JPH05141426A - 真直度測定器用エアスライド - Google Patents
真直度測定器用エアスライドInfo
- Publication number
- JPH05141426A JPH05141426A JP33140691A JP33140691A JPH05141426A JP H05141426 A JPH05141426 A JP H05141426A JP 33140691 A JP33140691 A JP 33140691A JP 33140691 A JP33140691 A JP 33140691A JP H05141426 A JPH05141426 A JP H05141426A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- guide shaft
- slider
- static pressure
- pressure air
- air bearing
- Prior art date
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- Granted
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- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
- Linear Motors (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 真直度測定器の運動精度を向上させ、かつ測
定器全体を小型コンパクト化する。 【構成】 ガイド軸１１の静圧空気軸受としての機能に
不要な側面中央部の窪み部１４、１５にそれぞれリニア
モータ用コイル１６とリニアスケール１９を収容し、窪
み部１４、１５と対向するスライダ１２側の凹部１７と
凹部２０にそれぞれリニアモータ用マグネット１８とス
ケール読取用センサ２１を収容し、１本のガイド軸１１
上に駆動系と静圧空気軸受とを一体化する。
定器全体を小型コンパクト化する。 【構成】 ガイド軸１１の静圧空気軸受としての機能に
不要な側面中央部の窪み部１４、１５にそれぞれリニア
モータ用コイル１６とリニアスケール１９を収容し、窪
み部１４、１５と対向するスライダ１２側の凹部１７と
凹部２０にそれぞれリニアモータ用マグネット１８とス
ケール読取用センサ２１を収容し、１本のガイド軸１１
上に駆動系と静圧空気軸受とを一体化する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、被測定物の真直度を超
精密測定するために使用する真直度測定器用エアスライ
ドに関するものである。
精密測定するために使用する真直度測定器用エアスライ
ドに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来におけるこの種の真直度測定器に
は、真直性の良好なエアガイド上をエアスライダが運動
する機構を持つエアウエイが用いられており、このエア
ウエイを基準にして被測定物の面のうねりの大きさを微
小変位計によって測定している。
は、真直性の良好なエアガイド上をエアスライダが運動
する機構を持つエアウエイが用いられており、このエア
ウエイを基準にして被測定物の面のうねりの大きさを微
小変位計によって測定している。
【０００３】図４及び図５は従来の真直度測定器の静圧
空気軸受を示し、１はガイド軸、２はスライダ、３はガ
イド軸１の両端を支持する支持体であり、これらの支持
体３の端部に設けた支持壁４に位置検出用のリニアスケ
ール５とリニアモータ用コイル６を取り付け、スライダ
２側にはリニアスケール５に対向する位置にスケール読
取用センサ７を、またリニアモータ用コイル６に対向す
る位置にリニアモータ用マグネット８を取り付けてい
る。
空気軸受を示し、１はガイド軸、２はスライダ、３はガ
イド軸１の両端を支持する支持体であり、これらの支持
体３の端部に設けた支持壁４に位置検出用のリニアスケ
ール５とリニアモータ用コイル６を取り付け、スライダ
２側にはリニアスケール５に対向する位置にスケール読
取用センサ７を、またリニアモータ用コイル６に対向す
る位置にリニアモータ用マグネット８を取り付けてい
る。
【０００４】このような静圧空気軸受を有する真直度測
定器は、測定器自体の運動精度つまり真直性が高く、現
在優れたものは１００ｍｍ当り、０．１μｍ以下の運動
精度を有している。
定器は、測定器自体の運動精度つまり真直性が高く、現
在優れたものは１００ｍｍ当り、０．１μｍ以下の運動
精度を有している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このように両
端支持形の静圧空気軸受で構成された真直度測定器で
は、ガイド軸１の真直度がどのように精度良く製作され
ていても、実際にはガイド軸１の自重及びスライダ２の
重みでガイド軸１が約０．３〜１μｍ程度の撓みを生じ
て、測定器の精度に悪影響を及ぼすことがある。
端支持形の静圧空気軸受で構成された真直度測定器で
は、ガイド軸１の真直度がどのように精度良く製作され
ていても、実際にはガイド軸１の自重及びスライダ２の
重みでガイド軸１が約０．３〜１μｍ程度の撓みを生じ
て、測定器の精度に悪影響を及ぼすことがある。
【０００６】そこで、静圧空気軸受としての機能を充分
に持たせつつ、しかもガイド軸の撓みをできるだけ小さ
くしようとすれば、ガイド軸の断面形状はどうしても、
厚み寸法の大きい縦長の形状にする必要がある。しか
し、これでは静圧空気軸受の大きさが相当に大型にな
り、これに駆動装置を付加すると、全体が大掛かりな装
置となって使用及び運搬に困難をきたすという問題を生
ずる。
に持たせつつ、しかもガイド軸の撓みをできるだけ小さ
くしようとすれば、ガイド軸の断面形状はどうしても、
厚み寸法の大きい縦長の形状にする必要がある。しか
し、これでは静圧空気軸受の大きさが相当に大型にな
り、これに駆動装置を付加すると、全体が大掛かりな装
置となって使用及び運搬に困難をきたすという問題を生
ずる。
【０００７】本発明の目的は、このような従来例の問題
を改善するため、ガイド軸の側面中央部にリニアモータ
等の駆動系を組込むことにより、測定器全体の構成を小
型コンパクトにまとめ得るようにした真直度測定器用エ
アスライドを提供することにある。
を改善するため、ガイド軸の側面中央部にリニアモータ
等の駆動系を組込むことにより、測定器全体の構成を小
型コンパクトにまとめ得るようにした真直度測定器用エ
アスライドを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めの本発明に係る真直度測定器用エアスライドは、両端
支持形のガイド軸と該ガイド軸に沿って摺動するスライ
ダにより静圧空気軸受を構成し、前記ガイド軸の側面中
央部に窪み部を設け、該窪み部に対向してスライダ側に
設けた凹部との空間部内に前記スライダを摺動するため
の駆動系を組込んだことを特徴とするものである。
めの本発明に係る真直度測定器用エアスライドは、両端
支持形のガイド軸と該ガイド軸に沿って摺動するスライ
ダにより静圧空気軸受を構成し、前記ガイド軸の側面中
央部に窪み部を設け、該窪み部に対向してスライダ側に
設けた凹部との空間部内に前記スライダを摺動するため
の駆動系を組込んだことを特徴とするものである。
【０００９】
【作用】上述の構成を有する真直度測定器用エアスライ
ドは、その駆動系がガイド軸の静圧空気軸受としての機
能に関係ない部分に組込まれているため、静圧空気軸受
としての機能を損うことなく、駆動系と静圧空気軸受と
を一体化することができる。
ドは、その駆動系がガイド軸の静圧空気軸受としての機
能に関係ない部分に組込まれているため、静圧空気軸受
としての機能を損うことなく、駆動系と静圧空気軸受と
を一体化することができる。
【００１０】
【実施例】本発明を図１〜図３に図示の実施例に基づい
て詳細に説明する。図１は本発明に係る真直度測定器の
静圧空気軸受部の断面図を示し、図２はその正面図を示
している。図面において、１１はガイド軸、１２はスラ
イダ、１３はガイド軸１１の両端を支持する支持体を示
している。ガイド軸１１の断面形状は図３に示すよう
に、撓みを小さくするために厚み寸法Ｈの大きい縦長の
形状になっている。図３において、上下の仮想線Ａ、Ｂ
で囲まれた部分はスライダ１２と軸受を構成するために
必要な部分であるが、その両側面中央部の窪み部１４、
１５は単に撓みを小さくするために必要な部分であり、
静圧空気軸受としての機能には関係のない部分である。
て詳細に説明する。図１は本発明に係る真直度測定器の
静圧空気軸受部の断面図を示し、図２はその正面図を示
している。図面において、１１はガイド軸、１２はスラ
イダ、１３はガイド軸１１の両端を支持する支持体を示
している。ガイド軸１１の断面形状は図３に示すよう
に、撓みを小さくするために厚み寸法Ｈの大きい縦長の
形状になっている。図３において、上下の仮想線Ａ、Ｂ
で囲まれた部分はスライダ１２と軸受を構成するために
必要な部分であるが、その両側面中央部の窪み部１４、
１５は単に撓みを小さくするために必要な部分であり、
静圧空気軸受としての機能には関係のない部分である。
【００１１】実施例では、この静圧空気軸受の機能に関
係しない窪み部１４、１５にスライダ１２を摺動するた
めの駆動系が組込まれている。即ち、一方の窪み部１４
にはリニアモータ用コイル１６が収容され、その対向位
置に設けたスライダ１２側の凹部１７にはリニアモータ
用マグネット１８が収容されている。更に、ガイド軸１
１の他方の窪み部１５には位置検出用のリニアスケール
１９が取り付けられ、その対向位置に設けたスライダ１
２側の凹部２０にはスケール読取用センサ２１が取り付
けられている。なお、リニアモータ用コイル１６をスラ
イダ１２側に設け、リニアモータ用マグネット１８を窪
み部１４に設けてもよく、同様にリニアスケール１９と
読取り用センサ２１の配置を逆にしてもよい。
係しない窪み部１４、１５にスライダ１２を摺動するた
めの駆動系が組込まれている。即ち、一方の窪み部１４
にはリニアモータ用コイル１６が収容され、その対向位
置に設けたスライダ１２側の凹部１７にはリニアモータ
用マグネット１８が収容されている。更に、ガイド軸１
１の他方の窪み部１５には位置検出用のリニアスケール
１９が取り付けられ、その対向位置に設けたスライダ１
２側の凹部２０にはスケール読取用センサ２１が取り付
けられている。なお、リニアモータ用コイル１６をスラ
イダ１２側に設け、リニアモータ用マグネット１８を窪
み部１４に設けてもよく、同様にリニアスケール１９と
読取り用センサ２１の配置を逆にしてもよい。
【００１２】このように、ガイド軸１１の静圧空気軸受
の機能しない部分を利用して、駆動機構部を組込めば、
従来外部に設けられていた駆動機構部の占有スペースを
省略して、測定器全体を小型コンパクトにまとめること
ができ、しかも静圧空気軸受としての機能は従来通りで
ある。更に、ガイド軸１１の厚み寸法Ｈを大きくしてガ
イド軸１１の撓みを小さくできるため、測定器の運動精
度も向上する。
の機能しない部分を利用して、駆動機構部を組込めば、
従来外部に設けられていた駆動機構部の占有スペースを
省略して、測定器全体を小型コンパクトにまとめること
ができ、しかも静圧空気軸受としての機能は従来通りで
ある。更に、ガイド軸１１の厚み寸法Ｈを大きくしてガ
イド軸１１の撓みを小さくできるため、測定器の運動精
度も向上する。
【００１３】なお、以上の実施例は駆動系にリニアモー
タを用いた場合を示したが、その他の駆動手段を用いた
場合にも本発明を適用できることは勿論である。また、
ガイド軸の静圧空気軸受としての機能に不要な部分を利
用して粘性流体等を組込み、静圧空気軸受の減衰特性を
向上する機構を付加することも可能である。
タを用いた場合を示したが、その他の駆動手段を用いた
場合にも本発明を適用できることは勿論である。また、
ガイド軸の静圧空気軸受としての機能に不要な部分を利
用して粘性流体等を組込み、静圧空気軸受の減衰特性を
向上する機構を付加することも可能である。
【００１４】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る真直度
測定器用エアスライドは、静圧空気軸受と駆動系とを１
本の共通のガイド軸に構成したため、全体をコンパクト
にまとめることができ、小型軽量の真直度測定器を得る
ことができ、また組立も容易にすることができる。
測定器用エアスライドは、静圧空気軸受と駆動系とを１
本の共通のガイド軸に構成したため、全体をコンパクト
にまとめることができ、小型軽量の真直度測定器を得る
ことができ、また組立も容易にすることができる。
【図１】静圧空気軸受部の断面図である。
【図２】正面図である。
【図３】ガイド軸の断面図である。
【図４】従来例の斜視図である。
【図５】従来例の端面図である。
１１ ガイド軸 １２ スライダ １４、１５ 窪み部 １６ リニアモータ用コイル １８ リニアモータ用マグネット １９ リニアスケール ２１ スケール読取用センサ
Claims (1)
- 【請求項１】 両端支持形のガイド軸と該ガイド軸に沿
って摺動するスライダにより静圧空気軸受を構成し、前
記ガイド軸の側面中央部に窪み部を設け、該窪み部に対
向してスライダ側に設けた凹部との空間部内に前記スラ
イダを摺動するための駆動系を組込んだことを特徴とす
る真直度測定器用エアスライド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33140691A JP3220197B2 (ja) | 1991-11-19 | 1991-11-19 | 真直度測定器用エアスライド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33140691A JP3220197B2 (ja) | 1991-11-19 | 1991-11-19 | 真直度測定器用エアスライド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05141426A true JPH05141426A (ja) | 1993-06-08 |
| JP3220197B2 JP3220197B2 (ja) | 2001-10-22 |
Family
ID=18243334
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33140691A Expired - Lifetime JP3220197B2 (ja) | 1991-11-19 | 1991-11-19 | 真直度測定器用エアスライド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3220197B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6367159B1 (en) | 1998-06-08 | 2002-04-09 | Kuroda Precision Industries, Ltd. | Method and apparatus for measuring surface shape of thin element |
| KR100419378B1 (ko) * | 2000-11-29 | 2004-02-19 | 주식회사 에스에프에이 | 디바이더 장치 |
| JP2006194819A (ja) * | 2005-01-17 | 2006-07-27 | Lasertec Corp | 検査装置 |
| CN113890276A (zh) * | 2021-09-30 | 2022-01-04 | 兰州万里航空机电有限责任公司 | 一种直线式电动作动器 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111331430B (zh) * | 2020-03-03 | 2020-09-15 | 马拉兹(江苏)电梯导轨有限公司 | 一种导轨加工装置 |
-
1991
- 1991-11-19 JP JP33140691A patent/JP3220197B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6367159B1 (en) | 1998-06-08 | 2002-04-09 | Kuroda Precision Industries, Ltd. | Method and apparatus for measuring surface shape of thin element |
| KR100419378B1 (ko) * | 2000-11-29 | 2004-02-19 | 주식회사 에스에프에이 | 디바이더 장치 |
| JP2006194819A (ja) * | 2005-01-17 | 2006-07-27 | Lasertec Corp | 検査装置 |
| JP4547562B2 (ja) * | 2005-01-17 | 2010-09-22 | レーザーテック株式会社 | 検査装置 |
| CN113890276A (zh) * | 2021-09-30 | 2022-01-04 | 兰州万里航空机电有限责任公司 | 一种直线式电动作动器 |
| CN113890276B (zh) * | 2021-09-30 | 2024-02-06 | 兰州万里航空机电有限责任公司 | 一种直线式电动作动器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3220197B2 (ja) | 2001-10-22 |
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Legal Events
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