KR20120111922A

KR20120111922A - 스크린 인쇄기

Info

Publication number: KR20120111922A
Application number: KR1020117022194A
Authority: KR
Inventors: 세이코우 아베; 도시유키 무라카미
Original assignee: 파나소닉 주식회사
Priority date: 2010-01-08
Filing date: 2011-01-06
Publication date: 2012-10-11
Also published as: JP5059134B2; JP2011140177A; CN102378688B; WO2011083765A1; DE112011100208T5; US20120000381A1; CN102378688A; US8695498B2

Abstract

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 스퀴지 교환 작업과 페이스트 공급 시린지에 페이스트를 충전하는 작업을 수월하게 수행할 수 있도록 구성된 스크린 인쇄기를 제공하는 것이다.
페이스트 공급 시린지(14)는 그 페이스트 공급 시린지의 하단에 설치된 노즐(14a)이 스퀴지(15)의 바로 아래에 위치하도록 수직면 내에서 경사 각도로 가상 연장되는 페이스트 공급 자세와, 이 페이스트 공급 자세로부터 축선(41)을 중심으로 약 90도 회전된 저장 자세 사이에서 그 자세를 변경할 수 있도록 구성된다. 페이스트 공급 시린지(14)는 스퀴지 베이스(30)의 왕복 이동 방향과 직교하는 수평 방향으로 이동할 때에, 페이스트 공급 시린지(14)의 축선(41) 아래의 위치에 설치되며 종동 부재로서 기능하는 제1 캠 팔로워(45)가 안내 부재(44)의 안내면(44a)에 의해 안내되어, 페이스트 공급 시린지(14)가 축선(41) 주위에 요동함으로써 저장 자세가 된다.

Description

스크린 인쇄기{SCREEN PRINTING MACHINE}

본 발명은 마스크 플레이트에 형성된 패턴 홀을 통해 기판에 페이스트를 인쇄하는 스크린 인쇄기에 관한 것이다.

스크린 인쇄기는 기판 상의 전극의 레이아웃에 따라 마스크 패턴이 형성되어 있는 마스크 플레이트와, 그 마스크 플레이트 위에서 수평으로 왕복 이동하는 스퀴지 베이스에 부착된 스퀴지를 구비한다. 스크린 인쇄기는 마스크 플레이트를 기판의 상면과 접촉시키고, 스퀴지를 그 마스크 플레이트와 상측에서부터 접촉시킨 상태에서 스퀴지 베이스와 함께 왕복 이동시킴으로써 마스크 플레이트 위에서 슬라이딩시킨다. 이에, 마스크 패턴의 패턴 홀에는 마스크 플레이트 위에 공급된 땜납 페이스트와 도전성 페이스트 등의 페이스트가 충전된다. 이어서, 기판과 마스크 플레이트가 서로 분리되어 페이스트가 기판에 전사된다.

이러한 스크린 인쇄기에 있어서, 마스크 플레이트 위에 도포된 페이스트의 양이 적어질 경우, 페이스트 공급 시린지를 이용하여 페이스트를 마스크 플레이트 위에 공급한다(특허문헌 1), 이 페이스트 공급 시린지는 스퀴지와 독립적으로 이동할 수 있는 타입의 페이스트 공급 시린지와, 스퀴지 베이스에 부착된 상태에서 스퀴지와 함께 일체로 이동하는 다른 타입의 페이스트 공급 시린지를 포함한다. 후자의 페이스트 공급 시린지는 메커니즘이 간단하다. 또한, 페이스트 공급 시린지 내의 페이스트가 부족하게 되면, 시린지에 페이스트를 신속하게 보충하는 것이 가능하다. 따라서, 기판의 생산성을 향상시킬 수 있다.

JP-A-4-107145

이러한 스크린 인쇄기의 경우, 작업자가 스크린 인쇄기의 전방에서 수작업으로 페이스트 공급 시린지에 페이스트를 보충하는 작업을 수행해야 한다. 이 때문에, 페이스트 공급 시린지는 작업자가 볼 때에 스퀴지 베이스의 전방 영역에 배치되는 것이 바람직하다. 그러나, 스퀴지는 기판 사이즈 등에 따라 적절하게 교환되어야 한다. 페이스트 공급 시린지가 스퀴지 베이스의 전방 영역에 배치되면, 스퀴지를 교환하는 작업을 수행하기가 어려워져서 작업성이 나쁘다는 문제가 발생할 것이다.

따라서, 본 발명은 스퀴지 교환 작업 및 페이스트 공급 시린지에 페이스트를 보충하는 작업을 수월하게 수행할 있도록 구성된 스크린 인쇄기를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 스크린 인쇄기는, 기판의 상면과 접촉하며, 상기 기판 상의 전극의 레이아웃에 따른 마스크 패턴이 형성되어 있는 마스크 플레이트와, 상기 마스크 플레이트의 상측 영역에서 수평 방향으로 왕복 이동하는 스퀴지 베이스에 부착되며, 상기 마스크 플레이트와 상측에서부터 접촉한 상태에서 상기 스퀴지 베이스와 함께 수평 방향으로 이동하며 상기 마스크 플레이트 위에서 슬라이딩 이동함으로써, 상기 마스크 플레이트 상에 긁어모아진 페이스트를 마스크 패턴의 패턴 홀에 충전하는 스퀴지와, 상기 스퀴지 베이스의 왕복 이동 방향과 평행한 수직면 내에서 상기 스퀴지 베이스로부터 수평선에 대해 아래쪽으로 기울어 연장되는 축선 주위에 요동 가능하게 부착되는 페이스트 공급 시린지로서, 그 페이스트 공급 시린지의 하단에 설치된 노즐이 상기 스퀴지의 바로 아래에 위치하도록 상기 수직면 내에서 수직선에 대해 경사 각도로 가상 연장되는 페이스트 공급 자세와 이 페이스트 공급 자세로부터 상기 축선을 중심으로 약 90도 회전된 저장 자세 사이에서 자세를 변경할 수 있는 페이스트 공급 시린지와, 상기 페이스트 공급 시린지를 상기 스퀴지 베이스의 왕복 이동 방향과 직교하는 수평 방향으로 이동시키는 시린지 이동 기구와, 상기 페이스트 공급 자세에 있는 페이스트 공급 시린지가 상기 시린지 이동 기구에 의해 상기 스퀴지 베이스의 왕복 이동 방향과 직교하는 수평 방향으로 이동할 때에, 상기 페이스트 공급 시린지의 축선 하측 위치에 배치된 종동 부재를 안내하여, 상기 페이스트 공급 시린지를 상기 축선을 중심으로 약 90도 요동시킴으로써 그 페이스트 공급 시린지를 상기 저장 자세가 되게 하는 안내면을 구비하는 안내 부재를 포함한다.

이 구성에 있어서, 상기 페이스트 공급 시린지는 작업자의 작업 위치에서 볼 때에 스퀴지 베이스의 전방 영역에 배치된다.

상기 구성은 상기 페이스트 공급 자세에 있는 페이스트 공급 시린지가 상기 시린지 이동 기구에 의해 상기 스퀴지 베이스의 왕복 이동 방향과 직교하는 수평 방향으로 이동하여 저장 자세가 될 때, 상기 페이스트 공급 시린지와 함께 일체로 이동하는 이동 부재에 의해 압박되어 회전함으로써, 상기 저장 자세에 있는 페이스트 공급 시린지의 노즐을 덮는 캡 부재를 더 포함한다.

본 발명에서는, 페이스트 공급 시린지가, 스퀴지 베이스의 왕복 이동 방향과 평행한 수직면 내에서 스퀴지 베이스로부터 수평선에 대해 아래쪽으로 기울어 연장되는 축선 주위에 요동 가능하게 부착된다. 페이스트 공급 시린지는 그 페이스트 공급 시린지의 하단에 설치된 노즐이 스퀴지의 바로 아래에 위치하도록 페이스트 공급 자세와 저장 자세 사이에서 그 자세를 변경할 수 있다. 구체적으로, 페이스트 공급 자세는 수직면 내에서 수직선에 대해 경사 방향으로 가상 연장되고, 저장 자세는 이 페이스트 공급 자세로부터 축선을 중심으로 약 90도 회전된다. 따라서, 페이스트 공급 시린지에 페이스트를 충전하는 작업이 용이해질 수 있도록, 작업자의 작업 위치에서 볼 때에 페이스트 공급 시린지가 스퀴지 베이스의 전방 영역에 배치된 경우에서도, 페이스트 공급 시린지를 저장 자세가 되게 함으로써 스퀴지 베이스의 전방 영역을 개방 상태로 전환할 수 있다. 또, 스퀴지를 교환하는 작업도 수월하게 이루어질 수 있다. 또한, 페이스트 공급 시린지를 페이스트 공급 자세에서 저장 자세로 전환시키는 기구로서, 시린지 이동 기구가 이용된다. 페이스트 공급 시린지가 기판에 그 폭 방향으로 페이스트를 균등하게 공급하게 하기 위해서, 시린지 이동 기구는 페이스트 공급 시린지를 스퀴지 베이스의 왕복 이동 방향과 직교하는 수평 방향으로 이동시킨다. 이에, 페이스트 공급 시린지를 저장 자세가 되게 하는 구성을 간단하게 할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시형태의 스크린 인쇄기의 평면도이다.
도 2는 본 발명의 실시형태의 스크린 인쇄기의 정면도이다.
도 3은 본 발명의 실시형태의 스크린 인쇄기의 측면도이다.
도 4는 본 발명의 실시형태의 스크린 인쇄기의 마스크 플레이트의 평면도이다.
도 5는 본 발명의 실시형태의 스크린 인쇄기에 설치된 스퀴지 베이스의 부분 사시도이다.
도 6은 본 발명의 실시형태의 스크린 인쇄기의 스퀴지 및 페이스트 공급 시린지 부근의 측면도이다.
도 7은 본 발명의 실시형태의 스크린 인쇄기의 스퀴지 및 페이스트 공급 시린지 부근의 정면도이다.
도 8의 (a), (b) 및 (c)는 본 발명의 실시형태의 스크린 인쇄기의 스퀴지 및 페이스트 공급 시린지 부근의 정면도이다.
도 9의 (a)와 (b)는 본 발명의 실시형태의 스크린 인쇄기의 캡 부재의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 10은 본 발명의 실시형태의 스크린 인쇄기의 제어 시스템을 도시하는 블록도이다.
도 11의 (a)는 본 발명의 실시형태의 스크린 인쇄기의 후방 스퀴지의 사시도이고, (b)는 본 발명의 실시형태의 스크린 인쇄기의 후방 스퀴지의 측면도이다.
도 12는 본 발명의 실시형태의 스크린 인쇄기가 수행하는 스크린 인쇄 공정에 속한 처리 흐름을 나타내는 흐름도이다.
도 13의 (a)와 (b)는 본 발명의 실시형태의 스크린 인쇄기의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 14의 (a), (b) 및 (c)는 본 발명의 실시형태의 스크린 인쇄기의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 15의 (a), (b) 및 (c)는 본 발명의 실시형태의 스크린 인쇄기의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 16의 (a), (b) 및 (c)는 본 발명의 실시형태의 스크린 인쇄기의 동작을 설명하기 위한 도면이다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시형태에 대하여 설명한다. 도 1, 도 2 및 도 3에 있어서, 본 실시형태의 스크린 인쇄기(1)는 기판(2) 표면에 설치된 전극(3) 상에 땜납 페이스트와 도전성 페이스트 등의 페이스트를 스크린 인쇄하는 것이다. 스크린 인쇄기는, 벤치(11) 위에 설치되며 기판(2)을 반송하여 미리 정해진 작업 위치에 위치 결정하는 기판 위치 결정 유닛(12), 그 기판 위치 결정 유닛(12)의 상측 위치에 유지된 마스크 플레이트(13), 페이스트 공급 시린지(14), 한 쌍의 스퀴지(15) 및 카메라 유닛(16)을 포함한다. 설명의 편의상, 이 스크린 인쇄기(1)에서의 기판(2)의 반송 방향(즉, 도 1의 지면의 수평 방향)을 X축 방향이라고 하고, X축 방향과 직교하는 수평 방향(도 1의 지면의 수직 방향)을 Y축 방향이라 하며, 수직 방향(도 2의 지면의 수직 방향)을 Z축 방향이라고 한다. 또한, 스크린 인쇄기(1)의 작업자(OP)(도 1)가 스크린 인쇄기(1)에 대하여 작업을 하는 위치(도 1의 지면의 하측)를 스크린 인쇄기(1)의 전방이라 하고, 그 위치의 반대측(도 1의 지면의 상측)을 스크린 인쇄기(1)의 후방이라고 한다.

도 2와 도 3에 있어서, 기판 위치 결정 유닛(12)은 수평 면내 위치 결정부(21)와 수직 방향 위치 결정부(22)를 포함한다. 수평 면내 위치 결정부(21)는 벤치(11)에 대하여 Y축 방향으로 이동하는 Y 테이블(21a), 그 Y 테이블(21a)에 대하여 X축 방향으로 이동하는 X 테이블(21b), 그 X 테이블(21b)에 대하여 Z축을 중심으로 회전하는 θ 테이블(21c), 및 그 θ 테이블(21c)의 상면에 고정된 베이스 테이블(21d)을 포함한다. 또한, 수직 방향 위치 결정부(22)는 수평 면내 위치 결정부(21)의 베이스 테이블(21d)에 대하여 승강하는 제1 승강 테이블(22a), 그 제1 승강 테이블(22a)에 대하여 승강하는 제2 승강 테이블(22b), 그 제2 승강 테이블(22b)의 상면에 위치한 받침 유닛(22c)을 포함한다. 기판 위치 결정 유닛(12)은 위치 결정 컨베이어(23)와 한 쌍의 클램프 부재(클램퍼)를 더 포함한다. 위치 결정 컨베이어(23)는, 수직 방향 위치 결정부(22)의 제1 승강 테이블(22a)에 부착되며 기판(2)을 X축 방향으로 반송하고, 그 기판(2)을 미리 정해진 작업 위치에 배치하는 한 쌍의 벨트 컨베이어 기구를 더 포함한다. 클램프 부재(24)는 위치 결정 컨베이어(23) 위에서 기판(2)의 Y축 방향의 양측부를 측방에서부터 클램핑(파지)하여 기판을 유지한다.

도 1과 도 2에 있어서, 기판 위치 결정 유닛(12)을 구성하는 위치 결정 컨베이어(23)의 X축 방향의 양단부에는, 반입 컨베이어(25)와 반출 컨베이어(26)가 설치된다[즉, 한 컨베이어는 기판(2)의 반송 방향의 상류측에 있고 다른 컨베이어는 하류측에 있다]. 반입 컨베이어(25)는 스크린 인쇄기(1)의 외부(도 1과 도 2의 지면의 좌측)로부터 적재된 기판(2)을 반송(반입)하여 기판을 위치 결정 컨베이어(23)에 전달한다. 또한, 반출 컨베이어(26)는 위치 결정 컨베이어(23)로부터 전달된 기판(2)을 스크린 인쇄기(1)의 외부(도 1 및 도 2의 지면의 우측)에 반송(반출)한다.

도 1과 도 4에 있어서, 평면에서 볼 때에 마스크 플레이트(13)의 네면은 직사각 형상을 갖는 프레임 부재(13w)에 의해 지지된다. 프레임 부재(13w)에 의해 둘러싸인 직사각형 영역 내에는 기판(2) 상의 복수의 전극(3)에 대응하여[즉, 전극(3)의 레이아웃에 따라] 마련된 복수의 패턴 홀(ph)을 포함하는 마스크 패턴(MP)이 형성된다.

도 1에 있어서, 기판(2)의 대각선 위치에는 한 쌍의 기판측 레지스터 마크(mk)가 배치된다. 한편, 도 4에 도시하는 바와 같이, 마스크 플레이트(13)에는, 각각의 기판측 레지스터 마크(mk)에 대응하여 구성된 한 쌍의 마스크측 레지스터 마크(MK)가 있다.

작업자(OP)는 마스크 플레이트(13)의 양단부를 양손으로 잡고서, 기판 위치 결정 유닛(12) 위에서 스크린 인쇄기(1)의 전방으로부터 Y축 방향으로 연장되는 한 쌍의 지지 레일(27)(도 1 및 도 4) 사이의 간격에 삽입한다. 마스크 플레이트는 프레임 부재(13w)의 선두부가 지지 레일(27) 상에 설치된 스토퍼(27a)(도 1과 도 4)와 접촉할 때까지 후방으로 더 밀려짐으로써, 제자리에 있게 된다.

도 1과 도 2에 있어서, 벤치(11) 상에는 반입 컨베이어(25) 및 반출 컨베이어(26)를 Y축 방향으로 걸치는 한 쌍의 갠트리 프레임(gantry frame)(28)이 설치된다. 그 쌍의 갠트리 프레임(28) 각각에는 X축 방향으로 연장된 X축 스테이지(29a)의 양단부가 Y축 방향으로 슬라이드 가능하게 지지된다. X축 스테이지(29a) 상에는 카메라 지지 스테이지(29b)가 X축 방향으로 이동 가능하게 설치된다. 카메라 지지 스테이지(29b)에는 전술한 카메라 유닛(16)이 부착된다. 카메라 유닛(16)은 촬상 시야가 아래쪽으로 향하는 제1 카메라(16a)와 촬상 시야가 위쪽으로 향하는 제2 카메라(16b)를 포함한다(도 3).

도 1에 있어서, X축 방향으로 연장된 스퀴지 베이스(30)의 양단부는 한 쌍의 갠트리 프레임(28)에 의해 지지된다. 스퀴지 베이스(30)는 갠트리 프레임(28)을 따라 Y축 방향으로 왕복 이동할 수 있다. 스퀴지 베이스(30)에는 한 쌍의 스퀴지(15)가 Y축 방향으로 서로 대향하여 설치된다. 스퀴지(15) 각각은 X축 방향으로 연장된 주걱 형상의 부재로 이루어지며, 각 스퀴지(15)는 스퀴지 베이스(30)에 대하여 이동 가능하게 부착된다. 이하, 한 쌍의 스퀴지(15) 중 전방에 배치된 스퀴지(15)를 전방 스퀴지(15a), 후방에 배치된 스퀴지(15)를 후방 스퀴지(15b)라고 칭한다.

도 5와 도 6에 도시하는 바와 같이, 페이스트 공급 시린지(14)는 시린지 부착 브래킷(31)을 통해 스퀴지 베이스(30)의 전방 영역(도 6의 지면의 좌측)에 부착된다. 시린지 부착 브래킷(31)은 스퀴지 베이스(30)와 대향하는 후면에 부착된 슬라이더(32)와 X축 방향으로 연장되도록 스퀴지 베이스(30)의 전면(前面)에 설치된 슬라이드 가이드(33)가 맞물리는 결과에 따라 스퀴지 베이스(30)의 왕복 이동 방향(Y축 방향)과 직교하는 수평 방향(X축 방향)으로 이동 가능하게 된다.

도 5, 도 6 및 도 7에 있어서, 스퀴지 베이스(30)의 상면의 전단 영역 중, X축 방향으로 양단부에는 한 쌍의 모터 부착 브래킷[모터 부착 브래킷(34) 및 종동 풀리 부착 브래킷(35)]이 부착된다. 모터 부착 브래킷(34)에는 시린지 이동 모터(36)가 부착된다. 시린지 이동 모터(36)의 구동축(36a)(도 6)은 모터 부착 브래킷(34)을 수평으로 관통하여 전방으로 연장된다. 그 구동축(36a)의 선단측에는 구동 풀리(37)가 부착된다. 한편, 종동 풀리 부착 브래킷(35)으로부터 수평 전방으로 연장되는 풀리축(도시 생략)에는 종동 풀리(38)가 부착된다.

도 5, 도 6 및 도 7에 있어서, 구동 풀리(37)와 종동 풀리(38)에는 톱니 벨트(39)가 걸쳐진다. 톱니 벨트(39)의 하면에는 시린지 부착 브래킷(31)의 상부의 상면이 고정된다. 이 구조에 의해, 시린지 이동 모터(36)의 구동축(36a)이 구동되는 결과에 따라 구동 풀리(37)가 회전할 경우, 구동 풀리(37) 및 종동 풀리(38)와 맞물려 있는 톱니 벨트(39)가 X축 방향으로 주행함으로써, 시린지 부착 브래킷(31)[즉, 페이스트 공급 시린지(14)]은 스퀴지 베이스(30)의 전방 영역에서, 그 스퀴지 베이스(30)에 대해, 스퀴지 베이스(30)의 왕복 이동 방향(Y축 방향)과 직교하는 방향(X축 방향)으로 이동한다. 본 실시형태에 있어서, 시린지 이동 모터(36), 구동 풀리(37), 종동 풀리(38) 및 톱니 벨트(39)를 포함하는 기구는 페이스트 공급 시린지(14)를, 스퀴지 베이스(30)의 왕복 이동 방향(Y축 방향)과 직교하는 수평 방향으로 이동시키는 시린지 이동 기구(40)를 구성한다.

도 6에 도시하는 페이스트 공급 자세의 상태에서는, 페이스트 공급 시린지(14)가 내부에 저장된 땜납 페이스트와 도전성 페이스트 등의 페이스트를 경사진 하향 방향으로 공급하는 동작을 수행한다. 또, 이 시린지 이동 기구(40)가 페이스트 공급 시린지(14)를 X축 방향으로 이동시키는 범위(이동 스트로크)는 적어도, 스크린 인쇄기(1)가 취급하는 기판(2)의 폭(X축 방향에서 실현되는 치수)을 커버할 수 있는 정도로 한다.

도 5, 도 6 및 도 7에 있어서, 스퀴지 베이스(30)의 전방에 배치된 시린지 부착 브래킷(31)의 전면에는, 시린지 홀더(42)가 설치된다. 이 시린지 홀더(42)는 스퀴지 베이스(30)의 왕복 이동 방향(Y축 방향)과 평행한 수직면 내(도 6의 지면과 평행한 YZ면 내)에서 수평선(HL)(도 6)에 대하여 전방에서 경사져 아래쪽으로 연장되는 축선(41) 주위에 요동(회전) 가능하다. 페이스트 공급 시린지(14)는 이 시린지 홀더(42)에 의해 유지된 상태에서 축선(41) 주위에서 요동(회전) 가능하다. 이에, 시린지 홀더(42)에 의해 유지되는 페이스트 공급 시린지(14)는 페이스트 공급 자세(도 5, 도 6 및 도 7)와 저장 자세(도 1) 사이에서 그 자세를 전환할 수 있다. 페이스트 공급 자세는 페이스트 공급 시린지의 하단에 있는 노즐(14a)이 전방 스퀴지(15a)의 바로 아래에 위치하도록 수직면(즉, YZ면) 내에서 수직선(VL)(도 6)에 대하여 미리 정해진 각도(θ)로 경사져서 후방(도 6의 지면의 우측)으로 연장되는 가상선에 의해 결정된다. 또한, 저장 자세는 페이스트 공급 시린지가 이 페이스트 공급 자세로부터 축선(41)을 중심으로 약 90도 회전한 결과로서 결정된다. 미리 정해진 각도(θ)는 페이스트 공급 자세에 있는 페이스트 공급 시린지(14)가 전방 스퀴지(15a)의 바로 아래의 위치에 페이스트를 공급할 수 있는 각도로서 임의로 설정된다.

또한, 도 5와 도 7에 도시하는 바와 같이, 스퀴지 베이스(30)의 전방의 하부에는, 하향 방향으로 연장되는 안내 부재 부착 브래킷(43)이 부착된다. 이 안내 부재 부착 브래킷(43)의 전면에는, 안내 부재(캠 부재)(44)가 전방으로 돌출하도록 설치된다. 그 안내 부재(44)는 스퀴지 베이스(30)의 X축 방향의 중앙을 향해 완만히 강하하는 곡면형 안내면(44a)을 구비한다.

페이스트 공급 시린지(14)가 스퀴지 베이스(30)의 Y축 방향의 중앙에서 페이스트 공급 자세에 있는 상태에서, 시린지 이동 모터(36)가 구동됨에 따라, 페이스트 공급 시린지(14)는 안내 부재(44)가 위치해 있는 스퀴지 베이스(30)의 단부쪽(즉, 도 8의 지면의 좌측)으로 이동한다. 페이스트 공급 시린지(14)가 그 페이스트 공급 시린지(14)의 이동 스트로크의 단부 부근에 도달하면[도 8의 (a)에 화살표 A1로 표시], 페이스트 공급 시린지(14)의 측면에서 축선(41)보다 하측 위치에 설치되며 종동 부재로서 기능하는 제1 캠 팔로워(45)가 안내 부재(44)의 안내면(44a)과 접촉하게 된다[도 8의 (a)]. 또한, 안내 부재(44)가 위치해 있는 스퀴지 베이스(30)의 단부쪽으로 이동하면[도 8의 (b)에 화살표 A2로 표시], 제1 캠 팔로워(45)는 안내면(44a) 위에서 회전한다(그 안내면에 의해 안내된다). 그 결과, 페이스트 공급 시린지(14)의 하부는 안내 부재(44)에 의해 끌어 올려져 축선(41) 주위에 요동하고[도 8의 (b)], 최종적으로 페이스트 공급 시린지가 약 90도 요동하는 수평적 저장 자세가 된다[도 8의 (c)].

본 실시형태에 있어서, 페이스트 공급 자세에 있는 페이스트 공급 시린지(14)가 시린지 이동 기구(40)에 의해 스퀴지 베이스(30)의 왕복 이동 방향(Y축 방향)과 직교하는 수평 방향(X축 방향)으로 이동하면, 안내 부재(44)는 축선(41)보다 하측의 페이스트 공급 시린지(14) 상의 위치에 설치된 제1 캠 팔로워(45)를 안내하여, 페이스트 공급 시린지(14)를 축선(41)을 중심으로 약 90도 요동시켜 저장 자세가 되게 한다.

스퀴지(15)는 기판(2)의 사이즈 등에 따라 적절하게 교환되어야 한다. 이 스퀴지(15)의 교환 과정에서, 작업자(OP)는 스크린 인쇄기(1)의 전방으로부터 스퀴지 베이스(30)의 하측 위치에 손을 집어 넣는다. 그러나, 본 실시형태의 스크린 인쇄기(1)는 전술한 바와 같이, 페이스트 공급 시린지(14)를 페이스트 공급 자세에서 저장 자세로 전환할 수 있도록 구성되어 있다. 그렇기 때문에, 페이스트 공급 시린지(14)가 스퀴지 베이스(30)의 작업자(OP)의 작업 위치의 전방 영역에 위치한 경우에서도, 페이스트 공급 시린지(14)를 저장 자세로 변환함으로써 스퀴지 베이스(30)의 전방 영역이 개방될 수 있어 작업자는 스퀴지(15)를 수월하게 교환할 수 있다. 시린지 이동 기구(40)는 페이스트 공급 시린지(14)를 페이스트 공급 자세에서 저장 자세로 전환시키는 기구로서 이용될 수 있다. 시린지 구동 기구(40)는 페이스트(Pst)를 기판(2) 위에 그 폭 방향으로 균등하게 공급하기 위해서, 페이스트 공급 시린지(14)를 스퀴지 베이스(30)의 왕복 이동 방향과 직교하는 수평 방향으로 이동시킨다. 따라서, 페이스트 공급 시린지(14)를 저장 자세가 되게 하는 구성을 간단하게 구현할 수 있다.

도 5와 도 7에서, 안내 부재 부착 브래킷(43)의 전면에 있어서, 안내 부재(44)가 설치되는 위치보다 스퀴지 베이스(30)의 중앙쪽(도 5와 도 7의 지면의 우측)에 더 가까운 위치에 캡 부재(46)가 부착된다. 이 캡 부재(46)의 일단부는 안내 부재 부착 브래킷(43)의 전면으로부터 수평으로 전방(Y축 방향)으로 돌출하는 캡 부재 요동축(47)에 의해 요동 가능하게 지지된다. 캡 부재(46)는 캡 부재 요동축(47)에 의해 요동 가능하게 지지된 측(요동 지지된 단부)을 중심으로 수평 자세[도 5, 도 8의 (a) 및 도 9의 (a)에 도시한 비폐색 자세]와 수직 자세[도 8의 (c) 및 도 9의 (b)에 도시한 폐색 자세] 사이에서 요동 가능하다. 수평 자세에서, 캡 부재(46)의 타단부(요동 지지되지 않는 단부)는 캡 부재 요동축(47)에 대해 스퀴지 베이스(30)의 중앙에 가까운 위치에 설치되어, 요동 지지되지 않는 단부는 안내 부재 부착 브래킷(43)의 전면에 설치된 제1 스토퍼(43a)(도 7)와 상측에서부터 접촉하게 된다. 수직 자세에서는 요동 지지되지 않는 단부가 캡 부재 요동축(47)의 바로 위쪽에 위치한다.

도 5 및 도 9의 (a)와 (b)에 있어서, 캡 부재(46)의 요동 지지된 단부의 후방측[스퀴지 베이스(30)측]에는, 캡 부재(46)와 직교하는 방향으로 연장된 압박편(46a)이 부착된다. 캡 부재(46)가 비폐색 자세에 있다면, 이 압박편(46a)은 캡 부재(46)의 요동 지지된 단부로부터 수직 상승하여 위치한다[도 5, 도 8의 (a) 및 도 9의 (a)]. 캡 부재(46)가 폐색 자세인 경우라면, 캡 부재(46)의 요동 지지된 단부로부터 스퀴지 베이스(30)의 중앙의 반대측을 향해 수평으로 연장되어 위치한다[도 8의 (c)와 도 9의 (b)]. 압박편(46a)은 안내 부재 부착 브래킷(43)의 전면에 설치된 제2 스토퍼(43b)(도 5 및 도 7)와 상측에서부터 접촉하게 된다[도 8의 (c)].

도 5와 도 7에 있어서, 시린지 부착 브래킷(31)에는 아암 부재(48)가 부착된다. 안내 부재(44)의 위치와 반대쪽 위치(도 5 및 도 7의 지면의 우측)에 있는 아암 부재(48)는 시린지 부착 브래킷(31)의 이동 방향(X축 방향)으로 수평 연장된다. 이 아암 부재(48)의 선단부는 도 5, 도 7 및 도 9의 (a)와 (b)에 도시하는 바와 같이 하향으로 굴곡되어 굴곡부(48a)를 형성한다. 이 굴곡부(48a)에는 수평 전방(Y축 방향)으로 돌출한 축(도시 생략)을 중심으로 회전 가능한 제2 캠 팔로워(49)가 장착된다.

전술한 바와 같이, 시린지 이동 모터(36)가 구동되는 결과로서, 페이스트 공급 시린지(14)가 그 자세를 페이스트 공급 자세에서 저장 자세로 변경하는 과정에서, 아암 부재(48)의 굴곡부(48a)에 설치된 제2 캠 팔로워(49)는 비폐색 자세에 있는 캡 부재(46)의 압박편(46a)과 스퀴지 베이스(30)의 중앙 방향(도 5 및 도 7의 지면의 우측)에서부터 접촉함으로써, 캡 부재(46)를 안내 부재(44)쪽(도 5 및 도 7의 지면의 좌측)으로 누른다[도 9의 (a)에 화살표 B1로 표시]. 이에, 캡 부재(46)는 캡 부재 요동축(47) 주위에 요동하여, 그 자세를 수평적 비폐색 자세에서 수직적 폐색 자세로 변경한다[도 9의 (b)에 화살표 B2로 표시]. 따라서, 캡 부재는 페이스트 공급 시린지(14)가 저장 자세로 전환된 직후에 페이스트 공급 시린지(14)의 노즐(14a)을 측방에서부터 폐색한다(캡을 덮는다). 전술한 바와 같이, 캡 부재(46)는 페이스트 공급 시린지(14)가 페이스트 공급 자세로부터 약 90도 회전된 저장 자세에 있는 경우, 노즐(14a)을 폐색한다(덮는다). 따라서, 페이스트 공급 시린지(14)가 페이스트(Pst)를 공급하지 않는 저장 자세인 경우에는, 그 경우가 아니라면 일어나는 것인, 노즐(14a)로부터 페이스트(Pst)가 떨어지는 일이 방지된다.

페이스트 공급 시린지(14)가 저장 자세에서 페이스트 공급 자세로 변할 경우, 페이스트 공급 시린지(14)의 노즐(14a)은 수직 자세의 캡 부재(46)를 스퀴지 베이스(30)의 중앙(도 5 및 도 7의 지면의 우측)으로 민다. 캡 부재(46)는 캡 부재 요동축(47) 주위에 요동하여 그 자세를 수직적 폐색 자세에서 수평적 비폐색 자세로 변경한다[압박편(46a)은 수평 자세에서 수직 자세로 변한다]. 페이스트 공급 시린지(14)의 노즐(14a)은 캡 부재(46)에 의해 이루어진 폐색 상태로부터 해제된다[도 8의 (c)→도 8의 (b)→도 8의 (a)]. 또, 캡 부재(46)가 제2 캠 팔로워(49)에 의해 압박되지 않은 경우에는 실패 없이 노즐이 비폐쇄 상태에 진입하도록 스프링 등의 수단을 통해 캡 부재(46)를 비폐색 자세 방향으로 힘을 가해 이동시키는 구조를 채용할 수도 있다.

스크린 인쇄기(1)에 있어서, 컨트롤러(50)(도 10)가 도시 생략된 액츄에이터 등으로 구성된 기판 반송로 작동 기구(51)(도 10)의 동작을 제어함으로써, 기판(2)을 반송하기 위한 기판 반송로로서 기능하는 반입 컨베이어(25), 위치 결정 컨베이어(23) 및 반출 컨베이어(26)가 동작한다. 컨트롤러(50)가 도시 생략된 액츄에이터 등으로 구성된 클램프 부재 작동 기구(52)(도 10)의 동작을 제어함으로써, 클램프 부재(24)가 기판(2)을 클램핑한다.

컨트롤러(50)가 Y 테이블 작동 구동 모터(My)와 X 테이블 작동 구동 모터(Mx)(도 2와 도 3 참조) 등의 액츄에이터로 구성된 기판 위치 결정 유닛 작동 유닛(53)(도 10)의 동작을 제어함으로써, 다음의 동작이 이루어진다. Y 테이블(21a)이 벤치(11)에 대하여 Y축 방향으로 이동한다. X 테이블(21b)이 Y 테이블(21a)에 대하여 X축 방향으로 이동한다. θ 테이블(21c)[즉, 베이스 테이블(21d)]이 X 테이블(21b)에 대하여 Z축을 중심으로 회전한다. 제1 승강 테이블(22a)이 베이스 테이블(21d)에 대하여 승강한다. 제2 승강 테이블(22b)[즉, 받침 유닛(22c)]이 제1 승강 테이블(22a)에 대하여 승강한다.

컨트롤러(50)가 도시 생략된 액츄에이터로 구성된 카메라 유닛 이동 기구(54)(도 10)의 동작을 제어함으로써, 수평면 내에서 카메라 유닛(16)을 이동시킨다. 구체적으로, X축 스테이지(29a)는 한 쌍의 갠트리 프레임(28)에 대해서 Y축 방향으로 이동하고, 카메라 지지 스테이지(29b)는 X축 스테이지(29a)에 대해서 X축 방향으로 이동한다.

한 쌍의 스퀴지(15)를 Y축 방향으로 왕복 이동시키는 스퀴지 베이스(30)의 동작은 컨트롤러(50)가, 도시 생략된 액츄에이터 등으로 구성된 스퀴지 이동 기구(55)(도 10)를 제어함으로써 실현된다. 컨트롤러(50)가 스퀴지 베이스(30)의 상부에 부착된 스퀴지 승강 실린더(56)의 동작을 제어함으로써, 각 스퀴지(15)가 스퀴지 베이스(30)에 대해 승강한다.

컨트롤러(50)는 시린지 이동 모터(36)의 동작을 제어하여 페이스트 공급 시린지(14)를 X축 방향으로 이동시키는 이동 동작을 제어한다. 컨트롤러(50)가 도시 생략된 액츄에이터 등으로 구성된 페이스트 공급 기구(57)(도 10)의 동작을 제어함으로써, 페이스트 공급 시린지(14)가 페이스트(Pst)를 공급한다.

도 11의 (a)에 있어서, 후방 스퀴지(15b)의 스퀴지면[페이스트(Pst)를 긁어내는 면으로서, 후방 스퀴지(15b)의 경우에는 전방을 향하는 면]에는, 페이스트 높이 검출 센서(58)가 설치된다. 이 페이스트 높이 검출 센서(58)는 투광기(58a)와 수광기(58b)로 구성된다. 투광기(58a)는 후방 스퀴지(15b)의 폭 방향(즉, X축 방향)의 일단부에 설치되고 X축 방향으로 검사광(L)을 투광한다. 페이스트 높이 검출 센서(58b)는 후방 스퀴지(15b)의 폭 방향의 타단측에 설치되며 투광기(58a)가 투광한 검사광(L)을 수광한다.

컨트롤러(50)는, 후방 스퀴지(15b)가 마스크 플레이트(13) 상의 페이스트(Pst)와 접촉한 상태에서 페이스트 높이 검출 센서(58)의 투광기(58a)에 의해 투광된 검사광(L)을 수광기(58b)가 수광한 것을 검지하면[즉, 도 11의 (b)에 도시하는 상태], 그 페이스트(Pst)의 높이 "h"[도 11의 (b)]가 마스크 플레이트(13)의 상면에서 측정된 검사광(L)의 높이인 미리 정해진 값(미리 정해진 높이) H[도 11의 (b)]보다 낮다는 것과, 페이스트(Pst)의 공급이 필요하다는 것을 인식한다.

컨트롤러(50)의 제어 하에서, 카메라 유닛(16)을 구성하는 제1 카메라(16a)는 기판 위치 결정 유닛(12)에 의해 작업 위치에 위치 결정된 기판(2) 상의 기판측 레지스터 마크(mk)를 촬상한다. 컨트롤러(50)의 제어 하에서, 제2 카메라(16b)는 마스크 플레이트(13)에 형성된 마스크측 레지스터 마크(MK)를 촬상한다. 제1 카메라(16a)의 촬상 동작에 의해 얻어진 화상에 속한 화상 데이터와 제2 카메라(16b)의 촬상 동작에 의해 얻어진 화상에 속한 화상 데이터는 모두 컨트롤러(50)에 입력된다(도 10).

다음으로, 도 12에 나타낸 흐름도와, 도 13의 (a)?도 16의 (c)에 나타낸 동작 설명도를 이용하여 스크린 인쇄기(1)의 동작에 대해서 설명한다. 도시 생략된 검출 수단에 의해 작업자(OP)[또는 스크린 인쇄기(1)의 상류측에 설치된 도시 생략된 다른 기계]가 반입 컨베이어(25)에 기판(2)을 적재한 것을 검지하면, 스크린 인쇄기(1)의 컨트롤러(50)는 다음의 동작을 수행한다. 즉, 반입 컨베이어(25)와 위치 결정 컨베이어(23)는 연동 작동하여 스크린 인쇄기(1) 내에 기판(2)을 반입한다[도 13의 (a)에 화살표 C로 표시]. 도시 생략된 검출 수단이 위치 결정 컨베이어(23)에 의해 반송된 기판(2)이 미리 정해진 작업 위치에 도달한 것을 검출하면, 컨트롤러는 위치 결정 컨베이어(23)의 작동을 정지시키고 기판(2)을 위치 결정한다[도 13의 (b): 기판 반입 및 위치 결정 단계, 즉 도 12에 나타낸 단계 ST1].

기판(2)이 작업 위치에 위치 결정된 후에, 컨트롤러(50)는 기판 위치 결정 유닛(12)에 설치된 수직 방향 위치 결정부(22)의 제2 승강 테이블(22b)을 제1 승강 테이블(22a)에 대하여 상승시킨다[도 14의 (a)에 화살표 D1로 표시], 받침 유닛(22c)이 기판(2)의 하면과 접촉하면, 제2 승강 테이블(22b)의 상승 작동이 정지된다. 계속해서, 클램프 부재(24)가 작동하여, 위치 결정 컨베이어(23) 상의 기판(2)의 양측부를 클램핑한다[도 14의 (b)에 화살표 E1로 표시: 기판 클램프 단계: 도 12에 나타낸 단계 ST2].

클램프 부재(24)가 기판(2)을 클램핑하여 유지한 후에, 컨트롤러(50)는 다시 제2 승강 테이블(22b)을 제1 승강 테이블(22a)에 대하여 상승시켜[도 14의 (c)에 화살표 D2로 표시], 받침 유닛(22c)을 이용해 기판(2)을 밀어 올린다. 이에 따라 기판(2)은 그 양단부가 클램프 부재(24)와 슬라이딩 접촉하면서 상승한다[따라서 기판(2)은 위치 결정 컨베이어(23)로부터 상향으로 이격된다]. 기판(2)의 상면이 각 클램프 부재(24)의 상면과 실질적으로 같은 높이가 될 때, 받침 유닛(22c)의 상승 동작이 정지된다[도 14의 (c)].

컨트롤러(50)는 기판(2)의 상면이 각 클램프 부재(24)의 상면과 실질적으로 같은 높이가 된 경우에, 받침 유닛(22c)의 상승 동작을 정지시키고, 이어서 카메라 유닛 이동 기구(54)의 동작을 제어함으로써, 카메라 유닛(16)을 기판(2)과 마스크 플레이트(13) 사이의 영역에 이동시킨다. 그런 다음, 컨트롤러(50)는 제1 카메라(16a)로 하여금 기판(2)에 형성된 기판측 레지스터 마크(mk)를 촬상하게 하고, 또 제2 카메라(16b)로 하여금 마스크 플레이트(13)에 형성된 마스크측 레지스터 마크(MK)를 촬상하게 한다. 컨트롤러는 그렇게 얻어진 기판측 레지스터 마크(mk)에 속한 화상 데이터로부터 기판(2)의 위치를 파악하고, 또 그렇게 얻어진 마스크측 레지스터 마크(MK)에 속한 화상 데이터로부터 마스크 플레이트(13)의 위치를 파악한다.

컨트롤러(50)는 기판(2)의 위치와 마스크 플레이트(13)의 위치를 파악한 후에, 기판 위치 결정 유닛(12)에 설치된 수평 면내 위치 결정부(21)의 동작을 제어하여 기판(2)을 수평 방향으로 이동시킨다. 기판(2)과 마스크 플레이트(13)는 기판측 레지스터 마크(mk)와 마스크측 레지스터 마크(MK)가 서로 수직으로 대향하도록 수평 방향으로 위치 결정된다. 기판(2)과 마스크 플레이트(13)의 수평 방향 위치 결정이 끝나면, 컨트롤러(50)는 기판 위치 결정 유닛(12)에 설치된 수직 방향 위치 결정부(22)의 제1 승강 테이블(22a)을 베이스 테이블(21d)에 대하여 상승시켜[도 15의 (a)에 화살표 D3으로 표시], 피인쇄면인 기판(2) 상면을 마스크 플레이트(13)와 하측에서부터 접촉시킨다[도 15의 (a): 기판-마스크 플레이트 접촉 단계: 도 12에 나타낸 단계 ST3]. 이에 따라 마스크 플레이트(13)의 패턴 홀(ph)과 기판(2) 상의 전극(3)이 수직 방향으로 일치한다.

컨트롤러(50)는 기판(2)을 마스크 플레이트(13)와 접촉시킨 후, 필요에 따라 마스크 플레이트(13) 상에 페이스트(Pst)를 공급한다[페이스트 공급 단계: 도 12에 나타낸 단계 ST4]. 페이스트(Pst) 공급이 이루어질 때, 컨트롤러(50)는 먼저, 스퀴지 베이스(30)를 Y축 방향으로 이동시켜 전방 스퀴지(15a)가 전방 클램프 부재(24)의 바로 위에 위치하게 한다. 그리고, 컨트롤러는 시린지 이동 모터(36)의 동작을 제어하여 시린지 이동 기구(40)를 작동시킨다. 이에, 페이스트 공급 시린지(14)는 스퀴지 베이스(30)의 전방 영역에서 X축 방향으로 이동한다. 페이스트 공급 시린지(14)는 저장 자세로부터 축선(41)을 중심으로 90도 회전하여 페이스트 공급 자세가 된다. 그러면 컨트롤러는 페이스트 공급 시린지(14)가 전방 스퀴지(15a)의 바로 아래에 위치한 마스크 플레이트(13) 상에 페이스트(Pst)를 공급하게 한다. 시린지 이동 기구(40)는 페이스트(Pst)의 공급 시에, 페이스트 공급 시린지(14)를 X축 방향으로 이동시켜, 페이스트(Pst)가 기판(2)의 폭 방향으로 균등하게 공급되게 한다. 페이스트 공급 시린지(14)가 마스크 플레이트(13) 상에 페이스트(Pst)를 공급하는 것을 끝낸 후에, 컨트롤러(50)는 시린지 이동 기구(40)를 구동하여, 페이스트 시린지(14)의 자세를 페이스트 공급 자세에서 저장 자세로 변경한다.

컨트롤러(50)는 기판(2)을 마스크 플레이트(13)와 접촉시키고, 필요에 따라 마스크 플레이트(13) 상에 페이스트(Pst)를 공급한다. 이어서, 컨트롤러는 스퀴지 베이스(30)를 Y축 방향으로 왕복 이동시켜, 마스크 플레이트(13)의 마스크 패턴(MP)의 패턴 홀(ph)에 페이스트(Pst)를 충전시킨다[페이스트 충전 단계: 도 12에 나타낸 단계 ST5]. 이 페이스트(Pst)를 충전하는 구체적인 동작은 먼저, 전방 스퀴지(15a)를 그 스퀴지의 하부 모서리가 마스크 플레이트(13)의 상면과 접촉할 때까지 하강시키고, 전방 스퀴지(15a)를 스퀴지 베이스(30)의 후방으로 이동시켜, 전방 스퀴지(15a)를 마스크 플레이트(13) 위에서 슬라이딩 가능하게 이동시킴으로써, 후방의 클램프 부재(24)의 상면 영역까지 페이스트(Pst)를 긁어모은다[도 15의 (b)에 화살표 F1로 표시]. 후방의 클램프 부재(24)의 상면 영역까지 페이스트(Pst)를 긁어모은 후에, 스퀴지 베이스(30)의 이동이 정지하고, 전방 스퀴지(15a)는 상승하여 마스크 플레이트(13)로부터 이격된다. 또한, 후방 스퀴지(15b)는 그 하부 모서리가 마스크 플레이트(13)의 상면과 접촉할 때까지 하강한다. 그리고, 스퀴지 베이스(30)가 화살표 F1과 반대 방향으로 이동하여, 후방 스퀴지(15b)를 마스크 플레이트(13) 위에서 슬라이딩 가능하게 이동시킨다. 따라서, 전방의 클램프 부재(24)의 상면 영역까지 페이스트(Pst)가 긁어모아진다[도 15의 (c)에 화살표 F2로 표시]. 이에, 마스크 플레이트(13)의 패턴 홀(ph)에 페이스트(Pst)가 충전된다.

마스크 플레이트(13)의 패턴 홀(ph)에 페이스트(Pst)가 충전된 후에, 컨트롤러(50)는 제1 승강 테이블(22a)을 베이스 테이블(21d)에 대하여 하강시켜, 마스크 플레이트(13)를 기판(2)으로부터 이격시킨다[도 16의 (a)에 화살표 D4로 표시]. 이에 따라 마스크 플레이트의 분리가 이루어짐으로써, 페이스트(Pst)가 기판(2) 상의 전극(3)에 인쇄된다[마스크 플레이트 분리 단계: 도 12에 나타낸 단계 ST6].

기판(2)에의 페이스트(Pst)의 인쇄가 종료되면, 컨트롤러(50)는 클램프 부재(24)를 작동시켜 기판(2)을 클램핑 상태에서 해제한다[도 16의 (b)에 화살표 E2로 표시: 클램프 해제 단계: 도 12에 나타낸 단계 ST7]. 제2 승강 테이블(22b)이 제1 승강 테이블(22a)에 대하여 하강하여, 기판(2)을 위치 결정 컨베이어(23) 상에 하강시킨다[도 16의 (c)에 화살표 D5로 표시]. 기판 위치 결정 유닛(12)에 설치된 수평 면내 위치 결정부(21)가 작동하여, 반출 컨베이어(26)에 대하여 위치 결정 컨베이어(23)의 위치를 조정한다. 또한, 위치 결정 컨베이어(23)와 반출 컨베이어(26)가 작동하여, 위치 결정 컨베이어(23) 상의 기판을 반출 컨베이어(26)에 전달한다. 기판은 그대로 스크린 인쇄기(1)의 외부에 반출된다[기판 반출 단계: 도 12에 나타낸 단계 ST8].

기판(2)이 반출된 후에, 컨트롤러(50)는 다른 스크린 인쇄 대상 기판(2)이 있는지의 여부를 판단한다[판단 단계: 도 12에 나타낸 단계 ST9]. 그 결과, 다른 스크린 인쇄 대상 기판(2)이 있을 경우에는 순서가 단계 ST1에 되돌아가 기판(2)의 반입 동작과 위치 결정이 이루어진다. 반면, 다른 스크린 인쇄 대상 기판(2)이 없다면, 일련의 스크린 인쇄 단계에 속한 처리 동작이 종료된다.

이러한 스크린 인쇄 단계와 관련해서, 컨트롤러(50)는 페이스트 충전 단계 ST5에서 후방 스퀴지(15b)를 이용해 페이스트(Pst)를 마스크 플레이트(13)의 전방에 긁어모을 때, 페이스트 높이 검출 센서(58)가 보낸 검출 정보로부터, 후방 스퀴지(15b)의 전방에 위치한 페이스트(Pst)의 높이 "h"[도 11의 (b)]가 미리 정해진 값 H[도 11의 (b)]보다 낮은지의 여부를 판단한다. 판단 결과로부터, 페이스트(Pst)의 높이 "h"가 마스크 플레이트(13)의 상면에서 측정된 검사광(L)의 높이인 미리 정해진 값 H보다 낮다는 것과, 페이스트(Pst)의 공급이 필요하다는 것을 파악하면, 컨트롤러는 이러한 취지의 메시지[즉, 컨트롤러가 페이스트(Pst)의 공급이 필요하다는 것을 파악했다는 취지의 메시지]를 도시 생략한 기억부에 저장한다. 다음 페이스트 충전 단계(단계 ST5)에 속한 처리를 수행하기 전에, 페이스트 공급 시린지(14)는 저장 자세에서 페이스트 공급 자세로 변하고, 마스크 플레이트(13) 상에의 페이스트(Pst)의 공급(단계 ST4)을 수행한다. 이에 따라 전방 클램프 부재(24) 상에 이미 도포된 페이스트(Pst)에 추가분의 페이스트(Pst)가 더해져, 감소한 양의 페이스트(Pst)가 회복된다. 또한, 스크린 인쇄기는 페이스트(Pst)를 전방에 긁어모은 상태에서 전방 스퀴지(15a) 바로 아래의 위치에 페이스트(Pst)를 공급하도록 구성되어 있다. 그렇기 때문에, 기판(2)의 반송 도중에 페이스트(Pst)의 공급이 이루어진다 해도 마스크 플레이트(13)의 패턴 홀(ph)에서 페이스트(Pst)가 떨어지지 않을 것이다.

전술한 바와 같이, 본 실시형태의 스크린 인쇄기(1)는 마스크 플레이트(13), 스퀴지(15), 페이스트 공급 시린지(14), 시린지 이동 기구(40) 및 안내 부재(44)를 포함한다. 기판(2) 상의 전극(3)의 레이아웃에 따른 마스크 패턴(MP)이 형성되어 있는 마스크 플레이트(13)는 기판(2)의 상면과 접촉하게 된다. 스퀴지(15)는 마스크 플레이트(13)의 상측 영역에서 수평 방향으로 왕복 이동하는 스퀴지 베이스(30)에 부착된다. 마스크 플레이트(13)와 상측에서부터 접촉한 상태에서, 스퀴지(15)는 스퀴지 베이스(30)와 함께 수평 방향으로 이동하여 마스크 플레이트(13) 위에서 슬라이딩 이동한다. 그렇게 마스크 플레이트(13) 상에서 긁어모아진 페이스트(Pst)가 마스크 패턴(MP)의 패턴 홀(ph)에 충전된다. 페이스트 공급 시린지(14)는 스퀴지 베이스(30)의 왕복 이동 방향과 평행한 수직면 내에서 스퀴지 베이스(30)로부터 수평선(HL)에 대해 아래쪽으로 기울어 연장되는 축선(41) 주위에 요동 가능하게 부착된다. 페이스트 공급 시린지(14)는 그 페이스트 공급 시린지(14)의 하단에 설치된 노즐(14a)이 스퀴지(15)[즉, 전방 스퀴지(15a)]의 바로 아래에 위치하도록 수직면 내에서 수직선(VL)에 대해 경사 각도로 가상 연장되는 페이스트 공급 자세와 이 페이스트 공급 자세로부터 축선(41)을 중심으로 약 90도 회전된 저장 자세 사이에서 그 자세를 변경할 수 있다. 시린지 이동 기구(40)는 페이스트 공급 시린지(14)를 스퀴지 베이스(30)의 왕복 이동 방향과 직교하는 수평 방향으로 이동시킨다. 시린지 이동 기구(40)는 안내면(44a)을 포함하는 안내 부재(44)를 구비한다. 페이스트 공급 자세에 있는 페이스트 공급 시린지(14)가 시린지 이동 기구(40)에 의해 스퀴지 베이스(30)의 왕복 이동 방향과 직교하는 수평 방향으로 이동할 경우, 안내면은 페이스트 공급 시린지(14)의 축선(41) 아래의 위치에 설치된 종동 부재인 제1 캠 팔로워(45)를 안내하여, 페이스트 공급 시린지(14)를 축선(41)을 중심으로 약 90도 요동시킴으로써 페이스트 공급 시린지(14)를 저장 자세가 되게 한다.

본 실시형태의 스크린 인쇄기(1)에서는 페이스트 공급 시린지(14)가, 스퀴지 베이스(30)의 왕복 이동 방향과 평행한 수직면 내에서 스퀴지 베이스(30)로부터 수평선(HL)에 대해 아래쪽으로 기울어 연장되는 축선(41) 주위에 요동 가능하게 부착된다. 페이스트 공급 시린지는 그 페이스트 공급 시린지의 하단에 설치된 노즐(14a)이 스퀴지(15)[전방 스퀴지(15a)]의 바로 아래에 위치하도록 페이스트 공급 자세와 저장 자세 사이에서 그 자세를 변경할 수 있다. 구체적으로, 페이스트 공급 자세는 수직면 내에서 수직선(VL)에 대해 경사 방향으로 가상 연장되고, 저장 자세는 이 페이스트 공급 자세로부터 축선(41)을 중심으로 약 90도 회전된다. 따라서, 페이스트 공급 시린지(14)에 페이스트(Pst)를 충전하는 작업이 용이해지도록, 작업자(OP)의 작업 위치에서 볼 때에 페이스트 공급 시린지(14)가 스퀴지 베이스의 전방 영역에 배치된 경우에서도, 페이스트 공급 시린지를 저장 자세가 되게 함으로써 시린지 베이스(30)의 전방 영역을 개방 상태로 전환할 수 있다. 또한, 스퀴지(15)의 교환도 수월하게 이루어질 수 있다.

또한, 페이스트 공급 시린지(14)를 페이스트 공급 자세에서 저장 자세로 전환시키는 기구로서 시린지 이동 기구(40)가 이용된다. 페이스트 공급 시린지(14)로 하여금 페이스트(Pst)를 기판(2) 위에서 그 폭 방향으로 균등하게 공급시키기 위해서, 시린지 이동 기구는 페이스트 공급 시린지(14)를 스퀴지 베이스(30)의 왕복 이동 방향과 직교하는 수평 방향으로 이동시킨다. 따라서, 페이스트 공급 시린지(14)를 저장 자세가 되게 하는 구성을 간단하게 할 수 있다.

또한, 본 실시형태의 스크린 인쇄기(1)는 캡 부재(46)를 구비한다. 페이스트 공급 자세에 있는 페이스트 공급 시린지(14)가 시린지 이동 기구(40)에 의해서 스퀴지 베이스(30)의 왕복 이동 방향과 직교하는 수평 방향으로 이동하여 저장 자세가 될 때에, 페이스트 공급 시린지(14)와 함께 일체로 이동하는 이동 부재로서 기능하는 아암 부재(48)가 캡 부재(46)를 눌러 캡 부재(46)가 회전함으로써, 저장 자세가 유지된 페이스트 공급 시린지(14)의 노즐(14a)을 덮는다. 페이스트 공급 시린지(14)가 페이스트(Pst)를 공급하지 않는 저장 자세인 경우에, 다른 경우에 일어나는 것인, 노즐(14a)로부터 페이스트(Pst)가 떨어지는 일이 방지된다. 따라서, 다른 경우라면 떨어진 페이스트(Pst)에 의해 마스크 플레이트(13)가 더러워지는 일이 방지된다. 또한, 떨어진 페이스트(Pst)를 청소하는 데 걸리는 시간이 불필요해져서, 그만큼 작업성을 향상시킬 수 있다.

이상, 본 발명의 실시형태에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 전술한 실시형태에 한정되지 않는다. 예컨대, 전술한 실시형태에서는, 스크린 인쇄기(1)가 2개의 스퀴지(15)[전방 스퀴지(15a) 및 후방 스퀴지(15b)]를 구비한다. 그러나, 이 스크린 인쇄기는 일례일 뿐이면, 스퀴지(15)를 하나만 구비한 다른 스크린 인쇄기를 채용할 수도 있다.

특정 실시형태를 참조하여 본 발명을 상세하게 설명하였지만, 당업자에게는 본 발명의 사상과 범위를 일탈하지 않고서 본 발명에 다양한 변형 및 수정이나 수정이 이루어질 수 있음이 분명하다.

본 발명은 2010년 1월 8일에 출원한 일본 특허 출원(JP-A-2010-002515)에 기초하며, 그 전체 내용은 여기에 참조로서 포함된다.

<산업상 이용 가능성>

스퀴지 교환 작업과 페이스트 공급 시린지에 페이스트를 충전하는 작업을 수월하게 수행할 수 있도록 구성된 스크린 인쇄기를 제공한다.

1: 스크린 인쇄기 2: 기판
3: 전극 13: 마스크 플레이트
14: 페이스트 공급 시린지 14a: 노즐
15: 스퀴지 30: 스퀴지 베이스
40: 시린지 이동 기구 41: 축선
44: 안내 부재 44a: 안내면
45: 제1 캠 팔로워(종동 부재) 46: 캡 부재
48: 아암 부재(이동 부재) HL: 수평선
VL: 수직선 MP: 마스크 패턴
ph: 패턴 홀 Pst: 페이스트
OP: 작업자

Claims

스크린 인쇄기에 있어서,
기판의 상면과 접촉하며, 상기 기판 상의 전극의 레이아웃에 따른 마스크 패턴이 형성되어 있는 마스크 플레이트와,
상기 마스크 플레이트의 상측 영역에서 수평 방향으로 왕복 이동하는 스퀴지 베이스에 부착되며, 상기 마스크 플레이트와 상측에서부터 접촉한 상태에서 상기 스퀴지 베이스와 함께 수평 방향으로 이동하고, 상기 마스크 플레이트 위에서 슬라이딩 이동함으로써, 상기 마스크 플레이트 상에 긁어모아진 페이스트를 상기 마스크 패턴의 패턴 홀에 충전하는 스퀴지와,
상기 스퀴지 베이스의 왕복 이동 방향과 평행한 수직면 내에서 상기 스퀴지 베이스로부터 수평선에 대해 아래쪽으로 기울어 연장되는 축선 주위에 요동 가능하게 부착되는 페이스트 공급 시린지로서, 그 페이스트 공급 시린지의 하단에 설치된 노즐이 상기 스퀴지의 바로 아래에 위치하도록 상기 수직면 내에서 수직선에 대해 경사 각도로 가상 연장되는 페이스트 공급 자세와 이 페이스트 공급 자세로부터 상기 축선을 중심으로 약 90도 회전된 저장 자세 사이에서 자세를 변경하도록 구성되는 페이스트 공급 시린지와,
상기 페이스트 공급 시린지를 상기 스퀴지 베이스의 왕복 이동 방향과 직교하는 수평 방향으로 이동시키는 시린지 이동 기구와,
상기 페이스트 공급 자세에 있는 페이스트 공급 시린지가 상기 시린지 이동 기구에 의해 상기 스퀴지 베이스의 왕복 이동 방향과 직교하는 수평 방향으로 이동할 때에, 상기 페이스트 공급 시린지의 축선 아래의 위치에 설치된 종동 부재를 안내하여, 상기 페이스트 공급 시린지를 상기 축선을 중심으로 약 90도 요동시킴으로써 그 페이스트 공급 시린지를 저장 자세가 되게 하는 안내면을 구비하는 안내 부재
를 포함하는 스크린 인쇄기.
제1항에 있어서, 상기 페이스트 공급 시린지는 작업자의 작업 위치에서 볼 때에 상기 스퀴지 베이스의 전방 영역에 배치되는 것인 스크린 인쇄기.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 페이스트 공급 자세에 있는 페이스트 공급 시린지가 상기 시린지 이동 기구에 의해 상기 스퀴지 베이스의 왕복 이동 방향과 직교하는 수평 방향으로 이동하여 저장 자세가 될 때에, 상기 페이스트 공급 시린지와 함께 일체로 이동하는 이동 부재에 의해 압박되어 회전함으로써, 상기 저장 자세에 있는 페이스트 공급 시린지의 노즐을 덮는 캡 부재를 더 포함하는 스크린 인쇄기.