JP3220197B2 - 真直度測定器用エアスライド - Google Patents
真直度測定器用エアスライドInfo
- Publication number
- JP3220197B2 JP3220197B2 JP33140691A JP33140691A JP3220197B2 JP 3220197 B2 JP3220197 B2 JP 3220197B2 JP 33140691 A JP33140691 A JP 33140691A JP 33140691 A JP33140691 A JP 33140691A JP 3220197 B2 JP3220197 B2 JP 3220197B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- guide shaft
- slider
- groove
- measuring instrument
- air slide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
- Linear Motors (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、被測定物の真直度を超
精密測定するために使用する真直度測定器用エアスライ
ドに関するものである。
精密測定するために使用する真直度測定器用エアスライ
ドに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来におけるこの種の真直度測定器に
は、真直性の良好なエアガイド上をエアスライダが運動
する機構を持つエアウエイが用いられており、このエア
ウエイを基準にして被測定物の面のうねりの大きさを微
小変位計によって測定している。
は、真直性の良好なエアガイド上をエアスライダが運動
する機構を持つエアウエイが用いられており、このエア
ウエイを基準にして被測定物の面のうねりの大きさを微
小変位計によって測定している。
【０００３】図４及び図５は空気を隙間に供給して浮き
上がらせる静圧空気軸受を用いた従来の真直度測定器用
スライダを示し、１はガイド軸、２はスライダ、３はガ
イド軸１の両端を支持する支持体であり、これらの支持
体３の端部に設けた支持壁４に位置検出用のリニアスケ
ール５とリニアモータ用コイル６を取り付け、スライダ
２側にはリニアスケール５に対向する位置にスケール読
取用センサ７を、またリニアモータ用コイル６に対向す
る位置にリニアモータ用マグネット８を取り付けてい
る。
上がらせる静圧空気軸受を用いた従来の真直度測定器用
スライダを示し、１はガイド軸、２はスライダ、３はガ
イド軸１の両端を支持する支持体であり、これらの支持
体３の端部に設けた支持壁４に位置検出用のリニアスケ
ール５とリニアモータ用コイル６を取り付け、スライダ
２側にはリニアスケール５に対向する位置にスケール読
取用センサ７を、またリニアモータ用コイル６に対向す
る位置にリニアモータ用マグネット８を取り付けてい
る。
【０００４】このような静圧空気軸受を有する真直度測
定器は、測定器自体の運動精度つまり真直性が高く、現
在優れたものは１００ｍｍ当り、０．１μｍ以下の運動
精度を有している。
定器は、測定器自体の運動精度つまり真直性が高く、現
在優れたものは１００ｍｍ当り、０．１μｍ以下の運動
精度を有している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このようにガ
イド軸１の両端が支持され、かつ静圧空気軸受で構成さ
れた真直度測定器用エアスライドでは、ガイド軸１の真
直度がどのように精度良く製作されていても、実際には
ガイド軸１の自重及びスライダ２の重みでガイド軸１が
約０．３〜１μｍ程度の撓みを生じて、測定器の精度に
悪影響を及ぼすことがある。
イド軸１の両端が支持され、かつ静圧空気軸受で構成さ
れた真直度測定器用エアスライドでは、ガイド軸１の真
直度がどのように精度良く製作されていても、実際には
ガイド軸１の自重及びスライダ２の重みでガイド軸１が
約０．３〜１μｍ程度の撓みを生じて、測定器の精度に
悪影響を及ぼすことがある。
【０００６】そこで、静圧空気軸受としての機能を充分
に持たせつつ、しかもガイド軸の撓みをできるだけ小さ
くしようとすれば、ガイド軸の断面形状は上下に厚み寸
法の大きい縦長の形状にする必要がある。しかし、これ
では静圧空気軸受の大きさが相当に大型になり、これに
リニアモータや位置検出手段を付加すると、全体が大掛
かりな装置となって使用及び運搬に困難をきたすという
問題を生ずる。
に持たせつつ、しかもガイド軸の撓みをできるだけ小さ
くしようとすれば、ガイド軸の断面形状は上下に厚み寸
法の大きい縦長の形状にする必要がある。しかし、これ
では静圧空気軸受の大きさが相当に大型になり、これに
リニアモータや位置検出手段を付加すると、全体が大掛
かりな装置となって使用及び運搬に困難をきたすという
問題を生ずる。
【０００７】本発明の目的は、このような従来例の問題
を改善するため、ガイド軸の側面にリニアモータ等の駆
動系を組込むことにより、測定器全体の構成を小型コン
パクトにまとめ得るようにした真直度測定器用エアスラ
イドを提供することにある。
を改善するため、ガイド軸の側面にリニアモータ等の駆
動系を組込むことにより、測定器全体の構成を小型コン
パクトにまとめ得るようにした真直度測定器用エアスラ
イドを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明に係る真直度測定器用エアスライドは、両端を
固定したガイド軸と、該ガイド軸を囲むように配置した
スライダと、該スライダを駆動するためのマグネットと
コイルから成る駆動手段と、前記スライダの位置を検出
するためのセンサとスケールとから成る検出手段とを備
え、前記ガイド軸と前記スライダの間に前記スライダを
前記ガイド軸に沿って移動可能とする静圧空気軸受を設
けた真直度測定器用エアスライドにおいて、前記ガイド
軸を断面縦長に形成すると共に、前記ガイド軸の両側面
にガイド軸側条溝を軸線方向に沿ってそれぞれ設け、前
記ガイド軸の両側面と対向する前記スライダの両内面に
スライダ側条溝を前記ガイド軸側条溝と対向するように
それぞれ設け、前記ガイド軸の一側面側において相互に
対向する前記ガイド軸側条溝内と前記スライダ側条溝内
に、前記マグネットと前記コイルの何れか一方と他方を
それぞれ配置し、前記ガイド軸の他側面側において相互
に対向する前記ガイド軸側条溝内と前記スライダ側条溝
内に、前記センサと前記スケールの何れか一方と他方を
それぞれ配置し、前記静圧空気軸受は前記条溝を除いた
部分で構成したことを特徴とする。
の本発明に係る真直度測定器用エアスライドは、両端を
固定したガイド軸と、該ガイド軸を囲むように配置した
スライダと、該スライダを駆動するためのマグネットと
コイルから成る駆動手段と、前記スライダの位置を検出
するためのセンサとスケールとから成る検出手段とを備
え、前記ガイド軸と前記スライダの間に前記スライダを
前記ガイド軸に沿って移動可能とする静圧空気軸受を設
けた真直度測定器用エアスライドにおいて、前記ガイド
軸を断面縦長に形成すると共に、前記ガイド軸の両側面
にガイド軸側条溝を軸線方向に沿ってそれぞれ設け、前
記ガイド軸の両側面と対向する前記スライダの両内面に
スライダ側条溝を前記ガイド軸側条溝と対向するように
それぞれ設け、前記ガイド軸の一側面側において相互に
対向する前記ガイド軸側条溝内と前記スライダ側条溝内
に、前記マグネットと前記コイルの何れか一方と他方を
それぞれ配置し、前記ガイド軸の他側面側において相互
に対向する前記ガイド軸側条溝内と前記スライダ側条溝
内に、前記センサと前記スケールの何れか一方と他方を
それぞれ配置し、前記静圧空気軸受は前記条溝を除いた
部分で構成したことを特徴とする。
【０００９】
【作用】上記の構成を有する真直度測定器用エアスライ
ドは、ガイド軸を断面縦長に形成すると共に、ガイド軸
の両側面にガイド軸側条溝を軸線方向に沿ってそれぞれ
設け、ガイド軸の両側面と対向するスライダの両内面に
スライダ側条溝をガイド軸側条溝と対向するようにそれ
ぞれ設ける。そして、ガイド軸の一側面側において相互
に対向するガイド軸側条溝内とスライダ側条溝内にマグ
ネットとコイルの何れか一方と他方をそれぞれ配置し、
ガイド軸の他側面側において相互に対向するガイド軸側
条溝内とスライダ側条溝内にセンサとスケールの何れか
一方と他方をそれぞれ配置する。
ドは、ガイド軸を断面縦長に形成すると共に、ガイド軸
の両側面にガイド軸側条溝を軸線方向に沿ってそれぞれ
設け、ガイド軸の両側面と対向するスライダの両内面に
スライダ側条溝をガイド軸側条溝と対向するようにそれ
ぞれ設ける。そして、ガイド軸の一側面側において相互
に対向するガイド軸側条溝内とスライダ側条溝内にマグ
ネットとコイルの何れか一方と他方をそれぞれ配置し、
ガイド軸の他側面側において相互に対向するガイド軸側
条溝内とスライダ側条溝内にセンサとスケールの何れか
一方と他方をそれぞれ配置する。
【００１０】
【実施例】本発明を図１〜図３に図示の実施例に基づい
て詳細に説明する。図１は本発明に係る真直度測定器エ
アスライドの断面図を示し、図２はその正面図を示して
いる。図面において、１１はガイド軸、１２はスライ
ダ、１３はガイド軸１１の両端を支持する支持体を示し
ている。ガイド軸１１の断面形状は図３に示すように、
撓みを小さくするために厚み寸法Ｈの大きい縦長の形状
になっている。図３において、上下の仮想線Ａ、Ｂで囲
まれた部分はスライダ１２との間に静圧空気軸受を構成
するために必要な部分であるが、その両側面中央部の窪
み部１４、１５は単に撓みを小さくするために必要な部
分であり、静圧空気軸受としての機能には関係のない部
分である。
て詳細に説明する。図１は本発明に係る真直度測定器エ
アスライドの断面図を示し、図２はその正面図を示して
いる。図面において、１１はガイド軸、１２はスライ
ダ、１３はガイド軸１１の両端を支持する支持体を示し
ている。ガイド軸１１の断面形状は図３に示すように、
撓みを小さくするために厚み寸法Ｈの大きい縦長の形状
になっている。図３において、上下の仮想線Ａ、Ｂで囲
まれた部分はスライダ１２との間に静圧空気軸受を構成
するために必要な部分であるが、その両側面中央部の窪
み部１４、１５は単に撓みを小さくするために必要な部
分であり、静圧空気軸受としての機能には関係のない部
分である。
【００１１】実施例では、この静圧空気軸受の機能に関
係しない窪み部１４、１５にスライダ１２を摺動するた
めの駆動系と、スライダ１２の位置を検出するための検
出系とがそれぞれ組込まれている。即ち、一方の窪み部
１４にはリニアモータ用コイル１６が収容され、その対
向位置に設けたスライダ１２側の凹部１７にはリニアモ
ータ用マグネット１８が収容されている。更に、ガイド
軸１１の他方の窪み部１５には位置検出用のリニアスケ
ール１９が取り付けられ、その対向位置に設けたスライ
ダ１２側の凹部２０にはスケール読取用センサ２１が取
り付けられている。なお、リニアモータ用コイル１６を
スライダ１２側に設け、リニアモータ用マグネット１８
を窪み部１４に設けてもよく、同様にリニアスケール１
９と読取り用センサ２１の配置を逆にしてもよい。
係しない窪み部１４、１５にスライダ１２を摺動するた
めの駆動系と、スライダ１２の位置を検出するための検
出系とがそれぞれ組込まれている。即ち、一方の窪み部
１４にはリニアモータ用コイル１６が収容され、その対
向位置に設けたスライダ１２側の凹部１７にはリニアモ
ータ用マグネット１８が収容されている。更に、ガイド
軸１１の他方の窪み部１５には位置検出用のリニアスケ
ール１９が取り付けられ、その対向位置に設けたスライ
ダ１２側の凹部２０にはスケール読取用センサ２１が取
り付けられている。なお、リニアモータ用コイル１６を
スライダ１２側に設け、リニアモータ用マグネット１８
を窪み部１４に設けてもよく、同様にリニアスケール１
９と読取り用センサ２１の配置を逆にしてもよい。
【００１２】このように、ガイド軸１１の静圧空気軸受
の機能しない部分を利用して、駆動機構部を組込めば、
従来外部に設けられていた駆動機構部の占有スペースを
省略して、測定器全体を小型コンパクトにまとめること
ができ、しかも静圧空気軸受としての機能は従来通りで
ある。更に、ガイド軸１１の厚み寸法Ｈを大きくしてガ
イド軸１１の撓みを小さくできるため、測定器の運動精
度も向上する。
の機能しない部分を利用して、駆動機構部を組込めば、
従来外部に設けられていた駆動機構部の占有スペースを
省略して、測定器全体を小型コンパクトにまとめること
ができ、しかも静圧空気軸受としての機能は従来通りで
ある。更に、ガイド軸１１の厚み寸法Ｈを大きくしてガ
イド軸１１の撓みを小さくできるため、測定器の運動精
度も向上する。
【００１３】なお、以上の実施例は駆動系にリニアモー
タを用いた場合を示したが、その他の駆動手段を用いた
場合にも本発明を適用できることは勿論である。また、
ガイド軸の静圧空気軸受としての機能に不要な部分を利
用して粘性流体等を組込み、静圧空気軸受の減衰特性を
向上する機構を付加することも可能である。
タを用いた場合を示したが、その他の駆動手段を用いた
場合にも本発明を適用できることは勿論である。また、
ガイド軸の静圧空気軸受としての機能に不要な部分を利
用して粘性流体等を組込み、静圧空気軸受の減衰特性を
向上する機構を付加することも可能である。
【００１４】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る真直度
測定器用エアスライドは、ガイド軸とスライダの左右方
向が均衡した状態でガイド軸の自重が減少し、ガイド軸
が撓み難くなる。また、ガイド軸とスライダの左右方向
が均衡してスライダが円滑に移動し、駆動手段と検出手
段がガイド軸側条溝内とスライダ側条溝内に位置して、
組立前の搬送時に他の部材に接触して損傷することが減
少すると共に、全体がコンパクトにまとまる。
測定器用エアスライドは、ガイド軸とスライダの左右方
向が均衡した状態でガイド軸の自重が減少し、ガイド軸
が撓み難くなる。また、ガイド軸とスライダの左右方向
が均衡してスライダが円滑に移動し、駆動手段と検出手
段がガイド軸側条溝内とスライダ側条溝内に位置して、
組立前の搬送時に他の部材に接触して損傷することが減
少すると共に、全体がコンパクトにまとまる。
【図１】真直度測定器用エアスライドの断面図である。
【図２】正面図である。
【図３】ガイド軸の断面図である。
【図４】従来例の斜視図である。
【図５】従来例の端面図である。
１１ ガイド軸 １２ スライダ １４、１５ 窪み部 １６ リニアモータ用コイル １８ リニアモータ用マグネット １９ リニアスケール ２１ スケール読取用センサ
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F16C 32/06 G01B 7/00 G01B 21/30 101 G01D 5/245 H02K 41/02
Claims (1)
- 【請求項１】 両端を固定したガイド軸と、該ガイド軸
を囲むように配置したスライダと、該スライダを駆動す
るためのマグネットとコイルから成る駆動手段と、前記
スライダの位置を検出するためのセンサとスケールとか
ら成る検出手段とを備え、前記ガイド軸と前記スライダ
の間に前記スライダを前記ガイド軸に沿って移動可能と
する静圧空気軸受を設けた真直度測定器用エアスライド
において、前記ガイド軸を断面縦長に形成すると共に、
前記ガイド軸の両側面にガイド軸側条溝を軸線方向に沿
ってそれぞれ設け、前記ガイド軸の両側面と対向する前
記スライダの両内面にスライダ側条溝を前記ガイド軸側
条溝と対向するようにそれぞれ設け、前記ガイド軸の一
側面側において相互に対向する前記ガイド軸側条溝内と
前記スライダ側条溝内に、前記マグネットと前記コイル
の何れか一方と他方をそれぞれ配置し、前記ガイド軸の
他側面側において相互に対向する前記ガイド軸側条溝内
と前記スライダ側条溝内に、前記センサと前記スケール
の何れか一方と他方をそれぞれ配置し、前記静圧空気軸
受は前記条溝を除いた部分で構成したことを特徴とする
真直度測定器用エアスライド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33140691A JP3220197B2 (ja) | 1991-11-19 | 1991-11-19 | 真直度測定器用エアスライド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33140691A JP3220197B2 (ja) | 1991-11-19 | 1991-11-19 | 真直度測定器用エアスライド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05141426A JPH05141426A (ja) | 1993-06-08 |
| JP3220197B2 true JP3220197B2 (ja) | 2001-10-22 |
Family
ID=18243334
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33140691A Expired - Lifetime JP3220197B2 (ja) | 1991-11-19 | 1991-11-19 | 真直度測定器用エアスライド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3220197B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111331430A (zh) * | 2020-03-03 | 2020-06-26 | 马拉兹(江苏)电梯导轨有限公司 | 一种导轨加工装置 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11351857A (ja) | 1998-06-08 | 1999-12-24 | Kuroda Precision Ind Ltd | 薄板の表面形状測定方法および薄板の表面形状測定装置 |
| KR100419378B1 (ko) * | 2000-11-29 | 2004-02-19 | 주식회사 에스에프에이 | 디바이더 장치 |
| JP4547562B2 (ja) * | 2005-01-17 | 2010-09-22 | レーザーテック株式会社 | 検査装置 |
| CN113890276B (zh) * | 2021-09-30 | 2024-02-06 | 兰州万里航空机电有限责任公司 | 一种直线式电动作动器 |
-
1991
- 1991-11-19 JP JP33140691A patent/JP3220197B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111331430A (zh) * | 2020-03-03 | 2020-06-26 | 马拉兹(江苏)电梯导轨有限公司 | 一种导轨加工装置 |
| CN111331430B (zh) * | 2020-03-03 | 2020-09-15 | 马拉兹(江苏)电梯导轨有限公司 | 一种导轨加工装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05141426A (ja) | 1993-06-08 |
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