CN115787071A - 一种提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置 - Google Patents

Abstract

一种提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置，涉及人工晶体材料制备领域，本发明通过在下加热器(9)的下方设置可以上下升降的保温板，有效的降低了下加热器热量的散失，进而保证了在不提高侧加热器(5)或下加热器加热功率的同时就能实现坩埚(18)内熔液温度不变的目的，进而实现了降低加热时能耗，提高了晶体的拉制效率等，本发明具有结构简便，运行稳定等特点，适合大范围的推广和应用。

Description

一种提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置

技术领域

本发明涉及人工晶体材料制备领域，具体涉及一种提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置。

背景技术

人工晶体炉是制备人工晶体材料时的专用设备，其中人工晶体炉的核心技术为如何控制坩埚内熔液的温度梯度，也就是说在人工晶体材料制备时如何提供一个合适的热场是其中的关键技术之一，以制备晶体硅的晶体炉为例，多/单晶硅在整个生产过程中，直径为8mm～12mm的柱状硅棒使用量非常大，在实际生产过程中，发现柱状硅棒制备过程中出现的余料，不小心折断的硅棒，多/单晶硅生产企业在切割、破碎等工艺阶段产生的碎料等处理非常繁琐，很多企业为了图省事，直接将上述碎料丢弃或者长期堆放在仓库中，还有一些企业将上述碎料进行回收，通过直拉炉拉制成硅棒，然后通过多线切割机将硅棒切成复数根尺寸为8mm*8mm或10mm*10mm的柱状硅棒，这样不仅增加了柱状硅棒的生产成本，在切割过程中还增加了杂质引入，在降低产品质量的同时，还造成了较大的资源浪费等，那么如何将碎硅料进行再利用就成了本领域技术人员的长期技术诉求。

发明人通过检索发现，采用直拉法拉制硅棒的技术已经非常成熟，并在人工晶体制备领域得到了广泛的应用，但是现有直拉法在拉制硅棒时，首先将硅料放置在坩埚内，然后启动加热器对坩埚内的硅料进行加热，此时，由于现有结构的环状加热器套接在坩埚的外围，在对坩埚加热时，热量是从坩埚的埚壁向坩埚的中心传递，坩埚的埚壁因靠近加热器，坩埚的中心部位远离加热器，因此坩埚的温度分布为自坩埚的内侧壁至坩埚的中心部位逐渐降低(这是本领域的技术常识)，也就是说离加热器越近，温度越高，待坩埚内的硅料熔化后，设置在坩埚中心部位上方的上提拉机构带动一根籽晶下降，当籽晶的下端头与坩埚内的熔液接触并熔为一体，此时为了确保熔液能跟随籽晶上升，通过降低加热器的加热功率，增大熔液的粘稠度(因直拉法只在坩埚的中心部位进行引晶并拉制硅棒，由于坩埚中心部位的温度本身就低于坩埚周边的温度，正利于所拉制硅棒的结晶)，然后上提拉机构带动籽晶缓慢上升，此时，熔液跟随籽晶同时上升，当粘附在籽晶上的熔液逐渐脱离坩埚内的熔液后，随着温度的降低，粘附在籽晶上的熔液逐渐结晶，进而形成所需的新的硅棒。比如中国发明专利，专利号为201320678696.4，申请日为2013年10月30日，公告号为CN203639604U，专利名称为一种软轴提拉型单晶炉；中国发明专利，专利号为202011063763.2，申请日为2020年9月30日，公告号为CN112176400A，专利名称为一种直拉法单晶炉及其熔体温度梯度控制方法。

通过进一步检索发现，本领域技术人员发现上述专利在实际应用中存在温度场温度分布不均匀的现象，为了改善因整个温度场温度分布不均匀，温度梯度大，气流紊乱，导致坩埚内材料熔化不完全的现象，提出了在坩埚的底部增加底部加热器的技术方案，如中国专利，申请号为CN201820981578.3，申请日为2018年06月25日，公开(公告)号为CN208869724U，公开(公告)日为2019年05月17日，专利名称为一种半导体单晶炉大尺寸温场，其具体公开了在所述炉腔室内设有一坩埚，所述坩埚的外壁设有一侧加热器，所述坩埚的下方还固定设有下加热器的技术方案，如说明书第【0030】段中公开的“增加了下加热器，使坩埚底部的硅料能充分受热熔化完全，使整个温场加热均匀。”等。

上述专利公开的技术方案均是采用直拉法拉制硅棒的技术方案，但上述技术方案只能实现一根硅棒的同时拉制，无法实现多根硅棒的同时拉制。

此时，发明人经过分析发现，因坩埚中心区域范围较小，此方法只能同时拉制一根硅棒，无法实现多根硅棒的同时拉制，为了实现更多根数硅棒的同时拉制，只能将硅棒的拉制区域由现有的坩埚中心部位移到坩埚中心部位的外侧(避开坩埚的中心位置)，越靠近坩埚的内壁，同时拉制硅棒的根数越多，通过反复试验发现，简单的将硅棒的拉制区域由现有的坩埚中心部位移到坩埚中心部位的外侧在硅棒拉制时主要存在如下弊端：

1、在拉制时，坩埚中心部位的熔液会随着加热功率的降低而结晶，具体为：实施时，首先将硅料放置在坩埚内，然后通过加热器对坩埚加热将坩埚内的硅料进行熔化，待坩埚内的硅料熔化后，上提拉机构带动籽晶下降，当籽晶的下端头与坩埚内的熔液接触并熔为一体后，上提拉机构带动籽晶缓慢上升，此时，为了保证熔液能跟随籽晶上升，只能通过降低加热功率的方式来增加熔液的粘稠度，而此时当坩埚中心部位外围拉制区域的温度降低至达到拉制要求的温度时，坩埚中心部位的温度本身就低于中心区域外围的温度，再降低加热器的加热功率，坩埚中心部位的熔液极易因温度达到结晶温度而发生结晶，严重时还会因坩埚中部的熔液结晶导致拉制中断等。

2、为了避免坩埚中心部位的熔液结晶，只能始终保持坩埚中心部位熔液的温度在结晶温度以上，此时处于坩埚中心部位外围的熔液温度更加高于结晶温度，为了保证硅棒的顺利拉制，只能通过降低提拉的速度来实现，最终导致硅棒拉制效率的降低。

3、无法实现坩埚中心部位与坩埚中心部位外围熔液的温度均匀等。

4、现有的下加热器均为固定式设置，下加热器无法跟随坩埚进行升降，在实际应用过程中，当坩埚逐渐上升并远离下加热时，下加热器就失去了对坩埚的加热作用，进而造成能耗的增加，也就是说当坩埚上升到一定高度后，下加热器就减弱了对坩埚的加热作用，即便是下加热器实现了与坩埚一并升降，当下加热器上升时，随着下加热器下面与炉底之间的距离不断增大，下加热器的加热热量会向下散失，此时，为了保证坩埚内熔液的温度不变，需要通过提高侧加热器或下加热器的加热功率，进而造成能耗的增加等。

因此，如何提供一种提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置就成了本领域技术人员的长期技术诉求。

发明内容

为了克服背景技术中存在的问题，本发明提供了一种提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置，本发明在下加热器的下方设置可以上下升降的保温板，有效的降低了下加热器热量的散失，进而保证了在不提高侧加热器或下加热器加热功率就能实现坩埚内熔液温度不变的目的等。

为实现上述发明目的，本发明采用如下技术方案：

一种提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置，包括侧加热器、保温板、下加热器、下加热器升降电极、下轴、坩埚和侧加热器电极，所述坩埚设置在炉体内，坩埚的下面连接下轴，在坩埚的外围设有侧加热器，所述侧加热器连接侧加热器电极，在坩埚的下方设有下加热器，所述下加热器连接下加热器升降电极，在下加热器的下方设有上下升降的保温板，通过保温板隔离下加热器的热量散失形成所述的提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置。

所述的提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置，所述保温板的外径与炉体的内壁或炉体内壁上的保温筒接近将炉体分割为上下两个腔体。

所述的提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置，所述坩埚的下面连接坩埚托盘，坩埚托盘的下端面连接下轴。

所述的提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置，所述坩埚托盘的下面设有至少一层向下延伸的上保温筒。

所述的提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置，所述保温板的上面设有至少一层向上延伸的下保温筒，下加热器处于下保温筒内。

所述的提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置，所述下加热器升降电极的外缘面上套接有保温板支撑管，在下加热器下方的保温板支撑管上设有保温板。

所述的提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置，所述保温板支撑管下端头的内缘面与下加热器升降电极外缘面之间设有绝缘隔套。

所述的提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置，所述保温板包括保温盘体、盖板和保温材料，在所述保温盘体的上面设有下轴穿孔，在所述下轴穿孔的外围设有下加热器升降电极穿孔，在保温盘体的开口端设有盖板，在保温盘体内的腔体内设有保温材料。

所述的提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置，所述保温板的替换结构为保温板为至少一层石墨板或石墨毡或碳碳复合板，在保温板的上面设有下轴穿孔，在所述下轴穿孔的外围设有下加热器升降电极穿孔。

所述的提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置，所述炉体的内壁设有侧壁保温层，在侧壁保温层的内缘面设有保温筒，在炉体的炉底上设有底部保温层，在底部保温层的上面设有底部石墨板。

所述的提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置，所述下加热器升降电极及下轴的下端头分别连接设置在炉体下方升降支撑中的升降板。

所述的提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置，所述升降支撑包括导轨、升降支撑座、升降板、螺旋升降机和升降滑块，在所述升降支撑座的立板上设有至少一根导轨，在每根导轨上分别设有升降滑块，在升降支撑座的底板上设有螺旋升降机，螺旋升降机中的升降器连接升降板形成升降单元，所述升降单元连接升降滑块，升降板连接下轴及下加热器升降电极的下端头。

由于采用如上所述的技术方案，本发明具有如下有益效果：

本发明通过在下加热器的下方设置可以上下升降的保温板，有效的降低了下加热器热量的散失，进而保证了在不提高侧加热器或下加热器加热功率的同时就能实现坩埚内熔液温度不变的目的，进而实现了降低加热时能耗，提高了晶体的拉制效率等，本发明具有结构简便，运行稳定等特点，适合大范围的推广和应用。

附图说明

图1是本发明主视结构的剖视示意图；

图2是本发明左视结构的剖视示意图；

图3是本发明实施例中坩埚处于上升状态时的结构示意图；

图4是本发明实施例中升降支撑的结构示意图；

在图中：1、底部保温层；2、底部石墨板；3、保温筒；4、侧壁保温层；5、侧加热器；6、保温盘体；7、盖板；8、保温材料；9、下加热器；10、下加热器升降电极；11、保温板支撑管；12、绝缘隔套；13、下轴；14、坩埚托盘；15、上保温筒；16、下保温筒；17、埚邦；18、坩埚；19、侧加热器连接螺栓；20、侧加热器电极；21、下加热器连接螺栓；22、升降支撑。

具体实施方式

通过下面的实施例可以更详细的解释本发明，公开本发明的目的旨在保护本发明范围内的一切变化和改进，本发明并不局限于下面的实施例；

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“侧向”、“长度”、“宽度”、“高度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“侧”等指示的方位或位置关系为基于附图1所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

结合附图1～4中所述的一种提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置，包括侧加热器5、保温板、下加热器9、下加热器升降电极10、下轴13、坩埚18和侧加热器电极20，所述坩埚18设置在炉体内，所述炉体的内壁设有侧壁保温层4，在侧壁保温层4的内缘面设有保温筒3，在炉体的炉底上设有底部保温层1，在底部保温层1的上面设有底部石墨板2，所述炉体设置在机架的上面，在机架内设有用于下加热器升降电极10升降和下轴13升降及旋转的升降支撑，坩埚18的下面连接下轴13，实施时，如图1、2、3所示，所述坩埚18的下面连接坩埚托盘14，在坩埚18的外缘面上设有埚邦17，坩埚托盘14的下端面连接下轴13；

进一步，在坩埚18的外围设有侧加热器5，所述侧加热器5通过侧加热器连接螺栓19连接侧加热器电极20，侧加热器电极20的下端头穿过炉体的炉底后连接电源，在坩埚18的下方设有下加热器9，实施时，在下加热器9上设有下轴穿孔，此时，若为了提高下轴13与坩埚托盘14连接的稳定性，首先在下轴13的上端头设置过渡连接座，通过过渡连接座连接坩埚托盘14，这样可以增加下轴13与坩埚托盘14的连接接触面积，当下轴13的上端头设置过渡连接座时，设置在下加热器9上的下轴穿孔的直径应略大于过渡连接座的直径，也就是说过渡连接座位于下轴穿孔内(具体如图1、2所示)，这样可以使下加热器9更加的靠近坩埚18，或者当下轴13的上端头设置过渡连接座时，设置在下加热器9上的下轴穿孔的直径还可以设置为略大于下轴13的直径，这样下加热器9的上面可以位于过渡连接座的下方；

进一步，所述下加热器9通过下加热器连接螺栓21连接下加热器升降电极10，下加热器9由下加热器升降电极10驱动实现上下升降，实施时，通过下加热器9的升降，可以实现在坩埚18升降时，确保下加热器9也随之一起升降，这样可以实现下加热器9始终对坩埚18进行加热，进而保证坩埚18内熔液熔液的温度不因坩埚18升降而发生变化；

进一步，在下加热器9的下方设有上下升降的保温板，通过保温板隔离下加热器9的热量散失，实施时，保温板的升降方式可以设置为在所述下加热器升降电极10的外缘面上套接有保温板支撑管11，保温板支撑管11随下加热器升降电极10一起升降，在下加热器9下方的保温板支撑管11上设有保温板，所述保温板支撑管^下端头的内缘面与下加热器升降电极10外缘面之间设有绝缘隔套12，实施时，绝缘隔套12的材质为陶瓷，这样通过绝缘隔套12将保温板支撑管11与下加热器升降电极10隔离开；通过保温板支撑管11带动保温板实现上下升降；保温板的升降方式还可以设置为保温板的下面连接升降杆，升降杆的下端穿过炉底连接设置在炉体下方升降支撑22中的升降板，在升降杆与炉底之间设置密封机构；

进一步，所述下加热器升降电极10及下轴13的下端头分别连接设置在炉体下方升降支撑22中的升降板形成下加热器升降电极10及下轴13随动的结构形式，或者下加热器升降电极10及下轴13的下端头分别连接设置在炉体下方升降支撑22中的两套升降板，两套升降板可以实现随动，也可以实现差动等。

具体实施时，保温板的直径可以设置为略大于下加热器9的直径，也可以设置为下加热器9的外径靠近但不接触炉体的内壁或炉体内壁上保温筒3，同样也可以设置为下加热器9的直径小于下加热器9的直径，也就是说在下加热器9的下方设置上下升降的保温板是本发明保护的重点，而在实施过程中，优选下加热器9的外径靠近但不接触炉体的内壁或炉体内壁上保温筒3，当所述保温板的外径与炉体的内壁或炉体内壁上的保温筒3接近将炉体分割为上下两个腔体，实施时，由于坩埚18及下加热器9的高度上升，保温板也随之上升，此时，保温板与炉底的距离也越来越大，工作时保温板与炉底之间的空腔为无功腔体，即该腔体的温度变化不会对晶体的拉制造成任何影响，保温板上方的腔体为有功腔体，该腔体的温场变化才会对坩埚内熔液的温度产生影响，因此，通过保温板的设置可以将腔体分割开，此时由于有功腔体的体积缩小，便可以实现在不增加功率的同时，就可以保证所需的温度梯度；

进一步，为了进一步提高保温效果，如图1、2、3所示，在所述坩埚托盘14的下面设有至少一层向下延伸的上保温筒15，或者在所述保温板的上面设有至少一层向上延伸的下保温筒16，下加热器9处于下保温筒16内；或者在所述坩埚托盘14的下面设有至少一层向下延伸的上保温筒15，在所述保温板的上面设有至少一层向上延伸的下保温筒16，下加热器9处于下保温筒16内，当同时设置上保温筒15及下保温筒16时，上保温筒15处于下保温筒16的外侧或者上保温筒15处于下保温筒16的内侧均可，具体应用时，下保温筒16的下端连接保温板，下保温筒16的上端头靠近坩埚18或坩埚托盘14但不能接触坩埚18或坩埚托盘14，也就是说由于在工作过程中，坩埚18是需要旋转的，不接触坩埚18或坩埚托盘14是为了不影响坩埚18或坩埚托盘14的旋转，同理，上保温筒15的上端连接坩埚18或坩埚托盘14，上保温筒15的下端头不能接触保温板，这样就可以保证坩埚18或坩埚托盘14在旋转时，上保温筒15不会与保温板发生摩擦等，实施时，若不设置坩埚托盘14，上保温筒15可以直接连接坩埚18，同样可以实现上述技术效果。

进一步，如图1、2、3所示，所述保温板包括保温盘体6、盖板7和保温材料8，在所述保温盘体6的上面设有下轴穿孔，在所述下轴穿孔的外围设有下加热器升降电极穿孔，在保温盘体6的开口端设有盖板7，在保温盘体6内的腔体内设有保温材料8，实施时，所述保温材料8可以选用石墨毡或石墨或石英棉或氧化锆或碳碳复合材料或氧化铝棉等材料。

进一步，所述保温板的替换结构为为保温板为至少一层石墨板或石墨毡或碳碳复合板，当石墨板或石墨毡或碳碳复合板设置为多层时，多层石墨板或石墨毡或碳碳复合板叠加设置，或者保温板也可以设置为石墨板与石墨毡的复合板，或者设置为石墨板与碳碳复合板的复合板，或者石墨毡与碳碳复合板的复合板，或者石墨板与石墨毡及碳碳复合板的复合板，在保温板的上面设有下轴穿孔，在所述下轴穿孔的外围设有下加热器升降电极穿孔。

进一步，如图4所示，所述升降支撑22包括导轨、升降支撑座、升降板、螺旋升降机和升降滑块，在所述升降支撑座的立板上设有至少一根导轨，在每根导轨上分别设有升降滑块，在升降支撑座的底板上设有螺旋升降机，螺旋升降机中的升降器连接升降板形成升降单元，所述升降单元连接升降滑块，升降板连接下轴13及下加热器升降电极10的下端头。

升降支撑22的工作过程为螺旋升降机中的升降器为升降螺母，其中升降螺母通过螺栓连接升降板，在升降板上设置磁流体，在磁流体上设置下轴升降波纹管，所述下轴升降波纹管的上端面连接炉底，下轴13的下端头穿过磁流体位于升降板的下方，在磁流体的上面设置支撑板，在支撑板上设置两个电极升降波纹管，两电极升降波纹管的上端面连接炉底，两下加热器升降电极10分别位于电极升降波纹管内，下加热器升降电极10的下端头固定在支撑板上，下加热器升降电极10的下端头穿过支撑板连接位于支撑板下面的电极接头在支撑板上对应下轴升降波纹管的位置设置穿孔，此时下轴升降波纹管在穿孔内并可以在穿孔内上下移动，螺旋升降机中固定箱体的第一动力输入轴连接快速升降电机，由快速升降电机驱动丝杠进行快速旋转，固定箱体的第二动力输入轴连接慢速升降减速机的动力输出轴，所述慢速升降减速机的动力输入轴连接慢速升降电机，由慢速升降电机驱动丝杠进行慢速旋转，实施时，可以在慢速升降减速机的动力输出轴与固定箱体的第二动力输入轴之间设置电磁离合器，当快速升降电机直接驱动固定箱体时，通过电磁离合器断开慢速升降减速机的动力输出轴与固定箱体的第二动力输入轴的连接，当慢速升降电机工作时，电磁离合器吸合，快速升降电机断电，快速升降电机的主轴处于空转状态，无论是快速升降还是慢速升降，由于连接下加热器的下加热器电极与连接坩埚的下轴同时设置在升降板，当升降板升降时，坩埚18与下加热器9同时升降，使下加热器9与坩埚18的距离始终保持不变，实现在不提高侧加热器或下加热器加热功率就能实现坩埚内熔液温度不变的目的。

需要说明的是，升降支撑22不是本发明保护的重点，涉及到升降支撑22的具体结构，本发明人已另行申报专利，同时升降支撑22也可以选用现有的升降支撑结构，只要是能实现坩埚18升降的升降支撑均可，在此不对现有技术的升降支撑结构做累述，实施时，根据选用升降支撑22的结构不同，下加热器9及保温板可以随坩埚18同步移动，同时下加热器9及保温板也可以与坩埚18实现差动，进而调整坩埚18与下加热器9之间的距离等，涉及升降支撑22的具体结构，可以详见申请人另行申报的专利。

本发明具体实施时，当下轴13带动坩埚18上升时，下加热器9随坩埚18同时上升，且保证坩埚18与下加热器9之间的距离不发生改变，在下加热器9上升时，下加热器升降电极10带动保温板支撑管11同步上升，此时，保温板支撑管11驱动保温板上升，保温板实现了防止下加热器9的热量向下散失，进一步，通过上保温筒15或下保温筒16或上保温筒15及下保温筒16的设置，将下加热器9封闭在一个体积相对较小的腔体内，在避免下加热器9的热量向下散失的同时，还实现了下加热器9的热量向周边的散失等。

以上内容中未细述部份为现有技术，故未做细述。

为了公开本发明的目的而在本文中选用的实施例，当前认为是适宜的，但是，应了解的是，本发明旨在包括一切属于本构思和发明范围内的实施例的所有变化和改进。

Claims (12)

1.一种提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置，包括侧加热器(5)、保温板、下加热器(9)、下加热器升降电极(10)、下轴(13)、坩埚(18)和侧加热器电极(20)，其特征是：所述坩埚(18)设置在炉体内，坩埚(18)的下面连接下轴(13)，在坩埚(18)的外围设有侧加热器(5)，所述侧加热器(5)连接侧加热器电极(20)，在坩埚(18)的下方设有下加热器(9)，所述下加热器(9)连接下加热器升降电极(10)，在下加热器(9)的下方设有上下升降的保温板，通过保温板隔离下加热器(9)的热量散失形成所述的提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置。

2.根据权利要求1所述的提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置，其特征是：所述保温板的外径与炉体的内壁或炉体内壁上的保温筒(3)接近将炉体分割为上下两个腔体。

3.根据权利要求1所述的提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置，其特征是：所述坩埚(18)的下面连接坩埚托盘(14)，坩埚托盘(14)的下端面连接下轴(13)。

4.根据权利要求3所述的提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置，其特征是：所述坩埚托盘(14)的下面设有至少一层向下延伸的上保温筒(15)。

5.根据权利要求1所述的提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置，其特征是：所述保温板的上面设有至少一层向上延伸的下保温筒(16)，下加热器(9)处于下保温筒(16)内。

6.根据权利要求1所述的提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置，其特征是：所述下加热器升降电极(10)的外缘面上套接有保温板支撑管(11)，在下加热器(9)下方的保温板支撑管(11)上设有保温板。

7.根据权利要求6所述的提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置，其特征是：所述保温板支撑管(11)下端头的内缘面与下加热器升降电极(10)外缘面之间设有绝缘隔套(12)。

8.根据权利要求1所述的提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置，其特征是：所述保温板包括保温盘体(6)、盖板(7)和保温材料(8)，在所述保温盘体(6)的上面设有下轴穿孔，在所述下轴穿孔的外围设有下加热器升降电极穿孔，在保温盘体(6)的开口端设有盖板(7)，在保温盘体(6)内的腔体内设有保温材料(8)。

9.根据权利要求1所述的提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置，其特征是：所述保温板的替换结构为保温板为至少一层石墨板或石墨毡或碳碳复合板，在保温板的上面设有下轴穿孔，在所述下轴穿孔的外围设有下加热器升降电极穿孔。

10.根据权利要求1所述的提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置，其特征是：所述炉体的内壁设有侧壁保温层(4)，在侧壁保温层(4)的内缘面设有保温筒(3)，在炉体的炉底上设有底部保温层(1)，在底部保温层(1)的上面设有底部石墨板(2)。

11.根据权利要求1所述的提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置，其特征是：所述下加热器升降电极(10)及下轴(13)的下端头分别连接设置在炉体下方升降支撑(22)中的升降板。

12.根据权利要求11所述的提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置，其特征是：所述升降支撑(22)包括导轨、升降支撑座、升降板、螺旋升降机和升降滑块，在所述升降支撑座的立板上设有至少一根导轨，在每根导轨上分别设有升降滑块，在升降支撑座的底板上设有螺旋升降机，螺旋升降机中的升降器连接升降板形成升降单元，所述升降单元连接升降滑块，升降板连接下轴(13)及下加热器升降电极(10)的下端头。

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