KR20120094465A - 낮은 강성을 갖는 분리된 투명 또는 반투명 물체용 결함 검사 장치 및 그의 검사 방법 - Google Patents

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샤오펑 린
쟝-필립 슈바이처
후이펀 리
원후아 떵
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따즈 천
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쌩-고벵 글래스 프랑스
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Abstract

분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체를 이동시키기 위한 제1 이동부(102) 및 제2 이동부(104); 분리된 투명 또는 반투명 물체의 이동 경로 상에서 제1 이동부(102)와 제2 이동부(104) 사이에 설치되고 상부 표면을 갖는 투명 브릿지(106); 투명 브릿지(106)의 한 쪽에 설치되고 투명 브릿지(106)를 통해 투명 브릿지(106)의 상부 표면에 확산 광을 투사하는 조명 유닛(108); 및 투명 브릿지(106)의 다른 쪽에 설치되고, 조명 유닛(108)으로부터 투사되고 분리된 투명 또는 반투명 물체를 통해 투과하는 광을 수광하여 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체가 투명 브릿지(106)의 상부 표면에 도달할 때 이미지를 형성하는 이미지 픽업 유닛(110)을 포함하는 이미지 수집 장치(100)를 구비한, 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체의 결함 검사 장치(10)를 제공한다. 그의 검사 방법 또한 제공한다.

Description

낮은 강성을 갖는 분리된 투명 또는 반투명 물체용 결함 검사 장치 및 그의 검사 방법 {DEFECT INSPECTION APPARATUS FOR SEPARATED AND TRANSPARENT OR TRANSLUCENT ARTICLES WITH LOW RIGIDITY AND INSPECTION METHOD THEREOF}
본 발명은 분리된 낮은 강성의 투명 및/또는 반투명 물체의 결함을 검출하기 위한 장치 및 방법에 관한 것이다.
투명 또는 반투명 제품의 결함은 국부적 결함, 예컨대 내포물 및 공극, 및 오염물, 예컨대 먼지 및 털을 포함한다. 이러한 결함은 10 초과 내지 수 천 마이크로미터 범위의 크기를 갖는다.
수공 제품 라인에서, 품질 제어 관리자는 육안으로 제품의 결함을 검사한다. 자동화 제조 라인에서는, 제조 안전성을 고려하여 수동 품질 검출 및 관리가 허용되지 않지만, 완전한 자동화 검출 장치는 존재하지 않는다. 따라서, 자동화 제조 라인에는 품질 관리가 없다.
자동화 제조 라인에서의 품질 관리를 위한 많은 검출 방법 및 장치가 개발되어왔다. 이들은 주로 두 종류의 용품을 위한 것이다. 하나는 분리된 높은 강성의 투명 또는 반투명 물체, 예컨대 유리이며, 다른 하나는 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체, 예컨대 플라스틱 시트 및 종이이다.
미국특허 출원 제2004/0179193A1호는 분리된 높은 강성의 투명 물체의 결함을 검출하기 위한 방법 및 장치를 개시한다.
US 2004/0179193A1에서, 복수의 롤러가, 분리된 높은 강성의 투명 물체인 유리를 이동시키기 위한 이동 수단을 형성한다. 복수의 롤러의 두 롤러 사이의 틈 및 유리의 한 쪽에 조명 수단이 배치되며, 이는 유리 상에 광을 투사한다. 복수의 라인 센서 카메라로 형성된 이미징 어레이(이미지 픽업 수단)가 유리의 반대 쪽에 배치되며 조명 수단으로부터 투사되는 광을 수광하고 유리를 통해 투과하여 일 세트의 1차원 이미지를 생성한다. 이미지 처리 수단은 1차원 이미지 세트를 기초로 하여 2차원 이미지를 재구성하며 유리의 결함에 대해 2차원 이미지를 분석한다.
상기 언급한 특허 출원에 개시된 방법 및 장치는, 낮은 강성의 투명 물체가 낮은 강성으로 인해 그러한 롤러 상에서 이동할 수 없기 때문에 낮은 강성의 투명 물체에는 적용이 불가능하다.
미국특허 출원 제2006/0203246A1호는 연속적인 낮은 강성의 투명 물체의 결함을 검출하기 위한 방법 및 장치를 개시한다.
US 2006/0203246A1에서, 연속적인 낮은 강성의 투명 물체로서 연속적인 낮은 강성의 투명 필름을 이송하기 위한 이동 수단으로서 한 쌍의 가이드 롤러를 사용하며, 연속적인 낮은 강성의 투명 필름은 가이드 롤러 쌍 주위를 선회한다. 광원이 연속적인 낮은 강성의 투명 필름 아래에 배치되며, 투명 필름을 향해 선형 광을 투사한다. 광 수신기가 광원 반대편의 투명 필름의 다른 쪽에 배치되고, 투명 필름을 통해 투과하는 광을 수광하여 이미지를 생성한다. 생성된 이미지를 기초로 판정 수단이 투명 필름에 결함이 있는지를 결정한다.
US 2006/0203246A1에 개시된 장치 및 방법은 가이드 롤러 쌍 주위를 선회 및 이동할 수 있도록 낮은 강성의 투명 필름이 연속적일 것을 요구한다.
따라서, US2006/0203246A1에 개시된 장치 및 방법은 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체에는 적용이 불가능하다.
종래 기술의 상기 문제점을 고려하여, 본 개시내용은 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체의 결함을 검출할 수 있는, 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체의 결함을 검출하는 장치 및 방법을 제공한다.
본 발명의 일 태양에서, 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체를 이송하도록 구성된 제1 컨베이어 및 제2 컨베이어; 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체의 이동 경로를 따라 제1 컨베이어와 제2 컨베이어 사이에 배치되고, 상부 표면을 갖는 투명 브릿지; 투명 브릿지의 한 쪽에 배치되고, 투명 브릿지를 통해 투과하여 투명 브릿지의 상부 표면 위로 확산 광을 투사하도록 구성된 조명 유닛; 및 투명 브릿지의 다른 쪽에 배치되고, 조명 유닛으로부터 투사되고 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체를 통해 투과하는 광을 수광하여 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체가 투명 브릿지의 상부 표면에 진입할 때 이미지를 형성하도록 구성된 이미지 픽업 유닛을 포함하는 이미지 획득 장치를 제공한다.
본 발명의 다른 태양에서, 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체의 이동 경로를 따라 제1 컨베이어와 제2 컨베이어 사이에 투명 브릿지 - 투명 브릿지는 상부 표면을 가짐 - 를 배치하는 단계; 투명 브릿지의 한 쪽에 조명 유닛 - 조명 유닛은 투명 브릿지를 통해 투과하여 투명 브릿지의 상부 표면 위로 확산 광을 투사하도록 구성됨 - 을 배치하는 단계; 및 투명 브릿지의 다른 쪽에 이미지 픽업 유닛 - 이미지 픽업 유닛은 상기 조명 유닛으로부터 투사되고 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체를 통해 투과하는 광을 수광하여 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체가 투명 브릿지의 상부 표면에 진입할 때 이미지를 형성하도록 구성됨 - 을 배치하는 단계를 포함하는 이미지 획득 장치의 제조 방법을 제공한다.
본 발명의 또 다른 태양에서, 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체를 이송하도록 구성된 제1 컨베이어 및 제2 컨베이어; 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체의 이동 경로를 따라 제1 컨베이어와 제2 컨베이어 사이에 배치되고, 상부 표면을 갖는 투명 브릿지; 투명 브릿지의 한 쪽에 배치되고, 투명 브릿지를 통해 투과하여 투명 브릿지의 상부 표면 위로 확산 광을 투사하도록 구성된 조명 유닛; 투명 브릿지의 다른 쪽에 배치되고, 조명 유닛으로부터 투사되고 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체를 통해 투과하는 광을 수광하여 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체가 투명 브릿지의 상부 표면에 진입할 때 이미지를 형성하도록 구성된 이미지 픽업 유닛; 및 형성된 이미지를 처리하여, 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체에 결함이 있는지를 결정하도록 구성된 이미지 처리 유닛을 포함하는, 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체의 결함을 검출하기 위한 장치를 제공한다.
본 발명의 또 다른 태양에서, 투명 브릿지의 상부 표면 위로 확산 광을 투사하는 단계; 투명 브릿지의 상부 표면 위로 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체를 통해 투과하는 광을 수광하여 이미지를 형성하는 단계; 및 형성된 이미지를 처리하여 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체에 결함이 있는지를 결정하는 단계를 포함하는, 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체의 결함을 검출하는 방법을 제공한다.
본 발명의 다른 특징 및 장점들은 도면을 참조하여 하기 상세한 설명으로부터 더 명백해질 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시양태에 따른 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체의 결함을 검출하기 위한 장치를 도시한 개략도이다.
도 2a 및 도 2b는 본 발명의 일 실시양태에 따른 컨베이어의 예를 도시한다.
도 3a 및 도 3b는 바이너리(binary) 이미지의 배경과 상이한 그레이 스케일(gray scale)을 갖는 영역을 포함하는 바이너리 이미지의 예를 도시한다.
본 발명의 실시양태는 도면을 참조하여 이하에서 더 상세하게 기술될 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시양태에 따른 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체의 결함을 검출하기 위한 장치를 도시한 개략도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 장치(10)는 이미지 획득 장치(100), 이미지 처리 유닛(200) 및 실행 장치(300)를 포함한다.
이미지 획득 장치(100)는 이미지를 획득하도록 구성되며, 2 개의 컨베이어(102 및 104), 투명 브릿지(106), 조명 유닛(108) 및 이미지 픽업 유닛(110)을 포함한다.
컨베이어(102 및 104)는 분리된 낮은 강성의 투명/반투명 물체의 예로서 분리된 플라스틱 시트(B1)를 이송하도록 구성된다. 컨베이어(102 및 104)는 분리된 플라스틱 시트(B1)의 이동 경로를 따라 소정의 간격으로 배치된다. 이 실시양태에서, 컨베이어(102 및 104) 각각은 2 개의 롤러 및 루프형 벨트를 포함하며, 2 개의 롤러는 분리된 플라스틱 시트(B1)의 이동 경로를 따라 소정의 간격으로 배치되고 구동시 회전하며, 루프형 벨트는 2 개의 롤러 주위를 선회하고 2 개의 롤러의 회전과 함께 회전하여 이동 경로를 따라 분리된 플라스틱 시트(B1)를 이송한다. 루프형 벨트는 도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같이 넓은 루프형 벨트이거나 소정의 간격으로 배열된 복수의 좁은 루프형 벨트일 수 있다.
투명 브릿지(106)는 컨베이어(102와 104) 사이에 배치된다. 투명 브릿지(106)는 분리된 플라스틱 시트(B1)가 투명 브릿지(106)의 상부 표면(T1)에 진입한 후에 매끄럽게 이동할 수 있게 하는 상부 표면(T1)을 가져서, 이미지 픽업 유닛(110)이 우수한 이미지 품질을 얻을 수 있다. 투명 브릿지(106)의 상부 표면(T1)은 컨베이어(102 및 104)의 상부 표면(S1 및 S2)보다 낮고 투명 브릿지(106)는 컨베이어(102 및 104)에 근접해서, 분리된 플라스틱 시트(B1)가 컨베이어(102)로부터 투명 브릿지(106) 위로 이동할 때 컨베이어(102)와 투명 브릿지(106) 사이의 틈에 빠지지 않을 것이며, 분리된 플라스틱 시트(B1)가 투명 브릿지(106)에서 컨베이어(104)로 이동할 때 컨베이어(104)의 측 표면과 충돌하여 매끄럽게 이동하지 못하거나 약간 회전되는 일이 없을 것이다. 바람직하게는, 투명 브릿지(106)의 상부 표면(T1)은 컨베이어(102 및 104)의 상부 표면(S1 및 S2)보다 1-3 밀리미터 낮으며, 투명 브릿지(106)와 컨베이어(102) 사이의 틈 및 투명 브릿지(106)와 컨베이어(104) 사이의 틈은 각각 시트(B1) 두께의 절반보다 작은 폭을 갖는다. 이러한 실시양태에서, 분리된 플라스틱 시트(B1)의 이동 경로와 평행하고 투명 브릿지(106)의 상부 표면(T1)에 수직인 투명 브릿지(106)의 단면은 역 "사다리꼴"
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또는 직사각형 형상일 수 있으며, 투명 브릿지(106)는 투명한 재료, 예컨대 PMMA(유기 유리) 또는 유리로 이루어질 수 있다.
조명 유닛(108)은 투명 브릿지(106) 아래(하부쪽)에 배치되며, 투명 브릿지(106)를 통해 투과하여 투명 브릿지(106)의 상부 표면(T1) 위로 확산 광을 투사한다.
이미지 픽업 유닛(110)은, 조명 유닛(108)에 의해 투사되고 분리된 플라스틱 시트(B1)를 통해 투과하는 광을 수광하여 이미지를 형성하도록 투명 브릿지(106) 위(상부쪽)에 배치된다. 이 실시양태에서, 이미지 픽업 유닛(110)은 라인 센서 카메라의 어레이일 수 있다.
이미지 처리 유닛(200)은 이미지 획득 장치(100)에 의해 획득된 이미지를 처리하여 분리된 플라스틱 시트(B1)에 결함이 있는지를 결정하도록 구성된다.
이 실시양태에서, 이미지 처리 유닛(200)은 먼저 이미지 획득 장치(100)에 의해 획득된 이미지를 자동-임계화처리(auto-thresholding)하여, 획득된 이미지를 바이너리화하기 위한 2 개의 상이한 임계치를 생성한다. 이후, 이미지 처리 유닛(200)은 생성된 2 개의 임계치 각각을 사용하여 획득된 이미지를 바이너리화하여, 2 개의 바이너리 이미지를 생성한다. 다음으로, 이미지 처리 유닛(200)은 2 개의 바이너리 이미지 중 어느 것이 바이너리 이미지의 영역의 배경과 상이한 그레이 스케일을 갖는 영역을 포함하는지를 검출하며, 여기서 상기 영역은 예컨대, 도 3a 및 도 3b에 도시된 바와 같이 검정색 점, 검정색 선, 흰색 점 또는 흰색 선일 수 있다. 마지막으로, 2 개의 바이너리 이미지 중 하나 이상이 바이너리 이미지에서 배경과 상이한 그레이 스케일을 갖는 영역을 포함하는 것으로 검출된 경우, 이미지 처리 유닛(200)은 분리된 플라스틱 시트(B1)에 결함이 있는 것으로 결정하거나, 2 개의 바이너리 이미지 중 어느 것도 바이너리 이미지에서 배경과 상이한 그레이 스케일을 갖는 영역을 포함하지 않는 것으로 검출된 경우, 이미지 처리 유닛(200)은 분리된 플라스틱 시트(B1)에 결함이 없는 것으로 결정한다.
실행 장치(300)는 시트(B1)에 결함이 존재하는지 여부에 기초하여 분리된 플라스틱 시트(B1)를 배치하도록 구성된다. 실행 장치(300)는 판정 유닛, 세척기 및 이동 유닛을 포함한다. 판정 유닛은, 이미지 처리 유닛(200)이 분리된 플라스틱 시트(B1)에 결함이 존재하는 것으로 결정한 경우, 시트(B1)가 세척기로부터 온 것인지를 확인하여 시트(B1)가 처음 검출된 것인지를 판정하며, 분리된 플라스틱 시트(B1)가 세척기로부터 온 것으로 확인된 경우에는 분리된 플라스틱 시트(B1)가 처음 검출된 것이 아닌 것으로 결정하고, 분리된 플라스틱 시트(B1)가 세척기로부터 온 것이 아닌 것으로 확인된 경우에는 분리된 플라스틱 시트(B1)가 처음 검출된 것으로 결정하도록 구성된다. 세척기는 세척 작업을 수행하도록 구성된다. 이동 유닛은, 이미지 처리 유닛(200)이 분리된 플라스틱 시트(B1)에 결함이 없는 것으로 결정하는 경우, 분리된 플라스틱 시트(B1)를 제조 라인의 다음 단계로 이동시키고, 판정 유닛이 분리된 플라스틱 시트(B1)가 처음 검출된 것으로 결정하는 경우, 분리된 플라스틱 시트(B1)를 세척하기 위해 세척기로 이동시키며, 판정 유닛이 분리된 플라스틱 시트(B1)가 처음 검출된 것이 아닌 것으로 결정하는 경우, 분리된 플라스틱 시트(B1)를 불량처리하도록 구성된다.
플라스틱 시트에서 가장 흔한 결함은 내포물이지만, 결함의 검출은 플라스틱 시트의 거친 표면에 의해 방해받을 가능성이 높다. 플라스틱 시트의 거친 표면 상의 피크부와 골부가 광을 굴절시켜 원래의 이미지에서 어두운 입자를 생성할 수 있다. 어두운 입자는 결함 후보군이 될 것이며 플라스틱 시트에서 내포물과 혼동될 가능성이 높다. 그러나, 플라스틱 시트의 거친 표면으로 인한 부작용은 이 실시양태에서 확산 광에 의해 완화된다.
또한, 이 실시양태에서 확산 광을 사용하면, 픽셀 해상도보다 작은 크기의 결함이 분산되고 확대된 이미지로 생성됨으로써 검출이 가능하게 된다.
이 실시양태의 장치는 육안으로는 볼 수 없는 분리된 플라스틱 시트의 결함을 검출할 수 있고, 이 실시양태의 장치를 사용하면 고 품질의 분리된 플라스틱 시트를 얻을 수 있으므로 고 품질에 대한 고객의 요구를 만족시킬 수 있다는 것을 알 수 있다.
이 실시양태에서 장치가 결함을 검출하지 않으면, 분리된 플라스틱 시트(B1)의 결함 대 표면적의 비율은 일반적으로 10-7 미만, 더 바람직한 경우에는 10-8 미만이다. 당업자는 결함 대 표면적의 비율로 예시된 상기 값이 본 발명의 범위를 좁히거나 제한하는 것으로 의도되지 않음을 이해할 것이다.
당업자는, 상기 실시양태에서는 투명 브릿지(106)가, 투명 브릿지(106)의 상부 표면(T1)이 컨베이어(102 및 104)의 상부 표면(S1 및 S2)보다 낮고 투명 브릿지(106)가 컨베이어(102 및 104)에 근접하도록 구성되어, 분리된 플라스틱 시트(B1)가 컨베이어(102)로부터 투명 브릿지(106)위로 이동할 때 컨베이어(102)와 투명 브릿지(106) 사이의 틈에 빠지지 않을 것이며, 분리된 플라스틱 시트(B1)가 투명 브릿지(106)에서 컨베이어(104)로 이동할 때 컨베이어(104)의 측 표면과 충돌하여 매끄럽게 이동하지 못하거나 약간 회전되는 일이 없을 것이지만, 본 발명은 상기 목적으로, 투명 브릿지(106)의 상부 표면(T1)이 컨베이어(102 및 104)의 상부 표면(S1 및 S2)보다 낮고 투명 브릿지(106)가 컨베이어(102 및 104)에 근접하도록 구성된 투명 브릿지(106)를 사용하는 것으로 제한되지는 않음을 이해할 것이다. 본 발명의 일부 다른 실시양태에서, 다른 수단이 상기 목적을 위하여 적용될 수 있다.
예컨대, 본 발명의 일부 다른 실시양태에서는, 투명 브릿지(106)의 상부 표면(T1)이 컨베이어(102 및 104)의 상부 표면(S1 및 S2)만큼 높고, 투명 브릿지(106)가 컨베이어(102 및 104)에 근접할 필요가 없다. 이러한 경우, 분리된 플라스틱 시트(B1)가 컨베이어(102)로부터 투명 브릿지(106)에 진입할 때 작업자는 플라스틱 시트(B1)를 수동으로 컨베이어(102)로부터 투명 브릿지(106)로 이송하고, 분리된 플라스틱 시트(B1)가 투명 브릿지(106)로부터 컨베이어(104)에 진입할 때 작업자는 분리된 플라스틱 시트(B1)를 수동으로 투명 브릿지(106)로부터 컨베이어(104)로 이송한다.
다른 예로서, 본 발명의 일부 다른 실시양태에서는, 투명 브릿지(106)의 상부 표면(T1)이 컨베이어(102 및 104)의 상부 표면(S1 및 S2)만큼 높고, 투명 브릿지(106)가 컨베이어(102 및 104)에 근접할 필요가 없으며, 장치(10)는 컨베이어(102)와 투명 브릿지(106) 사이의 틈 및 컨베이어(104)와 투명 브릿지(106) 사이의 틈을 향해 공기를 방출하는 방출 수단을 포함한다. 방출된 공기가 분리된 플라스틱 시트(B1)를 지지하는 부력을 생성하기 때문에, 분리된 플라스틱 시트(B1)가 컨베이어(102)로부터 투명 브릿지(106)로 진입할 때 컨베이어(102)와 투명 브릿지(106) 사이의 틈에 빠지지 않을 것이며, 분리된 플라스틱 시트(B1)가 투명 브릿지(106)로부터 컨베이어(104)로 진입할 때 컨베이어(104)의 측 표면과 충돌하여 매끄럽게 이동하지 못하거나 약간 회전되는 일이 없을 것이다.
또 다른 예로서, 본 발명의 일부 다른 실시양태에서는, 투명 브릿지(106)의 상부 표면(T1)이 컨베이어(102 및 104)의 상부 표면(S1 및 S2)만큼 높고, 투명 브릿지(106)가 컨베이어(102 및 104)에 근접할 필요가 없으며, 장치(10)는, 컨베이어(102)와 투명 브릿지(106) 사이의 틈 및 컨베이어(104)와 투명 브릿지(106) 사이의 틈 위에 각각 배치되고 높은 직류 전압이 인가되는 제1 플레이트 전극 및 제2 플레이트 전극을 포함한다. 제1 플레이트 전극 및 제2 플레이트 전극에 높은 직류 전압이 인가되기 때문에, 분리된 플라스틱 시트(B1)가 컨베이어(102)로부터 투명 브릿지(106)로 진입할 때 및 분리된 플라스틱 시트(B1)가 투명 브릿지(106)로부터 컨베이어(104)로 진입할 때, 컨베이어(102)와 투명 브릿지(106) 사이의 틈에서 시트(B1)의 일부는 제1 플레이트 전극에 의해 서로를 끌어당기는 정전기력을 생성할 것이고 컨베이어(104)와 투명 브릿지(106) 사이의 틈에서 시트(B1)의 일부는 제2 플레이트 전극에 의해 서로를 끌어당기는 정전기력을 생성할 것이므로, 분리된 플라스틱 시트(B1)가 컨베이어(102)로부터 투명 브릿지(106)로 진입할 때 컨베이어(102)와 투명 브릿지(106) 사이의 틈으로 빠지지 않을 것이고, 분리된 플라스틱 시트(B1)가 투명 브릿지(106)로부터 컨베이어(104)로 진입할 때 컨베이어(104)의 측 표면과 충돌하여 매끄럽게 이동하지 못하거나 약간 회전되는 일이 없을 것이다.
당업자는, 상기 실시양태에서는 조명 유닛(108)이 투명 브릿지(106) 아래에 배치되고 이미지 픽업 유닛(110)이 투명 브릿지(106) 위에 배치되어 있지만, 본 발명은 이에 제한되지 않음을 이해할 것이다. 본 발명의 일부 다른 실시양태에서는, 투명 브릿지(106) 위에 조명 유닛(108)을 배치하고 투명 브릿지(106) 아래에 이미지 픽업 유닛(110)을 배치하는 것 또한 가능하다. 즉, 본 발명의 실시양태에서 조명 유닛(108)은 투명 브릿지(106)의 한 쪽에 배치되고 이미지 픽업 유닛(110)은 투명 브릿지(106)의 다른 쪽에 배치된다.
당업자는, 상기 실시양태에서는 이미지 픽업 유닛이 라인 센서 카메라의 어레이이지만, 본 발명의 이미지 픽업 유닛은 이에 제한되지 않음을 이해할 것이다. 본 발명의 다른 실시양태에서, 이미지 픽업 유닛은 또한 2차원 카메라일 수 있다.
당업자는, 상기 실시양태에서는 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체의 예로서 분리된 플라스틱 시트(B1)를 들었지만, 본 발명의 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체는 분리된 플라스틱 시트(B1)에 제한되지 않음을 이해할 것이다.
당업자는, 상기 실시양태에 기술된 이미지 처리 유닛은 소프트웨어, 하드웨어 또는 소프트웨어와 하드웨어의 조합에 의해 실행될 수 있음을 이해할 것이다.
당업자는, 본 발명의 본질을 벗어나지 않고도 본 발명의 상기 실시양태에 다양한 변경 및 수정이 이뤄질 수 있고, 이러한 변경 및 수정은 본 발명의 범위 내에 속한다는 것을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 범위는 하기 특허청구범위에 의해 한정된다.

Claims (26)

  1. 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체를 이송하도록 구성된 제1 컨베이어 및 제2 컨베이어;
    분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체의 이동 경로를 따라 제1 컨베이어와 제2 컨베이어 사이에 배치되고, 상부 표면을 갖는 투명 브릿지;
    투명 브릿지의 한 쪽에 배치되고, 투명 브릿지를 통해 투과하여 투명 브릿지의 상부 표면 위로 확산 광을 투사하도록 구성된 조명 유닛; 및
    투명 브릿지의 다른 쪽에 배치되고, 조명 유닛으로부터 투사되고 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체를 통해 투과하는 광을 수광하여 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체가 투명 브릿지의 상부 표면에 진입할 때 이미지를 형성하도록 구성된 이미지 픽업 유닛
    을 포함하는 이미지 획득 장치.
  2. 제1항에 있어서, 투명 브릿지의 상부 표면이 제1 컨베이어의 상부 표면 및 제2 컨베이어의 상부 표면보다 낮고, 투명 브릿지가 제1 컨베이어 및 제2 컨베이어와 근접하는 이미지 획득 장치.
  3. 제1항에 있어서, 제1 컨베이어와 투명 브릿지 사이의 틈 및 제2 컨베이어와 투명 브릿지 사이의 틈을 향해 공기를 방출하도록 구성된 방출 장치를 더 포함하는 이미지 획득 장치.
  4. 제1항에 있어서, 높은 직류 전압이 인가되고, 제1 컨베이어와 투명 브릿지 사이의 틈 위에 배치되는 제1 플레이트 전극; 및
    높은 직류 전압이 인가되고, 제2 컨베이어와 투명 브릿지 사이의 틈 위에 배치되는 제2 플레이트 전극
    을 더 포함하는 이미지 획득 장치.
  5. 제1항에 있어서, 제1 컨베이어 및 제2 컨베이어 각각이,
    구동시 회전할 수 있는 제1 롤러 및 제2 롤러; 및
    제1 롤러 및 제2 롤러 주위를 선회하고, 제1 롤러 및 제2 롤러의 회전과 함께 회전하며, 그 위에 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체를 이송하도록 구성된 루프형 벨트
    를 더 포함하는 이미지 획득 장치.
  6. 제5항에 있어서, 루프형 벨트가 하나의 넓은 루프형 벨트 또는 복수의 좁은 루프형 벨트인 이미지 획득 장치.
  7. 제2항에 있어서, 투명 브릿지의 상부 표면이 제1 컨베이어의 상부 표면 및 제2 컨베이어의 상부 표면보다 1-3 밀리미터 낮은 이미지 획득 장치.
  8. 제2항에 있어서, 투명 브릿지와 제1 컨베이어 사이의 틈 및 투명 브릿지와 제2 컨베이어 사이의 틈이 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체의 두께의 절반보다 작은 이미지 획득 장치.
  9. 제1항에 있어서, 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체가 분리된 플라스틱 시트인 이미지 획득 장치.
  10. 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체의 이동 경로를 따라 제1 컨베이어와 제2 컨베이어 사이에 투명 브릿지 - 투명 브릿지는 상부 표면을 가짐 - 를 배치하는 단계;
    투명 브릿지의 한 쪽에 조명 유닛 - 조명 유닛은 투명 브릿지를 통해 투과하여 투명 브릿지의 상부 표면 위로 확산 광을 투사하도록 구성됨 - 을 배치하는 단계; 및
    투명 브릿지의 다른 쪽에 이미지 픽업 유닛 - 이미지 픽업 유닛은 조명 유닛으로부터 투사되고 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체를 통해 투과하는 광을 수광하여, 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체가 투명 브릿지의 상부 표면에 진입할 때 이미지를 형성하도록 구성됨 - 을 배치하는 단계
    를 포함하는 이미지 획득 장치의 제조 방법.
  11. 제10항에 있어서, 투명 브릿지의 상부 표면이 제1 컨베이어의 상부 표면 및 제2 컨베이어의 상부 표면보다 낮고, 투명 브릿지가 제1 컨베이어 및 제2 컨베이어에 근접하는 방법.
  12. 제10항에 있어서, 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체가 분리된 플라스틱 시트인 방법.
  13. 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체를 이송하도록 구성된 제1 컨베이어 및 제2 컨베이어;
    분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체의 이동 경로를 따라 제1 컨베이어와 제2 컨베이어 사이에 배치되고, 상부 표면을 갖는 투명 브릿지;
    투명 브릿지의 한 쪽에 배치되고, 투명 브릿지를 통해 투과하여 투명 브릿지의 상부 표면 위로 확산 광을 투사하도록 구성된 조명 유닛;
    투명 브릿지의 다른 쪽에 배치되고, 조명 유닛으로부터 투사되고 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체를 통해 투과하는 광을 수광하여 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체가 투명 브릿지의 상부 표면에 진입할 때 이미지를 형성하도록 구성된 이미지 픽업 유닛; 및
    형성된 이미지를 처리하여, 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체에 결함이 있는지를 결정하도록 구성된 이미지 처리 유닛
    을 포함하는, 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체의 결함을 검출하기 위한 장치.
  14. 제13항에 있어서, 투명 브릿지의 상부 표면이 제1 컨베이어의 상부 표면 및 제2 컨베이어의 상부 표면보다 낮고, 투명 브릿지가 제1 컨베이어 및 제2 컨베이어에 근접하는 장치.
  15. 제13항에 있어서, 이미지 처리 유닛이,
    형성된 이미지를 자동 임계화처리(automatic thresholding)하여, 형성된 이미지를 바이너리화(binarize)하기 위한 임계치를 생성하도록 구성된 임계치 계산 모듈;
    생성된 임계치를 이용하여 형성된 이미지를 바이너리화하여, 바이너리 이미지를 생성하도록 구성된 바이너리화 모듈;
    바이너리 이미지가 바이너리 이미지의 배경과 상이한 그레이 스케일(gray scale)을 갖는 영역을 포함하는지를 검출하도록 구성된 검출 모듈; 및
    바이너리 이미지가 바이너리 이미지의 배경과 상이한 그레이 스케일을 갖는 영역을 포함하는 것으로 검출되면 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체에 결함이 있는 것으로 결정하고, 바이너리 이미지가 바이너리 이미지의 배경과 상이한 그레이 스케일을 갖는 영역을 포함하지 않는 것으로 검출되면 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체에 결함이 없는 것으로 결정하도록 구성된 결정 모듈
    을 더 포함하는 장치.
  16. 제13항에 있어서,
    분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체에 결함이 있는지 여부에 기초하여 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체를 처리하도록 구성된 실행 장치를 더 포함하는 장치.
  17. 제16항에 있어서, 상기 실행 장치가,
    분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체에 결함이 있는 것으로 결정된 경우, 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체가 처음 검출된 것인지를 판정하도록 구성된 판정 유닛;
    세척 작업을 수행하도록 구성된 세척기; 및
    판정 유닛이, 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체가 처음 검출된 것으로 결정하는 경우에는 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체를 세척하도록 세척기로 이동시키고, 판정 유닛이, 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체가 처음 검출된 것이 아닌 것으로 결정하는 경우에는 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체를 불량처리하도록 구성된 이동 유닛
    을 더 포함하는 장치.
  18. 제13항에 있어서, 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체가 분리된 플라스틱 시트인 장치.
  19. 제13항 내지 제18항 중 어느 한 항에 있어서, 판정 유닛이, 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체가 결함을 포함하지 않는 것으로 결정하는 경우, 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체의 결함 대 표면적의 비가 10-7 미만인 장치.
  20. 제19항에 있어서, 판정 유닛이, 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체가 결함을 포함하지 않는 것으로 결정하는 경우, 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체의 결함 대 표면적의 비가 10-8 미만인 장치.
  21. 투명 브릿지의 상부 표면 위로 확산 광을 투사하는 단계;
    투명 브릿지의 상부 표면 위로 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체를 통해 투과하는 광을 수광하여 이미지를 형성하는 단계; 및
    형성된 이미지를 처리하여 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체에 결함이 있는지를 결정하는 단계
    를 포함하는, 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체의 결함 검출 방법.
  22. 제21항에 있어서, 형성된 이미지의 처리 단계가,
    형성된 이미지를 자동 임계화처리하여 형성된 이미지를 바이너리화하기 위한 임계치를 생성하는 단계;
    생성된 임계치를 이용하여 형성된 이미지를 바이너리화하여, 바이너리 이미지를 생성하는 단계;
    바이너리 이미지가 바이너리 이미지의 배경과 상이한 그레이 스케일을 갖는 영역을 포함하는지를 검출하는 단계; 및
    바이너리 이미지가 바이너리 이미지의 배경과 상이한 그레이 스케일을 갖는 영역을 포함하는 것으로 검출되면 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체에 결함이 있는 것으로 결정하고, 바이너리 이미지가 바이너리 이미지의 배경과 상이한 그레이 스케일을 갖는 영역을 포함하지 않는 것으로 검출되면 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체에 결함이 없는 것으로 결정하는 단계
    를 더 포함하는 방법.
  23. 제21항에 있어서,
    분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체에 결함이 있는 것으로 결정되는 경우, 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체가 처음 검출된 것인지를 판정하는 단계;
    분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체가 처음 검출된 것으로 결정되는 경우, 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체를 세척하도록 세척기로 이동시키는 단계; 및
    분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체가 처음 검출된 것이 아닌 것으로 결정되는 경우, 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체를 불량처리하는 단계
    를 더 포함하는 방법.
  24. 제21항에 있어서, 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체가 분리된 플라스틱 시트인 방법.
  25. 제21항 내지 제24항 중 어느 한 항에 있어서, 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체에 결함이 없는 것으로 결정되는 경우, 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체의 결함 대 표면적의 비가 10-7 미만인 방법.
  26. 제25항에 있어서, 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체에 결함이 없는 것으로 결정되는 경우, 분리된 낮은 강성의 투명 또는 반투명 물체의 결함 대 표면적의 비가 10-8 미만인 방법.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102296418B1 (ko) * 2020-06-22 2021-09-01 (주)대호테크 비젼 검사장치

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
IL216903A (en) * 2010-12-10 2016-09-29 Advanced Vision Tech (A V T ) Ltd Conveyor facility with imaging background surface
CN102247952B (zh) * 2011-04-13 2013-09-25 浙江大学 水果自动分级装置
CN102759531A (zh) * 2012-07-25 2012-10-31 深圳市华星光电技术有限公司 自动光学检测装置
JP5984301B2 (ja) * 2012-10-29 2016-09-06 株式会社プレックス 布類検査装置
CN104165895B (zh) * 2014-08-04 2016-05-25 于双悦 工业ct的3d成像系统的成像方法
CN106404803A (zh) * 2016-09-09 2017-02-15 蚌埠中建材信息显示材料有限公司 一种超薄浮法玻璃外观质量检测方法
US10289930B2 (en) * 2017-02-09 2019-05-14 Glasstech, Inc. System and associated for online measurement of the optical characteristics of a glass sheet
CN107388964A (zh) * 2017-07-17 2017-11-24 国网重庆市电力公司电力科学研究院 一种电能表外露塑料件检测方法及系统

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03122556A (ja) * 1989-10-04 1991-05-24 Nikka Densoku Kk 半透明シート状物の検査方法および装置
JPH03221850A (ja) * 1990-01-26 1991-09-30 Nikka Densoku Kk 正反射部と乱反射部の識別方法および装置
JP2678411B2 (ja) * 1991-07-26 1997-11-17 ニッカ電測株式会社 海苔の検査方法および装置
US5280170A (en) * 1992-12-22 1994-01-18 Emhart Glass Machinery Investments Inc. Machine for inspecting the shape of a container having a two dimensional camera for viewing the shadow of the projection of the container
JP3248635B2 (ja) * 1993-01-22 2002-01-21 サンクス株式会社 半透明シート状物体の検査装置
JP3149338B2 (ja) * 1995-06-15 2001-03-26 旭光学工業株式会社 光学部材検査方法
US6020954A (en) * 1997-12-18 2000-02-01 Imagestatistics, Inc. Method and associated apparatus for the standardized grading of gemstones
SG76564A1 (en) * 1998-11-30 2000-11-21 Rahmonic Resources Pte Ltd An apparatus and method to transport inspect and measure objects and surface details at high speeds
JP2000221142A (ja) * 1999-02-03 2000-08-11 Dac Engineering Kk 品質検査装置
CN1293381C (zh) * 2001-07-05 2007-01-03 日本板硝子株式会社 片状透明体缺陷的检查方法与装置
US7236847B2 (en) * 2002-01-16 2007-06-26 Kla-Tencor Technologies Corp. Systems and methods for closed loop defect reduction
JP2004245695A (ja) * 2003-02-13 2004-09-02 Ademakku:Kk 画像処理方法と異物検出装置
JP4789399B2 (ja) * 2003-05-01 2011-10-12 オリンパス株式会社 浮上ユニット
WO2006002098A2 (en) * 2004-06-18 2006-01-05 Roye Weeks Sheet handling apparatus
JP4628824B2 (ja) 2005-03-10 2011-02-09 富士フイルム株式会社 フイルムの欠陥検査装置及びフイルムの製造方法
JP3793217B1 (ja) * 2005-03-22 2006-07-05 森永製菓株式会社 画像解析検査用コンベヤ、製品検査用ベルト及び画像解析検査の検査精度向上方法
JP4951271B2 (ja) * 2005-05-12 2012-06-13 オリンパス株式会社 基板検査装置
TWI339727B (en) * 2005-06-03 2011-04-01 Maekawa Seisakusho Kk Apparatus for detecting contaminants in food
JP2007045618A (ja) * 2005-08-12 2007-02-22 Seiren Co Ltd 静電吸着板を用いた搬送装置
JP2007248291A (ja) * 2006-03-16 2007-09-27 Olympus Corp 基板検査装置
JP2007309779A (ja) * 2006-05-18 2007-11-29 Web Tec Kk 印刷物の品質検査装置及びその品質検査方法
CN1908638A (zh) * 2006-08-24 2007-02-07 上海交通大学 玻璃缺陷的光学检测装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102296418B1 (ko) * 2020-06-22 2021-09-01 (주)대호테크 비젼 검사장치

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Publication number Publication date
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