JP2000227320A - 平面度測定方法および測定装置 - Google Patents
平面度測定方法および測定装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 平面度測定における作業労力低減および測定
精度の向上 【解決手段】 ガイドレール３の両端を支持する磁石か
らなる支持部材２、２によりガイドレール３を測定対象
である金属平面１に固定する。ガイドレール３に沿って
移動可能に設けられたレーザ式の変位計５により金属平
面１の平面度が測定される。本発明によれば、測定対象
面が下を向いている場合でも、容易かつ高精度で平面度
の測定が可能となる。
精度の向上 【解決手段】 ガイドレール３の両端を支持する磁石か
らなる支持部材２、２によりガイドレール３を測定対象
である金属平面１に固定する。ガイドレール３に沿って
移動可能に設けられたレーザ式の変位計５により金属平
面１の平面度が測定される。本発明によれば、測定対象
面が下を向いている場合でも、容易かつ高精度で平面度
の測定が可能となる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は平面度を測定する技
術に関する。
術に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、金属平面の平面度を測定する場合
には、図８（ａ）に示すように、金属平面１にブロック
ゲージ２６を置き、その上に直定規９を設置し、直定規
９と金属平面１の間隙をダイヤルゲージ２７を用いて計
測を行い、この計測値に基づいて平面度を算出してい
る。ここでブロックゲージ２６はマグネットを備えてお
り、片側で金属板を、もう一方で直定規を固定できるよ
うになっている。また、他の方法として図８（ｂ）に示
すように、金属平面１に直接、水準器２８を設置し、計
測方向２９に沿って平面度を計測することが知られてい
る。
には、図８（ａ）に示すように、金属平面１にブロック
ゲージ２６を置き、その上に直定規９を設置し、直定規
９と金属平面１の間隙をダイヤルゲージ２７を用いて計
測を行い、この計測値に基づいて平面度を算出してい
る。ここでブロックゲージ２６はマグネットを備えてお
り、片側で金属板を、もう一方で直定規を固定できるよ
うになっている。また、他の方法として図８（ｂ）に示
すように、金属平面１に直接、水準器２８を設置し、計
測方向２９に沿って平面度を計測することが知られてい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述の直定規及びダイ
アルゲージ用いた測定においては、測定者による計測誤
差や直定規の支持方法やたわみによる誤差を生じる場合
がある。また、直定規のたわみを防止するためには、剛
性の高い、すなわち重量のある直定規を用いなければな
らないため、多大な作業労力が必要とされる。更に、平
面度の測定長さは直定規の長さに制限されるため必ずし
も作業性は良くない。
アルゲージ用いた測定においては、測定者による計測誤
差や直定規の支持方法やたわみによる誤差を生じる場合
がある。また、直定規のたわみを防止するためには、剛
性の高い、すなわち重量のある直定規を用いなければな
らないため、多大な作業労力が必要とされる。更に、平
面度の測定長さは直定規の長さに制限されるため必ずし
も作業性は良くない。
【０００４】また、水準器を用いた計測では計量で簡便
であるが、計測対象が天地逆さまの場合、水準器を逆さ
まに設置して使用することが困難である。
であるが、計測対象が天地逆さまの場合、水準器を逆さ
まに設置して使用することが困難である。
【０００５】本発明は、上記実状に鑑みなされたもので
あり、重量のある直定規を用いて行う労を低減し、平面
度を精度よく計測する方法、ならびに計測装置を提供す
ることを目的とする。
あり、重量のある直定規を用いて行う労を低減し、平面
度を精度よく計測する方法、ならびに計測装置を提供す
ることを目的とする。
【０００６】さらに、本発明は計測対象の天地が逆にな
った場合や、計測対象面が傾斜している場合において
も、平面度を精度よく計測することを、第２の目的とし
ている。
った場合や、計測対象面が傾斜している場合において
も、平面度を精度よく計測することを、第２の目的とし
ている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、測定対象である平面にレーザ光を照射す
る照射部と、前記平面から反射したレーザ光を受光する
受光部と有するレーザ式の変位計と、前記変位計を前記
平面に沿って案内するガイドレールと、前記ガイドレー
ルを支持する支持部材と、を備えた平面度測定装置を提
供する。
め、本発明は、測定対象である平面にレーザ光を照射す
る照射部と、前記平面から反射したレーザ光を受光する
受光部と有するレーザ式の変位計と、前記変位計を前記
平面に沿って案内するガイドレールと、前記ガイドレー
ルを支持する支持部材と、を備えた平面度測定装置を提
供する。
【０００８】また、本発明は、測定対象である金属平面
に磁石によりガイドレールを固定し、前記ガイドレール
に沿ってレーザ式の変位計を移動させて、前記ガイドレ
ールに沿う方向に関する前記金属平面と前記変位計との
間の距離の分布を検出する工程と、前記金属平面に対す
る固定姿勢と同じ姿勢で基準平面に磁石によりガイドレ
ールを固定し、前記レーザ式の変位計を用いて前記ガイ
ドレールに沿う方向に関する前記金属平面と前記変位計
との間の距離の分布を求める工程と、前記金属平面と前
記変位計との間の距離の分布と、前記基準平面と前記変
位計との間の距離の距離の分布に基づいて、前記ガイド
レールの撓みの影響を除いた前記金属平面と前記変位計
との間の距離の分布を算出する工程と、を含む、金属平
面の平面度の測定方法を提供する。
に磁石によりガイドレールを固定し、前記ガイドレール
に沿ってレーザ式の変位計を移動させて、前記ガイドレ
ールに沿う方向に関する前記金属平面と前記変位計との
間の距離の分布を検出する工程と、前記金属平面に対す
る固定姿勢と同じ姿勢で基準平面に磁石によりガイドレ
ールを固定し、前記レーザ式の変位計を用いて前記ガイ
ドレールに沿う方向に関する前記金属平面と前記変位計
との間の距離の分布を求める工程と、前記金属平面と前
記変位計との間の距離の分布と、前記基準平面と前記変
位計との間の距離の距離の分布に基づいて、前記ガイド
レールの撓みの影響を除いた前記金属平面と前記変位計
との間の距離の分布を算出する工程と、を含む、金属平
面の平面度の測定方法を提供する。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を説明する。なお、以下の実施形態の説明にお
いては、測定対象面である金属平面が真下を向いた水平
面である場合について説明することする。
施の形態を説明する。なお、以下の実施形態の説明にお
いては、測定対象面である金属平面が真下を向いた水平
面である場合について説明することする。
【００１０】［第１の実施形態］まず、図１乃至図３を
参照して第１の実施形態について説明する。
参照して第１の実施形態について説明する。
【００１１】図１において、符号１は、測定対象の金属
平面１である。この金属平面１を構成する金属は、磁石
との間に十分な吸引力が働くような適当な磁性体材料か
らなる。
平面１である。この金属平面１を構成する金属は、磁石
との間に十分な吸引力が働くような適当な磁性体材料か
らなる。
【００１２】本発明による平面度測定装置は、一対の支
持マグネット（支持部材）２、支持マグネット２により
両端が支持されたガイドレール３（以下、単に「レー
ル」という）、レール３に沿って移動可能なレーザ変位
計５およびレーザ変位計５をレール３に沿って案内する
スライド４を有する。
持マグネット（支持部材）２、支持マグネット２により
両端が支持されたガイドレール３（以下、単に「レー
ル」という）、レール３に沿って移動可能なレーザ変位
計５およびレーザ変位計５をレール３に沿って案内する
スライド４を有する。
【００１３】支持マグネット２は、レール３に固着され
ている。なお、全体が磁石により形成された支持マグネ
ット２に代えて、一部（例えば金属平面１との当接面近
傍）に磁石を含む支持部材を用いてもよい。
ている。なお、全体が磁石により形成された支持マグネ
ット２に代えて、一部（例えば金属平面１との当接面近
傍）に磁石を含む支持部材を用いてもよい。
【００１４】また、図１（ａ）に示すように、スライド
４は円筒形状を有しており、その内部に円柱形状を有す
るレール３が挿通されている。スライド４は、レール３
に沿って移動可能となっている。
４は円筒形状を有しており、その内部に円柱形状を有す
るレール３が挿通されている。スライド４は、レール３
に沿って移動可能となっている。
【００１５】レーザ変位計５は、スライド４に装着され
ている。レーザ変位計５は、その上面に、金属平面１に
向けてレーザ光７を発射する送信部（図示せず）と、金
属平面１からの反射レーザ光７を受光する受光部（図示
せず）とを有する。レーザ変位計５には、レーザ変位計
５の送信部にレーザ光を供給するレーザケーブル６が接
続されている。レーザ変位計５は、スライド４がレール
３に沿って移動可能となっているため、レール３の有効
長の範囲で金属平面１の平面度を計測することができ
る。
ている。レーザ変位計５は、その上面に、金属平面１に
向けてレーザ光７を発射する送信部（図示せず）と、金
属平面１からの反射レーザ光７を受光する受光部（図示
せず）とを有する。レーザ変位計５には、レーザ変位計
５の送信部にレーザ光を供給するレーザケーブル６が接
続されている。レーザ変位計５は、スライド４がレール
３に沿って移動可能となっているため、レール３の有効
長の範囲で金属平面１の平面度を計測することができ
る。
【００１６】次に、上記の平面度測定装置を用いた金属
平面の測定方法について、図２及び図３を参照して説明
する。
平面の測定方法について、図２及び図３を参照して説明
する。
【００１７】まず、図２に示すように、支柱８により両
端が支持された金属製の直定規９（基準平面）を用意し
て定盤上に設置する。次に、直定規９に、平面度測定装
置を支持マグネット２の磁力により取り付け安定性を良
くする。このときの直定規９に対する平面度測定装置の
取り付け条件（例えばレール３の姿勢）は、実際の測定
対象平面に対する取り付け条件と同じにする。なお、直
定規９は、図２のように平面度測定装置の重さが負荷さ
れた場合でも、その撓み量を無視できる程度の剛性を有
する。
端が支持された金属製の直定規９（基準平面）を用意し
て定盤上に設置する。次に、直定規９に、平面度測定装
置を支持マグネット２の磁力により取り付け安定性を良
くする。このときの直定規９に対する平面度測定装置の
取り付け条件（例えばレール３の姿勢）は、実際の測定
対象平面に対する取り付け条件と同じにする。なお、直
定規９は、図２のように平面度測定装置の重さが負荷さ
れた場合でも、その撓み量を無視できる程度の剛性を有
する。
【００１８】この状態でレール３、スライド４およびレ
ーザ変位計５の自重によるレール３の撓みを確認する。
すなわち、レーザ変位計５をレール３に沿って移動させ
ながら、レール３の長さ方向に関する直定規９とレーザ
変位計５との間の距離Ｄ０の分布を測定する（工程１
０）。
ーザ変位計５の自重によるレール３の撓みを確認する。
すなわち、レーザ変位計５をレール３に沿って移動させ
ながら、レール３の長さ方向に関する直定規９とレーザ
変位計５との間の距離Ｄ０の分布を測定する（工程１
０）。
【００１９】なお、上記工程１０のようにレール３の撓
みをレール有効長の範囲で連続的に計測してレール３の
撓みを定量化することに代えて、レール有効長の範囲の
１点または複数点で直定規９とレーザ変位計５との間の
距離を測定して、このデータに基づいて適当な補完式に
基づいて数値解析を行うことによりレール３の撓みを算
定してもよい（工程１１）。
みをレール有効長の範囲で連続的に計測してレール３の
撓みを定量化することに代えて、レール有効長の範囲の
１点または複数点で直定規９とレーザ変位計５との間の
距離を測定して、このデータに基づいて適当な補完式に
基づいて数値解析を行うことによりレール３の撓みを算
定してもよい（工程１１）。
【００２０】上記工程１０または工程１１により、レー
ル３、スライド４およびレーザ変位計５の自重によるレ
ール３の撓み量分布が求められる（工程１２）。
ル３、スライド４およびレーザ変位計５の自重によるレ
ール３の撓み量分布が求められる（工程１２）。
【００２１】次に、図１に示すように、平面度測定装置
を、測定対象である金属平面１に装着して、レーザ変位
計５をレール３に沿って移動させながら、直定規９とレ
ーザ変位計５との間の距離Ｄの分布を測定する（工程１
３）。
を、測定対象である金属平面１に装着して、レーザ変位
計５をレール３に沿って移動させながら、直定規９とレ
ーザ変位計５との間の距離Ｄの分布を測定する（工程１
３）。
【００２２】レール３の長さ方向に関するレーザ変位計
５の位置ごとに、工程１３において求めた距離Ｄから工
程１０（または工程１１）において求めた距離Ｄ０を引
き、その差のレール３の長さ方向に関する分布を求める
ことにより、仮想の測定基準となる完全な平面からの金
属平面１までの距離の分布がうねりとして求められる
（工程１４）ので、この値を使って金属平面１の平面度
を求めることができる。
５の位置ごとに、工程１３において求めた距離Ｄから工
程１０（または工程１１）において求めた距離Ｄ０を引
き、その差のレール３の長さ方向に関する分布を求める
ことにより、仮想の測定基準となる完全な平面からの金
属平面１までの距離の分布がうねりとして求められる
（工程１４）ので、この値を使って金属平面１の平面度
を求めることができる。
【００２３】［第２の実施形態］次に、本発明の第２の
実施形態について図４を参照して説明する。なお、第２
の実施形態において第１の実施形態と同一部材について
は同一符号を付し、重複説明は省略する。
実施形態について図４を参照して説明する。なお、第２
の実施形態において第１の実施形態と同一部材について
は同一符号を付し、重複説明は省略する。
【００２４】本実施形態においては、図４に示すよう
に、レール３の支持マグネット２、２の間の領域に、複
数の支持補強マグネット１６が設けられる。支持補強マ
グネット１６は、支持マグネット２と同じものでよい。
に、レール３の支持マグネット２、２の間の領域に、複
数の支持補強マグネット１６が設けられる。支持補強マ
グネット１６は、支持マグネット２と同じものでよい。
【００２５】なお、この場合、支持マグネット２および
支持補強マグネット１６と、レーザ変位計５との干渉を
防止するため、例えばレーザ変位計５をスライド４の側
方に取り付けることができる。また、スライド４と、支
持マグネット２および支持補強マグネット１６との干渉
を防止するため、例えばスライド４の一部を切り欠いて
構成することができる。このようにすることにより、レ
ール３の有効長の範囲でスライド４を自在に移動させる
ことができる。
支持補強マグネット１６と、レーザ変位計５との干渉を
防止するため、例えばレーザ変位計５をスライド４の側
方に取り付けることができる。また、スライド４と、支
持マグネット２および支持補強マグネット１６との干渉
を防止するため、例えばスライド４の一部を切り欠いて
構成することができる。このようにすることにより、レ
ール３の有効長の範囲でスライド４を自在に移動させる
ことができる。
【００２６】本実施形態によれば、レール３を２点支持
（第１の実施形態）から複数点支持にすることにより、
レール３のたわみ量が平面度計測を行う上で無視できる
ほどに小さくなるため、事前にガイドレール３のたわみ
量を計測しておく手順（図３の工程１０〜１２）を省略
することができる。
（第１の実施形態）から複数点支持にすることにより、
レール３のたわみ量が平面度計測を行う上で無視できる
ほどに小さくなるため、事前にガイドレール３のたわみ
量を計測しておく手順（図３の工程１０〜１２）を省略
することができる。
【００２７】［第３の実施形態］次に、本発明の第３の
実施形態について図５を参照して説明する。なお、第３
の実施形態において第１の実施形態と同一部材について
は同一符号を付し、重複説明は省略する。
実施形態について図５を参照して説明する。なお、第３
の実施形態において第１の実施形態と同一部材について
は同一符号を付し、重複説明は省略する。
【００２８】図５に示すように、本実施形態による平面
度測定装置は、Ｉ型断面を有する一対のレール（ガイド
レール）１７を有する。レール１７、１７同士は、これ
らの相対的位置関係が変化しないように、好ましくは互
いに結合される。
度測定装置は、Ｉ型断面を有する一対のレール（ガイド
レール）１７を有する。レール１７、１７同士は、これ
らの相対的位置関係が変化しないように、好ましくは互
いに結合される。
【００２９】各レール１７の両端は、支持マグネット２
により支持されている。レール１７、１７の間には、ガ
イドローラ１８が挟持されている。すなわち、ガイドロ
ーラ１８は、レール１７、１７の互いに対向する側面の
凹部１７ａと係合している。このガイドローラ１８の中
心には、ガイド支持棒１９が貫通しており、ガイド支持
棒１９の端部には、レーザ変位計５が取り付けられてい
る。
により支持されている。レール１７、１７の間には、ガ
イドローラ１８が挟持されている。すなわち、ガイドロ
ーラ１８は、レール１７、１７の互いに対向する側面の
凹部１７ａと係合している。このガイドローラ１８の中
心には、ガイド支持棒１９が貫通しており、ガイド支持
棒１９の端部には、レーザ変位計５が取り付けられてい
る。
【００３０】本実施の形態によれば、レール１７にＩ型
断面を採用することにより単位断面積あたりの断面二次
モーメントが増大してレール１７が撓みにくくなるた
め、測定精度を向上させることができる。また、２本の
Ｉ型のレール１７の間に挟持されたガイドローラ１８を
貫くガイド支持棒１９によりレーザ変位計５が保持され
る。このため、レーザ変位計５は、レール１７に対する
ガタつきが抑えられた状態で、レール１７に沿って移動
することができ、これにより測定精度を向上させること
ができる。
断面を採用することにより単位断面積あたりの断面二次
モーメントが増大してレール１７が撓みにくくなるた
め、測定精度を向上させることができる。また、２本の
Ｉ型のレール１７の間に挟持されたガイドローラ１８を
貫くガイド支持棒１９によりレーザ変位計５が保持され
る。このため、レーザ変位計５は、レール１７に対する
ガタつきが抑えられた状態で、レール１７に沿って移動
することができ、これにより測定精度を向上させること
ができる。
【００３１】［第４の実施形態］次に、本発明の第４の
実施形態について図６を参照して説明する。第４の実施
形態は、第３の実施形態に対して、レーザ変位計５をレ
ール１７に沿って案内する機構のみが異なり、他は第３
の実施形態と略同一である。第４の実施の形態におい
て、第１の実施形態と同一部分については同一符号を付
し、重複説明は省略する。
実施形態について図６を参照して説明する。第４の実施
形態は、第３の実施形態に対して、レーザ変位計５をレ
ール１７に沿って案内する機構のみが異なり、他は第３
の実施形態と略同一である。第４の実施の形態におい
て、第１の実施形態と同一部分については同一符号を付
し、重複説明は省略する。
【００３２】図６には、レーザ変位計５をＩ型のレール
１７、１７に沿って移動させるための案内装置２０が図
示されている。案内装置２０は、レーザ変位計５が取り
付けられた上側のローラ保持体２２と、下側のローラ保
持体２２とを有する。各ローラ保持体２２は、その水平
方向両側に取り付けられた一対のガイドローラ２１，２
１を有する。
１７、１７に沿って移動させるための案内装置２０が図
示されている。案内装置２０は、レーザ変位計５が取り
付けられた上側のローラ保持体２２と、下側のローラ保
持体２２とを有する。各ローラ保持体２２は、その水平
方向両側に取り付けられた一対のガイドローラ２１，２
１を有する。
【００３３】各レール１７は水平方向に突出する凸部１
７ｂを有している。各凸部１７ｂは、上側および下側の
ローラ保持体２２，２２に設けられた上側および下側の
ガイドローラ２１、２１により挟まれている。
７ｂを有している。各凸部１７ｂは、上側および下側の
ローラ保持体２２，２２に設けられた上側および下側の
ガイドローラ２１、２１により挟まれている。
【００３４】上側および下側のローラ保持体２２，２２
は、バネ等の弾性体２４と、ダンパ２３により互いに連
結されている。弾性体２４は、上側および下側のローラ
保持体２２，２２に対してこれらが互いに近づくような
力を常時与えている。弾性体２４とダンパ２３との相互
作用により、上側および下側のガイドローラ２１、２１
は、レール１７との接触を常時維持しつつ、レール１７
を挟み付ける。
は、バネ等の弾性体２４と、ダンパ２３により互いに連
結されている。弾性体２４は、上側および下側のローラ
保持体２２，２２に対してこれらが互いに近づくような
力を常時与えている。弾性体２４とダンパ２３との相互
作用により、上側および下側のガイドローラ２１、２１
は、レール１７との接触を常時維持しつつ、レール１７
を挟み付ける。
【００３５】本実施形態によれば、レーザ変位計５を、
ガタつきなくレール１７に沿って移動させることができ
るため、計測精度を向上させることができる。
ガタつきなくレール１７に沿って移動させることができ
るため、計測精度を向上させることができる。
【００３６】［第５の実施形態］次に、図７を参照して
第５の実施形態について説明する。
第５の実施形態について説明する。
【００３７】図７に示すように、第５の実施形態におい
ては、第４の実施形態におけるレール１７と支持マグネ
ット２に代えて、これらを一体化した一体型の支持レー
ル２５が用いられている。支持レール２５の断面形状
は、Ｉ型断面のレール１７と支持マグネット２とを結合
したものにほぼ等しい。このため、Ｉ型断面特有の高剛
性という利点を生かすことができる。また、このような
一体構造を採ることにより、ガイドレールのさらなる高
剛性化を図ることできるため、測定精度を更に向上させ
ることができる。
ては、第４の実施形態におけるレール１７と支持マグネ
ット２に代えて、これらを一体化した一体型の支持レー
ル２５が用いられている。支持レール２５の断面形状
は、Ｉ型断面のレール１７と支持マグネット２とを結合
したものにほぼ等しい。このため、Ｉ型断面特有の高剛
性という利点を生かすことができる。また、このような
一体構造を採ることにより、ガイドレールのさらなる高
剛性化を図ることできるため、測定精度を更に向上させ
ることができる。
【００３８】なお、支持レール２５に対する案内装置２
０の取り付け構造は、第４の実施形態におけるレール１
７に対する案内装置２０の取り付け構造と同一である。
０の取り付け構造は、第４の実施形態におけるレール１
７に対する案内装置２０の取り付け構造と同一である。
【００３９】なお、上記第１〜第５の実施形態において
は、専ら、測定対象面が下を向いている水平面である場
合について説明を行ってきたが、本発明による平面度測
定装置は、測定対象面が上を向いている水平面である場
合や、傾斜面、鉛直面である場合にも使用することも勿
論可能である。また、測定対象面が水平面の場合はマグ
ネットは必ずしも必要でなく、装置自体の自重により、
測定対象面に固定することも可能である。
は、専ら、測定対象面が下を向いている水平面である場
合について説明を行ってきたが、本発明による平面度測
定装置は、測定対象面が上を向いている水平面である場
合や、傾斜面、鉛直面である場合にも使用することも勿
論可能である。また、測定対象面が水平面の場合はマグ
ネットは必ずしも必要でなく、装置自体の自重により、
測定対象面に固定することも可能である。
【００４０】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、装
置全体の軽量化を図ることができ、かつ個人差による計
測誤差もないので、作業の労力の低減と精度の向上が可
能となる。
置全体の軽量化を図ることができ、かつ個人差による計
測誤差もないので、作業の労力の低減と精度の向上が可
能となる。
【図１】本発明による金属平面の平面度測定装置の第１
の実施形態を示す図であって、図１（ａ）は正面図、図
１（ｂ）は側面図。
の実施形態を示す図であって、図１（ａ）は正面図、図
１（ｂ）は側面図。
【図２】本発明による平面度計測方法の手順のうちの一
工程を説明する図。
工程を説明する図。
【図３】本発明による平面度計測方法の手順を説明する
チャート。
チャート。
【図４】本発明による平面度測定装置の第２の実施形態
を示す正面図。
を示す正面図。
【図５】本発明による金属平面の平面度測定装置の第３
の実施形態を示す図であって、図５（ａ）は正面図、図
５（ｂ）は側面図。
の実施形態を示す図であって、図５（ａ）は正面図、図
５（ｂ）は側面図。
【図６】本発明による金属平面の平面度測定装置の第４
の実施形態を示す側面図。
の実施形態を示す側面図。
【図７】本発明による金属平面の平面度測定装置の第５
の実施形態を示す側面図。
の実施形態を示す側面図。
【図８】従来の平面度測定装置の一例を示す正面図
１ 金属平面 ２ 支持部材（磁石） ５ 変位計 ３、１７、２５ ガイドレール １７ （ガイドレールの）凹部 １７ （ガイドレールの）凸部 １８ ガイドローラ １９ 軸 ２１ ガイドローラ ２２ ガイドローラ保持体 ２３ ダンパ ２４ 弾性体
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F065 AA47 CC06 EE00 FF09 GG04 JJ16 MM14 MM24 MM28 PP02 PP22 UU03 2F069 AA54 BB19 DD25 EE09 GG04 GG07 GG62 HH09 JJ06 MM04 MM26
Claims (11)
- 【請求項１】測定対象である平面にレーザ光を照射する
照射部と、前記平面から反射したレーザ光を受光する受
光部と有するレーザ式の変位計と、 前記変位計を前記平面に沿って案内するガイドレール
と、 前記ガイドレールを支持する支持部材と、を備えたこと
を特徴とする平面度測定装置。 - 【請求項２】前記支持部材は、少なくともその一部に磁
石を含み、その磁気的吸着力により金属平面に固定可能
となっていることを特徴とする、請求項１に記載の平面
度測定装置。 - 【請求項３】前記支持部材は一対設けられ、各支持部材
が前記ガイドレールの両端をそれぞれ支持することを特
徴とする、請求項１または２に記載の平面度測定装置。 - 【請求項４】前記一対の支持部材の間に、更に１個以上
の支持部材が設けられていることを特徴とする、請求項
３に記載の平面度測定装置。 - 【請求項５】前記各支持部材が磁石から構成されている
ことを特徴とする、請求項２乃至４のいずれかに記載の
平面度測定装置。 - 【請求項６】前記変位計を前記ガイドレールに沿って案
内する案内装置を更に備え、 前記ガイドレールは一対設けられ、これら一対のガイド
レールの互いに対向する側面にそれぞれ凹部が設けら
れ、 前記案内装置は、互いに対向する前記凹部に係合した状
態で前記一対のガイドレールに挟持されるガイドローラ
と、その一端側が前記ガイドローラを保持するとともに
その他端側が前記変位計に取り付けられた軸と、を有す
ることを特徴とする、請求項１または２に記載の平面度
測定装置。 - 【請求項７】前記変位計を前記ガイドレールに沿って案
内する案内装置を更に備え、 前記ガイドレールは一対設けられ、これら一対のガイド
レールの互いに対向する側面に凸部が設けられ、 前記案内装置は、複数のガイドローラにより構成された
２組のガイドローラ組を有し、これら２組のガイドロー
ラのうち各１組がそれぞれ各ガイドレールの凸部を挟む
ような位置に配置されて前記各凸部と係合していること
を特徴とする、請求項１または２に記載の平面度測定装
置。 - 【請求項８】前記案内装置は、 前記２組のガイドローラ組を構成するガイドローラのう
ち、前記各ガイドレールの凸部の一方の側に位置するガ
イドローラを保持する第１のガイドローラ保持体と、前
記各ガイドレールの凸部の他方の側に位置するガイドロ
ーラを保持する第２のガイドローラ保持体と、 前記第１及び第２のガイドローラ保持体を互いに連結す
るとともに、前記第１及び第２のガイドローラ保持体を
互いに近接させる方向の力を負荷する弾性体と、 前記第１及び第２のガイドローラ保持体を互いに連結す
るダンパと、を有することを特徴とする、請求項７に記
載の平面度測定装置。 - 【請求項９】前記ガイドレールはＩ型断面を有すること
を特徴とする、請求項６乃至８のいずれかに記載の平面
度測定装置。 - 【請求項１０】前記ガイドレールと前記支持部材が一体
的に形成されていることを特徴とする、請求項１乃至９
のいずれかに記載の平面度測定装置。 - 【請求項１１】測定対象である金属平面に磁石によりガ
イドレールを固定し、前記ガイドレールに沿ってレーザ
式の変位計を移動させて、前記ガイドレールに沿う方向
に関する前記金属平面と前記変位計との間の距離の分布
を検出する工程と、 前記金属平面に対する固定姿勢と同じ姿勢で基準平面に
磁石によりガイドレールを固定し、前記レーザ式の変位
計を用いて前記ガイドレールに沿う方向に関する前記金
属平面と前記変位計との間の距離の分布を求める工程
と、 前記金属平面と前記変位計との間の距離の分布と、前記
基準平面と前記変位計との間の距離の距離の分布に基づ
いて、前記ガイドレールの撓みの影響を除いた前記金属
平面と前記変位計との間の距離の分布を算出する工程
と、を備えたことを特徴とする、金属平面の平面度の測
定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11026720A JP2000227320A (ja) | 1999-02-03 | 1999-02-03 | 平面度測定方法および測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11026720A JP2000227320A (ja) | 1999-02-03 | 1999-02-03 | 平面度測定方法および測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000227320A true JP2000227320A (ja) | 2000-08-15 |
Family
ID=12201186
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11026720A Withdrawn JP2000227320A (ja) | 1999-02-03 | 1999-02-03 | 平面度測定方法および測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000227320A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI383125B (zh) * | 2009-02-26 | 2013-01-21 | Univ Nat Formosa | Apparatus and method for scanning spade surface with laser light source |
| CN107525457A (zh) * | 2016-06-16 | 2017-12-29 | 株式会社三丰 | 工业机械 |
| CN108020180A (zh) * | 2017-11-22 | 2018-05-11 | 郭淑芳 | 一种表面粗糙度快速检测装置 |
| WO2023061288A1 (zh) * | 2021-10-13 | 2023-04-20 | 宁德时代新能源科技股份有限公司 | 测量组件、测量方法及测量系统 |
-
1999
- 1999-02-03 JP JP11026720A patent/JP2000227320A/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI383125B (zh) * | 2009-02-26 | 2013-01-21 | Univ Nat Formosa | Apparatus and method for scanning spade surface with laser light source |
| CN107525457A (zh) * | 2016-06-16 | 2017-12-29 | 株式会社三丰 | 工业机械 |
| CN107525457B (zh) * | 2016-06-16 | 2020-12-01 | 株式会社三丰 | 工业机械 |
| CN108020180A (zh) * | 2017-11-22 | 2018-05-11 | 郭淑芳 | 一种表面粗糙度快速检测装置 |
| CN108020180B (zh) * | 2017-11-22 | 2020-06-09 | 江苏万力机械股份有限公司 | 一种表面粗糙度快速检测装置 |
| WO2023061288A1 (zh) * | 2021-10-13 | 2023-04-20 | 宁德时代新能源科技股份有限公司 | 测量组件、测量方法及测量系统 |
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