CN219597198U - 玻璃基板控温烘烤箱 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种玻璃基板控温烘烤箱，在所述烘烤箱体的箱腔内安装有加热板，在所述烘烤箱体的下方设置有基板顶升架，安装于基板顶升上的顶升杆穿过烘烤箱体的烘烤箱底板伸入烘烤箱体的箱腔内；所述加热板包括有若干加热板单元，该加热板单元包括半导体加热板，在半导体加热板上依次包覆有陶瓷涂覆层和防静电涂覆层；所述基板顶升架上固定连接有升降槽板，在升降槽板的槽孔内活动设置有升降偏心轮，该升降偏心轮固定安装于偏心轮轴上，偏心轮轴由顶升驱动电机驱动。半导体加热板为PTC半导体电加热板。升降槽板的槽孔宽B等于升降偏心轮的直径D。该玻璃基板控温烘烤箱，不仅能够方便调节和控制烘烤箱内温度；而且顶升机构结构简单。
Description
技术领域
本实用新型涉及液晶平板显示器生产设备，尤其是对涂布光阻剂的平板玻璃基板进行预烘烤的烘烤箱结构的改进。
背景技术
液晶显示器制造用烘烤箱是对涂有光阻剂玻璃基板进行预烘烤的设备，其功能主要是对均匀涂布有光阻剂的导电玻璃基板，在一定温度下进行一段时间的烘烤，以使光阻剂中溶剂挥发，增加与玻璃表面粘附性后，再经曝光显影、坚膜、刻蚀、去膜及清洁干燥等工序而完成ITO图形刻蚀。
目前玻璃基板烘烤箱主要包括有箱体和箱盖，在烘烤箱的箱腔内固定安装有加热板，在烘烤箱下方放置有基板顶升机构，该基板顶升机构的顶升杆伸入到烘烤箱的箱腔内以便对烘烤玻璃基板进行顶升操作。如本申请人于2022年9月16日申请的“移动式显示基板预烘烤箱单元”，申请号：202211126335.9；在实际运行中上述结构仍存在一些不足，如其加热板元件加热温升较慢，并且容易在烘烤腔内形成区域温度差异和温度梯度，尤其是当烘烤基板送入或移出烘烤箱时其箱腔内的温度很难控制或快速恢复至稳定的温度值，其烘烤腔内的温度起伏和区域温度差异，使得玻璃基板上光阻剂胶膜内溶剂不能充分挥发而造成图形变形或胶膜翘曲硬化；箱腔内温度的不断波动变化还会在玻璃基板上引起热应力和静电积聚，导致基板玻璃的开裂和破碎，造成烘烤废品。其基板顶升机构采用电机驱动且平行布置的双曲柄滑块机构，由于曲柄滑块机构运动件的上升和下降过程中，运动速度和受力大小是在不断变化的，加之现的双曲柄滑块机构较为复杂，传动路径轻长，因而很容易出现运动间隙，使其运动精度变低，导致顶升杆顶升和下降运动打顿，造成玻璃的冲击破损。
实用新型内容
针对现有技术所存在的上述不足，本实用新型所要解决的技术问题是提供一种玻璃基板控温烘烤箱，不仅能够方便调节和控制烘烤箱内温度；而且顶升机构结构简单。
为了解决上述技术问题，本实用新型的玻璃基板控温烘烤箱，包括箱体支架，以及固定安装于箱体支架上的烘烤箱体，在所述烘烤箱体的箱腔内安装有加热板，在所述烘烤箱体的下方设置有基板顶升架，安装于基板顶升上的顶升杆穿过烘烤箱体的烘烤箱底板伸入烘烤箱体的箱腔内；所述加热板包括有若干加热板单元，该加热板单元包括半导体加热板，在半导体加热板上依次包覆有陶瓷涂覆层和防静电涂覆层；所述基板顶升架上固定连接有升降槽板，在升降槽板的槽孔内活动设置有升降偏心轮，该升降偏心轮固定安装于偏心轮轴上，偏心轮轴由顶升驱动电机驱动。
优选地，所述加热板固定安装于加热托承板上，该加热托承板固定支承于烘烤箱体的烘烤箱底板上。
优选地，所述半导体加热板为PTC半导体电加热板。
优选地，所述基板顶升架上固定安装有升降导套，在升降导套的套孔中滑动穿装有升降导杆，升降导杆的一端固定连接于箱体支架上。
优选地，所述升降导杆的另一端固定连接有导杆连接板。
优选地，所述升降槽板的槽孔宽B等于升降偏心轮的直径D。
优选地，所述升降偏心轮为圆盘轮，该圆盘轮偏心地固定安装于偏心轮轴上。
优选地，所述箱体支架通过支架座安装于机架上，所述顶升驱动电机也安装于机架上，所述偏心轮轴通过轮轴座转动支承于机架上。
优选地，所述顶升驱动电机为减速电机。
优选地，所述烘烤箱体包括有烘烤箱壁、烘烤箱底板和烘烤箱盖。
在上述结构中，由于加热板是由多个加热板单元拼装而成的，因而可以方便控制各加热板单元的加热温升和加热时长，以保证烘烤腔内各区域温度值的均衡一致；加热板单元采用半导体加热板，加热温升快，并利用半导体加热器的恒温省电特性，加热器件和烘烤箱温度的自动恒定，以在烘烤腔内形成稳定一致的温度场。又由于在加热板单元上依次包覆有陶瓷涂覆层和防静电涂覆层，陶瓷涂覆层不仅具有优良的绝缘和导热性能，而且耐磨、耐蚀，满足加热板耐高温、高强和良好导热性能的综合要求，能大大提高加热板的使用寿命；而采用防静电涂层能够有效防止静电荷和静电压的积蓄，避免静电积聚导致的基板玻璃开裂和破损，提高烘烤成品率。还由于基板顶升架采用了偏心轮驱动机构，大大减少了运动部件，简化了驱动机构的结构，驱动路径变短，有效提高了顶升机构的运动精度，避免了顶升速度波动对基板所带来的不利冲击损坏，更便于使用和维护。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型玻璃基板控温烘烤箱作进一步说明。
图1是本实用新型玻璃基板控温烘烤箱一种具体实施方式的剖面结构示意图；
图2是图1所示实施方式中升降驱动机构的正视结构示意图；
图3是图2的俯视结构示意图；
图4是图1所示实施方式中加热板的俯视图；
图5是图4中加热板单元的剖面结构示意图。
图中，1—箱体支架，2—基板顶升架，3—升降导套，4—升降导杆，5—导杆连接板，6—升降槽板，7—升降偏心轮，8—偏心轮轴，9—烘烤箱底板，10—支架座，11—烘烤箱壁，12—烘烤箱盖，13—加热板，14—加热托承板，15—顶升杆，16—顶升杆支座，17—顶升驱动电机，18—加热板单元，19—顶杆孔，20—半导体加热板，21—陶瓷涂覆层，22—防静电涂覆层，23—电源插口，24—轮轴座。
具体实施方式
如图1所示的玻璃基板控温烘烤箱，该控温烘烤箱的烘烤箱体固定安装于箱体支架1上，烘烤箱体的烘烤箱壁11和烘烤箱底板9围成凹形腔，该凹形腔呈开口向上的矩形盒状，在凹形腔的腔口位置还安装有烘烤箱盖12。烘烤箱壁11、烘烤箱底板9和烘烤箱盖12均由对应铝合金型材骨架、面板和填充在骨架与面板间的保温隔热材料构成，以提高箱壁和底板的强度及隔热性能。烘烤箱体通过其烘烤箱底板9固定安装于箱体支架1上，箱体支架1由铝合金型材固定连接成板框结构；箱体支架1通过支架座10固定支承于机架上（图中未示出）。箱体支架1的下方还活动设置有基板顶升架2，基板顶升架2也是由铝合金型材固定连接成板框结构；基板顶升架2上固定安装有四个升降导套3，每一升降导套3的套孔内均滑动套装有一升降导杆4，每一升降导杆4的上端均固定连接于箱体支架1上，在四根升降导杆4的下伸端固定连接有导杆连接板5，该导杆连接板5用以增强四根升降导杆4的刚性和导向稳定性。在基板顶升架2的下侧面固定连接有两个相距设置的升降槽板6。
在烘烤箱体的箱腔内固定安装有加热板13，加热板13固定安装于加热托承板14上，加热托承板14为不锈钢平板，该加热托承板14通过若干根加热板支柱固定支承于烘烤箱体的烘烤箱底板9上。
基板顶升架2上通过顶升杆支座16安装有顶升杆15，顶升杆15依次穿过烘烤箱体的烘烤箱底板9及加热板13和加热托承板14伸入烘烤箱体的箱腔内。
如图2及图3所示，在升降槽板6上设置有腰形槽孔，升降槽板6的腰形槽孔内设置有可转动的升降偏心轮7，升降槽板6腰形槽孔的槽孔宽B等于升降偏心轮7的直径D，使得升降偏心轮7始终与升降槽板6腰形槽孔的相对两孔壁滑动接触，以保证基板顶升架2能平稳地进行升降。升降偏心轮7为圆盘辊轮，该圆盘辊轮偏心地固定安装于可转动的偏心轮轴8上，偏心轮轴8由顶升驱动电机17驱动，顶升驱动电机17采用减速电机；顶升驱动电机17安装于机架上，偏心轮轴8通过轮轴座24转动支承于机架上。
如图4及图5所示，加热板13包括有25块加热板单元18，即25块加热板单元18拼装连接成一完整的加热板13，在加热板13上设置有用于穿过顶升杆15的顶杆孔19。加热板单元18包括半导体加热板20，半导体加热板20为PTC半导体电加热板。在半导体加热板20上包覆有陶瓷涂覆层21，陶瓷涂覆层21由陶瓷涂料涂覆而成。陶瓷涂覆层21上包覆有防静电涂覆层22，该防静电涂覆层22由防静电涂料涂覆而成。每一块加热板单元18设置有电源插口23，以便供给加热板单元18电能。
Claims (10)
1.一种玻璃基板控温烘烤箱，包括箱体支架(1)，以及固定安装于箱体支架(1)上的烘烤箱体，在所述烘烤箱体的箱腔内安装有加热板(13)，在所述烘烤箱体的下方设置有基板顶升架(2)，安装于基板顶升架(2)上的顶升杆(15)穿过烘烤箱体的烘烤箱底板(9)伸入烘烤箱体的箱腔内；其特征在于：所述加热板(13)包括有若干加热板单元(18)，该加热板单元(18)包括半导体加热板(20)，在半导体加热板(20)上依次包覆有陶瓷涂覆层(21)和防静电涂覆层(22)；所述基板顶升架(2)上固定连接有升降槽板(6)，在升降槽板(6)的槽孔内活动设置有升降偏心轮(7)，该升降偏心轮(7)固定安装于偏心轮轴(8)上，偏心轮轴(8)由顶升驱动电机(17)驱动。
2.根据权利要求1所述的玻璃基板控温烘烤箱，其特征在于：所述加热板(13)固定安装于加热托承板(14)上，该加热托承板(14)固定支承于烘烤箱体的烘烤箱底板(9)上。
3.根据权利要求1所述的玻璃基板控温烘烤箱，其特征在于：所述半导体加热板(20)为PTC半导体电加热板。
4.根据权利要求1所述的玻璃基板控温烘烤箱，其特征在于：所述基板顶升架(2)上固定安装有升降导套(3)，在升降导套(3)的套孔中滑动穿装有升降导杆(4)，升降导杆(4)的一端固定连接于箱体支架(1)上。
5.根据权利要求4所述的玻璃基板控温烘烤箱，其特征在于：所述升降导杆(4)的另一端固定连接有导杆连接板(5)。
6.根据权利要求1所述的玻璃基板控温烘烤箱，其特征在于：所述升降槽板(6)的槽孔宽B等于升降偏心轮(7)的直径D。
7.根据权利要求1或6所述的玻璃基板控温烘烤箱，其特征在于：所述升降偏心轮(7)为圆盘轮，该圆盘轮偏心地固定安装于偏心轮轴(8)上。
8.根据权利要求1所述的玻璃基板控温烘烤箱，其特征在于：所述箱体支架(1)通过支架座(10)安装于机架上，所述顶升驱动电机(17)也安装于机架上，所述偏心轮轴(8)通过轮轴座(24)转动支承于机架上。
9.根据权利要求1或8所述的玻璃基板控温烘烤箱，其特征在于：所述顶升驱动电机(17)为减速电机。
10.根据权利要求1所述的玻璃基板控温烘烤箱，其特征在于：所述烘烤箱体包括有烘烤箱壁(11)、烘烤箱底板(9)和烘烤箱盖(12)。
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