CN220547218U - 一种新型涂布产线 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种新型涂布产线，包括输送平台和烘烤装置，输送平台左端是进口端，且输送平台右端是出口端，同时输送平台上自左往右依次设置涂布装置和烘烤装置，所述烘烤装置上的烘烤箱顶部活动安装调节轮，且调节轮的转轴与螺杆进行固定，同时螺杆螺接在驱动框上开设的螺接孔中，并且驱动框底部与连接板焊接，连接板远离驱动框的一面与烘烤组件螺接固定，烘烤箱底部内壁上安装温度传感器。该新型涂布产线，烘烤组件与晶圆片之间的距离可通过转动调节轮进行调节，通过对烘烤组件与晶圆片之间的距离进行调节，来对晶圆片表面所受的温度进行控制，取代通过增加或者减低烘烤组件的输送功率的调节方式，更加的节能环保。

Description

一种新型涂布产线

技术领域

本实用新型涉及涂布产线领域，具体为一种新型涂布产线。

背景技术

一般晶圆片或LED基板为了进行后续的蒸镀、显影等制程，故晶圆片或LED基板会先进行溶剂(如光阻)的涂布，使用者需长时间等待，使在该晶圆片或LED基板表面的溶剂挥发，待该晶圆片或LED基板表面的溶剂挥发后，将该晶圆片或LED基板置入一烤箱中烘烤，藉以使溶剂的化学物质能够固化于该晶圆片或LED基板表面。

然而，因为该晶圆片或LED基板表面的溶剂挥发速度较慢，导致晶圆片或LED基板需在烤箱中长时间的烘烤，不仅造成整体制造流程缓慢，也导致制程过程中的能源浪费，故现有晶圆片或LED基板的涂布产线系统诚有改良的必要。

为解决上述问题，经过检索，现有技术公开(申请号：CN201720982246.2)一种涂布产线系统；文中提出“该真空烘烤装置设置于该平台的出口端，该真空烘烤装置与该机械手臂为间隔设置，其中，该真空烘烤装置能够以抽真空方式抽取一晶圆片中溶剂中的大部分挥发性成分，且该真空烘烤装置将已抽取完成大部分挥发性成分的晶圆片加热。”

真空烘烤装置在对晶圆片进行加热的时候，其温度的调节只能通过增加或者降低加热装置的功率来实现，耗电量大，无法实现节能环保的目的。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种新型涂布产线，以解决上述背景技术中提到的缺陷。

为实现上述目的，提供一种新型涂布产线，包括输送平台和烘烤装置，输送平台左端是进口端，且输送平台右端是出口端，同时输送平台上自左往右依次设置涂布装置和烘烤装置，所述烘烤装置上的烘烤箱顶部活动安装调节轮，且调节轮的转轴与螺杆进行固定，同时螺杆螺接在驱动框上开设的螺接孔中，并且驱动框底部与连接板焊接，连接板远离驱动框的一面与烘烤组件螺接固定，烘烤箱底部内壁上安装温度传感器，烘烤装置包括烘烤箱和烘烤组件。

优选的，所述烘烤箱的外侧安装显示面板，且显示面板与温度传感器电性连接。

优选的，所述驱动框为金属材质制造而成的“U”形结构，且驱动框的内部安装固定板，同时固定板的两侧均焊接内壁固定座。

优选的，所述内壁固定座远离固定板的一端螺接在烘烤装置内壁上，且驱动框和固定板错开设置，螺杆远离调节轮的一端活动安装在固定板表面中部位置。

优选的，所述固定板与烘烤箱顶板之间均匀通过四组导向杆进行连接，且导向杆插接在驱动框顶部开设的导向穿孔中，导向杆与螺杆平行设置。

优选的，所述烘烤组件在烘烤箱的内部为升降结构。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：烘烤组件与晶圆片之间的距离可通过转动调节轮进行调节，通过对烘烤组件与晶圆片之间的距离进行调节，来对晶圆片表面所受的温度进行控制，取代通过增加或者减低烘烤组件的输送功率的调节方式，更加的节能环保。

附图说明

图1为本实用新型结构正视示意图；

图2为本实用新型结构烘烤装置示意图；

图3为本实用新型结构烘烤装置内部的烘烤组件移动至最高点示意图；

图4为本实用新型结构图2的俯剖图。

图中标号：1、输送平台；2、涂布装置；3、进口端；4、烘烤装置；41、烘烤箱；42、调节轮；43、导向杆；44、螺杆；45、导向孔；46、驱动框；47、固定板；48、内壁固定座；49、连接板；50、烘烤组件；51、温度传感器；52、显示面板；5、出口端。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种新型涂布产线，包括输送平台1和烘烤装置4，输送平台1左端是进口端3，且输送平台1右端是出口端5，同时输送平台1上自左往右依次设置涂布装置2和烘烤装置4，烘烤装置4上的烘烤箱41顶部活动安装调节轮42，且调节轮42的转轴与螺杆44进行固定，同时螺杆44螺接在驱动框46上开设的螺接孔中，并且驱动框46底部与连接板49焊接，连接板49远离驱动框46的一面与烘烤组件50螺接固定，烘烤箱41底部内壁上安装温度传感器51，烘烤装置4包括烘烤箱41和烘烤组件50。

工作原理：在使用的时候，晶圆片在输送平台1上进行移动，

涂布装置2能于一晶圆片顶面进行溶剂的涂布，晶圆片涂布完毕之后，通过烘烤装置4进行烘干；

烘烤装置4在对移动至烘烤箱41内部的晶圆片进行烘烤的时候，此时烘烤箱41的内部安装烘烤组件50，烘烤组件50与晶圆片之间的距离可通过转动调节轮42进行调节，通过对烘烤组件50与晶圆片之间的距离进行调节，来对晶圆片表面所受的温度进行控制，取代通过增加或者减低烘烤组件50的输送功率的调节方式，更加的节能环保。

作为一种较佳的实施方式，烘烤箱41的外侧安装显示面板52，且显示面板52与温度传感器51电性连接。

如图2所示：显示面板52与温度传感器51电性连接，温度传感器51可对烘烤箱41内部的温度进行检测，温度数值在显示面板52上进行显示。

作为一种较佳的实施方式，驱动框46为金属材质制造而成的“U”形结构，且驱动框46的内部安装固定板47，同时固定板47的两侧均焊接内壁固定座48。

如图2-3所示：驱动框46为金属材质制造而成的“U”形结构，驱动框46与固定板47错开设置，驱动框46在升降的时候，与固定板47不会发生运动干涉。

作为一种较佳的实施方式，内壁固定座48远离固定板47的一端螺接在烘烤装置4内壁上，且驱动框46和固定板47错开设置，螺杆44远离调节轮42的一端活动安装在固定板47表面中部位置。

如图2-3所示：内壁固定座48远离固定板47的一端螺接在烘烤装置4内壁上，固定板47通过两侧的内壁固定座48固定在烘烤装置4的内部，烘烤箱41上安装真空管。

作为一种较佳的实施方式，固定板47与烘烤箱41顶板之间均匀通过四组导向杆43进行连接，且导向杆43插接在驱动框46顶部开设的导向穿孔中，导向杆43与螺杆44平行设置。

如图2-3所示：烘烤组件50与晶圆片之间的距离调节方式为：转动调节轮42，调节轮42驱动螺杆44转动，螺杆44螺接在驱动框46上，驱动连接板49、烘烤组件50进行升降，完成对烘烤组件50与晶圆片之间的距离调节工作；

调节轮42可替换为驱动电机，在进行驱动的时候，更加的省力。

作为一种较佳的实施方式，烘烤组件50在烘烤箱41的内部为升降结构。

如图2-4所示：驱动框46在进行升降的时候，其上均匀插接四组导向杆43，可对升降时候的驱动框46进行限位和导向，避免驱动框46在升降的时候发生倾斜。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种新型涂布产线，包括输送平台(1)和烘烤装置(4)，输送平台(1)左端是进口端(3)，且输送平台(1)右端是出口端(5)，同时输送平台(1)上自左往右依次设置涂布装置(2)和烘烤装置(4)，其特征在于：所述烘烤装置(4)上的烘烤箱(41)顶部活动安装调节轮(42)，且调节轮(42)的转轴与螺杆(44)进行固定，同时螺杆(44)螺接在驱动框(46)上开设的螺接孔中，并且驱动框(46)底部与连接板(49)焊接，连接板(49)远离驱动框(46)的一面与烘烤组件(50)螺接固定，烘烤箱(41)底部内壁上安装温度传感器(51)，烘烤装置(4)包括烘烤箱(41)和烘烤组件(50)。

2.根据权利要求1所述的一种新型涂布产线，其特征在于：所述烘烤箱(41)的外侧安装显示面板(52)，且显示面板(52)与温度传感器(51)电性连接。

3.根据权利要求1所述的一种新型涂布产线，其特征在于：所述驱动框(46)为金属材质制造而成的“U”形结构，且驱动框(46)的内部安装固定板(47)，同时固定板(47)的两侧均焊接内壁固定座(48)。

4.根据权利要求3所述的一种新型涂布产线，其特征在于：所述内壁固定座(48)远离固定板(47)的一端螺接在烘烤装置(4)内壁上，且驱动框(46)和固定板(47)错开设置，螺杆(44)远离调节轮(42)的一端活动安装在固定板(47)表面中部位置。

5.根据权利要求4所述的一种新型涂布产线，其特征在于：所述固定板(47)与烘烤箱(41)顶板之间均匀通过四组导向杆(43)进行连接，且导向杆(43)插接在驱动框(46)顶部开设的导向穿孔中，导向杆(43)与螺杆(44)平行设置。

6.根据权利要求1所述的一种新型涂布产线，其特征在于：所述烘烤组件(50)在烘烤箱(41)的内部为升降结构。