JP2017223574A - 産業機械 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ワークが載置される載置面11に対して相対移動可能なコラム22と、載置面11上に設けられ、コラム22をガイドするガイド部12と、ガイド部12の側面12aで支持されたリニアエンコーダ50のスケール52と、コラム22に設けられ、スケール52との相対変位を検出する検出器56、57と、を備える三次元測定装置1において、検出器56、57は、コラム22の移動方向及び鉛直方向における変位をそれぞれ検出し、検出器56、57の検出結果に基づいて、スケール52に対するガイド部12の相対的な変形量を取得する変形量算出部943を更に備える。
【選択図】図2
Description
図1を参照しながら、本発明の一の実施形態に係る産業機械の一例である三次元測定装置1の構成について説明する。
図2を参照しながら、ガイド部12の側面12aに設けられたリニアエンコーダ50の詳細構成について説明する。
上記のように、スケール52が、側面12aに固定されずに支持部15a、15bに支持されていることで、ベース10が変形しても、スケール52は変形しない。
第1目盛り53は、スケール52の上半分に形成されている。第1目盛り53は、Z軸方向におけるガイド部12の変位を特定するためのものである。第1目盛り53は、Z軸方向に沿って所定間隔で複数形成されている。具体的には、第1目盛り53として、Y軸方向に平行な直線が、Z軸方向に所定間隔で複数形成されている。
第1検出部56aは、第1目盛り53に対向するように上側に設けられ、第2検出部56bは、第2目盛り54に対向するように下側に設けられている。第1検出部56aが第1目盛り53を検出することで、スケール52に対するZ軸方向における変位を検出でき、第2検出部56bが第2目盛り54を検出することで、スケール52に対するY軸方向における変位を検出できる。
なお、上記では、第1検出部56a及び第2検出部56bが一つの部品に設けられているが、これに限定されず、第1検出部56aと第2検出部56bが、それぞれ独立した部品に設けられていてもよい。
図6を参照しながら、制御装置90の構成について説明する。制御装置90は、検出器56、57の検出結果に基づいて、スケール52に対するガイド部12の相対的な変形量を取得して、補正する。
駆動制御部91aは、移動機構20の駆動部29の駆動制御を実行する。
上述した三次元測定装置1は、ガイド部12の側面12aで支持されたスケール52との相対変位を検出する検出器56、57を有する。検出器56、57は、コラム22に設けられており、コラム22のY軸方向及びZ軸方向における変位を検出する。そして、コラム22の変位の検出結果に基づいて、スケール52に対するガイド部12の相対的な変形量を取得している。
かかる場合には、仮にガイド部12が変形した場合には、スケール52及び検出器56、57によってコラム22の変位を検出することで、コラム22をガイドするガイド部12の変形量を簡易かつ高精度に求めることができる。
以下では、図7〜図9を参照しながら、上述した三次元測定装置1の変形例について説明する。
上記では、スケール52が支持部15a、15bに支持されている(図3A参照)こととしたが、第1変形例においては、図7に示すように、スケール52が固定されたケース部材70が支持部15a、15bに支持されている。
上記では、スケール52の第1目盛り53と第2目盛り54とが、離れて形成されている(図5参照)こととしたが、第2変形例においては、図8に示すように、目盛りが交差するように形成された目盛り55が設けられている。かかる場合には、検出器56、57の一つの検出部(図8に示す検出部56c)が、目盛り55を検出するので、検出器56、57の小型化が可能となる。
上記では、検出器56の第1検出部56aと、検出器57の第1検出部57aとが、スケール52の第1目盛り53を検出することとしたが、第3変形例においては、第1検出部56a、57aの代わりに、近接センサ81、82が設けられている。近接センサ81、82は、コラム22に取り付けられており、スケール52から離れている。なお、検出器56、57は、第2検出部56b、57b(図6参照)を有する。
上述した第1変形例においては、Z軸方向に沿って所定間隔で形成された第1目盛り53と、Y軸方向に沿って所定間隔で形成された第2目盛り54とを有するスケール52が、ケース部材70に固定されていることとした。
これに対して、第4変形例においては、図10に示すように、スケール52に加えて、X軸方向に沿って所定間隔で形成された第3目盛り85aを有する第2スケール85も、ケース部材70に固定されている。具体的には、スケール52は、ケース部材70の側面70aに固定されており、第2スケール85は、ケース部材70の上面70bに固定されている。なお、図10には示していないが、検出器56、57と同様な構成の検出器が、対面する第3目盛り85aを検出する。
また、上記では、ガイド部12がY軸方向に沿って設けられていることとしたが、これに限定されず、ガイド部12がX軸方向に沿って設けられていてもよい。
10 ベース
11 載置面
12 ガイド部
12a 側面
15a、15b 支持部
22 コラム
52 スケール
53 第1目盛り
54 第2目盛り
56、57 検出器
70 ケース部材
81、82 近接センサ
943 変形量取得部
944 補正部
Claims (8)
- ワークが載置される載置面に対して相対移動可能な移動体と、
前記載置面上に設けられ、前記移動体をガイドするガイド部と、
前記ガイド部の側面で支持されたリニアエンコーダのスケールと、
前記移動体に設けられ、前記スケールとの相対変位を検出する検出器と、を備える産業機械において、
前記検出器は、前記移動体の移動方向及び鉛直方向における変位をそれぞれ検出し、
前記検出器の検出結果に基づいて、前記スケールに対する前記ガイド部の相対的な変形量を取得する変形量取得部を更に備える、産業機械。 - 前記検出器は、前記移動方向に沿って複数設けられており、
前記変形量取得部は、前記複数の検出器の各々が検出した検出結果を比較して、前記ガイド部の変形量を求める、
請求項1に記載の産業機械。 - 前記スケールには、前記鉛直方向に沿って所定間隔で形成された複数の第1目盛りが設けられており、
前記変形量取得部は、前記複数の検出器の各々が検出した前記第1目盛りを比較して、前記ガイド部の変形量を求める、
請求項2に記載の産業機械。 - 前記スケールには、前記移動方向に沿って所定間隔で形成され、前記移動体の前記移動方向における位置を特定するための複数の第2目盛りが形成されている、
請求項3に記載の産業機械。 - 前記検出器は、前記スケールとの距離を検出する距離検出センサであり、
前記変形量取得部は、複数の前記距離検出センサの各々が検出した距離を比較して、前記ガイド部の変形量を求める、
請求項2に記載の産業機械。 - 前記ガイド部の前記側面には、前記スケールを前記移動方向において点支持する支持部が複数設けられている、
請求項1から5のいずれか1項に記載の産業機械。 - 前記スケールは、前記移動方向と平行な状態で鉛直方向に変位可能となるように前記ガイド部に支持されたケースに固定されている、
請求項1から6のいずれか1項に記載の産業機械。 - 前記変形量取得部が求めた前記ガイド部の変形量に基づいて、補正用の前記ガイド部の真直度誤差又は角度誤差を求める補正部を更に備える、
請求項1から7のいずれか1項に記載の産業機械。
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