KR101575924B1 - Slurry regenerating device and method - Google Patents

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유키히사 모모나카
구니노부 이케나가
히데토시 오가타
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가부시기가이샤야스나가
가부시키가이샤 아이에이치아이 카이덴기카이
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Abstract

폐슬러리를 투입하는 원심분리기(2)와, 원심분리기(2)로부터, 1차 분리물 및 2차 분리물을 배출하는 배출구(12)와, 배출구(12)와 1차 분리물용 경로(8a)를 매개로 연통(連通)하는 제1 회수조(3)와, 배출구(12)와 2차 분리물용 경로(8b)를 매개로 연통하는 제2 회수조(4)와, 분산매 또는 분산매와 상기 2차 분리물의 혼합액을 배수하는 배액구(排液口)(13)와, 배액구(13)와 연통하는 제3 회수조(5) 및 제4 회수조(6)와, 재생 슬러리를 생성하는 조합조(調合槽)(7)와, 배출구(12)에 대해서, 1차 분리물용 경로(8a)와 2차 분리물용 경로(8b) 중 어느 하나로 접속을 전환하기 위한 전환수단(9)을 구비하였다.A discharge port 12 for discharging the primary separated material and the secondary separated material from the centrifugal separator 2 and a discharge port 12 for discharging the primary separated material and a path for the primary separated material 8a from the centrifugal separator 2, A second recovery tank 4 communicating with the discharge port 12 via a secondary separation path 8b and a second recovery tank 4 communicating with the dispersion medium or dispersion medium 2 A third collection vessel 5 and a fourth collection vessel 6 which communicate with the drainage port 13 and a combination for generating a regeneration slurry (9) for switching connection to either the primary separation path (8a) or the secondary separation path (8b) with respect to the mixing tank (7) and the discharge port (12) .

Figure R1020117016292
Figure R1020117016292

Description

슬러리 재생 장치 및 방법{Slurry regenerating device and method}[0001] Slurry regenerating device and method [0002]

본 발명은, 슬러리의 재생 장치 및 방법에 관한 것으로, 특히, 와이어 쏘(wire saw) 장치에 있어서의 절단가공 후의 폐슬러리의 재생 장치 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a slurry regeneration apparatus and method, and more particularly, to a regeneration apparatus and method of a waste slurry after a cutting process in a wire saw apparatus.

종래, 비용 삭감을 위해, 슬러리를 사용한 가공 장치(예를 들면 와이어 쏘 장치 등)로부터 배출되는 폐슬러리는 재생 이용되고 있었다. 이와 같은 와이어 쏘 장치에 있어서의 폐슬러리는, 분산매와, 이것에 혼입하는 지립(砥粒) 및 절삭 부스러기(切削屑)로 형성되어 있다. 이들의 분리는, 2대의 원심분리기를 사용하여, 지립 및 절삭 부스러기를 각각 분산매로부터 분리하고 있었다. 구체적으로는, 1대째의 원심분리기에 폐슬러리를 투입하고, 1500 G 미만의 낮은 원심력으로 절삭 부스러기보다도 비중이 큰 지립을 먼저 분리한다. 그 후, 분산매와 절삭 부스러기로 되는 혼합액을 2대째의 원심분리기에 투입하고, 1500 G 이상의 높은 원심력으로 절삭 부스러기를 분리한다. 그 후, 분산매와 지립을 혼합하여, 슬러리를 재생하고 있었다. 그러나, 원심분리기를 2대 사용하는 것은, 다대(多大)한 설치 공간을 필요로 하기 때문에, 그 공간의 확보가 곤란하였다.Conventionally, waste slurry discharged from a processing apparatus using slurry (for example, a wire saw apparatus or the like) has been recycled for cost reduction. The waste slurry in such a wire saw apparatus is formed of a dispersion medium and abrasive grains and cutting debris mixed therein. In order to separate them, two abrasive grains were used to separate the abrasive grains and cutting chips from the dispersion medium. Specifically, the waste slurry is introduced into the first centrifugal separator, and the abrasive grains having a specific gravity larger than that of the cutting debris are first separated at a low centrifugal force of less than 1500 G. Thereafter, the mixed liquid, which is a dispersion medium and a cutting debris, is introduced into a second centrifugal separator, and the cutting debris is separated by a high centrifugal force of 1500 G or more. Thereafter, the dispersion medium and the abrasive grains were mixed to regenerate the slurry. However, since the use of two centrifuges requires a large installation space, it is difficult to secure the space.

한편, 원심분리기에 투입하는 폐슬러리 또는 혼합액은, 일정한 유량으로 공급하는 것이 바람직하다. 이 때문에, 오리피스 포트를 매개로 원심분리기에 폐슬러리 또는 혼합액을 투입하고 있었다(예를 들면 특허문헌 1 참조). 오리피스 포트는, 오리피스 플레이트를 교환함으로써 유량을 조정한다. 그러나, 슬러리의 성질(온도, 점도, 비중, 지립 종별, 쿨런트(coolant) 종별 등)에 따라, 최적의 오리피스 플레이트를 선택할 필요가 있다. 이 선택은, 작업자의 경험에 의존하는 바가 커서, 확실성이 결여되어 있는 것이었다.On the other hand, it is preferable to supply the waste slurry or mixed liquid to be fed into the centrifugal separator at a constant flow rate. For this reason, a waste slurry or a mixed solution is introduced into a centrifuge through an orifice port (see, for example, Patent Document 1). The orifice port adjusts the flow rate by exchanging the orifice plate. However, it is necessary to select an optimum orifice plate depending on the properties (temperature, viscosity, specific gravity, abrasive grain type, coolant type, etc.) of the slurry. This choice was highly dependent on the experience of the operator and lacked certainty.

일본국 특허공개 제2005-169299호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2005-169299

본 발명은, 상기 종래기술을 고려한 것으로서, 다대한 설치 공간을 필요로 하지 않고, 1대의 원심분리기만으로 폐슬러리로부터 1차 분리물 및 2차 분리물을 확실하게 분리 가능하고, 분리된 분산매와 1차 분리물을 혼합하여 재차 슬러리를 생성하는 것이 가능한 슬러리의 재생처리 장치 및 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.Disclosure of the Invention The present invention has been made in consideration of the above-mentioned prior art, and it is an object of the present invention to provide a centrifugal separator which can reliably separate a primary separation product and a secondary separation product from a waste slurry with only one centrifuge, And an object of the present invention is to provide a slurry regeneration processing apparatus and method capable of mixing slurry to produce a slurry again.

상기 목적을 달성하기 위해서, 청구항 1의 발명에서는, 분산매 중에 상기 분산매로부터 분리되어야 하는 서로 비중이 상이한 1차 분리물 및 2차 분리물의 한쪽 이상을 포함하는 폐슬러리가 투입되어, 상기 폐슬러리로부터 상기 1차 분리물 또는 상기 2차 분리물을 분리 가능한 원심분리기와, 상기 원심분리기에 설치되어, 상기 원심분리기로부터 분리 후의 상기 1차 분리물 또는 상기 2차 분리물을 배출하는 배출구와, 그 배출구에 상기 1차 분리물을 이송하기 위한 제1 경로를 매개로 연통(連通) 가능한 상기 1차 분리물을 회수하기 위한 제1 회수조와, 상기 배출구에 상기 2차 분리물을 이송하기 위한 제2 경로를 매개로 연통 가능한 상기 2차 분리물을 회수하기 위한 제2 회수조와, 상기 원심분리기에 설치되어, 상기 원심분리기로부터 상기 폐슬러리를 분리한 후의 상기 분산매 또는 그 분산매와 상기 2차 분리물의 혼합액을 배액(排液)하는 배액구와, 그 배액구에 대해서 선택적으로 연통 가능한 상기 분산매를 회수하기 위한 제3 회수조 및 상기 혼합액을 회수하기 위한 제4 회수조와, 상기 1차 분리물과 상기 분산매를 혼합하여 재생 슬러리를 생성하기 위한 조합조(調合槽)와, 상기 배출구에 대해서, 상기 제1 경로와 상기 제2 경로 중 어느 하나를 접속시키는 전환수단을 구비한 것을 특징으로 하는 슬러리 재생 장치를 제공한다.In order to achieve the above object, in the invention of claim 1, a waste slurry containing at least one of a primary separation product and a secondary separation product, which are to be separated from the dispersion medium, A centrifugal separator capable of separating the primary separation product or the secondary separation product, a discharge port provided in the centrifugal separation device for discharging the primary separation product or the secondary separation product after separation from the centrifugal separation device, A first recovery vessel for recovering the primary separated material that can communicate with the first separation material through a first path for transferring the primary separation material and a second path for transferring the secondary separation material to the discharge port A second recovery vessel for recovering the secondary separation which can be communicated by means of the centrifugal separator, and a second recovery vessel provided in the centrifuge to separate the waste slurry from the centrifuge A third recovery tank for recovering the dispersion medium that can be selectively communicated with the dispersion sludge, and a second recovery tank for recovering the mixed solution, A combination tank for mixing the primary separation product and the dispersion medium to produce a reclaimed slurry, and a switching device for connecting any one of the first and second paths to the discharge port, The slurry recycling apparatus according to claim 1,

청구항 2의 발명에서는, 청구항 1의 발명에 있어서, 상기 폐슬러리를 수용하기 위한 수용조와 상기 원심분리기 사이, 및 상기 제4 회수조와 상기 원심분리기 사이에 각각 설치되어, 상기 폐슬러리 또는 상기 혼합액의 유량을 조정하는 가변 제어식 정량(定量) 공급수단과, 그 가변 제어식 정량 공급수단과 상기 원심분리기 사이에 설치된 질량유량계와, 상기 질량유량계의 계측 결과를 토대로, 상기 폐슬러리 또는 상기 혼합액의 유량을 일정하게 하기 위해서 상기 가변 제어식 정량 공급수단의 작동을 제어하는 PID 제어부를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하고 있다.According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, the waste slurry is provided between the centrifugal separator and the receiving tank for containing the waste slurry, and between the fourth recovering tank and the centrifugal separator, A mass flow rate meter provided between the variable control type constant quantity supply means and the centrifugal separator, and a controller for controlling the flow rate of the waste slurry or the mixed liquid to a constant value based on the measurement result of the mass flow meter And a PID control unit for controlling the operation of the variable control type constant amount supply unit.

청구항 3의 발명에서는, 청구항 1 또는 2의 발명에 있어서, 상기 수용조와 상기 제4 회수조, 및 상기 원심분리기는, 삼방밸브(三方弁)를 매개로 접속되며, 상기 가변 제어식 정량 공급수단 및 상기 질량유량계는, 상기 삼방밸브와 상기 원심분리기 사이에 배치되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.In the invention of claim 3, in the invention of claim 1 or 2, the receiving tank, the fourth collection tank, and the centrifugal separator are connected via a three-way valve (three-way valve) And the mass flow meter is disposed between the three-way valve and the centrifugal separator.

청구항 4의 발명에서는, 청구항 1 내지 3 중 어느 하나의 발명에 있어서, 상기 폐슬러리는, 와이어에 피가공물을 내리눌러 절단가공하는 와이어 쏘 장치에서 사용한 슬러리이고, 상기 1차 분리물은 상기 슬러리에 혼입하는 지립이며, 상기 2차 분리물은 상기 피가공물의 절삭 부스러기인 것을 특징으로 하고 있다.According to a fourth aspect of the present invention, in any one of the first to third aspects of the present invention, the waste slurry is a slurry used in a wire saw apparatus for cutting a workpiece by cutting down a wire, And the secondary separated material is a cutting debris of the workpiece.

또한, 청구항 5의 발명에서는, 청구항 1 내지 4 중 어느 하나에 기재된 슬러리 재생 장치를 사용한 슬러리 재생 방법으로서, 상기 원심분리기에 상기 폐슬러리를 투입하고, 상기 원심분리기를 소정의 원심력(저 G)으로 구동하여, 상기 1차 분리물을 상기 폐슬러리로부터 원심분리하고, 그 원심분리한 1차 분리물을 상기 제1 회수조로 회수하고, 상기 혼합액을 상기 제4 회수조로 회수하고, 그 제4 회수조로부터 상기 혼합액을 상기 원심분리기에 투입하고, 상기 원심분리기를 상기 소정의 원심력에 의해 높은 원심력(고 G)으로 구동하여 상기 2차 분리물을 상기 혼합액으로부터 원심분리하고, 그 원심분리한 2차 분리물을 상기 제2 회수조로 회수하고, 상기 분산매를 상기 제3 회수조로 회수하고, 상기 조합조에, 상기 제1 회수조로 회수된 상기 1차 분리물과, 상기 제3 회수조로 회수된 상기 분산매와, 새로운 1차 분리물 및 새로운 분산매를 투입하여, 재생 슬러리를 생성하는 것을 특징으로 하는 슬러리 재생 방법을 제공한다.According to a fifth aspect of the present invention, in the slurry regeneration method using the slurry reclaiming apparatus according to any one of the first to fourth aspects, the waste slurry is introduced into the centrifugal separator and the centrifugal separator is centrifuged at a predetermined centrifugal force Centrifugally separating the primary separated material from the waste slurry, recovering the centrifuged primary separated material into the first recovering tank, recovering the mixed liquid into the fourth recovering tank, And the centrifugal separator is driven by the centrifugal force at a high centrifugal force (high G) by centrifugal force to centrifuge the secondary separation product from the mixture solution, and centrifugal separation of the secondary separation product Water is recovered into the second recovery tank, the dispersion medium is recovered in the third recovery tank, and the primary separation product recovered in the first recovery tank and the phase In the third to recover the dispersion medium, and a new primary isolates and new dispersion medium recovered twos, and provides a slurry reproducing method, characterized in that for generating a reproduction slurry.

청구항 6의 발명에서는, 청구항 5의 발명에 있어서, 상기 질량유량계에 의해 상기 폐슬러리 또는 상기 혼합액의 실제 유량값을 계측하고, 상기 PID 제어부에서 상기 실제 유량값과 설정 유량값을 비교하여, 상기 실제 유량값이 상기 설정 유량값이 되도록, 상기 가변 제어식 정량 공급수단을 PID 제어하는 것을 특징으로 하고 있다.In the invention of claim 6, in the invention of claim 5, the actual flow rate value of the waste slurry or the mixed liquid is measured by the mass flow meter, the PID control section compares the actual flow rate value with the set flow rate value, And the PID control is performed on the variable control quantity supply means so that the flow rate value becomes the set flow rate value.

청구항 1의 발명에 의하면, 제1 모터 및 제2 모터를 사용하여, 상이한 원심력을 발생시키는 것이 가능하다. 이 때문에, 1대의 원심분리기만으로 비중이 상이한 1차 분리물 및 2차 분리물을 확실하게 분리하여 회수하는 것이 가능하다. 따라서, 1대분의 원심분리기를 설치 가능한 공간을 확보할 수 있으면 되기 때문에, 공간적으로 효율이 좋다. 또한, 전환수단을 사용하여, 분리한 1차 분리물 또는 2차 분리물을 각각 별도의 제1 또는 제2 회수조로 회수하는 것이 가능하다. 추가로, 분산매도 별도의 제3 회수조로 회수 가능하기 때문에, 1차 분리물과 분산매를 혼합하여 재생 슬러리를 확실하게 조합(調合)하는 것이 가능하다.According to the invention of claim 1, it is possible to generate different centrifugal force by using the first motor and the second motor. For this reason, it is possible to surely separate and recover the primary separated material and the secondary separated material having different specific gravity by using only one centrifuge. Therefore, it is only necessary to secure a space in which one centrifuge can be installed, so that the efficiency is good in terms of space. In addition, it is possible to recover the separated primary separator or secondary separator into the separate first or second recovery tank, respectively, by using the switching means. In addition, since the dispersion can be recovered in a separate third recovery tank, it is possible to mix the primary slurry and the dispersion medium to assure the preparation of the slurry.

청구항 2의 발명에 의하면, 원심분리기에 투입하는 폐슬러리 또는 혼합액의 공급을 가변 제어식 정량 공급수단과 질량유량계의 PID 제어에 의해 무맥동(無脈動)이며 정량으로 하는 것이 가능하다. 이 때문에, 사람 손에 의한 유량 조정이 불필요해지고, 유량의 일정화를 자동적으로 행하는 것이 가능하여, 작업성이 향상된다. 또한, 원심분리기로 안정하게 회수를 행하기 위해서는 무맥동이며 정량으로 액을 공급하는 것이 중요해진다.According to the invention of claim 2, the supply of the waste slurry or the mixed liquid to be fed into the centrifugal separator can be pulsarized and quantified by PID control of the variable control type constant amount feeding means and the mass flow meter. Therefore, it is unnecessary to adjust the flow rate by a human hand, and the flow rate can be automatically made constant, thereby improving workability. In addition, in order to perform stable recovery by the centrifugal separator, it is important to supply the liquid in a pulsating and fixed amount.

청구항 3의 발명에 의하면, 폐슬러리를 수용하기 위한 수용조와 혼합액을 회수하기 위한 제4 회수조, 및 원심분리기는, 삼방밸브를 매개로 접속되기 때문에, 폐슬러리와 혼합액이 원심분리기에 투입되는 배관을 공유하는 것이 가능하다. 따라서, 펌프나 유량 제어도 공통으로 사용하는 것이 가능하기 때문에, 부품점수를 감소할 수 있어, 비용적으로도 효율이 좋다.According to the invention of claim 3, since the receiving vessel for receiving the waste slurry, the fourth recovery vessel for recovering the mixed liquid, and the centrifugal separator are connected via the three-way valve, the waste slurry and the mixed liquid are introduced into the centrifugal separator It is possible to share. Therefore, since the pump and the flow rate control can be commonly used, the number of parts can be reduced, and the efficiency is also high in terms of cost.

청구항 4의 발명에 의하면, 와이어 쏘 장치에서 사용한 폐슬러리에 포함되는 재이용 가능한 지립을 1차 분리물로서 회수하고, 피가공물의 절삭 부스러기를 2차 분리물로서 별도로 회수 가능하다. 따라서, 분산매와 지립을 재차 혼합하여 절삭용 슬러리로서 와이어 쏘 장치에 재이용 가능하다. 이 때문에, 슬러리의 절약이 가능하다.According to the invention of claim 4, the reusable abrasive grains contained in the waste slurry used in the wire saw apparatus are recovered as the primary separated material, and the cutting debris of the workpiece can be recovered separately as the secondary separated material. Therefore, the dispersion medium and the abrasive grains can be mixed again and reused in a wire saw apparatus as a slurry for cutting. Therefore, slurry can be saved.

청구항 5의 발명에 의하면, 원심분리기로 폐슬러리로부터 1차 분리물을 분리하고, 그 후 동일한 원심분리기로 제2 분리물을 분리하여, 이들을 별도의 제1 또는 제2 회수조로 회수한다. 따라서, 1대의 원심분리기로 2개의 분리물을 회수하는 것이 가능하여, 1대분의 원심분리기 설치 공간을 확보할 수 있으면 되기 때문에, 공간적으로 효율이 좋다.According to the invention of claim 5, a primary separation product is separated from a waste slurry by a centrifugal separator, and then the second separation product is separated by the same centrifugal separator, and these are recovered into a separate first or second recovery vessel. Therefore, it is possible to recover two separated products with one centrifuge, so that only one centrifuge installation space can be secured, so that the efficiency is good in terms of space.

청구항 6의 발명에 의하면, 폐슬러리 또는 혼합액의 실제 유량값을 피드백시켜 설정 유량값에 근접하도록 가변 제어식 정량 공급수단을 PID 제어하기 때문에, 확실하게 폐슬러리 또는 혼합액을 일정 유량으로 원심분리기에 투입하는 것이 가능하다. 또한, 무맥동이며 정량으로 액을 공급함으로써 안정한 원심분리 효과가 얻어진다.According to the invention of claim 6, since the actual flow rate value of the waste slurry or the mixed liquid is fed back and PID control is performed on the variable control constant amount feeding means so as to approach the set flow rate value, the waste slurry or the mixed liquid is surely fed into the centrifugal separator It is possible. In addition, a stable centrifugal separation effect can be obtained by supplying liquid at a pulsating flow rate without pulsation.

도 1은 본 발명의 슬러리 재생 장치의 개략도이다.
도 2는 본 발명의 슬러리 재생 장치에 사용되는 원심분리기의 개략 평면도이다.
도 3은 본 발명의 슬러리 재생 장치에 사용되는 원심분리기의 개략 측면도이다.
도 4는 본 발명의 슬러리 재생 장치에 사용되는 분기 슈트와 전환수단의 관계를 나타낸 개략도이다.
도 5는 분기 슈트의 개략도이다.
도 6은 본 발명의 슬러리 재생 방법의 플로차트이다.1 is a schematic view of a slurry regenerator of the present invention.
2 is a schematic plan view of a centrifugal separator used in the slurry regenerator of the present invention.
3 is a schematic side view of a centrifugal separator used in the slurry regenerator of the present invention.
4 is a schematic view showing the relationship between the branch suits and the switching means used in the slurry recycling apparatus of the present invention.
5 is a schematic view of a branch chute.
6 is a flow chart of the slurry regeneration method of the present invention.

도 1은 본 발명의 슬러리 재생 장치의 개략도이다.1 is a schematic view of a slurry regenerator of the present invention.

도시한 바와 같이, 본 발명의 슬러리 재생 장치(1)는, 원심분리기(2)와, 지립(1차 분리물)을 회수하기 위한 제1 회수조(3)와, 절삭 부스러기(2차 분리물)를 회수하기 위한 제2 회수조(4)와, 분산매를 회수하기 위한 제3 회수조(5)와, 혼합액을 회수하기 위한 제4 회수조(6)와, 재생 슬러리를 조합하기 위한 조합조(7)와, 분기 슈트(8)와, 전환수단(9)을 구비하고 있다. 원심분리기(2)는, 2대의 모터(제1 모터(10), 제2 모터(11))를 각각 구비하고 있어, 저 G 또는 고 G로 상이한 원심력을 발생시키는 것이 가능하다.As shown, the slurry recycling apparatus 1 of the present invention comprises a centrifugal separator 2, a first recovery tank 3 for recovering abrasive grains (primary separation product) , A third recovery tank (5) for recovering the dispersion medium, a fourth recovery tank (6) for recovering the mixed liquor, a second recovery tank (4) (7), a branch chute (8), and switching means (9). The centrifugal separator 2 is provided with two motors (the first motor 10 and the second motor 11), respectively, so that it is possible to generate centrifugal forces different from each other at low G or high G.

분리 대상물인 폐슬러리는, 지립과, 절삭 부스러기(슬러지)와, 분산매(오일)로 된다. 절삭 부스러기는, 취성(脆性) 재료(예를 들면 실리콘 등)로 되는 웨이퍼 링의 제조공정 시에, 도시하지 않는 취성 재료를 와이어 쏘 장치(미도시)로 절단가공할 때 발생한다. 와이어 쏘 장치에서 사용된 폐슬러리는, 수용조(16)에 수용되어 있다. 일반적으로 지립은, 절삭 부스러기보다 비중이 크다. 따라서, 폐슬러리에 대해 작은 원심력으로 원심분리하면, 주로 비중이 큰 지립이 분리된다. 그 다음, 커다란 원심력으로 원심분리하면, 주로 절삭 부스러기가 분리된다. 이것에 의해, 서로 비중이 상이한 지립과 절삭 부스러기를 2단계로 나누어 1대의 원심분리기(2)로 분리하는 것이 가능하다.The waste slurry as an object to be separated becomes an abrasive grain, a cutting debris (sludge), and a dispersion medium (oil). Cutting debris is generated when a brittle material (not shown) is cut into a wire saw (not shown) during a manufacturing process of a wafer ring made of a brittle material (for example, silicon or the like). The waste slurry used in the wire saw apparatus is housed in a receiving tank 16. Generally, grains have a larger specific gravity than cutting chips. Therefore, when the waste slurry is centrifuged with a small centrifugal force, the grains mainly having a large specific gravity are separated. Then, by centrifuging with a large centrifugal force, the cutting debris is mainly separated. As a result, it is possible to divide the abrasive grains and cutting chips having different specific gravity into two stages and separate them into one centrifuge (2).

원심분리기(2)의 아래쪽에 배출구(12)가 구비되어 있다. 배출구(12)는, 원심분리된 지립 또는 절삭 부스러기를 낙하시켜 배출한다. 이 배출구(12)에, 분기 슈트(8)의 입구측이 접속되어 있다. 분기 슈트(8)의 출구측은, 지립(1차 분리물)이 이송되는 제1 경로(8a)와, 절삭 부스러기(2차 분리물)가 이송되는 제2 경로(8b)로 도중에서 분기되어 있다. 전환수단(9)을 사용하여, 배출구(12)에 대한 분기 슈트(8)의 입구측 개구 위치를 변경한다. 이 위치를 변경함으로써, 지립을 제1 경로(8a)로, 절삭 부스러기를 제2 경로(8b)로 각각 통과시키는 것이 가능하다. 지립을 회수하기 위한 제1 회수조(3)는, 제1 경로(8a)와 접속되어 있다. 절삭 부스러기를 회수하기 위한 제2 회수조(4)는, 제2 경로(8b)와 접속되어 있다. 따라서, 배출구(12)로부터 배출된 지립 또는 절삭 부스러기는, 각각 제1 경로(8a) 또는 제2 경로(8b)를 통과해 제1 회수조(3) 또는 제2 회수조(4)로 회수된다.And a discharge port 12 is provided below the centrifugal separator 2. The discharge port 12 discharges centrifugal abrasive grains or cutting debris and discharges them. And the outlet side of the branch chute 8 is connected to the outlet 12. The outlet side of the branch chute 8 is branched in the middle into a first path 8a through which abrasive grains (primary separated material) are transferred and a second path 8b through which a cutting debris (secondary separated material) is transferred . The switching means 9 is used to change the opening side opening position of the branch chute 8 with respect to the discharge port 12. [ By changing this position, it is possible to pass the abrasive grains to the first path 8a and the cutting debris to the second path 8b, respectively. The first recovery tank 3 for recovering abrasive grains is connected to the first path 8a. The second recovery tank 4 for recovering cutting debris is connected to the second path 8b. The abrasive grains or cutting debris discharged from the discharge port 12 are respectively recovered in the first recovery vessel 3 or the second recovery vessel 4 through the first path 8a or the second path 8b .

분산매를 회수하기 위한 제3 회수조(5) 및 혼합액을 회수하기 위한 제4 회수조(6)는, 삼방밸브(14)를 매개로 원심분리기(2)의 배수구(13)와 접속되어 있다. 삼방밸브(14)는, 자동식 전환 밸브이다(이하의 삼방밸브(19, 22, 23, 26, 29, 30, 32, 37)도 모두 동일). 배액구(13)는, 원심분리기(2)의 아래쪽에 구비되어 있다. 1차 분리로 지립을 원심분리할 때, 절삭 부스러기와 분산매로 되는 혼합액은, 배액구(13)로부터 삼방밸브(14)를 통과해 제4 회수조(6)로 회수된다. 혼합액은, 2차 분리를 위해 재차 원심분리기(2)에 투입되어, 절삭 부스러기가 원심분리된다. 그 다음, 분산매는 배액구(13)로부터 삼방밸브(14)를 통과해 제3 회수조(5)로 회수된다. 분산매에 절삭 부스러기가 남아 회수된 경우에는, 펌프(36)를 구동하여, 제3 회수조(5) 중의 오일을 삼방밸브(19), 분기관(21), 삼방밸브(22), 펌프(36), 삼방밸브(37), 분기관(38), 밸브(41)의 순서로 통과시켜 제4 회수조(6)로 되돌리고, 재차 2차 분리를 행한다. 한편, 1차 분리만 실시하고, 2차 분리를 하지 않을 때 등, 혼합액을 폐기하고자 할 때는, 펌프(51)를 작동시켜 혼합액 폐기조(52)에 혼합액을 이송한다.The third recovery tank 5 for recovering the dispersion medium and the fourth recovery tank 6 for recovering the mixed liquid are connected to the drain port 13 of the centrifugal separator 2 via the three-way valve 14. The three-way valve 14 is an automatic switching valve (all three-way valves 19, 22, 23, 26, 29, 30, 32 and 37 are also the same). The liquid drainage port 13 is provided below the centrifugal separator 2. When centrifuging the abrasive grains in the primary separation furnace, the mixture liquid serving as the cutting debris and the dispersion medium is recovered to the fourth recovery tank 6 through the three-way valve 14 from the liquid discharge port 13. The mixed solution is put into the centrifugal separator 2 again for secondary separation, and the chips are centrifuged. Then, the dispersion medium is recovered to the third recovery tank 5 through the three-way valve 14 from the liquid discharge port 13. The pump 36 is driven so that the oil in the third collecting tank 5 is supplied to the three-way valve 19, the branch pipe 21, the three-way valve 22, the pump 36 The three-way valve 37, the branch pipe 38 and the valve 41 in this order to return to the fourth recovery tank 6, and secondary separation is performed again. On the other hand, when only the primary separation is performed and the secondary separation is not performed or the like is desired to be discarded, the pump 51 is operated to transfer the mixed liquor to the mixed liquor waste tank 52.

재생 슬러리를 조합하기 위한 조합조(7)는, 제1 회수조(3) 및 제3 회수조(5)와 접속되어 있다. 제1 회수조(3)에는, 사전에 새로운 분산매가 수용되어 있다. 제1 회수조(3)로 회수된 지립은, 펌프(15)를 매개로 새로운 분산매와 함께 조합조(7)로 보내진다. 이와 같은 재생 지립뿐 아니라, 새 지립 수용조(미도시)로부터도, 조합조(7)로 새 지립(S)은 보내진다.The combination tank 7 for combining the regeneration slurry is connected to the first collection tank 3 and the third collection tank 5. In the first collection tank 3, a new dispersion medium is stored in advance. The abrasive grains recovered in the first recovery tank 3 are sent to the combination tank 7 together with the new dispersion medium via the pump 15. Not only such regenerated abrasive grains but also new abrasive grains S are sent from the new abrasive grains (not shown) to the combination tank 7.

제3 회수조(5)로부터 분산매가 조합조(7)로 보내지는 경우, 이하의 유로를 통과한다. 펌프(20)가 구동됨으로써, 제3 회수조(5)로부터, 삼방밸브(19), 분기관(21), 삼방밸브(22), 삼방밸브(23), 펌프(20), 댐퍼(24), 질량유량계(25), 삼방밸브(26) 순으로 통과하여, 조합조(7)로 보내진다. 분기관(21)에는 유체 센서(27)가 구비되어 있다. 이 유체 센서(27)는, 분산매가 흐르고 있는 것을 검지한다.When the dispersion medium is sent from the third water tank 5 to the combination tank 7, it passes through the following flow path. The three-way valve 22, the three-way valve 23, the pump 20, the damper 24, the three-way valve 19, the branch pipe 21, The mass flow meter 25 and the three-way valve 26 in this order, and is sent to the combination tank 7. The branch pipe (21) is provided with a fluid sensor (27). The fluid sensor 27 detects that a dispersion medium is flowing.

새 분산매조(28a, 28b)에는 새 분산매가 수용되어 있다. 조합조(7)로 새로운 분산매를 보낼 때는, 펌프(20)를 구동하여, 삼방밸브(30)를 통과시켜, 삼방밸브(19)로 보낸다. 그 다음은, 제3 회수조(5)로부터 조합조(7)로의 유로와 동일하다. 이와 같이, 조합조(7)로 재생 지립, 재생 분산매, 경우에 따라서는 새 지립, 새 분산매가 보내지고, 이것이 조합조(7)에서 교반됨으로써, 와이어 쏘 장치에서 사용되는 절삭용 슬러리로서 재생된다. 교반은, 모터(18)의 구동과 함께 회전하는 교반 부재(17)를 사용하여 행해지고 있다. 이때의 재생 슬러리의 용량은, 초음파 센서(31)로 감시되고 있다. 센서(31)는, 재생 슬러리의 액면 레벨을 검지한다. 조합조(7)의 크기는 사전에 알고 있기 때문에, 액면 레벨을 검지함으로써, 재생 슬러리의 용량을 산출 가능하다. 또한, 제1 회수조(3), 제3 회수조(5), 제4 회수조(6), 수용조(16)에도, 동일한 교반 부재(17), 모터(18), 및 초음파 센서(31)가 구비되어 있다. 또한, 제2 회수조(4)에는, 초음파 센서(31)가 구비되어 있다.A new dispersion medium is accommodated in the new dispersion mediums 28a, 28b. When the new dispersion medium is sent to the combination tank 7, the pump 20 is driven to pass through the three-way valve 30 and sent to the three-way valve 19. [ The next is the same as the flow path from the third tank 5 to the combination tank 7. As described above, regenerated abrasive grains, regenerated dispersion media and, in some cases, new abrasive grains and new dispersion media are sent to the combination tank 7, and this is stirred in the combination tank 7 to be regenerated as a slurry for use in a wire saw . Stirring is performed by using a stirring member 17 that rotates together with the driving of the motor 18. [ The capacity of the regenerated slurry at this time is monitored by the ultrasonic sensor 31. [ The sensor 31 detects the liquid level of the regeneration slurry. Since the size of the combination tank 7 is known in advance, the capacity of the regenerated slurry can be calculated by detecting the liquid level. The same stirring member 17, the motor 18 and the ultrasonic sensor 31 (not shown) are also provided in the first collecting tank 3, the third collecting tank 5, the fourth collecting tank 6, . In the second recovery tank 4, an ultrasonic sensor 31 is provided.

수용조(16)는, 삼방밸브(32), 가변 제어식 정량 공급수단(33), 질량유량계(34)를 매개로 원심분리기(2)와 접속된다. 공급수단(33)은, 예를 들면 맥동 방지하는 기능을 탑재한 에어 구동 및 전기 구동식의 펌프이다. 공급수단(33) 및 질량유량계(34)는, PID 제어부(35)와 PLC 등을 사용하여 유선으로 접속되어 있다. 폐슬러리는, 공급수단(33)을 사용하여, 무맥동이며 정량으로 보내진다. 이 실제 유량값은, 질량유량계(34)로 계측되고 있다. 이 실제 유량값은, PID 제어부(35)에서 설정 유량값과 비교되고 있다. PID 제어부(35)에 있어서, 실제 유량값이 설정 유량값이 되도록, 공급수단(33)이 제어된다. 이 때문에, 폐슬러리의 실제 유량값이 피드백되어 설정 유량값에 근접하도록 공급수단(33)이 PID 제어되게 되어, 확실하게 폐슬러리를 일정 유량으로 원심분리기(2)에 투입하는 것이 가능하다. 이 때문에, 사람 손에 의한 유량 조정이 불필요해지고, 유량의 일정화를 자동적으로 행하는 것이 가능하여, 작업성이 향상된다. 또한, 삼방밸브(32)에는 혼합액을 회수하기 위한 제4 회수조(6)도 접속되어, 혼합액도 동일한 유량 제어로 원심분리기(2)로 보내진다. 따라서, 폐슬러리와 혼합액의 유량 제어를 동일한 PID 제어부(35)에서 행하는 것이 가능하기 때문에, 부품점수를 감수할 수 있어, 비용적으로도 효율이 좋다.The receiving tank 16 is connected to the centrifugal separator 2 via a three-way valve 32, a variable controlled constant amount feeding means 33 and a mass flow meter 34. The supplying means 33 is, for example, an air driven and electric driven type pump equipped with a function of preventing pulsation. The supply means 33 and the mass flow meter 34 are connected by wire to the PID control unit 35 using a PLC or the like. The waste slurry is sent pulsatingly and quantitatively using the supply means (33). This actual flow rate value is measured by the mass flow meter 34. [ The actual flow rate value is compared with the set flow rate value in the PID control section 35. [ In the PID controller 35, the supply means 33 is controlled so that the actual flow rate value becomes the set flow rate value. Therefore, the actual flow rate value of the waste slurry is fed back so that the supply means 33 is PID-controlled so as to approach the set flow rate value, and it is possible to surely feed the waste slurry into the centrifugal separator 2 at a constant flow rate. Therefore, it is unnecessary to adjust the flow rate by a human hand, and the flow rate can be automatically made constant, thereby improving workability. Further, the third recovery valve (6) for recovering the mixed liquid is also connected to the three-way valve (32), and the mixed liquid is also sent to the centrifugal separator (2) by the same flow rate control. Therefore, since the flow rate of the waste slurry and the mixed liquid can be controlled by the same PID control unit 35, the number of parts can be reduced, and the efficiency is also good in terms of cost.

또한, 이 PID 제어는, 터치패널, PLC에 의한 자동 제어 방식으로 하여, 조작성을 향상시키는 것이 가능하다. 터치패널, PLC를 사용하여, 지립만의 회수나 분산매만의 회수 등, 분리 모드를 선택 가능하도록 해도 된다. 즉, 후술하는 바와 같이, 1차 분리물과 2차 분리물을 분리하는, 이른바 2단 분리 모드나, 단순히 지립(1차 분리물)만을 회수하는 경우와 같은, 이른바 1단 분리 지립 회수 모드나, 오일만을 회수하는, 이른바 1단 분리 오일 회수 모드를 선택 가능하도록 해도 된다.In addition, this PID control can be performed by an automatic control system using a touch panel or a PLC, thereby improving operability. The separation mode may be selected using a touch panel or a PLC, for example, only the number of abrasive grains or the number of dispersion media only. Namely, as will be described later, a so-called single-stage separation-particle-withdrawing mode (a so-called two-stage separation mode in which the primary separation and the secondary separation are separated) , It is also possible to select a so-called single-stage separate oil recovery mode in which only oil is recovered.

새 분산매는 장치의 세정에도 사용된다. 세정에 사용하는 경우는, 펌프(36)를 구동시켜, 삼방밸브(22)로부터 삼방밸브(37)로 새 분산매를 보내고, 분기관(38)으로부터 밸브(41)를 통과하여, 제4 회수조(6) 내를 세정한다. 이와 같은 새 분산매의 공급은, 혼합액 중의 분산매의 양을 늘리고자 할 때도 이용된다. 또한, 분기관(39)으로부터 밸브(42)를 통과시키면, 원심분리기(2) 내를 세정 가능하다. 또한, 분기관(40)으로부터 밸브(43)를 통과시키면, 배출구(12)를 세정 가능한 동시에, 분기 슈트(8)도 세정 가능하다. 특히 이 배출구(12), 분기 슈트(8)는 지립이 달라붙기 때문에, 분리 중에는 정기적으로 세정되고 있다. 또한, 절삭 부스러기는 상당히 점도가 높아, 원심분리기(2) 내나 분기 슈트(8)(제2 경로(8b)) 내에 남기 때문에, 분산매로의 세정이 불가결하다. 분산매를 밸브(44)로 통과시키면, 수용조(16)를 세정 가능하다. 이는, 폐슬러리 중의 분산매의 양을 늘리고자 할 때도 이용 가능하다. 세정용의 새 분산매가 불필요해지면, 삼방밸브(37)로부터 삼방밸브(29)로 새 분산매를 유통시켜, 새 분산매조(28a 또는 28b)로 되돌린다. 또한, 상기 세정에는, 원심분리기(2)로 폐슬러리로부터 회수한 재생 분산매를 사용해도 된다.The new dispersion medium is also used to clean the device. The pump 36 is driven so that a new dispersion medium is sent from the three-way valve 22 to the three-way valve 37. The mixture is sent from the branch pipe 38 through the valve 41, (6). The supply of such a new dispersion medium is also used to increase the amount of the dispersion medium in the mixed liquid. Further, when the valve 42 is passed through the branch pipe 39, the inside of the centrifugal separator 2 can be cleaned. When the valve 43 is passed through the branch pipe 40, the discharge port 12 can be cleaned and the branch chute 8 can be cleaned. Particularly, since the discharge port 12 and the branch chute 8 are adhered to each other, they are regularly cleaned during the separation. Further, since the cutting debris is highly viscous and remains in the centrifugal separator 2 or the branch chute 8 (second path 8b), cleaning with the dispersion medium is indispensable. When the dispersion medium is passed through the valve 44, the receiving tank 16 can be cleaned. This is also available when attempting to increase the amount of dispersion medium in the waste slurry. When a new dispersion medium for cleaning becomes unnecessary, a new dispersion medium is flown from the three-way valve 37 to the three-way valve 29 and returned to the new dispersion medium 28a or 28b. For the cleaning, a regenerated dispersion medium recovered from the spent slurry by the centrifugal separator (2) may be used.

도 2는 본 발명의 슬러리 재생 장치에 사용되는 원심분리기의 개략 평면도이고, 도 3은 개략 측면도이다.Fig. 2 is a schematic plan view of a centrifugal separator used in the slurry reclaiming apparatus of the present invention, and Fig. 3 is a schematic side view.

전술한 바와 같이, 원심분리기(2)에는, 제1 모터(10) 및 제2 모터(11)가 구비되어 있다. 45는, 폐슬러리가 원심분리기(2) 내로 유입하는 유입구이다. 원심분리기(2)의 아래쪽에는, 전술한 바와 같이, 배출구(12), 배액구(13)가 구비되어 있다. 46a, 46b는, 새 분산매 또는 재생 분산매를 유입시켜 원심분리기(2) 내를 세정하기 위한 유입구이다. 47은, 새 분산매 또는 재생 분산매를 유입시켜 배출구(12)를 세정하기 위한 유입구이다.As described above, the centrifugal separator 2 is provided with the first motor 10 and the second motor 11. 45 is an inlet through which the waste slurry flows into the centrifugal separator 2. Below the centrifugal separator 2, there is provided an outlet 12 and a drain port 13 as described above. 46a and 46b are the inlets for introducing a new dispersion medium or a recycling dispersion medium to clean the inside of the centrifuge 2. 47 is an inlet for introducing a new dispersion medium or a regenerating dispersion medium to clean the outlet 12.

도 4는 본 발명의 슬러리 재생 장치에 사용되는 분기 슈트와 전환수단의 관계를 나타낸 개략도이다.4 is a schematic view showing the relationship between the branch suits and the switching means used in the slurry recycling apparatus of the present invention.

분기 슈트(8)는, 4개의 롤러(48)를 구비한 프레임체(49)에 둘러싸여 배설(配設)되어 있다. 프레임체(49)에 전환수단(9)이 접속되어 있다. 전환수단(9)은 실린더로서, 축방향(화살표 R방향)으로 이동 가능하다. 전환수단(9)의 이동에 수반하여, 롤러(48)가 레일(50) 위를 이동하고, 분기 슈트(8)도 프레임체(49)에 눌려 화살표 R방향으로 이동한다. 분기 슈트(8)의 위쪽에 위치하는 원심분리기(2)의 배출구(12)(도 1, 도 3 참조)로부터 낙하되어 오는 분리물에 따라서, 분기 슈트(8)의 입구측을 제1 경로(8a) 또는 제2 경로(8b)로 전환한다. 분기 슈트(8)를 프레임체(49)로 둘러쌈으로써, 분기 슈트(8)만의 수리나 교환을 독립적으로 용이하게 행하는 것이 가능하여, 메인터넌스성이 향상된다.The branch chute 8 is arranged (disposed) surrounded by a frame body 49 having four rollers 48. [ And the switching means 9 is connected to the frame body 49. Fig. The switching means 9 is a cylinder and is movable in the axial direction (the direction of the arrow R). The roller 48 moves on the rail 50 with the movement of the switching means 9 and the branch chute 8 is also pressed by the frame body 49 and moves in the direction of the arrow R. 1 and 3) of the centrifugal separator 2 located at the upper side of the branch chute 8 so that the inlet side of the branch chute 8 is connected to the first path 8a or the second path 8b. By enclosing the branch chute 8 with the frame body 49, it is possible to independently perform repair or replacement of only the branch chute 8, thereby improving the maintenance property.

도 5는 분기 슈트의 개략도이다.5 is a schematic view of a branch chute.

도시한 바와 같이, 분기 슈트(8)는, 출구측이 제1 경로(8a)와 제2 경로(8b)로 나누어져 있다. 절삭 부스러기는 덩어리 형상이기 때문에, 낙하시켜 회수 가능하도록, 제2 경로(8b)는 배출구(12)로부터 연직방향으로 형성되어 있다. 한편, 지립은 약간 분산매가 섞여 회수되기 때문에, 다소 각도가 있어도 흐르기 때문에, 제1 경로(8a)는 비스듬하게 형성되어 있다. 그 각도 θ는, 0°~45° 정도이다. 또한, 제1 경로(8a) 및 제2 경로(8b)의 내면은, 내측에 지립이나 절삭 부스러기가 부착되지 않도록, 경면 마무리되어 있다.As shown in the drawing, the branch chute 8 has an outlet side divided into a first path 8a and a second path 8b. Since the cutting debris is in a lump shape, the second path 8b is formed in a vertical direction from the discharge port 12 so that it can be dropped and recovered. On the other hand, since the abrasive grains are mixed with a small amount of the dispersion medium and are recovered, the first path 8a is formed obliquely because it flows even at a slight angle. The angle &thetas; is about 0 DEG to 45 DEG. The inner surfaces of the first path 8a and the second path 8b are mirror-finished so that no abrasive grains or cutting debris are adhered to the inner surface.

도 6은 본 발명의 슬러리 재생 방법의 플로차트이다.6 is a flow chart of the slurry regeneration method of the present invention.

스텝 S1:Step S1:

와이어 쏘 장치에서 사용 후의 폐슬러리를 수용조에 수용한다.In the wire saw apparatus, the used waste slurry is received in a receiving tank.

스텝 S2:Step S2:

폐슬러리를 원심분리기에 투입하고 1차 분리를 행한다. 이 1차 분리로, 폐슬러리 중의 지립(1차 분리물)만을 분리한다. 이 1차 분리는, 1500 G 미만의 저 G로 원심분리된다. 원심분리기로의 투입은, 가변 제어식 정량 공급수단(33)(도 1 참조)에 의해 무맥동이며 정량으로 행해진다. 그 유량은 질량유량계에 의해 관리되고, 실제 유량값이 피드백되어 설정 유량값에 근접하도록 PID 제어부(35)(도 1 참조)에서 제어된다. 1차 분리 중, 적시에 새 분산매 등으로 원심분리기 내나 분기 슈트(제1 경로) 내가 세정된다. 분리된 지립은, 제1 회수조(3)(도 1 참조)로 회수된다. 지립 분리 후의 혼합액은, 제4 회수조(6)(도 1 참조)로 회수된다. 수용조의 속이 빈 경우는, 분산매로 수용조 내를 세정하고, 이 분산매를 재차 1차 분리한다. 이것에 의해, 수용조 내에 남은 지립이나 절삭 부스러기를 제거하고, 회수하는 것이 가능하다.The waste slurry is put into a centrifuge and subjected to primary separation. With this primary separation, only the abrasive grains (primary separator) in the waste slurry are separated. This primary separation is centrifuged at a low G of less than 1500 G. The introduction into the centrifugal separator is performed pulsatingly and quantitatively by the variable control quantity feed means 33 (see Fig. 1). The flow rate is controlled by the mass flow meter, and the actual flow rate value is fed back and controlled by the PID control section 35 (see Fig. 1) so as to approach the set flow rate value. During the primary separation, a new dispersion medium or the like is used to clean the centrifuge or the branch chute (first path) in a timely manner. The separated abrasive grains are recovered in the first recovery tank 3 (see Fig. 1). The mixed liquid after the abrasive grains are separated is collected in the fourth recovery tank 6 (see FIG. 1). If the receptacle is empty, the inside of the receptacle is washed with the dispersion medium, and the dispersion medium is firstly separated again. Thereby, it is possible to remove the abrasive grains and cutting debris remaining in the receiving tank and to recover them.

스텝 S3:Step S3:

스텝 S2에서 회수한 혼합액을 스텝 S2에서 사용한 원심분리기에 재차 투입하고, 2차 분리를 행한다. 이 2차 분리로, 혼합액을 절삭 부스러기(2차 분리물)와 분산매로 분리한다. 이 2차 분리는, 1500 G 이상의 고 G로 원심분리된다. 혼합액의 원심분리기로의 투입 제어는, 스텝 S2에서 나타낸 폐슬러리의 유량 제어와 동일하다. 2차 분리 중, 적시에 새 분산매 등으로 원심분리기 내나 분기 슈트(제2 경로) 내가 세정된다. 분리된 절삭 부스러기는, 제2 회수조(4)(도 1 참조)로 회수된다. 분산매는, 제3 회수조(5)(도 1 참조)로 회수된다. 제4 회수조의 속이 빈 경우는, 분산매로 수용조 내를 세정하고, 이 분산매를 재차 2차 분리한다. 이것에 의해서, 제4 회수조 내에 남은 절삭 부스러기를 제거하고, 회수하는 것이 가능하다. 그 다음, 제3 회수조 내의 비중을 계측하여, 2차 분리에 있어서의 분산매의 회수를 확인한다.The mixed solution recovered in step S2 is put into the centrifugal separator used in step S2 again, and secondary separation is performed. With this secondary separation, the mixed liquid is separated into a cutting debris (secondary separation product) and a dispersion medium. This secondary separation is centrifuged at a high G of 1500 G or more. The control of the mixing of the mixed liquid into the centrifugal separator is the same as the flow rate control of the waste slurry shown in step S2. During the secondary separation, a new dispersion medium or the like is used to clean the centrifuge or the branch chute (second path) in a timely manner. The separated cutting debris is recovered by the second recovery tank 4 (see Fig. 1). The dispersion medium is recovered in the third recovery tank 5 (see Fig. 1). When the fourth tank is empty, the inside of the tank is washed with the dispersion medium, and the dispersion medium is secondarily separated again. With this, it is possible to remove and recover the cutting debris remaining in the fourth water tank. Then, the specific gravity in the third tank is measured to confirm the recovery of the dispersion medium in the secondary separation.

스텝 S4:Step S4:

1차 분리로 회수한 지립, 2차 분리로 회수한 분산매, 추가로 필요에 따라 새 지립 및 새 분산매(새 오일)를 첨가하여 재생 슬러리를 조합한다. 이 새 지립이나 새 오일 등의 투입방법은, 예를 들면, (i) 새 지립 및 새 오일을 자동으로 투입하거나, (ii) 새 지립을 수동으로, 새 오일을 자동으로 투입하거나, (iii) 새 오일만을 자동으로 투입하거나, (iv) 새 지립과 새 오일로 사전에 형성된 새 슬러리 및 새 오일을 자동으로 투입하는 방법이 있다.The reclaimed slurry recovered by the primary separation, the dispersion medium recovered by the secondary separation, and the fresh slurry and the new dispersion medium (new oil) are added as necessary, and the regenerated slurry is combined. The method of introducing the new abrasive grain or the new oil can be, for example, (i) automatic introduction of fresh abrasive grain and new oil, (ii) manual feeding of new abrasive grain, Or (iv) a new slurry and pre-formed new oil from new abrasive grains and new oil are automatically introduced.

먼저 제1 회수조로부터의 재생 지립을 조합조로 이송한다. 이 이송은, 제1 회수조를 분산매로 세정하면서, 모든 지립이 이송되도록 행해진다. 지립의 이송이 끝나면, 조합조 내의 비중을 계측하여, 1차 분리에 있어서의 지립 회수율을 판정한다. 이 판정은, 스텝 S2의 종료 후에 행해도 된다. 재생 슬러리는, 목표로 하는 체적과 비중이 설정되어 있다. 이 설정값이 되도록, 회수 지립으로 부족한 분량이 새 지립으로 보충된다. 이것에 맞춰 분산매도 공급된다. 목표 비중이 되면, 재생 슬러리로서 재차 와이어 쏘 장치에 사용한다.First, the reclaimed grain from the first tank is transferred to the combination tank. This transfer is performed so that all of the abrasive grains are transferred while the first recovery tank is cleaned with the dispersion medium. When the transfer of the abrasive grains is completed, the specific gravity in the combination vessel is measured to determine the abrasive recovery rate in the primary separation. This determination may be made after the end of step S2. The target volume and specific gravity are set for the regeneration slurry. In order to obtain this set value, the amount of deficient abatement is replenished with new abrasive grain. And a dispersion sheet is supplied in accordance with this. When the target weight is reached, it is used again in the wire saw apparatus as the regenerated slurry.

이상에 의하면, 제1 모터 및 제2 모터를 사용하여, 저 G와 고 G의 상이한 원심력을 발생시켜, 1차 분리와 2차 분리를 행하는 것이 가능하다. 이 때문에, 1대의 원심분리기만으로 비중이 상이한 지립(1차 분리물) 및 절삭 부스러기(2차 분리물)를 확실하게 분리하여 회수하는 것이 가능하다. 따라서, 분리 시에는, 1대분의 원심분리기를 설치 가능한 공간을 확보할 수 있으면 되기 때문에, 공간적으로 효율이 좋다.According to the above, it is possible to perform primary separation and secondary separation by generating centrifugal forces different from low G and high G using the first motor and the second motor. For this reason, it is possible to surely separate and recover the abrasive grains (primary separated material) and the cutting debris (secondary separated material) having different specific gravities with only one centrifugal separator. Therefore, at the time of separation, it is only necessary to secure a space in which one centrifuge can be installed, so that the efficiency is good in terms of space.

전술한 스텝 S1~스텝 S4는, 1차 분리물과 2차 분리물을 분리하는, 이른바 2단 분리 모드를 행하는 경우의 공정이다. 이에 대해서, 단순히 지립(1차 분리물)만을 회수하는 경우와 같은, 이른바 1단 분리 지립 회수 모드의 경우는, 상기 스텝 S3를 제외한 S1, S2, S4의 순서로 행한다. 추가로, 오일만을 회수하는, 이른바 1단 분리 오일 회수 모드의 경우는, 스텝 S3만으로 실현 가능하다.The above-described steps S1 to S4 are the steps in the case of performing the so-called two-step separation mode in which the primary separation and the secondary separation are separated. On the other hand, in the case of the so-called one-step disengaged abrasive recovery mode, such as in the case of merely recovering abrasive grains (primary separated material), steps S1, S2 and S4 are performed except for step S3. Further, in the case of the so-called one-stage separated oil recovery mode in which only the oil is recovered, it is possible to realize this by only the step S3.

1 슬러리 재생 장치
2 원심분리기
3 제1 회수조
4 제2 회수조
5 제3 회수조
6 제4 회수조
7 조합조
8 분기 슈트
8a 제1 경로
8b 제2 경로
9 전환수단
10 제1 모터
11 제2 모터
12 배출구
13 배액구
14 삼방밸브
15 펌프
16 수용조
17 교반 부재
18 모터
19 삼방밸브
20 펌프
21 분기관
22 삼방밸브
23 삼방밸브
24 댐퍼
25 질량유량계
26 삼방밸브
27 유체 센서
28a 새 분산매조
28b 새 분산매조
29 삼방밸브
30 삼방밸브
31 초음파 센서
32 삼방밸브
33 가변 제어식 정량 공급수단
34 질량유량계
35 PID 제어부
36 펌프
37 삼방밸브
38 분기관
39 분기관
40 분기관
41 밸브
42 밸브
43 밸브
44 밸브
45 유입구
46a 유입구
46b 유입구
47 유입구
48 롤러
49 프레임체
50 레일
51 펌프
52 혼합액 폐기조1 slurry regenerator
2 centrifuge
3 1st water tank
4 Second water tank
5 Third water tank
6 4th water tank
7 combinations
8th quarter suit
8a First path
8b Second path
9 conversion means
10 First motor
11 Second motor
12 outlet
13 drainage well
14 Three-way valve
15 Pump
16 receptacle
17 stirring member
18 Motor
19 Three-way valve
20 Pump
21 minute agency
22 Three-way valve
23 Three-way valve
24 damper
25 mass flowmeter
26 three-way valve
27 Fluid sensors
28a new dispersion scheme
28b The new dispersion scheme
29 Three-way valve
30 Three-way valve
31 Ultrasonic sensor
32 Three-way valve
33 Variable Controlled Quantitative Feeding Means
34 mass flowmeter
35 PID control section
36 Pump
37 Three-way valve
38 minutes agency
39 minutes Agency
40 minutes agency
41 valve
42 valve
43 valve
44 valves
45 Inlet
46a inlet
46b inlet
47 Inlet
48 Rollers
49 frame body
50 rails
51 Pump
52 Mixture liquid waste tank

Claims (6)

분산매 중에 상기 분산매로부터 분리되어야 하는 서로 비중이 상이한 1차 분리물 및 2차 분리물의 한쪽 이상을 포함하는 폐슬러리가 투입되어, 상기 폐슬러리로부터 상기 1차 분리물 또는 상기 2차 분리물을 분리 가능한 원심분리기와,
상기 원심분리기에 설치되어, 상기 원심분리기로부터 분리 후의 상기 1차 분리물 또는 상기 2차 분리물을 배출하는 배출구와,
그 배출구에 상기 1차 분리물을 이송하기 위한 제1 경로를 매개로 연통(連通) 가능한 상기 1차 분리물을 회수하기 위한 제1 회수조와,
상기 배출구에 상기 2차 분리물을 이송하기 위한 제2 경로를 매개로 연통 가능한 상기 2차 분리물을 회수하기 위한 제2 회수조와,
상기 원심분리기에 설치되어, 상기 원심분리기로부터 상기 폐슬러리를 분리한 후의 상기 분산매 또는 그 분산매와 상기 2차 분리물의 혼합액을 배액(排液)하는 배액구와,
그 배액구에 대해서 선택적으로 연통 가능한 상기 분산매를 회수하기 위한 제3 회수조 및 상기 혼합액을 회수하기 위한 제4 회수조와,
상기 1차 분리물과 상기 분산매를 혼합하여 재생 슬러리를 생성하기 위한 조합조(調合槽)와,
상기 배출구에 대해서, 상기 제1 경로와 상기 제2 경로 중 어느 하나를 접속시키는 전환수단을 구비한 것을 특징으로 하는 슬러리 재생 장치.A waste slurry containing at least one of a primary separation product and a secondary separation product having different specific gravity from each other which should be separated from the dispersion medium in the dispersion medium is charged to separate the primary separation product or the secondary separation product from the waste slurry A centrifuge,
A discharge port provided in the centrifugal separator for discharging the primary product or the secondary product after separation from the centrifugal separator,
A first recovery vessel for recovering the primary separation capable of communicating with the outlet through a first path for transferring the primary separation,
A second recovery vessel for recovering the second separated material that can communicate with the outlet through a second path for transferring the secondary separated material,
A drain port provided in the centrifugal separator for separating the mixed slurry of the dispersion medium or the dispersion medium and the secondary slurry after the waste slurry is separated from the centrifugal separator,
A third recovery tank for recovering the dispersion medium selectively communicable with the drainage port, a fourth recovery tank for recovering the mixed solution,
A combination tank (mixing tank) for mixing the primary separation product and the dispersion medium to produce a regenerated slurry,
And switching means for connecting any one of said first path and said second path to said discharge port. 제1항에 있어서,
상기 폐슬러리를 수용하기 위한 수용조와 상기 원심분리기 사이, 및 상기 제4 회수조와 상기 원심분리기 사이에 각각 설치되어, 상기 폐슬러리 또는 상기 혼합액의 유량을 조정하는 가변 제어식 정량(定量) 공급수단과, 그 가변 제어식 정량 공급수단과 상기 원심분리기 사이에 설치된 질량유량계와, 상기 질량유량계의 계측 결과를 토대로, 상기 폐슬러리 또는 상기 혼합액의 유량을 일정하게 하기 위해 상기 가변 제어식 정량 공급수단의 작동을 제어하는 PID 제어부를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 슬러리 재생 장치.The method according to claim 1,
Variable control type quantitative supply means provided between the receiving tank and the centrifugal separator for receiving the waste slurry and between the fourth collecting tank and the centrifugal separator to adjust the flow rate of the waste slurry or the mixed liquid, A mass flow meter provided between the variable control type constant quantity supply means and the centrifugal separator and a control means for controlling the operation of the variable control quantity supply means so as to make the flow rate of the waste slurry or the mixed liquid constant, based on the measurement result of the mass flow meter And a PID control unit. 제1항에 있어서,
상기 수용조와 상기 제4 회수조, 및 상기 원심분리기는, 삼방밸브를 매개로 접속되며, 상기 가변 제어식 정량 공급수단 및 상기 질량유량계는, 상기 삼방밸브와 상기 원심분리기 사이에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 슬러리 재생 장치.The method according to claim 1,
Wherein the receiving tank, the fourth collecting tank and the centrifugal separator are connected via a three-way valve, and the variable control quantity supplying means and the mass flow meter are disposed between the three-way valve and the centrifugal separator And 제1항에 있어서,
상기 폐슬러리는, 와이어에 피가공물을 내리눌러 절단가공하는 와이어 쏘 장치에서 사용한 슬러리이고, 상기 1차 분리물은 상기 슬러리에 혼입하는 지립(砥粒)이며, 상기 2차 분리물은 상기 피가공물의 절삭 부스러기(切削屑)인 것을 특징으로 하는 슬러리 재생 장치. The method according to claim 1,
Wherein the waste slurry is a slurry used in a wire saw apparatus for cutting a workpiece into a wire by cutting it down, the primary separation being abrasive grains to be mixed with the slurry, Is a cutting debris of the slurry. 제1항에 기재된 슬러리 재생 장치를 사용한 슬러리 재생 방법으로서,
상기 원심분리기에 상기 폐슬러리를 투입하고,
상기 원심분리기를 소정의 원심력(저 G)으로 구동하여, 상기 1차 분리물을 상기 폐슬러리로부터 원심분리하고,
그 원심분리한 1차 분리물을 상기 제1 회수조로 회수하고,
상기 혼합액을 상기 제4 회수조로 회수하고,
그 제4 회수조로부터 상기 혼합액을 상기 원심분리기에 투입하고,
상기 원심분리기를 상기 소정의 원심력보다 높은 원심력(고 G)으로 구동하여 상기 2차 분리물을 상기 혼합액으로부터 원심분리하고,
그 원심분리한 2차 분리물을 상기 제2 회수조로 회수하고,
상기 분산매를 상기 제3 회수조로 회수하고,
상기 조합조에, 상기 제1 회수조로 회수된 상기 1차 분리물과, 상기 제3 회수조로 회수된 상기 분산매와, 새로운 1차 분리물 및 새로운 분산매를 투입하여, 재생 슬러리를 생성하는 것을 특징으로 하는 재생 방법.A slurry regeneration method using the slurry regeneration apparatus according to claim 1,
The waste slurry is introduced into the centrifugal separator,
The centrifugal separator is driven to a predetermined centrifugal force (low G) to centrifugally separate the primary separated material from the waste slurry,
The centrifugally separated primary separation product is recovered into the first recovery tank,
The mixed liquid is recovered in the fourth recovery tank,
The mixed liquid is introduced into the centrifugal separator from the fourth water tank,
The centrifugal separator is driven by centrifugal force (high G) higher than the predetermined centrifugal force to centrifugally separate the secondary separator from the mixed liquid,
Centrifugally separating the second separated product into the second recovery tank,
The dispersion medium is recovered in the third recovery tank,
And a regeneration slurry is produced by injecting the primary separation product recovered in the first recovery column, the dispersion medium recovered in the third recovery column, a new primary separation product and a new dispersion product into the combination column, Playback method. 제5항에 있어서,
상기 질량유량계에 의해 상기 폐슬러리 또는 상기 혼합액의 실제 유량값을 계측하고, 상기 PID 제어부에서 상기 실제 유량값과 설정 유량값을 비교하여, 상기 실제 유량값이 상기 설정 유량값이 되도록, 상기 가변 제어식 정량 공급수단을 PID 제어하는 것을 특징으로 하는 슬러리 재생 방법.
6. The method of claim 5,
The actual flow rate value of the waste slurry or the mixed liquid is measured by the mass flowmeter and the actual flow rate value is compared with the set flow rate value by the PID control unit so that the actual flow rate value becomes the set flow rate value, And the fixed amount supply means is subjected to PID control.
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