KR20120066111A

KR20120066111A - 대면적 기판의 처리장치

Info

Publication number: KR20120066111A
Application number: KR1020100127291A
Authority: KR
Inventors: 윤근식; 전용칠
Original assignee: 주식회사 케이씨텍; 엘지디스플레이 주식회사
Priority date: 2010-12-14
Filing date: 2010-12-14
Publication date: 2012-06-22
Also published as: KR101198239B1

Abstract

본 발명은 대면적 기판의 처리장치에 관한 것으로, 대면적 기판이 외부에서 로딩 및 언로딩되는 기판출입구를 구비하는 외벽과, 상기 대면적 기판을 지지하여 상기 외벽내에서 이송하는 다수의 랙과, 상기 외벽의 내측에 마련되어 상기 다수의 랙 각각을 클램핑하여 순환이송시키는 이송클램프의 이동을 가이드하는 이송가이드와, 상기 랙에 지지된 상기 대면적 기판을 상기 랙과는 간섭의 발생없이 인계받아 처리실로 공급하는 공급부와, 상기 처리실에서 처리된 대면적 기판을 상기 랙에 인계하여 언로딩될 수 있도록 하는 배출부를 포함한다. 본 발명은 대면적 기판의 저면을 지지하는 랙을 다수로 마련하여 대면적 기판의 이송시 랙에 기판이 올려진 상태로 이송하여 대면적 기판의 떨림을 방지함으로써, 이송의 안정성을 향상시킴과 아울러 타 설비들과의 간섭을 방지하여 기판이 손상되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.

Description

대면적 기판의 처리장치{Processing apparatus for large area substrate}

본 발명은 대면적 기판의 처리장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 대면적 기판의 로딩위치와 언로딩위치가 동일한 대면적 기판의 처리장치에 관한 것이다.

일반적으로 평판 디스플레이의 제조에 사용되는 대면적의 유리 기판은 제조공정의 진행 전 또는 후에 세정과 건조공정이 요구되며, 그 제조공정의 처리 챔버와 인접한 위치에 그 기판의 세정과 건조를 위한 처리장치가 마련되어 있다.

일반적으로는 대면적 기판을 처리하는 처리장치는 처리될 기판이 로딩되는 위치와 처리가 완료된 기판이 언로딩되는 위치가 서로 다르지만, 타 제조공정과의 연계를 위해서는 로딩 위치와 언로딩 위치가 동일한 것이 보다 바람직하다.

이처럼 로딩 위치와 언로딩 위치가 동일한 대면적 기판의 처리장치에 대하여 대면적 기판의 가장자리를 지지한 상태에서 이송하는 구조에 관하여 다양한 연구가 있었지만, 공정시간의 단축과 안정적인 기판의 지지 이송에 대해서는 아직도 해결해야 할 문제점들이 있다.

종래 로딩 위치와 언로딩 위치가 동일한 대면적 기판의 처리장치는, 상부 중앙측에서 기판의 로딩과 언로딩이 이루어지며, 그 로딩된 기판을 상부에서 수평이동 후, 다시 하향으로 이동하여 처리실로 공급하기 위한 기판공급부에 그 기판을 인계하며, 그 인계된 기판이 처리되어 배출된 후, 다시 수직 방향으로 상향 이동 후, 수평 방향으로 이송하여 상기 상부 중앙측에서 기판을 언로딩할 수 있도록 이송하는 구조를 가지고 있다.

이러한 종래 대면적 기판의 처리장치의 문제점을 정리하면 다음과 같다.

1. 기판만을 지지하여 이송하는 과정에서 대면적 기판의 떨림 발생으로 주변 설비들과 간섭에 의해 기판이 손상될 수 있다.

2. 기판의 이송방향을 전환하는 과정에서 버퍼 등을 사용하기 때문에 잦은 이송수단의 변경에 따라 공정시간이 지연되며, 장치의 구성이 복잡하다.

3. 기판을 처리실에 공급하는 기판공급부에 하향으로 기판을 이송하는 이송부와의 간섭에 의한 기판의 손상 우려가 있으며, 그 간섭 발생을 방지하기 위한 기구적인 구성이 복잡하다.

4. 장치의 구성이 복잡하며, 상기 간섭의 발생을 방지하기 위하여 회동하는 설비를 포함하여 파티클의 발생요인이 많아, 기판의 세정 처리 신뢰성이 저하된다.

상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 대면적 기판을 지지하여 이송할 때 대면적 기판의 떨림 현상이 발생하는 것을 방지할 수 있는 대면적 기판의 처리장치를 제공함에 있다.

또한 본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는, 대면적 기판의 이송과정이 하나의 순환과정으로 이루어지도록 하여, 기판의 방향 전환을 위한 별도의 버퍼장치를 사용하지 않고도 대면적 기판을 이송할 수 있는 대면적 기판의 처리장치를 제공함에 있다.

아울러 본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는, 별도의 간섭 회피 수단을 사용하지 않고도, 대면적 기판을 이송하는 이송부와 이송되는 대면적 기판을 인계받아 처리실로 공급하는 공급부 사이에 간섭의 발생을 방지할 수 있는 대면적 기판의 처리장치를 제공함에 있다.

그리고 본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 과제는, 보다 간단한 구조를 가지도록 하여 장치의 크기를 줄이며, 내부에 구동 설비를 최소화하여 파티클의 발생을 줄일 수 있는 대면적 기판의 처리장치를 제공함에 있다.

상기와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명 대면적 기판의 처리장치는, 대면적 기판이 외부에서 로딩 및 언로딩되는 기판출입구를 구비하는 외벽과, 상기 대면적 기판을 지지하여 상기 외벽내에서 이송하는 다수의 랙과, 상기 외벽의 내측에 마련되어 상기 다수의 랙 각각을 클램핑하여 순환이송시키는 이송클램프의 이동을 가이드하는 이송가이드와, 상기 랙에 지지된 상기 대면적 기판을 상기 랙과는 간섭의 발생없이 인계받아 처리실로 공급하는 공급부와, 상기 처리실에서 처리된 대면적 기판을 상기 랙에 인계하여 언로딩될 수 있도록 하는 배출부를 포함한다.

본 발명 대면적 기판의 처리장치는, 대면적 기판의 저면을 지지하는 랙을 다수로 마련하여 대면적 기판의 이송시 랙에 기판이 올려진 상태로 이송하여 대면적 기판의 떨림을 방지함으로써, 이송의 안정성을 향상시킴과 아울러 타 설비들과의 간섭을 방지하여 기판이 손상되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.

또한 본 발명 대면적 기판의 처리장치는, 랙을 사용하면서도 그 랙과 처리실에 대면적 기판을 공급하는 공급부의 형상을 변경하여, 다른 회피수단을 사용하지 않고도 상기 랙에서 공급부로 기판을 인계하는 과정에서 간섭이 일어나지 않도록 함으로써, 장치의 구성을 보다 단순화할 수 있을 뿐만 아니라 구동 설비의 수를 줄여 파티클의 발생을 줄일 수 있어, 처리장치의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 대면적 기판의 처리장치의 구성도이다.

이하, 본 발명 대면적 기판의 처리장치의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 1을 참조하면 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 대면적 기판의 처리장치는, 처리가 요구되는 대면적 기판(S)을 처리장치 내부로 로딩하거나, 처리된 대면적 기판(S')을 처리장치 외부로 언로딩하기 위한 기판출입구(100)와, 상기 처리가 요구되는 대면적 기판(S) 또는 처리된 대면적 기판(S')이 올려진 상태로 순환 이송되는 제1 내지 제4랙(210~240)과, 상기 기판출입구(100)의 높이에서 평행한 방향으로 마련되어 상기 제1 내지 제4랙(210~240)의 이동을 가이드하는 상부이송가이드(110)와, 상기 상부이송가이드(110)를 통해 이송된 제1 내지 제4랙(210~240)이 수직방향으로 하향 이동할 수 있도록 가이드하는 하향이송가이드(120)와, 상기 하향이송가이드(120)에 의해 하향 이동된 제1 내지 제4랙(210~240)이 처리실(500)의 하부측에서 수평으로 이송될 수 있도록 가이드하는 하부이송가이드(130)와, 상기 하부이송가이드(130)에 의해 이송된 제1 내지 제4랙(210~240)을 상향으로 이송시켜 상기 상부이송가이드(110)에 의해 가이드되어 상기 기판출입구(100)를 통해 언로딩될 수 있도록 하는 상향이송가이드(140)와, 상기 하향이송가이드(120)에 가이드되어 이송되는 제1 내지 제4랙(210~240)으로부터 처리가 요구되는 대면적 기판(S)을 인계받아 자체 구동되어 그 대면적 기판(S)을 처리실(500)의 내부로 공급하는 공급부(300)와, 상기 처리실(500)에서 처리가 완료된 기판(S')을 상기 상향이송가이드(140)에 지지되는 제1 내지 제4랙(210~240)에 인계하는 배출부(400)를 포함하여 구성된다.

이하, 상기와 같이 구성되는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 대면적 기판의 처리장치의 구성과 작용을 보다 상세히 설명한다.

먼저, 본 발명은 처리될 대면적 기판(S)의 로딩 위치와 처리가 완료된 기판(S')의 언로딩 위치가 동일하여, 외부에서 제공되는 하나의 로봇(도면 미도시)에 대면적 기판(S)의 로딩과 대면적 기판(S')의 언로딩이 이루어질 수 있도록, 하나의 기판출입구(100)를 구비한다.

상기 기판출입구(100)는 처리실(500)의 상부 중앙측 외벽에 마련되어 있다.

상기 상부이송가이드(110), 하향이송가이드(120), 하부이송가이드(130) 및 상향이송가이드(140)는 이송클램프(도면 미도시)가 이송될 수 있도록 하는 가이드 프레임으로 상기 기판출입구(100)가 마련되는 외벽의 내측에 고정된다.

상기 상부이송가이드(110), 하향이송가이드(120), 하부이송가이드(130) 및 상향이송가이드(140)에 가이드되는 이송클램프들은 상기 제1 내지 제4랙(210~240)을 클램핑하여 이송하며, 각 가이드들(110~140)의 교차점에서 이송된 제1 내지 제4랙(210~240)을 다음의 이송클램프에 인계하게 된다.

이와 같은 이송클램프의 구조 및 인계과정은 이후에 보다 상세히 설명한다.

상기 제1 내지 제4랙(210~240)은 각각 동일한 구조를 가지고 있으며, 이송되는 대면적 기판(S)을 떨림없이 안정적으로 지지하며, 공급부(300)와 배출부(400)에 간섭되지 않고 이송될 수 있는 구조를 가진다.

도 2는 제1랙의 일실시예의 사시도이다.

도 2를 참조하면 상기 제1랙(210)은 일측부의 일부가 오픈된 윈도우 프레임(211)과, 상기 윈도우 프레임(211)의 마주하는 두 프레임에서 내측을 향하여 돌출되되, 각각의 끝단에 공간이 제공되는 다수의 지지프레임(212)과, 상기 지지프레임(212)의 상부에서 다수로 돌출되어 상기 대면적 기판(S)의 저면을 지지하는 지지핀(213)을 포함하여 구성된다.

앞서 설명한 바와 같이 이와 같은 제1랙(210)의 구성은 제2 내지 제4랙(220~240)에 그대로 적용될 수 있다.

상기 제1랙 내지 제4랙(210~240)은 상호 소정의 시간적인 간격이 있도록 상기 상부이송가이드(110), 하향이송가이드(120), 하부이송가이드(130) 및 상향이송가이드(140)를 따라 지속적으로 이동하면서 로딩된 대면적 기판(S)을 처리실(500)에 공급하는 공급부(300)에 인계하거나, 처리실(500)에서 처리된 후 배출부(400)에 위치하는 대면적 기판(S')을 인계받아 언로딩 될 수 있도록 한다.

이와 같이 랙을 다수로 사용하는 이유는 처리장치 내에서 처리되는 대면적 기판(S)의 동시 처리량을 증가시켜, 정해진 시간동안 처리할 수 있는 대면적 기판(S)의 수를 늘려 생산성을 더욱 향상시키기 위한 것이며, 필요에 따라 그 수량은 조정될 수 있다.

도 3은 상기 상부이송가이드(110)와 하향이송가이드(120)의 교차부분의 구성도이다.

도 3을 참조하면 상기 상부이송가이드(110)와 하향이송가이드(120)의 교차점에서 이송클램프(111,121)들 사이에 간섭 없이 제1랙(210)을 인계할 수 있는 구성이며, 이 인계과정을 보다 상세히 설명한다.

먼저, 상기 상부이송가이드(110)를 따라 이송되는 한 쌍의 이송클램프(111)가 처리될 대면적 기판(S)이 올려진 제1랙(210)의 가장자리를 클램핑한 상태로, 그 하향이송가이드(120)의 상부측으로 이송된다.

이때 상기 하향이송가이드(120)를 따라 이송하는 이송클램프(121)는 상향으로 이송되면서 상기 제1랙(210)의 저면을 지지하고, 그 지지상태를 유지하면서 좀 더 상향으로 이동하게 되어, 상기 제1랙(210)을 이송클램프(111)의 상부측으로 이동시킨다. 이때 이송클램프(111)의 클램핑은 해제된 상태가 되며, 이송클램프(121)는 그 제1랙(210)의 가장자리를 클램핑한다.

상기 이송클램프(121)는 제1랙(210) 지지하는 축이 절곡되어 있어, 이송클램프(111)의 이동에 간섭되지 않는다.

상기와 같이 이송클램프(121)가 제1랙(210)을 이송클램프(111)보다 높은 위치로 들어올린 상태에서 상기 이송클램프(111)는 원래의 위치로 복귀하며, 그 이송클램프(121)는 제1랙(210)을 하향이송가이드(120)를 따라 하향 이송하게 된다.

상기 이송클램프(121)는 한 쌍으로 마련되며, 각각은 모두 상기 이송클램프(111)의 사이에 위치하여 랙을 클램핑하여 하향 이동시킬 수 있게 된다.

도 4는 상기 하향이송가이드(120)의 이송클램프(121)에 의해 이송되는 제1랙(210)으로부터 기판(S)을 공급부(300)에 인계하는 과정을 설명하기 위한 설명도이다.

도 4를 참조하면 상기 공급부(300)는 모터(310)에 의해 회전하는 주동축이 내부에 마련된 주축(320)과, 상기 주축(320)의 상부측에서 상기 주동축과 기어로 맞물려 상호 동기를 맞춰 회전하며, 각각 일정한 간격으로 이격되어 배치되는 이송축(330)과, 상기 이송축(330)들 각각에 마련되어 상기 제1랙(210) 상에 올려진 상태의 기판(S)의 저면을 지지하여 그 이송축(330)의 회전에 따라 기판(S)을 처리실(500)로 공급하는 다수의 롤러(331)로 구성된다.

상기 하향이송가이드(120)에 가이드되어 하향으로 이송하는 이송클램프(121)에 클램핑된 제1랙(210)은 상기 공급부(300)에 간섭되지 않고 계속 하향으로 이동할 수 있다.

이는 상기 제1랙(210)의 윈도우 프레임(211) 내에 상기 공급부(300)가 위치하며, 지지프레임(212)들은 상기 이송축(330)들의 사이 공간에서 하향으로 이동되기 때문에 간섭이 발생하지 않게 된다.

이처럼 제1랙(210)이 공급부(300)의 하부로 이동하면서, 그 제1랙(210)의 상부에 올려진 기판(S)은 그 롤러(331)들에 의해 지지되어 상기 제1랙(210)으로부터 분리되어 공급부(300) 상에 위치하게 된다.

상기 제1랙(210)이 그 공급부(300)의 하부로 이동한 후, 모터(310)가 구동되어 각 이송축(330)들을 회전시켜 기판(S)을 처리실(500)로 공급하여, 세정 등의 처리가 이루어질 수 있게 한다.

상기와 같이 기판(S)을 공급부(300)로 인계한 제1랙(210)은 계속하향 이동하고, 하부이송가이드(130)의 이송클램프(131)에 클램핑되어 그 하부이송가이드(130)를 따라 수평으로 이송된다.

도 5는 상기 하향이송가이드(120)와 하부이송가이드(130)가 교차되는 부분의 구성도이다.

상기 하향이송가이드(120)의 이송클램프(121)에 의해 하향 이송된 제1랙(210)은 하부에서 대기하는 하부이송가이드(130)의 이송클램프(131)에 그 이송클램프(121)에 의해 클램핑되는 측면부가 아닌 다른 두 측면부가 클램핑된다.

상기 이송클램프(131)가 제1랙(210)을 클램핑한 후에 하향이송가이드(120)의 이송클램프(121)는 클램핑이 해제되고, 약간 더 하향으로 이동하여 상기 제1랙(210)에서 이격되어, 상기 이송클램프(131)의 이동에 간섭되지 않는 위치에 위치한다..

상기 제1랙(210)은 먼저 그 하부이송가이드(130)를 따라 수평으로 이송되며, 그 제1랙(210)이 이동경로에서 이탈된 상태에서 상기 하향이송가이드(120)의 클램프(121)는 상향으로 이동하게 된다.

따라서 상기 이송클램프들(121,131)간에 간섭이 발생하지 않으며, 수직하향으로 이송된 제1랙(210)의 이송방향을 수평으로 전환할 수 있게 된다.

이처럼 이송된 제1랙(210)은 다시 상향이송가이드(140)를 따라 상향 이동하는 이송클램프에 의해 상향으로 이동하게 된다. 상기 상향이송가이드(140)와 그 상향이송가이드(140)를 따라 이동하는 이송클램프는 앞서 설명한 이송클램프(121)와 동일한 구조, 동일한 작용을 하는 것으로, 그 상세한 설명은 생략한다.

이처럼 상향이송가이드(140)를 따라 상향으로 이송되는 제1랙(210)은 배출부(400)를 지나면서 그 배출부(400) 상에 놓여진 처리가 완료된 기판(S')을 상향으로 이송하게 된다.

상기 배출부(400) 또한 그 제1랙(210)의 윈도우 프레임(211) 내에 위치하며, 지지프레임(212)과 이송축은 서로 교번하여 위치되기 때문에, 간섭 없이 기판(S')을 상기 지지프레임(212)에 다수로 마련된 지지핀(213)으로 저면 지지가 되도록 하여 이동시키게 된다.

이때 상기 기판(S')은 앞서 설명한 처리기 요구되는 기판(S)의 공급전에 공급되어진 것일 수 있다.

그 다음, 상기 기판(S')이 상부에 얹혀진 제1랙(210)은 다시 상향이송가이드(140)에서 상부이송가이드(110)에 인계된다.

이때 인계의 방법과 구조는 상기 상부이송가이드(110)에서 하향이송가이드(120) 측의 이송클램프(121)로 인계하는 방법 및 구조를 이용할 수 있다.

차이점은 상기 상향이송가이드(140)의 이송클램프와 상부이송가이드(110)의 이송클램프(111)가 동일한 높이에서 제1랙(210)을 이송클램프(111)로 인계한 후, 그 상향이송가이드(140)의 이송클램프가 하향 이동하여 그 이송클램프(111)와의 간섭 발생을 방지하여 인계가 이루어지도록 한다.

그 다음, 상기 상부이송가이드(110)를 따라 제1랙(210)이 상기 기판출입구(100)측에 위치하면 외부의 로봇이 처리된 대면적 기판(S')을 외부로 언로딩시키게 된다.

상기의 설명에서는 순환되는 랙을 제1랙(210)에 한정하여 설명하였으나, 동일한 방법으로 제2 내지 제4랙(220~240)도 지속적으로 순환되면서, 로딩 및 언로딩 위치에서 로딩된 대면적 기판(S)을 공급부(300)에 인계하고, 처리된 대면적 기판(S')을 배출부(400)에서 인계받아 로딩 및 언로딩 위치로 이동시켜 언로딩될 수 있도록 한다.

본 발명은 상기 대면적 기판(S)과 처리된 대면적 기판(S')의 인계과정에서 별도의 구동원에 의해 구동되는 복잡한 설비를 사용하지 않아 전체 장치의 크기를 줄일 수 있으며, 파티클의 발생 측면에서도 유리한 효과가 있다.

전술한 바와 같이 본 발명에 따른 대면적 기판의 처리장치에 대하여 바람직한 실시예를 들어 상세히 설명하였지만, 본 발명은 전술한 실시예들에 한정되는 것이 아니고, 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명에 속한다.

100:기판출입구 110:상부이송가이드
120:하향이송가이드 130:하부이송가이드
111,121,131:이송클램프 140:상향이송가이드
300:공급부 400:배출부
500:처리실

Claims

대면적 기판이 외부에서 로딩 및 언로딩되는 기판출입구를 구비하는 외벽;
상기 대면적 기판을 지지하여 상기 외벽내에서 이송하는 다수의 랙;
상기 외벽의 내측에 마련되어 상기 다수의 랙 각각을 클램핑하여 순환이송시키는 이송클램프의 이동을 가이드하는 이송가이드;
상기 랙에 지지된 상기 대면적 기판을 상기 랙과는 간섭의 발생없이 인계받아 처리실로 공급하는 공급부; 및
상기 처리실에서 처리된 대면적 기판을 상기 랙에 인계하여 언로딩될 수 있도록 하는 배출부를 포함하는 대면적 기판의 처리장치.
제1항에 있어서,
상기 다수의 랙은,
윈도우 프레임;
상기 윈도우 프레임의 마주하는 두 프레임의 내측면에서 상호 이격되어 돌출되는 다수의 지지프레임; 및
상기 지지프레임 각각의 상부에 마련되어 상기 대면적 기판의 저면을 접촉 지지하는 다수의 지지핀을 포함하는 대면적 기판의 처리장치.
제2항에 있어서,
상기 공급부는 모터에 의해 회전하는 다수의 이송축과, 상기 이송축 각각에 다수로 마련되어 상기 대면적 기판을 지지하여 상기 이송축의 회전에 따라 상기 대면적 기판을 상기 처리실로 공급하는 다수의 롤러를 포함하되,
상기 랙이 상기 공급부와 높이가 동일할 때, 상기 모터와 상기 다수의 이송축들은 상기 윈도우 프레임이 지정하는 공간내에 위치하며, 상기 지지프레임들은 상기 이송축들의 사이에 배치되어,
상기 랙이 상기 공급부와 간섭없이 하향으로 이동하면서 상기 대면적 기판을 상기 공급부에 인계하는 것을 특징으로 하는 대면적 기판의 처리장치.
제2항에 있어서,
상기 배출부는 상기 처리부에서 처리된 대면적 기판이 이송되는 다수의 이송축을 포함하되,
상기 랙이 상향 이동할 때 상기 이송축들이 상기 윈도우 프레임의 내에 위치하며, 상기 지지프레임들은 상기 이송축들의 사이에 배치되어, 상기 처리된 대면적 기판을 랙에 간섭없이 인계하여 상향 이동될 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 대면적 기판의 처리장치.
제1항에 있어서,
상기 이송가이드는,
상기 기판출입구를 중심으로 수평방향으로 마련되어, 처리가 요구되는 상기 대면적 기판을 지지하는 상기 랙을 클램핑한 제1이송클램프의 수평이동을 지지하는 상부이송가이드;
상기 상부이송가이드를 따라 이송되는 상기 랙을 인계받는 제2이송클램프의 하향이동을 지지하는 하향이송가이드;
상기 하향이송가이드를 따라 하향 이동한 상기 랙을 인계받는 제3이송클램프를 상기 처리실의 하부에서 수평이동이 가능하도록 지지하는 하부이송가이드; 및
상기 하부이송가이드를 따라 이송된 상기 랙을 클램핑하는 제4이송클램프의 상향 이동을 지지하는 상향이송가이드를 포함하는 대면적 기판의 처리장치.
제5항에 있어서,
상기 제2이송클램프는,
상기 제1이송클램프에 의해 이송된 상기 랙을, 상기 제1이송클램프가 클램핑한 두 측면부의 다른 위치를 클램핑하며, 그 클램핑한 상태에서 상향 이동하여 상기 제1이송클램프의 이동경로에서 이탈되고,
상기 제1이송클램프가 이동하여 하향의 이동경로에서 이탈된 상태에서 상기 하향이송가이드를 따라 하향 이동하는 것을 특징으로 하는 대면적 기판의 처리장치.
제5항에 있어서,
상기 제3이송클램프는,
상기 제2이송클램프에 의해 이송되는 상기 랙을, 상기 제2이송클램프가 클램핑한 상기 랙의 두 측면부가 아닌 다른 두 측면부를 클램핑하며,
상기 제2이송클램프가 하향 이동하여 이송경로에서 이탈된 상태에서 수평 이동하는 것을 특징으로 하는 대면적 기판의 처리장치.