KR20120109469A - 유리 마스크용 열경화형 보호액 및 유리 마스크 - Google Patents

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KR20120109469A
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다케시 하세가와
스스무 구리시마
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키모토 컴파니 리미티드
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Abstract

유리 마스크와의 접착성이 좋아, 보호막으로 한 경우에, 보호막의 하드 코트성이 우수하며, 크랙이 발생하지 않고, 에폭시 수지와 실리콘 수지의 불상용에 의한 도막의 백화를 방지할 수 있다. 또한, 경화제로서 아민계 화합물만을 포함하기 때문에, 보호막의 보존 안정성을 향상시킬 수 있는 유리 마스크용 열경화형 보호액을 제공한다. 유리 마스크용 열경화형 보호액을, 실리콘 수지, 에폭시 수지 및 실리콘오일을 포함하고, 상기 에폭시 수지로서 페놀 노볼락형 에폭시 수지를 포함하는 것으로 한다. 또한, 경화제로서 금속 알콕시드계 촉매를 포함하지 않고 아민계 화합물을 포함하는 것으로 한다.

Description

유리 마스크용 열경화형 보호액 및 유리 마스크{Thermosetting protective solution for glass mask, and glass mask}
본 발명은, 유리 마스크용 열경화형 보호액에 관한 것으로, 특히 보호막으로 했을 때의 투명성이 우수한 유리 마스크용 열경화형 보호액 및 투명성을 갖는 보호막을 갖는 유리 마스크에 관한 것이다.
프린트 배선판이나 수지 볼록판은, 액상 포토레지스트 등의 점착성이 있는 포토레지스트에 포토마스크(노광용 원고)를 밀착 노광하여 제작된다. 이 때문에, 포토마스크의 표면에 아무런 처리를 행하지 않으면, 노광 종료 후 포토마스크를 포토레지스트로부터 박리할 때, 포토레지스트의 일부가 포토마스크 표면에 부착되어, 닦아내도 포토마스크 상에 잔존해버려, 노광 정밀도의 저하를 초래해버린다고 하는 문제가 발생한다. 이러한 사정으로부터, 종래로부터 포토마스크 상의 포토레지스트에 대향하는 면에, 이형성을 갖는 표면보호 필름을 설치하여, 포토레지스트가 포토마스크에 부착되는 것을 방지하고 있다(특허문헌 1).
그러나, 이러한 표면보호 필름을 첩합(貼合)시키는 것은, 표면보호 필름의 두께에 기인하는 노광 정밀도의 저하나, 첩합시에 기포가 들어가는 것 등에 의한 노광 정밀도의 저하를 초래한다고 하는 문제가 있다.
이에, 포토마스크 상의 포토레지스트에 대향하는 면에, 보호막을 직접 설치하는 것을 생각할 수 있다.
한편, 물품의 표면을 보호하기 위해서, 하드 코트성을 갖는 필름을 첩합시키는 것이나, 물품 표면에 하드 코트성을 갖는 도막을 설치하는 것이 행해지고 있다. 이러한 하드 코트성을 갖는 도막으로서, 에폭시 수지나 아크릴 수지, 실리콘 수지 등의 경화성 수지를 사용한 도막이 알려져 있다(특허문헌 2).
WO 2007/074778호 공보(종래기술) 일본국 특허공개 제2005-186577호 공보(청구항 2)
그러나, 이들의 경화성 수지 중에서도, 하드 코트성이 우수한 에폭시 수지를 하드 코트성을 갖는 보호막으로서 사용한 경우에, 유리 밀착성이 나쁘고, 유리 마스크와의 밀착성이 얻어지지 않는다고 하는 문제가 있다.
또한, 하드 코트성이 우수한 실리콘 수지만을 사용한 경우에는, 보호막이 무르기 때문에, 크랙이 생기기 쉬워, 보호막으로서의 성능이 얻어지지 않는다고 하는 문제가 있었다.
또한, 크랙 발생의 문제를 해결하기 위해서 고경도의 에폭시 수지를 혼합하여 사용한 경우, 에폭시 수지와 실리콘 수지는, 상용성이 나쁘기 때문에, 보호막으로 한 경우에 불상용에 의한 백화가 확인되어, 투명성을 저해한다고 하는 문제가 있었다.
이에 본 발명은, 유리 마스크와의 접착성이 좋고, 보호막의 하드 코트성이 우수하며, 크랙이 발생하지 않는 유리 마스크용 열경화형 보호액을 제공하는 것을 목적으로 한다. 또한, 보호막의 불상용에 의한 백화를 방지하는 유리 마스크용 열경화형 보호액 및 그것을 사용한 유리 마스크를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 과제를 해결하기 위해 예의 연구한 결과, 제1 관점으로서, 에폭시 수지로서, 페놀 노볼락형 에폭시 수지를 포함함으로써, 실리콘 수지와 에폭시 수지의 상용성을 향상시킬 수 있는 것을 발견하고, 이것을 해결하기에 이르렀다.
제2 관점으로서, 실리콘 수지로서, 에스테르 변성 실리콘 수지를 포함함으로써, 실리콘 수지와 에폭시 수지의 상용성을 향상시켜 백화를 방지할 수 있는 것을 발견하고, 이것을 해결하기에 이르렀다.
즉, 본 발명의 제1 관점의 유리 마스크용 열경화형 보호액은, 실리콘 수지, 에폭시 수지 및 실리콘오일을 포함하고, 에폭시 수지로서 페놀 노볼락형 에폭시 수지를 포함하는 것을 특징으로 하는 것이다.
본 발명의 제2 관점의 유리 마스크용 열경화형 보호액은, 실리콘 수지, 에폭시 수지 및 실리콘오일을 포함하고, 상기 실리콘 수지 중의 15~35 중량%가 에스테르 변성 실리콘 수지인 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 페놀 노볼락형 에폭시 수지는, 에폭시 수지 중에 30 중량% 이상 포함되는 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 실리콘 수지와 에폭시 수지의 중량 비율이 4:6~8:2인 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 경화제로서 금속 알콕시드계 촉매를 포함하지 않고 아민계 화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 본 발명의 유리 마스크는, 유리 마스크 상에, 상기 유리 마스크용 열경화형 보호액을 사용한 보호막이 형성되어서 되는 것을 특징으로 하는 것이다.
본 발명의 유리 마스크용 열경화형 보호액은, 유리 마스크와의 접착성이 좋아, 보호막으로 한 경우에, 보호막의 하드 코트성이 우수하며, 크랙이 발생하지 않고, 에폭시 수지와 실리콘 수지의 불상용에 의한 도막의 백화를 방지하여, 투명성이 우수한 것으로 할 수 있다. 또한, 경화제로서 금속 알콕시드계 촉매를 포함하지 않고 아민계 화합물을 포함하기 때문에, 보호액의 보존 안정성을 향상시킬 수 있다.
본 발명의 유리 마스크용 열경화형 보호액을 사용한 보호막을 형상한 유리 마스크는, 보호막과 유리 마스크의 접착성이 우수한 것으로 할 수 있다. 또한, 보호막의 경도가 높고, 에폭시 수지와 실리콘 수지의 불상용에 의한 도막의 백화를 방지할 수 있기 때문에, 투명성이 우수함으로써, 노광 정밀도가 향상된 유리 마스크로 할 수 있다.
본 발명의 유리 마스크용 열경화형 보호액의 실시형태에 대해서 설명한다.
제1 관점의 유리 마스크용 열경화형 보호액은, 실리콘 수지 및 에폭시 수지, 실리콘오일을 포함하고, 에폭시 수지로서 페놀 노볼락형 에폭시 수지를 포함하는 것이다.
제2 관점의 유리 마스크용 열경화형 보호액은, 실리콘 수지, 에폭시 수지 및 실리콘오일을 포함하고, 상기 실리콘 수지 중의 15~35 중량%가 에스테르 변성 실리콘 수지이다.
실리콘 수지는, 보호막으로 했을 때의 유리와의 밀착성을 향상시키기 위해서 및 보호막의 경도를 높이기 위해서 사용된다. 이러한 실리콘 수지로서는, 메틸계 실리콘 수지, 메틸페닐계 실리콘 수지, 변성 실리콘 수지 등을 사용할 수 있고, 변성 실리콘 수지로서는, 에스테르 변성 실리콘 수지, 에폭시 변성 실리콘 수지, 알키드 변성 실리콘 수지, 아크릴 변성 실리콘 수지를 1종 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.
제1 관점에서는, 특히, 에스테르 변성 실리콘 수지를 후술하는 페놀 노볼락형 에폭시 수지와 함께 사용함으로써, 실리콘 수지와 에폭시 수지의 상용성을 더욱 향상시킬 수 있어 바람직하다.
제2 관점에서는, 적어도, 에스테르 변성 실리콘 수지을 포함하는 것이다. 에스테르 변성 실리콘 수지를 사용하는 것은, 후술하는 에폭시 수지와의 상용성이 양호하여, 보호막으로 한 경우에 불상용에 의한 백화를 일으키지 않아, 우수한 투명성을 얻기 위함이다. 이러한 보호막의 헤이즈(JIS K7105:1981)는, 1% 미만인 것이 바람직하다.
이러한 실리콘 수지는, 구체적으로는, 신에츠 가가쿠 고교사의 상품명으로서, KR400, KR500, KR510, KR213, ES1001N, ES1002T, KR5206, KR9706, KR5230, KR5234, KR5235, X-40-2308, X-40-9238 등을 들 수 있고, 특히 에스테르 변성 실리콘 수지로서, KR5230, KR5234, KR5235 등을 들 수 있다.
제2 관점에서는, 실리콘 수지 중의 15~35 중량%가 에스테르 변성 실리콘 수지이고, 더욱 바람직하게는, 20~30 중량%이다. 15 중량% 이상으로 하는 것은, 에폭시 수지와의 상용성을 얻기 위함이고, 35 중량% 이하로 하는 것은, 도막의 경도의 저하를 방지하기 위함이다.
에폭시 수지는, 보호막으로 했을 때에 보호막에 하드 코트성을 부여하기 위해서 사용된다. 이러한 에폭시 수지로서는, 노볼락형 에폭시 수지, 비스페놀 A형 에폭시 수지, 비스페놀 F형 에폭시 수지, 비페닐형 에폭시 수지, 다환 방향족형 에폭시 수지, 수소 첨가 지환식 에폭시 수지, 메소겐 골격 에폭시 수지 등을 사용할 수 있다.
제1 관점에서는, 적어도 페놀 노볼락형 에폭시 수지를 포함하는 것이다. 페놀 노볼락형 에폭시 수지를 사용하는 것은, 보호막으로 한 경우의 하드 코트성을 얻기 위한 것 외에, 전술한 실리콘 수지와의 상용성이 양호하여, 보호막으로 한 경우에 불상용에 의한 백화를 일으키지 않기 때문이다. 이러한 보호막의 헤이즈(JIS K7105:1981)는, 1% 미만인 것이 바람직하다.
제2 관점에서는, 특히, 보호막으로 한 경우의 하드 코트성이 얻기 쉽기 때문에, 노볼락형 에폭시 수지, 비스페놀 A형 에폭시 수지, 다환 방향족형 에폭시 수지 등의 다관능성 에폭시 수지가 바람직하다.
에폭시 수지는, 구체적으로는, 다이닛폰 잉크 가가쿠 고교사의 상품명으로서, EPICLON 시리즈, 재팬 에폭시 레진사의 상품명으로서, JER 시리즈 등을 들 수 있고, 페놀 노볼락형 에폭시 수지로서는, 다이닛폰 잉크 가가쿠 고교사의 EPICLON N-740, N-770, N-775, N-865, N-740-80M, N-770-70M, N-865-80M 등, 재팬 에폭시 레진사의 JER 152, 154, 157S70, 1031S, 1032H60, 604, 630 등을 들 수 있다.
페놀 노볼락형 에폭시 수지는, 에폭시 수지 중에 30 중량% 이상 포함되는 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는, 40 중량% 이상, 특히 바람직하게는, 80 중량% 이상이다. 30 중량% 이상으로 하는 것은, 전술한 실리콘 수지와의 상용성이 양호하여, 보호막으로 한 경우에 불상용에 의한 백화를 일으키지 않기 때문이다.
유리 마스크용 열경화형 보호액에 포함되는 실리콘 수지와 에폭시 수지의 중량 비율은 4:6~8:2가 바람직하다. 상기 비율로부터 실리콘 수지의 비율이 더 많아지면, 도막에 크랙이 발생하기 쉬워지고, 상기 비율로부터 에폭시 수지의 비율이 더 많아지면, 보호막에 필요해지는 충분한 경도의 도막을 얻을 수 없어, 우수한 유리 마스크용 보호막으로 할 수 없다.
실리콘오일은, 보호막으로 했을 때에 보호막 표면에 이형성이나 방오성을 부여하기 위해서 사용된다. 이러한 실리콘오일은, 디메틸 실리콘오일, 메틸하이드로겐 실리콘오일, 메틸페닐 실리콘오일, 환상 디메틸 실리콘오일 등의 실리콘오일이나 실리콘오일에 유기기를 도입한 변성 실리콘오일을 사용할 수 있다.
변성 실리콘오일로서는, 알킬 변성, 폴리에테르 변성, 불소 변성, 아미노 변성, 메르캅토 변성, 에폭시 변성, 카르복실 변성, 고급 지방산 에스테르 변성, 메타크릴 변성, 카르비놀 변성 등의 변성 실리콘오일을 사용할 수 있다.
특히, 이형성이나 방오성을 지속시키기 위해서, 실리콘 수지나 에폭시 수지와 반응하는 기를 갖는 반응성 실리콘오일을 사용하는 것이, 이형성이나 방오성을 지속시키기 위해서 바람직하다. 이와 같이 함으로써, 보호막 표면의 레지스트 등의 부착물을 용이하게 제거할 수 있다.
실리콘오일로서는, 구체적으로는, 신에츠 가가쿠 고교사의 상품명으로서, KF96, KF69, KF99, KF54, KF968 등을 들 수 있고, 특히 반응성 실리콘오일로서, KF410, KF412, KF351, KF354, KF618, KF945, KF859, KF858, KF861, KF864, KF880, X-22-161A, KF1001, KF101, X-22-3701E, X-22-3710, X-22-160AS, KF6001, KF6003 등을 들 수 있다.
실리콘오일은, 보호액 중의 수지 성분(고형분) 100 중량부에 대해서, 0.05~1 중량부가 바람직하다. 0.05 중량부 이상으로 하는 것은, 충분한 이형성, 방오성을 얻기 위함이고, 1 중량부 이하로 하는 것은, 도포액으로 한 경우의 표면장력이 작아지기 때문에, 도포액이 입상이 되어, 균일한 도막을 형성하는 것이 곤란해지는 것을 방지하기 위함이다.
본 발명의 유리 마스크용 열경화형 보호액은, 전술한 실리콘 수지 및 에폭시 수지를 열에 의해 가교반응시킴으로써, 보호막에 하드 코트성을 얻을 수 있는 것이다. 이러한 수지에 열에 의한 가교반응을 일으키기 위해서는, 경화제가 필요하다.
이러한 경화제로서, 금속 알콕시드계 촉매를 포함하지 않는 상태로, 아민계 화합물을 사용하는 것이 바람직하다. 실리콘 수지의 경화촉매로서, 일반적으로 사용되는 금속 알콕시드계 촉매를 사용하는 것도 생각할 수 있지만, 금속 알콕시드계 촉매를 사용한 경우, 대기 중의 습기와 용이하게 반응해버리기 때문에, 보호액의 보존 안정성의 관점에서 문제가 있다. 한편, 아민계 화합물을 사용함으로써, 실리콘 수지의 경화촉매로서 작용시킬 수 있고, 또한, 에폭시 수지의 경화제로서도 작용시킬 수 있다. 그 때문에 금속 알콕시드계 촉매의 결점이었던 보호액의 보존 안정성의 문제를 해결할 수 있다.
이러한 아민계 화합물로서는, 시코쿠 가세이 고교사의 큐아졸 시리즈나 DIC사의 락카마이드 시리즈 등을 사용할 수 있다.
또한, 아민계 화합물에 의한 경화 개시 온도는, 액체의 보존 안정성을 얻기 위해서, 100도 이상이 바람직하다.
아민계 화합물은, 보호액 중의 수지 성분(고형분) 100 중량부에 대해서, 1~10 중량부가 바람직하다. 1 중량부 이상으로 하는 것은, 수지의 경화반응을 충분히 진행시키기 위함이고, 10 중량부 이하로 하는 것은, 도막의 경도를 저하시키지 않기 위함이다.
본 발명의 유리 마스크용 열경화형 보호액은, 이상 설명한 실리콘 수지, 에폭시 수지, 실리콘오일, 경화제나 필요에 따라서 다른 성분을 배합하여, 적당한 용매에 용해시켜서 조제할 수 있다.
본 발명의 유리 마스크용 열경화형 보호액에 의해 얻어지는 보호막은, 경화시켰을 때의 연필 경도(JIS K5600-5-4:1999)가 3 H 이상인 것이 바람직하다.
다음으로, 본 발명의 유리 마스크의 실시형태에 대해서 설명한다. 본 발명의 유리 마스크는, 유리 마스크 상에, 전술한 유리 마스크용 열경화형 보호액을 사용한 보호막이 형성되어서 되는 것이다.
본 발명에 사용되는 유리 마스크는, 프린트 배선판이나 수지 볼록판에 미세한 패턴을 형성하기 위한, 패턴이 형성되어 있는 유리 기판이다. 이러한 유리 마스크에는, 유리 기판 상에 젤라틴과 할로겐화 은을 혼합한 에멀젼을 도포해서 되는 에멀젼 마스크나, 유리 기판 상에 크롬이나 산화크롬 등으로 되는 박막을 형성하는 크롬 마스크가 있다.
본 발명의 유리 마스크는, 이러한 패턴이 형성된 유리 마스크 상에, 전술한 실리콘 수지, 에폭시 수지, 실리콘오일을 포함하는 유리 마스크용 열경화형 보호액을 도포, 가열함으로써, 보호액의 수지 성분을 열경화시켜서, 하드 코트성과 이형성을 갖는 보호막을 형성한 것이다.
보호액에, 실리콘 수지 및 에폭시 수지를 포함함으로써, 유리 마스크와의 접착성, 하드 코트성이 우수한 유리 마스크로 할 수 있다.
또한, 제1 관점에서는, 에폭시 수지로서, 페놀 노볼락형 에폭시 수지를 포함함으로써, 에폭시 수지와 실리콘 수지의 상용성이 향상되기 때문에, 보호막의 백화가 억제되어 투명성이 향상된다. 이에 의해, 프린트 배선판이나 수지 볼록판에 패턴을 형성하는 경우의 노광 정밀도가 향상되어, 미세 패턴을 형성할 수 있다.
제2 관점에서는, 실리콘 수지로서, 에스테르 변성 실리콘 수지를 포함함으로써, 에폭시 수지와 실리콘 수지의 상용성이 향상되기 때문에, 보호막의 백화가 억제되어 투명성이 향상된다. 이에 의해, 프린트 배선판이나 수지 볼록판에 패턴을 형성하는 경우의 노광 정밀도가 향상되어, 미세 패턴을 형성할 수 있다.
유리 마스크 상에 보호막을 형성하는 방법으로서는, 스핀 코트나 다이 코트, 캡 코트, 바 코트 등의 공지의 방법을 사용할 수 있다.
또한, 본 발명에서 사용되는 패턴이 형성되어 있는 유리 마스크는, 보호막과 접착성을 향상시키기 위한 언더코팅층이 설치되어 있는 것을 포함하는 것이다.
실시예
이하, 실시예에 의해 본 발명을 추가적으로 설명한다. 또한, 「부」, 「%」는 특별히 나타내지 않는 한 중량기준으로 한다.
[실시예 1~5, 비교예 1~3 및 참고예 1]
하기 표 1 조성의 실시예 1~5, 비교예 1~3 및 참고예 1의 유리 마스크용 열경화형 보호액을, 패턴 형성된 에멀젼 마스크 상에 스핀 코트에 의해 도포하고, 150℃, 70분에 걸쳐 가열경화시켜, 두께 약 2 ㎛의 보호막을 형성하여, 실시예 1~5, 비교예 1~3 및 참고예 1의 유리 마스크를 제작하였다.
Figure pct00001
또한, 상기 예에서는, 실리콘 수지 1(X-40-2308: 신에츠 가가쿠 고교사, 고형분 100%), 실리콘 수지 2: 에폭시 변성 실리콘 수지(ES-1001N: 신에츠 가가쿠 고교사, 고형분 45%), 실리콘 수지 3: 에스테르 변성 실리콘 수지(KR5235: 신에츠 가가쿠 고교사, 고형분 60%), 실리콘 수지 4: 아크릴 변성 실리콘 수지(KR9706: 신에츠 가가쿠 고교사, 고형분 100%), 에폭시 수지 1: 페놀 노볼락형 에폭시 수지(JER157S70: 재팬 에폭시 레진사, 고형분 100%), 에폭시 수지 2(Epiclon860: DIC사, 고형분 100%), 에폭시 수지 3(Epiclon840: DIC사, 고형분 100%), 실리콘오일(KF6001: 신에츠 가가쿠 고교사, 고형분 100%), 아민계 촉매(큐아졸2PZ-CN: 시코쿠 가세이 고교사, 고형분 100%), 금속 알콕시드계 촉매(D-20: 신에츠 가가쿠 고교사, 고형분 100%)를 사용하였다.
얻어진 실시예 1~5 및 비교예 1~3의 유리 마스크에 대해서, 하기 항목의 평가를 행하였다. 결과를 표 2에 나타낸다.
[유리 마스크에 대한 접착성]
실시예 1~5 및 비교예 1~3에서 얻어진 유리 마스크와 보호막의 접착성을, 바둑판눈 테이프법(JIS K5600-5-6:1999)에 의해 평가하였다. 바둑판눈 테이프법에 의한 박리시험의 결과, 바둑판눈 부분이 박리되어 버린 것을 「×」, 바둑판눈 부분이 전혀 박리되지 않은 것을 「○」로 하였다. 결과를 표 3에 나타낸다.
[크랙의 유무]
실시예 1~5 및 비교예 1~3에서 얻어진 유리 마스크의 보호막에 크랙이 발생하는지 여부를 육안 평가하였다. 육안으로 확인할 수 있는 크랙이 보이는 것을 「×」, 크랙이 보이지 않는 것을 「○」로 하였다. 평가 결과를 표 3에 나타낸다.
[보호막의 백화]
실시예 1~5 및 비교예 1~3의 유리 마스크의 투명 부분에 대해서, 헤이즈 미터(HGM-2K: 스가 시켄키사)를 사용하여, JIS K7105:1981에 따라서, 헤이즈를 측정하였다. 헤이즈가 1% 미만인 것을 「○」, 1% 이상 5% 미만인 것을 「△」, 5% 이상인 것을 「×」로 하였다. 결과를 표 3에 나타낸다.
[표면 경도]
JIS K5600-5-4:1999에 따라, 실시예 1~5 및 비교예 1~3의 유리 마스크에 형성된 보호막 표면의 연필 경도를 측정하였다. 그 결과, 연필 경도가 3 H 이상인 것을 「○」, 3 H 미만인 것을 「×」로 하였다. 결과를 표 3에 나타낸다.
[액체 보존 안정성]
실시예 1~5 및 비교예 1~3에 사용한 유리 마스크용 열경화형 보호액의 3일 후의 액체 상태를 관찰하였다. 유동성이 없어져, 도포액으로서 사용할 수 없는 것을 「×」, 유동성이 있어, 도포액으로서 문제가 없는 것을 「○」로 하였다. 평가 결과를 표 3에 나타낸다.
Figure pct00002
실시예 1~4의 유리 마스크는, 에폭시 수지 중의 페놀 노볼락형 에폭시 수지의 비율이 30 중량% 이상이기 때문에, 보호막이 백화되는 경우가 없는 것이었다. 또한, 실리콘 수지와 에폭시 수지의 중량 비율이 4:6~8:2의 범위 내이기 때문에, 크랙이 발생하지 않고, 보호막으로서 충분한 표면 경도가 얻어지는 것이었다. 또한, 실시예 1~4의 유리 마스크용 열경화형 보호액은, 경화제로서 아민계 촉매만 포함하기 때문에, 액체 보존 안정성이 우수한 것이었다.
실시예 5의 유리 마스크는, 에폭시 수지 중의 페놀 노볼락형 에폭시 수지의 비율이 30 중량% 이상이기 때문에, 보호막이 백화되는 경우가 없는 것이었다. 또한, 실리콘 수지와 에폭시 수지의 중량 비율이 4:6~8:2의 범위 내이기 때문에, 크랙이 발생하지 않고, 보호막으로서 충분한 표면 경도가 얻어지는 것이었다. 그러나, 실시예 5의 유리 마스크용 열경화형 보호액은, 경화제로서 아민계 촉매와 금속 알콕시드계 촉매를 포함하기 때문에, 액체 보존 안정성에 문제가 있는 것이 되었다.
비교예 1의 유리 마스크는, 에폭시 수지 중에 페놀 노볼락형 에폭시 수지를 포함하지 않는 것이기 때문에, 보호막의 백화가 보이는 것이었다. 또한, 실리콘 수지와 에폭시 수지의 중량 비율이 4:6~8:2의 범위 외이고, 실리콘 수지의 비율이 많기 때문에, 크랙이 발생하는 것이 되었다.
비교예 2의 유리 마스크는, 에폭시 수지 중에 페놀 노볼락형 에폭시 수지를 포함하지 않는 것이기 때문에, 보호막의 백화가 보이는 것이었다. 또한, 실리콘 수지와 에폭시 수지의 비율이 4:6~8:2의 범위 외이고, 에폭시 수지의 비율이 많기 때문에, 보호막으로서 충분한 표면 경도가 얻어지지 않는 것이 되었다.
비교예 3의 유리 마스크는, 에폭시 수지 중의 페놀 노볼락형 에폭시 수지를 포함하지 않는 것이기 때문에, 보호막의 백화가 보이는 것이었다.
참고예 1의 유리 마스크는, 에폭시 수지 중의 페놀 노볼락형 에폭시 수지의 비율이 30 중량% 미만이기 때문에, 비교예 1~3의 유리 마스크와 비교해서 헤이즈는 낮은 것이지만, 보호막의 백화가 보이는 것이었다.
[실시예 6~9 및 비교예 4~8]
하기 표 3 조성의 실시예 6~9 및 비교예 4~8의 유리 마스크용 열경화형 보호액을, 패턴 형성된 에멀젼 마스크 상에 스핀 코트에 의해 도포하고, 150℃, 70분에 걸쳐 가열경화시켜, 두께 약 2 ㎛의 보호막을 형성하여, 실시예 6~9 및 비교예 4~8의 유리 마스크를 제작하였다.
Figure pct00003
또한, 상기 예에서는, 실리콘 수지 1~4, 에폭시 수지 1~2, 실리콘오일, 아민계 촉매, 금속 알콕시드계 촉매: 실시예 1~5 및 비교예 1~3에서 사용한 것, 실리콘 수지 5: 메틸계 실리콘 수지(KR400: 신에츠 가가쿠 고교사, 고형분 100%)를 사용하였다.
얻어진 실시예 6~9 및 비교예 4~8의 유리 마스크에 대해서, 전술한 실시예 1~5 및 비교예 1~3과 동일한 항목의 평가를 행하였다. 결과를 표 4에 나타낸다.
Figure pct00004
실시예 6~8의 유리 마스크는, 실리콘 수지 중의 에스테르 변성 실리콘 수지의 비율이 15~35 중량%의 범위 내이기 때문에, 보호막이 백화되는 경우도 없는 것이었다. 또한, 유리 마스크용 열경화형 보호액의 실리콘 수지와 에폭시 수지의 중량 비율이 4:6~8:2의 범위 내이기 때문에, 보호막으로서 충분한 표면 경도가 얻어지는 것이고, 보호막에 크랙이 발생하는 경우도 없는 것으로, 유리 마스크용 보호막으로서 우수한 것이었다. 또한, 실시예 6~8의 유리 마스크용 열경화형 보호액은, 경화제로서 아민계 촉매만 포함하기 때문에, 액체 보존 안정성이 우수한 것이었다.
실시예 9의 유리 마스크는, 실리콘 수지 중의 에스테르 변성 실리콘 수지의 비율이 15~35 중량%의 범위 내이기 때문에, 보호막이 백화되는 경우도 없는 것이었다. 또한, 유리 마스크용 열경화형 보호액의 실리콘 수지와 에폭시 수지의 중량 비율이 4:6~8:2의 범위 내이기 때문에, 보호막으로서 충분한 표면 경도가 얻어지는 것이고, 보호막에 크랙이 발생하는 경우도 없는 것으로, 유리 마스크용 보호막으로서 우수한 것이었다. 그러나, 실시예 9의 유리 마스크용 열경화형 보호액은, 경화제로서 아민계 촉매와 금속 알콕시드계 촉매를 포함하기 때문에, 액체 보존 안정성에 문제가 있는 것이 되었다.
비교예 4의 유리 마스크는, 실리콘 수지 중의 에스테르 변성 실리콘 수지의 비율이 15 중량% 이하이기 때문에, 에스테르 변성 실리콘 수지에 의한 에폭시 수지와의 상용성의 향상 효과가 얻어지지 않아, 백화가 보이는 것이었다.
비교예 5의 유리 마스크는, 실리콘 수지 중의 에스테르 변성 실리콘 수지의 비율이 35 중량% 이상이기 때문에, 보호막으로서 충분한 표면 경도가 얻어지지 않는 것이 되었다.
비교예 6, 8의 유리 마스크는, 실리콘 수지 중에 에스테르 변성 실리콘 수지를 포함하지 않는 것이기 때문에, 보호막의 백화가 보이는 것이었다. 또한, 유리 마스크용 열경화형 보호액의 실리콘 수지와 에폭시 수지의 중량 비율이 4:6~8:2의 범위 외이고, 실리콘 수지의 비율이 많기 때문에, 보호막에 크랙이 발생하는 것이 되었다.
비교예 7의 유리마스크는, 실리콘 수지 중에 에스테르 변성 실리콘 수지를 포함하지 않는 것이기 때문에, 보호막의 백화가 보이는 것이었다. 또한, 유리 마스크용 열경화형 보호액의 실리콘 수지와 에폭시 수지의 중량 비율이 4:6~8:2의 범위 외로, 보호막으로서 충분한 표면 경도가 얻어지지 않는 것이 되었다.

Claims (6)

  1. 실리콘 수지, 에폭시 수지 및 실리콘오일을 포함하고, 에폭시 수지로서 페놀 노볼락형 에폭시 수지를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 마스크용 열경화형 보호액.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 페놀 노볼락형 에폭시 수지는, 에폭시 수지 중에 30 중량% 이상 포함되는 것을 특징으로 하는 유리 마스크용 열경화형 보호액.
  3. 실리콘 수지, 에폭시 수지 및 실리콘오일을 포함하고, 상기 실리콘 수지 중의 15~35 중량%가 에스테르 변성 실리콘 수지인 것을 특징으로 하는 유리 마스크용 열경화형 보호액.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 실리콘 수지와 상기 에폭시 수지의 중량 비율이 4:6~8:2인 것을 특징으로 하는 유리 마스크용 열경화형 보호액.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    경화제로서 금속 알콕시드계 촉매를 포함하지 않고 아민계 화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 마스크용 열경화형 보호액.
  6. 유리 마스크 상에, 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 기재된 유리 마스크용 열경화형 보호액을 사용한 보호막이 형성되어서 되는 것을 특징으로 하는 유리 마스크.
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