KR20120110386A - Array test apparatus - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: An array test device is provided to rotate a probe bar on a probe module, thereby easily inspecting and replacing a probe pin. CONSTITUTION: A probe module(23) is adjacent to an electrode of a glass panel. A probe bar(70) is installed in the probe module. The probe bar comprises a plurality of probe pins. The probe pins face the glass panel. The probe bar can rotate to make the probe pin to face in a direction different from a direction in which the probe pin faces the glass panel.

Description

어레이 테스트 장치 {ARRAY TEST APPARATUS}Array Test Device {ARRAY TEST APPARATUS}

본 발명은 글라스패널을 검사하기 위한 어레이 테스트 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an array test apparatus for inspecting a glass panel.

일반적으로, 평판디스플레이(Flat Panel Display; FPD)란 브라운관을 채용한 텔레비전이나 모니터보다 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치이다. 평판디스플레이로는, 액정디스플레이(Liquid Crystal Display; LCD), 플라즈마디스플레이패널(Plasma Display Panel; PDP), 전계방출디스플레이(Field Emission Display; FED), 유기발광다이오드(Organic Light Emitting Diodes; OLED) 등이 개발되어 사용되고 있다.In general, a flat panel display (FPD) is an image display device that is thinner and lighter than a television or a monitor employing a CRT. The flat panel display includes a liquid crystal display (LCD), a plasma display panel (PDP), a field emission display (FED), organic light emitting diodes (OLED), and the like. It is developed and used.

이와 같은 평판디스플레이 중에서, 액정디스플레이는 매트릭스형태로 배열된 액정셀들에 화상정보에 따른 데이터신호를 개별적으로 공급하여 액정셀들의 광투과율을 조절함으로써 원화는 화상을 표시할 수 있도록 한 표시장치이다. 액정디스플레이는 얇고 가벼우며 소비전력과 동작전압이 낮은 장점 등으로 인하여 널리 이용되고 있다. 이러한 액정디스플레이에 일반적으로 채용되는 액정패널의 제조방법을 설명하면 다음과 같다.Among such flat panel displays, a liquid crystal display is a display device in which an original image can be displayed by controlling a light transmittance of liquid crystal cells by individually supplying data signals according to image information to liquid crystal cells arranged in a matrix form. Liquid crystal displays are widely used due to their thin, light, low power consumption and low operating voltage. The manufacturing method of the liquid crystal panel generally employed in such a liquid crystal display will be described.

먼저, 상부기판에 컬러필터 및 공통전극을 형성하고, 상부기판과 대응되는 하부기판에 박막트랜지스터(Thin Film Transistor; TFT) 및 화소전극을 형성한다. 이어서, 기판들에 각각 배향막을 도포한 후 이들 사이에 형성될 액정층내의 액정분자에 프리틸트 각(pre-tilt angle)과 배향방향을 제공하기 위해 배향막을 러빙(rubbing)한다.First, a color filter and a common electrode are formed on an upper substrate, and a thin film transistor (TFT) and a pixel electrode are formed on a lower substrate corresponding to the upper substrate. Subsequently, after the alignment films are applied to the substrates, the alignment films are rubbed to provide a pre-tilt angle and an orientation direction to the liquid crystal molecules in the liquid crystal layer to be formed therebetween.

그리고, 기판들 사이의 갭을 유지하는 한편 액정이 외부로 새는 것을 방지하고 기판들 사이를 밀봉시킬 수 있도록 적어도 어느 하나의 기판에 페이스트를 소정 패턴으로 도포하여 페이스트 패턴을 형성한 다음, 기판들 사이에 액정층을 형성하는 과정을 통하여 액정패널을 제조하게 된다.Then, the paste is applied to at least one substrate in a predetermined pattern to form a paste pattern so as to maintain a gap between the substrates and to prevent the liquid crystal from leaking to the outside and to seal the gaps between the substrates. Through the process of forming a liquid crystal layer in the liquid crystal panel is manufactured.

이러한 공정 중에 박막트랜지스터(TFT) 및 화소전극이 형성된 하부기판(이하, "글라스패널"이라 한다.)에 구비되는 게이트라인 및 데이터라인의 단선, 화소셀의 색상 불량 등의 결함이 있는지를 검사하는 공정을 수행하게 된다.During this process, the gate line and data lines of the thin film transistor TFT and the lower substrate (hereinafter, referred to as the "glass panel") on which the pixel electrodes are formed are inspected for defects such as disconnection of color lines and color defects of the pixel cells. The process will be carried out.

글라스패널의 검사를 위하여, 복수의 프로브핀(probe pin)을 가지는 프로브모듈을 구비한 어레이 테스트 장치가 이용되는데, 이러한 어레이 테스트 장치는 복수의 프로브핀을 검사대상이 되는 글라스패널에 배열된 복수의 전극에 대응되도록 위치시키고, 복수의 프로브핀을 복수의 전극에 가압한 후, 복수의 프로브핀을 통하여 복수의 전극으로 전기신호를 인가하는 과정을 포함하여 진행된다.For the inspection of the glass panel, an array test apparatus having a probe module having a plurality of probe pins is used. The array test apparatus includes a plurality of probe pins arranged on a glass panel to be inspected. Positioning to correspond to the electrode, and pressing a plurality of probe pins to the plurality of electrodes, and then applying an electrical signal to the plurality of electrodes through the plurality of probe pins.

이와 같이 복수의 프로브핀을 통하여 글라스패널의 복수의 전극으로 전기신호를 인가하는 과정이 반복되면서 프로브핀에 마모가 발생하게 되는데, 이에 따라, 미리 설정된 개수의 글라스패널에 대한 검사를 수행한 후 또는 일정한 주기의 간격으로 프로브핀의 상태를 점검하거나 프로브핀을 교체하는 작업이 요구된다.As the process of applying an electrical signal to the plurality of electrodes of the glass panel through the plurality of probe pins is repeated, wear occurs on the probe pins. Accordingly, after the inspection of the predetermined number of glass panels or It is necessary to check the status of the probe pins or replace the probe pins at regular intervals.

그러나, 종래의 어레이 테스트 장치에서는, 프로브핀이 글라스기판에 대향하는 방향을 향하도록 프로브바의 하측에 설치된 후 그 위치가 고정되는데, 프로브핀과 글라스패널 사이의 간격이 좁기 때문에, 프로브핀의 상태를 점검하는 작업과 프로브핀을 프로브모듈로부터 제거하는 작업과, 프로브핀을 프로브모듈에 설치하는 작업이 불편하다는 문제점이 있었다.However, in the conventional array test apparatus, the probe pin is installed on the lower side of the probe bar so as to face in the direction opposite to the glass substrate, and then its position is fixed. Checking and removing the probe pin from the probe module, there is a problem that the installation of the probe pin on the probe module is inconvenient.

본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은, 프로브핀의 상태를 점검하는 작업 및 프로브핀을 교체하는 작업을 용이하게 수행할 수 있는 어레이 테스트 장치를 제공하는 데에 있다.The present invention is to solve the above problems of the prior art, an object of the present invention, to provide an array test apparatus that can easily perform the operation of checking the state of the probe pin and the operation of replacing the probe pin Is in.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치는, 글라스패널의 전극과 인접되게 배치되는 프로브모듈과, 상기 프로브모듈에 설치되고, 상기 글라스패널에 대향되게 배치되는 복수의 프로브핀을 구비하는 프로브바를 포함하고, 상기 프로브바는 상기 프로브핀이 상기 글라스패널에 대향하는 방향과 다른 방향을 향하도록 상기 프로브모듈에 회전이 가능하게 설치될 수 있다.An array test apparatus according to the present invention for achieving the above object comprises a probe module disposed adjacent to an electrode of a glass panel, and a plurality of probe pins installed on the probe module and disposed opposite to the glass panel. The probe bar may include a probe bar, and the probe bar may be rotatably installed in the probe module such that the probe pin faces a direction different from a direction opposite to the glass panel.

본 발명에 따른 어레이 테스트 장치는, 프로브핀의 상태의 점검 및 프로브핀의 교체를 위하여, 프로브핀이 글라스패널에 대향하는 방향과 다른 방향을 향하도록 프로브바가 프로브모듈에 회전이 가능하게 설치되므로, 프로브바를 회전시키는 간단한 동작을 통하여 프로브핀의 점검 및 교체를 수행할 수 있는 충분한 공간을 확보할 수 있으므로, 프로브핀의 점검작업 및 교체작업을 용이하게 수행할 수 있는 효과가 있다.In the array test apparatus according to the present invention, the probe bar is rotatably installed in the probe module so that the probe pin faces a direction different from the direction in which the probe pin faces the glass panel for checking the state of the probe pin and replacing the probe pin. Through a simple operation of rotating the probe bar can secure enough space to perform the inspection and replacement of the probe pin, there is an effect that can easily perform the inspection and replacement of the probe pin.

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 어레이 테스트 장치가 도시된 사시도이다.
도 2는 도 1의 어레이 테스트 장치의 프로브모듈이 도시된 사시도이다.
도 3 내지 도 5는 도 2의 프로브모듈의 동작이 도시된 사시도이다.
도 6 내지 도 9는 본 발명의 제2실시예에 따른 어레이 테스트 장치의 프로브모듈이 도시된 사시도이다.
도 10은 본 발명의 제3실시예에 따른 어레이 테스트 장치의 프로브모듈이 도시된 사시도이다.
도 11은 도 10의 프로브모듈의 요부가 도시된 분해사시도이다.
도 12는 도 10의 프로브모듈의 요부가 도시된 단면도이다.1 is a perspective view showing an array test apparatus according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a perspective view illustrating a probe module of the array test apparatus of FIG. 1.
3 to 5 are perspective views showing the operation of the probe module of FIG.
6 to 9 are perspective views showing the probe module of the array test apparatus according to the second embodiment of the present invention.
10 is a perspective view illustrating a probe module of an array test apparatus according to a third embodiment of the present invention.
11 is an exploded perspective view illustrating main parts of the probe module of FIG. 10.
12 is a cross-sectional view illustrating main parts of the probe module of FIG. 10.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치에 관한 바람직한 실시예에 대하여 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of an array test apparatus according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 어레이 테스트 장치는, 글라스패널(P)을 로딩하는 로딩유닛(10)과, 로딩유닛(10)에 의하여 로딩된 글라스패널(P)에 대한 검사를 수행하는 테스트유닛(20)과, 테스트유닛(20)에 의하여 검사가 완료된 글라스패널(P)을 언로딩하는 언로딩유닛(30)을 포함하여 구성될 수 있다.As shown in FIG. 1, the array test apparatus according to the first embodiment of the present invention includes a loading unit 10 for loading a glass panel P, and a glass panel P loaded by the loading unit 10. It may include a test unit 20 for performing a test for) and an unloading unit 30 for unloading the glass panel (P) is completed by the test unit 20.

테스트유닛(20)은, 글라스패널(P)의 전기적 결함여부를 검사하는 것으로, 로딩유닛(10)에 의하여 로딩되는 글라스패널(P)이 배치되는 투광지지플레이트(21)와, 투광지지플레이트(21)상에 배치된 글라스패널(P)의 전기적 결함여부를 검사하는 테스트모듈(22)과, 투광지지플레이트(21)상에 배치된 글라스패널(P)의 전극(E)으로 전기신호를 인가하기 위한 프로브모듈(23)과, 테스트모듈(22)과 프로브모듈(23)을 제어하는 제어유닛(미도시)을 포함하여 구성될 수 있다.The test unit 20 inspects the electrical defect of the glass panel P, and includes a light transmitting support plate 21 on which the glass panel P loaded by the loading unit 10 is disposed, and a light supporting plate ( Electrical signal is applied to the test module 22 for inspecting the electrical defect of the glass panel P disposed on the 21 and the electrode E of the glass panel P disposed on the translucent support plate 21. It may be configured to include a probe module 23 for controlling, and a control unit (not shown) for controlling the test module 22 and the probe module 23.

도 2 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 프로브모듈(23)은 투광지지플레이트(21)의 상측에서 길이방향(X축방향)으로 연장되는 프로브모듈지지프레임(50)에 프로브모듈지지프레임(50)의 길이방향(X축방향)으로 이동이 가능하게 설치된다. 프로브모듈(23)에는 프로브모듈(23)에 회전이 가능하게 설치되며 서로 다른 형태로 배열되는 복수의 프로브핀(60)을 구비하는 복수의 프로브바(70)와, 프로브바(70)를 Z축방향으로 승강시키는 승강유닛(80)과, 프로브바(70)를 회전시키는 회전장치(91)가 구비될 수 있다.2 to 3, the probe module 23 is a probe module support frame 50 to the probe module support frame 50 extending in the longitudinal direction (X-axis direction) from the upper side of the translucent support plate 21. ) Is installed to be movable in the longitudinal direction (X-axis direction). The probe module 23 is rotatably installed on the probe module 23 and includes a plurality of probe bars 70 having a plurality of probe pins 60 arranged in different shapes, and Z of the probe bars 70. A lifting unit 80 for lifting in the axial direction and a rotating device 91 for rotating the probe bar 70 may be provided.

프로브모듈지지프레임(50)은 Y축구동유닛(51)과 연결되어 프로브모듈지지프레임(50)의 길이방향(X축방향)과 수평으로 직교하는 방향(Y축방향)으로 이동될 수 있다. 그리고, 프로브모듈지지프레임(50)과 프로브모듈(23)의 사이에는 프로브모듈(23)을 프로브모듈지지프레임(50)의 길이방향으로 이동시키는 X축구동유닛(52)이 구비될 수 있다. Y축구동유닛(51) 및/또는 X축구동유닛(52)으로는 리니어모터 또는 볼스크류장치와 같은 직선이동기구가 적용될 수 있다.The probe module support frame 50 may be connected to the Y-axis driving unit 51 and moved in a direction (Y-axis direction) orthogonal to the length direction (X-axis direction) of the probe module support frame 50 in a horizontal direction. An X-axis driving unit 52 may be provided between the probe module support frame 50 and the probe module 23 to move the probe module 23 in the longitudinal direction of the probe module support frame 50. As the Y-axis driving unit 51 and / or the X-axis driving unit 52, a linear moving mechanism such as a linear motor or a ball screw device may be applied.

프로브바(70)는 프로브모듈(23)로부터 수평방향으로 길이방향으로 연장되는 형태로 구성될 수 있으며, 프로브바(70)의 하측에는 복수의 프로브핀(60)이 프로브바(70)가 연장되는 방향으로 배열될 수 있다.The probe bar 70 may be configured to extend in the longitudinal direction in the horizontal direction from the probe module 23, the lower side of the probe bar 70 a plurality of probe pins 60, the probe bar 70 extends Can be arranged in a direction.

승강유닛(80)은 프로브모듈(23)에 설치되고 프로브바(70)와 연결되며, 유체의 압력에 의하여 작동하는 실린더를 포함하는 액추에이터나 전기적으로 작동하는 리니어모터 등과 같이 프로브바(70)를 Z축방향으로 상승시키거나 하강시킬 수 있는 다양한 구성이 적용될 수 있다. 이러한 승강유닛(80)은, 글라스패널(P)이 투광지지플레이트(21)상에 배치된 상태에서, 프로브핀(60)이 글라스패널(P)의 전극(E)을 가압할 수 있도록 프로브바(70)를 하강시키는 역할을 수행한다.The elevating unit 80 is installed in the probe module 23 and connected to the probe bar 70, and moves the probe bar 70 such as an actuator including a cylinder operated by a pressure of a fluid, or an electrically operated linear motor. Various configurations that can be raised or lowered in the Z-axis direction can be applied. The lifting unit 80 is a probe bar so that the probe pin 60 can press the electrode E of the glass panel P in a state where the glass panel P is disposed on the light transmitting support plate 21. Serves to descend 70.

회전장치(91)로는 프로브모듈(23)에 설치되고 프로브바(70)와 연결되는 회전축을 포함하여 구성되어 작업자가 수동으로 프로브바(70)를 회전시킬 수 있는 구성이 적용될 수 있다. 또한, 프로브바(70)가 자동적으로 회전될 수 있도록 회전장치(91)는 프로브모듈(23)에 설치되고 프로브바(70)와 연결되며, 프로브바(70)를 프로브바(70)가 연장되는 축(예를 들면, 도 3에서의 Y축, 도 4에서의 X축)을 기준으로 회전시키는 회전모터로 구성될 수 있으며, 이와 같은 경우에는, 프로브바(70)의 회전각을 정확하게 조절할 수 있는 스테핑모터가 적용되는 것이 바람직하다. 회전장치(91)는, 도 5에 도시된 바와 같이, 프로브핀(60)이 글라스패널(P)에 대향하는 방향과 다른 방향을 향하도록 프로브바(70)를 프로브바(70)가 연장되는 축을 기준으로 회전시키는 역할을 수행한다. 프로브바(70)가 회전되는 각도는 프로브핀(60)이 글라스패널(P)에 대향하는 상태에서의 프로브바(70)의 위치로부터 도 5에 도시된 바와 같이 180도로 회전될 수 있다. 다만, 본 발명은 이와 같은 구성에 한정되지 아니하며, 작업자가 프로브핀(60)의 상태를 점검하거나 프로브핀(60)을 교체할 수 있는 충분한 공간을 제공하는 범위 내라면, 프로브바(70)의 회전각도는 한정되지 않는다.The rotating device 91 may be installed on the probe module 23 and include a rotating shaft connected to the probe bar 70 so that a worker may manually rotate the probe bar 70. In addition, the rotating device 91 is installed on the probe module 23 and connected to the probe bar 70 so that the probe bar 70 can be automatically rotated, and the probe bar 70 extends the probe bar 70. It may be composed of a rotating motor for rotating based on the axis (for example, Y axis in Figure 3, X axis in Figure 4), in this case, to accurately adjust the rotation angle of the probe bar 70 It is preferable that a stepping motor can be applied. As shown in FIG. 5, the rotation device 91 may extend the probe bar 70 so that the probe pin 60 faces a direction different from the direction in which the probe pin 60 faces the glass panel P. It rotates about the axis. The angle at which the probe bar 70 is rotated may be rotated 180 degrees from the position of the probe bar 70 in a state in which the probe pin 60 faces the glass panel P. Referring to FIG. However, the present invention is not limited to such a configuration, and if the operator is within a range that provides a sufficient space to check the state of the probe pin 60 or replace the probe pin 60, the probe bar 70 Rotation angle is not limited.

한편, 프로브모듈지지프레임(50)이 길이방향으로 연장되는 축을 X축이라고 하고, 글라스패널(P)이 로딩되거나 언로딩되는 방향으로 X축과 수평으로 직교하는 축을 Y축이라고 하고, X축 및 Y축에 수직으로 직교하는 축을 Z축이라고 할 때, 프로브모듈(23)에는 프로브바(70)에는 프로브바(70)를 Z축을 기준으로 회전시키는 회동장치(92)가 더 구비될 수 있다. 즉, 회동장치(92)는 프로브바(70)를 프로브바(70)가 연장되는 축과 수직으로 직교하는 축(Z축)을 기준으로 회전시키는 역할을 수행할 수 있다.On the other hand, the axis in which the probe module support frame 50 extends in the longitudinal direction is referred to as the X axis, and the axis perpendicular to the X axis in the direction in which the glass panel P is loaded or unloaded is referred to as the Y axis, and the X axis and When the axis perpendicular to the Y axis is perpendicular to the Z axis, the probe module 23 may further include a rotation device 92 that rotates the probe bar 70 with respect to the Z axis in the probe bar 70. That is, the rotation device 92 may serve to rotate the probe bar 70 with respect to an axis (Z axis) perpendicular to the axis perpendicular to the axis where the probe bar 70 extends.

회동장치(92)로는 프로브모듈(23)에 설치되고 프로브바(70)와 연결되는 회전축을 포함하여 구성되어 작업자가 수동으로 프로브바(70)를 회전시킬 수 있는 구성이 적용될 수 있다. 또한, 프로브바(70)가 자동적으로 회전될 수 있도록 회동장치(92)는 프로브모듈(23)과 회전장치(91)의 사이에 설치되는 회전모터로 구성될 수 있으며, 이와 같은 경우에는, 프로브바(70)의 회전각을 정확하게 조절할 수 있는 스테핑모터가 적용되는 것이 바람직하다. 회동장치(92)는 프로브바(70)를 Z축을 기준으로 회전시키는 역할을 수행하는데, 예를 들면, 도 3에 도시된 바와 같이, 글라스패널(P)상에 복수의 전극(E)이 Y축방향으로 배열된 경우에, 프로브핀(60)이 전극(60)에 대응될 수 있도록, 프로브바(70)가 Z축을 기준으로 회전될 수 있고, 도 4에 도시된 바와 같이, 글라스패널(P)상에 복수의 전극(E)이 X축방향으로 배열된 경우에도, 프로브핀(60)이 글라스패널(P)상의 전극(E)에 대응될 수 있도록, 프로브바(70)가 Z축을 기준으로 회전될 수 있다. 한편, 회동장치(92)는 글라스패널(P)상에서 복수의 전극(E)이 배열되는 방향이 다른 글라스패널(P)에 대응하기 위한 것으로, 글라스패널(P)상의 복수의 전극(E)의 배열방향이 항상 동일한 경우에는 회동장치(92)를 포함하지 않고 회전장치(91)만이 구비되는 구성이 적용될 수 있다.Rotating device 92 is installed on the probe module 23 and includes a rotating shaft connected to the probe bar 70 may be applied to the configuration that the operator can manually rotate the probe bar (70). In addition, the rotating device 92 may be configured as a rotating motor installed between the probe module 23 and the rotating device 91 so that the probe bar 70 may be automatically rotated. In this case, the probe Stepping motor that can accurately adjust the rotation angle of the bar 70 is preferably applied. The rotating device 92 rotates the probe bar 70 with respect to the Z axis. For example, as illustrated in FIG. 3, a plurality of electrodes E on the glass panel P are Y. When arranged in the axial direction, the probe bar 70 can be rotated about the Z-axis so that the probe pin 60 can correspond to the electrode 60, as shown in Figure 4, the glass panel ( Even when the plurality of electrodes E are arranged in the X-axis direction on P), the probe bar 70 may move the Z-axis so that the probe pin 60 may correspond to the electrode E on the glass panel P. Can be rotated as a reference. On the other hand, the rotating device 92 corresponds to the glass panel P having different directions in which the plurality of electrodes E are arranged on the glass panel P. When the arrangement direction is always the same, a configuration in which only the rotating device 91 is provided without the rotating device 92 may be applied.

이하, 상기한 바와 같이 구성되는 본 발명의 제1실시예에 따른 어레이 테스트 장치의 동작에 대하여 설명한다.Hereinafter, the operation of the array test apparatus according to the first embodiment of the present invention configured as described above will be described.

먼저, 로딩유닛(10)의 동작에 의하여 글라스패널(P)이 투광지지플레이트(21)상에 배치되면, 테스트유닛(20)에 의하여 글라스패널(P)에 대한 전기적 결함여부를 검사하기 전에, 프로브모듈(23)이 글라스패널(P)의 전극(E)에 전기신호를 인가하는 과정이 진행된다.First, when the glass panel P is disposed on the light transmitting support plate 21 by the operation of the loading unit 10, before inspecting whether the glass panel P is electrically defective by the test unit 20, The probe module 23 applies an electric signal to the electrode E of the glass panel P.

프로브모듈(23)이 글라스패널(P)의 전극(E)에 전기신호를 인가하기 위하여, 먼저, 프로브모듈(23)은 프로브모듈지지프레임(50)이 Y축구동유닛(51)의 동작에 의하여 Y축방향으로 이동되는 것에 의하여 Y축방향으로 이동될 수 있으며, X축구동유닛(52)의 동작에 의하여 X축방향으로 이동될 수 있다. 프로브모듈(23)의 X축방향 및/또는 Y축방향으로의 이동에 의하여 프로브모듈(23)이 글라스패널(P)의 전극(E)이 형성된 위치로 이동하며, 이에 따라, 프로브바(70)에 설치된 복수의 프로브핀(60)이 글라스패널(P)의 전극(E)에 인접되는 위치로 이동될 수 있다.In order for the probe module 23 to apply an electrical signal to the electrode E of the glass panel P, first, the probe module 23 has a probe module support frame 50 for the operation of the Y-axis drive unit 51. It can be moved in the Y-axis direction by being moved in the Y-axis direction, it can be moved in the X-axis direction by the operation of the X-axis driving unit 52. The probe module 23 moves to the position where the electrode E of the glass panel P is formed by the movement of the probe module 23 in the X-axis direction and / or the Y-axis direction. Accordingly, the probe bar 70 A plurality of probe pins (60) installed in the) may be moved to a position adjacent to the electrode (E) of the glass panel (P).

그리고, 승강유닛(80)의 동작에 의하여 프로브바(70)가 하강되면 복수의 프로브핀(60)은 복수의 전극(E)을 각각 가압하게 된다. 이러한 상태에서 복수의 프로브핀(60)을 통하여 복수의 전극(E)으로 전기신호가 인가되면, 테스트유닛(20)의 테스트모듈(22)이 동작하면서 글라스패널(P)에 대한 전기적 결함여부를 검사하는 과정이 진행된다.Then, when the probe bar 70 is lowered by the operation of the lifting unit 80, the plurality of probe pins 60 press the plurality of electrodes E, respectively. In this state, when an electrical signal is applied to the plurality of electrodes E through the plurality of probe pins 60, the test module 22 of the test unit 20 operates to determine whether there is an electrical defect with respect to the glass panel P. The inspection process is in progress.

그리고, 미리 설정된 개수의 글라스패널(P)에 대한 검사를 수행한 후 또는 일정한 주기의 간격으로 복수의 프로브핀(60)의 상태를 점검하거나 일부의 프로브핀(60)을 교체하는 작업을 수행하게 되는데, 이를 위하여, 작업자의 수동에 의한 동작 또는 회전장치(91)의 동작에 의하여 프로브바(70)가 연장되는 축을 기준으로 프로브바(70)가 회전될 수 있다. 프로브바(70)의 회전에 의하여 프로브핀(60)은 글라스패널(P)에 대향하는 방향과 다른 방향을 향하게 되며, 이에 따라, 작업자가 프로브핀(60)의 상태를 점검하거나 프로브핀(60)을 교체할 수 있는 충분한 공간이 확보될 수 있다. 이러한 상태에서 작업자는 프로브핀(60)의 상태를 점검할 수 있으며, 교체가 필요한 프로브핀(60)의 교체를 수행할 수 있다. 프로브핀(60)의 점검작업 또는 교체작업이 완료된 후에는 작업자의 수동에 의한 동작 또는 회전장치(91)의 동작에 의하여 프로브바(70)가 연장되는 축을 기준으로 프로브바(70)가 회전되며, 이에 따라, 글라스패널(P)로 전기신호를 인가할 수 있도록 프로브핀(60)이 글라스패널(P)에 대향하는 방향을 향하게 될 수 있다.And, after performing a test on a predetermined number of glass panels (P) or at a predetermined interval of time to check the state of the plurality of probe pins 60 or to replace a part of the probe pins 60 To this end, the probe bar 70 may be rotated based on the axis in which the probe bar 70 extends by an operator's manual operation or by the operation of the rotating device 91. Rotation of the probe bar 70 causes the probe pin 60 to face in a direction different from the direction opposite to the glass panel P. Accordingly, the operator checks the state of the probe pin 60 or the probe pin 60. Sufficient space can be secured to replace). In this state, the operator can check the state of the probe pin 60, and can perform the replacement of the probe pin 60 that needs to be replaced. After the inspection or replacement of the probe pin 60 is completed, the probe bar 70 is rotated based on the axis in which the probe bar 70 is extended by an operator's manual operation or the operation of the rotating device 91. Accordingly, the probe pin 60 may face the glass panel P so that the electrical signal may be applied to the glass panel P. FIG.

이상과 같은 본 발명의 제1실시예에 따른 어레이 테스트 장치는, 프로브핀(60)이 글라스패널(P)에 대향하는 방향과 다른 방향을 향하도록 프로브바(70)가 프로브모듈(23)에 프로브바(70)가 연장되는 축을 기준으로 회전이 가능하게 설치됨으로써, 프로브바(70)를 회전시키는 것을 통하여, 프로브핀(60)이 글라스패널(P)에 대향하는 방향과 다른 방향을 향하도록 할 수 있고, 이에 따라, 작업자가 프로브핀(60)의 점검 또는 교체를 수행할 수 있는 충분한 공간을 확보할 수 있는 효과가 있다.In the array test apparatus according to the first embodiment of the present invention as described above, the probe bar 70 is attached to the probe module 23 such that the probe pin 60 faces a direction different from a direction opposite to the glass panel P. Since the probe bar 70 is installed to be rotatable about an axis from which the probe bar 70 extends, the probe pin 60 faces a direction different from the direction opposite to the glass panel P by rotating the probe bar 70. And, accordingly, there is an effect that the operator can secure enough space to perform the inspection or replacement of the probe pin (60).

본 발명의 제1실시예에 따른 어레이 테스트 장치는, 복수의 전극(E)의 위치 및 배열방향이 달라지는 경우에도, 프로브바(70)를 회전시키는 간단한 동작을 통하여 복수의 전극(E)에 복수의 프로브핀(60)을 용이하게 정렬시킬 수 있다.In the array test apparatus according to the first embodiment of the present invention, even when the position and the arrangement direction of the plurality of electrodes E are different, the array test apparatus is provided with a plurality of electrodes E through a simple operation of rotating the probe bar 70. Probe pin 60 can be easily aligned.

이하, 도 6 및 도 9를 참조하여 본 발명의 제2실시예에 따른 어레이 테스트 장치에 대하여 설명한다. 전술한 본 발명의 제1실시예에서 설명한 부분과 동일한 부분에 대해서는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, an array test apparatus according to a second exemplary embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 6 and 9. The same parts as those described in the first embodiment of the present invention will be denoted by the same reference numerals and detailed description thereof will be omitted.

본 발명의 제3실시예에 따른 어레이 테스트 장치는, 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 프로브모듈지지프레임(50)이 길이방향으로 연장되는 축을 X축이라고 하고, 글라스패널(P)이 로딩되거나 언로딩되는 방향으로 X축과 수평으로 직교하는 Y축이라고 하고, X축 및 Y축에 수직으로 직교하는 축을 Z축이라고 할 때, 프로브바(70)는 프로브모듈(23)에 Y축을 기준으로 회전이 가능하게 설치될 수 있으며, 이를 위하여, 프로브모듈(70)에는 프로브바(70)를 회전시키는 회전장치(91)가 구비될 수 있다.In the array test apparatus according to the third embodiment of the present invention, as shown in FIGS. 6 and 7, the axis in which the probe module support frame 50 extends in the longitudinal direction is referred to as the X axis, and the glass panel P is When the Y axis is orthogonal to the X axis in the direction of being loaded or unloaded, and the axis orthogonal to the X axis and the Y axis is perpendicular to the Z axis, the probe bar 70 provides the Y axis to the probe module 23. Rotation may be installed as a reference, and for this purpose, the probe module 70 may include a rotating device 91 for rotating the probe bar 70.

또한, 도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 프로브모듈지지프레임(50)이 길이방향으로 연장되는 축을 X축이라고 하고, 글라스패널(P)이 로딩되거나 언로딩되는 방향으로 X축과 수평으로 직교하는 Y축이라고 하고, X축 및 Y축에 수직으로 직교하는 축을 Z축이라고 할 때, 프로브바(70)는 프로브모듈(23)에 X축을 기준으로 회전이 가능하게 설치될 수 있으며, 이를 위하여, 프로브모듈(70)에는 프로브바(70)를 회전시키는 회전장치(91)가 구비될 수 있다.8 and 9, the axis in which the probe module support frame 50 extends in the lengthwise direction is referred to as the X axis, and the X axis is horizontally aligned with the X axis in the direction in which the glass panel P is loaded or unloaded. When referred to as the orthogonal Y-axis, and the axis perpendicular to the X-axis and the Y-axis perpendicular to the Z-axis, the probe bar 70 may be installed on the probe module 23 so as to be rotatable based on the X-axis. To this end, the probe module 70 may be provided with a rotating device 91 for rotating the probe bar 70.

회전장치(91)로는 프로브모듈(23)에 설치되고 프로브바(70)와 연결되는 회전축을 포함하여 구성되어 작업자가 수동으로 프로브바(70)를 회전시킬 수 있는 구성이 적용될 수 있다. 또한, 프로브바(70)가 자동적으로 회전될 수 있도록 회전장치(91)는 프로브모듈(23)에 설치되고 프로브바(70)와 연결되며, 프로브바(70)를 프로브바(70)가 연장되는 축(예를 들면, 도 6에서의 X축, 도 8에서의 Y축)과 수평으로 직교되는 축(예를 들면, 도 6에서의 Y축, 도 8에서의 X축)을 기준으로 회전시키는 회전모터로 구성될 수 있으며, 이와 같은 경우에는, 프로브바(70)의 회전각을 정확하게 조절할 수 있는 스테핑모터가 적용되는 것이 바람직하다. 회전장치(91)는, 도 7 및 도 9에 도시된 바와 같이, 프로브핀(60)이 글라스패널(P)에 대향하는 방향과 다른 방향을 향하도록 프로브바(70)를 프로브바(70)가 연장되는 축과 수평으로 직교하는 축을 기준으로 회전시키는 역할을 수행한다. 프로브바(70)가 회전되는 각도는 프로브핀(60)이 글라스패널(P)에 대향하는 상태에서의 프로브바(70)의 위치로부터 도 7 및 도 9에 도시된 바와 같이 90도로 회전될 수 있다. 다만, 본 발명은 이와 같은 구성에 한정되지 아니하며, 작업자가 프로브핀(60)의 상태를 점검하거나 프로브핀(60)을 교체할 수 있는 영역을 제공하는 범위라면, 프로브바(70)의 회전각도는 한정되지 않는다.The rotating device 91 may be installed on the probe module 23 and include a rotating shaft connected to the probe bar 70 so that a worker may manually rotate the probe bar 70. In addition, the rotating device 91 is installed on the probe module 23 and connected to the probe bar 70 so that the probe bar 70 can be automatically rotated, and the probe bar 70 extends the probe bar 70. Rotation about an axis (for example, the X axis in FIG. 6, the Y axis in FIG. 8) orthogonal to the horizontal axis (for example, the Y axis in FIG. 6, the X axis in FIG. 8). In this case, it is preferable that a stepping motor that can accurately adjust the rotation angle of the probe bar 70 is applied. As shown in FIGS. 7 and 9, the rotation device 91 moves the probe bar 70 to the probe bar 70 such that the probe pin 60 faces a direction different from the direction in which the probe pin 60 faces the glass panel P. Rotates about an axis that is perpendicular to the axis extending horizontally. The angle at which the probe bar 70 is rotated may be rotated 90 degrees from the position of the probe bar 70 in a state in which the probe pin 60 faces the glass panel P, as shown in FIGS. 7 and 9. have. However, the present invention is not limited to such a configuration, provided that the operator checks the state of the probe pin 60 or provides a region in which the probe pin 60 can be replaced, the rotation angle of the probe bar 70. Is not limited.

한편, 본 발명의 제1실시예에서 설명한 바와 같이, 프로브모듈(23)에는 프로브바(70)를 프로브바(70)가 연장되는 축과 수직으로 직교하는 축을 기준으로 회전시키는 회동장치(92)가 더 구비될 수 있다. 회동장치(92)로는 프로브모듈(23)에 설치되고 프로브바(70)와 연결되는 회전축을 포함하여 구성되어 작업자가 수동으로 프로브바(70)를 회전시킬 수 있는 구성이 적용될 수 있다. 또한, 프로브바(70)가 자동적으로 회전될 수 있도록 회동장치(92)는 프로브모듈(23)과 회전장치(91)의 사이에 설치되는 회전모터로 구성될 수 있다. 회동장치(92)는 프로브바(70)를 프로브바(70)가 연장되는 축과 수직으로 직교하는 축을 기준으로 회전시키는 역할을 수행하는데, 이에 따라, 복수의 전극(E)의 배열방향이 서로 다른 글라스패널(P)에 대하여 복수의 프로브핀(60)을 복수의 전극(E)과 정렬시킬 수 있다. 회동장치(92)는 글라스패널(P)상에 복수의 전극(E)이 배열되는 방향이 다른 글라스패널(P)에 대응하기 위한 것으로, 글라스패널(P)상의 복수의 전극(E)의 배열방향이 항상 동일한 경우에는 회동장치(92)를 포함하지 않고 회전장치(91)만이 구비된 구성이 적용될 수 있다.On the other hand, as described in the first embodiment of the present invention, the probe module 23, the rotating device 92 for rotating the probe bar 70 with respect to the axis perpendicular to the axis perpendicular to the axis extending the probe bar 70 May be further provided. Rotating device 92 is installed on the probe module 23 and includes a rotating shaft connected to the probe bar 70 may be applied to the configuration that the operator can manually rotate the probe bar (70). In addition, the rotation device 92 may be configured as a rotation motor installed between the probe module 23 and the rotation device 91 so that the probe bar 70 can be automatically rotated. The rotating device 92 rotates the probe bar 70 with respect to the axis perpendicular to the axis perpendicular to the axis where the probe bar 70 extends. Accordingly, the arrangement directions of the plurality of electrodes E are mutually different. The plurality of probe pins 60 may be aligned with the plurality of electrodes E with respect to the other glass panel P. The rotating device 92 corresponds to a glass panel P having a different direction in which the plurality of electrodes E are arranged on the glass panel P, and the arrangement of the plurality of electrodes E on the glass panel P. If the directions are always the same, a configuration in which only the rotating device 91 is provided without the rotating device 92 may be applied.

이상과 같은 본 발명의 제2실시예에 따른 어레이 테스트 장치는, 프로브핀(60)이 글라스패널(P)에 대향하는 방향과 다른 방향을 향하도록 프로브바(70)가 프로브모듈(23)에 프로브바(70)가 연장되는 축과 수평으로 직교하는 축을 기준으로 회전이 가능하게 설치됨으로써, 프로브바(70)를 회전시키는 것을 통하여, 프로브핀(60)이 글라스패널(P)에 대향하는 방향과 다른 방향을 향하도록 할 수 있고, 이에 따라, 작업자가 프로브핀(60)의 점검 또는 교체를 수행할 수 있는 충분한 공간을 확보할 수 있는 효과가 있다.In the array test apparatus according to the second embodiment of the present invention as described above, the probe bar 70 is disposed on the probe module 23 such that the probe pin 60 faces a direction different from the direction in which the probe pin 60 faces the glass panel P. Since the probe bar 70 is installed to be rotatable about an axis orthogonal to the axis extending horizontally, the probe pin 60 faces the glass panel P by rotating the probe bar 70. It can be directed in a different direction, and accordingly, there is an effect that the operator can secure enough space to perform the inspection or replacement of the probe pin (60).

본 발명의 제2실시예에 따른 어레이 테스트 장치는, 복수의 전극(E)의 위치 및 배열방향이 달라지는 경우에도, 프로브바(70)를 회전시키는 간단한 동작을 통하여 복수의 전극(E)에 복수의 프로브핀(60)을 용이하게 정렬시킬 수 있다.In the array test apparatus according to the second embodiment of the present invention, even when the position and the arrangement direction of the plurality of electrodes E are different, the array test apparatus is provided with the plurality of electrodes E through a simple operation of rotating the probe bar 70. Probe pin 60 can be easily aligned.

이하, 도 10 및 도 12를 참조하여, 본 발명의 제3실시예에 따른 어레이 테스트 장치에 대하여 설명한다. 전술한 본 발명의 제1실시예 및 제2실시예에서 설명한 부분과 동일한 부분에 대해서는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, an array test apparatus according to a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 10 and 12. The same parts as those described in the above-described first and second embodiments of the present invention will be denoted by the same reference numerals and detailed description thereof will be omitted.

도 10에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제3실시예에 따른 어레이 테스트 장치는, 프로브바(70)는 프로브모듈(23)에 프로브바(70)가 연장되는 방향으로 분리가 가능하게 설치될 수 있다. 프로브바(70)는 프로브모듈(23)에 연결되어 프로브바(70)가 연장되는 방향과 동일한 방향으로 연장되는 지지부재(75)의 단부에 탈착이 가능하게 설치될 수 있으며, 지지부재(75)와 프로브바(70)의 사이에는 양단이 지지부재(75) 및 프로브바(70)와 연결되는 탄성부재(76)가 구비될 수 있다.As shown in FIG. 10, in the array test apparatus according to the third embodiment of the present invention, the probe bar 70 may be detachably installed in the direction in which the probe bar 70 extends to the probe module 23. Can be. The probe bar 70 may be detachably attached to an end of the support member 75 which is connected to the probe module 23 and extends in the same direction as the direction in which the probe bar 70 extends, and the support member 75. ) And an elastic member 76 having both ends connected to the support member 75 and the probe bar 70 may be provided between the probe bar 70 and the probe bar 70.

프로브바(70)는 지지부재(75)로부터 분리된 후 프로브바(70)가 연장되는 축을 기준으로 회전될 수 있다. 그리고, 탄성부재(76)는 지지부재(75)로부터 분리된 후 지지부재(75)에 대하여 상대적으로 회전된 프로브바(70)가 지지부재(75)에 원래의 위치에서 장착될 수 있도록 프로브바(75)에 탄성력을 부여하는 역할을 수행한다. 탄성부재(76)는 코일스프링, 판 스프링 또는 고무와 같은 합성수지 등 프로브바(70)에 탄성력을 부여할 수 있는 다양한 구성이 적용될 수 있다.After the probe bar 70 is separated from the support member 75, the probe bar 70 may be rotated based on the axis in which the probe bar 70 extends. In addition, the elastic member 76 is separated from the support member 75 and the probe bar 70 rotated relative to the support member 75 so that the probe bar 70 can be mounted at the original position on the support member 75. It serves to give elastic force to (75). The elastic member 76 may be applied to various configurations that can impart an elastic force to the probe bar 70, such as a coil spring, a leaf spring or a synthetic resin such as rubber.

이와 같은 구성에 따르면, 작업자가 프로브바(70)를 파지한 후 지지부재(75)로부터 당기면 프로브바(70)가 지지부재(75)로부터 분리시킬 수 있고, 프로브바(70)를 그 연장축을 기준으로 회전시킬 수 있다. 따라서, 프로브핀(60)은 글라스패널(P)에 대향하는 방향과 다른 방향을 향할 수 있으며, 이에 따라, 작업자가 프로브핀(60)을 점검작업이나 교체작업을 수행할 수 있는 공간을 확보할 수 있다.According to such a configuration, when the operator grasps the probe bar 70 and pulls it from the support member 75, the probe bar 70 can be separated from the support member 75, and the probe bar 70 has its extension shaft. Can be rotated as a reference. Therefore, the probe pin 60 may face in a direction different from the direction opposite to the glass panel P. Accordingly, the operator may secure a space for the operator to perform the inspection or replacement operation of the probe pin 60. Can be.

한편, 도 11 및 도 12에 도시된 바와 같이, 지지부재(75)와 프로브바(70)의 사이에는 지지부재(75)에 프로브바(70)가 부착된 경우 지지부재(75)에 대한 프로브바(70)의 유동이나 프로브바(70)가 그 연장축을 기준으로 회전되는 것을 방지하는 회전방지수단이 구비될 수 있다. 회전방지수단으로는 지지부재(75)의 단부에 형성되는 요홈부(751)와, 지지부재(75)의 단부에 대향하는 프로브바(70)의 단부에 형성되어 요홈부(751)에 삽입되는 돌출부(701)가 적용될 수 있다. 요홈부(751)는 지지부재(75)의 단부의 둘레방향으로 복수로 형성될 수 있으며, 돌출부(701)는 프로브바(70)의 단부의 둘레방향으로 복수로 형성될 수 있다. 물론, 지지부재(75)의 단부에 돌출부가 형성되고, 프로브바(70)의 단부에 요홈부가 형성되는 구성이 적용될 수 있다.11 and 12, when the probe bar 70 is attached to the support member 75 between the support member 75 and the probe bar 70, the probe for the support member 75 is provided. Rotation prevention means for preventing the flow of the bar 70 or the probe bar 70 is rotated about its extension axis may be provided. As the anti-rotation means, the groove portion 751 formed at the end of the support member 75 and the end of the probe bar 70 opposite to the end portion of the support member 75 are inserted into the groove portion 751. The protrusion 701 may be applied. The recess 751 may be formed in plural in the circumferential direction of the end of the support member 75, and the protrusion 701 may be formed in plural in the circumferential direction of the end of the probe bar 70. Of course, a configuration in which a protrusion is formed at the end of the support member 75 and a recess is formed at the end of the probe bar 70 may be applied.

이와 같은 구성에 따르면, 작업자가 프로브바(70)를 지지부재(75)로부터 분리시킨 후 프로브바(70)를 회전시킨 후 지지부재(75)에 부착시키면, 프로브핀(60)이 글라스패널(P)에 대향하는 방향과 다른 방향을 향하게 되므로, 작업자가 프로브핀(60)의 상태를 점검하거나 교체할 수 있는 공간을 확보할 수 있다. 이때, 탄성부재(76)의 탄성력에 의하여 프로브바(70)가 지지부재(75)로부터 견고하게 고정될 수 있으며, 회전방지수단에 의하여 프로브바(70)가 지지부재(75)에 대하여 임의로 회전되는 것이 방지될 수 있다. 따라서, 작업자는 프로브바(70)가 탄성부재(76) 및 회전방지수단에 의하여 지지부재(75)에 고정된 상태에서 프로브핀(60)의 점검작업 및 교체작업을 수행할 수 있다. 프로브핀(60)의 점검작업 및 교체작업이 완료된 후에는, 작업자가 프로브바(70)를 지지부재(75)로부터 분리시킨 후 프로브바(70)를 원래의 상태(프로브핀(60)이 글라스패널(P)에 대향하는 방향을 향하는 상태)로 회전시킨 후 지지부재(75)에 부착시키는 작업을 통하여 프로브바(70)를 원래의 상태로 지지부재(75)에 고정시킬 수 있다.According to such a configuration, when the operator detaches the probe bar 70 from the support member 75 and then rotates the probe bar 70 and attaches it to the support member 75, the probe pin 60 is a glass panel ( Since it faces away from the direction opposite to P), it is possible to secure a space for the operator to check or replace the state of the probe pin (60). At this time, the probe bar 70 may be firmly fixed from the support member 75 by the elastic force of the elastic member 76, and the probe bar 70 may be arbitrarily rotated with respect to the support member 75 by means of rotation preventing means. Can be prevented. Therefore, the operator may perform the inspection and replacement of the probe pin 60 in a state in which the probe bar 70 is fixed to the support member 75 by the elastic member 76 and the rotation preventing means. After the inspection and replacement of the probe pin 60 is completed, the operator removes the probe bar 70 from the support member 75 and then the probe bar 70 is in its original state (the probe pin 60 is glass The probe bar 70 may be fixed to the support member 75 in its original state by rotating the light in a direction facing the panel P) and attaching the support member 75 to the support member 75.

한편, 본 발명의 제1실시예 및 제2실시예에서 설명한 바와 같이, 프로브모듈(23)에는 프로브바(70)를 프로브바(70)가 연장되는 축과 수직으로 직교하는 축을 기준으로 회전시키는 회동장치(92)가 더 구비될 수 있다.Meanwhile, as described in the first and second embodiments of the present invention, the probe module 23 rotates the probe bar 70 based on an axis perpendicular to the axis perpendicular to the axis in which the probe bar 70 extends. Rotating device 92 may be further provided.

이상과 같은 본 발명의 제3실시예에 따른 어레이 테스트 장치는, 프로브핀(60)이 글라스패널(P)에 대향하는 방향과 다른 방향을 향하도록 프로브바(70)가 프로브모듈(23)로부터 분리 가능하게 설치됨으로써, 프로브바(70)를 회전시키는 것을 통하여, 프로브핀(60)이 글라스패널(P)에 대향하는 방향과 다른 방향을 향하도록 할 수 있고, 이에 따라, 작업자가 프로브핀(60)의 점검 또는 교체를 수행할 수 있는 충분한 공간을 확보할 수 있는 효과가 있다.In the array test apparatus according to the third embodiment of the present invention as described above, the probe bar 70 is moved from the probe module 23 such that the probe pin 60 faces a direction different from the direction in which the probe pin 60 faces the glass panel P. By being detachably installed, the probe pin 60 may be oriented in a direction different from a direction opposite to the glass panel P by rotating the probe bar 70. There is an effect that a sufficient space to perform the inspection or replacement of 60) can be secured.

본 발명의 각 실시예에서 설명한 기술적 사상들은 각각 독립적으로 실시될 수 있으며 서로 조합되어 실시될 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 프로브모듈은 글라스패널뿐만 아니라 전극이 형성되는 다양한 형태의 기판의 검사를 위하여 기판의 전극으로 전기신호를 인가하는 장치에 적용될 수 있다.The technical ideas described in the embodiments of the present invention may be implemented independently or in combination with each other. In addition, the probe module according to the present invention may be applied to an apparatus for applying an electrical signal to the electrode of the substrate for the inspection of various types of substrate in which the electrode is formed, as well as the glass panel.

20: 테스트유닛 23: 프로브모듈
60: 프로브핀 70: 프로브바
80: 승강유닛 91: 회전장치20: test unit 23: probe module
60: probe pin 70: probe bar
80: lifting unit 91: rotating device

Claims (6)

글라스패널의 전극과 인접되게 배치되는 프로브모듈;
상기 프로브모듈에 설치되고, 상기 글라스패널에 대향되게 배치되는 복수의 프로브핀을 구비하는 프로브바를 포함하고,
상기 프로브바는 상기 프로브핀이 상기 글라스패널에 대향하는 방향과 다른 방향을 향하도록 상기 프로브모듈에 회전이 가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.A probe module disposed adjacent to an electrode of the glass panel;
A probe bar installed on the probe module and having a plurality of probe pins disposed to face the glass panel,
And the probe bar is rotatably installed in the probe module such that the probe pin faces a direction different from a direction opposite to the glass panel. 제1항에 있어서,
상기 프로브바는 상기 프로브모듈로부터 길이방향으로 연장되고,
상기 프로브바는 상기 프로브바가 연장되는 축을 기준으로 회전이 가능하게 설치 되는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.The method of claim 1,
The probe bar extends in the longitudinal direction from the probe module,
The probe bar is an array test apparatus, characterized in that the rotatable installation is possible with respect to the axis extending the probe bar. 제2항에 있어서,
상기 프로브바는 상기 프로브모듈로부터 상기 프로브바가 연장되는 방향으로 분리가 가능하게 설치되고, 상기 프로브바와 상기 프로브모듈 사이에는 탄성부재가 구비되는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.The method of claim 2,
The probe bar is installed detachably from the probe module in a direction in which the probe bar extends, the array test device, characterized in that the elastic member is provided between the probe bar and the probe module. 제3항에 있어서,
상기 프로브바와 상기 프로브모듈 사이에는 상기 프로브바가 상기 프로브모듈에 대하여 회전되는 것을 방지하는 회전방지수단이 구비되는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.The method of claim 3,
And an anti-rotation means between the probe bar and the probe module to prevent the probe bar from being rotated with respect to the probe module. 제1항에 있어서,
상기 프로브바는 상기 프로브모듈로부터 길이방향으로 연장되고,
상기 프로브바는 상기 프로브바가 연장되는 축과 수평으로 직교하는 축을 기준으로 회전이 가능하게 설치 되는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.The method of claim 1,
The probe bar extends in the longitudinal direction from the probe module,
The probe bar is an array test apparatus, characterized in that the rotation is installed so as to be able to rotate relative to the axis orthogonal to the axis extending horizontally. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 프로브바는 상기 프로브모듈로부터 길이방향으로 연장되고,
상기 프로브바는 상기 프로브바가 연장되는 축과 수직으로 직교하는 축을 기준으로 회전이 가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.The method according to any one of claims 1 to 5,
The probe bar extends in the longitudinal direction from the probe module,
And the probe bar is rotatably installed about an axis perpendicular to an axis perpendicular to the axis where the probe bar extends.
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