CN202297860U - 具有升降机构的单晶炉热场 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种具有升降机构的单晶炉热场，包括设置在单晶炉炉体内壁处的保温筒，保温筒内圈设有加热器，加热器的内腔设有由埚杆支撑的坩埚，坩埚与埚杆之间安装有贴于坩埚底面的埚托，加热器连接有穿设炉体底部的螺杆，螺杆的另一端连接有升降机构，本实用新型的具有升降机构的单晶炉热场，通过在加热器底部连接升降机构，使得加热器与石英坩埚可以同步上升，减小了纵向温度差，保证了单晶炉内纵向温度梯度的稳定，提高了单晶生长效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种具有升降机构的单晶炉热场。
背景技术
单晶炉拉制单晶硅棒时，盛装多晶硅块等原料的石英坩埚放入位于埚托之上的石墨坩埚托内，在保护性气氛中加热融化，调控到工艺温度后，籽晶经导流罩插入溶融多晶硅液中，与坩埚作逆向旋转并向上提升，使多晶硅液按籽晶的硅原子排列顺序结晶凝固成单晶硅棒。
加热器是单晶炉热场中很重要的部件，是直接的发热体，现有的加热器设计是固定不动的，当石英坩埚上升时会有一定的温度差，加热器中心最高温度处远离石英坩埚中心，形成纵向温度梯度过大的不足。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是：为了减小纵向温度差，本实用新型提供一种具有升降机构的单晶炉热场。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种具有升降机构的单晶炉热场，包括设置在单晶炉炉体内壁处的保温筒，保温筒内圈设有加热器，加热器的内腔设有由埚杆支撑的坩埚，所述的坩埚与埚杆之间安装有贴于坩埚底面的埚托，所述的加热器连接有穿设炉体底部的螺杆，所述的螺杆的另一端连接有升降机构。
具体地，所述的升降机构采用伺服电机四杆升降机构，直线轴承做导轨。
本实用新型的有益效果是，本实用新型的具有升降机构的单晶炉热场，通过在加热器底部连接升降机构，使得加热器与石英坩埚可以同步上升，减小了纵向温度差，保证了单晶炉内纵向温度梯度的稳定，提高了单晶生长效率。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型具有升降机构的单晶炉热场的最优实施例的结构示意图。
图中1、保温筒，2、加热器，3、坩埚，3-1、埚托，4、埚杆，5、螺杆，6、升降机构。
具体实施方式
现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
如图1所示，是本实用新型具有升降机构的单晶炉热场的最优实施例，包括设置在单晶炉炉体内壁处的保温筒1，保温筒1内圈设有加热器2，加热器2的内腔设有由埚杆4支撑的坩埚3，坩埚3与埚杆4之间安装有贴于坩埚3底面的埚托3-1，加热器2连接有穿设炉体底部的螺杆5，螺杆5的另一端连接有升降机构6，升降机构6采用伺服电机四杆升降，直线轴承做导轨。
当坩埚3上升时，加热器2通过升降机构6的抬升随坩埚3同步上升，保持坩埚3与加热器2之间的高温区域不变，减小了纵向温度差，保证了温度梯度稳定的效果。
以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
Claims (2)
1.一种具有升降机构的单晶炉热场，包括设置在单晶炉炉体内壁处的保温筒(1)，保温筒(1)内圈设有加热器(2)，加热器(2)的内腔设有由埚杆(4)支撑的坩埚(3)，所述的坩埚(3)与埚杆(4)之间安装有贴于坩埚(3)底面的埚托(3-1)，其特征在于：所述的加热器(2)连接有穿设炉体底部的螺杆(5)，所述的螺杆(5)的另一端连接有升降机构(6)。
2.如权利要求1所述的具有升降机构的单晶炉热场，其特征在于：所述的升降机构(6)采用伺服电机四杆升降机构，直线轴承做导轨。
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Publications (1)
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Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
| CN105369361A (zh) * | 2015-12-03 | 2016-03-02 | 洛阳西格马炉业股份有限公司 | 一种温场移动制备蓝宝石单晶体的方法及装置 |
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2011
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| CN105369361B (zh) * | 2015-12-03 | 2018-04-10 | 河南西格马晶体科技有限公司 | 一种温场移动制备蓝宝石单晶体的方法及装置 |
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