KR20110117081A

KR20110117081A - Slurry regenerating device and method

Info

Publication number: KR20110117081A
Application number: KR1020117016292A
Authority: KR
Inventors: 유키히사 모모나카; 구니노부 이케나가; 히데토시 오가타
Original assignee: 가부시기가이샤야스나가; 가부시키가이샤 아이에이치아이 카이덴기카이
Priority date: 2009-01-15
Filing date: 2009-12-28
Publication date: 2011-10-26
Also published as: WO2010082447A1; JP5280218B2; JP2010162640A; CN102281991B; CN102281991A; KR101575924B1; TW201036719A

Abstract

폐슬러리를 투입하는 원심분리기(2)와, 원심분리기(2)로부터, 1차 분리물 및 2차 분리물을 배출하는 배출구(12)와, 배출구(12)와 1차 분리물용 경로(8a)를 매개로 연통(連通)하는 제1 회수조(3)와, 배출구(12)와 2차 분리물용 경로(8b)를 매개로 연통하는 제2 회수조(4)와, 분산매 또는 분산매와 상기 2차 분리물의 혼합액을 배수하는 배액구(排液口)(13)와, 배액구(13)와 연통하는 제3 회수조(5) 및 제4 회수조(6)와, 재생 슬러리를 생성하는 조합조(調合槽)(7)와, 배출구(12)에 대해서, 1차 분리물용 경로(8a)와 2차 분리물용 경로(8b) 중 어느 하나로 접속을 전환하기 위한 전환수단(9)을 구비하였다.Centrifuge (2) for introducing waste slurry, outlet (12) for discharging primary and secondary separators from centrifuge (2), outlet (12) and primary separation path (8a) The first recovery tank 3 communicating with each other, the second recovery tank 4 communicating via the outlet 12 and the secondary separation path 8b, the dispersion medium or the dispersion medium and the above-mentioned two. A drainage port 13 for draining the mixed liquid of the tea separation material, a third recovery tank 5 and a fourth recovery tank 6 in communication with the drainage port 13, and a combination for generating a regeneration slurry. The tank 7 and the discharge port 12 were provided with a switching means 9 for switching the connection to any one of the primary separation path 8a and the secondary separation path 8b. .

Description

Slurry regenerating device and method

본 발명은, 슬러리의 재생 장치 및 방법에 관한 것으로, 특히, 와이어 쏘(wire saw) 장치에 있어서의 절단가공 후의 폐슬러리의 재생 장치 및 방법에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD The present invention relates to a slurry recycling apparatus and method, and more particularly, to a recycling apparatus and method for waste slurry after cutting in a wire saw apparatus.

종래, 비용 삭감을 위해, 슬러리를 사용한 가공 장치(예를 들면 와이어 쏘 장치 등)로부터 배출되는 폐슬러리는 재생 이용되고 있었다. 이와 같은 와이어 쏘 장치에 있어서의 폐슬러리는, 분산매와, 이것에 혼입하는 지립(砥粒) 및 절삭 부스러기(切削屑)로 형성되어 있다. 이들의 분리는, 2대의 원심분리기를 사용하여, 지립 및 절삭 부스러기를 각각 분산매로부터 분리하고 있었다. 구체적으로는, 1대째의 원심분리기에 폐슬러리를 투입하고, 1500 G 미만의 낮은 원심력으로 절삭 부스러기보다도 비중이 큰 지립을 먼저 분리한다. 그 후, 분산매와 절삭 부스러기로 되는 혼합액을 2대째의 원심분리기에 투입하고, 1500 G 이상의 높은 원심력으로 절삭 부스러기를 분리한다. 그 후, 분산매와 지립을 혼합하여, 슬러리를 재생하고 있었다. 그러나, 원심분리기를 2대 사용하는 것은, 다대(多大)한 설치 공간을 필요로 하기 때문에, 그 공간의 확보가 곤란하였다.Conventionally, the waste slurry discharged from the processing apparatus (for example, a wire saw apparatus etc.) which used the slurry was recycled for cost reduction. The waste slurry in such a wire saw apparatus is formed of a dispersion medium, abrasive grains, and cutting chips mixed therein. These separations separated the abrasive grains and the cutting chips from the dispersion medium, respectively, using two centrifuges. Specifically, the waste slurry is introduced into the first centrifugal separator, and the abrasive grains having a larger specific gravity than the cutting debris are separated first with a low centrifugal force of less than 1500G. Then, the mixed liquid which becomes a dispersion medium and cutting chips is put into a 2nd centrifuge, and cutting chips are removed by high centrifugal force of 1500 G or more. Thereafter, the dispersion medium and the abrasive grains were mixed to recycle the slurry. However, using two centrifuges requires a large installation space, which makes it difficult to secure the space.

한편, 원심분리기에 투입하는 폐슬러리 또는 혼합액은, 일정한 유량으로 공급하는 것이 바람직하다. 이 때문에, 오리피스 포트를 매개로 원심분리기에 폐슬러리 또는 혼합액을 투입하고 있었다(예를 들면 특허문헌 1 참조). 오리피스 포트는, 오리피스 플레이트를 교환함으로써 유량을 조정한다. 그러나, 슬러리의 성질(온도, 점도, 비중, 지립 종별, 쿨런트(coolant) 종별 등)에 따라, 최적의 오리피스 플레이트를 선택할 필요가 있다. 이 선택은, 작업자의 경험에 의존하는 바가 커서, 확실성이 결여되어 있는 것이었다.On the other hand, it is preferable that the waste slurry or mixed liquid to be put into the centrifuge is supplied at a constant flow rate. For this reason, waste slurry or mixed liquid was thrown into the centrifuge through the orifice port (for example, refer patent document 1). The orifice port adjusts the flow rate by replacing the orifice plate. However, it is necessary to select an optimal orifice plate according to the properties of the slurry (temperature, viscosity, specific gravity, abrasive type, coolant type, etc.). This choice was largely dependent on the operator's experience and lacked certainty.

일본국 특허공개 제2005-169299호 공보Japanese Patent Publication No. 2005-169299

본 발명은, 상기 종래기술을 고려한 것으로서, 다대한 설치 공간을 필요로 하지 않고, 1대의 원심분리기만으로 폐슬러리로부터 1차 분리물 및 2차 분리물을 확실하게 분리 가능하고, 분리된 분산매와 1차 분리물을 혼합하여 재차 슬러리를 생성하는 것이 가능한 슬러리의 재생처리 장치 및 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention is considered in the above-described prior art, and does not require a large installation space, it is possible to reliably separate the primary separation and secondary separation from the waste slurry with only one centrifuge, separated dispersion medium and 1 It is an object of the present invention to provide an apparatus and method for regenerating a slurry that can produce a slurry by mixing the tea separation again.

상기 목적을 달성하기 위해서, 청구항 1의 발명에서는, 분산매 중에 상기 분산매로부터 분리되어야 하는 서로 비중이 상이한 1차 분리물 및 2차 분리물의 한쪽 이상을 포함하는 폐슬러리가 투입되어, 상기 폐슬러리로부터 상기 1차 분리물 또는 상기 2차 분리물을 분리 가능한 원심분리기와, 상기 원심분리기에 설치되어, 상기 원심분리기로부터 분리 후의 상기 1차 분리물 또는 상기 2차 분리물을 배출하는 배출구와, 그 배출구에 상기 1차 분리물을 이송하기 위한 제1 경로를 매개로 연통(連通) 가능한 상기 1차 분리물을 회수하기 위한 제1 회수조와, 상기 배출구에 상기 2차 분리물을 이송하기 위한 제2 경로를 매개로 연통 가능한 상기 2차 분리물을 회수하기 위한 제2 회수조와, 상기 원심분리기에 설치되어, 상기 원심분리기로부터 상기 폐슬러리를 분리한 후의 상기 분산매 또는 그 분산매와 상기 2차 분리물의 혼합액을 배액(排液)하는 배액구와, 그 배액구에 대해서 선택적으로 연통 가능한 상기 분산매를 회수하기 위한 제3 회수조 및 상기 혼합액을 회수하기 위한 제4 회수조와, 상기 1차 분리물과 상기 분산매를 혼합하여 재생 슬러리를 생성하기 위한 조합조(調合槽)와, 상기 배출구에 대해서, 상기 제1 경로와 상기 제2 경로 중 어느 하나를 접속시키는 전환수단을 구비한 것을 특징으로 하는 슬러리 재생 장치를 제공한다.In order to achieve the above object, in the invention of claim 1, in the dispersion medium, a waste slurry containing at least one of the primary separation and the secondary separation having different specific gravity to be separated from the dispersion medium is introduced, A centrifugal separator capable of separating the primary separator or the secondary separator, a discharge port installed in the centrifuge and discharging the primary separator or the secondary separator after separation from the centrifuge, and a discharge port thereof. A first recovery tank for recovering the primary separator that is communicable via the first path for transporting the primary separator, and a second path for transferring the secondary separator to the outlet; A second recovery tank for recovering the secondary separation product that can communicate with each other, and a centrifuge provided to separate the waste slurry from the centrifuge. A drainage port for draining the later dispersion medium or a mixture of the dispersion medium and the secondary separation liquid, a third recovery tank for recovering the dispersion medium selectively communicateable with the drainage port, and a third recovery tank for recovering the mixed solution 4 A recovery tank, a combination tank for mixing the primary separation material and the dispersion medium to generate a regeneration slurry, and a switch for connecting any one of the first path and the second path to the discharge port. Provided is a slurry regeneration device, comprising a means.

청구항 2의 발명에서는, 청구항 1의 발명에 있어서, 상기 폐슬러리를 수용하기 위한 수용조와 상기 원심분리기 사이, 및 상기 제4 회수조와 상기 원심분리기 사이에 각각 설치되어, 상기 폐슬러리 또는 상기 혼합액의 유량을 조정하는 가변 제어식 정량(定量) 공급수단과, 그 가변 제어식 정량 공급수단과 상기 원심분리기 사이에 설치된 질량유량계와, 상기 질량유량계의 계측 결과를 토대로, 상기 폐슬러리 또는 상기 혼합액의 유량을 일정하게 하기 위해서 상기 가변 제어식 정량 공급수단의 작동을 제어하는 PID 제어부를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하고 있다.In the invention of claim 2, in the invention of claim 1, each of the waste tank and the centrifugal separator, and between the fourth recovery tank and the centrifugal separator for accommodating the waste slurry, are used to flow the waste slurry or the mixed liquid. The flow rate of the waste slurry or the mixed liquid is constant, based on the measurement results of the variable flow control metered supply means for adjusting the flow rate, the mass flow meter installed between the variable control flow meter and the centrifuge, and the mass flow meter. To this end, it is characterized in that it further comprises a PID control unit for controlling the operation of the variable controlled metering supply means.

청구항 3의 발명에서는, 청구항 1 또는 2의 발명에 있어서, 상기 수용조와 상기 제4 회수조, 및 상기 원심분리기는, 삼방밸브(三方弁)를 매개로 접속되며, 상기 가변 제어식 정량 공급수단 및 상기 질량유량계는, 상기 삼방밸브와 상기 원심분리기 사이에 배치되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.In the invention of claim 3, in the invention of claim 1 or 2, the receiving tank, the fourth recovery tank, and the centrifugal separator are connected via a three-way valve, and the variable controlled metering supply means and the The mass flow meter is disposed between the three-way valve and the centrifugal separator.

청구항 4의 발명에서는, 청구항 1 내지 3 중 어느 하나의 발명에 있어서, 상기 폐슬러리는, 와이어에 피가공물을 내리눌러 절단가공하는 와이어 쏘 장치에서 사용한 슬러리이고, 상기 1차 분리물은 상기 슬러리에 혼입하는 지립이며, 상기 2차 분리물은 상기 피가공물의 절삭 부스러기인 것을 특징으로 하고 있다.In the invention according to claim 4, the waste slurry is a slurry used in the wire saw apparatus for pressing and cutting a work to be cut into a wire, and the primary separation material is in the slurry. It is a grain to mix, The said secondary isolate is characterized by the cutting chips of the said to-be-processed object.

또한, 청구항 5의 발명에서는, 청구항 1 내지 4 중 어느 하나에 기재된 슬러리 재생 장치를 사용한 슬러리 재생 방법으로서, 상기 원심분리기에 상기 폐슬러리를 투입하고, 상기 원심분리기를 소정의 원심력(저 G)으로 구동하여, 상기 1차 분리물을 상기 폐슬러리로부터 원심분리하고, 그 원심분리한 1차 분리물을 상기 제1 회수조로 회수하고, 상기 혼합액을 상기 제4 회수조로 회수하고, 그 제4 회수조로부터 상기 혼합액을 상기 원심분리기에 투입하고, 상기 원심분리기를 상기 소정의 원심력에 의해 높은 원심력(고 G)으로 구동하여 상기 2차 분리물을 상기 혼합액으로부터 원심분리하고, 그 원심분리한 2차 분리물을 상기 제2 회수조로 회수하고, 상기 분산매를 상기 제3 회수조로 회수하고, 상기 조합조에, 상기 제1 회수조로 회수된 상기 1차 분리물과, 상기 제3 회수조로 회수된 상기 분산매와, 새로운 1차 분리물 및 새로운 분산매를 투입하여, 재생 슬러리를 생성하는 것을 특징으로 하는 슬러리 재생 방법을 제공한다.Moreover, in invention of Claim 5, as a slurry regeneration method using the slurry regeneration device as described in any one of Claims 1-4, the said waste slurry is thrown into the said centrifuge, and the said centrifuge is made into predetermined centrifugal force (low G). Driving to centrifuge the primary separation from the waste slurry, recovering the centrifuged primary separation to the first recovery tank, recovering the mixed liquid to the fourth recovery tank, and the fourth recovery tank. The mixed solution was introduced into the centrifuge, the centrifuge was driven at a high centrifugal force (high G) by the predetermined centrifugal force to centrifuge the secondary separation from the mixed solution, and the centrifuged secondary separation. Water was collected in the second recovery tank, the dispersion medium was recovered in the third recovery tank, and the combination was recovered in the combination tank with the primary separation product recovered in the first recovery tank. In the third to recover the dispersion medium, and a new primary isolates and new dispersion medium recovered twos, and provides a slurry reproducing method, characterized in that for generating a reproduction slurry.

청구항 6의 발명에서는, 청구항 5의 발명에 있어서, 상기 질량유량계에 의해 상기 폐슬러리 또는 상기 혼합액의 실제 유량값을 계측하고, 상기 PID 제어부에서 상기 실제 유량값과 설정 유량값을 비교하여, 상기 실제 유량값이 상기 설정 유량값이 되도록, 상기 가변 제어식 정량 공급수단을 PID 제어하는 것을 특징으로 하고 있다.In the invention of claim 6, in the invention of claim 5, the actual flow rate value of the waste slurry or the mixed liquid is measured by the mass flow meter, and the PID control unit compares the actual flow rate value with a set flow rate value, PID control of the variable controlled fixed-quantity supply means is carried out so that the flow rate value becomes the set flow rate value.

청구항 1의 발명에 의하면, 제1 모터 및 제2 모터를 사용하여, 상이한 원심력을 발생시키는 것이 가능하다. 이 때문에, 1대의 원심분리기만으로 비중이 상이한 1차 분리물 및 2차 분리물을 확실하게 분리하여 회수하는 것이 가능하다. 따라서, 1대분의 원심분리기를 설치 가능한 공간을 확보할 수 있으면 되기 때문에, 공간적으로 효율이 좋다. 또한, 전환수단을 사용하여, 분리한 1차 분리물 또는 2차 분리물을 각각 별도의 제1 또는 제2 회수조로 회수하는 것이 가능하다. 추가로, 분산매도 별도의 제3 회수조로 회수 가능하기 때문에, 1차 분리물과 분산매를 혼합하여 재생 슬러리를 확실하게 조합(調合)하는 것이 가능하다.According to the invention of claim 1, it is possible to generate different centrifugal forces by using the first motor and the second motor. For this reason, it is possible to reliably separate and collect | recover primary and secondary isolates from which a specific gravity differs only with one centrifuge. Therefore, since space to which one centrifuge can be installed can be secured, space efficiency is good. It is also possible to recover the separated primary separation or secondary separation into separate first or second recovery tanks, respectively, using the switching means. In addition, since the dispersion medium can also be recovered by a separate third recovery tank, it is possible to reliably combine the regeneration slurry by mixing the primary separator and the dispersion medium.

청구항 2의 발명에 의하면, 원심분리기에 투입하는 폐슬러리 또는 혼합액의 공급을 가변 제어식 정량 공급수단과 질량유량계의 PID 제어에 의해 무맥동(無脈動)이며 정량으로 하는 것이 가능하다. 이 때문에, 사람 손에 의한 유량 조정이 불필요해지고, 유량의 일정화를 자동적으로 행하는 것이 가능하여, 작업성이 향상된다. 또한, 원심분리기로 안정하게 회수를 행하기 위해서는 무맥동이며 정량으로 액을 공급하는 것이 중요해진다.According to the invention of claim 2, it is possible to supply the waste slurry or the mixed liquid to the centrifuge by pulsation-free and quantitatively by means of variable controlled metering supply means and PID control of the mass flow meter. For this reason, the flow rate adjustment by a human hand becomes unnecessary, it is possible to carry out a constant flow rate adjustment automatically, and workability improves. In addition, in order to stably collect | recover with a centrifuge, it is important to supply liquid by pulsation-free and quantitative.

청구항 3의 발명에 의하면, 폐슬러리를 수용하기 위한 수용조와 혼합액을 회수하기 위한 제4 회수조, 및 원심분리기는, 삼방밸브를 매개로 접속되기 때문에, 폐슬러리와 혼합액이 원심분리기에 투입되는 배관을 공유하는 것이 가능하다. 따라서, 펌프나 유량 제어도 공통으로 사용하는 것이 가능하기 때문에, 부품점수를 감소할 수 있어, 비용적으로도 효율이 좋다.According to the invention of claim 3, since the receiving tank for accommodating the waste slurry and the fourth recovery tank for recovering the mixed liquid and the centrifugal separator are connected via a three-way valve, the waste slurry and the mixed liquid are fed into the centrifuge. It is possible to share it. Therefore, since the pump and the flow rate control can be used in common, the number of parts can be reduced, and the efficiency is good at cost.

청구항 4의 발명에 의하면, 와이어 쏘 장치에서 사용한 폐슬러리에 포함되는 재이용 가능한 지립을 1차 분리물로서 회수하고, 피가공물의 절삭 부스러기를 2차 분리물로서 별도로 회수 가능하다. 따라서, 분산매와 지립을 재차 혼합하여 절삭용 슬러리로서 와이어 쏘 장치에 재이용 가능하다. 이 때문에, 슬러리의 절약이 가능하다.According to the invention of claim 4, the reusable abrasive grains contained in the waste slurry used in the wire saw apparatus can be recovered as the primary separation material, and the cutting chips of the workpiece can be recovered separately as the secondary separation material. Therefore, the dispersion medium and the abrasive grains are mixed again and can be reused in the wire saw device as the cutting slurry. For this reason, saving of a slurry is possible.

청구항 5의 발명에 의하면, 원심분리기로 폐슬러리로부터 1차 분리물을 분리하고, 그 후 동일한 원심분리기로 제2 분리물을 분리하여, 이들을 별도의 제1 또는 제2 회수조로 회수한다. 따라서, 1대의 원심분리기로 2개의 분리물을 회수하는 것이 가능하여, 1대분의 원심분리기 설치 공간을 확보할 수 있으면 되기 때문에, 공간적으로 효율이 좋다.According to the invention of claim 5, the primary separator is separated from the waste slurry by a centrifuge, and then the second separator is separated by the same centrifuge, and these are recovered by a separate first or second recovery tank. Therefore, two centrifuges can be recovered by one centrifugal separator, and one centrifugal separator installation space can be secured, so that space efficiency is good.

청구항 6의 발명에 의하면, 폐슬러리 또는 혼합액의 실제 유량값을 피드백시켜 설정 유량값에 근접하도록 가변 제어식 정량 공급수단을 PID 제어하기 때문에, 확실하게 폐슬러리 또는 혼합액을 일정 유량으로 원심분리기에 투입하는 것이 가능하다. 또한, 무맥동이며 정량으로 액을 공급함으로써 안정한 원심분리 효과가 얻어진다.According to the invention of claim 6, since the variable-controlled fixed-quantity supply means is PID controlled so as to feed back the actual flow value of the waste slurry or mixed liquid to approach the set flow rate value, the waste slurry or mixed liquid is surely introduced into the centrifuge at a constant flow rate. It is possible. In addition, a stable centrifugal effect is obtained by supplying the liquid in a pulsating and quantitative manner.

도 1은 본 발명의 슬러리 재생 장치의 개략도이다.
도 2는 본 발명의 슬러리 재생 장치에 사용되는 원심분리기의 개략 평면도이다.
도 3은 본 발명의 슬러리 재생 장치에 사용되는 원심분리기의 개략 측면도이다.
도 4는 본 발명의 슬러리 재생 장치에 사용되는 분기 슈트와 전환수단의 관계를 나타낸 개략도이다.
도 5는 분기 슈트의 개략도이다.
도 6은 본 발명의 슬러리 재생 방법의 플로차트이다.1 is a schematic diagram of a slurry recycling apparatus of the present invention.
2 is a schematic plan view of a centrifuge used in the slurry regeneration apparatus of the present invention.
3 is a schematic side view of a centrifuge used in the slurry regeneration apparatus of the present invention.
4 is a schematic view showing the relationship between the branch chute and the switching means used in the slurry regeneration apparatus of the present invention.
5 is a schematic diagram of a branch chute.
6 is a flowchart of the slurry regeneration method of the present invention.

도 1은 본 발명의 슬러리 재생 장치의 개략도이다.1 is a schematic diagram of a slurry recycling apparatus of the present invention.

도시한 바와 같이, 본 발명의 슬러리 재생 장치(1)는, 원심분리기(2)와, 지립(1차 분리물)을 회수하기 위한 제1 회수조(3)와, 절삭 부스러기(2차 분리물)를 회수하기 위한 제2 회수조(4)와, 분산매를 회수하기 위한 제3 회수조(5)와, 혼합액을 회수하기 위한 제4 회수조(6)와, 재생 슬러리를 조합하기 위한 조합조(7)와, 분기 슈트(8)와, 전환수단(9)을 구비하고 있다. 원심분리기(2)는, 2대의 모터(제1 모터(10), 제2 모터(11))를 각각 구비하고 있어, 저 G 또는 고 G로 상이한 원심력을 발생시키는 것이 가능하다.As shown, the slurry regeneration device 1 of the present invention includes a centrifuge 2, a first recovery tank 3 for recovering abrasive grains (primary isolate), and cutting chips (secondary isolate). ), A second collection tank 4 for recovering, a third recovery tank 5 for recovering the dispersion medium, a fourth recovery tank 6 for recovering the mixed liquid, and a combination tank for combining the regeneration slurry. (7), the branch chute 8 and the switching means 9 are provided. The centrifugal separator 2 is provided with two motors (the 1st motor 10 and the 2nd motor 11), respectively, and can generate different centrifugal force with low G or high G. As shown in FIG.

분리 대상물인 폐슬러리는, 지립과, 절삭 부스러기(슬러지)와, 분산매(오일)로 된다. 절삭 부스러기는, 취성(脆性) 재료(예를 들면 실리콘 등)로 되는 웨이퍼 링의 제조공정 시에, 도시하지 않는 취성 재료를 와이어 쏘 장치(미도시)로 절단가공할 때 발생한다. 와이어 쏘 장치에서 사용된 폐슬러리는, 수용조(16)에 수용되어 있다. 일반적으로 지립은, 절삭 부스러기보다 비중이 크다. 따라서, 폐슬러리에 대해 작은 원심력으로 원심분리하면, 주로 비중이 큰 지립이 분리된다. 그 다음, 커다란 원심력으로 원심분리하면, 주로 절삭 부스러기가 분리된다. 이것에 의해, 서로 비중이 상이한 지립과 절삭 부스러기를 2단계로 나누어 1대의 원심분리기(2)로 분리하는 것이 가능하다.The waste sludge which is a separation object is composed of abrasive grains, cutting debris (sludge), and dispersion medium (oil). Cutting debris is generated when a brittle material (not shown) is cut with a wire saw device (not shown) during the manufacturing process of a wafer ring made of a brittle material (for example, silicon). The waste slurry used in the wire saw device is housed in the receiving tank 16. Generally, abrasive grains have a specific gravity more than cutting chips. Therefore, when the centrifugal force is centrifuged with respect to the waste slurry by small centrifugal force, abrasive grains with a large specific gravity are separated. Then, centrifugation with a large centrifugal force, mainly cutting chips are separated. As a result, it is possible to separate the abrasive grains and the cutting chips having different specific gravity from each other in two stages and to separate them with one centrifuge 2.

원심분리기(2)의 아래쪽에 배출구(12)가 구비되어 있다. 배출구(12)는, 원심분리된 지립 또는 절삭 부스러기를 낙하시켜 배출한다. 이 배출구(12)에, 분기 슈트(8)의 입구측이 접속되어 있다. 분기 슈트(8)의 출구측은, 지립(1차 분리물)이 이송되는 제1 경로(8a)와, 절삭 부스러기(2차 분리물)가 이송되는 제2 경로(8b)로 도중에서 분기되어 있다. 전환수단(9)을 사용하여, 배출구(12)에 대한 분기 슈트(8)의 입구측 개구 위치를 변경한다. 이 위치를 변경함으로써, 지립을 제1 경로(8a)로, 절삭 부스러기를 제2 경로(8b)로 각각 통과시키는 것이 가능하다. 지립을 회수하기 위한 제1 회수조(3)는, 제1 경로(8a)와 접속되어 있다. 절삭 부스러기를 회수하기 위한 제2 회수조(4)는, 제2 경로(8b)와 접속되어 있다. 따라서, 배출구(12)로부터 배출된 지립 또는 절삭 부스러기는, 각각 제1 경로(8a) 또는 제2 경로(8b)를 통과해 제1 회수조(3) 또는 제2 회수조(4)로 회수된다.The outlet 12 is provided below the centrifuge 2. The discharge port 12 drops the centrifuged abrasive grains or the cutting chips and discharges them. The inlet side of the branch chute 8 is connected to this discharge port 12. The exit side of the branch chute 8 branches in the middle into a first path 8a through which abrasive grains (primary isolates) are transferred and a second path 8b through which cutting chips (secondary isolates) are transferred. . The switching means 9 is used to change the inlet side opening position of the branch chute 8 with respect to the outlet 12. By changing this position, it is possible to pass the abrasive grains to the first path 8a and the cutting chips to the second path 8b, respectively. The 1st collection tank 3 for collect | recovering an abrasive grain is connected with the 1st path 8a. The second recovery tank 4 for recovering the cutting chips is connected to the second path 8b. Therefore, the abrasive grains or the cutting chips discharged from the discharge port 12 are recovered through the first path 8a or the second path 8b, respectively, to the first recovery tank 3 or the second recovery tank 4. .

분산매를 회수하기 위한 제3 회수조(5) 및 혼합액을 회수하기 위한 제4 회수조(6)는, 삼방밸브(14)를 매개로 원심분리기(2)의 배수구(13)와 접속되어 있다. 삼방밸브(14)는, 자동식 전환 밸브이다(이하의 삼방밸브(19, 22, 23, 26, 29, 30, 32, 37)도 모두 동일). 배액구(13)는, 원심분리기(2)의 아래쪽에 구비되어 있다. 1차 분리로 지립을 원심분리할 때, 절삭 부스러기와 분산매로 되는 혼합액은, 배액구(13)로부터 삼방밸브(14)를 통과해 제4 회수조(6)로 회수된다. 혼합액은, 2차 분리를 위해 재차 원심분리기(2)에 투입되어, 절삭 부스러기가 원심분리된다. 그 다음, 분산매는 배액구(13)로부터 삼방밸브(14)를 통과해 제3 회수조(5)로 회수된다. 분산매에 절삭 부스러기가 남아 회수된 경우에는, 펌프(36)를 구동하여, 제3 회수조(5) 중의 오일을 삼방밸브(19), 분기관(21), 삼방밸브(22), 펌프(36), 삼방밸브(37), 분기관(38), 밸브(41)의 순서로 통과시켜 제4 회수조(6)로 되돌리고, 재차 2차 분리를 행한다. 한편, 1차 분리만 실시하고, 2차 분리를 하지 않을 때 등, 혼합액을 폐기하고자 할 때는, 펌프(51)를 작동시켜 혼합액 폐기조(52)에 혼합액을 이송한다.The third recovery tank 5 for recovering the dispersion medium and the fourth recovery tank 6 for recovering the mixed liquid are connected to the drain port 13 of the centrifugal separator 2 via the three-way valve 14. The three-way valve 14 is an automatic switching valve (all the following three-way valves 19, 22, 23, 26, 29, 30, 32, 37 are also the same). The drain port 13 is provided below the centrifuge 2. When centrifuging a grain by primary separation, the mixed liquid which becomes a cutting waste and a dispersion medium passes through the three-way valve 14 from the drain port 13, and is collect | recovered to the 4th collection tank 6. The mixed liquid is again fed into the centrifuge 2 for secondary separation, and the cutting chips are centrifuged. Then, the dispersion medium is recovered from the drain port 13 through the three-way valve 14 to the third recovery tank 5. When cutting chips remain in the dispersion medium and recovered, the pump 36 is driven to pump the oil in the third recovery tank 5 to the three-way valve 19, the branch pipe 21, the three-way valve 22, and the pump 36. ), The three-way valve 37, the branch pipe 38, and the valve 41 are passed through to the fourth recovery tank 6, and the second separation is performed again. On the other hand, when the mixed liquid is to be discarded, such as when only the primary separation is performed and the secondary separation is not performed, the pump 51 is operated to transfer the mixed liquid to the mixed liquid waste tank 52.

재생 슬러리를 조합하기 위한 조합조(7)는, 제1 회수조(3) 및 제3 회수조(5)와 접속되어 있다. 제1 회수조(3)에는, 사전에 새로운 분산매가 수용되어 있다. 제1 회수조(3)로 회수된 지립은, 펌프(15)를 매개로 새로운 분산매와 함께 조합조(7)로 보내진다. 이와 같은 재생 지립뿐 아니라, 새 지립 수용조(미도시)로부터도, 조합조(7)로 새 지립(S)은 보내진다.The combination tank 7 for combining the regeneration slurry is connected to the first recovery tank 3 and the third recovery tank 5. In the first recovery tank 3, a new dispersion medium is accommodated in advance. The abrasive grains collected by the first recovery tank 3 are sent to the combination tank 7 with a new dispersion medium via the pump 15. In addition to such recycled abrasive grains, new abrasive grains S are sent to the combination tank 7 from a new abrasive grain accommodation tank (not shown).

제3 회수조(5)로부터 분산매가 조합조(7)로 보내지는 경우, 이하의 유로를 통과한다. 펌프(20)가 구동됨으로써, 제3 회수조(5)로부터, 삼방밸브(19), 분기관(21), 삼방밸브(22), 삼방밸브(23), 펌프(20), 댐퍼(24), 질량유량계(25), 삼방밸브(26) 순으로 통과하여, 조합조(7)로 보내진다. 분기관(21)에는 유체 센서(27)가 구비되어 있다. 이 유체 센서(27)는, 분산매가 흐르고 있는 것을 검지한다.When a dispersion medium is sent from the 3rd collection tank 5 to the combination tank 7, it passes through the following flow paths. The pump 20 is driven so that the three-way valve 19, the branch pipe 21, the three-way valve 22, the three-way valve 23, the pump 20, and the damper 24 are discharged from the third recovery tank 5. Then, the mass flow meter 25 passes through the three-way valve 26 and is sent to the combination tank 7. The branch pipe 21 is provided with a fluid sensor 27. This fluid sensor 27 detects that a dispersion medium is flowing.

새 분산매조(28a, 28b)에는 새 분산매가 수용되어 있다. 조합조(7)로 새로운 분산매를 보낼 때는, 펌프(20)를 구동하여, 삼방밸브(30)를 통과시켜, 삼방밸브(19)로 보낸다. 그 다음은, 제3 회수조(5)로부터 조합조(7)로의 유로와 동일하다. 이와 같이, 조합조(7)로 재생 지립, 재생 분산매, 경우에 따라서는 새 지립, 새 분산매가 보내지고, 이것이 조합조(7)에서 교반됨으로써, 와이어 쏘 장치에서 사용되는 절삭용 슬러리로서 재생된다. 교반은, 모터(18)의 구동과 함께 회전하는 교반 부재(17)를 사용하여 행해지고 있다. 이때의 재생 슬러리의 용량은, 초음파 센서(31)로 감시되고 있다. 센서(31)는, 재생 슬러리의 액면 레벨을 검지한다. 조합조(7)의 크기는 사전에 알고 있기 때문에, 액면 레벨을 검지함으로써, 재생 슬러리의 용량을 산출 가능하다. 또한, 제1 회수조(3), 제3 회수조(5), 제4 회수조(6), 수용조(16)에도, 동일한 교반 부재(17), 모터(18), 및 초음파 센서(31)가 구비되어 있다. 또한, 제2 회수조(4)에는, 초음파 센서(31)가 구비되어 있다.The new dispersion medium 28a, 28b contains a new dispersion medium. When a new dispersion medium is sent to the combination tank 7, the pump 20 is driven to pass the three-way valve 30 to the three-way valve 19. Next, the flow path from the 3rd collection tank 5 to the combination tank 7 is the same. In this way, the regenerated abrasive grain, the regenerated dispersion medium, and, in some cases, the new abrasive grain and the new dispersion medium are sent to the combination tank 7, which is regenerated as the cutting slurry used in the wire saw device by stirring in the combination tank 7. . Stirring is performed using the stirring member 17 which rotates with the drive of the motor 18. As shown in FIG. The capacity of the regeneration slurry at this time is monitored by the ultrasonic sensor 31. The sensor 31 detects the liquid level of the regeneration slurry. Since the size of the combination tank 7 is known in advance, the capacity of the regeneration slurry can be calculated by detecting the liquid level. Moreover, the same stirring member 17, the motor 18, and the ultrasonic sensor 31 also apply to the 1st collection tank 3, the 3rd collection tank 5, the 4th collection tank 6, and the storage tank 16. FIG. ) Is provided. In addition, the second recovery tank 4 is equipped with an ultrasonic sensor 31.

수용조(16)는, 삼방밸브(32), 가변 제어식 정량 공급수단(33), 질량유량계(34)를 매개로 원심분리기(2)와 접속된다. 공급수단(33)은, 예를 들면 맥동 방지하는 기능을 탑재한 에어 구동 및 전기 구동식의 펌프이다. 공급수단(33) 및 질량유량계(34)는, PID 제어부(35)와 PLC 등을 사용하여 유선으로 접속되어 있다. 폐슬러리는, 공급수단(33)을 사용하여, 무맥동이며 정량으로 보내진다. 이 실제 유량값은, 질량유량계(34)로 계측되고 있다. 이 실제 유량값은, PID 제어부(35)에서 설정 유량값과 비교되고 있다. PID 제어부(35)에 있어서, 실제 유량값이 설정 유량값이 되도록, 공급수단(33)이 제어된다. 이 때문에, 폐슬러리의 실제 유량값이 피드백되어 설정 유량값에 근접하도록 공급수단(33)이 PID 제어되게 되어, 확실하게 폐슬러리를 일정 유량으로 원심분리기(2)에 투입하는 것이 가능하다. 이 때문에, 사람 손에 의한 유량 조정이 불필요해지고, 유량의 일정화를 자동적으로 행하는 것이 가능하여, 작업성이 향상된다. 또한, 삼방밸브(32)에는 혼합액을 회수하기 위한 제4 회수조(6)도 접속되어, 혼합액도 동일한 유량 제어로 원심분리기(2)로 보내진다. 따라서, 폐슬러리와 혼합액의 유량 제어를 동일한 PID 제어부(35)에서 행하는 것이 가능하기 때문에, 부품점수를 감수할 수 있어, 비용적으로도 효율이 좋다.The storage tank 16 is connected to the centrifuge 2 via the three-way valve 32, the variable controlled metering supply means 33, and the mass flow meter 34. The supply means 33 is, for example, an air drive and an electric drive pump equipped with a function to prevent pulsation. The supply means 33 and the mass flow meter 34 are connected by wire using the PID control unit 35 and a PLC. The waste slurry is pulsated and sent quantitatively using the supply means 33. This actual flow rate value is measured by the mass flow meter 34. The actual flow rate value is compared with the set flow rate value in the PID control unit 35. In the PID control section 35, the supply means 33 is controlled so that the actual flow rate value becomes the set flow rate value. For this reason, the feed means 33 is PID-controlled so that the actual flow rate value of waste slurry may be fed back to approach the set flow rate value, and the waste slurry can be reliably introduced into the centrifuge 2 at a constant flow rate. For this reason, the flow rate adjustment by a human hand becomes unnecessary, it is possible to carry out a constant flow rate adjustment automatically, and workability improves. In addition, a third recovery tank 6 for recovering the mixed liquid is also connected to the three-way valve 32, and the mixed liquid is also sent to the centrifuge 2 under the same flow rate control. Therefore, since it is possible to control the flow rate of the waste slurry and the mixed liquid by the same PID control section 35, the number of parts can be reduced, and the efficiency is also high in cost.

또한, 이 PID 제어는, 터치패널, PLC에 의한 자동 제어 방식으로 하여, 조작성을 향상시키는 것이 가능하다. 터치패널, PLC를 사용하여, 지립만의 회수나 분산매만의 회수 등, 분리 모드를 선택 가능하도록 해도 된다. 즉, 후술하는 바와 같이, 1차 분리물과 2차 분리물을 분리하는, 이른바 2단 분리 모드나, 단순히 지립(1차 분리물)만을 회수하는 경우와 같은, 이른바 1단 분리 지립 회수 모드나, 오일만을 회수하는, 이른바 1단 분리 오일 회수 모드를 선택 가능하도록 해도 된다.In addition, this PID control can be made into the automatic control system by a touch panel and PLC, and can improve operability. The touch panel and the PLC may be used to select a separation mode such as recovery of only abrasive grains or recovery of only a dispersion medium. That is, as will be described later, the so-called two-stage separation mode for separating the primary and secondary separations, or the so-called one-stage separation abrasive recovery mode such as the case where only the abrasive (primary separation) is recovered. The so-called one-stage separation oil recovery mode in which only oil is recovered may be selected.

새 분산매는 장치의 세정에도 사용된다. 세정에 사용하는 경우는, 펌프(36)를 구동시켜, 삼방밸브(22)로부터 삼방밸브(37)로 새 분산매를 보내고, 분기관(38)으로부터 밸브(41)를 통과하여, 제4 회수조(6) 내를 세정한다. 이와 같은 새 분산매의 공급은, 혼합액 중의 분산매의 양을 늘리고자 할 때도 이용된다. 또한, 분기관(39)으로부터 밸브(42)를 통과시키면, 원심분리기(2) 내를 세정 가능하다. 또한, 분기관(40)으로부터 밸브(43)를 통과시키면, 배출구(12)를 세정 가능한 동시에, 분기 슈트(8)도 세정 가능하다. 특히 이 배출구(12), 분기 슈트(8)는 지립이 달라붙기 때문에, 분리 중에는 정기적으로 세정되고 있다. 또한, 절삭 부스러기는 상당히 점도가 높아, 원심분리기(2) 내나 분기 슈트(8)(제2 경로(8b)) 내에 남기 때문에, 분산매로의 세정이 불가결하다. 분산매를 밸브(44)로 통과시키면, 수용조(16)를 세정 가능하다. 이는, 폐슬러리 중의 분산매의 양을 늘리고자 할 때도 이용 가능하다. 세정용의 새 분산매가 불필요해지면, 삼방밸브(37)로부터 삼방밸브(29)로 새 분산매를 유통시켜, 새 분산매조(28a 또는 28b)로 되돌린다. 또한, 상기 세정에는, 원심분리기(2)로 폐슬러리로부터 회수한 재생 분산매를 사용해도 된다.The new dispersion medium is also used to clean the device. When used for cleaning, the pump 36 is driven to send a new dispersion medium from the three-way valve 22 to the three-way valve 37, and passes through the valve 41 from the branch pipe 38 to form a fourth recovery tank. (6) The inside is washed. The supply of such a new dispersion medium is also used to increase the amount of the dispersion medium in the mixed liquid. In addition, when the valve 42 passes from the branch pipe 39, the inside of the centrifuge 2 can be cleaned. In addition, when the valve 43 is passed from the branch pipe 40, the outlet port 12 can be cleaned, and the branch chute 8 can also be cleaned. In particular, the discharge port 12 and the branch chute 8 are regularly cleaned during separation because the abrasive grains stick together. In addition, since the cutting chips are considerably high in viscosity and remain in the centrifuge 2 or the branch chute 8 (second path 8b), washing with a dispersion medium is indispensable. When the dispersion medium is passed through the valve 44, the storage tank 16 can be washed. This can also be used to increase the amount of the dispersion medium in the waste slurry. When the new dispersion medium for cleaning is unnecessary, the new dispersion medium is circulated from the three-way valve 37 to the three-way valve 29 and returned to the new dispersion medium 28a or 28b. In addition, you may use the regeneration dispersion medium collect | recovered from the waste slurry by the centrifuge 2 for the said washing | cleaning.

도 2는 본 발명의 슬러리 재생 장치에 사용되는 원심분리기의 개략 평면도이고, 도 3은 개략 측면도이다.2 is a schematic plan view of a centrifuge used in the slurry regeneration apparatus of the present invention, and FIG. 3 is a schematic side view.

전술한 바와 같이, 원심분리기(2)에는, 제1 모터(10) 및 제2 모터(11)가 구비되어 있다. 45는, 폐슬러리가 원심분리기(2) 내로 유입하는 유입구이다. 원심분리기(2)의 아래쪽에는, 전술한 바와 같이, 배출구(12), 배액구(13)가 구비되어 있다. 46a, 46b는, 새 분산매 또는 재생 분산매를 유입시켜 원심분리기(2) 내를 세정하기 위한 유입구이다. 47은, 새 분산매 또는 재생 분산매를 유입시켜 배출구(12)를 세정하기 위한 유입구이다.As described above, the centrifuge 2 is provided with the first motor 10 and the second motor 11. Reference numeral 45 denotes an inlet through which waste slurry enters the centrifuge 2. The discharge port 12 and the drain port 13 are provided below the centrifuge 2 as mentioned above. 46a and 46b are inlets for cleaning the inside of the centrifuge 2 by introducing a new dispersion medium or a regenerated dispersion medium. 47 is an inlet for cleaning the outlet 12 by introducing a new dispersion medium or a regenerated dispersion medium.

도 4는 본 발명의 슬러리 재생 장치에 사용되는 분기 슈트와 전환수단의 관계를 나타낸 개략도이다.4 is a schematic view showing the relationship between the branch chute and the switching means used in the slurry regeneration apparatus of the present invention.

분기 슈트(8)는, 4개의 롤러(48)를 구비한 프레임체(49)에 둘러싸여 배설(配設)되어 있다. 프레임체(49)에 전환수단(9)이 접속되어 있다. 전환수단(9)은 실린더로서, 축방향(화살표 R방향)으로 이동 가능하다. 전환수단(9)의 이동에 수반하여, 롤러(48)가 레일(50) 위를 이동하고, 분기 슈트(8)도 프레임체(49)에 눌려 화살표 R방향으로 이동한다. 분기 슈트(8)의 위쪽에 위치하는 원심분리기(2)의 배출구(12)(도 1, 도 3 참조)로부터 낙하되어 오는 분리물에 따라서, 분기 슈트(8)의 입구측을 제1 경로(8a) 또는 제2 경로(8b)로 전환한다. 분기 슈트(8)를 프레임체(49)로 둘러쌈으로써, 분기 슈트(8)만의 수리나 교환을 독립적으로 용이하게 행하는 것이 가능하여, 메인터넌스성이 향상된다.The branch chute 8 is surrounded by a frame 49 having four rollers 48 and is disposed. The switching means 9 is connected to the frame 49. The switching means 9 is a cylinder and is movable in the axial direction (arrow R direction). With the movement of the switching means 9, the roller 48 moves on the rail 50, the branch chute 8 is also pressed by the frame 49, and moves to the arrow R direction. The inlet side of the branch chute 8 is connected to the inlet side of the centrifuge 2 located above the branch chute 8 in accordance with the separation object falling from the outlet 12 (see FIGS. 1 and 3). 8a) or switch to the second path 8b. By enclosing the branch chute 8 with the frame 49, it is possible to easily repair or replace only the branch chute 8 independently, thereby improving maintenance.

도 5는 분기 슈트의 개략도이다.5 is a schematic diagram of a branch chute.

도시한 바와 같이, 분기 슈트(8)는, 출구측이 제1 경로(8a)와 제2 경로(8b)로 나누어져 있다. 절삭 부스러기는 덩어리 형상이기 때문에, 낙하시켜 회수 가능하도록, 제2 경로(8b)는 배출구(12)로부터 연직방향으로 형성되어 있다. 한편, 지립은 약간 분산매가 섞여 회수되기 때문에, 다소 각도가 있어도 흐르기 때문에, 제1 경로(8a)는 비스듬하게 형성되어 있다. 그 각도 θ는, 0°~45° 정도이다. 또한, 제1 경로(8a) 및 제2 경로(8b)의 내면은, 내측에 지립이나 절삭 부스러기가 부착되지 않도록, 경면 마무리되어 있다.As shown in the drawing, the branch chute 8 is divided into a first path 8a and a second path 8b. Since the cutting chips are agglomerate, the second path 8b is formed in the vertical direction from the discharge port 12 so as to be dropped and recovered. On the other hand, since the abrasive grains are slightly recovered by mixing the dispersion medium, the first path 8a is formed obliquely, even though there are some angles. The angle θ is about 0 ° to 45 °. In addition, the inner surface of the 1st path | route 8a and the 2nd path | route 8b is mirror-finished, so that an abrasive grain and cutting chips do not adhere inside.

도 6은 본 발명의 슬러리 재생 방법의 플로차트이다.6 is a flowchart of the slurry regeneration method of the present invention.

스텝 S1:Step S1:

와이어 쏘 장치에서 사용 후의 폐슬러리를 수용조에 수용한다.The waste slurry after use in the wire saw device is accommodated in the reservoir.

스텝 S2:Step S2:

폐슬러리를 원심분리기에 투입하고 1차 분리를 행한다. 이 1차 분리로, 폐슬러리 중의 지립(1차 분리물)만을 분리한다. 이 1차 분리는, 1500 G 미만의 저 G로 원심분리된다. 원심분리기로의 투입은, 가변 제어식 정량 공급수단(33)(도 1 참조)에 의해 무맥동이며 정량으로 행해진다. 그 유량은 질량유량계에 의해 관리되고, 실제 유량값이 피드백되어 설정 유량값에 근접하도록 PID 제어부(35)(도 1 참조)에서 제어된다. 1차 분리 중, 적시에 새 분산매 등으로 원심분리기 내나 분기 슈트(제1 경로) 내가 세정된다. 분리된 지립은, 제1 회수조(3)(도 1 참조)로 회수된다. 지립 분리 후의 혼합액은, 제4 회수조(6)(도 1 참조)로 회수된다. 수용조의 속이 빈 경우는, 분산매로 수용조 내를 세정하고, 이 분산매를 재차 1차 분리한다. 이것에 의해, 수용조 내에 남은 지립이나 절삭 부스러기를 제거하고, 회수하는 것이 가능하다.The waste slurry is introduced into a centrifuge and subjected to primary separation. This primary separation separates only the abrasive grains (primary isolate) in the waste slurry. This primary separation is centrifuged at low G of less than 1500G. Feeding into the centrifuge is carried out quantitatively without pulsation by the variable controlled metering supply means 33 (see FIG. 1). The flow rate is managed by a mass flow meter, and is controlled by the PID control unit 35 (see Fig. 1) so that the actual flow rate value is fed back to approach the set flow rate value. During the primary separation, the inside of the centrifuge and the branch chute (first path) are washed with fresh dispersion medium or the like in a timely manner. The separated abrasive grains are recovered by the first recovery tank 3 (see FIG. 1). The mixed liquid after the abrasive grains is recovered by the fourth recovery tank 6 (see FIG. 1). When the container is hollow, the inside of the container is washed with a dispersion medium, and the dispersion medium is first separated again. Thereby, it is possible to remove and collect the abrasive grains and the cutting chips which remain in the storage tank.

스텝 S3:Step S3:

스텝 S2에서 회수한 혼합액을 스텝 S2에서 사용한 원심분리기에 재차 투입하고, 2차 분리를 행한다. 이 2차 분리로, 혼합액을 절삭 부스러기(2차 분리물)와 분산매로 분리한다. 이 2차 분리는, 1500 G 이상의 고 G로 원심분리된다. 혼합액의 원심분리기로의 투입 제어는, 스텝 S2에서 나타낸 폐슬러리의 유량 제어와 동일하다. 2차 분리 중, 적시에 새 분산매 등으로 원심분리기 내나 분기 슈트(제2 경로) 내가 세정된다. 분리된 절삭 부스러기는, 제2 회수조(4)(도 1 참조)로 회수된다. 분산매는, 제3 회수조(5)(도 1 참조)로 회수된다. 제4 회수조의 속이 빈 경우는, 분산매로 수용조 내를 세정하고, 이 분산매를 재차 2차 분리한다. 이것에 의해서, 제4 회수조 내에 남은 절삭 부스러기를 제거하고, 회수하는 것이 가능하다. 그 다음, 제3 회수조 내의 비중을 계측하여, 2차 분리에 있어서의 분산매의 회수를 확인한다.The mixed liquid recovered in step S2 is again fed into the centrifuge used in step S2, and secondary separation is performed. By this secondary separation, the mixed liquid is separated into cutting chips (secondary separation product) and a dispersion medium. This secondary separation is centrifuged at high G of 1500 G or higher. Control of the input of the mixed liquid into the centrifuge is the same as the flow rate control of the waste slurry shown in step S2. During secondary separation, the inside of the centrifuge or the branch chute (second path) are washed with fresh dispersion medium or the like in a timely manner. The separated cutting chips are recovered by the second recovery tank 4 (see FIG. 1). The dispersion medium is recovered by the third recovery tank 5 (see FIG. 1). When the 4th recovery tank is hollow, the inside of a storage tank is wash | cleaned with a dispersion medium, and this dispersion medium is isolate | separated secondary again. Thereby, it is possible to remove and collect the cutting scrap remaining in the 4th collection tank. Next, the specific gravity in the 3rd recovery tank is measured, and the collection | recovery of the dispersion medium in secondary separation is confirmed.

스텝 S4:Step S4:

1차 분리로 회수한 지립, 2차 분리로 회수한 분산매, 추가로 필요에 따라 새 지립 및 새 분산매(새 오일)를 첨가하여 재생 슬러리를 조합한다. 이 새 지립이나 새 오일 등의 투입방법은, 예를 들면, (i) 새 지립 및 새 오일을 자동으로 투입하거나, (ii) 새 지립을 수동으로, 새 오일을 자동으로 투입하거나, (iii) 새 오일만을 자동으로 투입하거나, (iv) 새 지립과 새 오일로 사전에 형성된 새 슬러리 및 새 오일을 자동으로 투입하는 방법이 있다.The reclaimed slurry is combined by adding the abrasive grains recovered by the primary separation, the dispersion medium recovered by the secondary separation, and further new abrasive grains and new dispersion medium (new oil), if necessary. Such new abrasive or new oil input methods may include, for example, (i) automatically adding new abrasives and new oils, (ii) manually inserting new abrasives, automatically adding new oils, or (iii) Only fresh oil can be added automatically, or (iv) new abrasives and new oils preformed with new slurry and new oil can be automatically added.

먼저 제1 회수조로부터의 재생 지립을 조합조로 이송한다. 이 이송은, 제1 회수조를 분산매로 세정하면서, 모든 지립이 이송되도록 행해진다. 지립의 이송이 끝나면, 조합조 내의 비중을 계측하여, 1차 분리에 있어서의 지립 회수율을 판정한다. 이 판정은, 스텝 S2의 종료 후에 행해도 된다. 재생 슬러리는, 목표로 하는 체적과 비중이 설정되어 있다. 이 설정값이 되도록, 회수 지립으로 부족한 분량이 새 지립으로 보충된다. 이것에 맞춰 분산매도 공급된다. 목표 비중이 되면, 재생 슬러리로서 재차 와이어 쏘 장치에 사용한다.First, the recycled abrasive grains from the first recovery tank are transferred to the combination tank. This conveyance is performed so that all abrasive grains may be conveyed, washing | cleaning a 1st collection tank with a dispersion medium. After the transfer of the abrasive grains, the specific gravity in the combination tank is measured to determine the abrasive recovery rate in the primary separation. This determination may be performed after the end of step S2. The target volume and specific gravity are set for the regeneration slurry. In order to reach this set value, the quantity shorted by the recovery abrasive grain is replenished with the new abrasive grain. A dispersion medium is also supplied accordingly. When it becomes a target specific gravity, it uses for a wire saw apparatus again as a regeneration slurry.

이상에 의하면, 제1 모터 및 제2 모터를 사용하여, 저 G와 고 G의 상이한 원심력을 발생시켜, 1차 분리와 2차 분리를 행하는 것이 가능하다. 이 때문에, 1대의 원심분리기만으로 비중이 상이한 지립(1차 분리물) 및 절삭 부스러기(2차 분리물)를 확실하게 분리하여 회수하는 것이 가능하다. 따라서, 분리 시에는, 1대분의 원심분리기를 설치 가능한 공간을 확보할 수 있으면 되기 때문에, 공간적으로 효율이 좋다.According to the above, it is possible to generate the different centrifugal force of low G and high G using a 1st motor and a 2nd motor, and to perform primary separation and secondary separation. For this reason, it is possible to reliably separate and collect abrasive grains (primary isolate) and cutting debris (secondary isolate) from which a specific gravity differs only with one centrifuge. Therefore, at the time of separation, since the space which can install one centrifuge can be secured, space efficiency is good.

전술한 스텝 S1~스텝 S4는, 1차 분리물과 2차 분리물을 분리하는, 이른바 2단 분리 모드를 행하는 경우의 공정이다. 이에 대해서, 단순히 지립(1차 분리물)만을 회수하는 경우와 같은, 이른바 1단 분리 지립 회수 모드의 경우는, 상기 스텝 S3를 제외한 S1, S2, S4의 순서로 행한다. 추가로, 오일만을 회수하는, 이른바 1단 분리 오일 회수 모드의 경우는, 스텝 S3만으로 실현 가능하다.Step S1-step S4 mentioned above are the processes at the time of performing what is called a two-stage separation mode which isolate | separates a primary isolate and a secondary isolate. On the other hand, in the case of the so-called single stage separated abrasive recovery mode, such as the case where only the abrasive grains (primary isolates) are recovered only, the procedures are performed in the order of S1, S2, and S4 except for the step S3. In addition, in the so-called one-stage separation oil recovery mode in which only oil is recovered, only step S3 can be realized.

1 슬러리 재생 장치
2 원심분리기
3 제1 회수조
4 제2 회수조
5 제3 회수조
6 제4 회수조
7 조합조
8 분기 슈트
8a 제1 경로
8b 제2 경로
9 전환수단
10 제1 모터
11 제2 모터
12 배출구
13 배액구
14 삼방밸브
15 펌프
16 수용조
17 교반 부재
18 모터
19 삼방밸브
20 펌프
21 분기관
22 삼방밸브
23 삼방밸브
24 댐퍼
25 질량유량계
26 삼방밸브
27 유체 센서
28a 새 분산매조
28b 새 분산매조
29 삼방밸브
30 삼방밸브
31 초음파 센서
32 삼방밸브
33 가변 제어식 정량 공급수단
34 질량유량계
35 PID 제어부
36 펌프
37 삼방밸브
38 분기관
39 분기관
40 분기관
41 밸브
42 밸브
43 밸브
44 밸브
45 유입구
46a 유입구
46b 유입구
47 유입구
48 롤러
49 프레임체
50 레일
51 펌프
52 혼합액 폐기조1 slurry regeneration unit
2 centrifuge
3 first collection tank
4 second collection tank
5 third collection tank
6 fourth collection tank
7 combinations
8 quarter suit
8a first path
8b second path
9 switching means
10 first motor
11 second motor
12 outlet
13 drain
14 3-way valve
15 pumps
16 tank
17 stirring member
18 motor
19 3-way valve
20 pumps
21 branch pipe
22 3-way valve
23 3-way valve
24 damper
25 mass flow meter
26 3-way valve
27 fluid sensor
28a New Distributed Sales
28b New Distributed Sales
29 3-way valve
30 3-way valve
31 ultrasonic sensors
32 3-way valve
33 Variable control metering means
34 mass flow meter
35 PID control unit
36 pumps
37 3-way valve
38 branch pipe
39 branch pipe
40 branch pipe
41 valve
42 valves
43 valve
44 valve
45 inlet
46a inlet
46b inlet
47 inlet
48 roller
49 frame
50 rails
51 pump
52 Mixture Waste Tank

Claims

In the dispersion medium, a waste slurry containing at least one of the primary and secondary separators having different specific gravity to be separated from the dispersion medium is introduced, so that the primary or secondary separator can be separated from the waste slurry. With centrifuge,
A discharge port installed in the centrifuge and discharging the primary separator or secondary separator after separation from the centrifuge;
A first recovery tank for recovering said primary separator that is communicable via a first path for transporting said primary separator to said outlet,
A second recovery tank for recovering the secondary separator capable of communicating via the second path for transporting the secondary separator to the outlet;
A drain port provided in the centrifuge for draining the dispersion medium or the dispersion medium and the mixed liquid of the secondary separator after separating the waste slurry from the centrifuge;
A third recovery tank for recovering the dispersion medium selectively communicable with the drain port, and a fourth recovery tank for recovering the mixed liquid;
A combination tank for mixing the primary separator and the dispersion medium to produce a regeneration slurry;
And a switching means for connecting any one of the first path and the second path to the discharge port.

The method of claim 1,
Variable-controlled fixed-quantity supply means which is provided between the holding tank and the centrifugal separator for accommodating the waste slurry, and between the fourth recovery tank and the centrifugal separator, respectively, for adjusting the flow rate of the waste slurry or the mixed liquid; A mass flow meter provided between the variable controlled metering supply means and the centrifugal separator and the mass flow meter measuring the flow rate of the waste slurry or the mixed liquid to control the operation of the variable control metering supply means A slurry regeneration device, further comprising a PID control unit.

The method according to claim 1 or 2,
The receiving tank, the fourth recovery tank, and the centrifugal separator are connected via a three-way valve, and the variable controlled metering supply means and the mass flow meter are disposed between the three-way valve and the centrifugal separator. Slurry regeneration device.

4. The method according to any one of claims 1 to 3,
The said waste slurry is a slurry used by the wire saw apparatus which presses a to-be-processed object to a wire, and cut | disconnects, The said primary isolate | separation is an abrasive grain mixed in the said slurry, The said secondary isolate | separation is the said processed object Slurry regeneration apparatus characterized by the above-mentioned.

As a slurry regeneration method using the slurry regeneration device according to any one of claims 1 to 4,
Put the waste slurry into the centrifuge,
The centrifuge is driven with a predetermined centrifugal force (low G) to centrifuge the primary separation from the waste slurry,
The centrifuged primary separated product was recovered in the first recovery tank,
Recovering the mixed liquid into the fourth recovery tank,
The mixed solution is introduced into the centrifuge from the fourth recovery tank,
Driving the centrifuge at a centrifugal force (high G) higher than the predetermined centrifugal force to centrifuge the secondary separation from the mixed liquor,
The centrifuged secondary separator was recovered in the second recovery tank,
Recovering the dispersion medium into the third recovery tank,
In the combination tank, the primary separation material recovered in the first recovery tank, the dispersion medium recovered in the third recovery tank, a new primary separation material and a new dispersion medium are introduced to produce a regeneration slurry. How to play.

The method of claim 5,
The variable control expression measures the actual flow rate value of the waste slurry or the mixed liquid by the mass flow meter, and compares the actual flow rate value with the set flow rate value in the PID control unit so that the actual flow rate value becomes the set flow rate value. Slurry regeneration method characterized by PID control of the fixed-quantity supply means.