JPH0436403Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0436403Y2 JPH0436403Y2 JP16766884U JP16766884U JPH0436403Y2 JP H0436403 Y2 JPH0436403 Y2 JP H0436403Y2 JP 16766884 U JP16766884 U JP 16766884U JP 16766884 U JP16766884 U JP 16766884U JP H0436403 Y2 JPH0436403 Y2 JP H0436403Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- axis
- scale
- housing
- air
- vertical axis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
Description
【考案の詳細な説明】
この考案は座標測定機の、一般にＺ軸と呼ばれ
る鉛直軸の案内支持機構に係るものである。垂直
軸は正確にかつ、軽快に垂直移動が可能でなけれ
ばならない。本考案はこの垂直軸方向の測定精度
を高め、垂直軸の回転剛性の向上を可能とする機
構に関するものである。
る鉛直軸の案内支持機構に係るものである。垂直
軸は正確にかつ、軽快に垂直移動が可能でなけれ
ばならない。本考案はこの垂直軸方向の測定精度
を高め、垂直軸の回転剛性の向上を可能とする機
構に関するものである。
鉛直軸（以下、Ｚ軸と称する）の移動機構とし
て、以前は、ローラによる方式が用いられていた
が、動きの安定性、操作性、移動精度の向上をは
かるために、非接触、無摩擦のエアベアリング方
式が使用されるようになつてきている。第２図は
エアベアリング方式の従来のＺ軸支持機構を説明
する平面図である。図において案内３に沿つて移
動するＸ軸またはＹ軸キヤリツジ４（以下キヤリ
ツジ４という）に付設されたＺ軸ハウジング２に
四角形の断面形状を有するＺ軸１が貫通して入つ
ており、Ｚ軸の四つの側面とわずかの隙間をもつ
てエアーパツド５，６，７，８がＺ軸ハウジング
２に設けられている。なお、キヤリツジ４にも案
内３の上面、両側面と対向する位置に複数個のエ
アーパツドが取り付けられている。このエアーパ
ツドは、例えば肉厚の小さい円筒体の中心部に空
気の噴出孔を有し、その端面に噴出孔と連通する
放射状の溝を設けたもので、対向面との隙間に空
気層を形成し、エアベアリングを構成するための
ユニツトである。また、Ｚ軸１の上下移動量を検
出するために、Ｚ軸１にスケール９を取り付ける
必要があるが、エアーパツドの関係で、中央位置
に取り付けることができず、図示のように、Ｚ軸
１の端に取り付け、スケール９の１部がＺ軸１の
側面より突出する構造とせざるを得なかつた。な
お、読取ヘツド１０はスケールと対向して、固定
側の適宜な位置に設ける。
て、以前は、ローラによる方式が用いられていた
が、動きの安定性、操作性、移動精度の向上をは
かるために、非接触、無摩擦のエアベアリング方
式が使用されるようになつてきている。第２図は
エアベアリング方式の従来のＺ軸支持機構を説明
する平面図である。図において案内３に沿つて移
動するＸ軸またはＹ軸キヤリツジ４（以下キヤリ
ツジ４という）に付設されたＺ軸ハウジング２に
四角形の断面形状を有するＺ軸１が貫通して入つ
ており、Ｚ軸の四つの側面とわずかの隙間をもつ
てエアーパツド５，６，７，８がＺ軸ハウジング
２に設けられている。なお、キヤリツジ４にも案
内３の上面、両側面と対向する位置に複数個のエ
アーパツドが取り付けられている。このエアーパ
ツドは、例えば肉厚の小さい円筒体の中心部に空
気の噴出孔を有し、その端面に噴出孔と連通する
放射状の溝を設けたもので、対向面との隙間に空
気層を形成し、エアベアリングを構成するための
ユニツトである。また、Ｚ軸１の上下移動量を検
出するために、Ｚ軸１にスケール９を取り付ける
必要があるが、エアーパツドの関係で、中央位置
に取り付けることができず、図示のように、Ｚ軸
１の端に取り付け、スケール９の１部がＺ軸１の
側面より突出する構造とせざるを得なかつた。な
お、読取ヘツド１０はスケールと対向して、固定
側の適宜な位置に設ける。
従つて、従来のこの機構では、エアベアリング
の機能は充分発揮できるものの、測定機に要請さ
れるアツベの原理からは遠く外れ、測定精度を阻
害する要因となつていた。またエアーパツドがい
ずれもＺ軸１の４つの側面の中央部に対向して位
置しているため、回転剛性が弱くなるという欠点
があつた。
の機能は充分発揮できるものの、測定機に要請さ
れるアツベの原理からは遠く外れ、測定精度を阻
害する要因となつていた。またエアーパツドがい
ずれもＺ軸１の４つの側面の中央部に対向して位
置しているため、回転剛性が弱くなるという欠点
があつた。
本考案は、上記した従来技術の欠点を除くため
に案出されたもので、スケールの配置をアツベの
原理に叶うように近づけ、Ｚ軸方向の測定精度を
高めるとともに、Ｚ軸の回転剛性の向上をはかつ
た装置を提供するものである。
に案出されたもので、スケールの配置をアツベの
原理に叶うように近づけ、Ｚ軸方向の測定精度を
高めるとともに、Ｚ軸の回転剛性の向上をはかつ
た装置を提供するものである。
以下、図面を参照に、本考案の一実施例につい
て説明する。第１図は本考案の実施例の一部断面
を含む正面図、第３図は第１図の−線矢視図
である。第１図、第３図において、キヤリツジ４
への取付側のハウジング２の内面、すなわち、Ｚ
軸１の面１１に対向する面に、縦に中央部分を空
けて、二つに分離したような形で、四角形のエア
ーパツド１２，１３を左右対称に取り付ける。Ｚ
軸１の他の３側面に対向するハウジング２の内面
には、エアーパツド６，７，８を従来通り、それ
ぞれ中央部に設ける。このように構成すると、Ｚ
軸１の面１１の中央に縦にスケール９を取り付け
ることが可能となる。
て説明する。第１図は本考案の実施例の一部断面
を含む正面図、第３図は第１図の−線矢視図
である。第１図、第３図において、キヤリツジ４
への取付側のハウジング２の内面、すなわち、Ｚ
軸１の面１１に対向する面に、縦に中央部分を空
けて、二つに分離したような形で、四角形のエア
ーパツド１２，１３を左右対称に取り付ける。Ｚ
軸１の他の３側面に対向するハウジング２の内面
には、エアーパツド６，７，８を従来通り、それ
ぞれ中央部に設ける。このように構成すると、Ｚ
軸１の面１１の中央に縦にスケール９を取り付け
ることが可能となる。
本実施例においては、第４図に示すように、こ
れらのエアーパツドを上下２段（上段のエアーパ
ツドを６，７，８，１２，１３、下段のエアーパ
ツドを６′，７′，８′，１２′，１３′、で示す）
に設けてＺ軸の安定化をはかつている。
れらのエアーパツドを上下２段（上段のエアーパ
ツドを６，７，８，１２，１３、下段のエアーパ
ツドを６′，７′，８′，１２′，１３′、で示す）
に設けてＺ軸の安定化をはかつている。
このような構造とすることにより、断面四角形
のＺ軸１のキヤリツジ４側の面１１以外の他の３
側面は中央部でエアーパツド６，７，８の作用に
より押し付けられるが、キヤリツジ４側の面１１
は、両端部分がエアーパツド１２，１３により均
等に押圧されるので、Ｚ軸１はハウジング２の中
において回転剛性が向上し、回転変位による誤差
発生を防止することができる。そして面１１の中
央にスケール９を取り付けることが可能であるの
で、アツベの原理に反することに起因する誤差を
第２図に示す従来の方式に比して、著しく小さく
することが可能となる。
のＺ軸１のキヤリツジ４側の面１１以外の他の３
側面は中央部でエアーパツド６，７，８の作用に
より押し付けられるが、キヤリツジ４側の面１１
は、両端部分がエアーパツド１２，１３により均
等に押圧されるので、Ｚ軸１はハウジング２の中
において回転剛性が向上し、回転変位による誤差
発生を防止することができる。そして面１１の中
央にスケール９を取り付けることが可能であるの
で、アツベの原理に反することに起因する誤差を
第２図に示す従来の方式に比して、著しく小さく
することが可能となる。
以上説明したように、本考案の装置によれば、
簡単な機構で操作の安定化と測定精度の向上等の
効果をもたらすことができる。
簡単な機構で操作の安定化と測定精度の向上等の
効果をもたらすことができる。
第１図は本考案の実施例の一部断面を含む平面
図、第２図は従来の装置の平面図、第３図は第１
図の−線矢視図、第４図はエアーパツドを２
段に構成した本考案の実施例の説明図。 １……垂直軸、２……Ｚ軸ハウジング、５，
６，７，８……エアーパツド、９……スケール、
１２，１３……エアーパツド。
図、第２図は従来の装置の平面図、第３図は第１
図の−線矢視図、第４図はエアーパツドを２
段に構成した本考案の実施例の説明図。 １……垂直軸、２……Ｚ軸ハウジング、５，
６，７，８……エアーパツド、９……スケール、
１２，１３……エアーパツド。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ハウジングの中を断面四角形の鉛直軸を貫通さ
せ、該鉛直軸を上下に移動させる鉛直軸支持装置
において、 鉛直軸の一面を鉛直方向に２分割する直線に沿
つてスケール部材を設け、 前記鉛直軸の一面に対向するハウジング側に前
記スケール部材の両側を挟んでそれぞれエアーパ
ツドを設け、 前記スケール部材に対向するようにハウジング
側にスケール読取り手段を設け、 鉛直軸の他の３面に対向するハウジング側に
は、中央位置にエアーパツドを設けたことを特徴
とする座標測定機の鉛直軸支持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16766884U JPH0436403Y2 (ja) | 1984-11-05 | 1984-11-05 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16766884U JPH0436403Y2 (ja) | 1984-11-05 | 1984-11-05 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6182211U JPS6182211U (ja) | 1986-05-31 |
| JPH0436403Y2 true JPH0436403Y2 (ja) | 1992-08-27 |
Family
ID=30725458
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16766884U Expired JPH0436403Y2 (ja) | 1984-11-05 | 1984-11-05 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0436403Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6302711B2 (ja) * | 2014-03-17 | 2018-03-28 | 株式会社ディスコ | リニアゲージ |
-
1984
- 1984-11-05 JP JP16766884U patent/JPH0436403Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6182211U (ja) | 1986-05-31 |
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