이빙 휠까지의 제1, 제2 거리를 기판의 두께에 맞추어 설정하고 있기 때문에, 기판의 판두께 데이터의 입력 실수나 조작 실수가 있더라도 스크라이빙 휠이 서로 접촉하는 일은 없어진다. 그 때문에 스크라이빙 휠의 손상을 방지할 수 있어, 분단 후의 접합 기판에 불량품이 발생하는 것을 미연에 방지할 수 있다. According to the present invention having such a feature, in the scribing apparatus for scribing both surfaces of the bonded substrate at the same time, the convex portion is formed before and after the scribing direction of the scribing wheel, and the convex portion in the direction perpendicular to the surface of the bonded substrate is used. Since the first and second distances to the scribing wheel are set in accordance with the thickness of the substrate, the scribing wheels do not come into contact with each other even if there is an input mistake or an operation mistake in the plate thickness data of the substrate. Therefore, damage to a scribing wheel can be prevented and it can prevent that a defective article generate | occur | produces in the joining board | substrate after division | segmentation.

도 1a는 본 발명의 실시 형태에 의한 스크라이브 장치의 측면도이다.
도 1b는 본 발명의 실시 형태에 의한 스크라이브 장치의 측면도이다.
도 2는 본 실시 형태의 상하의 스크라이브 헤드를 나타내는 도면이다.
도 3은 스크라이브 전의 스크라이브 헤드의 위치를 나타내는 도면이다.
도 4a는 본 실시 형태에 있어서의 스크라이브 장치의 스크라이브시의 동작을 나타내는 도면이다.
도 4b는 본 실시 형태에 있어서의 스크라이브 장치의 스크라이브시의 동작을 나타내는 도면이다.
도 5는 스크라이브 전에 스크라이브 헤드의 롤러가 취성 재료 기판에 접촉한 상태를 나타내는 도면이다.
도 6은 스크라이브 종료시의 스크라이브 헤드와 롤러의 움직임을 나타내는 도면이다.
도 7은 본 발명의 실시 형태의 스크라이브 헤드와 롤러의 변형예를 나타내는 도면이다. 1A is a side view of a scribing apparatus according to an embodiment of the present invention.
1B is a side view of the scribe device according to the embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a diagram showing the scribe heads above and below the present embodiment.
3 is a view showing the position of the scribe head before scribing.
FIG. 4A is a diagram illustrating an operation during scribing of the scribe device according to the present embodiment. FIG.
4B is a diagram showing an operation during scribing of the scribe device according to the present embodiment.
5 is a view showing a state in which the roller of the scribe head is in contact with the brittle material substrate before scribing.
Fig. 6 is a diagram illustrating the movement of the scribe head and the roller at the end of scribing.
It is a figure which shows the modified example of the scribe head and the roller of embodiment of this invention.

(발명을 실시하기 위한 형태)(Mode for carrying out the invention)

도 1a, 도 1b는 본 실시 형태에 의한 스크라이브 장치를 측면으로부터 본 개략도이다. 이들 도면에 나타나는 바와 같이, 좌우 한쌍의 지주(10a, 10b)가 대좌( 台座; 11) 및 블록(12a, 12b) 상에 부착되어 있다. 이 지주 사이의 상부에는 가동 가이드 지주(13a, 13b)가 평행하게 형성되고, 하방에는 가동 가이드 지주(14a, 14b)가 평행하게 형성된다. 가동 가이드 지주(13a, 13b와 14a, 14b)는 각각 횡(橫) 슬라이드 부재(15, 16)를 각각 x축 방향(좌우 방향)으로 이동시키는 것이다. 횡 슬라이드 부재(15, 16)에는 각각 z축 방향(상하 방향)으로 스크라이브 헤드를 이동시키기 위한 종(縱) 슬라이드 부재(17, 18)가 형성되어 있다. 종 슬라이드 부재(17)의 하단부에는 스크라이브 헤드(19)가 형성된다. 종 슬라이드 부재(18)의 상단부에는 스크라이브 헤드(20)가 형성된다. 스크라이브 헤드(19, 20)는, 그의 선단에 스크라이빙 휠을 보유지지(保持)하는 것이다. 1A and 1B are schematic views of the scribing apparatus according to the present embodiment as seen from the side. As shown in these figures, a pair of left and right pillars 10a and 10b are attached on the pedestal 11 and the blocks 12a and 12b. The movable guide struts 13a and 13b are formed in parallel in the upper part between these struts, and the movable guide struts 14a and 14b are formed in parallel below. The movable guide struts 13a, 13b and 14a, 14b respectively move the lateral slide members 15 and 16 in the x-axis direction (left and right directions), respectively. Longitudinal slide members 17 and 18 for moving the scribe head in the z-axis direction (up and down direction) are formed in the horizontal slide members 15 and 16, respectively. A scribe head 19 is formed at the lower end of the longitudinal slide member 17. A scribe head 20 is formed at the upper end of the longitudinal slide member 18. The scribe heads 19 and 20 hold | maintain a scribing wheel at the front-end | tip of this.

여기에서 스크라이브 헤드(19)는 제1 스크라이브 헤드이고, 스크라이브 헤드(20)는 제2 스크라이브 헤드이다. 또한 종 슬라이드 부재(17, 18)는 이들 스크라이브 헤드를 서로 접근 또는 이반(離反)하는 방향으로 이동시키는 이동부를 구성하고 있고, 가동 가이드 지주(13a, 13b, 14a, 14b)와 횡 슬라이드 부재(15, 16)는, 스크라이브 헤드(19, 20)를 x축 방향으로 이동시키는 이동부를 구성하고 있다. Here, the scribe head 19 is a first scribe head, and the scribe head 20 is a second scribe head. Moreover, the longitudinal slide members 17 and 18 comprise the moving part which moves these scribe heads to the direction approaching or separating from each other, and the movable guide struts 13a, 13b, 14a, 14b, and the lateral slide member 15 are shown. And 16 constitute a moving part for moving the scribe heads 19 and 20 in the x-axis direction.

도 2는 이 상하의 스크라이브 헤드(19, 20)를 상세하게 나타내는 도면으로, 주변의 부재는 생략하여 나타내고 있다. 본 실시 형태에서는 상측의 스크라이브 헤드(19)의 하단에는, 스크라이빙 휠(22)이 그의 회전축(22a)을 중심으로 하여 회전이 자유롭게 형성된다. 스크라이빙 휠(22)의 진행 방향(x축 방향)의 전후에는 한쌍의 롤러(23, 24)가 형성된다. 롤러(23, 24)는 각각 스크라이빙 휠(22)의 회전축(22a)과 평행한 회전축(23a, 24a)을 갖고, 회전이 자유롭게 유지된 제1 볼록부이다. Fig. 2 shows the upper and lower scribe heads 19 and 20 in detail, and the peripheral members are omitted. In this embodiment, the scribing wheel 22 is formed in the lower end of the upper scribe head 19 centering around the rotating shaft 22a freely. A pair of rollers 23 and 24 are formed before and after the advancing direction (x-axis direction) of the scribing wheel 22. The rollers 23 and 24 are the first convex portions each having rotational axes 23a and 24a parallel to the rotational axis 22a of the scribing wheel 22, and the rotation of which is freely maintained.

하방의 스크라이브 헤드(20)에 대해서도 동일하게, 그의 상단부에는 스크라이빙 휠(32)이 회전축(32a)을 중심으로 하여 회전이 자유롭게 형성되어 있다. 스크라이빙 휠(32)의 진행 방향(x축 방향)의 전후에는 한쌍의 롤러(33, 34)가 형성되어 있다. 롤러(33, 34)는 각각 스크라이빙 휠(32)의 회전축(32a)과 평행한 회전축(33a, 34a)을 갖고, 회전이 자유롭게 유지된 제2 볼록부이다. Similarly with respect to the lower scribe head 20, the scribing wheel 32 is formed in the upper end part freely with respect to the rotating shaft 32a. A pair of rollers 33 and 34 are formed before and after the advancing direction (x-axis direction) of the scribing wheel 32. The rollers 33 and 34 are the second convex portions each having rotational axes 33a and 34a parallel to the rotational axis 32a of the scribing wheel 32, and the rotation of which is freely maintained.

여기에서 스크라이빙 휠(22)의 하단은, 좌우의 롤러(23, 24)의 하단보다도 근소하게 하방이 되도록 구성된다. 스크라이빙 휠(22)의 하단과 좌우의 롤러(23, 24)의 하단의 z축 방향의 간격을 제1 거리 d1로 한다. Here, the lower end of the scribing wheel 22 is configured to be slightly lower than the lower end of the left and right rollers 23 and 24. The space | interval of the lower end of the scribing wheel 22 and the lower end of the left and right rollers 23 and 24 in the z-axis direction is made into the 1st distance d1.

하방의 스크라이브 헤드(20)에 대해서는, 스크라이빙 휠(32)의 상단이 좌우 한쌍으로 형성되는 롤러(33, 34)의 상단보다도 근소하게 상방이 되도록 구성된다. 스크라이빙 휠(32)의 상단과 좌우의 롤러(33, 34)의 상단의 z축 방향의 간격을 제2 거리 d2로 한다. 제2 거리 d2는 d1과 상이해도 좋지만, 여기에서는 상측의 스크라이브 헤드(19)의 제1 거리 d1과 동일(d1＝d2＝d)하게 한다. The lower scribe head 20 is configured such that the upper ends of the scribing wheels 32 are slightly upwards than the upper ends of the rollers 33 and 34 formed by a pair of left and right. An interval in the z-axis direction between the upper end of the scribing wheel 32 and the upper end of the left and right rollers 33 and 34 is set as the second distance d2. Although the 2nd distance d2 may differ from d1, it is made to be the same as this (d1 = d2 = d) of the 1st distance d1 of the upper scribe head 19 here.

여기에서 스크라이브해야 하는 접합 기판의 두께를 T로 하면, 거리 d는 다음의 부등식 If the thickness of the bonded substrate to be scribed here is T, the distance d is the following inequality:

d＜T/2 … (1) d <T / 2... (One)

을 충족시키는 값으로 설정해 두는 것으로 한다. 이 값 d는 예를 들면 0.5㎜로 한다. 또한, 거리 d1, d2가 상이한 경우에는, 어느 쪽의 거리도 두께 T의 1/2 미만으로 한다.Set this to a value that satisfies. This value d shall be 0.5 mm, for example. In addition, when distance d1, d2 differs, either distance shall be less than 1/2 of thickness T.

좌우의 롤러(23, 24, 33, 34)는, 스크라이브의 대상이 되는 취성 재료 기판보다도 낮은 강성을 갖는 탄성 변형 가능한 재료, 예를 들면 폴리아세탈, 염화 비닐, 폴리에틸케톤 등의 합성 수지 재료나 경질 고무 재료 등을 이용할 수 있다. The left and right rollers 23, 24, 33, 34 are elastically deformable materials having a lower rigidity than the brittle material substrate to be scribed, for example, synthetic resin materials such as polyacetal, vinyl chloride, and polyethyl ketone. Hard rubber materials and the like can be used.

그러면, 이러한 한쌍의 스크라이브 헤드를 갖는 스크라이브 장치를 이용하여 접합 기판을 스크라이브할 때의 동작에 대해서 설명한다. 우선 상하의 롤러(23과 33)가 접합 기판(40)에 대향하는 위치까지 스크라이브 헤드(19, 20)를 x축 방향으로 이동시킨다. 이어서, 도 3에 나타내는 바와 같이 종 슬라이드 부재(17)를 하방향으로, 종 슬라이드 부재(18)를 상방향으로 이동시켜, 스크라이브 헤드(19, 20)를 접합 기판(40)에 접근시킨다. 이때에, 스크라이빙 휠(22)의 하단의 위치가 접합 기판(40)의 상면보다도 근소하게 하방이 되도록, 그리고, 스크라이빙 휠(32)의 상단의 위치가 접합 기판(40)의 하면보다도 근소하게 상방이 되도록, 스크라이빙 휠(22)의 하단과 스크라이빙 휠(32)의 상단의 z축 방향의 위치를 설정한다. 이 상태에서 도 4a, 도 4b에 나타내는 바와 같이 가동 가이드 지주(13a, 13b, 14a, 14b)를 따라서 횡 슬라이드 부재(15, 16)를 x축 방향으로 이동시킨다. 그러면, 스크라이빙 휠(22, 32)이 접합 기판(40)에 올라 앉고, 또한 x축 방향으로 이동시킴으로써 접합 기판(40)의 상하 양면이 동시에 스크라이브되어 간다. 그리고 횡 슬라이드 부재(15, 16)가 접합 기판(40)의 우단에 도달할 때까지 스크라이브를 끝내면, 상하 각 1개의 스크라이브를 종료한다. Next, the operation at the time of scribing the bonded substrate using the scribing apparatus having such a pair of scribe heads will be described. First, the scribe heads 19 and 20 are moved in the x-axis direction to the position where the upper and lower rollers 23 and 33 oppose the bonding substrate 40. Next, as shown in FIG. 3, the longitudinal slide member 17 is moved downwards, and the longitudinal slide member 18 is moved upwards, and the scribe heads 19 and 20 approach the bonding substrate 40. Then, as shown in FIG. At this time, the position of the lower end of the scribing wheel 22 is slightly lower than the upper surface of the bonding substrate 40, and the position of the upper end of the scribing wheel 32 is the lower surface of the bonding substrate 40. The position in the z-axis direction of the lower end of the scribing wheel 22 and the upper end of the scribing wheel 32 is set to be slightly upward. In this state, as shown to FIG. 4A and FIG. 4B, the horizontal slide members 15 and 16 are moved to an x-axis direction along the movable guide struts 13a, 13b, 14a, and 14b. Then, the scribing wheels 22 and 32 sit on the bonding substrate 40, and move upward and downward on both sides of the bonding substrate 40 by simultaneously moving in the x-axis direction. Then, when the scribing ends until the lateral slide members 15 and 16 reach the right end of the bonded substrate 40, one scribe of each of the upper and lower ends is finished.

여기에서, 접합 기판(40)의 두께 T와, 스크라이빙 휠의 선단과 롤러의 선단과의 거리 d와의 사이에 전술한 부등식 (1)이 성립되도록 하고 있기 때문에, 판두께 데이터의 입력 실수나 조작 실수에 의해 스크라이브 헤드(19)와 스크라이브 헤드(20)가 소정의 위치보다도 지나치게 접근한 경우에도, 도 5에 나타내는 바와 같이, 롤러(23, 33)가 접합 기판(40)에 먼저 접하기 때문에, 스크라이빙 휠(22, 32)간의 접촉을 방지할 수 있다. 이에 따라, 스크라이빙 휠(22, 32)의 날끝의 손상을 방지할 수 있다. The inequality (1) described above is established between the thickness T of the bonded substrate 40 and the distance d between the tip of the scribing wheel and the tip of the roller. Even when the scribing head 19 and the scribing head 20 approach more than a predetermined position due to a mistake in operation, as shown in FIG. 5, the rollers 23 and 33 contact the bonding substrate 40 first. The contact between the scribing wheels 22 and 32 can be prevented. Accordingly, damage to the blade tips of the scribing wheels 22 and 32 can be prevented.

또한 도 6에 나타내는 바와 같이 접합 기판(40)으로의 스크라이브가 종료했을 때에는, 신속하게 스크라이브 헤드(19)를 상승시킴과 함께 스크라이브 헤드(20)를 하강시켜, 서로 이반시킨다. 그러나 이때 이반시키는 타이밍이 늦어지면 스크라이빙 휠(22, 32)사이가 파선으로 나타내는 바와 같이 가까워지는 경우가 있다. 이 경우라도 후방에 설치되어 있는 롤러(24, 34)가 접합 기판(40)에 먼저 접촉하게 되기 때문에, 스크라이빙 휠(22, 32)간의 접촉을 방지할 수 있다. As shown in FIG. 6, when the scribing to the bonded substrate 40 is completed, the scribe head 19 is quickly raised, the scribe head 20 is lowered and separated from each other. However, at this time, when the timing to be separated is delayed, the scribing wheels 22 and 32 may come closer as shown by a broken line. Even in this case, since the rollers 24 and 34 provided at the rear contact the bonding substrate 40 first, the contact between the scribing wheels 22 and 32 can be prevented.

역방향으로 스크라이브하는 경우에는 롤러(23, 33)와 롤러(24, 34)의 기능이 역전하여, 최초 설정시에 롤러(24, 34)로 스크라이빙 휠(22, 32)의 접촉을 방지할 수 있으며, 스크라이브 종료시에 롤러(23, 33)로 스크라이빙 휠(22, 32)의 접촉을 방지할 수 있다. In the case of scribing in the reverse direction, the functions of the rollers 23 and 33 and the rollers 24 and 34 are reversed to prevent contact of the scribing wheels 22 and 32 with the rollers 24 and 34 at the initial setting. It is possible to prevent the contact of the scribing wheels 22 and 32 with the rollers 23 and 33 at the end of scribing.

또한 본 실시 형태에서는 스크라이빙 휠의 좌우에 한쌍의 롤러를 형성하도록 하고 있지만, 롤러(23, 24, 33, 34) 대신에, 단순한 돌기부를 형성하고, 그 돌기부의 선단과 스크라이빙 휠의 선단과의 위치 관계가 전술한 식 (1)을 충족시키도록 해도 좋다. 이 경우에도 스크라이빙 휠이 접촉하기 전에 돌기부와 접합 기판이 접촉하기 때문에, 스크라이빙 휠의 접촉을 방지할 수 있다. In the present embodiment, a pair of rollers are formed on the left and right sides of the scribing wheel, but instead of the rollers 23, 24, 33, and 34, a simple protrusion is formed, and the tip of the protrusion and the scribing wheel The positional relationship with the tip may satisfy the above expression (1). Also in this case, since the protrusion part and the bonding substrate contact before the scribing wheel contacts, the contact of the scribing wheel can be prevented.

또한 본 실시 형태에서는, 스크라이빙 휠의 좌우에 한쌍의 롤러를 형성하도록 하고 있지만, 이를 대신하는 것으로서 도 7에 스크라이브 헤드(19)의 변형예의 하방으로부터의 도면을 나타낸다. 이 변형예와 같이, 스크라이빙 휠(22)의 회전축과 평행한 회전축을 갖는 좌우에 각각 한쌍의 4개의 롤러(53a, 53b와 54a, 54b)를 배치하도록 해도 좋다. 하방의 스크라이브 헤드(20)에 대해서도 동일하다. In addition, in this embodiment, although a pair of roller is formed in the left and right of a scribing wheel, FIG. 7 shows the figure from the downward of the modified example of the scribe head 19 as a substitute. As in this modification, a pair of four rollers 53a, 53b and 54a, 54b may be arranged on the left and right sides having a rotational axis parallel to the rotational axis of the scribing wheel 22. The same applies to the lower scribe head 20.

또한 롤러(23, 24)의 z축 방향의 위치와 롤러(33, 34)의 z축 방향의 위치 및, 도 7의 변형예의 롤러(53a?54b)의 위치는 스크라이브의 대상이 되는 접합 기판의 두께 T에 맞추어 상하이동이 가능하도록, 높이 조정 기구를 형성해 두어도 좋다. 이렇게 하면 여러 가지 두께의 접합 기판에 대하여 스크라이빙 휠의 직접적인 간섭을 방지할 수 있다. In addition, the position of the z-axis direction of the rollers 23 and 24, the position of the z-axis direction of the rollers 33 and 34, and the position of the rollers 53a to 54b of the modification of FIG. The height adjustment mechanism may be formed so as to be able to be moved to the thickness T. This prevents direct interference of the scribing wheels with bonded substrates of various thicknesses.

또한 본 실시 형태에서는, 2매의 취성 재료 기판을 접합한 접합 취성 재료 기판을 대상으로 하여 설명했다. 이것에는 예를 들면, 유리 기판을 서로 접합한 플라즈마 디스플레이 패널, 유기 EL 디스플레이 패널 등의 플랫 디스플레이 패널과, 실리콘 기판, 사파이어 기판 등에 유리 기판을 접합한 반도체 기판 등이 포함된다. In addition, in this embodiment, it demonstrated about the bonding brittle material board | substrate which bonded two brittle material board | substrates. This includes, for example, flat display panels such as a plasma display panel and an organic EL display panel in which glass substrates are bonded to each other, a semiconductor substrate in which a glass substrate is bonded to a silicon substrate, a sapphire substrate and the like.

본 발명은, 접합 기판을 상하로부터 동시에 스크라이브하는 스크라이브 장치에 적용할 수 있다. The present invention can be applied to a scribing apparatus for scribing a bonded substrate at the same time from the top and the bottom.

10a, 10b : 지주
13a, 13b, 14a, 14b : 가동 가이드 지주
15, 16 : 횡 슬라이드 부재
17, 18 : 종 슬라이드 부재
19, 20 : 스크라이브 헤드
22, 32 : 스크라이빙 휠
23, 24, 33, 34, 53a, 53b, 54a, 54b : 롤러10a, 10b: holding
13a, 13b, 14a, 14b: movable guide post
15, 16: side slide member
17, 18: longitudinal slide member
19, 20: scribe head
22, 32: scribing wheel
23, 24, 33, 34, 53a, 53b, 54a, 54b: roller

Claims (5)

취성 재료의 접합 기판의 제1면을 상방으로부터 스크라이브하는 제1 스크라이브 헤드와, 상기 접합 기판의 제2면을 하방으로부터 스크라이브하는 제2 스크라이브 헤드를 갖고, 상기 제1, 제2 스크라이브 헤드 및 상기 접합 기판의 적어도 한쪽을 상기 접합 기판의 면에 평행하게 상대적으로 이동시킴으로써 상기 접합 기판의 양면에서 동시에 스크라이브하는 스크라이브 장치에 있어서,
상기 제1 스크라이브 헤드는,
상기 접합 기판의 제1면을 향하여 배치된 회전이 자유로운 제1 스크라이빙 휠과,
상기 제1 스크라이빙 휠을 사이에 끼워 스크라이브시의 상대적인 평행 이동 방향의 전후에 한쌍으로 배치된 제1 볼록부를 구비함과 함께,
상기 제1 볼록부의 선단은, 상기 접합 기판의 면에 수직인 방향에 있어서, 상기 제1 스크라이빙 휠의 선단보다도, 제1 거리만큼 상방에 위치하고 있고,
상기 제2 스크라이브 헤드는,
상기 접합 기판의 제2면을 향하여 배치된 회전이 자유로운 제2 스크라이빙 휠과,
상기 제2 스크라이빙 휠을 사이에 끼워 스크라이브시의 상대적인 평행 이동 방향의 전후에 한쌍으로 배치된 제2 볼록부를 구비함과 함께,
상기 제2 볼록부의 선단은, 상기 접합 기판의 면에 수직인 방향에 있어서, 상기 제2 스크라이빙 휠의 선단보다도, 제2 거리만큼 하방에 위치하고 있고,
상기 제1 거리 및 제2 거리를, 모두, 스크라이브의 대상이 되는 상기 접합 기판의 두께의 1/2 미만으로 한 스크라이브 장치. A first scribe head for scribing a first surface of a bonded substrate of brittle material from above, and a second scribe head for scribing a second surface of the bonded substrate from below, wherein the first and second scribe heads and the bonding A scribing apparatus for scribing simultaneously on both sides of the bonded substrate by moving at least one of the substrates in parallel with the plane of the bonded substrate.
The first scribe head,
A first scribing wheel free to rotate disposed toward the first surface of the bonded substrate;
With the first scribing wheel interposed therebetween the first convex parts arranged in pairs before and after the relative parallel movement direction during scribing,
The distal end of the first convex portion is located above the distal end of the first scribing wheel by a first distance in a direction perpendicular to the plane of the bonded substrate,
The second scribe head is,
A second scribing wheel free to rotate disposed toward the second surface of the bonded substrate;
With the second scribing wheel sandwiched therebetween the second convex portions arranged in pairs before and after the relative parallel movement direction during scribing,
The distal end of the second convex portion is located below the distal end of the second scribing wheel by a second distance in a direction perpendicular to the plane of the bonded substrate,
The scribing apparatus which made the said 1st distance and the 2nd distance both less than 1/2 of the thickness of the said bonded substrate used as a scribe object. 제1항에 있어서,
상기 제1 스크라이브 헤드의 제1 볼록부는, 상기 제1 스크라이빙 휠의 회전축과 평행한 회전축을 갖는 롤러인 스크라이브 장치.The method of claim 1,
And a first convex portion of the first scribe head is a roller having a rotation axis parallel to the rotation axis of the first scribing wheel. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제2 스크라이브 헤드의 제2 볼록부는, 상기 제2 스크라이빙 휠의 회전축과 평행한 회전축을 갖는 롤러인 스크라이브 장치.The method according to claim 1 or 2,
And a second convex portion of the second scribe head is a roller having a rotation axis parallel to the rotation axis of the second scribing wheel. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제1, 제2 볼록부는,
상기 접합 기판보다 낮은 강성을 갖는 탄성 변형 가능한 부재에 의해 구성되어 있는 스크라이브 장치. The method according to claim 1 or 2,
The first and second convex portions,
The scribing apparatus comprised by the elastically deformable member which has rigidity lower than the said bonding substrate. 제3항에 있어서,
상기 제1, 제2 볼록부는,
상기 접합 기판보다 낮은 강성을 갖는 탄성 변형 가능한 부재에 의해 구성되어 있는 스크라이브 장치.The method of claim 3,
The first and second convex portions,
The scribing apparatus comprised by the elastically deformable member which has rigidity lower than the said bonding substrate.
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