KR20110136746A - 잉크젯 도포 장치 및 방법 - Google Patents

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가부시키가이샤 히타치플랜트테크놀로지
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Abstract

폭, 높이 방향으로 고정밀도로 균일한 도포를 할 수 있도록 한 잉크젯 도포 장치 및 방법을 제공한다.
각 도포 헤드(15)는, X축 방향으로 배열되어, 4개씩으로 1개의 그룹을 이룬다. 동일한 그룹에서는, 도포 헤드(15)가 Y축 방향의 위치를 달리 하고, 그룹간에서는, Y축 방향으로 동일한 위치의 도포 헤드가 1개씩 있다. 다른 그룹의 Y축 방향으로 동일한 위치의 1개씩의 도포 헤드(15)는 동일한 Z축 보유 지지 플레이트(20bc)에 탑재되어 있다. 각 도포 헤드(15)는 미동 Z축 구동 수단(20a)을 구비하고, 개별로 Z축 방향으로 이동 가능하다. 또한, Z축 보유 지지 플레이트(20bc)마다 개별 Z축 구동 수단(20b1)이 설치되고, 이에 의해, Z축 보유 지지 플레이트(20bc)가 개별로 Z축 방향으로 이동 가능하다. 또한, 공통 Z축 구동 수단(30)이 설치되고, 이에 의해, 모든 Z축 보유 지지 플레이트(20bc)가, 따라서, 모든 도포 헤드(15)가 동시에 Z축 방향으로 이동 가능하다.

Description

잉크젯 도포 장치 및 방법{INK JET APPLICATION APPARATUS AND METHOD}
본 발명은, 평활한 부재에의 잉크젯 방식에 의한 도포 재료의 도포에 관한 것으로, 특히, 균일한 도포를 안정적으로 행할 수 있도록 한 잉크젯 도포 장치 및 방법에 관한 것이다.
잉크젯 방식이란, 도포 헤드로서의 기포 또는 압전 소자를 이용한 잉크젯 도포 헤드로부터 도포 재료로서의 잉크 액적을 소량씩 고정밀도로 토출하는 방식이다. 이 잉크 액적의 고정밀도의 토출에 의해서 도포 대상으로 하는 부재에 잉크 액적을 도포하는 처리를 장치화한 것이, 잉크젯 도포 장치이다. 이것은, 잉크의 고정세(高精細)한 도포를 실현할 수 있는 장치로서 최근 주목받고 있고, 종이에의 인쇄에 한정되지 않고, 모든 산업 분야에서 그 적용 가능성이 모색되고 있으며, 이미 실용화되어 있는 것도 있다.
도포 헤드의 하면 선단부에는, 복수의 노즐이 소정의 피치로 설치되고, 이 노즐의 피치에 의해서 도포 재료인 액적의 토출 간격이 결정된다. 다행히, 희망하는 액적의 도포 간격이 노즐 피치보다 큰 경우에는, 토출하는 노즐을 선택함으로써 목적을 달성할 수 있다. 그러나, 반대로, 희망하는 액적의 도포 간격이 노즐 피치보다 작은 경우에는, 시간적인 낭비를 적게 하기 위해 도포 헤드의 동작에 어떠한 고안이 필요하며, 이 고안으로서는, 종래, 몇 개의 제안이 이루어져 있다.
그 일례로서, 예를 들어, 등간격으로 동일한 복수개씩 노즐 구멍이 형성된 복수의 노즐 모듈을 평행하게 배치된 도포 헤드를 사용하고, 이러한 복수의 노즐 모듈을 도포 기판의 이동 방향(y방향)에 대하여 기울이는 동시에, 이들 노즐 모듈을 그 노즐 구멍의 배열 방향으로 어긋나게 함으로써, 이들 노즐 모듈의 모든 노즐 구멍의 도포 기판의 이동 방향에 수직인 방향(y)에서의 간격을 변경시킬 수 있도록 하고, 또한, 기판을 회전 가능하게 하여, 기판에의 도포 화상이 복수의 다른 방향의 화상으로 이루어지는 것이어도, 모두 동일한 y방향으로 도포가 행해지도록 한 기술이 제안되어 있다(예를 들어, 특허 문헌 1 참조).
이 특허 문헌 1에 기재된 기술에서는, 도포 화상을 그 엣지를 나타내는 엣지 화상과 그 내부의 내부 화상으로 구분하고, 우선, 엣지 화상의 도포(엣지 도포)를 행하고, 도포한 엣지 화상을 건조시킨 후, 내부 화상의 도포(내부 도포)를 행하는 것이지만, 엣지 화상에 대해서는, 모든 노즐 모듈의 노즐 구멍에서의 y축 방향으로 인접하는 2개의 노즐 구멍을 사용하여 인접한 주사선을 따라서 엣지 도포가 행해지고, 내부 도포는 필요한 모든 노즐 구멍을 사용하여 행해진다.
이와 같이, 엣지 도포에서는, y방향으로 인접하는 2개의 노즐 구멍을 사용하는 것이므로, 1개의 노즐 구멍을 사용하여 엣지 도포를 행하는 것보다도, 1개의 노즐 구멍으로부터의 액적의 토출량을 적게 할 수 있고, 도포선 폭을 좁게 할 수 있으며, 도포된 엣지 화상의 건조를 빠르게 할 수 있어 습윤 확산을 억제할 수 있는 것이며, 내부 도포되는 액적은 건조되어 엣지 화상에 연결하여 이 엣지 화상의 외측으로 확산되는 일은 없다고 하는 것이다.
또한, 액정 표시 패널의 컬러 필터 기판과 TFT 기판의 간격을 유지하기 위해, 컬러 필터 기판에 스페이서가 형성되지만, 이 스페이서를 용매에 용해한 잉크를 잉크젯 헤드로부터 컬러 필터 기판에 도포하도록 한 기술이 소개되어 있다(예를 들어, 특허 문헌 2 참조).
이 특허 문헌 2에 기재된 기술에 따르면, 잉크젯 헤드에는, 복수의 노즐이 소정의 피치로 설치되어 있고, 또한, 컬러 필터 기판에서의 상기 잉크의 도포 위치는, 컬러 필터 기판 상의 블랙 매트릭스 상에 설정되어 있고, 노즐의 피치가 잉크의 도포 위치의 피치보다도 작은 것이어서, 노즐의 피치를 잉크의 도포 위치의 피치에 맞출 수 있도록 하기 위해, 잉크젯 헤드를 회전시켜 노즐의 배열 방향을 변화시키고, 또한 컬러 필터 기판을 잉크젯 헤드의 회전 방향과는 역방향으로 회전시킬 수 있도록 하고 있다.
또한, 액정 셀의 컬러 필터 기판 상의 소정의 위치에, 어레이 기판과의 사이에 소정의 스페이스를 형성하기 위한 스페이서 입자를 형성하기 위해, 잉크젯 방식을 사용한 기술이 제안되어 있다(예를 들어, 특허 문헌 3 참조).
이 특허 문헌 3에 기재된 기술에 따르면, 스페이서 입자가 분산매에 분산된 스페이서 입자 분산액이 잉크젯 방식에 의해서 컬러 필터 기판 상의 소정의 위치(블랙 매트릭스의 위치)에 토출되는 것이지만, 스페이서 입자 분산액으로서, 물 및 저비점 알코올계 용매가 사용되고, 토출 후, 상온에서 감압 건조시키고, 또한, 컬러 필터 기판을 가열하여 용매를 휘발시켜, 스페이서 입자를 소정의 위치(컬러 필터 기판의 블랙 매트릭스 상의 위치)에 고착시키는 것이다. 이것은, 도포한 후에 일단 감압시키고, 또한, 다음 공정으로서 가열 건조시키는 도포 방법이다.
일본 특허 출원 공개 제2005-246248호 공보 일본 특허 출원 공개 제2010-20144호 공보 일본 특허 출원 공개 제2007-47524호 공보
상기 특허 문헌 1 내지 3에 기재된 기술과 같이, 지금까지는, 잉크젯 도포에 있어서의 높은 도포 위치 정밀도나 막 두께의 균일성을 구하기 위해서는, 특히 목표로 하는 도포 간격과 도포 헤드의 노즐 피치의 상대적인 위치 관계에 착안하고 있었다. 이것은, XY 평면내에 있어서의 위치 관계이며, 2차원적인 것이다.
그러나, 잉크젯 방식의 도포를 다양한 분야에서 활용해 나가기 위해서는, 도포재의 점도나 표면 장력 등의 도포재의 물성이나, 도포하는 대상물의 표면 상태의 영향, 나아가서는, 기판이나 필름 등의 도포 대상물의 대형화 등에 의해서도, 도포 대상물과 도포 헤드의 노즐의 간격의 관리도 중요한 것을 알게 되었다. XY 평면내만의 도포 위치 관리만으로는, 고정밀도로 균일한 도포를 행하는 것이 어려워지고 있다.
즉, 도포 대상물과 도포 헤드의 노즐의 간격이 지나치게 크면, 노즐로부터의 도포재의 액적의 토출 방향성의 정밀도에 오차가 발생하여, 이에 의해서 착탄 위치 어긋남이 발생한다. 반대로, 도포 대상물과 도포 헤드의 노즐의 간격이 지나치게 작으면, 대형화한 도포 대상물에서 굴곡에 의한 기복이 발생하므로, 면적이 넓은 도포 대상물의 일부에서 돌출된 개소가 발생하게 되는, 이 개소에서 도포 헤드가 도포 대상물에 충돌하게 될 우려가 있다.
또한, 잉크젯 도포에서는, 도포재를 낭비없이 효율적으로 사용할 수 있는 이점이 있지만, 한편 1회당의 토출량이 미량이므로, 혹은 도포 위치의 간격을 더 단축하여 더 세밀한 도포가 요구되는 점에서, 복수회의 도포 동작을 행할 필요도 있다. 이 때, 복수회의 도포 중에서 앞서 부착된 도포재의 도포 대상물 상에서의 퍼짐을 어떻게 억제할 것인가가 문제로 된다.
구체적인 수치예를 들면, 액정 패널의 글래스 기판에서의 다면취에서는, 표시 성능에의 배려로부터, 다른 면과의 도포 간섭이 있어서는 안되고, 외주 패턴의 직선성에서 대략 ±0.1㎜ 이하∼±0.5㎜ 이하의 퍼짐이 요구된다. 또한, 높이 방향에서는, 도포 후에 요철이 대략 0.1㎜ 이하 내지 0.3㎜ 이하가 아니면, 액정 패널의 표시 성능이 문제로 된다.
이와 같이, 도포 후의 도포재의 폭 방향이나 높이 방향의 퍼짐의 편차를 억제하는 것이 매우 중요하다.
본 발명의 목적은, 이러한 문제를 해소하고, 폭, 높이 방향으로 고정밀도로 균일한 도포가 가능하도록 한 잉크젯 도포 장치 및 방법을 제공하는 데에 있다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은, 복수의 도포 헤드를 개별로 회전 가능하게 하는 수단을 설치함으로써, 반송 방향에 대하여 기판이나 필름 등의 도포 대상물을 반송 방향에 대하여 기울일 수 있도록 회전 가능하게 하는 수단을 구비하고 있다. 또한, 복수의 도포 헤드의 높이 방향 위치를 조정 가능하게 하는 Z축 이동 수단을 설치하고 있다. 또한, 도포 대상물을 도포 동작과 동일 시기에 가열하는 수단을 설치하고 있다.
본 발명에 따르면, XY 평면내 뿐만 아니라 높이 방향으로 되는 Z축 이동 수단을 설치함으로써 3차원적인 위치 관리를 행할 수 있고, 또한, 도포 대상물을 가열하면서 도포함으로써, 고정밀도로 균일한 도포가 가능해진다.
도 1은 본 발명에 의한 잉크젯 도포 장치 및 방법의 일 실시 형태에서의 개략 구성을 도시하는 사시도.
도 2는 도 1에 있어서의 도포 헤드 및 그 설치 상태의 일 구체예를 도시하는 사시도.
도 3은 도 2에 있어서의 도포 헤드에 설치된 복수의 노즐의 배열의 일 구체예를 도시하는 도면.
도 4는 도 1에 도시한 실시 형태의 전체 구성을 상방에서 본 평면도.
도 5는 도 2에 있어서의 도포 헤드의 Z축 방향 구동의 구체예를 도시하는 도면.
도 6은 도 4에 도시한 도포 헤드의 배열 상태에서 도포 헤드를 회전시켰을 때의 상태의 일 구체예를 도시하는 평면도.
도 7은 필름의 도포 에어리어에서의 도포 궤적을 도포 헤드에서의 토출 노즐의 배열 방향의 간격 P보다도 좁게 하는 경우의 도포 헤드의 상태를 도시하는 도면.
도 8은 도 1에 도시한 실시 형태에서의 잉크젯 도포의 제어부의 일 구체예를 도시하는 블록도.
도 9는 도 1에 도시한 실시 형태에서의 도포 헤드의 토출 노즐의 X축 방향의 간격을 도포 궤적의 간격 Q와 동등하게 하여 필름 상에 도포할 때의 동작의 흐름의 일 구체예를 도시하는 흐름도.
이하, 본 발명의 실시 형태를 도면을 사용하여 설명한다.
또한, 이하에 설명하는 실시 형태는, 도포 대상으로서 플랫ㆍ패널ㆍ디스플레이에 사용되는 글래스 기판에 대하여 액정 분자의 배열 방법을 제어하기 위한 러빙을 한 폴리이미드의 박막이나 전기 영동 방식 등을 응용한 플렉시블ㆍ디스플레이라고 불리어지는 유연하게 구부러지는 전자 페이퍼 등, 다종 다양한 용도가 있다. 이 실시 형태에서는, 필름 형상의 플렉시블한 부재를 도포 대상물로 하는 것을 일례로 하는 것이며, 예를 들어, 비실리콘계의 반도체 재료(예를 들어, CIGS 박막)가 실시된 태양 전지 필름 상에, 잉크젯 방식의 도포 헤드로 전극재나 절연재를 도포함으로써, 전극이나 절연막 등의 막 형성을 행하는 것으로 한다. 잉크젯 방식에 따르면, 판 작성 경비를 삭감할 수 있는 것이나 도포 재료의 효율적인 사용이 가능하다고 하는 장점이 있어, 잉크젯 방식에 의한 도포의 채용이 확대되고 있다. 또한, CIGS 박막은, Cu(구리), In(인듐), Ga(갈륨) 및 Se(셀렌)로 이루어지는 반도체 재료의 박막이며, 「CIGS」는 이들 소재의 이니셜을 나열한 것이다.
도 1은 본 발명에 의한 잉크젯 도포 장치 및 방법의 일 실시 형태에서의 개략 구성을 도시하는 사시도이며, 참조 부호 1은 태양 전지용 적층 필름(이하, 간단히 필름이라고 함), 참조 부호 2는 권출측 필름 롤, 참조 부호 3은 권취측 필름 롤, 참조 부호 4, 5는 가이드 롤, 참조 부호 6, 7은 승강 가이드 롤, 참조 부호 8, 9는 흡착 바, 참조 부호 10은 흡착 테이블, 참조 부호 11은 권출측 축 모터, 참조 부호 12는 권취측 축 모터, 참조 부호 13, 14는 필름 압박 바, 참조 부호 15는 도포 헤드, 참조 부호 16은 권출부, 참조 부호 17은 도포부, 참조 부호 18은 권취부, 참조 부호 19는 촬상 카메라, 참조 부호 20a는 미동(微動) Z축 구동 수단, 참조 부호 21은 θ축 구동 수단, 참조 부호 22는 고무 히터, 참조 부호 23은 롤러용 히터이다.
도 1에 있어서, 필름(1)의 길이 방향(이동 방향)을 X축 방향으로 하여, 이 X축 방향을 따르는 공간이 권출부(16)와 도포부(17)와 권취부(18)로 구분되어 있다. 권출부(16)에는, 권출측 축 모터(11)에 의해서 회전 구동되는 권출측 필름 롤(2)이나 상류측의 가이드 롤(4), 승강 가이드 롤(6), 흡착 바(8)가 X축 방향으로 순차 배열되어 설치되고, 권취부(18)에는, 하류측의 흡착 바(9)나 승강 가이드 롤(7), 가이드 롤(5), 권취측 필름 롤(3)이 X축 방향으로 순차 배열하여 설치되어 있다.
또한, 여기서는, 도포부(17)의 직후에 권취부(18)가 설치되는 것으로 하지만, 도포부(17)와 권취부(18) 사이에 감압부나 건조부를 설치하고, 이들에 의해서 필름(1)에의 도포 직후에 필름(1)에 부착된 도포재(도시 생략)의 용매를 증발시키는 구간을 설정하여도 된다.
권출부(16)에서는, 권출측 필름 롤(2)에 도포부(17)에서 전극재나 절연재의 도포 대상으로 되는 띠 형상의 필름(1)이 롤 형상으로 권취되어 있다. 또한, 이 필름(1)은, 이 권출측 필름 롤(2)로부터 권출되어 도포부(17)를 통과하고, 권취부(18)에서 권취측 필름 롤(3)에 권취되어 있다. 권출측 필름 롤(2)에는, 롤러용 히터(23)가 가열 수단으로서 내장되어 있고, 이에 의해, 20 내지 80℃의 온도 범위에서 도포부(17)에 권출하는 필름(1)을 사전 가열할 수 있도록 하고 있다.
도포부(17)에는, 흡착 테이블(10)이나 도포 헤드(15), 필름 압박 바(13, 14)가 설치되어 있고, 필름(1)이 흡착 테이블(10) 상에 진공 흡착에 의해서 위치 고정된다. 도포 헤드(15)에는, 촬영 카메라(19)나 미동 Z축 구동 수단(20a), θ축 구동 수단(21) 등이 설치되어 헤드부를 이루고 있다. 흡착 테이블(10)이 필름(1)의 하면에 흡착된 상태에 있을 때, 필름(1)의 양 측변측에 컬이 발생하여 흡착 테이블(10)의 표면으로부터 올라 오는 일이 있지만, 이 올라 온 양 측변측의 부분을 필름 압박 바(13, 14)가 상측으로부터 흡착 테이블(10)을 압박하도록 하고 있다. 이에 의해, 필름(1)의 컬이 교정된다. 흡착 테이블(10)이나 필름 압박 바(13, 14)의 흡착 동작은, 진공 펌프를 진공원으로 하여, 진공 밸브에 의해 행해지는 것이며, 필름(1)의 흡착 고정이나 고정 해제가 행해진다.
흡착 테이블(10)의 하면에는, 고무 히터(22)가 부착되어 있고, 이에 의해, 필름(1)에의 도포의 동작 중에도 포함시켜 상시 흡착 테이블(10) 전체가 50 내지 100℃의 온도 범위에서 가열되고, 이것에 수반하여, 이 흡착 테이블(10)에 흡착된 필름(1)도 가열된다. 이와 같이, 이 도포 중의 가열에 의해, 도포 헤드(15)의 토출 노즐(도시 생략)로부터 토출되어 필름(1)에 부착된 도포재는 단시간에 그 용매가 증발하여, 필름(1) 상의 도포재의 습윤 확산을 억제할 수 있다.
그런데, 상기와 같이, 권출측 필름 롤(2)에 내장된 롤러용 히터(23)에 의해, 필름(1)이 권출측 필름 롤(2)에 권취되어 있는 상태에서 20 내지 80℃의 온도 범위에서 사전에 가열되어 있지만, 이에 의해, 권출측 필름 롤(2)로부터 흡착 테이블(10)에 필터(1)가 가열된 상태로 반송되어 오게 되므로, 이 필름(1)을 그 도포 개시시로부터 가열 상태에 있도록 할 수 있어, 필름(1)이 흡착 테이블(10)에 흡착되자마자 도포 동작을 개시하여도, 이 필름(1) 상에 도포된 도포재의 습윤 확산을 억제할 수 있다. 또한, 필름(1)은, 흡착 테이블(10) 상에 반송되었을 때에는, 이미 롤러용 히터(23)에 의해서 가열되어 어느 정도 연해져 있으므로, 필름 압박 바(13, 14)에 의한 필름(1)의 흡착 테이블(10)의 표면에의 압박도 원활하게 행해지게 된다.
또한, 권출측 필름 롤(2)에서의 롤러용 히터(23)의 설정 온도는, 고무 히터(22)에서의 설정 온도보다도 낮게 하거나, 같은 정도로 해 두는 쪽이, 필름(1)의 변형이나 위치 결정 정밀도의 면으로부터 유효하지만, 이에 한정되는 것은 아니다.
도 2는 도 1에 있어서의 도포 헤드(15) 및 그 설치 상태의 일 구체예를 도시하는 사시도이며, 참조 부호 20a1은 미동 구동부, 참조 부호 20a2는 Z축 보유 지지판, 참조 부호 20bc는 Z축 보유 지지 플레이트, 참조 부호 24는 X축 구동 수단, 참조 부호 25는 레이저 거리계, 참조 부호 26은 도포재, 참조 부호 27은 헤드부, 참조 부호 28은 갠트리이며, 도 1에 대응하는 부분에는 동일 부호를 부여하여 중복되는 설명을 생략한다.
도 2에 있어서, 필름(1)이 이동하는 X축 방향으로 가늘고 긴 보유 지지 플레이트(20bc) 상에 도시하지 않은 헤드부 보유 지지판이 고정되고, 이 헤드부 보유 지지 기판 상에 헤드부(27)가 적재되어 있다. 또한, 보유 지지 플레이트(20bc)는, 후술하는 개별 Z축 구동 수단과 공통 Z축 구동 수단을 구성하는 것이다.
또한, 미동 Z축 구동 수단(20a)은, 미동 Z축 구동부(20a1)와 Z축 보유 지지판(20a2)으로 이루어져 있다.
이 헤드부(27)는, 도포 헤드(15)나 미동 Z축 구동 수단(20a), θ축 구동 수단(21), X축 구동 수단(24), 레이저 거리계(25) 등으로 구성되어 있는 것이며, 레이저 거리계(25)는 도포 헤드(15)에 설치되고, 도포 헤드(15)는 미동 Z축 구동 수단(20a)의 미동 Z축 구동 수단(20a1)에 의해서 Z축 방향[흡착 테이블(10)의 표면에 수직인 방향]으로 미동 구동되는 Z축 보유 지지판(20a2)에 설치되어 있다. 따라서, 미동 Z축 구동부(20a1)의 구동에 의해, 도포 헤드(15)와 레이저 거리계(25)가 Z축 방향으로 미동, 즉, 흡착 테이블(10)에 흡착된 필름(1)의 면에 대하여 상하 방향으로 미동한다.
또한, θ축 구동 수단(21)은, 도포 헤드(15)나 레이저 거리계(25), 미동 Z축 구동 수단(20a)의 상측에 설치되어 있고, 이들을 θ축 방향으로 회전시킴으로써, X축 방향에 대한 헤드(15)의 방향을 변화시킨다.
또한, X축 구동 수단(24)은, 헤드부(27)가 설치된 도시하지 않은 헤드부 보유 지지판 상에서, 도포 헤드(15)나 레이저 거리계(25), 미동 Z축 구동 수단(20a), 촬영 카메라(19)를 X축 방향으로 이동시키는 것이며, 이에 의해, 도포 헤드(15)의 X축 방향의 위치가 조정된다.
갠트리(28)는, 후술하는 바와 같이, 후술하는 Y축 구동 수단을 구성하고 있고, 갠트리(28)가 Y축 방향으로 이동하는 동시에, 보유 지지 플레이트(20bc)도 Y축 방향으로 이동하고, 이에 의해, 도포 헤드(15)가 흡착 테이블(10) 상에 흡착된 필름(1)에 대하여 Y축 방향으로 이동한다.
또한, 보유 지지 플레이트(20bc)는, 후술하는 바와 같이, 미동 Z축 구동 수단(20a)과는 다른 Z축 구동 수단(개별 Z축 구동 수단과 공통 Z축 구동 수단)을 구성하여, Z축 방향으로 이동할 수 있고, 이 보유 지지 플레이트(20bc)의 Z축 방향의 이동에 의해서도, 헤드부(27)가 Z축 방향으로 이동하여 도포 헤드(15)가 상하 이동한다.
촬상 카메라(19)는, 흡착 테이블(10) 상에 흡착된 필름(1)에 설치된 기준 위치를 나타내는 마크(도시 생략)를 촬영하는 것이며, 이 촬영 결과를 기초로, 필름(1)의 위치 조정이 이루어진다.
또한, 도포 헤드(15)의 하단부면[흡착 테이블(10) 상에 흡착된 필름(1)의 면에 대향하는 면]에는, 토출 노즐(도시 생략)이 설치되어 있고, 흡착 테이블(10) 상에 흡착된 필름(1)에의 도포 시에는, 이러한 토출 노즐로부터 도포재(26)가 토출되어 이 필름(1) 상에 도포된다.
도 3은 이 도포 헤드(15)에 설치된 복수의 노즐의 배열의 일 구체예를 도시하는 도면이며, 참조 부호 15a는 도포 헤드(15)의 하단부면, 참조 부호 15b는 토출 노즐이다.
도 3에 있어서, 도포 헤드(15)의 하단부면(15a)은 가늘고 긴 형상을 이루고 있고, 이러한 하단부면(15a)에, 그 길이 방향을 따라서, 복수의 토출 노즐(15b)이 일렬로 배열되어 설치되어 있다. 이 도포 헤드(15)의 하단부면(15a)의 길이 방향은, 도포 헤드(15)가 θ축 구동 수단(21)에 의해 회전 구동되지 않은 상태(초기 회전 상태)에 있을 때의 X축 방향을 따르는 방향이다. θ축 구동 수단(21)에 의해서 도포 헤드(15)가 회전하면, 토출 노즐(15b)의 배열 방향은, 그 회전량에 따른 각도만큼 X축 방향에 대하여 기울어지게 된다.
도 4는 도 1에 도시한 실시 형태의 전체 구성을 상방에서 본 평면도이며, 참조 부호 20b는 개별 Z축 구동 수단, 참조 부호 20b1은 개별 Z축 구동부, 참조 부호 20c는 공통 Z축 구동 수단, 참조 부호 20c1은 공통 Z축 구동부, 참조 부호 20c2는 가이드, 참조 부호 29a, 29b는 리니어 레일, 참조 부호 30은 Y축 구동부이며, 도 1, 도 2에 대응하는 부분에는 동일 부호를 부여하여 중복되는 설명을 생략한다.
도 4에 있어서, 도포부(17)에는, 잉크젯식의 도포 헤드(15)가 복수개, 여기서는, 8개 설치되어 있고, 각각의 도포 헤드(15)는, 상기와 같이, 미동 Z축 구동 수단(20a)에 의해, 개별적으로 상하 이동 가능하게 하고 있다. 이들 도포 헤드(15)는 4개를 1개의 그룹으로 하고, 여기서는, 2개의 그룹이 설치되어 있다. 단, 3 이상의 그룹이어도 된다.
그리고, 흡착 테이블(10)을 가로지르는 방향(Y축 방향)으로 평행한 2개의 리니어 레일(29a, 29b)에 걸쳐서 갠트리(28)가 가설되어 있고, 또한, 이들 리니어 레일(29a, 29b)간에 4개의 Z축 보유 지지 플레이트(20bc)가 X축 방향으로 서로 평행하게, 또한 서로 소정의 간격을 두고 설치되어 있다.
이러한 4개의 Z축 보유 지지 플레이트(20bc)에 있어서, 가장 갠트리(28)측으로부터 순서대로 1번째, 2번째, 3번째, 4번째의 Z축 보유 지지 플레이트(20bc)로 하고, 또한 리니어 레일(29a) 측의 그룹을 제1 그룹, 리니어 레일(29b) 측의 그룹을 제2 그룹으로 하면, 1번째의 Z축 보유 지지 플레이트(20bc) 상에는, 제1, 제2 그룹의 1개씩의 도포 헤드(15)가 제1 소정의 간격으로 배치되고, 2번째의 Z축 보유 지지 플레이트(20bc) 상에는, 제1, 제2 그룹의 다른 1개씩의 도포 헤드(15)가 동일한 제1 소정의 간격으로, 또한 1번째의 Z축 보유 지지 플레이트(20bc) 상에 배치된 도포 헤드(15)와는 X축 방향으로 제2 소정 간격으로 배치되고, 3번째의 Z축 보유 지지 플레이트(20bc) 상에는, 제1, 제2 그룹의 또 다른 1개씩의 도포 헤드(15)가 동일한 제1 소정의 간격으로, 또한 2번째의 Z축 보유 지지 플레이트(20bc) 상에 배치된 도포 헤드(15)와는 동일한 X축 방향으로 제2 소정 간격으로 배치되고, 또한, 4번째의 Z축 보유 지지 플레이트(20bc) 상에는, 제1, 제2 그룹의 나머지의 1개씩의 도포 헤드(15)가 동일한 제1 소정의 간격으로, 또한 3번째의 Z축 보유 지지 플레이트(20bc) 상에 배치된 도포 헤드(15)와는 동일한 X축 방향으로 제2 소정 간격으로 배치된다.
이에 의해, 이것에 8개의 도포 헤드(15)의 X축 방향으로 본 배열에서는, 각각의 도포 헤드(15)는 서로 X축 방향으로 위치가 어긋나게 되어 배치되게 되지만, 이들 도포 헤드(15)의 X축 방향의 간격이 동등하게 되도록, 상기 제1, 제2 소정 간격이 설정된다. 더 구체적으로는, 각 도포 헤드(15)는, 도 3에 도시한 바와 같이, 직선 형상으로 배열된 복수개의 토출 노즐(15b)을 구비하고 있지만, 8개의 모든 도포 헤드(15)의 토출 노즐(15b)의 X축 방향의 위치가 모두 등간격으로 되도록, 상기의 제1, 제2 소정 간격이 설정되는 것이다.
또한, Z축 보유 지지 플레이트(20bc)간에는 소정의 간격이 설정되어 있고, 각 도포 헤드(15)는, 도 2에 도시한 바와 같이, 미동 Z축 구동 수단(20a)의 Z축 보유 지지판(20a2)에 보유 지지되어 있음으로써, 도포 헤드(15)의 하단부면(15a)의 토출 노즐(15b)의 배열의 전체가 직접 필름(1)의 면에 대향하고 있다.
갠트리(28)의 리니어 레일(29a) 측에는, 공통 Z축 구동 수단(20c)을 형성하는 공통 Z축 구동부(20c1)가 설치되어 있고, 이 공통 Z축 구동부(20c1)에 4개의 개별 Z축 구동 수단(20b)을 형성하는 4개의 개별 Z축 구동부(20b1)가 설치되어 있다. 그리고, 이들 4개의 개별 Z축 구동부(20b1) 각각에 Z축 보유 지지 플레이트(20bc)가 설치되어 있다. 이들 Z축 보유 지지 플레이트(20bc)의 리니어 레일(29b) 측의 단부는, 가이드(20c2)에 의해서 지지되어 있다.
따라서, Z축 보유 지지 플레이트(20bc)는, 공통 Z축 구동부(20c1) 등과 함께, 공통 Z축 구동 수단(20c)을 구성하고, 또한, 개별 Z축 구동부(20b1) 등과 함께, 개별 Z축 구동 수단(20b)을 구성한다. 그리고, 공통 Z축 구동부(20c1)의 구동에 의해, 모든 Z축 보유 지지 플레이트(20bc)가 동시에 동일한 거리만큼 Z축 방향으로 상하 이동하게 되고, 이에 의해, 모든 도포 헤드(15)가 동시에 동일한 거리만큼 Z축 방향으로 상하 이동한다. 또한, 4개의 개별 Z축 구동부(20b1) 중 어느 하나의 구동에 의해, 그 개별 Z축 구동부(20b1)에 설치되어 있는 Z축 보유 지지 플레이트(20bc)가 Z축 방향으로 상하 이동하게 되고, 이에 의해, 그 Z축 보유 지지 플레이트(20bc)에 설치되어 있는 제1, 제2 그룹의 1개씩의 도포 헤드(15)가 동시에 동일한 거리만큼 Z축 방향으로 상하 이동한다.
또한, 도 2에 있어서, 도포 헤드(15)에 설치되어 있는 미동 Z축 구동부(20a1)가 구동하면, 이 도포 헤드(15)만이 Z축 방향으로 상하 이동한다.
이와 같이, 이 실시 형태에서는, Z축 구동 수단으로서 미동 Z축 구동 수단(20a)과 개별 Z축 구동 수단(20b)과 공통 Z축 구동 수단(20c)이 설치되고, 이에 의해, 지정되는 1개의 도포 헤드(15)만을 상하 이동시킬 수 있고, 지정되는 Z축 보유 지지 플레이트(20bc)에 설치되어 있는 2개의 도포 헤드(15)를 동시에 동일한 거리만큼 상하 이동시킬 수 있고, 모든 도포 헤드(15)를 동시에 동일한 거리만큼 상하 이동시킬 수 있는 것이며, 필름(1)에서의 도포 시의 상황에 따라서 어느 하나의 Z축 방향의 구동을 선택하여 행하게 할 수 있다.
여기서, 흡착 테이블(10)에 흡착된 필름(1)으로 도포 동작이 행해질 때에는, 레이저 거리계(25)(도 2)가 이 필름(1)의 표면과 도포 헤드(15)의 토출 노즐(15b)(도 3)의 거리를 광학적으로 비접촉으로 계측하고, 그 필름(1), 토출 노즐(15b)간의 거리가 소정의 거리로 되도록, 미동 Z축 구동 수단(20a)이 구동 동작을 행하여 도포 헤드(15)를 Z축 방향으로 이동시켜 그 필름(1), 토출 노즐(15b)간의 거리를 조정하지만, 필름(1), 토출 노즐(15b)간의 거리가 미동 Z축 구동 수단(20a)의 구동 동작으로 조정할 수 있는 범위를 초과하여 완전히 조정할 수 없는 경우에는, 다음에, 개별 Z축 구동 수단(20b)이 구동 동작을 개시하여, 필름(1), 토출 노즐(15b)간의 거리를 조정한다. 이 경우, 구동 대상으로 된 Z축 보유 지지 플레이트(20bc) 상의 한쪽의 도포 헤드(15)에서 필름(1), 토출 노즐(15b)간의 거리가 조정되었다 하더라도, 다른 쪽의 도포 헤드(15)에서 필름(1), 토출 노즐(15b)간의 거리가 소정의 거리로부터 어긋나 있는 경우에는, 미동 Z축 구동 수단(20a)이 구동 동작을 행하여 그 도포 헤드(15)의 필름(1), 토출 노즐(15b)간의 거리를 조정한다.
개별 Z축 구동 수단(20b)의 구동 동작에 의해서도, 필름(1), 토출 노즐(15b)간의 거리를 조정할 수 없는 도포 헤드(15)가 존재하는 경우에는, 공통 Z축 구동 수단(20c)이 구동 동작을 행하게 되지만, 이 공통 Z축 구동 수단(20c)은, 또한, 흡착 테이블(10)에 필름(1)이 흡착되어 도포 동작을 개시할 때에, 도포 헤드(15)의 필름(1), 토출 노즐(15b)간의 거리를 초기 설정하기 위해서도 사용된다.
도 5는 도 2에 있어서의 도포 헤드(15)의 Z축 방향 구동의 구체예를 도시하는 도면이며, 앞서 나온 도면에 대응하는 부분에는 동일 부호를 부여하여 중복되는 설명을 생략한다.
도 5에 있어서, 필름(1)에는, 그 폭 방향(Y축 방향)에서 보아, 필름(1)의 컬 등에 의한 단차 d1, 사전에 회로 등이 형성되어 있는 것에 의한 단차 d2의 볼록부, 단차 d3의 오목부가 발생되어 있는 것으로 한다. 여기서, d1>d2, d3으로 하고, 필름(1)과 도포 헤드(15)의 토출 노즐(15b) 사이의 규정 거리를 D로 한다.
상기와 같이, 미동 Z축 구동 수단(20a)은 각각의 도포 헤드(15)의 기계적인 설치 오차를 흡수하여, 외관상의 도포 헤드(15)의 설치 오차를 없애는 것이지만, 또한, 필름(1) 상에 사전에 형성된 회로 등의 존재에 의해서, 필름(1) 상에 단차 d2의 볼록부나 단차 d3의 오목부가 존재하는 경우도 있고, 이러한 오목, 볼록부에서도 필름(1)과 도포 헤드(15)의 토출 노즐 사이의 거리가 규정 거리 D로 되도록 하는 것이 미동 Z축 구동 수단(20a)이다.
또한, 필름(1)에는, 폭 방향으로 컬이 발생하는 경우가 있다. 상기의 필름 압박 바(13, 14)로 필름(1)의 양 측변부를 누름으로써, 필름(1)의 이러한 컬은 교정되지만, 도시한 바와 같이, 단차 d1에서 필름(1)의 양 측변부가 상측으로 볼록해져 굴곡이 발생하는 경우가 있다. 이 굴곡은, 필름(1)의 폭 방향에서 발생하기 쉽지만, 필름(1)의 길이 방향에서는 발생하기 어렵고, 또한 미동 Z축 구동 수단(20a)으로는, 대응할 수 없는 경우가 많으므로, 개별 Z축 구동 수단(20b)에 의해, 이 필름(1)의 주로 폭 방향의 굴곡에 의해서 필름(1)과 도포 헤드(15)의 토출 노즐(15b) 사이의 거리가 변동되지 않도록, 이 굴곡을 따라서 X축 방향으로 배열된 2개의 도포 헤드(15), 즉, 동일한 Z축 보유 지지 플레이트(20bc)에 설치되어 있는 2개의 도포 헤드(15)의 토출 노즐(15b)과 필름(1) 사이의 거리를, 규정 거리를 D로 되도록, 조정하는 것이다.
또한, 이 굴곡이 미동 Z축 구동 수단(20a)의 구동으로 대응할 수 있는 경우라도, 이와 같은 굴곡에서는, 동일한 Z축 보유 지지 플레이트(20bc)에서 레이저 거리계(25)의 계측 결과가 거의 동일하게 되는 경우도 있어, 이와 같은 경우에는, 개별 Z축 구동 수단(20b)에 의해 이들 도포 헤드(15)를 동시에 Z축 방향으로 이동시키도록 할 수도 있다.
순서 변경으로 필름(1)의 두께가 변경이 된 경우, 혹은 노즐 막힘 방지를 위해 플러싱이라고 칭하는 동작을 행하는 경우 등의 메인터넌스적인 동작에 있어서, 모든 도포 헤드(15)를 일괄적으로 상하 이동시키는 경우에는, 공통 Z축 구동 수단(20c)에 의한 Z축 방향의 구동이 행해진다.
또한, 이상의 각 Z축 구동 수단(20a 내지 20c)의 역할은 주된 것이며, 이것에 한정되는 것이 아니라, 목적을 다소 바꿔서 이들 3종류의 Z축 구동 수단을 활용할 수도 있다.
도 4로 되돌아가, 리니어 레일(29a, 29b)에는, 갠트리(28)를 Y축 방향으로 이동시키기 위한 Y축 구동 수단(30)이 설치되어 있다. 이 Y축 구동 수단(30)의 구동에 의해, 갠트리(28)가 Y축 방향으로 이동하고, 이것에 수반하여 개별 Z축 구동 수단(20b)과 공통 Z축 구동 수단(20c)이 Y축 방향으로 이동하고, 모든 Z축 보유 지지 플레이트(20bc)가 서로의 간격을 유지하여 Y축 방향으로 이동한다. 따라서, 이에 의해, 모든 도포 헤드(15)가 동시에 동일한 속도로 Y축 방향으로 이동한다.
필름(1)에서의 도포가 행해지지 않을 때에는, 도포 헤드(15)는, 그 토출 노즐(15b)(도 3)의 배열 방향이 X축 방향으로 평행하게 되는 상태로 설정되지만, 필름(1) 상에서의 도포재(26)(도 2)의 도포 상황에 따라서는, 토출 노즐(15b)의 배열 방향을 변경시키는 것이 필요한 경우가 있다. 이와 같은 경우에는, 도 2에 도시한 θ축 구동 수단(21)에 의해, 도포 헤드(15)를 회전시킨다.
도 6은 이러한 상태를 도시하는 평면도이며, 앞서 나온 도면에 대응하는 부분에는 동일 부호를 부여하여 중복되는 설명을 생략한다.
도 6에 있어서, θ축 구동 수단(21)의 구동에 의해, 도포 헤드(15)가 각도 α만큼 회전시킨 것이며, 이들 도포 헤드(15)의 토출 노즐(15b)의 배열 방향은, X축 방향에 대하여 각도 α만큼 어긋난 상태로 되어 있다. 이와 같이, 도포 헤드(15)를 각도 α만큼 회전시키면, 그 토출 노즐(15b)의 X축 방향을 따르는 간격은, cosα배로 되어 축소된다. 따라서, 이러한 도포 헤드(15)의 복수의 토출 노즐(15b)로 Y축 방향으로 동시에 도포를 행하면, 도포 헤드(15)가 회전시키기 전의 상태일 때보다도, 이들 토출 노즐(15b)의 도포 궤적의 간격이 cosα배로 좁아져, 보다 좁은 궤적 간격으로 도포하는 경우에 이를 이용할 수 있게 된다.
또한, 도 4에 도시한 바와 같이, 각 도포 헤드(15)가 X축 방향으로 평행한 상태[즉, α=0도이며, 도 3에 도시한 도포 헤드(15)에서의 토출 노즐(15b)의 배치 방향이 X축에 평행한 방향]에 있을 때에는, 이들 도포 헤드(15)의 단부가 X축 방향으로 일부 겹친 상태에 있고, 이에 의해, 제1, 제2 그룹의 모든 도포 헤드에서의 모든 토출 노즐(15b)은 그 X축 방향의 간격이 모두 동등한 간격으로 되어 있다. 예를 들어, 도 3에 도시한 바와 같이, 토출 노즐(15b)의 그 배열 방향의 간격(이하, 배열 간격이라고 함)을 P로 하면, 도 4에 도시한 상태에서는, 어느 도포 헤드(15)의 우단부(혹은 좌단부)의 토출 노즐(15b)과 이 도포 헤드(15)의 우측(혹은 좌측)에 배치되는 다른 도포 헤드(15)의 좌단부(혹은 우단부)의 토출 노즐(15b) 사이의 X축 방향의 간격도, 도포 헤드(15) 내의 토출 노즐(15b)의 간격과 동등하게, 간격 P로 하는 것이다.
또한, 도 6에 도시한 바와 같이, 각각의 도포 헤드(15)를 각도 α만큼 회전시킨 경우도 마찬가지이며, 도포 헤드(15) 내의 토출 노즐(15b)의 간격은 Pㆍcosα로 되지만, 이와 같은 경우에도, 어느 도포 헤드(15)의 우단부(혹은 좌단부)의 토출 노즐(15b)과 이 도포 헤드(15)의 우측(혹은 좌측)에 배치되는 다른 도포 헤드(15)의 좌단부(혹은 우단부)의 토출 노즐(15b) 사이의 X축 방향의 간격도, Pㆍcosα로 되도록 한다. 이것은, 도포 헤드(15)의 회전과 함께, 도포 헤드(15)를, X축 구동 수단(24)(도 2)의 구동에 의해, X축 방향에서 서로 근접하도록, X축 방향으로 이동시킴으로써 달성되는 것이다.
도포 헤드(15)로 흡착 테이블(10)에 흡착된 필름(1)의 영역 내에 도포재(26)(도 2)를 도포하는 경우, 복수의 도포 헤드(15)를 사용하여 동시에 도포를 행하는 경우가 있다. 이와 같은 경우, 이 영역에서의 각각의 토출 노즐(15b)에 의한 도포 궤적의 간격을 좁게 함으로써, 전체적으로 균일한 도포가 가능하게 되지만, 이러한 도포 궤적의 간격이 도포 헤드(15)에서 토출 노즐(15b)의 그 배열 방향의 간격 P보다도 좁게 하지 않으면 안되는 경우도 있고, 이와 같은 경우, 도 6에 도시한 바와 같이, 각 도포 헤드(15)를 회전시켜 토출 노즐(15b)의 X축 방향의 간격을 원하는 것으로 하는 도포 궤적의 간격으로 맞추는 것이다.
또한, θ축 구동 수단(21)(도 2)에 의한 도포 헤드(15)의 회전 가능 범위가 설정되어 있고, 이 회전 가능 범위 내에서 도포 헤드(15)가 회전하여도, 도포 헤드(15)의 하단부면(15a)에서의 토출 노즐(15b)의 배열은, 전체적으로 Z축 보유 지지 플레이트(20bc) 사이에 위치하고, 직접 필름(1)의 면에 대향하고 있다.
도 7은 이와 같이 도포 궤적이 도포 헤드(15)에서의 토출 노즐(15b)의 배열 방향의 간격 P보다도 좁게 하는 경우의 도포 헤드(15)의 상태를 도시하는 도면이며, 도 7의 (a)는 흡착 테이블(10) 상의 필름(1)의 일부를 도시하는 평면도, 도 7의 (b)는 도 7의 (a)에 있어서의 A의 부분과 각 도포 헤드(15)에서의 토출 노즐(15b)의 관계를 확대하여 도시하는 평면도이며, 참조 부호 31은 도포 에어리어, 참조 부호 32는 엣지부, 참조 부호 33은 도포 궤적이다. 또한, 앞서 나온 도면에 대응하는 부분에는 동일 부호를 부여하여 중복되는 설명을 생략한다.
도 7의 (a)에 있어서, 필름(1)에는, 도포부(17)(도 1)에서 그것이 흡착 테이블(10)에 위치 결정되면, 소정 개수의 직사각 형상의 도포 에어리어(31)가 설정되고, 각각마다, 우선, 소정의 도포 헤드(15)를 사용하여 그 직사각형 프레임 형상의 엣지부(32)에 도포재(26)가 도포되고[이 엣지부(32)의 도포재(26)는, 고무 히터(22)(도 1)에 의해서 가열되어 고착됨], 계속해서, 각각의 도포 에어리어(31)에서 엣지부(32)의 내부에 도포재(26)가 도포된다. 이와 같이, 직사각형 프레임 형상의 엣지부(32)를 형성하는 경우에는, 이 엣지부(32)의 Y축 방향을 따르는 부분에서는, Y축 구동 수단(30)에 의해, 도포 헤드(15)를 Y축 방향으로 이동시켜, 특정한 도포 헤드(15)의 특정한 토출 노즐(15b)에 의해 도포재(26)가 도포된다.
또한, 엣지부(32)의 X축 방향을 따르는 부분에서는, 다음과 같이, 도포가 행해진다. 즉, 각 도포 헤드(15)는, 다른 Z축 보유 지지 플레이트(20bc) 상에 배치되어 있기 때문에, 순차적으로 Y축 방향으로 그 위치가 어긋나 있다. 이로 인해, 각 도포 헤드(15)를 Y축 방향으로 이동시키면, 각 도포 헤드(15)는 다른 타이밍에 순서대로 엣지부(32)의 X축 방향을 따르는 부분에 도달하게 된다. 따라서, 이 엣지부(32)의 X축 방향을 따르는 부분에 도달한 도포 헤드(15)의 토출 헤드(15b)로부터 도포재(26)를 토출함으로써, 엣지부(32)의 X축 방향을 따르는 부분이 각 도포 헤드(15)에 의해서 순서대로 도포되게 되어, 도포재(26)가 도포된 X축 방향의 엣지부(32)가 형성된다.
그런데, 도 7의 (b)에서 설명한 바와 같이, 도포 에어리어(31) 내에서는, 각각의 도포 헤드(15)에 의해 Y축 방향으로 도포가 행해지는 도면, 이 Y축 방향을 따르는 도포 궤적(33)의 간격에 각 도포 헤드(15)의 토출 노즐(15b)의 X축 방향을 따르는 간격을 일치시키기 위해서는, 각 도포 헤드(15)를 소정 각도 α만큼 회전시킨 상태로 한다. 이와 같은 경우에는, 동일한 도포 헤드(15)라도, 그 토출 노즐(15b)의 배열 방향이 X축 방향에 대하여 각도 α만큼 기울어져 있게 되므로, 도포 헤드(15)를 Y축 방향으로 이동시킨 경우, 동일한 도포 헤드(15)의 각 토출 노즐(15b)이 엣지부(32)의 X축 방향을 따르는 부분에 일치하는 타이밍이 달라지게 된다. 따라서, 이와 같이, 도포 헤드(15)를 각도 α만큼 기울인 상태에 있을 때에는, 이러한 도포 헤드(15)에서의 엣지부(32)의 X축 방향을 따르는 부분에 일치한 토출 노즐(15b)이 도포재(26)를 토출하도록 한다. 이에 의해, 각 도포 헤드(15)에서 거기에 배열되어 있는 복수의 토출 헤드(15b)가 순번대로 엣지부(32)의 X축 방향을 따르는 부분 상에 도포재(26)를 토출하게 된다.
이와 같이 하여, 도포 헤드(15)의 토출 노즐(15b)의 배열이 X축 방향에 대하여 기울어진 상태에 있어도, 엣지부(32)의 X축 방향을 따르는 부분을 따라서 도포재(26)가 도포되게 된다.
다음으로, 이 엣지부(32) 내의 도포재(26)의 도포에 대해서, 도 7의 (b)에 의해 설명한다.
이 엣지부(32) 내에서는, Y축 방향에 평행한 도포 궤적(33)을 따라서 균일하게 도포가 행해지는 것으로 한다. 이 경우, 이들 도포 궤적(33)의 간격을 Q로 하고, 복수의 도포 헤드(15)를 사용하여 엣지부(32) 내를 동시에 도포하는 것으로 하면, 각각의 도포 헤드(15)의 토출 노즐(15b)의 배열 간격 P가 도포 궤적(33)의 간격 Q보다도 크다고 하면, 각 도포 헤드(15)를, 그 θ축 구동 수단(21)에 의해, Q=Pㆍcosα를 만족하는 각도 α만큼 회전시키고, 또한, 상기와 같이, 이들 도포 헤드(15)의 전체에 걸쳐서 토출 노즐(15b)의 간격이 균일하게 도포 궤적(33)의 간격 Q에 동등해지도록, X축 구동 수단(24)에 의해, 각각의 도포 헤드(15)의 X축 방향의 위치를 조정한다.
각 도포 헤드(15)에서 이러한 상태를 설정함으로써, 복수의 도포 헤드(15)를 Y축 방향으로 이동시키고, 또한 이들 도포 헤드(15)의 토출 노즐(15b) 중, 도포 에어리어(31)의 X축 방향의 폭에 포함되는 토출 노즐(15b)에 의해, 도포 에어리어(31) 내의 모든 도포 궤적(33)을 따라서 동시에 도포재(26)를 도포할 수 있다. 따라서, 도포 헤드(15)의 Y축 방향의 1회의 이동으로 도포 에어리어(31)의 도포를 행할 수 있다. 이 경우, 물론, 각 도포 헤드(15)가 Y축 방향에 대하여 기울어져 있으므로, 그 기울기에 따라서 각 도포 헤드(15)의 각 토출 노즐(15b)의 도포 개시 타이밍이나 도포 종료 타이밍을 다르게 하는 것은 물론이다. 1회의 이동으로 도포 에어리어(31) 전체의 도포가 불가능한 경우에는, 필름(1)을 Y축 방향으로 변위시켜, 도포 헤드(15)를 1회째와는 Y축의 반대 방향으로 이동시키면 된다.
또한, 도포 헤드(15)를 그 회전 가능 범위의 최대한까지 회전시켜도, 토출 노즐(15b)의 X축 방향의 간격이 도포 궤적(33)의 간격 Q로 되지 않는 경우에는, 도포 헤드(15)의 X축 방향의 위치를 조정하여 인접한 도포 헤드(15)가 일부에서 Y축 방향으로 겹치도록 하고, 또한 서로 겹친 2개의 도포 헤드(15)의 한쪽의 도포 헤드(15)의 토출 노즐(15b)의 X축 방향의 간격 내에 다른 쪽의 도포 헤드(15)의 토출 노즐(15b)의 X축 방향의 위치가 있도록 함으로써, 이들 도포 헤드(15) 전체의 토출 노즐(15b)의 X축 방향의 간격을 작게 할 수 있고, 이에 의해, 간격이 좁은 도포 궤적(33)에 도포 헤드(15)의 각각의 토출 노즐(15b)을 맞출 수 있다. 단, 이 경우에는, 도포 헤드(15)의 1회의 Y축 방향의 이동에 의해서 동시에 도포되는 영역의 폭이 작아져, 도포 헤드(15)의 2회 이상의 Y축 방향의 이동의 반복이 필요하게 된다.
종래에는, 도포 대상물의 종류에 따라서는, 도 7에 도시한 바와 같이, 도포 헤드(15)의 토출 노즐(15b)에 의한 도포 궤적의 간격을 작게 하여 도포할 필요가 있는 경우, Y축 방향의 이동에 의해서 도포를 행하면, 다음에, 도포 헤드(15)를 X축 방향으로 이동시켜 다음의 도포 개시 위치로 하고, 이 위치로부터 다시 도포 헤드(15)를 Y축 방향으로 이동시켜 도포 에어리어에서의 도포를 행하는 것이 이미 제안되어 있지만, 처리 시간이 수배로 되어 비효율적이다.
이에 대하여, 이 실시 형태에서는, θ축 구동 수단(21)에 의해서 도포 헤드(15)의 회전시켜 X축 방향에 대하여 기울임으로써, 도포 헤드(15)의 토출 노즐(15b)의 X축 방향의 간격을 변화시킬 수 있고, 이에 의해, 이러한 간격을 도포 에어리어(31)에서의 도포 궤적(33)의 간격과 동등하게 할 수 있어, 복수의 토출 노즐(15b)을, 또한, 복수의 도포 헤드(15)의 복수의 토출 노즐(15b)을 동시에 도포 동작을 사용할 수 있어, 도포 작업 효율이 대폭으로 향상되게 된다.
여기서, 상기의 미동 Z축 구동 수단(20a)이나 개별 Z축 구동 수단(20b), 공통 Z축 구동 수단(20c), X축 구동 수단(24), Y축 구동 수단(30), θ축 구동 수단(21)에 대해서는, 이 실시 형태에서는, 모두 그 구동원을 서보 모터로 하고, 볼 나사 등의 동력 전달 수단을 통하여 리니어 가이드에 의해서 직선 동작을 행하는 것으로 하는 것이지만, 볼 나사의 윤활제 비산에 의한 공기 청정도의 저하를 방지할 필요가 있는 경우에는, 이들의 구동원을 리니어 모터로 하여도 된다.
또한, 이 실시 형태에 있어서는, 필름(1)의 흡착 테이블(10)에서의 위치 결정의 수단으로서, 필름(1)의 X축 방향의 위치 결정을 하는 권출부(16), 권취부(18)에서의 필름 롤(2, 3)이나 승강 가이드 바(6, 7) 등의 각 수단을 필름(1)의 X축 구동 수단을 구비하고, 또한, 도포 헤드(15)의 필름(1)에 대한 위치 결정 수단으로서, X축 구동 수단(24), Y축 구동 수단(30), θ축 구동 수단(21) 및 Z축 구동 수단(20a 내지 20c)을 구비하고, 필름(1)에 대하여 도포 헤드(15)를 X, Y, Z축의 3축 방향으로 조정하는 것이다. 그리고, Z축 구동 수단으로서는, Z축 구동 수단(20a 내지 20c)의 3종의 수단을 설치하고, 도포 헤드(15)의 필름(1)에 대한 Z축 방향의 위치에 따라서 이러한 Z축 구동 수단(20a 내지 20c) 중 어느 하나가 작동하는 것이다.
도 8은 도 1에 도시한 실시 형태에서의 잉크젯 도포의 제어부의 일 구체예를 도시하는 블록도이며, 참조 부호 34는 제어 유닛, 참조 부호 34a는 마이크로 컴퓨터, 참조 부호 34b는 외부 인터페이스, 참조 부호 34c는 도포 헤드 컨트롤러, 참조 부호 34d는 화상 처리 컨트롤러, 참조 부호 34e는 모터 컨트롤러, 참조 부호 34f는 데이터 통신 버스, 참조 부호 35는 USB 메모리, 참조 부호 36은 하드 디스크, 참조 부호 37은 모니터, 참조 부호 38은 키보드, 참조 부호 39는 진공 펌프, 참조 부호 40은 진공 밸브부, 참조 부호 41은 에어 실린더, 참조 부호 42는 밸브 유닛, 참조 부호 43은 레귤레이터, 참조 부호 44X는 X축 드라이버, 참조 부호 44Y는 Y축 드라이버, 참조 부호 44θ는 θ축 드라이버, 참조 부호 44Za 내지 참조 부호 44Zc는 Z축 드라이버이다.
도 8에 있어서, 제어 유닛(34)은, 마이크로 컴퓨터(34a)와, 이에 데이터 통신 버스(34f)를 통하여 접속된 외부 인터페이스(34b)와 도포 헤드 컨트롤러(34c)와 화상 처리 컨트롤러(34d)와 모터 컨트롤러(34e)로 구성되어 있고, 데이터 통신 버스(34f)에 접속된 각 부를, 마이크로 컴퓨터(34a)의 관리 하에, 제어한다.
또한, 마이크로 컴퓨터(34a)의 외부 메모리로서의 USB 메모리(35)나 하드 디스크(36), 데이터 표시 출력부로서의 모니터(37), 조작부로서의 키보드(38)가, 외부 인터페이스(34b)를 통하여, 제어 유닛(34)에 접속하고 있다.
외부 인터페이스(34b)에는, 또한, 레귤레이터(43)나 밸브 유닛(42), 에어 실린더(41) 등의 에어 구동 기기, 권출측 축 모터(11)나 권취측 축 모터(12), 다른 롤용 모터가 접속되어, 마이크로 컴퓨터(34a)의 제어 하에, 이들이 구동 제어된다. 또한, 흡착 바(8, 9)나 흡착 테이블(10)로 필름(1)을 진공 흡착하기 위한 진공원으로 되는 진공 펌프(39)나 이로부터의 전환을 행하는 진공 밸브부(40)가 외부 인터페이스(34b)에 접속되고, 또한, 필름(1)의 가열을 행하는 고무 히터(22)나 롤러용 히터(23)도 외부 인터페이스(34b)에 접속되어, 마이크로 컴퓨터(34a)의 제어 하에 구동, 혹은, ONㆍOEF 제어된다.
도포 헤드 컨트롤러(34c)는, 마이크로 컴퓨터(34a)의 제어 하에, 도포 헤드(15)의 각 토출 노즐(15b)마다의 도포재(26)(도 2)의 토출의 유무나 타이밍을 제어하고 있다.
화상 처리 컨트롤러(34d)는, 마이크로 컴퓨터(34a)의 제어 하에, 필름(1)에 실시된 위치 결정 마크 등을 촬상하는 촬상 카메라(19)의 시야 내 위치를, 이 촬상 카메라(19)의 출력을 화상 처리에 의해서 산출하는 것이다.
모터 컨트롤러(34e)는, 마이크로 컴퓨터(34a)의 제어 하에, 도포 헤드(15)에 설치된 X축 구동 수단(24)(도 2)의 X축 구동 모터를 구동하는 X축 드라이버(44X)나 Y축 구동 수단(25)의 리니어 모터 혹은 구동 모터를 구동하는 Y축 드라이버(44Y), θ축 구동 수단(24)의 θ축 구동 모터를 구동하는 θ축 드라이버(44θ)를 구동 제어한다. 또한, 미동 Z축 구동 수단(20c)의 Z축 드라이버(44Za)나 개별 Z축 구동 수단(20b)의 Z축 드라이버(44Zb), 공통 Z축 구동 수단(20c)의 Z축 드라이버(44Zc)가, 마찬가지로 하여, 모터 컨트롤러(34e)에 의해서 구동 제어된다.
레이저 거리계(25)나 촬상 카메라(19)와 일체로 이동하는 도포 헤드(15)의 XYθ축 방향 및 Z축 방향의 이동 제어는, 모터 컨트롤러(34e)를 통하여 마이크로 컴퓨터(34a)가 행하고 있고, 이로 인해, 도포 헤드(15)의 현재 위치와 다음의 이동 목표 위치를 파악하고 있다. 또한, 마이크로 컴퓨터(34a)는, 동작 시퀀스의 관리로부터, 레이저 거리계(25)에 의한 계측 동작의 타이밍이나 도포 헤드(15)의 각 토출 노즐(15b)마다의 도포재(26)의 토출 타이밍도 파악 관리하고 있다.
도 9는, 도 7에 도시한 바와 같이, 도포 헤드(15)의 토출 노즐(15b)의 X축 방향의 간격을 도포 궤적(31)의 간격 Q와 동등하게 하여 필름(1) 상에 도포할 때의 동작의 흐름의 일 구체예를 도시하는 흐름도이다. 이하, 앞서 나온 도면을 참조하여 설명한다.
우선, 권출 필름 롤(2) 내의 롤러용 히터(23) 및 흡착 테이블과 일체로 된 고무 히터(22)를 작동시켜, 가열을 개시한다(스텝 101). 계속해서, 필름(1)을 흡착 테이블(10)의 위치에서 정지시켜, 그 임시 위치 결정을 한다(스텝 102). 선택 지정한 도포 헤드(15)의 촬상 카메라(19)로 필름(1) 상의 마크 위치를 촬상하고, 화상 처리에 의해서 임시 위치 결정 상태의 필름(1)과 도포 헤드(15)가 설치된 갠트리(28)의 상대적인 위치 어긋남량을 산출한다(스텝 103). 산출한 이 상대적인 위치 어긋남량에 기초하여, X축 구동 수단(24)의 이동과 도포 헤드(15)의 각 토출 노즐(15b)마다의 도포 개시점 위치와 도포 종료점 위치를 산출한다(스텝 104).
다음으로, Y축 구동 수단(25)에 의해 모든 도포 헤드(15)를 Y축 방향으로 이동시키고, 최종적으로 도포해야 할 도포 패턴 중 엣지부(32)로 되는 외주 패턴을 도포한다(스텝 105). 이 외주 패턴은 도포 에어리어(31)의 외주부이며, 도 7에서는, ロ자 형상으로 되어 있다. 여기서, 필름(1)은 권출 필름측 롤(2) 내의 롤러용 히터(23)에 의해서 사전 가열되어 있고, 또한, 흡착 테이블과 일체로 된 고무 히터(22)에 의해서 더 확실하게, 혹은 이 사전 과열보다도 높은 온도로 가열되는 점에서, 필름(1)의 ロ자 형상의 외주부에 도포된 도포재(26)에서는, 단시간에 용매가 증발하여 건조하게 되어, 엣지부(32)가 고정밀도로 형성되게 된다.
다음으로, 도포 에어리어(31)의 내부의 패턴을 보다 섬세한 토출 노즐(15b)의 피치 Q로 도포한다.
즉, θ축 구동 수단(21)에 의해 각 도포 헤드(15)를 회전 이동시켜, 그 회전 각도 α는 X축에의 투영 피치가 목표값 Q로 되도록 한다(스텝 106). 이 상태에서, Y축 구동 수단(25)에 의해, 모든 도포 헤드(15)를 Y축 방향으로 이동시켜, 각 도포 궤적(33)을 따라서 동시에 도포한다(스텝 107).
여기서, θ축 구동 수단(21)에 의해 각 도포 헤드(15)를, 도 6에 도시한 바와 같이, 회전 이동시킴으로써, X축 방향의 도포 간격, 즉, 각 도포 헤드(15)의 토출 노즐(15b)의 X축 방향의 간격을 작게 할 수 있는 것이지만, X축 방향의 도포 간격을 더욱 작게 하고자 하는 경우에는, 피치 어긋남 도포가 필요한지의 여부의 판단을 행한 후에(스텝 108), 도포 간격을 더욱 작게 한 도포가 필요하면(스텝 108의 “예"), X축 구동 수단(24)에 의해 X축 방향으로 피치를 어긋나게 하고, Y축 구동 수단(25)에 의해 모든 도포 헤드(15)를 Y축 방향으로 이동시켜, 각각의 토출 노즐(15b)에 의해 각각의 도포 궤적(33)을 따라서 도포하고, 내부 패턴을 묘화한다(스텝 109).
또한, Y축 방향의 도포 간격을 작게 하여 도포하고자 하는 경우에는(스텝 108의 “아니오"), 피치 어긋남 도포가 필요한지의 여부의 판단을 행한 후에(스텝 110), 간격을 더욱 작게 한 도포가 필요하면(스텝 110의 “예"), Y축 방향으로 피치를 어긋나게 하여, Y축 방향의 도포 개시점을 변경한 후에, Y축 구동 수단(25)에 의해 모든 도포 헤드(15)를 Y축 방향으로 이동시켜, 내부 패턴을 도포한다(스텝 111).
피치 어긋남 도포가 모두 완료되었는지의 판단을 하고, 완료되어 있으면(스텝 112의 “예"), θ축 구동 수단(21)에 의해서 모든 각 도포 헤드(15)를 상기와는 역방향으로 회전시켜 원래의 상태(즉, 도 4에서 도시한 상태)로 복귀시키고(스텝 113), 롤러용 히터(23) 및 고무 히터(22)의 작동을 멈추어(스텝 114), 동작을 종료한다.
피치 어긋남 도포가 모두 완료되어 있지 않으면(스텝 112의 “아니오"), 다시 판정(스텝 108)으로부터 동작을 반복한다.
여기서, Y축 구동 수단(25)의 구동에 수반하는 Y축 방향의 이동에 의한 도포 횟수는, 반피치 어긋나 있으면, 당초의 도포와 1회의 반복 도포로 합계 2회의 도포로 되고, 1/4피치 어긋난 도포이면, 당초의 도포와 3회의 반복 도포의 합계 4회의 도포로 된다. 이 어긋남량을 X축 방향과 Y축 방향에서 각각 정할 수 있도록 하고 있다.
이상과 같이, 이 실시 형태에서는, XY 평면내 뿐만 아니라, 높이 방향의 이동을 행하는 Z축 구동 수단을 설치함으로써, 3차원적인 위치 관리를 행할 수 있고, 또한, 도포 대상물을 도포 동작과 동시에 가열할 수 있어, 이에 의해, 고정밀도로 균일한 도포가 가능하도록 된다.
1 : 태양 전지용 적층 필름
2 : 권출측 필름 롤
3 : 권취측 필름 롤
4, 5 : 가이드 롤
6, 7 : 승강 가이드 롤
8, 9 : 흡착 바
10 : 흡착 테이블
11 : 권출측 축 모터
12 : 권취측 축 모터
13, 14 : 필름 압박 바
15 : 도포 헤드
15a : 도포 헤드의 하단부면
15b : 토출 노즐
16 : 권출부
17 : 도포부
18 : 권취부
19 : 촬상 카메라
20a : 미동 Z축 구동 수단
20a1 : 미동 Z축 구동부
20a2 : Z축 보유 지지판
20b : 개별 Z축 구동 수단
20b1 : 개별 Z축 구동부
20c : 공통 Z축 구동 수단
20c1 : 공통 Z축 구동부
20c2 : 가이드
20bc : Z축 보유 지지 플레이트
21 : θ축 구동 수단
22 : 고무 히터
23 : 롤러용 히터
24 : X축 구동 수단
25 : 레이저 거리계
26 : 도포재
27 : 헤드부
28 : 갠트리
29a, 29b : 리니어 레일
30 : Y축 구동 수단
31 : 도포 에어리어
32 : 엣지부
33 : 도포 궤적

Claims (10)

  1. 도포 대상물을 흡착 유지하는 흡착 테이블과, 상기 흡착 테이블에 흡착 유지된 상기 도포 대상물의 표면에 잉크젯식 노즐로부터 도포재를 토출하면서 도포하는 복수의 도포 헤드와, 상기 도포 헤드를 상기 도포 대상물의 상방 위치에서 상기 도포 대상물의 반송 방향인 X축 방향으로 수평면 내에서 직교하는 Y축 방향으로 이동시키는 갠트리 구조체와, 상기 X축 방향으로 상기 도포 헤드를 개별로 이동시키는 X축 구동 수단과, 상기 도포 헤드를 개별로 상기 수평면에 수직인 Z축 방향으로 이동시키는 제1 Z축 구동 수단과, 상기 도포 헤드를 개별로 상기 수평면에 평행하게 θ축 방향으로 이동시키는 θ축 구동 수단을 구비하고, 상기 도포 헤드가 XYZθ축 방향으로 공간 내를 이동 가능하게 한 잉크젯 도포 장치에 있어서,
    상기 X축 구동 수단에 의해, 상기 복수의 도포 헤드마다 개별로, 상기 도포 헤드와 상기 제1 Z축 구동 수단이 모두 X축 방향으로 이동하고,
    또한, θ축 구동 수단에 의해, 상기 X축 구동 수단이 상기 도포 헤드와 상기 제1 Z축 구동 수단에 일체로 되어 회전하는
    것을 특징으로 하는, 잉크젯 도포 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 도포 대상물은, 띠 형상의 필름이며,
    상기 흡착 테이블에의 상기 도포 대상물의 반송 수단은, 상기 도포 대상물을 권출하여 반송하는 상류측의 필름 롤과, 상기 상류측의 필름 롤과 상기 흡착 테이블을 사이에 둔 위치에서 상기 도포 대상물을 권취하여 반송하는 하류측의 필름 롤로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는, 잉크젯 도포 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 복수의 도포 헤드는 각각, X축 방향으로 순차 배열된 소정 개수씩의 상기 도포 헤드가 그룹을 이루고, 각 그룹에서는, 각각의 상기 도포 헤드가 Y축 방향으로 다른 위치에 배치되어 있는 동시에, 각 그룹의 1개씩의 상기 도포 헤드의 Y축 방향의 위치는 동일한 위치이며,
    각 그룹의 Y축 방향의 위치가 동일한 1개씩의 상기 도포 헤드로 이루어지는 도포 헤드의 세트마다, Z축 방향으로 이동시키는 제2 Z축 구동 수단을 구비하고,
    갠트리 구조체에 의해서 모든 상기 도포 헤드를 동시에 Y축 방향으로 이동시키는 구성으로 하는 것을 특징으로 하는, 잉크젯 도포 장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 복수의 도포 헤드는 각각, X축 방향으로 순차 배열된 소정 개수씩의 상기 도포 헤드가 그룹을 이루고, 각 그룹에서는, 각각의 상기 도포 헤드가 Y축 방향으로 다른 위치에 배치되어 있는 동시에, 각 그룹의 1개씩의 상기 도포 헤드의 Y축 방향의 위치는 동일한 위치이며,
    각 그룹의 Y축 방향의 위치가 동일한 1개씩의 상기 도포 헤드로 이루어지는 도포 헤드의 세트마다, Z축 방향으로 이동시키는 제2 Z축 구동 수단을 구비하고,
    모든 상기 제2 Z축 구동 수단을 Z축 방향으로 이동시키는 제3 Z축 구동 수단을 더 구비하고,
    갠트리 구조체에 의해서 모든 상기 도포 헤드를 동시에 Y축 방향으로 이동시키는 구성으로 하는 것을 특징으로 하는, 잉크젯 도포 장치.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 도포 대상물을 흡착 유지하는 상기 흡착 테이블에, 상기 흡착 테이블에 흡착된 상기 도포 대상물을 가열하는 가열 수단을 설치한 것을 특징으로 하는, 잉크젯 도포 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 필름 롤에, 상기 필름 롤에 권취되어 있는 상기 도포 대상물을 예열하는 가열 수단을 설치한 것을 특징으로 하는, 잉크젯 도포 장치.
  7. 롤 형상으로 권취된 띠 형상의 필름인 도포 대상물을 권출하여 반송하는 상류측의 필름 롤과, 권출된 상기 도포 대상물을 흡착 유지하는 흡착 테이블과, 상기 흡착 테이블을 사이에 둔 위치에서 상기 도포 대상물을 권취하여 반송하는 하류측의 필름 롤과, 상기 흡착 테이블에 흡착 유지된 상기 도포 대상물의 표면에 잉크젯식 노즐로부터 도포재를 토출하면서 도포하는 복수의 도포 헤드와, 상기 도포 헤드를 상기 도포 대상물의 상방 위치에서 상기 도포 대상물의 반송 방향인 X축 방향에 수평면 내에서 직교하는 Y축 방향의 이동시키는 갠트리 구조체와, 상기 X축 방향으로 상기 도포 헤드를 개별로 이동시키는 X축 구동 수단과, 상기 도포 헤드를 개별로 상기 수평면에 수직인 Z축 방향으로 이동시키는 제1 Z축 구동 수단과, 상기 도포 헤드를 개별로 상기 수평면에 평행하게 θ축 방향으로 이동시키는 θ축 구동 수단을 구비하고, 상기 도포 헤드가 XYZθ축 방향으로 공간 내를 이동 가능하게 한 잉크젯 도포 장치의 잉크젯 도포 방법이며,
    상기 X축 구동 수단에 의해, 상기 복수의 도포 헤드마다 개별로, 상기 도포 헤드와 상기 제1 Z축 구동 수단이 함께, X축 방향으로 이동하고,
    또한, θ축 구동 수단에 의해, 상기 X축 구동 수단이 또한 상기 도포 헤드와 상기 제1 Z축 구동 수단과 일체로 되어 회전함으로써, X축 방향 또는 Y축 방향으로 투영하였을 때의 상기 도포 헤드의 토출 노즐의 간격을 작게 하여 도포재를 도포하는 것을 특징으로 하는, 잉크젯 도포 방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 도포 헤드에 의한 제1회째의 도포는, 상기 도포 대상물에의 도포재의 도포 패턴 중 외주부를 도포하는 것이며,
    제2회째∼제2회째 이후의 도포는, 상기 도포 패턴 중 외주부에 둘러싸인 내부를 도포하는 것이며, 도포 영역을 복수 분할하여 도포하는 것을 특징으로 하는, 잉크젯 도포 방법.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 흡착 테이블에 흡착된 상기 도포 대상물을 가열하고, 가열하면서 상기 도포 대상물에 도포하는 것을 특징으로 하는, 잉크젯 도포 방법.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 필름 롤에 권취되어 있는 상기 도포 대상물을 가열 수단에 의해 예열하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 도포 방법.
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