CN220746075U - 一种化学气相沉积炉的炉底加热装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种化学气相沉积炉的炉底加热装置，涉及气相沉积炉加热技术领域。本实用新型包括主体，所述主体的内部设有安装板，所述主体的底面开设有升降腔，升降腔内设有用于主体移动的升降机构，所述主体的内部设有用于调节加热装置大小的调节机构，且调节机构贯穿安装板，所述安装板的表面设有用于调节机构转动的旋转机构，所述调节机构包括旋转板，调节板转动使连接柱和限位块可以沿着限位槽移动，从而调节加热框架与沉积炉的水平面距离，使装置可以对不同大小的沉积炉进行加热，提高了装置的适配性，而主体内的旋转机构可以使调节机构进行旋转加热，使沉积炉的受热更加均匀，增强了装置的加热效率。

Description

一种化学气相沉积炉的炉底加热装置

技术领域

本实用新型涉及气相沉积炉加热技术领域，具体涉及一种化学气相沉积炉的炉底加热装置。

背景技术

化学气相沉积是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法，是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料的技术，包括大范围的绝缘材料，大多数金属材料和金属合金材料，在化学气相沉积的时候，将两种气态的原材料通入到沉积炉，而沉积炉的底部需要加热装置进行加热，而如公告号为CN208328101U的实用新型公开了一种立式化学气相沉积炉炉底加热装置，包括炉底盖板，炉底盖板的下方设有保温层，保温层的上表面开设有凹槽，凹槽内设有发热元件，发热元件的两端分别连接一根加热电极，加热电极的一端与发热元件连接，加热电极的另一端从炉底保温层的底部伸出，且加热电极的另一端固定在电极安装座上，保温层的底部设有进气口，炉底盖板上设有出气口，出气口与进气口通过炉膛进气管道连接。本实用新型解决了目前气相沉积炉炉膛温度均匀性差和炉底温度偏低的问题。

现有的化学气相沉积炉的炉底加热装置，一种加热装置只能加热一种型号大小的沉积炉，导致加热装置的适配性较差，提高了沉积炉的加热成本，而且现有的沉积炉加热装置对沉积炉的加热不够均匀，加热效果较差。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：为解决沉积炉加热装置的适配性较差、加热不够均匀的问题，本实用新型提供了一种化学气相沉积炉的炉底加热装置。

本实用新型为了实现上述目的具体采用以下技术方案：

一种化学气相沉积炉的炉底加热装置，包括主体，所述主体的内部设有安装板，所述主体的底面开设有升降腔，所述升降腔内设有用于主体移动的升降机构，所述主体的内部设有用于调节加热装置大小的调节机构，且调节机构贯穿安装板，所述安装板的表面设有用于调节机构转动的旋转机构。

进一步地，所述调节机构包括旋转板，所述旋转板的底面设有调节电机，所述旋转板的顶面开设有限位槽，所述旋转板的顶面设有调节板，且调节板与调节电机的输出端固定连接，所述旋转板的表面阵列开设有弧形槽，所述旋转板的顶面设有加热框架，所述加热框架的底部设有连接柱，所述连接柱的底面设有限位块，且限位块和连接柱分别与弧形槽活动连接。

进一步地，所述旋转板的顶面阵列设有导向框架，所述加热框架与连接柱之间设有导向块，且导向块与连接柱转动连接，且导向块与导向框架滑动连接，所述加热框架内均匀设有加热棒。

进一步地，所述旋转机构包括旋转电机，且旋转电机固定在安装板的底面，且旋转电机的输出端贯穿安装板，所述旋转电机的输出端设有传动齿轮，所述旋转板的侧面设有齿轮条，且传动齿轮与齿轮条相互啮合。

进一步地，所述升降机构包括液压缸，所述液压缸的底面设有支撑板，且支撑板与升降腔活动连接，所述支撑板的底面阵列设有万向轮，且万向轮与支撑板活动连接。

进一步地，所述主体的表面开设有调节槽，且调节槽贯穿升降腔的侧面，所述液压缸的表面设有调节杆，且调节杆分别与调节槽和液压缸活动连接。

进一步地，所述主体的内侧开设有升降槽，所述升降槽内设有升降丝杆，且升降丝杆与安装板螺纹连接，所述主体的顶面设有升降电机，且升降电机的输出端与升降丝杆的顶端固定连接。

进一步地，所述主体的表面分别设有推杆和控制器，且控制器分别与调节电机、旋转电机、加热棒和升降电机电性连接。

本实用新型的有益效果如下：

本实用新型在主体的内部设有调节机构，当沉积炉通过外部机构悬空放入主体内后，调节机构中，在调节电机的带动下，调节板转动使连接柱和限位块可以沿着限位槽移动，从而调节加热框架与沉积炉的水平面距离，使装置可以对不同大小的沉积炉进行加热，提高了装置的适配性，而主体内的旋转机构可以使调节机构进行旋转加热，使沉积炉的受热更加均匀，增强了装置的加热效率。

附图说明

图1是本实用新型立体结构示意图；

图2是本实用新型的整体剖视图；

图3是本实用新型的整体结构分解图；

图4是本实用新型的俯视图；

图5是本实用新型调节机构的结构分解图；

附图标记：1、主体；2、调节机构；201、加热棒；202、限位块；203、连接柱；204、调节板；205、限位槽；206、齿轮条；207、加热框架；208、导向块；209、弧形槽；210、导向框架；211、旋转板；212、调节电机；3、控制器；4、推杆；5、调节槽；6、升降机构；601、调节杆；602、万向轮；603、支撑板；604、液压缸；7、旋转机构；701、旋转电机；702、传动齿轮；8、升降槽；9、升降丝杆；10、升降腔；11、安装板；12、升降电机。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型实施方式的描述中，需要说明的是，术语“内”、“外”、“上”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

如图1、图2和图3所示，一种化学气相沉积炉的炉底加热装置，包括主体1，主体1的内部设有安装板11，主体1的底面开设有升降腔10，升降腔10内设有用于主体1移动的升降机构6，主体1的内部设有用于调节加热装置大小的调节机构2，且调节机构2贯穿安装板11，安装板11的表面设有用于调节机构2转动的旋转机构7，在调节电机212的带动下，调节板204转动使连接柱203和限位块202可以沿着限位槽205移动，从而调节加热框架207与沉积炉的水平面距离，使装置可以对不同大小的沉积炉进行加热，提高了装置的适配性，而主体1内的旋转机构7可以使调节机构2进行旋转加热，使沉积炉的受热更加均匀，增强了装置的加热效率。

如图1、图2和图5所示，调节机构2包括旋转板211，旋转板211的底面设有调节电机212，旋转板211的顶面开设有限位槽205，旋转板211的顶面设有调节板204，且调节板204与调节电机212的输出端固定连接，旋转板211的表面阵列开设有弧形槽209，旋转板211的顶面设有加热框架207，加热框架207的底部设有连接柱203，连接柱203的底面设有限位块202，且限位块202和连接柱203分别与弧形槽209活动连接，旋转板211的顶面阵列设有导向框架210，加热框架207与连接柱203之间设有导向块208，且导向块208与连接柱203转动连接，且导向块208与导向框架210滑动连接，加热框架207内均匀设有加热棒201，在调节电机212的带动下，弧形槽209会推动导向柱沿着限位槽205移动，然后在导向框架210的作用下，加热框架207不会随着连接柱203的转动而转动，从而调节了加热框架207之间的距离。

如图2、图3和图4所示，旋转机构7包括旋转电机701，且旋转电机701固定在安装板11的底面，且旋转电机701的输出端贯穿安装板11，旋转电机701的输出端设有传动齿轮702，旋转板211的侧面设有齿轮条206，且传动齿轮702与齿轮条206相互啮合，在旋转电机701的带动下，加热框架207内的加热棒201在沉积炉的表面均匀旋转，使沉积炉的受热更加均匀。

如图1和图2所示，升降机构6包括液压缸604，液压缸604的底面设有支撑板603，且支撑板603与升降腔10活动连接，支撑板603的底面阵列设有万向轮602，且万向轮602与支撑板603活动连接，主体1的表面开设有调节槽5，且调节槽5贯穿升降腔10的侧面，液压缸604的表面设有调节杆601，且调节杆601分别与调节槽5和液压缸604活动连接，通过踩压调节杆601可以调节液压缸604的行程高度，便于将支撑板603底面的万向轮602收入或顶出升降腔10，便于装置整体的稳定工作和快速移动。

如图1、图2和图3所示，主体1的内侧开设有升降槽8，升降槽8内设有升降丝杆9，且升降丝杆9与安装板11螺纹连接，主体1的顶面设有升降电机12，且升降电机12的输出端与升降丝杆9的顶端固定连接，通过升降电机12和升降丝杆9的作用可以使调节机构2上下移动，便于调节加热框架207与沉积炉底面的距离，主体1的表面分别设有推杆4和控制器3，且控制器3分别与调节电机212、旋转电机701、加热棒201和升降电机12电性连接。

综上：装置工作时，在调节电机212的带动下，调节板204转动使连接柱203和限位块202可以沿着限位槽205移动，从而调节加热框架207与沉积炉的水平面距离，使装置可以对不同大小的沉积炉进行加热，提高了装置的适配性，而主体1内的旋转机构7可以使调节机构2进行旋转加热，使沉积炉的受热更加均匀，增强了装置的加热效率，弧形槽209会推动导向柱沿着限位槽205移动，然后在导向框架210的作用下，加热框架207不会随着连接柱203的转动而转动，从而调节了加热框架207之间的距离，在旋转电机701的带动下，加热框架207内的加热棒201在沉积炉的表面均匀旋转，使沉积炉的受热更加均匀，通过踩压调节杆601可以调节液压缸604的行程高度，便于将支撑板603底面的万向轮602收入或顶出升降腔10，便于装置整体的稳定工作和快速移动，通过升降电机12和升降丝杆9的作用可以使调节机构2上下移动，便于调节加热框架207与沉积炉底面的距离。

上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (7)

1.一种化学气相沉积炉的炉底加热装置，其特征在于，包括主体(1)，所述主体(1)的内部设有安装板(11)，所述主体(1)的底面开设有升降腔(10)，所述升降腔(10)内设有用于主体(1)移动的升降机构(6)，所述主体(1)的内部设有用于调节加热装置大小的调节机构(2)，且调节机构(2)贯穿安装板(11)，所述安装板(11)的表面设有用于调节机构(2)转动的旋转机构(7)，所述调节机构(2)包括旋转板(211)，所述旋转板(211)的底面设有调节电机(212)，所述旋转板(211)的顶面开设有限位槽(205)，所述旋转板(211)的顶面设有调节板(204)，且调节板(204)与调节电机(212)的输出端固定连接，所述旋转板(211)的表面阵列开设有弧形槽(209)，所述旋转板(211)的顶面设有加热框架(207)，所述加热框架(207)的底部设有连接柱(203)，所述连接柱(203)的底面设有限位块(202)，且限位块(202)和连接柱(203)分别与弧形槽(209)活动连接。

2.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积炉的炉底加热装置，其特征在于，所述旋转板(211)的顶面阵列设有导向框架(210)，所述加热框架(207)与连接柱(203)之间设有导向块(208)，且导向块(208)与连接柱(203)转动连接，且导向块(208)与导向框架(210)滑动连接，所述加热框架(207)内均匀设有加热棒(201)。

3.根据权利要求2所述的一种化学气相沉积炉的炉底加热装置，其特征在于，所述旋转机构(7)包括旋转电机(701)，且旋转电机(701)固定在安装板(11)的底面，且旋转电机(701)的输出端贯穿安装板(11)，所述旋转电机(701)的输出端设有传动齿轮(702)，所述旋转板(211)的侧面设有齿轮条(206)，且传动齿轮(702)与齿轮条(206)相互啮合。

4.根据权利要求3所述的一种化学气相沉积炉的炉底加热装置，其特征在于，所述升降机构(6)包括液压缸(604)，所述液压缸(604)的底面设有支撑板(603)，且支撑板(603)与升降腔(10)活动连接，所述支撑板(603)的底面阵列设有万向轮(602)，且万向轮(602)与支撑板(603)活动连接。

5.根据权利要求4所述的一种化学气相沉积炉的炉底加热装置，其特征在于，所述主体(1)的表面开设有调节槽(5)，且调节槽(5)贯穿升降腔(10)的侧面，所述液压缸(604)的表面设有调节杆(601)，且调节杆(601)分别与调节槽(5)和液压缸(604)活动连接。

6.根据权利要求5所述的一种化学气相沉积炉的炉底加热装置，其特征在于，所述主体(1)的内侧开设有升降槽(8)，所述升降槽(8)内设有升降丝杆(9)，且升降丝杆(9)与安装板(11)螺纹连接，所述主体(1)的顶面设有升降电机(12)，且升降电机(12)的输出端与升降丝杆(9)的顶端固定连接。

7.根据权利要求6所述的一种化学气相沉积炉的炉底加热装置，其特征在于，所述主体(1)的表面分别设有推杆(4)和控制器(3)，且控制器(3)分别与调节电机(212)、旋转电机(701)、加热棒(201)和升降电机(12)电性连接。