CN115468389B - 显示器玻璃基板烘烤设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种显示器玻璃基板烘烤设备，包括烘烤机架、烘烤箱、供风系统和排风系统；烘烤箱的烘烤箱壁和烘烤箱底板围成烘烤腔，在烘烤腔的腔口位置设置有可平动开启的烘烤箱上盖，在烘烤腔内固定安装有加热板组件；烘烤箱门通过箱门密闭器安装于箱门摆轴上；基板顶升装置的顶升架上安装有顶针托盘和顶针杆；供风系统的净风输入口与净风系统相连通，净风输入口端连通有电加热器及其并联的热风供给阀和热风排放阀；滤清器经净气控制阀连向供风系统的净风输入口；排风盒上的烘烤箱排风口经集风管连向排风口。该烘烤设备能方便地对烘烤箱壁及部件进行维护和清洁操作，能确保烘烤腔温度的稳定均匀，有效提高玻璃基板制作质量。

Description

显示器玻璃基板烘烤设备

技术领域

本发明涉及液晶平板显示器生产设备，尤其涉及对涂布光阻剂的平板玻璃基板进行烘烤的设备。

背景技术

玻璃基板是平板显示器产业的关键基础材料，玻璃基板本身性能及品质表现与平板显示的分辨率、成像效果等基础指标紧密关联。随着平板显示器面板分辨率、轻薄化、低能耗等要求越来越高，尤其是手机、平板电脑等移动设备提出更高要求，继而对玻璃基板的性能要求也越来越高，尤其是表面缺陷的要求上就更为严格。

液晶显示器制造全过程大体可分为40多个工序，这些工序又可分为ITO图形刻蚀、取向排列、空盒制作、液晶灌注和成品检测包装等五个阶段。其中ITO图形刻蚀是在导电玻璃板上刻蚀出显示所需的ITO电极图形，该工艺阶段主要是在清洁干燥的导电玻璃基板上均匀涂布光阻剂，再在一定温度下将涂有光阻剂的玻璃板烘烤一段时间，以使光阻剂中溶剂挥发，增加与玻璃表面粘附性后，再经曝光显影、坚膜、刻蚀、去膜及清洁干燥等工序而完成ITO图形刻蚀。因此涂有光阻剂玻璃板的烘烤对整个刻蚀过程和质量具有十分重要的影响。

目前，对涂有光阻剂玻璃基板进行烘烤的工序设备是采用接触式预烘烤设备，其主要由机架及安装于机架上的若干烘烤箱单元构成。如本申请人于2021年08月14日公开的“接触式热烘烤设备”，申请号：202110933111.8，该发明申请公开的烘烤箱单元包括箱体、箱顶盖和烘烤隔板，箱顶盖是铰连于箱体上，并且烘烤腔是由箱体、烘烤隔板及箱顶盖所围成。首先由于烘烤箱单元不能移出机架的架体，箱顶盖的铰连结构也不能形成足够的维护操作和检修空间，当烘烤箱单元进行定期加热元件等器件维护更换和箱体定期清洁操作时，由于这种结构不能形成所需的操作空间，既难以对烘烤箱腔进行全面的清洁处理，影响维护操作效率。烘烤箱单元的烘烤隔板既是加热元件，又具有围成烘烤腔腔底结构，烘烤时烘烤腔的温度是通过烘烤加热板逐步提高温度，当移出已烘烤基板并输送进另一基板时，烘烤腔内的温度出现较大的起伏变化，导致腔内各区域内的温度均匀性很差，一方面加热温度不均匀而带来的烘烤不均匀，使得玻璃基板上光阻剂胶膜内溶剂不能充分挥发，在烘烤不足区域溶剂未充分挥发，曝光显影时未受光部分也被溶除形成浮胶或者使图形变形，烘烤过度又导致胶膜翘曲硬化，显影时会显不出图形或者图形留有底膜；另一方面烘烤温度的不均匀还会在基板上因温度梯度引起热应力，导致基板玻璃的开裂或破碎，降低烘烤成品率。在烘烤箱烘烤过程中，不能及时补充洁净的空气，或不能将带有挥发物质的蒸汽及时排出，而将空气中的杂质和挥发蒸汽中各种微小颗粒附着或固定在烘烤腔的腔壁，甚至沉积于导电玻璃基板表面，大大降低基板制作精度和产品质量。

发明内容

针对现有技术所存在的上述不足，本发明所要解决的技术问题是提供一种显示器玻璃基板烘烤设备，它不仅能方便地对烘烤箱壁及烘烤部件进行维护和清洁操作，而且能有效保证烘烤单元烘烤温度的稳定性和均匀性。

为了解决上述问题，本发明的显示器玻璃基板烘烤设备，包括烘烤机架和烘烤箱，烘烤箱的箱体上连接有供风系统和排风系统；

所述烘烤箱位于基板顶升装置的上方，烘烤箱和基板顶升装置之间设置有烘烤箱滑动架，该烘烤箱滑动架包括烘烤箱支承架和滑动导轨，相互平行设置的滑动导轨位于所述烘烤箱支承架的两相对侧边，滑动导轨安装于烘烤机架上；

所述烘烤箱的烘烤箱壁和烘烤箱底板围成烘烤腔，烘烤箱底板)固定安装于烘烤箱支承架上，在烘烤腔的腔口位置设置有可平动开启的烘烤箱上盖，在烘烤腔内固定安装有加热板组件，该加热板组件包括自上向下依次叠置的加热面板、加热板和加热托板，加热板由若干电加热板单元拼接而成，每一加热板对应一加热托板；所述烘烤箱壁上至少设置有一烘烤箱门，该烘烤箱门通过箱门密闭器安装于箱门摆轴上；

所述基板顶升装置的顶升架上安装有顶针托盘，在顶针托盘的上方设置有顶针杆，顶针杆穿过加热托板、加热板和加热面板伸至烘烤腔内，所述顶升架滑动设置于烘烤箱支承架的下方，固定安装于烘烤箱支承架上的摆轴驱动箱驱动顶升摆臂，位于顶升摆臂外伸端的顶升滑销滑动设置于顶升座上的顶升滑槽内，该顶升座固定安装于所述顶升架上；

所述供风系统的净风输入口与净风系统相连通，所述净风输入口端连通有电加热器，该电加热器的热风出口并联有热风供给阀和热风排放阀，热风供给阀通过烘烤箱供风盒通向烘烤箱的烘烤腔，热风排放阀则连向排风管；

所述净风系统包括滤清器，该滤清器经净气控制阀连向供风系统的净风输入口；

所述排风系统包括排风盒，该排风盒与烘烤箱的烘烤腔相连通，排风盒上的烘烤箱排风口经集风管连向排风口。

在上述的技术方案中，由于烘烤箱单元是通过烘烤箱滑动架支承于机架上的，并且在烘烤箱烘烤腔口设置有可平移开启的烘烤上盖，烘烤箱上盖可以在机架上垂直移动地向上抬起打开；而不带有烘烤箱上盖的敞口烘烤箱则可沿烘烤箱滑动架滑移至机架框架外，以获得最大的更新维护和腔体清洁的操作空间，保证烘烤腔的洁净和烘烤箱的正常工作，从而提高维护修理效率。加热板组件包括有加热面板，以及对应的加热板和加热托板，其中加热板由若干电加热板单元拼接而成，这种结构有利于烘烤箱中各区域温度的自动调节和均衡，以确保烘烤腔各点温度值的均衡一致。烘烤箱门通过箱门密封器安装于箱门摆轴上，保证箱体和箱门之间的有效密封，既阻断箱内外空气的相互渗漏，避免烘烤腔形成温度梯度和不一致的温度场，又避免了烘烤挥发性有害物质的外泄。

又由于供风系统中经净风输入口的洁净空气依次经电加热器、热风供给阀和烘烤箱供风盒通向烘烤箱的烘烤腔，这样提供给烘烤腔的外来空气也为热空气，外来热空气叠加烘烤腔加热板组件的相互作用，形成了一个稳定烘烤加热温度场，避免输入空气对腔内温度的波动影响，保证了烘烤腔烘烤温度的均匀性和一致性，避免因烘烤不足或烘烤过度而导致的曝光图形或显影异常；也避免了烘烤腔内温度梯度导致的玻璃基板热应力，所引起的玻璃基板开裂破碎和机械强度降低。供风系统的净风输入口与净风系统相连通，又为供风系统提供洁净空气，避免空气中微小尘粒在玻璃基板积聚和沉淀。

上述组合式加热板组件，热风供给系统，以及箱门密封结构共同作用有效地保证了烘烤腔内温度均匀一致，大大提高烘烤稳定性和一致性，确保了基板质量的稳定。

也由于在烘烤箱体的烘烤腔上设置有排风系统，排风系统能及时快速地排除烘烤腔内产生的挥发性有害蒸汽，避免挥发物和细颗粒物在烘烤腔壁以及玻璃基板上的沉淀，保证烘烤腔烘烤热风的洁净度。同时烘烤箱供风盒口和排风盒口对称地设置于烘烤腔上，这样烘烤热风经烘烤腔再从排风盒排出而在烘烤腔内形成平稳的热空气流动，既减少曲径流动所产生涡流而导致温度不一，又减少挥发物附着的几率。

还由于采用顶针托盘和顶针杆分离式结构，这种分离式结构消除了顶针杆的径向推力，避免顶针杆的卡死，使顶针杆的顶升动作更加可靠稳定；基板顶升装置通过顶升摆轴、摆臂滑销结构，实现对玻璃基板在规定升程内的往复升降，可靠地实现烘烤玻璃基板顶升摆放和抬举移出。

本发明进一步的实施方式，所述烘烤箱上盖设置有用于垂直平动上抬烘烤箱上盖的平抬气缸和用于向下平压烘烤箱上盖的平压气缸，该平抬气缸和平压气缸成对设置。其平抬气缸将烘烤箱上盖在机架上垂直上抬以与烘烤箱体分离，使烘烤箱体沿导轨而水平移出，便于维护和清洁；平压气缸又将烘烤箱上盖紧密地贴压于箱体腔口，以增加两者间的密闭度。

本发明的进一步实施方式，所述加热面板上均布有若干基板托钉，该基板托钉的顶部距加热面板的间距L＝0.26-0.34mm；所述加热板的电加热板单元为可调温电热板，所述加热托板通过加热支柱支承于烘烤箱底板上。基板托钉的设置，使基板与面板之间形成加热狭隙，提高对玻璃基板加温的一致性和均匀性，同时也避免在玻璃基板上产生静电而引起的基板玻璃破损开裂。

本发明的优选实施方式，所述箱门密闭器包括固定安装于箱门摆轴上的箱门摆杆，在箱门摆杆上铰连有箱门铰支座，该箱门铰支座与烘烤箱门固定连接，在箱门摆杆上还安装有箱门倾角螺栓，该箱门倾角螺栓的外伸端抵接于烘烤箱门上。所述箱门摆杆上安装有两根箱门倾角螺栓，该两根箱门倾角螺栓分别位于箱门铰支座铰支点的两侧。该结构能有效消除摆轴、摆杆所引起的箱门上下侧闭合间隙不一致造成的热风外泄和挥发性蒸汽外渗，有效地增强了箱门关闭的密合度。

本发明的优选实施方式，所述烘烤箱供风盒的供风盒腔内固定设置有供风挡板，该供风挡板的位置与烘烤箱供风盒的供风口相对应。供风盒腔内供风挡板的设置，提高了热风通入烘烤腔的均匀度，保证加热温度的一致，避免温度核梯度和加热应力的产生。

本发明的优选实施方式，所述热风供给阀和热风排放阀为电磁阀；所述净气控制阀为电动阀，所述滤清器为滤芯式空气滤清器；所述滤清器和净气控制阀之间连通有传感器；所述排风口设置有排量控制闸门。增强系统控制的准确性，方便系统的自动调节控制。

本发明的优选实施方式，所述摆轴驱动箱有两只，顶升电机通过顶升驱动轴与该两摆轴驱动箱传动连接；摆轴驱动箱的输出轴与对应的顶升摆轴传动连接，在顶升摆轴的两端均固定设置有顶升摆臂，顶升摆臂外伸端的顶升滑销设置于对应顶升座的顶升滑槽中。增强对玻璃基板顶升的同步性，减少玻璃顶升弯曲和破损。

本发明的优选实施方式，所述烘烤箱支承架由支架横梁和支架纵梁相互固定连接而成框式结构，所述滑动导轨为直线滑动导轨。所述顶升架由相互交叉的顶升纵梁和顶升横梁固定连接而成；顶升架通过升降导套滑动支承于升降导杆上，该升降导杆固定连接于烘烤箱支承架上。结构刚性好，运动准确可靠。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本发明显示器玻璃基板烘烤设备作进一步详细说明。

图1是本发明显示器玻璃基板烘烤设备具体实施方式的立体结构示意图；

图2是图1所示实施方式中的烘烤机架的立体结构图；

图3是图1所示实施方式的供风系统和净风系统的结构示意图；

图4是图1所示实施方式的排风系统的结构示意图；

图5是图1所示实施方式的烘烤箱单元及烘烤箱滑动架的组装结构示意图；

图6是图5所示结构的俯视图；

图7是图6的A—A剖面结构示意图；

图8是图5中烘烤箱滑动架的立体结构示意图；

图9是图5中烘烤箱单元的立体结构示意图；

图10是图9中烘烤箱门的立体结构示意图；

图11是图10中箱门启闭器的立体结构示意图；

图12是图11中箱门启闭器的正视结构示意图；

图13是图11中箱门启闭器的侧视结构示意图；

图14是图7中加热板组件的俯视结构示意图；

图15是图14的正视结构示意图；

图16是图14的仰视结构示意图；

图17是图14中Ⅰ部的局部放大图；

图18是图15中Ⅱ部的局部放大图；

图19是图14中基板托钉的正视结构；

图20是图19的俯视图；

图21是图7中基板顶升机构的立体结构示意图；

图22是图21中顶升驱动结构示意图；

图23是图22中顶升驱动单元的正视结构示意图；

图24是图23中顶升座的结构示意图；

图25是图21中顶升杆和顶针托盘的立体结构示意图；

图26是图25中顶升杆结构示意图；

图27是图25中顶针托盘的结构示意图；

图28是图3中供风系统一供风单元和净风单元的连接结构示意图；

图29是图28中供风系统单元的正视图；

图30是图29的横截面结构示意图；

图31是图中排风系统一排风单元的结构示意图；

图32是图31排风盒排风口方向的结构示意图。

图中，1—烘烤机架、101—机架横梁、102—机架纵梁；2—烘烤箱、201—烘烤箱上盖、202—上盖平抬销、203—烘烤箱门、204—箱门启闭器、205—箱门启闭摆轴、206—箱门摆轴气缸、207—加热面板、208—加热板块、209—加热托板、210—烘烤箱底板、211—加热板立柱、212—烘烤腔、213—顶针滑套、214—烘烤箱壁、215—平抬气缸、216—平压气缸、217—摆杆座、218—箱门摆杆、219—箱门倾角螺栓、220—箱门铰支座、221—顶针孔、222—基板托钉、223—板手孔；3—烘烤箱滑动架、301—烘烤箱支承架、302—支架滑座、303—滑动导轨、304—升降导杆、305—升降导套、306—导杆连接板；4—基板顶升装置、401—顶升杆、402—顶升纵梁、403—顶升横梁、404—顶升座、405—顶升摆臂、406—顶升轴座、407—顶升摆轴、408—顶升滑销、409—摆轴变速箱、410—顶升驱动轴、411—顶升电机、412—顶升滑槽、413—顶升限位板、414—顶针重锤、415—顶针托盘、416—托盘螺杆；5—供风系统、501—净风输入口、502—电加热器、503—热风供给阀、504—热风排放阀、505—烘烤箱供风盒、506—供风支管、507—密封垫、508—供风总管、509—排放管、510—排风总管、511—供风口、512—供风挡板、513—供风管腔；6—净风系统、601—气源输入口、602—手动阀、603—滤清器、604—传感器、605—净风控制阀，606—净风输出管；7—排风系统、701—排风盒、702—排风口连接短管、703—排风支管、704—集风管、705—排风口、706—烘烤箱排风口、707—排风盒密封垫；8—底柜。

具体实施方式

如图1所示的显示器玻璃基板烘烤设备，其烘烤机架1由铝合金型材搭接而成，该烘烤机架1分为五层结构，底层为底柜8，在该底柜8中安装有净风系统6，以及烘烤设备的电气控制系统。在烘烤机架1的上四层中均设置有对应层的烘烤箱2，每层的烘烤箱2通过烘烤箱滑动架3可水平推移地支承于烘烤机架1上。

如图2所示，烘烤机架1由铝合金型材材质的机架横梁101和机架纵梁102以及机架竖梁相互垂直搭接而成；机架横梁101的外伸端伸出机架纵梁102的外侧。每层用于支承对应烘烤箱2的烘烤箱滑动架3包括烘烤箱支承架301和滑动导轨303，位于烘烤箱2两侧的滑动导轨303安装于对应的机架横梁101上。

如图3所示，每一滑动支承于烘烤机架1上的烘烤箱2单元连通有对应的供风系统5单元，安装于烘烤机架1底柜8内的净风系统6连向供风系统5。烘烤机架1上每一层的烘烤箱2单元对应有供风系统5的供风单元，每一供风单元又连通有净风系统6的净风单元。如图4所示，每一烘烤箱2还连通有排风系统7对应的排风单元。供风系统5供风单元和排风系统7排风单元分别连通于烘烤箱2烘烤腔壁相对的两侧边。

如图5、图6及图7所示，烘烤箱2固定安装于烘烤箱滑动架3上，在烘烤箱滑动架3上还滑动支承有基板顶升装置4。烘烤箱2的烘烤箱壁214和烘烤箱底板210围成烘烤腔212，该烘烤腔212呈开口向上的矩形盒状。烘烤箱2通过其烘烤箱底板210固定安装于烘烤箱支承架301上。在烘烤箱支承架301的下侧面固定安装有四根升降导杆304，基板顶升装置4通过升降导套305滑动支承于升降导杆304上；在四根升降导杆304的下伸端固定连接有导杆连接板306，该导杆连接板306用以增强四根升降导杆304的刚性和导向稳定性。

在烘烤腔212内固定安装有加热板组件，加热板组件通过若干根加热板支柱211安装于烘烤箱底板210上。在加热板组件与烘烤箱支承架301之间还设置有若干根顶针滑套213；烘烤箱壁214和烘烤箱底板210均由对应铝合金型材骨架面板和填充在骨架与面板间的保温隔热材料构成，以提高箱壁和底板的强度及隔热性能。

如图8所示，烘烤箱滑动架3包括烘烤箱支承架301和滑动导轨303，烘烤箱支承架301由铝合金型材固定连接成板框结构，在烘烤箱支承架301的两相对侧边通过支架滑座302支承于滑动导轨303上，两根滑动导轨303相互平行布置，滑动导轨303采用常用的直线滑动导轨；在烘烤箱支承架301上安装有烘烤箱2。

如图9所示，在烘烤箱壁214和烘烤箱底板210围成的烘烤腔212腔口位置设置有可平动开启的烘烤箱上盖201，烘烤箱上盖201同样由上盖铝合金骨架和面板，以及填充于骨架和面板之间的隔热保温材料构成。在烘烤箱上盖201的四角位置固定设置有上盖平抬销202，上盖平抬销202托承于对应的平抬气缸215的托承板上；在烘烤箱上盖201的四角位置还设置有向下垂直平压的平压气缸216，平抬气缸215和平压气缸216成对地设置于烘烤箱上盖201的四角位置。平抬气缸215的托承板固定安装于平抬气缸215的活塞杆端，平压气缸216的平压头也固定安装于平压气缸216的活塞杆端，平抬气缸215和平压气缸216均固定安装于烘烤机架1的机梁上。当需要对烘烤箱2进行检修、维护和清洁操作时，四个平抬气缸215通过对应的上盖平抬销202垂直向上地将烘烤箱上盖201以平动的方式向上抬起而脱离烘烤腔212的腔口位置，烘烤箱2的箱体则可沿烘烤机架1上的滑动导轨302沿水平方向向外移出，以形成足够的操作空间；当烘烤箱2平移回到工作位置时，平压气缸216对烘烤箱上盖201向下提供压紧力，使其紧密地贴合在烘烤腔212的腔口位置；此时烘烤箱上盖201和烘烤腔212形成密闭的烘烤腔室。在烘烤箱2的烘烤箱壁214上设置有两扇烘烤箱门203，用于烘烤玻璃基板的送入和移出。本实施例中，烘烤箱上的两扇烘烤箱门203分别位于烘烤箱2相邻的烘烤箱壁上。

如图10、图11、图12及图13所示，烘烤箱门203是通过箱门密闭器204安装于箱门摆轴205上，在箱门摆轴205的两端均设置有箱门摆轴气缸206，该箱门摆轴气缸206为叶片式摆动气缸，也可以为伸缩摆动气缸或齿轮齿条摆动气缸。箱门摆轴气缸206是通过箱门摆轴205、箱门密闭器204驱动烘烤箱门203摆动而实现箱门打开或关闭的，箱门摆轴气缸206固定安装于烘烤箱支承架301，也可安装于烘烤箱壁214上。由于受箱门关闭摆角的影响，箱门上下两侧与箱体壁的关闭贴合力和密封程度是存在明显差异，很难保证密封的一致性，故而很容易形成密封不严，直接影响烘烤箱腔内温度的一致性和均匀性，明显对烘烤基板性能和品质造成影响；加之摆轴扭转力矩、摆臂的安装精度均会影响箱门与箱壁之间的密封程度。在箱门摆轴205上等距地安装有若干箱门密闭器204，每一箱门密闭器204的箱门摆杆218下端均通过其上的摆杆座217固定安装于箱门摆轴205上，箱门摆杆218的上端铰连有箱门铰支座220，箱门铰支座220呈T字型结构，该箱门铰支座220固定安装于烘烤箱门203上。在箱门摆杆218上还拧接有两根相距设置的箱门倾角螺栓219，该两根箱门倾角螺栓219分别位于箱门铰支座220铰支点的两侧，箱门倾角螺栓219的外伸端与烘烤箱门203相抵触而相接，调节箱门倾角螺栓219的外伸长度即可改变烘烤箱门203的安装倾角，使得烘烤箱门密封周边与烘烤箱体壁之间具体严密的密闭效果和均等密封力。在结构中通过箱门铰支座220和箱门倾角螺栓219的相互作用，可以有效地消除摆角和安装精度对密闭精度的影响。

如图14、图15、图16、图17及图18所示，设置于烘烤箱2箱腔中的加热板组件由上向下依次相互叠置的加热面板207、加热板208及加热托板209。加热面板207由整块铝合金板构成，在铝合金板的上表面覆有一层致密的氧化铝层，加热板208由25块电加热板相互拼接而成，每一加热板208对应有一加热托板209，加热托板209为不锈钢板。每一加热板208均独立地连向电源并受控制系统控制，这样可以根据加热区域的实际温度，调控对应区域加热板208的加热电流，以实现对温度的精准调控。加热托板209通过若干加热板支柱211支撑于烘烤箱底板210上。在加热托板209与烘烤箱底板210之间还固定有有通孔的顶针滑套213。在加热面板207的板面还嵌装有若干基板托钉222，加热面板207的板面还设有若干顶针孔221，顶针孔221与顶针滑套213上通孔相互贯通。

如图19、图20所示的基板托钉222，基板托钉222通过下端的螺纹旋接头旋接于加热板组件上，在基板托钉222上端设置有两个板手孔223，以便将基板托钉222拧装加热板组件上。在基板托钉222的上端面设有凸台部，基板托钉222的上端面与加热面板207的板面处于同一平面上，该凸台顶部距加热面板207之间的间距控制在0.3±0.04mm之间。若干基板托钉222凸台顶部构成了玻璃基板的托承平面。

如图21、图22及图23所示，基板顶升装置4的顶升架由铝合金型材制成的顶升纵梁402和顶升横梁403垂直交叉固定而成矩形框式结构，在顶升架的顶升纵梁402上固定旋接安装有托盘螺杆416，每一托盘螺杆416对应一顶升杆401，顶升杆401穿过加热托板209、加热板208和加热面板207伸至烘烤腔212中。基板顶升装置4的顶升架滑动设置于烘烤箱支承架301的下方。在烘烤箱支承架301上安装有两相对称布置的摆轴驱动箱409，两摆轴驱动箱409分别位于顶升电机411的两侧，顶升电机411为带有减速机构的伺服电机，顶升电机411通过顶升驱动轴410与摆轴驱动箱409传动连接。在每一摆轴驱动箱409的输出轴端依次安装有两通过顶升滑销408固定相连的顶升摆臂405，位于外端的顶升摆臂405又与顶升摆轴407固定连接，在顶升摆轴407的外伸端也固定安装有顶升摆臂405，顶升摆轴407通过顶升轴座406转动支承于烘烤箱支承架301上。

顶升滑销408滑动地位于对应的顶升座404的顶升滑槽412中，顶升座404固定安装于基板顶升装置4的顶升架上。当顶升电机411通过顶升驱动轴410驱动其两侧的摆轴驱动箱409时，摆轴驱动箱409驱动顶升摆臂405及其上的顶升滑销408通过顶升座404驱动基板顶升装置4的顶升架作上下往复升降，并经其上的托盘螺杆416和顶升杆401完成对玻璃基板的顶升或就位。

如图25、图26及图27所示，固定拧接于顶升纵梁402上的托盘螺杆416的上端设置有顶针托盘415，在每一顶针托盘415的上方均对应有一顶升杆401，顶升杆401的杆身外还滑套有对应的顶针滑套213，顶升杆401的下端杆身上固定安装有顶针重锤414，顶升杆401的下杆端以球冠面支承于顶针托盘415的盘面上，这种结构确保顶升杆401顶升运动的顺畅度，并有效避免顶升杆401的卡顿，保证对玻璃基板的平稳升降顶动。

如图28、图29及图30所示，供风系统5的每一供风单元均与净风系统6的对应单元通过供风管相互连通。来自气站的空气源经气源输入口601进入到净风系统6中，并沿输气管依次经手动阀602、滤清器603、传感器604、净风控制阀605进入到净风输出管606。手动阀602采用手动球阀，滤清器603为滤芯式空气滤清器，传感器604为流量传感器，净风控制阀605采用电动阀，以便控制系统输入空气的流量和流速，净化后的净化空气由净风输出管606经连接软管输送到对应的净风输入口501和电加热器502；电加热器502采用常见的在线式电加热器，烘烤设备正常工作时，电加热器502处于连续工作状态。在电加热器502热风输出口并联有热风供给阀503和热风排放阀504。热风供给阀503输出口经供风总管508通向若干并联的供风支管506，各供风支管506均通向烘烤箱供风盒505，烘烤箱供风盒505通过盒口部的密封垫507密封地安装于烘烤箱2的箱壁上，并与烘烤腔212相连通，每一烘烤箱2上均密封地安装有一烘烤箱供风盒505，烘烤箱供风盒505采用两段结构。为了保证烘烤箱供风盒505能均匀地向烘烤腔212均匀供风，在烘烤箱供风盒505的供风管腔513内固定安装有供风挡板512，供风挡板512的位置与烘烤箱供风盒505的供风口511相对应。从供风支管506输入烘烤箱供风盒505的热风，在供风管腔513中受供风挡板512的作用下，热风充满盒腔并经条状的供风口511均匀散开地输入到烘烤腔212中。

热风排放阀504的输出口则连通向排风管509；各单元对应的排风管509并联地通向排风总管510。当烘烤箱进行烘烤工作时，热风供给阀503打开，热风排放阀504关闭，电加热器502加热后的热空气供向烘烤腔212，电加热器502的加热温度与加热板组件的加热温度相同，以在烘烤腔中形成均匀一致的温度场。当打开箱门需要移出或送入玻璃基板时，热风供给阀503关闭，热风排放阀504打开，此时经电加热器502加热后的热空气则经排风管509汇入至排风总管510。

如图31、图32所示，排风系统7的每一单元均包括有安装于烘烤箱上的排风盒701，每一烘烤箱对应有一排风盒701，排风盒701也采用采用两段结构。排风盒701的盒口位置通过排风盒密封垫707密封地安装于烘烤箱2的箱体壁上，并通向烘烤腔212，排风盒701上没有若干烘烤箱排风口706，烘烤腔212中的排出热风经烘烤箱排风口706、排风口连接短管704的排风口705将排出热风送至净化装置作净化处理后排放。在排风口705位置还设有调节闸板，以控制排放流量和流速。

Claims (9)

1.一种显示器玻璃基板烘烤设备，包括烘烤机架（1）和烘烤箱（2），烘烤箱（2）的箱体上连接有供风系统（5）和排风系统（7），其特征在于：

所述烘烤箱（2）位于基板顶升装置（4）的上方，烘烤箱（2）和基板顶升装置（4）之间设置有烘烤箱滑动架（3），该烘烤箱滑动架（3）包括烘烤箱支承架（301）和滑动导轨（303），相互平行设置的滑动导轨(303)位于所述烘烤箱支承架（301）的两相对侧边，滑动导轨（303）安装于烘烤机架（1）上;

所述烘烤箱（2）的烘烤箱壁（214）和烘烤箱底板（210）围成烘烤腔（212），所述烘烤箱（2）的烘烤箱底板（210）固定安装于烘烤箱支承架（301）上，在烘烤腔（212）的腔口位置设置有可平动开启的烘烤箱上盖（201），在烘烤腔（212）内固定安装有加热板组件，该加热板组件包括自上向下依次叠置的加热面板（207）、加热板（208）和加热托板（209），加热板（208）由若干电加热板单元拼接而成，每一加热板（208）对应一加热托板（209）；所述烘烤箱壁（214）上至少设置有一烘烤箱门(203)，该烘烤箱门（203）通过箱门密闭器（204）安装于箱门摆轴（205）上；所述烘烤箱上盖（201）上设置有用于垂直平动上抬烘烤箱上盖（201）的平抬气缸（215）和用于向下平压烘烤箱上盖（201）的平压气缸（216），该平抬气缸（215）和平压气缸（216）成对设置；所述加热面板（207）上均布有若干基板托钉（222），该基板托钉（222）的顶部距加热面板（207）的间距L=0.26-0.34mm；

所述基板顶升装置（4）的顶升架上安装有顶针托盘（415），在顶针托盘（415）的上方设置有顶升杆（401），顶升杆（401）穿过加热托板（209）、加热板（208）和加热面板（207）伸至烘烤腔（212）内，所述顶升架滑动设置于烘烤箱支承架（301）的下方，固定安装于烘烤箱支承架（301）上的摆轴驱动箱（409）驱动顶升摆臂（405），位于顶升摆臂（405）外伸端的顶升滑销（408）滑动设置于顶升座（404）上的顶升滑槽（412）内，该顶升座（404）固定安装于所述顶升架上；

所述供风系统（5）的净风输入口（501）与净风系统（6）相连通，所述净风输入口（501）端连通有电加热器（502），该电加热器（502）的热风出口并联有热风供给阀（503）和热风排放阀（504），热风供给阀（503）通过烘烤箱供风盒（505）通向烘烤箱（2）的烘烤腔（212），热风排放阀（504）则连向排风管（509）；

所述净风系统（6）包括滤清器（603），该滤清器（603）经净风控制阀（605）连向供风系统（5）的净风输入口（501）；

所述排风系统（7）包括排风盒（701），该排风盒（701）与烘烤箱（2）的烘烤腔（212）相连通，排风盒（701）上的烘烤箱排风口（706）经集风管（704）连向排风口（705）。

2.根据权利要求1所述的显示器玻璃基板烘烤设备，其特征在于：所述加热板（208）的电加热板单元为可调温电热板，所述加热托板（209）通过加热支柱（211）支承于烘烤箱底板（210）上。

3.根据权利要求1所述的显示器玻璃基板烘烤设备，其特征在于：所述箱门密闭器（204）包括固定安装于箱门摆轴（205）上的箱门摆杆（218），在箱门摆杆（218）上铰连有箱门铰支座（220），该箱门铰支座（220）与烘烤箱门（203）固定连接，在箱门摆杆（218）上还安装有箱门倾角螺栓（219），该箱门倾角螺栓（219）的外伸端抵接于烘烤箱门（203）上。

4.根据权利要求3所述的显示器玻璃基板烘烤设备，其特征在于：所述箱门摆杆（218）上安装有两根箱门倾角螺栓（219），该两根箱门倾角螺栓（219）分别位于箱门铰支座（220）铰支点的两侧。

5.根据权利要求1所述的显示器玻璃基板烘烤设备，其特征在于：所述烘烤箱供风盒（505）的供风管腔（513）内固定设置有供风挡板（512），该供风挡板（512）的位置与烘烤箱供风盒（505）的供风口（511）相对应。

6.根据权利要求1所述的显示器玻璃基板烘烤设备，其特征在于：所述热风供给阀（503）和热风排放阀（504）为电磁阀；所述净风控制阀（605）为电动阀，所述滤清器（603）为滤芯式空气滤清器；所述滤清器（603）和净风控制阀（605）之间连通有传感器（604）；所述排风口（705）设置有排量控制闸门。

7.根据权利要求1所述的显示器玻璃基板烘烤设备，其特征在于：所述摆轴驱动箱（409）有两只，顶升电机（411）通过顶升驱动轴（410）与该两摆轴驱动箱（409）传动连接；摆轴驱动箱（409）的输出轴与对应的顶升摆轴（407）传动连接，在顶升摆轴（407）的两端均固定设置有顶升摆臂（405），顶升摆臂（405）外伸端的顶升滑销（408）设置于对应顶升座（404）的顶升滑槽 （412）中。

8.根据权利要求1所述的显示器玻璃基板烘烤设备，其特征在于：所述烘烤箱支承架（301）由支架横梁和支架纵梁相互固定连接而成框式结构，所述滑动导轨（303）为直线滑动导轨。

9.根据权利要求1所述的显示器玻璃基板烘烤设备，其特征在于：所述顶升架由相互交叉的顶升纵梁(402)和顶升横梁（403）固定连接而成；顶升架通过升降导套（305）滑动支承于升降导杆（304）上，该升降导杆（304）固定连接于烘烤箱支承架（301）上。