KR20120078624A - 좌표 측정기 및 그 측정 오차 보상 방법 - Google Patents

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알베르토 타리쪼
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헥사곤 메트롤로지 에스.피.에이.
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Abstract

좌표 측정기(1, 30, 31, 32)는, 수평방향 측정면을 구비한 베드(2)와, 상기 베드(2)에 의해 지지되는 가이드(10, 11)를 따라 이동가능한 유닛(3), 상기 베드(2)의 주변 영역(12, 34, 38)을 따라 연장되며, 정적으로 확정된 구속 수단(20, 21, 22)에 의해 상기 베드(2)에 구속되는 폐쇄된 환형 구조체(13); 및 초기의 기준 조건에 대한 상대 변위를 검출하기 위해, 상기 베드와 상기 이동가능한 유닛(3) 중 하나와 상기 환형 구조체(13) 사이에 설정된 복수의 변위 센서(S1-S8; S11-S16)를 포함한다.

Description

좌표 측정기 및 그 측정 오차 보상 방법{CO-ORDINATE MEASURING MACHINE}
본 발명은 좌표 측정기에 관한 것이다.
공지된 바와 같이, 좌표 측정기는 일반적으로 피측정되는 워크피스를 지지하도록 설계된 베드와, 상기 베드에 대해 측정 센서를 이동시키는 이동가능한 유닛을 포함한다.
보다 상세하게, 이동가능한 유닛은 제 1 축에 평행한 가이드를 따라 베드 상에서 이동가능한 제 1 캐리지; 상기 제 1 캐리지에 의해 지지되며 제 1 축에 직교하는 제 2 축을 따라 이동하는 제 2 캐리지; 및 상기 제 2 캐리지에 의해 지지되며 상기한 2개의 축에 직교하는 제 3 축을 따라 상기 제 2 캐리지에 대해 이동가능한 제 3 캐리지를 포함한다. 측정 센서는 제 3 캐리지에 의해 지지된다.
상술한 타입의 측정기에서, 베드는 워크피스를 지지하며 제 1 캐리지를 위한 가이드를 형성하는 이중의 목적을 갖는다.
이는 일련의 결점을 수반한다.
우선, 특히, 워크피스의 중량이 상당한 경우에, 베드 상에 워크피스를 위치시키는 것은 베드 자체에 변형을 일으키므로, 가이드의 변형을 야기하고, 그에 따라 측정 오차(measurement errors)를 유발시킨다.
또한, 가이드를 따라 이동가능한 유닛의 캐리지의 이동, 특히 메인 캐리지의 이동은 베드 상에 변형을 유발시키고, 그에 따라 워크피스의 배치를 변경시킨다. 이에 따라, 또 다른 측정 오차가 생긴다.
구속된 한계점 내에서 베드의 변형을 유지하기 위해, 베드 자체는 경질의 광물, 일반적으로 화강암으로 제조된다.
워크피스 중량과 관련된 문제점을 적어도 부분적으로 해결하기 위해, 화강암 베드를 지지 구조체로부터 분리하는 해결책이 제안되어 있다.
WO 89/03505호는, 이동가능한 유닛을 위한 가이드를 지지하며 화강암 워크테이블을 놓는 금속 베이스를 포함하는 측정기를 개시하고 있다.
GB-A-2080954호는, 경질의 광물로 제조된 워크피스-홀더 테이블이 아이들링 없이 그리고 응력을 전달하지 않고서 위치설정 요소를 거쳐 이동가능한 유닛을 위해 가이드를 구비한 중첩형 금속 베이스(underlying metal base)에 구속되는 측정기를 개시하고 있다.
화강암 베드의 사용과 관련된 결점은 비용, 중량 및 단시간에 화강암을 공급하는데에 따른 어려움이다.
더욱이, 상술한 해결책은 모두 복잡하고 비용이 드는 베이스 구조를 필요로 한다.
WO 2009/139014호는, 상술한 문제점을 해결하기 위해, 베드가 이동 유닛을 위한 가이드를 구비한 주변 금속 프레임(perimetral metal frame)과, 상기 프레임 내에 수용되는 워크피스-홀더 테이블을 포함하며, 상기 워크피스-홀더 테이블 및 프레임은 그들의 변형을 분리시키는 등방압 타입(isostatic type)의 구속 수단에 의해 서로 구속된다.
이로써, 워크피스-홀더 테이블은 비도량형적 재료(non-metrological material), 예컨대 콘크리트로 제조될 수 있다.
전술한 이점을 제공하지만, 측정기의 구조가 상대적으로 복잡하다.
본 발명의 목적은 위에서 언급한 결점을 극복가능한 단순화된 측정기를 제공하기 위한 것이다.
전술한 목적은 청구항 1에 따른 좌표 측정기에 의해 성취된다.
본 발명의 보다 나은 이해를 위해, 첨부한 도면을 참조하여 비제한적인 예로서 제공된 몇 가지의 바람직한 실시예를 기술한다.
도 1은 본 발명에 따른 좌표 측정기의 베드에 대한 평면도,
도 2 및 도 3은, 도 1의 좌표 측정기의 베드에 대한 변형 모드를 개략적으로 도시한 도면,
도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 측정기의 베드에 대한 사시도,
도 5 내지 도 7은, 도 4의 베드에 대한 평면도, 측면도 및 정면도,
도 8 내지 도 11은 VIII-VIII선, IX-IX선, X-X선 및 XII-XII선에 따른 단면도,
도 12는 본 발명에 따른 제 2 실시예의 부분 측면도,
도 13은, 도 12의 측정기에 대한 부분 절결된 확대 정면도,
도 14 및 도 15는 본 발명의 또 다른 2가지의 실시예에 따른 측정기에 대한 도 13과 유사한 도면.
도 1을 참조하면, 측정기(1)는 베드(2)와, 이동가능한 유닛(3)을 포함한다. 이동가능한 유닛(3)은,
- 브릿지 형상이고, 베드 자체에 대해 종방향인 제 1 축(X)에 평행한 베드(2)를 따라 이동가능한 제 1 캐리지(4)로서, 3개의 좌표축(X, Y, Z) 세트의 일부를 형성하는, 제 1 캐리지(4);
- 축(Y)에 평행한 제 1 캐리지(4)의 크로스 부재(6)를 따라 이동가능한 제 2 캐리지(5); 및
- 제 2 캐리지(5)에 의해 지지되는 측정 헤드(7)로서, 축(Z)을 따라 제 2 캐리지(5)에 대해 수직방향으로 이동가능하며 측정 공구(도시하지 않음)를 지지하도록 설계된, 측정 헤드(7)를 포함한다.
보다 상세하게, 제 1 캐리지(4)는 크로스 부재(6)를 지지하며 메인 가이드(10) 및 슬라이딩 경로(11)를 따라 이동가능한 한 쌍의 직립부(8, 9)를 포함하며, 상기 메인 가이드(10) 및 슬라이딩 경로(11)는 베드(2)의 대향하는 종방향 에지 상에 제공된다.
본 발명에 의하면, 베드의 변형은, 사용시에, 실질적으로 수평방향 기준면(π)에 대한 베드(2)의 대응 지점의 수직방향 변위를 측정하는 복수의 센서(S1-S6)를 거쳐 검출되어 보상된다. "실질적으로 수평방향(substantially horizontal)"이라는 표현은, 실시예에서, 평면(π)이 후술하는 바와 같이 완전히 수평방향 위치에 대해 약간 이동될 수 있는 것으로 이해된다.
센서(S1-S6)는 측정기의 기하학적 보상이 수행될 때의 모멘트에서 0(zero)로 설정된다. 그 결과, 사용시에, 베드(2)의 변형의 결과로서 발생하여 센서(S1-S6)에 의해 검출되는 변위의 모든 값은 초기의 "0"에 대한 변화로서 이해된다. 이에 따라, 센서의 판독 처리는 기하학적 보상 맵(geometrical-compensation map)에 의해 기술된 초기 상태에 대해 베드의 기하학적 형상의 변화에 대한 판단을 매시간 가능하게 한다.
도 1의 개략적인 예에서, 6개의 센서(S1-S6)는 베드(2) 아래에, 4개의 코너부에 근접하게 그리고 종방향 측부의 중간에 위치설정된다. 센서를 사용함으로 인해, 재료의 불안정성, 피측정될 워크피스의 중량에 대한 적용, 주위 온도의 변화 등의 상이한 원인으로 인한 베드의 주요 변형을 보정하는 가능하다.
그 결과, 베드를 위한 변형 재료, 즉 종래의 도량형적 적용, 예컨대 콘크리트에 의해 요구되는 강성 및 안정성의 요건을 구비하지 않은 재료를 사용하는 것이 가능하다.
도 2는 제 1 캐리지(4)의 이동에 따라 그 롤링을 야기하는 베드의 비틀림 변형에 대한 개략도이다.
비틀림 변형은 베드(2)의 일측부 상에 설정된 센서(S1, S2, S3)와 그 대향 측부 상에 설정된 대응하는 센서(S4, S5, S6) 사이의 판독 차이(lSn)를 판단한다. 상응하는 센서의 쌍들 사이의 횡방향 거리(t)에 의해 구분되는 상기 차이는 센서를 적용하는 베드(2)의 각각의 단면을 위한 축(X) 둘레의 회전 각도를 나타낸다.
각종 섹션에서의 회전 각도들 사이의 차이를 평가함으로써, 가능한 강체 회전이 배제되고, 베드의 비틀림이 얻어진다. 특히, 센서(S1-S4)의 쌍과 센서(S2-S5)의 쌍 사이에 구성된 베드의 제 1 스트레치에 대한 비틀림은 수학식 1에 의해 제공된다.
[수학식 1]
((lS2- lS5)-(lS1- lS4))/ t
마찬가지로, 센서(S2-S5)의 쌍과 센서(S3-S6)의 쌍 사이에 구성된 베드의 제 1 스트레치에 대한 비틀림은 수학식 2에 의해 제공된다.
[수학식 2]
((lS3- lS6)- (lS2- lS5))/ t
이에 따라, 제 1 캐리지(4)의 롤링은 측정기 보상 맵 내에서 연산된 비틀림 각도에 근거한 적절한 변화를 보정할 수 있다.
도 3은 제 1 캐리지(4)의 이동에 따라 그 피칭을 야기하는 베드의 휨 변형에 대한 개략도이다.
휨 변형(flexural deformation)은 베드의 일측부와 동일 측부 상에 설정된 센서들 사이의 판독 차이를 야기하는데, 특히 제 1 캐리지(4)의 메인 가이드(10)가 위치되는 측부 상에 설정된 센서(S1, S2, S3)가 고려된다.
중앙 센서(S2)의 판독(1S2)과 단부 센서(S1, S3)의 판독(1S1, 1S3)의 평균 사이의 차이는, 엘라스티카(elastica)의 수직방향 굴절에 대응하고, 그에 이어서 베드의 상기 측부에 대응한다. 상기 알라스티카는 단부 센서(S1, S3)로 지칭되는 변형되지 않는 구성에 대한 변형을 나타낸다. 그 결과, 가능한 강체 회전에 따른 것이 아니라, 베드(2)의 실제 굴곡만을 고려한다.
굴곡 각도의 선형 추세(linear trend)를 가정하면, 대응하는 곡률, 즉
[수학식 3]
1/R = (8*(S2-(S1+S3/2))/(거리 S1-S3)2
를 연산가능하다.
이에 따라, 제 1 캐리지(4)의 피치는 연산된 곡률에 근거한 적절한 변화를 측정기 보상 맵 내에 도입함으로써 보정될 수 있다.
도 4 내지 도 7은 본 발명의 제 1 실시예를 도시한다.
평면(20)에 의해 상부에서 경계를 이루는 베드(2)는 기준면(π)을 규정하도록 설계된 환형 구조체(13)를 위한 시트(seat)를 형성하는 주변 홈부(12)를 구비한다.
보다 상세하게, 환형 구조체(13)는 사각형 단면을 갖는 4개의 금속 섹션 요소(14, 15, 16, 17)에 의해 구성되며, 일종의 장방향 프레임을 형성하도록 서로 용접된다. 섹션 요소(14, 15)는 축(Z)에 평행한 방향으로 설정되는 한편, 섹션 요소(16, 17)는 축(Y)에 평행한 방향으로 설정된다.
모든 섹션 요소는 중공의 장방형 단면을 가지는 것이 바람직하고, 섹션 요소(16, 17)는 섹션 요소(14, 15)의 단부에 용접, 예컨대 맞대기 용접된다.
환형 구조체(13)는 섹션 요소(14, 15)를 따라 배치된 2개의 구속부(20, 21)에 의해 그리고 섹션 요소(15)의 중간에서의 하나의 구속부(22)에 의해 형성된 정적으로 확정된 구속부를 거쳐 베드(2)에 구속된다(도 5).
도 8 내지 도 10은 3가지 자유도, 2가지 자유도 및 1가지 자유도를 각각 제거하는 구속부(20, 21, 22)에 대한 개략도이다.
이로써, 환형 구조체(13)는 그 변형을 분리하는 방식으로 베드(2)에 구속된다. 그 결과, 베드(2)의 변형이 존재하더라도, 환형 구조체(13)는 베드(2)에 대해 로토-평행이동(roto-translation)만을 받지만, 변형을 받지 않을 수 있다.
이 경우, 8개의 센서(S1-S8)가 사용되는데, 그 중 4개, 즉 S1, S2, S3, S4는 섹션 요소(14)와 베드(2) 사이에 설정되고, 나머지 4개, 즉 S5, S6, S7, S8은 섹션 요소(15)와 베드(2) 사이에 설정된다. 보다 상세하게, 각각의 센서(S1, ..., S8)는 대응하는 섹션 요소(14, 15)의 상부벽(24)에 견고하게 고정되는 바디(23)(도 11), 및 홈부(12)를 그 상부에서 경계를 이루는 베드(2)의 표면(26) 상에 지탱하는 이동가능한 부재(25)를 구비한다.
그 결과, 평면(π)은 환형 구조체(13)의 상부면(27)에 의해 형성되며, 이는 정적으로 확정된 구속부의 시스템으로 인해, 평면 유지되지만, 미소하더라도 로토-평행이동을 받으며, 수평방향에 대한 평면(π)의 작은 편차를 초래할 수 있다.
도 8에 개략적으로 나타낸 구속부(20)는 볼-볼 지지체(ball-ball support) 또는 볼-콘 지지체(ball-cone support)에 의해 편리하게 구성되고; 도 9에 개략적으로 나타낸 구속부(21)는 볼-노치면 지지체(ball-notched surface support)에 의해 편리하게 구성되며; 도 10에 개략적으로 나타낸 구속부(22)는 볼-평면 지지체(ball-plane support)에 의해 편리하게 구성될 수 있다.
편리하게, 전술한 지지체를 수직방향으로 양방향으로 제공하기 위해, 베드(2)의 표면(26)과 환형 구조체(13)의 상부면(27) 사이에 스프링(도시하지 않음)이 설정될 수 있다. 상기 스프링은 센서(S1, S8) 내에 편리하게 내장됨으로써, 표면(26)에 대해 이동가능한 부재(25)를 탄성으로 로딩할 수 있다.
도 12 및 도 13은 참조부호(30)에 의해 전체로서 지칭된 본 발명의 다른 실시예를 도시하며, 여기서 베드(2) 대신에 제 1 캐리지(4)와 환형 구조체(13) 사이에 3개의 센서(S11, S12, S13)가 사용된다.
특히, 센서(S11-S13)는 제 1 캐리지(4)에 고정된 바디(23)와, 환형 구조체(13)의 상부면(27)과 미끄럼 접촉하는 이동가능한 부재(25)를 갖는다. 센서(S11, S12)는 제 1 캐리지(4)의 직립부(8)에 의해 지지되며, 섹션 요소(14)와 접촉하는 이동가능한 부재(25)를 갖는다. 센서(S13)는 제 1 캐리지의 직립부(9)에 의해 지지되며, 섹션 요소(15)와 접촉하는 이동가능한 부재(25)를 갖는다. 센서(S11, S12)는 서로에 대해 정렬되며, 축(X)의 방향으로 이격되게 설정된다.
이로써, 제 1 캐리지(4)의 피치 및 롤링을 실시간으로 검출하고, 그에 이어서 측정기의 기하학적 보상 시에 형성되는 제로 위치에 대한 센서(S11-S13)의 편차를 거쳐 베드(2)의 변형을 검출하고, 그 결과 이로 인해 유도된 측정 오차에 대해 보상한다. 중량 또는 온도 변화에 의해 유도된 베드의 변형을 고려하는 것이 필요한 경우에는, 측정기의 기하학적 보상 맵을 실시간으로 업데이트하는 것이 가능하다. 그 대신에, 베드(2)를 구성하는 재료의 불안정성만을 보상할 필요가 있다면, 저주파수에서 시간을 맞춘 샘플링이 충분하다.
도 14는 참조부호(31)에 의해 전체로서 지칭된 본 발명의 또 다른 실시예를 도시한다.
이 경우, 환형 구조체(13)는 베드(2)로부터 "매달리고", 그 바닥의 주변 오목부(35) 내에 설정된다. 2개의 센서(S11, S12)는 제 1 캐리지(4)의 직립부(8)에 의해 지지되어 다시 한번 수직방향의 그들의 축과 함께 설정되지만, 상부면 대신에 섹션 요소(14)의 바닥면(36)을 검출한다. 도 12 및 도 13의 해결책과 비교하면, 직립부(9) 상에 장착된 센서(S13) 대신에, 센서(S15, S16)가 센서(S11, S12)에 인접한 위치에서 제 1 캐리지(4)의 직립부(8) 상에 장착되어 사용되지만, 이동가능한 부재(25)가 섹션 요소(14)의 측면(37)과 접촉하는 방식으로 수평방향의 그들의 축과 함께 사용된다는 점에서 가장 실질적인 차이를 나타낸다.
센서(S15, S16)는 롤링 및 요(yaw) 회전을 검출하며, 이는 분해되어 분석적으로 보정될 수 있다.
도 15는 참조부호(32)에 의해 전체로서 지칭된 본 발명의 또 다른 실시예를 도시한다.
이러한 해결책에서, 환형 구조체(13)는 베드(2)의 상부면 상에 제공된 주변 트렌치(perimetral trench)(38) 내에 수용된다. 상기 트렌치는 종래 타입의 벨로우즈 보호부(39)에 의해 효과적으로 덮일 수 있다. 측정기는 도 12 및 도 13의 해결책을 참조하여 기술된 바와 유사한 방식으로 환형 구조체(13)와 상호작용하도록 배치된 3개의 센서(S11, S12, S13)를 포함한다. 더욱이, 측정기는 센서(S11, S12)에 인접한 위치에서 직립부(8)에 의해 지지되는 2개의 센서(S15, S16)를 포함하지만, 이동가능한 부재(25)가 섹션 요소(14)의 내측 표면(40)과 접촉하는 방식으로 수평방향의 그들의 축과 함께 지지된다.
센서(S11-S13)는 피치 및 롤링 회전을 검출하는 기능을 가지고, 센서(S15, S16)는 일반적으로 (분석적으로 분해될 수 있는 롤링의 작은 성분을 갖는) 요 회전을 검출하는 기능을 가진다.
측정기(1, 30, 31, 32)의 특성에 대한 검사로부터, 본 발명이 제공하는 이점은 명백하다.
정적으로 확정된 방식으로 베드(2)에 구속되는 환형 구조체(3)와, 측정기의 이동가능한 유닛(3)과 베드(2) 중 하나와 환형 구조체(13) 사이에 설정된 복수의 센서(Sn)를 조합하여 사용함으로써, 각종 원인, 즉 워크피스의 중량, 이동가능한 유닛의 중량, 재료의 불안정성 등으로 인한 베드(2)의 변형에 의해 도입되는 측정 오차를 판단하여 보상하는 것이 가능하다.
그 결과, 비도량형적 재료(non-metrological material), 즉 도량형적 적용에 일반적인 강성 및 안정성의 특성을 제공하지 않는 재료, 예컨대 콘크리트의 베드를 제조하는 것이 가능하고, 그와 동시에 베드 상에 직접 제공된 이동가능한 유닛(3)을 위한 가이드와 함께 측정기의 종래의 구조를 유지하는 것이 가능하다.
결국, 측정기의 비용을 실질적으로 감소시키더라도 최적의 도량형적 성능을 성취가능하다.
마지막으로, 본 발명의 보호범위로부터 벗어나지 않고서 측정기에 대한 수정 및 변경이 이루어질 수 있다.
예를 들면, 베드는 임의 재료, 특히 임의의 비금속의 주입가능한 재료, 예컨대 적절한 충전재를 갖는 수지로 제조될 수 있다.
사용된 재료가 콘크리트, 또는 강성, 경도 또는 안정성의 충분한 요건을 제공하지 않는 또 다른 재료인 경우에, 측정면은 전술한 특성을 갖는 또 다른 재료, 예컨대 화강암으로 코팅될 수 있다. 마찬가지로, 가이드 또는 경로는 필요한 기계적 특성, 특히 내마모성을 갖는 금속 또는 비금속 재료로 코팅될 수 있다.
또한, 환형 구조체(13)는 온도에 실질적으로 변하지 않는 상이한 재료, 예컨대 복합재 또는 화강암으로 제조될 수 있다. 환형 구조체(13)가 금속 재료로 제조되는 경우에는, 기술한 실시예에서와 같이, 열팽창의 효과를 감소시키기 위해, 시트(12)를 폐쇄하여 단열시키는 것이 가능하다.

Claims (15)

  1. 수평방향 측정면을 구비한 베드(2)와, 상기 베드(2)에 의해 지지되는 가이드(10, 11)를 따라 이동가능한 유닛(3)을 포함하는 좌표 측정기에 있어서,
    상기 베드(2)의 주변 영역(12, 35, 38)을 따라 연장되며, 정적으로 확정된 구속 수단(20, 21, 22)에 의해 상기 베드(2)에 구속되는 폐쇄된 환형 구조체(13); 및
    초기의 기준 조건에 대한 상대 변위를 검출하기 위해, 상기 베드(2)와 상기 이동가능한 유닛(3) 중 하나와 상기 환형 구조체(13) 사이에 설정된 복수의 변위 센서(S1-S8; S11-S16)를 포함하는 것을 특징으로 하는
    좌표 측정기.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 베드(2)는 적어도 비금속 주입가능한 재료로 제조되는 것을 특징으로 하는
    좌표 측정기.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 비금속 주입가능한 재료는 콘크리트인 것을 특징으로 하는
    좌표 측정기.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 환형 구조체(13)는 장방형인 것을 특징으로 하는
    좌표 측정기.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 환형 구조체(13)는 금속 재료로 제조되는 것을 특징으로 하는
    좌표 측정기.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 환형 구조체(13)는, 상기 환형 구조체(13)의 측부를 구성하여 서로에 견고하게 고정되는 4개의 금속 섹션 요소(14, 15, 16, 17)에 의해 구성되는 것을 특징으로 하는
    좌표 측정기.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 환형 구조체(13)는 상기 베드(2)의 주변 시트(perimetral seat)(12, 38) 내에 수용되는 것을 특징으로 하는
    좌표 측정기.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 주변 시트(39)는 가드(guard)(39)에 의해 폐쇄되는 것을 특징으로 하는
    좌표 측정기.
  9. 제7항 또는 제8항에 있어서,
    상기 시트(12, 39)는 단열되는 것을 특징으로 하는
    좌표 측정기.
  10. 제5항 또는 제6항에 있어서,
    상기 환형 구조체(13)는 상기 측정면에 평행한 상기 베드(2)의 환형 평면(26)에 면하는 것을 특징으로 하는
    좌표 측정기.
  11. 제8항 또는 제9항에 있어서,
    상기 센서(S15-S16)는 상기 환형 구조체(13)에 의해 지지되며, 상기 환형면과 접촉하도록 설정된 종축을 갖는 검출기 부재(25)를 구비하는 것을 특징으로 하는
    좌표 측정기.
  12. 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 센서(S15-S16)는 상기 이동가능한 유닛(3)에 의해 지지되고, 상기 환형 구조체(13)와 접촉하도록 설정된 각각의 검출기 부재(25)를 구비하는 것을 특징으로 하는
    좌표 측정기.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 검출기 부재(25)는 종축을 갖도록 배치되며, 상기 환형 구조체(13)의 수평면(27)을 검출하도록 설계되는 것을 특징으로 하는
    좌표 측정기.
  14. 제12항에 있어서,
    상기 검출기 부재(25)는 횡축을 갖도록 배치되며, 상기 환형 구조체(13)의 수직면(40)과 접촉하는 것을 특징으로 하는
    좌표 측정기.
  15. 수평방향 측정면을 구비한 베드(2)와, 상기 베드(2)에 의해 지지되는 가이드를 따라 이동가능한 유닛(3)을 포함하는 좌표계 측정기의 측정 오차를 보상하는 방법으로서, 상기 오차는 상기 베드(2)의 변형에 의해 유도되는, 상기 좌표계 측정기의 측정 오차를 보상하는 방법에 있어서,
    - 상기 베드(2)의 주변 영역(12, 35, 38)을 따라 연장되며, 정적으로 확정된 구속 수단(20, 21, 22)에 의해 상기 베드(2)에 구속되는 폐쇄된 환형 구조체(13), 및 상기 베드(2)와 상기 이동가능한 유닛(3) 중 하나와 상기 환형 구조체(13) 사이에 설정된 복수의 변위 센서(S1-S8; S11-S16)를 갖는 좌표계 측정기를 제공하는 단계;
    - 상기 좌표 측정기를 기하학적으로 보상하는 단계;
    - 초기의 기준 조건을 형성하기 위해, 상기 센서(S1-S8; S11-S16)의 판독을 0(zero)로 설정하는 단계;
    - 상기 센서(S1-S8; S11-S16)를 거쳐, 상기 베드(2) 또는 이동가능한 유닛(3)과 상기 환형 구조체(13) 사이의 상대 위치에 대한 편차를 검출하는 단계; 및
    - 상기 센서(S1-S8; S11-S16)에 의해 검출된 편차에 근거하여 상기 좌표 측정기의 기하학적 보상을 업데이트하는 단계를 포함하는
    좌표계 측정기의 측정 오차 보상 방법.
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