KR20120090018A - 감압 건조 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 감압건조장치에 관한 것으로 감압 건조 장치 (23b)는 LCD 기판 (G)가 반입되는 반입구 (61) 및 LCD 기판 (G)가 반출되는 반출구 (62)를 측벽부에 가져 반입구 (61)으로부터 반입된 LCD 기판 (G)를 대략 수평 상태로 수용하는 챔버 (6)과 반입구 (61) 및 반출구 (62)를 개폐하는 게이트 부재 ((63, 64))와 게이트 부재 ((63, 64))에 의해 반입구 (61) 및 반출구 (62)가 폐색된 상태로 챔버 (6)내를 감압하는 감압 기구와 LCD 기판 (G)를 대략 수평으로 반송해 반입구 (61)으로부터 챔버 (6)내에 반입함과 동시에 감압 기구에 의한 감압 건조 처리 후에 대략 수평으로 반송해 반출구 (62)로부터 챔버 (6)외에 반출하는 반송 기구 (7)과 챔버 (6)내에서 LCD 기판 (G)를 국부적으로 지지하는 경우 없이 균등하게 지지 가능한 벨트 (71)을 구비한다. 기판이 대형이라도 안전성이 뛰어나는 것과 동시에 진동의 발생을 억제할 수 있고 또한 기판에 도포된 도포액에 생기는 전사를 확실히 방지하는 것이 가능한 감압 건조 장치를 제공하는 기술을 제공한다.

Description

감압 건조 장치{DECOMPRESSION DRIER}

본 발명은 액정 디스플레이(LCD) 등에 이용되는 기판에 레지스트액등의 도포액을 도포한 후 이 도포액에 감압 상태로 건조 처리를 가하는 감압 건조 장치에 관한다.

액정 디스플레이(LCD)의 제조에 있어서는 LCD용의 유리제 기판(이하 단지 LCD 기판이라고 한다) 상에 전극 패턴을 형성하기 위해서 포트리소그래피 기술이 이용된다. 포트리소그래피를 이용한 패턴 형성은 우선 유리제의 LCD 기판에 레지스트액을 도포해 레지스트막을 형성하고 다음에 회로 패턴에 대응하도록 레지스트막을 노광해 그 후 이것을 현상 처리하는 순서로 행해진다.

포트리소그래피 기술에 있어서 레지스트액이 도포된 LCD 기판에 대해서는 레지스트액을 건조시키기 위해서 가열 장치에 반입해 프리베이크 처리를 하지만 가열 장치에서는 통상 LCD 기판과 가열 플레이트와의 직접 접촉을 피하는 목적으로 LCD 기판이 가열 플레이트상에 돌출하여 설치된 핀을 개입시켜 가열 플레이트상에 배치된다. 이 때문에 핀의 자취가 레지스트막에 전사되어 버린다고 하는 문제를 가지고 있다. 거기서 이러한 전사를 방지하기 위해서 기판에 도포한 레지스트액을 감압 상태에서 어느 정도 건조하고 그 후 가열 장치에 의한 건조를 실시해 급격한 건조를 회피하는 기술이 제안되고 있다(예를 들면 특허 문헌 1 참조).

이러한 감압 건조 처리를 실시하는 장치로서는 상부 챔버 및 하부 챔버로부터 이루어지는 챔버와 챔버내에 설치되어 LCD 기판이 재치되는 재치대와 챔버내를 배기해 감압하는 감압 기구를 구비한 장치가 이용되고 있다(예를 들면 특허 문헌 2, 3 참조). 이 감압 건조 장치는 상부 챔버 및 하부 챔버를 밀착한 상태로 감압 건조 처리를 실시하고 LCD 기판의 반입출 시에는 상부 챔버를 크레인 등으로 상승시켜 챔버를 개방하고 또한 적당한 구동 기구에 의해 재치대를 상승시키는 것이다.

또 이 감압 건조 장치에서는 액츄에이터 또는 로보트에 의해 파지되어 처

리전의 LCD 기판이 재치대상에 반송되는 것과 동시에 처리 후의 LCD 기판이 재치대상으로부터 반송되기 때문에 액츄에이터 또는 로보트에 의한 파지가 용이해지도록 LCD 기판은 그 단부가 재치대상에 돌출하여 설치된 핀에 지지되는 것에 의해 재치대상에 재치된다.

[특허 문헌 1] 일본국 특개2000-106341호 공보 [특허 문헌 2] 일본국 특개2000-181079호 공보 [특허 문헌 3] 일본국 특개 2004-241702호 공보

그런데 LCD 기판은 대형화가 지향되고 최근 한 변이 2 m의 거대한 것이 출현하기에 이르러 거기에 따라 상기 감압 건조 장치도 현저하게 대형화하고 있다. 이 때문에 상기 감압 건조 장치는 LCD 기판의 반입출시에 현저하게 중량이 큰 상부 챔버를 상승시키지 않으면 안되어 안전상 문제가 있다. 또한 이러한 현저하게 중량이 큰 상부 챔버를 승강시키면 상부 챔버의 승강 동작 시에 생기는 진동이 커져 이 진동이 상기 감압 건조 장치에 근접하게 배치된 레지스트액을 도포하는 도포 장치에 전해져 레지스트액의 막두께가 불균일하게 되어 버릴 우려가 있다.

또한 LCD 기판이 대형화하면 그 단부에 설치된 핀만으로 LCD 기판을 지지하는 것이 어려워지는 것으로부터 LCD 기판의 중앙부에도 핀을 설치할 필요가 있다. 이 때문에 결국 이들의 핀의 자취가 레지스트막에 전사되어 버릴 가능성이 높아져 감압 건조 처리 그것이 의미가 없는 것으로 되어 버린다.

본 발명은 관련된 사정에 비추어 이루어진 것으로서 기판이 대형이라도 안전성이 뛰어나는 것과 동시에 진동의 발생을 억제할 수 있고 또한 기판에 도포된 도포액에 생기는 전사를 확실히 방지하는 것이 가능한 감압 건조 장치의 제공을 목적으로 한다.

상기 과제를 해결하기 위해서 본 발명은 기판에 도포액을 도포한 후 이 도포액에 감압 상태로 건조 처리를 가하는 감압 건조 장치로서 기판이 반입되는 반입구 및 기판이 반출되는 반출구를 측벽부에 갖고 상기 반입구로부터 반입된 기판을 대략 수평 상태로 수용하는 챔버와 상기 챔버의 상기 반입구 및 반출구를 개폐하는 게이트 부재와 상기 게이트 부재에 의해 상기 반입구 및 반출구가 폐색된 상태로 상기 챔버내를 감압하는 감압 기구와 기판을 대략 수평으로 반송하고 상기 반입구로부터 상기 챔버내에 반입함과 동시에 상기 감압 기구에 의한 감압 건조 처리 후에 대략 수평으로 반송해 상기 반출구로부터 상기 챔버외에 반출하는 반송 기구와 상기 챔버내에서 기판을 국부적으로 지지하는 경우 없이 균등하게 지지 가능한 기판 지지 부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 감압 건조 장치를 제공한다. 또한 반입구 및 반출구는 동일한 경우도 포함된다.

본 발명에 있어서 상기 반송 기구는 상기 챔버내에서 기판을 반송하는 내측 반송부와 상기 챔버외에서 기판을 상기 반입구로부터 반입해 상기 내측 반송부에 반송하는 반입측 반송부와 상기 챔버외에서 상기 내측 반송부로부터 반송된 기판을 상기 반출구로부터 반출하는 반출측 반송부를 구비하고 상기 내측 반송부는 기판의 반송 방향으로 회전 가능하게 복수 설치된 풀리부재와 이들 풀리 부재에 걸쳐진 벨트를 갖고 상기 풀리부재의 회전에 수반하는 상기 벨트의 작동에 의해 기판을 벨트 반송하고 상기 벨트는 기판을 지지한 상태로 정지해 상기 기판 지지 부재로서 기능하는 것이 바람직하다. 이 경우에 작동중의 상기 벨트를 클리닝 하는 클리닝 기구를 더 구비하는 것이 바람직하다.

혹은 본 발명에 있어서 상기 반송 기구는 상기 챔버내에서 기판을 반송하는 내측 반송부와 상기 챔버외에서 기판을 상기 반입구로부터 반입해 상기 내측 반송부에 반송하는 반입측 반송부와 상기 챔버외에서 상기 내측 반송부로부터 반송된 기판을 상기 반출구로부터 반출하는 반출측 반송부를 구비하고 상기 내측 반송부는 기판의 반송 방향으로 회전 가능하게 복수 설치된 내측 롤러 부재를 갖고 이들의 내측 롤러 부재의 회전에 의해 기판을 롤러 반송하고 복수의 상기 내측 롤러 부재는 그 일부 또는 전부가 정역 교대로 회전해 기판을 요동시켜 균등하게 지지하는 상기 기판 지지 부재로서 기능하는 것이 바람직하다. 이 경우에 상기 내측 롤러 부재는 기판의 대략 전폭에 걸쳐서 접하도록 형성되고 있는 것이 바람직하고 또는 상기 내측 롤러 부재는 기판에 대해서 폭방향으로 간격을 열어 복수 위치에서 접하도록 형성되고 또한 서로 이웃이 되는 내측 롤러 부재끼리로 기판에 접하는 폭방향 위치가 다르도록 구성되고 있는 것이 바람직하다.

또한 이 경우에 상기 반입측 반송부는 기판의 반송 방향으로 회전 가능하게 복수 설치된 외측 롤러 부재를 갖고 이들의 외측 롤러 부재의 회전에 의해 기판을 적어도 상기 반입구로부터 반입해 상기 내측 반송부에 도달시킬 때까지 롤러 반송하고,

상기 내측 반송부는 상기 반입측 반송부에 의해 도달한 기판을 상기 챔버내에 완전하게 수용될 때까지 반송하는 것이 바람직하고 상기 반입측 반송부는 기판에 상기 도포액을 도포하는 도포 장치에 근접하도록 설치되고 있어 상기 도포 장치로부터 대략 수평으로 반송되어 도달한 기판을 상기 외측 롤러 부재의 회전에 의해 수취하여 롤러 반송하는 것이 바람직하다.

또한 이 경우에 상기 내측 반송부는 상기 챔버내에 수용된 기판을 적어도 상기 반출구를 통과시켜 상기 반입측 반송부에 도달시킬 때까지 반송해 상기 반출측 반송부는 기판의 반송 방향으로 회전 가능하게 복수 설치된 외측 롤러 부재를 갖고 상기 내측 반송부에 의해 도달한 기판을 상기 외측 롤러 부재의 회전에 의해 적어도 상기 반출구로부터 반출해 상기 챔버외에 완전하게 노출시킬 때까지 롤러 반송하는 것이 바람직하다.

또 본 발명에 있어서 상기 게이트 부재는 상기 챔버의 상기 측벽부를 따라 이동하여 상기 반입구 및 반출구를 개폐하는 것이 바람직하다.

본 발명에 의하면 챔버의 측벽부에 반입구 및 반출구를 설치해 반송 기구에 의해 기판을 대략 수평에 이동시켜 반입구 및 반출구로부터의 반입출을 실시하도록 구성했으므로 반입구 및 반출구의 높이를 기판의 두께보다 약간 큰 정도로 매우 작게 설정할 수가 있다. 이 때문에 종래의 감압 건조 장치에 있어서 챔버를 개폐하는 역할을 완수하는 위에 챔버와 비교해 챔버의 반입구 및 반출구를 개폐하는 게이트 부재를 큰폭으로 경량화할 수 있다. 또한 전술과 같이 기판을 대략 수평으로 반송해 종래의 감압 건조 장치에 설치된 재치대와 같이 기판의 반송 기구를 승강시킬 필요가 없다. 따라서 기판이 대형화해도 장치의 안전성을 충분히 확보할 수 있는 것과 동시에 게이트 부재의 개폐 동작 및 반송 기구의 반송 동작에 의한 진동을 억제하는 것이 가능해진다. 게다가 기판 지지 부재가 챔버내에서 기판을 균등하게 지지하기 위해 기판의 크기에 관련되지 않고 기판에 도포된 도포액에 생기는 전사를 확실히 방지하는 것이 가능해진다.

도 1은 LCD 기판으로의 레지스트막의 형성 및 노광 처리 후의 레지스트막의 현상 처리를 실시하는 레지스트 도포·현상 처리 시스템의 개략 평면도이다.
도 2는 레지스트 도포 유니트를 나타내는 평면도이다.
도3은 레지스트 도포 유니트의 구성요소인 본 발명과 관련되는 감압 건조 장치를 나타내는 평면도이다.
도 4는 감압 건조 장치를 나타내는 정면도이다.
도 5는 감압 건조 장치를 구성하는 내측 반송부의 주요부를 나타내는 도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시 형태와 관련되는 감압 건조 장치를 나타내는 평면도이다.
도 7은 다른 실시 형태와 관련되는 감압 건조 장치를 나타내는 정면도이다.

이하 첨부 도면을 참조해 본 발명의 실시 형태에 대해서 구체적으로 설명한다.

도 1은 LCD 기판으로의 레지스트막의 형성 및 노광 처리 후의 레지스트막의 현상 처리를 실시하는 레지스트 도포·현상 처리 시스템의 개략 평면도이다.

레지스트 도포·현상 처리 시스템 (100)은 복수의 LCD 기판 (G)를 수용하기 위한 카셋트 (C)가 재치되는 카셋트 스테이션 (1)과 LCD 기판 (G)에 레지스트 도포 및 현상을 포함한 일련의 처리를 가하는 처리 스테이션 (2)와 노광 장치 (4)의 사이에 LCD 기판 (G)의 수수를 실시하는 인터페이스 스테이션 (3)을 구비하고 카셋트 스테이션 (1)과 인터페이스 스테이션 (3)은 각각 처리 스테이션 (2)의 양측으로 배치되고 있다. 또한 도 1에 있어서 레지스트 도포·현상 처리 시스템 (100)의 긴 방향을 X방향· 평면상에 있어서 X방향과 직교하는 방향을 Y방향으로 한다.

카셋트 스테이션 (1)은 카셋트 (C)를 Y방향으로 병렬에 재치 가능한 재치대 (9)와 처리 스테이션(2)과의 사이에 LCD 기판 (G)의 반입출을 실시하는 반송 장치 (11)을 구비하고 재치대 (9)와 외부의 사이에 카셋트 (C)의 반송을 한다. 반송 장치 (11)에 설치된 반송 아암 (11a)는 카셋트 (C)의 배열 방향인 Y방향을 따라 설치된 반송로 (10)상을 이동 가능하고 카셋트 (C)와 처리 스테이션 (2)의 사이에 LCD 기판 (G)의 반입출을 실시하는 것이다.

처리 스테이션 (2)는 기본적으로 X방향으로 신장하는 LCD 기판 (G)반송용의 평행한 2열의 반송 라인 (A, B)를 가지고 있다. 반송 라인 (A)상에는 카셋트 스테이션 (1)측으로부터 인터페이스 스테이션 (3)으로 향해 스크러브 세정 유니트(SCR, 21); 제1의 열적 처리 유니트 섹션 (26); 레지스트 도포 유니트 (23); 제2의 열적 처리 유니트 섹션 (27)이 순서로 배열되고 있다.

반송 라인 (B)상에는 인터페이스 스테이션 (3)측으로부터 카셋트 스테이션 (1)으로 향해 제2의 열적 처리 유니트 섹션 (27); 현상 유니트(DEV, 24); i선 UV조사 유니트(i-UV, 25) ; 제3의 열적 처리 유니트 섹션 (28)이 순서로 배열되고 있다. 스크러브 세정 유니트 (21) 위의 일부에는 엑시머 UV조사 유니트(e-UV, 22)가 설치되고 있다. 또한 엑시머 UV조사 유니트 (22)는 스크러버 세정에 앞서 LCD 기판 (G)의 유기물을 제거하기 위해서 설치되고 i선 UV조사 유니트 (25)는 현상의 탈색 처리를 실시하기 위해서 설치되고 있다.

스크러브 세정 유니트 (21)에서는 LCD 기판 (G)가 대략 수평 자세로 반송되면서 세정 처리 및 건조 처리를 한다. 현상 유니트 (24)에서는 LCD 기판 (G)가 대략 수평 자세로 반송되면서 현상액 도포, 린스, 건조 처리가 순서대로 행해진다. 이들 스크러브 세정 유니트 (21) 및 현상 유니트 (24)에서는 LCD 기판 (G)의 반송이 예를 들면 롤러 반송 또는 벨트 반송에 의해 행해지고 LCD 기판 (G)의 반입구 및 반출구는 서로 대향 하는 단변에 설치되고 있다. 또 i선 UV조사 유니트 (25)로의 LCD 기판 (G)의 반송은 현상 유니트 (24)의 반송 기구와 같은 기구에 의해 연속해 행해진다.

레지스트 도포 유니트 (23)은 후에 상세하게 설명하는바와 같이 LCD 기판 (G)를 대략 수평 자세로 반송하면서 레지스트액을 공급해 도포막을 형성하는 레지스트 도포 장치(CT, 23a)와 감압 환경으로 LCD 기판 (G)를 쬐는 것으로 LCD 기판 (G)상에 형성된 도포막에 포함되는 휘발 성분을 증발시켜 도포막을 건조시키는 감압 건조 장치(VD, 23b)를 구비하고 있다.

제1의 열적 처리 유니트 섹션 (26)은 LCD 기판 (G)에 열적 처리를 가하는 열적 처리 유니트가 적층해 구성된 2개의 열적 처리 유니트 블럭(TB; 31, 32)를 가지고 있고 열적 처리 유니트 블럭 (31)은 스크러브 세정 유니트 (21) 측에 설치되고 열적 처리 유니트 블럭 (32)는 레지스트 도포 유니트 (23) 측에 설치되고 있다. 이들 2개의 열적 처리 유니트 블럭 (31) (32)의 사이에 제1의 반송 장치 (33)이 설치되고 있다.

열적 처리 유니트 블럭 (31)은 아래로부터 차례로 LCD 기판 (G)의 수수를 실시하는 패스 유니트; LCD 기판 (G)에 대해서 탈수 베이크 처리를 실시하는 2개의 탈수 베이크 유니트; LCD 기판 (G)에 대해서 소수화 처리를 가하는 애드히젼 유니트가 적층된 구성을 가지고 있다. 또 열적 처리 유니트 블럭 (32)는 아래로부터 차례로 LCD 기판 (G)의 수수를 실시하는 패스 유니트 ;LCD 기판 (G)를 냉각하는 2개의 쿨링 유니트; LCD 기판 (G)에 대해서 소수화 처리를 가하는 애드히젼 유니트가 적층된 구성을 가지고 있다.

제1의 반송 장치 (33)은 패스 유니트를 통한 스크러브 세정 유니트 (21)으로부터의 LCD 기판 (G)의 수취; 상기 열적 처리 유니트간의 LCD 기판 (G)의 반입출 및 패스 유니트를 통한 레지스트 도포 유니트 (23)으로의 LCD 기판 (G)의 수수를 실시한다.

제1의 반송 장치 (33)은 상하동·전후동·선회동 가능하고 열적 처리 유니트 블럭(31, 32)의 어느 유니트에도 액세스 가능하다.

제2의 열적 처리 유니트 섹션 (27)은 LCD 기판 (G)에 열적 처리를 가하는 열적 처리 유니트가 적층해 구성된 2개의 열적 처리 유니트 블럭(TB; 34, 35)를 가지고 있고 열적 처리 유니트 블럭 (34)는 레지스트 도포 유니트 (23) 측에 설치되고 열적 처리 유니트 블럭 (35)는 현상 유니트 (24) 측에 설치되고 있다. 그리고 이들 2개의 열적 처리 유니트 블럭 (34)(35)의 사이에 제2의 반송 장치 (36)이 설치되고 있다.

열적 처리 유니트 블럭 (34)는 아래로부터 차례로 LCD 기판 (G)의 수수를 실시하는 패스 유니트 ; LCD 기판 (G)에 대해서 프리베이크 처리를 실시하는 3개의 프리베이크 유니트가 적층된 구성으로 되고 있다. 또 열적 처리 유니트 블럭 (35)는 아래로부터 차례로 LCD 기판 (G)의 수수를 실시하는 패스 유니트 ; LCD 기판 (G)를 냉각하는 쿨링 유니트; LCD 기판 (G)에 대해서 프리베이크 처리를 실시하는 2개의 프리베이크 유니트가 적층된 구성으로 되어 있다.

제2의 반송 장치 (36)은 패스 유니트를 통한 레지스트 도포 유니트 (23)으로부터의 LCD 기판 (G)의 수취 ;상기 열적 처리 유니트간의 LCD 기판 (G)의 반입출; 패스 유니트를 통한 현상 유니트 (24)로의 LCD 기판 (G)의 수수 및 후술하는 인터페이스 스테이션 (3)의 기판 수수부인 익스텐션·쿨링 스테이지(EXT·COL, 44)에 대한 LCD 기판 (G)의 수수 및 수취를 실시한다. 또한 제2의 반송 장치 (36)은 제1의 반송 장치 (33)과 같은 구조를 가지고 있고 열적 처리 유니트 블럭 (34)(35)중 어느 유니트에도 액세스 가능하다.

제3의 열적 처리 유니트 섹션 (28)은 LCD 기판 (G)에 열적 처리를 가하는 열적 처리 유니트가 적층해 구성된 2개의 열적 처리 유니트 블럭 (TB;37,38)을 가지고 있고 열적 처리 유니트 블럭 (37)은 현상 유니트 (24) 측에 설치되고 열적 처리 유니트 블럭 (38)은 카셋트 스테이션 (1) 측에 설치되고 있다. 그리고 이들 2개의 열적 처리 유니트 블럭 (37)(38)의 사이에 제3의 반송 장치 (39)가 설치되고 있다.

열적 처리 유니트 블럭 (37)은 아래로부터 차례로 LCD 기판 (G)의 수수를 실시하는 패스 유니트 ; LCD 기판 (G)에 대해서 포스트베이크 처리를 실시하는 3개의 포스트베이크 유니트가 적층된 구성을 가지고 있다. 또 열적 처리 유니트 블럭 (38)은 아래로부터 순서로 LCD 기판 (G)에 대해서 포스트베이크 처리를 실시하는 포스트베이크 유니트; LCD 기판 (G)의 수수 및 냉각을 실시하는 패스·쿨링 유니트, 또한 2개의 포스트베이크 유니트가 적층된 구성을 가지고 있다.

제3의 반송 장치 (39)는 패스 유니트를 통한 i선 UV조사 유니트 (25)로부터의 LCD 기판 (G)의 수취 ;상기 열적 처리 유니트간의 LCD 기판 (G)의 반입출 ;패스·쿨링 유니트를 통한 카셋트 스테이션 (1)로의 LCD 기판 (G)의 수수를 실시한다. 또한 제3의 반송 장치 (39)도 제1의 반송 장치 (33)과 같은 구조를 가지고 있고 열적 처리 유니트 블럭 (37)(38)의 어느 유니트에도 액세스 가능하다.

처리 스테이션 (2)에서는 이상과 같이 2열의 반송 라인 (A, B)를 구성하도록또한 기본적으로 처리의 순서가 되도록 각 처리 유니트 및 반송 장치가 배치되고 있다. 반송 라인 (A, B)간에는 공간 (40)이 설치되고 이 공간 (40)에는 셔틀 (41)이 왕복 이동 가능하게 설치되고 있다. 셔틀 (41)은 LCD 기판 (G)를 보유 지지 가능하게 구성되고 반송 라인 (A, B)간에 LCD 기판 (G)의 수수를 실시한다. 셔틀 (41)에 대한 LCD 기판 (G)의 수수는 제1로부터 제3의 반송 장치 (33,36,39)에 의해 행해진다.

인터페이스 스테이션 (3)은 처리 스테이션 (2)와 노광 장치 (4)의 사이에 LCD 기판 (G)의 반입출을 실시하는 반송 장치 (42)와 버퍼 카셋트를 배치하는 버퍼 스테이지(BUF, 43)과 냉각 기능을 갖춘 기판 수수부인 익스텐션·쿨링 스테이지 (44)를 가지고 있고 타이틀러(TITLER)와 주변 노광 장치(EE)가 상하에 적층된 외부 장치 블럭 (45)가 반송 장치 (42)에 인접해 설치되고 있다. 반송 장치 (42)는 반송 아암 (42a)를 구비하고 이 반송 아암 (42a)에 의해 처리 스테이션 (2)와 노광 장치 (4)의 사이에 LCD 기판 (G)의 반입출을 한다.

이와 같이 구성된 레지스트 도포·현상 처리 시스템 (100)에서는 우선 카셋트 스테이션 (1)의 재치대 (9)에 배치된 카셋트 (C)내의 LCD 기판 (G)가 반송 장치 (11)에 의해 처리 스테이션 (2)의 엑시머 UV조사 유니트 (22)에 직접 반입되어 스크러브 사전 처리를 한다. 다음에 LCD 기판 (G)가 반송 장치 (11)에 의해 스크러브 세정 유니트 (21)에 반입되어 스크러브 세정된다. 스크러브 세정 처리 후 LCD 기판 (G)는 예를 들면 롤러 반송에 의해 제1의 열적 처리 유니트 섹션 (26)에 속하는 열적 처리 유니트 블럭 (31)의 패스 유니트에 반출된다.

열적 처리 유니트 블럭 (31)의 패스 유니트에 배치된 LCD 기판 (G)는 우선 열적 처리 유니트 블럭 (31)의 탈수 베이크 유니트에 반송되어 가열 처리된다. 다음에 LCD 기판 (G)는 열적 처리 유니트 블럭 (32)의 쿨링 유니트에 반송되어 냉각된 후 레지스트의 정착성을 높이기 위해서 열적 처리 유니트 블럭 (31)의 애드히젼유니트 및 열적 처리 유니트 블럭 (32)의 애드히젼 유니트의 어느 한쪽에 반송되어 거기서 HMDS에 의해 소수화 처리된다. 그 후 LCD 기판 (G)는 쿨링 유니트에 반송되어 냉각되고 또한 열적 처리 유니트 블럭 (32)의 패스 유니트에 반송된다. 이러한 일련의 처리를 실시할 때의 LCD 기판 (G)의 반송 처리는 모두 제1의 반송 장치 (33)에 의해 행해진다.

열적 처리 유니트 블럭 (32)의 패스 유니트에 배치된 LCD 기판 (G)는 이 패스 유니트에 설치된, 예를 들면 롤러 반송 기구등의 기판 반송 기구에 의해 레지스트 도포 유니트 (23)내에 반입된다. 후에 상세하게 설명하는 바와 같이 레지스트 도포 장치 (23a)에 있어서는 LCD 기판 (G)를 수평 자세로 반송하면서 레지스트액을 공급해 도포막을 형성하고 그 후 감압 건조 장치 (23b)에서 도포막에 감압 건조 처리가 실시된다. 그 후 후술 하는 반송 기구 (7)의 반출측 반송부 (7c) 또 감압 건조 장치(VD, 23b)에 설치된 기판 반송 아암등에 의해 LCD 기판 (G)는 레지스트 도포 유니트 (23)으로부터 제2의 열적 처리 유니트 섹션 (27)에 속하는 열적 처리 유니트 블럭 (34)의 패스 유니트에 반송되어 수수된다.

열적 처리 유니트 블럭 (34)의 패스 유니트에 배치된 LCD 기판 (G)는 제2의 반송 장치 (36)에 의해 열적 처리 유니트 블럭 (34)의 프리베이크 유니트 및 열적 처리 유니트 블럭 (35)의 프리베이크 유니트의 어느 한쪽에 반송되어 프리베이크 처리되어 열적 처리 유니트 블럭 (35)의 쿨링 유니트에 반송되어 소정 온도에 냉각된다. 그리고 LCD 기판 (G)는 제2의 반송 장치 (36)에 의해 열적 처리 유니트 블럭 (35)의 패스 유니트에 반송된다.

그 후 LCD 기판 (G)는 제2의 반송 장치 (36)에 의해 인터페이스 스테이션 (3)의 익스텐션·쿨링 스테이지 (44)에 반송되어 필요에 따라서 인터페이스 스테이션 (3)의 반송 장치 (42)에 의해 외부 장치 블럭 (45)의 주변 노광 장치(EE)에 반송되어 레지스트막의 외주부(불요 부분)를 제거하기 위한 노광 처리가 실시된다. 그 다음에 LCD 기판 (G)는 반송 장치 (42)에 의해 노광 장치 (4)에 반송되어 LCD 기판 (G)상의 레지스트막에 소정 패턴으로 노광 처리가 실시된다. 또한 LCD 기판 (G)는 일시적으로 버퍼 스테이지 (43)상의 버퍼 카셋트에 수용되어 그 후에 노광 장치 (4)에 반송되는 경우가 있다.

노광 종료후 LCD 기판 (G)는 인터페이스 스테이션 (3)의 반송 장치 (42)에 의해 외부 장치 블럭 (45)의 상단의 타이틀러(TITLER)에 반입되어 LCD 기판 (G)에 소정의 정보가 기록된 후 익스텐션·쿨링 스테이지 (44)에 재치된다. 그리고 LCD 기판 (G)는 제2의 반송 장치 (36)에 의해 익스텐션·쿨링 스테이지 (44)로부터 제2의 열적 처리 유니트 섹션 (27)에 속하는 열적 처리 유니트 블럭 (35)의 패스 유니트로 반송된다.

열적 처리 유니트 블럭 (35)의 패스 유니트에 반송된 LCD 기판 (G)는 이 패스 유니트로부터 현상 유니트 (24)까지 연장되고 있는 반송 기구 예를 들면 롤러 반송에 의해 현상 유니트 (24)에 반입된다. 현상 유니트 (24)에서는 예를 들면 수평 자세로 반송중의 LCD 기판 (G)의 표면상에 현상액을 액활성해 반송을 일단 정지한 LCD 기판을 소정 각도 기울여 표면상의 현상액을 흘려 떨어뜨려 이 상태로 표면상에 린스액을 공급해 현상액을 씻어 흘린다. 그 후 LCD 기판 (G)를 수평 자세로 되돌려 다시 반송을 개시해 건조용 질소 가스 또는 공기를 LCD 기판 (G)에 분사하는 것에 따라 LCD 기판을 건조시킨다.

현상 처리 종료후 LCD 기판 (G)는 현상 유니트 (24)로부터 연속하는 반송 기구 예를 들면 롤러 반송에 의해 i선 UV조사 유니트 (25)에 반송되어 탈색 처리가 실시된다. 그 후 LCD 기판 (G)는 i선 UV조사 유니트 (25)내의 롤러 반송 기구에 의해 제3의 열적 처리 유니트 섹션 (28)에 속하는 열적 처리 유니트 블럭 (37)의 패스 유니트에 반출된다.

열적 처리 유니트 블럭 (37)의 패스 유니트에 배치된 LCD 기판 (G)는 제3의 반송 장치 (39)에 의해 열적 처리 유니트 블럭 (37)의 포스트베이크 유니트 및 열적 처리 유니트 블럭 (38)의 포스트베이크 유니트의 어느 한쪽에 반송되어 포스트베이크 처리되어 그 후 열적 처리 유니트 블럭 (38)의 패스·쿨링 유니트에 반송되어 소정 온도로 냉각된 후 카셋트 스테이션 (1)의 반송 장치 (11)에 의해 카셋트 스테이션 (1)에 배치되고 있는 소정의 카셋트 (C)에 수용된다.

다음에 레지스트 도포 유니트 (23)에 대해서 상세하게 설명한다. 도 2는 레지스트 도포 유니트 (23)을 나타내는 평면도이고, 도3은 레지스트 도포 유니트 (23)의 구성요소인 본 발명과 관련되는 감압 건조 장치 (23b)를 나타내는 평면도이고, 도 4는 그 정면도이다.

도 2에 나타나는 바와 같이 레지스트 도포 장치 (23a)는 LCD 기판 (G)를 지지하기 위한 스테이지 (12)와 스테이지 (12)상에서 LCD 기판 (G)를 X방향으로 반송하는 기판 반송 기구 (13)과 스테이지 (12)상을 반송하는 LCD 기판 (G)의 표면에 레지스트액을 공급하는 레지스트 노즐 (14)와 레지스트 노즐 (14)를 세정등 하기 위한 노즐 세정 유니트 (15)를 구비하고 있다.

스테이지 (12)에는 소정의 가스를 윗쪽으로 향해 분사하기 위한 다수의 가스 분사구 (16)이 설치되고 가스 분사구 (16)으로부터 분사되는 가스에 의해 LCD 기판 (G)가 스테이지 (12)의 표면으로부터 일정한 높이로 부상하도록 구성되고 있다.

기판 반송 기구 (13)은 스테이지 (12)를 사이에 두어 X방향으로 연재하도록배치된 가이드 (52a, 52b)와 가이드 (52a, 52b)를 따라 왕복 이동 가능한 슬라이더 (50)과 이 슬라이더 (50)에 설치되고 LCD 기판 (G)의 일부를 보유 지지하는 흡착 배트등의 기판 보유 지지 부재(도시하지 않음)를 구비하고 있다. 기판 반송 기구 (13)은 가스 분사구 (16)으로부터 분사되는 가스에 의해 부상한 LCD 기판 (G)를 기판 보유 지지 부재에 의해 보유 지지한 상태로 슬라이더 (50)이 가이드 (52a, 52b)를 따라 이동함으로써 X방향으로 반송 가능하게 구성되고 기판 보유 지지 부재는 LCD 기판 (G)의 보유 지지 및 보유 지지의 해제를 제어 가능하게 구성되고 있다.

레지스트 노즐 (14)는 스테이지 (12)의 윗쪽에 배치되고 아래쪽으로 향해 Y방향으로 긴 대략 띠형상으로 레지스트액을 토출하는 것이다. 레지스트 노즐 (14)는 이 레지스트 노즐 (14)를 보유 지지하는 지주 부재 (54)와 함께 X방향으로 이동 가능하고 또한 상하로 승강 가능하게 구성되고 LCD 기판 (G)에 레지스트액을 공급하는 위치와 노즐 세정 유니트 (15)에 있어서 세정 처리 등이 되는 각 위치의 사이에 이동할 수가 있게 되어 있다.

노즐 세정 유니트 (15)는 지주 부재 (55)에 보유 지지되어 스테이지 (12)의 윗쪽에 배치되고 있다. 노즐 세정 유니트 (15)는 LCD 기판 (G)로의 레지스트액 공급전에 예비적으로 레지스트 노즐 (14)로부터 레지스트액을 토출시키는 더미 디스펜스부 (57)과 레지스트 노즐 (14)의 레지스트 토출구가 건조하지 않게 레지스트 토출구를 용제의 증기 환경으로 보유 지지하기 위한 노즐 배스(58)와 레지스트 노즐 (14)의 레지스트 토출구 근방에 부착한 레지스트를 제거하기 위한 노즐 세척기구 (59)를 구비하고 있다.

도 3, 4에 나타나는 바와 같이 감압 건조 장치 (23b)는 LCD 기판 (G)를 수용 가능한 챔버 (6)과 LCD 기판 (G)의 챔버 (6)내로의 반입 및 LCD 기판 (G)의 챔버 (6)외로의 반출을 실시하는 반송 기구 (7)을 구비하고 있다.

챔버 (6)은 박형의 박스 형상으로 형성되어 CD기판 (G)를 대략 수평 상태로 수용 가능하고 X방향으로 대향하는 측면부에 각각 LCD 기판 (G)가 통과 가능한 Y방향으로 신장하는 슬릿 형상 또는 직사각형 형상의 반입구 (61) ·반출구 (62)를 가지고 있다. 또 챔버 (6)의 X방향으로 대향하는 측면부에는 각각 반입구 (61) ·반출구 (62)를 개폐하는 게이트 부재 ((63, 64))가 설치되고 있다. 게이트 부재 ((63, 64))는 각각 반입구 (61) 및 반출구 (62)에 대응해 Y방향으로 연장하는 띠형상 또는 직사각형 형상을 갖고 챔버 (6)의 측면부를 따라 이동, 예를 들면 승강함으로써 반입구 (61) 및 반출구 (62)를 개폐한다(도 4의 가상선 참조). 이러한 띠형상의 게이트 부재 (63, 64)를 반입구 (61) 및 반출구 (62)를 가지는 챔버 (6)의 측면부를 따라 승강시키면 챔버 (6)의 개폐 동작에 필요한 스페이스를 작게 억제할 수가 있으므로 종래의 상하 챔버를 가지는 감압 건조 장치와 비교해 장치 자체의 실질적인 공간절약화를 꾀할 수가 있다. 또한 챔버 (6)의 상면부 (69)는 메인터넌스용으로 분리 가능하게 설치되고 있다.

챔버 (6)의 저면부에는 이 챔버 (6)내와 연통하는 배기관 (66)이 예를 들면 소정의 간격을 갖고 복수 설치되고 배기관 (66)은 배기 장치 (67)에 접속되고 있다. 그리고 게이트 부재 (63, 64)에 의해 반입구 (61) 및 반출구 (62)를 폐색해 챔버 (6)내를 밀봉한 상태로 배기 장치 (67)을 작동시키는 것으로 챔버 (1)내를 소정값으로 감압하는 것이 가능하게 되어 있다. 배기관 (66) 및 배기 장치 (67)은 챔버 (6)내를 감압해 챔버 (6)내에 수용된 LCD 기판 (G)의 레지스트액을 건조시키기 위한 감압 기구를 구성하고 있다.

반송 기구 (7)은 LCD 기판 (G)를 대략 수평으로 반송해 반입구 (61)로부터 챔버 (6)내에 반입해 반출구 (62)로부터 챔버 (6)외에 반출하는 것이다. 반송 기구 (7)은 챔버 (6)내에서 LCD 기판 (G)를 반송하는 내측 반송부 (7a)와 챔버 (6)외에서 LCD 기판 (G)를 반입구 (61)로부터 반입해 내측 반송부 (7a)에 반송하는 반입측 반송부 (7b)와 챔버 (6)외에서 내측 반송부 (7a)로부터 반송된 LCD 기판 (G)를 반출구 (62)로부터 반출하는 반출측 반송부 (7c)를 구비하고 있다.

내측 반송부 (7a)는 챔버 (6)내에 X방향으로 대략 수평으로 간격을 열어 복수, 여기에서는 반입구 (61)측 단부 및 반출구 (62)측 단부에 각각 설치된 대략 원주 형상의 풀리부재 (70a, 70b)와 이들의 풀리부재 (70a, 70b)에 걸쳐진 벨트 (71)을 가지고 있다. 풀리 부재 (70a, 70b)는 각각 Y방향으로 연장하도록 형성되고 벨트 (71)의 상면이 반입구 (61) 및 반출구 (62)의 높이 범위내에 위치하도록 챔버 (6)의 예를 들면 Y방향으로 대향하는 측면부에 회전 가능하게 지지를 받고 있다. 풀리부재 (70a, 70b) 가운데의 적어도 어느 한쪽, 예를 들면 풀리 부재 (70b)는 회전축이 모터 등의 구동원 (72)에 접속되어 구동원 (72)를 구동시키는 것으로 풀리 부재 (70b)가 구동 회전해 벨트 (71)이 작동함과 동시에 풀리 부재 (70a)가 종동 회전하고 벨트 (71)상에 재치된 LCD 기판 (G)가 X방향으로 반송된다. 또한 여기에서는 구동원 (72)를 챔버 (6)의 Y방향 측면부의 외측에 설치해 두고 회전축과 챔버 (6)의 Y방향 측면부와의 틈새를 씰 부재 (80)에 의해 풀리 부재 (70b)의 회전을 저해하지 않게 밀봉하고 있다.

벨트 (71)은 우레탄계 재료 또는 테플론(등록상표)계 재료에 의해 무단 형상으로 형성되어 LCD 기판 (G)의 Y방향의 폭과 대충 같은 폭을 가지고 있다. 이것에 의해 벨트 (71)은 LCD 기판 (G)가 재치되었을 때에 LCD 기판 (G)의 Y방향의 대략 전체폭에 걸쳐서 접하도록 구성되어 있다. 또 풀리부재 (70a, 70b)간의 간격은 LCD 기판 (G)의 X방향 길이보다 크게 설정되어 이것에 의해 벨트 (71)은 감압 기구에 의한 감압 건조 처리시에 LCD 기판 (G)의 이면을 대략 전면에 걸쳐서 접하도록 구성되어 있다.

풀리 부재 (70a, 70b)는 각각 Y방향 양단부에 지름 방향 외측으로 돌출하는 대직경부 (73)을 갖고 벨트 (71)은 풀리부재 (70a, 70b)의 대직경부 (73, 73)간에 배치되어 Y방향으로 위치 결정되고 있다. 이것에 의해 벨트 (71)의 작동중의 사행이 방지된다.

챔버 (6)내에는 풀리부재 (70a, 70b)보다 또한 반입구 (61) 및 반출구 (62) 측에 각각 대략 원주 형상의 안내용 롤러 부재 (74a, 74b)가 설치되어 안내용 롤러 부재 (74a, 74b)는 상단이 벨트 (71)의 상면과 대략 동일 높이 혹은 벨트 (71)의 상면보다 약간 높은 높이가 되도록 챔버 (6)의 예를 들면 Y방향으로 대향하는 측면부에 회전 가능하게 지지를 받고 있다. 안내용 롤러 부재 (74a)는 후술하는 반입측 반송부 (7b)상의 LCD 기판 (G)를 벨트 (71)상에 확실히 안내하기 위한 것이고 안내용 롤러 부재 (74b)는 벨트 (71)상의 LCD 기판 (G)를 후술하는 반출측 반송부 (7c)상에 확실히 안내하기 위한 것이다.

벨트 (71)내의 공극에는 이 공극을 묻는 충전 부재 (65)가 벨트 (71)에 접촉하지 않게, 예를 들면 Y방향으로 대향하는 측면부에 장착하여 설치되고 있다. 이것에 의해 챔버 (6)내의 용적이 작아지고 감압 기구에 의해 챔버 (6)내를 신속히 감압할 수 있다.

또한 LCD 기판 (G)가 대형의 경우 혹은 풀리부재 (70a, 70b)간의 간격이 큰 경우에는 풀리 부재 (70a, 70b)간에 Y방향으로 늘어나는 벨트 (71)의 휨방지를 위한 보조용 롤러 부재 (75)를 1개 또는 복수 설치해 벨트 (71)을 지지하는 것이 바람직하다. 또 풀리 부재 (70a, 70b)에 작용하는 벨트 (71)의 장력이 큰 경우에는 도 5에 나타나는 바와 같이(도 5는 감압 건조 장치를 구성하는 내측 반송부의 주요부를 나타내는 도) 풀리 부재 (70a)의 X방향 전측부 및 풀리 부재 (70b)의 X방향 후측부에 각각 접하는 접점 부재 (81)을 설치해 두고 풀리부재 (70a, 70b)의 변형을 방지하는 것이 바람직하다. 접점 부재 (81)은 예를 들면 풀리 부재 (70a, 70b)의 회전을 저해하지 않게 롤러 기구를 갖고 구성되어 챔버 (6)내의 Y방향으로 대향하는 측면부에 장착된다.

반입측 반송부 (7b) 및 반출측 반송부 (7c)는 각각 반입구 (61) 및 반출구 (62)를 가지는 측면부를 사이에 두고 내측 반송부 (7a)와 대향하도록 챔버 (6)외에 설치되고 있고 X방향으로 대략 수평으로 간격을 두고 복수, 예를 들면 2개씩 설치된 대략 원주 형상의 외측 롤러 부재 (76a, 76b)를 가지고 있다. 외측 롤러 부재 (76a, 76b)는 각각 상단이 벨트 (71)의 상면과 대략 동일 높이가 되도록 또한 레지스트 도포 장치 (23a)의 슬라이더 (50)에 의해 반송되어 온 LCD 기판 (G)의 이면과 대략 동일 높이가 되도록 지지 부재(도시하지 않음)에 의해 회전 가능하게 지지를 받고 있다. 여기에서는 외측 롤러 부재 (76a, 76b) 가운데의 어느 한쪽 또는 쌍방은 회전축이 모터 등의 구동원(도시하지 않음)에 접속되어 구동원을 구동시키는 것에 의해 회전해 LCD 기판 (G)가 X방향으로 반송되도록 구성되고 있다. 이것에 의해 액츄에이터형이나 로보트형 등의 복잡한 반송 기구를 필요로 하는 경우 없이 LCD 기판 (G)를 레지스트 도포 장치 (23a)로부터 수취할 수가 있다. 본 실시 형태의 레지스트 도포 장치 (23a)와 같이 레지스트 도포 장치가 LCD 기판 (G)를 대략 수평 또한 직선 형상으로 이동시키는 소위 평류식의 경우에 특히 유효하다.

외측 롤러 부재 (76a, 76b)는 각각 소지름의 회전축 (77)과 이 회전축 (77)에 Y방향으로 간격을 열어 복수 설치된 대직경의 접점부 (78)을 갖고 LCD 기판 (G)가 통과했을 때에 접점부 (78)이 LCD 기판 (G)에 접해 이 LCD 기판 (G)를 지지하도록 형성되고 있다. 또한 서로 이웃이 되는 외측 롤러 부재 (76a)와 외측 롤러 부재 (76b)와는 접점부 (78)의 Y방향 위치가 다르도록 구성되어 이것에 의해 LCD 기판 (G)가 접점부 (78)에 접하는 것에 의한 레지스트막으로의 영향이 분산되어 접점부 (78)의 자취가 레지스트막에 전사되어 버린다는 것이 방지된다. 또 안내용 롤러 부재 (74a, 74b)나 외측 롤러 부재 (76a)와 동일하게, 소지름의 회전축과 이 회전축에 Y방향으로 간격을 열어 복수 설치된 대직경의 접점부를 갖고 안내용 롤러 부재 (74a, 74b)와 외측 롤러 부재 (76b)와는 접점부의 Y방향 위치가 다르도록 구성되고 있다. 또한 안내용 롤러 부재 (74a, 74b) ·외측 롤러 부재 (76a) (76b)는 보조용 롤러 부재 (75)와 같이 LCD 기판 (G)의 Y방향의 대략 전폭에 걸쳐서 접하는 형상으로 하여도 좋다.

챔버 (6)내의 풀리부재 (70a)와 안내용 롤러 부재 (74a)의 사이 및 풀리 부재 (70b)와 안내용 롤러 부재 (74b)의 사이에는 각각 윗쪽으로 향해 질소 가스를 공급하는 질소 가스 공급부 (82)가 Y방향으로 연장하도록 설치되고 있다. 질소 가스 공급부 (82)는 감압된 챔버 (6)내에 질소 가스를 공급함으로써 챔버 (6)내를 신속하게 승압함과 동시에 LCD 기판 (G)의 레지스트막이 외부의 공기에 접촉하는 것을 억제하기 위한 것이다. 또 챔버 (6)내의 Y방향의 측면부에는 벨트 (71)에 부착한 진애 등을 배출하기 위해 국소 배기관 (83)이 벨트 (71)내를 지나 Y방향으로 연장하도록 설치되어 이 국소 배기관 (83)은 배기 장치(도시하지 않음)에 접속되고 있다. 여기에서는 국소 배기관을 벨트 (71)의 이면 측에 설치했지만(부호 83 위치) 벨트 (71)의 표면 측에 설치해도 좋다(예를 들면 도 4의 부호 84 위치 참조). 이 경우에는 파티클 대책으로서 국소 배기관 (84)에 이오나이저를 배치해 두고 벨트 (71)의 표면을 제전 가능하게 구성해 두는 것이 바람직하고, 국소 배기관 (84) 및 이오나이저는 벨트 (71)의 작동시에 작동해 벨트 (71)의 정지시에 정지하도록 제어시키는 것이 바람직하다. 국소 배기관 (83)( 및 84)과 국소 배기관 (83)( 및 84)에 접속된 배기 장치라는 것은 벨트 (71)을 클리닝하는 클리닝 기구를 구성한다.

상술한 대로 구성된 레지스트 도포 유니트 (23)에 있어서의 LCD 기판 (G)의 처리 공정에 대해서 설명한다. 우선 슬라이더 (50)을 스테이지 (12)의 열적 처리 유니트 블럭 (32)측 단부에 대기시켜 스테이지 (12)에서는 각부에 있어서 소정의 높이에 LCD 기판 (G)를 부상시킬 수가 있는 상태로 한다. 그 다음에 열적 처리 유니트 블럭 (32)에 설치된 롤러 반송 기구에 의해 LCD 기판 (G)가 스테이지 (12)에 반입되어 슬라이더 (50)에 수수된다. 이것에 의해 LCD 기판 (G)는 스테이지 (12)상에 있어서 대략 수평 자세로 부상 보유 지지된다.

그리고 슬라이더 (50)을 감압 건조 장치 (23b)측에 향해 소정의 속도로 슬라이드 시킨다. 이것에 의해 LCD 기판 (G)는 감압 건조 장치 (23b)측에 향해 부상 반송되어 레지스트 노즐 (14) 아래를 통과할 때에 레지스트 노즐 (14)로부터 레지스트액이 표면에 공급되어 레지스트막이 형성된다. 레지스트막이 형성된 LCD 기판 (G)는 슬라이더 (50)에 의해 스테이지 (12)의 감압 건조 장치 (23b)측 단부, 더욱 구체적으로는 반입측 반송부 (7b)의 구동원에 의해 회전 구동하는 외측 롤러 부재 (76a) 또는 (76b)상에 이를 때까지 반송되어 거기서 슬라이더 (50)에 의한 보유 지지가 해제된다.

슬라이더 (50)에 의한 보유 지지의 해제에 의해 LCD 기판 (G)는 반입측 반송부 (7b)의 외측 롤러 부재 (76a) 또는 (76b)상에 재치된다. 여기서 반입측 반송부 (7b)의 외측 롤러 부재 (76a) 또는 (76b)를 회전 구동시키는 것으로 LCD 기판 (G)는 레지스트 도포 장치 (23a)로부터 반입측 반송부 (7b)에 수수되고, 적어도 반입구 (61)로부터 반입되어 내측 반송부 (7a)의 벨트 (71)상에 도달할 때까지 반송된다. 이 때에 풀리 부재 (70b)를 회전 구동시켜 벨트 (71)을 작동시키는 것으로 벨트 (71)상에 이른 LCD 기판 (G)는 반입측 반송부 (7b)로부터 내측 반송부 (7a)에 수수되고 벨트 (71)상을 반송되어 챔버 (6)내에 수용된다. LCD 기판 (G)가 챔버 (6)내에 수용되어 벨트 (71)상에 대략 전면에 걸쳐서 재치되면 벨트 (71)의 작동을 정지해 게이트 부재 (63, 64)에 의해 반입구 (61) 및 반출구 (62)를 폐색해 챔버 (6)내를 밀봉한다.

그리고 배기 장치 (67)을 작동시켜 챔버 (6)내를 소정값까지 감압한다. 이것에 의해 LCD 기판 (G)의 표면에 형성된 레지스트막이 건조할 수 있게 된다. 본 실시 형태에서는 벨트 (71)이 감압 건조 처리시에 LCD 기판 (G)를 대략 전면에 접해 균등하게 지지하고 또 LCD 기판 (G)를 액츄에이터형이나 로보트형 등과 같은 파 지하여 반송하는 반송 기구를 이용하지 않고 레지스트 도포 장치로부터 감압 건조 장치에 수수할 수가 있어, 종래의 감압 건조 장치와 같이 LCD 기판 (G)를 리프트 핀등으로 지지할 필요가 없기 때문에 레지스트막에 리프트 핀 등에 의한 전사자국이 붙어 버린다고 하는 우려가 없다. 즉 벨트 (71)은 감압 건조 처리시에 LCD 기판 (G)를 국부적으로 지지하는 경우 없이 균등하게 지지하는 기판 지지 부재로서 기능한다.

배기 장치 (67)을 소정 시간 작동시켜 레지스트막을 건조시키면 배기 장치 (67)을 정지한다. 다음에 질소 가스 공급부 (82)에 의해 챔버 (6)내에 질소 가스를 공급함과 동시에 게이트 부재 (63, 64)를 퇴피시켜 반입구 (61) 및 반출구 (62)를 개방해 챔버 (6)내를 승압한다. 그리고 다시 벨트 (71)을 작동시키는 것으로 LCD 기판 (G)는 적어도 반출구 (62)를 통과해 반출측 반송부 (7c)의 구동원에 의해 회전 구동하는 외측 롤러 부재 (76a) 또는 (76b)상에 도달할 때까지 반송된다.

이 때에 반출측 반송부 (7c)의 외측 롤러 부재 (76a) 또는 (76b)를 회전 구동시키는 것으로 LCD 기판 (G)는 내측 반송부 (7a)로부터 반출측 반송부 (7c)에 수수된다. 그리고 반출구 (62)로부터 반출되어 챔버 (6)외에 완전하게 노출할 때까지 외측 롤러 부재 (76a, 76b)상을 반송되어 그 후 열적 처리 유니트 블럭 (34)의 패스 유니트에 수수되는 것이 된다.

본 실시 형태에서는 챔버 (6)의 측벽부에 반입구 (61) 및 반출구 (62)를 각각 설치해 반송 기구 (7)에 의해 LCD 기판 (G)를 대략 수평으로 이동시켜 반입구 (61) 및 반출구 (62)로부터의 반입출을 실시하도록 구성했기 때문에 반입구 (61) 및 반출구 (62)의 높이를 기판의 두께보다 약간 큰 정도로 매우 작게 설정할 수가 있다. 즉 반입구 (61) 및 반출구 (62)를 슬릿 형상으로 형성할 수가 있다. 이 때문에 종래의 감압 건조 장치에 있어서 챔버를 개폐하는 역할을 완수하는 위에 챔버와 비교해 챔버 (6)의 반입구 (61) 및 반출구 (62)를 개폐하는 게이트 부재 (63, 64)를 큰폭으로 경량화할 수 있다. 또한 반송 기구 (7)이 LCD 기판 (G)를 대략 수평에 벨트 반송 또는 롤러 반송하기 위해 종래의 감압 건조 장치에 설치된 재치대와 같이 기판의 반송 기구를 승강시킬 필요가 없다. 따라서 기판이 대형화해도 장치의 안전성을 충분히 확보할 수 있는 것과 동시에 게이트 부재 (63, 64)의 개폐 동작 및 반송 기구 (7)의 반송 동작에 의한 진동을 억제할 수 있다.

또한 반입측 반송부 (7b) 및 반출측 반송부 (7c)나 내측 반송부 (7a)와 동일하게 풀리부재와 벨트를 가지는 벨트 반송 기구로 구성해도 괜찮다.

다음에 본 발명의 다른 실시 형태와 관련되는 감압 건조 장치에 대해서 설명한다. 도 6은 본 발명의 다른 실시 형태와 관련되는 감압 건조 장치를 나타내는 평면도이고, 도 7은 그 정면도이다.

감압 건조 장치 (23c)는 감압 건조 장치 (23b)의 내측 반송부 (7a)를 변경한 것이고 감압 건조 장치 (23b)와 같은 부위에 대해서는 동부호를 교부해 설명을 생략한다. 감압 건조 장치 (23c)의 내측 반송부 (7d)는 X방향으로 복수 설치된 대략 원주 형상의 내측 롤러 부재 (79)를 가지고 있다. 내측 롤러 부재 (79)는 각각 상단이 반입측 반송부 (7b) 및 반출측 반송부 (7c)의 상단과 대략 동일 높이가 되도록 예를 들면 챔버 (6)의 Y방향으로 대향하는 측면부에 회전 가능하게 지지를 받고 있다.

복수의 내측 롤러 부재 (79) 가운데의 일부 또는 전부는 회전축이 모터 등의 구동원 (72)에 접속되어 구동원 (72)를 구동시키는 것으로 회전해 이것에 의해 LCD 기판 (G)가 내측 롤러 부재 (79)상을 X방향으로 반송된다. 여기에서는 내측 롤러 부재 (79)의 일부 또는 전부가 교류 모터 등의 구동원 (72)에 의해 정역 자유롭게 회전 가능하게 구성되고 있다. 또한 내측 롤러 부재 (79)는 각각 LCD 기판 (G)의 Y방향의 대략 전체폭에 접하도록 형성되고 있지만 외측 롤러 부재 (76a, 76b)와 동일하게 LCD 기판 (G)에 Y방향으로 간격을 열어 복수 위치에서 접하도록 형성되고 또한 서로 이웃이 되는 내측 롤러 부재 (79) 끼리로 LCD 기판 (G)에 접하는 Y방향 위치가 다르도록 구성되고 있어도 괜찮다.

내측 반송부 (7d)의 아래쪽에는 배기 장치 (67)의 작동에 의해 LCD 기판 (G)에 직접적인 흡인력이 작용하는 것을 방지하는 판형상 또는 접시 모양의 팬 (68)이 예를 들면 챔버 (6)의 Y방향으로 대향하는 측면부에 장착되어 설치되고 있다.

상술한 대로 구성된 감압 건조 장치 (23c)의 내측 반송부 (7d)에 있어서의 LCD 기판 (G)의 처리 공정에 대해서 설명한다. 우선 레지스트 도포 장치 (23a)로부터 수수되고 반입측 반송부 (7b)에 의해 반송된 LCD 기판 (G)가 구동원 (72)에 접속된 내측 롤러 부재 (79)상에 도달했을 때에 구동원 (72)에 의해 내측 롤러 부재 (79)를 회전 구동시키는 것으로 LCD 기판 (G)는 반입측 반송부 (7b)로부터 내측 반송부 (7d)에 수수되고 복수의 내측 롤러 부재 (79)상을 반송되어 챔버 (6)내에 완전하게 반입된다. 다음에 내측 롤러 부재 (79)의 회전을 정지해 게이트 부재 (63, 64)에 의해 반입구 (61) 및 반출구 (62)를 폐색해 챔버 (6)내를 밀봉한다.

그리고 배기 장치 (67)을 작동시켜 챔버 (6)내를 소정값까지 감압해 LCD 기판 (G)의 표면에 형성된 레지스트막을 건조시킨다. 이 때에 구동원 (72)에 의해 복수의 내측 롤러 부재 (79) 가운데의 일부 또는 전부를 정역 교대로 회전시키는 것으로 LCD 기판 (G)는 요동하면서 복수의 내측 롤러 부재 (79)에 지지를 받는다. 즉 복수의 내측 롤러 부재 (79)는 감압 건조 처리시에 LCD 기판 (G)를 국부적으로 지지하는 경우 없이 균등하게 지지하는 기판 지지 부재로서 기능한다. 이것에 의해 LCD 기판 (G)의 레지스트막에 내측 롤러 부재 (79)에 의한 전사자국이 붙어 버린다는 것이 방지된다.

배기 장치 (67)을 소정 시간 작동시켜 레지스트막을 건조시키면 배기 장치 (67)을 정지한다. 다음에 질소 가스 공급부 (82)에 의해 챔버 (6)내에 질소 가스를 공급함과 동시에 게이트 부재 (63, 64)를 퇴피시켜 반입구 (61) 및 반출구 (62)를 개방해 챔버 (6)내를 승압한다. 그리고 다시 내측 롤러 부재 (79)를 회전시키는 것으로 LCD 기판 (G)는 적어도 반출구 (62)를 통과해 반출측 반송부 (7c)의 구동원에 의해 회전 구동하는 외측 롤러 부재 (76a) 또는 (76b)상에 도달할 때까지 반송된다.

본 발명에 의하면 특히 기판이 대형의 경우에 매우 적합하지만 LCD 기판에 한정하지 않고 다른 기판 예를 들면 LCD 기판의 칼라 필터 기판이나 반도체 웨이퍼 등에 도포된 도포액의 감압 건조 처리에 넓게 적용할 수가 있다.

이상 설명한 것처럼 본 발명에 의하면 챔버의 측벽부에 반입구 및 반출구를 설치해 반송 기구에 의해 기판을 대략 수평에 이동시켜 반입구 및 반출구로부터의 반입출을 실시하도록 구성했으므로 반입구 및 반출구의 높이를 기판의 두께보다 약간 큰 정도로 매우 작게 설정할 수가 있다. 이 때문에 종래의 감압 건조 장치에 있어서 챔버를 개폐하는 역할을 완수하는 위에 챔버와 비교해 챔버의 반입구 및 반출구를 개폐하는 게이트 부재를 큰폭으로 경량화할 수 있다. 또한 전술과 같이 기판을 대략 수평으로 반송해 종래의 감압 건조 장치에 설치된 재치대와 같이 기판의 반송 기구를 승강시킬 필요가 없다. 따라서 기판이 대형화해도 장치의 안전성을 충분히 확보할 수 있는 것과 동시에 게이트 부재의 개폐 동작 및 반송 기구의 반송 동작에 의한 진동을 억제하는 것이 가능해진다. 게다가 기판 지지 부재가 챔버내에서 기판을 균등하게 지지하기 위해 기판의 크기에 관련되지 않고 기판에 도포된 도포액에 생기는 전사를 확실히 방지하는 것이 가능해진다.

6···챔버
7···반송 기구
7a, 7d···내측 반송부
7b···반입측 반송부
7c···반출측 반송부
*23a···레지스트 도포 장치
23b, 23c···감압 건조 장치
61···반입구
62···반출구
63, 64···게이트 부재
66···배기관
67···배기 장치
70a, 70b···풀리 부재
71···벨트(기판 지지 부재)
76a, 76b···외측 롤러 부재
79···내측 롤러 부재(기판 지지 부재)
83, 84···국소 배기관
G···LCD 기판

Claims (1)

1. 기판에 도포액을 도포한 후 이 도포액에 감압 상태로 건조 처리를 가하는 감압 건조 장치로서,
   상기 감압 건조 장치는,
   기판이 반입되는 반입구 및 기판이 반출되는 반출구를 측벽부에 갖고 상기 반입구로부터 반입된 기판을 수평 상태로 수용하는 챔버,
   상기 챔버의 상기 반입구 및 반출구를 개폐하는 게이트 부재와,
   상기 게이트 부재에 의해 상기 반입구 및 반출구가 폐색된 상태로 상기 챔버내를 감압하는 감압 기구와,
   기판을 수평으로 반송해 상기 반입구로부터 상기 챔버내에 반입함과 동시에 상기 감압 기구에 의한 감압 건조 처리 후에 수평으로 반송해 상기 반출구로부터 상기 챔버외에 반출하는 반송 기구를 구비하고,
   상기 반송 기구는 상기 챔버내에서 기판을 반송하는 내측 반송부와 상기 챔버외에서 기판을 상기 반입구로부터 반입해 상기 내측 반송부에 반송하는 반입측 반송부와 상기 챔버외에서 상기 내측 반송부로부터 반송된 기판을 상기 반출구로부터 반출하는 반출측 반송부를 구비하고,
   상기 내측 반송부는 복수의 내측 롤러 부재를 가지고,
   상기 감압 기구는 상기 챔버의 저면부에 설치된 배기관을 가지고,
   상기 복수의 내측 롤러 부재와 상기 배기관 사이에 판 형상 또는 접시 모양의 팬이 설치되고,
   상기 반입측 반송부는 소직경의 회전축과 상기 회전축에 기판 반송 방향과 직교하는 방향으로 간격을 두고 복수 설치된 대직경의 접점부를 가지는 복수의 외측 롤러 부재를 구비하고,
   인접하는 상기 외측 롤러 부재는 그 접점부의 위치가 기판 반송 방향과 직교하는 방향으로 서로 상이한 것을 특징으로 하는 감압 건조 장치.

Images