KR20110105702A

KR20110105702A - 스페이서 입자를 마련한 표시 장치 및 그 제조 방법

Info

Publication number: KR20110105702A
Application number: KR1020110013789A
Authority: KR
Inventors: 하루히코 이시하라
Original assignee: 가부시끼가이샤 도시바
Priority date: 2010-03-19
Filing date: 2011-02-16
Publication date: 2011-09-27
Also published as: CN102193252A; JP5011414B2; JP2011197481A; US20110228203A1; TW201133089A

Abstract

하나의 실시형태에 따르면, 표시 장치의 제조 방법이 제공된다. 스페이서 분산 용액의 액적이, 복수의 전극막을 구비한 기판의 표면에서의 상기 전극막 사이의 영역의 상측의 영역 상에 마련된다. 스페이서 분산 용액은, 적어도, 제1 용매와, 상기 제1 용매보다 비점이 높고 또한 상기 제1 용매보다 표면 장력이 큰 제2 용매의 혼합 용액에, 스페이서 입자(복수형)를 분산시킴으로써 얻어진다. 상기 기판은, 상기 제1 용매의 비점보다도 낮은 온도로 가열된다. 이 가열에 의해, 상기 스페이서 분산 용액 중의 상기 제1 용매가 증발한다. 상기 제1 용매의 증발 후, 상기 기판이, 상기 제1 용매의 비점보다 높고 상기 제2 용매의 비점보다도 낮은 온도로 가열된다. 이 가열에 의해, 상기 스페이서 분산 용액의 상기 제2 용매가 증발하여, 상기 기판 상에 상기 스페이서 입자가 남겨진다.

Description

스페이서 입자를 마련한 표시 장치 및 그 제조 방법{DISPLAY DEVICE PROVIDED WITH SPACER PARTICLES AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME}

(관련 출원의 인용)

본 출원은, 2010년 3월 19일에 출원한 선행하는 일본국 특허 출원 제2010-65221호에 의한 우선권의 이익에 기초를 두고, 또한, 그 이익을 구하고 있으며, 그 내용 전체가 인용에 의해 여기에 포함된다.

여기서 설명하는 실시형태(복수형)는, 전반적으로 스페이서 입자를 기판 상에 배치한 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다.

액정 표시 장치나 FED(전계 방출 표시 장치)와 같은 표시 장치는, 한 쌍의 기판 사이에, 이들 기판의 간격을 전역에 걸쳐 일정하게 유지하기 위한 스페이서 입자를 마련하고 있다. 스페이서 입자의 기판 상에의 배치 방법으로서는, 예컨대 일본 특허 공개 제2007-114312호에 개시된 바와 같은 방법이 알려져 있다.

이 특허 문헌에 개시된 배치 방법을, 도 4a 내지 도 4d를 참조하면서 설명한다. 이 배치 방법은, 액정 표시 장치의 스페이서 입자를 기판 상에 배치하는 방법이다. 도 4a에 도시하는 바와 같이, 스페이서 분산 용액(106)은, 유리의 기판(101) 상에 형성한 배향막(103) 상에 도포된다. 구체적으로는, 스페이서 분산 용액(106)의 액적은, 기판(101) 상에 형성한 투명한 전극막(102)(복수) 사이의 위치의 상측에 도포된다. 스페이서 분산 용액(106)은, 제1 및 제2 용매를 혼합하여 얻어진 혼합 용매(104)에 스페이서 입자(105)를 분산시킴으로써 얻어진다.

그 후, 도 4b에 도시하는 바와 같이, 스페이서 입자(105)를 기판(101) 상에 형성된 배향막(103) 상에 침강시킨다. 또한, 스페이서 분산 용액(106)의 제1 용매를 증발시키면서 스페이서 입자(105)를 응집시켜 간다.

그 후, 도 4c에 도시하는 바와 같이, 제2 용매를 서서히 증발시키면서, 스페이서 입자(105)를 더 응집시켜 간다. 그 결과, 도 4d에 도시하는 바와 같이, 전극막(102) 사이의 좁은 영역 상에 위치하는 배향막(103)의 부분 상에 스페이서 입자(105)가 배치된다. 배향막(103)과 (도시하지 않은) 대향하는 유리 기판의 배향막 사이에 액정이 주입되게 된다.

이러한 배치 방법에서는, 스페이서 입자(105)를 배향막(103) 상에 침강시키고 나서 응집시키고 있다. 이 경우, 예컨대 먼지나 기판의 세정 잔여물, 또는, 액정 표시 장치의 제조 시에 발생하는 레지스트의 잔여물 등에 의해 발생하는 미세한 돌기물(107)이, 전극막(102)의 주변부 상에 존재하는 경우가 있다. 먼지나 기판의 세정 잔여물, 또는 돌기물(107)은, 스페이서 입자(105)의 상기 좁은 영역 상으로의 이동을 저해하여, 스페이서 입자(105)의 일부를, 도 4d에 도시하는 바와 같이, 전극막(102) 상에 체류시켜 버릴 가능성이 있다. 그 결과, 표시 장치의 신뢰성을 저하시킬 우려가 있다.

구체적으로는, 스페이서 입자(105)가 투명한 전극막(102) 상에 잔존하면, 표시 시에 스페이서 입자에 기인하여, 휘점 또는 흑점이 발생할 가능성이 있다. 전극막(102)에 대응하는 화소 면적이 작아지면, 휘점 또는 흑점이 눈에 띄기 쉬워진다. 또한, 액정의 두께가 얇아지면, 휘점이 눈에 띄기 쉬워진다.

본 발명의 해결하고자 하는 과제는, 신뢰성의 저하를 방지할 수 있는 표시 장치, 및 표시 장치의 제조 방법을 제공하는 것이다.

하나의 실시형태에 따르면 표시 장치의 제조 방법이 제공된다. 스페이서 분산 용액의 액적이, 복수의 전극막을 구비한 기판의 표면에서의 상기 전극막 사이의 영역의 상측의 영역 상에 마련된다. 상기 액적은, 적어도, 제1 용매와, 상기 제1 용매보다 비점이 높고 또한 상기 제1 용매보다 표면 장력이 큰 제2 용매의 혼합 용액에, 스페이서 입자(복수형)를 분산시킴으로써 얻어진다.

상기 기판은, 상기 제1 용매의 비점보다도 낮은 온도로 가열된다. 이 가열에 의해, 상기 스페이서 분산 용액 중의 상기 제1 용매가 증발한다. 상기 제1 용매의 증발 후, 상기 기판이, 상기 제1 용매의 비점보다 높고 상기 제2 용매의 비점보다도 낮은 온도로 가열된다. 이 가열에 의해, 상기 스페이서 분산 용액의 상기 제2 용매가 증발하여, 상기 기판 상에 상기 스페이서 입자가 남겨진다.

다른 실시형태에 따르면, 표시 장치의 제조 방법이 제공된다. 복수의 제1 전극막이, 제1 기판 본체의 표면 상에, 서로 이격되어 마련된다. 상기 제1 전극막 및 상기 제1 기판 본체의 부분을 덮도록 제1 배향막이 형성되어, 제1 기판이 제작된다. 제2 기판 본체의 표면 상에 제2 전극막이 마련되고, 이 제2 전극막 상에 제2 배향막이 형성되어, 제2 기판이 제작된다. 스페이서 분산 용액의 액적이, 상기 제1 배향막의 표면에서의 상기 제1 전극막 사이의 영역의 상측의 영역 상에 마련된다. 이 액적은, 적어도, 제1 용매와, 상기 제1 용매보다 비점이 높고 또한 상기 제1 용매보다 표면 장력이 큰 제2 용매의 혼합 용액에, 스페이서 입자(복수형)를 분산시킴으로써 얻어진다.

그 후, 상기 제1 기판이 상기 제1 용매의 비점보다도 낮은 온도로 가열되어, 상기 스페이서 분산 용액 중의 상기 제1 용매가 증발한다. 상기 제1 용매의 증발 후, 상기 제1 기판이, 상기 제1 용매의 비점보다 높고 상기 제2 용매의 비점보다도 낮은 온도로 가열되어, 상기 스페이서 분산 용액의 상기 제2 용매가 증발하여 상기 제1 기판 상에 상기 스페이서 입자가 남는다. 상기 제2 기판이 상기 스페이서 입자에 접촉하게 되어, 상기 제1 및 제2 배향막 사이에 상기 스페이서 입자가 끼워진다.

또 다른 실시형태에 따르면, 표시 장치가 제공된다. 제1 기판은, 제1 기판 본체, 복수의 제1 전극막, 및 제1 배향막을 갖는다. 상기 제1 전극막(복수)은, 상기 제1 기판 본체의 표면 상에 서로 이격되어 마련된다. 제1 배향막은, 이들 제1 전극막 및 상기 제1 기판 본체의 부분을 덮도록 형성된다.

제2 기판은, 제2 기판 본체, 제2 전극막 및 제2 배향막을 갖고, 상기 제1 기판에 거리를 두고 대향한다. 제2 전극막은, 상기 제2 기판 본체의 표면 상에 마련된다. 제2 배향막은, 제2 전극막 상에 형성된다.

스페이서 입자(복수)는, 상기 제1 및 제2 기판의 상기 제1 및 제2 배향막 사이에 끼워지고, 또한, 상기 제1 전극막(복수) 사이의 영역 상에 배치된다. 상기 스페이서 입자는, 상기 하나의 실시형태의 방법에 의해 마련된다.

이러한 표시 장치 및 그 제조 방법에 따르면, 신뢰성의 저하를 방지할 수 있다.

도 1은 액정 표시 장치의 일례를 도시하는 단면도이다.
도 2는 도 1의 액정 표시 장치의 부분적인 평면도이다.
도 3a 내지 도 3d는, 각각, 실시형태에 따른 액정 표시 장치의 제조 방법의 공정(복수)을 도시하는 단면도이다.
도 4a 내지 도 4d는, 각각, 종래의 액정 표시 장치의 제조 방법에 의한 공정(복수)을 도시하는 단면도이다.

이하에, 실시형태에 따른 액정 표시 장치의 제조 방법에 대해서 도면을 참조하면서 설명한다. 도면에서, 동일한 부호는, 동일 또는 유사 부분을 나타내고 있다.

도 1은 본 실시형태에 의해 제조되는 액정 표시 장치(13)의 일례를 도시하는 단면도이다.

도 1에 도시하는 바와 같이, 액정 표시 장치(13)는, 제1 및 제2 기판(1, 2)을 갖고 있다. 제1 및 제2 기판(1, 2)은, 제1 및 제2 기판 본체(3, 4), 제1 전극막(5)(복수), 제2 전극막(6), 및 제1 및 제2 배향막(7, 8)을 구비하고 있다.

제1 및 제2 기판 본체(3, 4)는, 예컨대, 유리로 이루어지는 판형상체이며, 서로 이격되어 있다. 제1 및 제2 전극막(5, 6)은, 예컨대, ITO(인듐주석 산화물)막이며, 제1 및 제2 기판 본체(3, 4)의 표면 상에, 각각, 배치된다. 제1 및 제2 배향막(7, 8)은, 예컨대, 폴리이미드로 이루어지며, 각각, 제1 및 제2 전극막(5, 6)을 덮도록 상기 제1 및 제2 기판 본체(3, 4) 상에 형성된다. 제1 및 제2 배향막(7, 8)은, 서로 간격을 두고 대향하고 있다.

제1 및 제2 배향막(7, 8) 사이에는, 각각 제1 및 제2 배향막(7, 8)에 접촉하는, 액정 재료(30)와 스페이서 입자(20)(복수)가 마련된다. 스페이서 입자(20)(복수)는, 제1 전극막(5)(복수) 사이의 위치의 상측에 배치된다. 백라이트(11)는, 제1 기판(1)의 배면측에 배치된다.

도 2는 스페이서 입자(20)의 위치를 모식적으로 도시하는 평면도이다. 제1 전극막(5)(복수)은, 화소 영역(복수)에 대응하여, 서로 이격된 상태로 행렬 형상으로 배치되어 있다. 제1 전극막(5)(복수)이 배치되어 있지 않은 영역(비화소 영역)은, 격자 형상의 차광 영역이다. 이 차광 영역에는, 도시하지 않은 배선이 배치된다. 그 격자의 교점이 위치하는 영역(21)(복수)에 스페이서 입자(20)가 복수개씩 배치된다. 스페이서 입자(20)(복수)는, 상기 비화소 영역으로부터 제1 전극막(5)(복수) 상의 상기 화소 영역으로 비어져 나오지 않도록 응집하고 있다.

따라서, 제1 전극막(5) 상에는 스페이서 입자(20)는 존재하고 있지 않다. 제1 및 제2 기판(1, 2) 사이에 있어서, 제1 전극막(5) 상의 위치에는 간극이 형성되어 있고, 그 간극에 액정 재료(30)가 배치되어 있다.

제1 및 제2 기판(1, 2) 사이에는, 제1 전극막(5)(복수)이 배치된 영역 전체를 둘러싸는 링 형상의 시일 부재(31)가 배치되어 있다. 제1 전극막(5) 상의 상기 간극은, 제1 및 제2 기판(1, 2)과 상기 시일 부재에 의해 외부 공간으로부터 밀폐되어 있다. 따라서, 상기 간극에 배치된 액정 재료(30)는 외부 공간으로부터 밀폐되어 있다.

제1 전극막(5)(복수)은, 액정 재료(30)와 제1 및 제2 배향막(7, 8)을 통해 제2 전극막(6)과 대향하고 있다. 제1 전극막(5)(복수)에는, 각각, 트랜지스터(복수)(도시하지 않음)가 접속되어 있다. 트랜지스터(복수) 중에서 하나를 선택하고, 그것에 대응하는 제1 전극막(5) 및 제2 전극막(6) 사이에 전압을 인가한다. 이 전압 인가에 의해, 상기 제1 및 제2 전극막(5, 6) 사이에 위치하는 액정 재료(30)의 부분에 전류가 흘러, 그 액정 분자의 배향이 변하여, 편광성이 변화한다. 예컨대, 액정 재료(30)가 네마틱형 액정인 경우에는, 전류가 흐르지 않는 상태에서는 광이 편광되지만, 전류가 흐른 상태에서는 광이 편광되지 않고 직진한다.

제1 및 제2 기판(1, 2)의 제1 및 제2 배향막(7, 8)과 반대측의 면(복수) 상에는, 각각, 제1 및 제2 편광판(9, 10)이 배치되어 있다. 제1 기판(1)의 배면측에 있어서, 제1 편광판(9)으로부터 떨어진 위치에, 백라이트(11)가 배치된다. 백라이트(11)로부터의 광은, 제1 편광판(9)에 입사하여 편광된다.

제1 및 제2 기판 본체(3, 4)와 제1 및 제2 전극막(5, 6)과 제1 및 제2 배향막(7, 8)은 각각 투명하고, 제1 편광판(9)에 의해 편광된 광은, 제1 전극막(5)과 제1 배향막(7)을 지나 액정 재료(30)에 입사한다.

제1 및 제2 편광판(9, 10)은, 이들의 편광 방향이 서로 직교하도록 향해져 있다. 제1 편광판(9) 및 제1 기판 본체(3)를 통과한 광은, 액정 재료(30)에 의해 편광되면, 제2 배향막(8), 제2 전극막(6) 및 제2 기판 본체(4)를 투과한 후, 제2 편광판(10)에서 흡수된다.

전술한 바와 같이, 제1 및 제2 전극막(5, 6)에 전압을 인가하는지의 여부로, 액정 재료(30)의 편광성이 변화된다. 따라서, 제1 전극막(5)(복수)을 선택하고, 선택된 전극막에 전압을 인가함으로써, 원하는 영역으로부터만 광을 방출시켜, 도형이나 문자와 같은 화상 정보를 표시할 수 있다.

실시형태에 따른 액정 표시 장치의 제조 방법에 대해서 설명한다. 도 3a 내지 도 3d는, 각각, 실시형태에 따른 액정 표시 장치의 제조 방법의 공정(복수)을 도시하는 단면도이다. 이 실시형태는, 도 1, 도 2에 도시한 액정 표시 장치(13)를 제조하는 방법이다.

이 제조 방법에서 사용하는 스페이서 분산 용액(23)이 준비된다. 이를 위해서, 제1 및 제2 용매를 혼합한 혼합 용매(22)가 제작된다. 제1 용매는, 스페이서 입자(20)(복수)보다 비중이 작다. 제2 용매는, 제1 용매보다 고비점이고, 또한 표면 장력이 제1 용매의 표면 장력보다도 크며, 스페이서 입자(20)보다 비중이 크다. 그 혼합 용매(22)에 스페이서 입자(20)를 분산시킴으로써, 스페이서 분산 용액(23)이 얻어진다.

제1 용매로서는, 예컨대 에탄올이나 이소프로필알코올과 같은 알코올계 용매가 사용된다. 제2 용매로서는, 예컨대 물이나, 글리콜계, 또한 에테르계의 용매가 사용된다. 스페이서 분산 용액(23)은, 잉크젯 프린트 장치나 디스펜서 장치 등(도시하지 않음) 내에 충전된다.

미리, 제1 기판(1) 상에, 제1 전극막(5)(복수)이 서로 간격을 두고, 매트릭스 형상으로 형성된다. 제1 기판 본체(3)의 부분 및 제1 전극막(5)(복수)을 덮는 제1 배향막(7)이 형성된다.

도 3a에 도시하는 바와 같이, 상기 장치에 의해, 스페이서 분산 용액(23)의 액적(복수)이, 제1 기판 본체(3) 상에 형성된 제1 배향막(7)의 상면에서의, 제1 전극막(5) 사이의 영역 위의 영역 상에 도포된다.

이 때, 제1 배향막(7)에 부착되는 스페이서 분산 용액(23)의 액적(복수)은, 예컨대 수십 ㎛ 정도의 직경을 갖는다. 이 직경은, 제1 전극막(5)(복수)의 간격, 즉 상기 비화소 영역(복수)의 폭보다 크고, 따라서, 스페이서 분산 용액(23)의 액적(복수)의 일부는, 제1 전극막(5) 위에 얹힌 상태가 된다. 이 상태에서는, 스페이서 분산 용액(23) 내의 스페이서 입자(20)(복수)가 스페이서 분산 용액(23) 중의 어느 위치에 존재하는지는 불확정하다. 예컨대, 도 3a에 도시하는 바와 같이, 제1 전극막(5)(복수)의 주변부의 제1 배향막(7)의 부분(복수) 상에 돌기물(12)(복수)이 있는 경우, 스페이서 입자(20)(복수)가, 부착된 스페이서 분산 용액(23)의 액적(복수)의 각 중심 위치에 대하여 돌기물(12)의 외측 상에 얹혀 있는 경우가 있을 수 있다.

그 후, 도 3b에 도시하는 바와 같이, 스페이서 분산 용액(23)이 부착된 제1 기판(1)을 가열한다. 가열에 의해, 혼합 용매(22) 중의 제1 용매를 저속으로 증발시킨다. 그 결과, 스페이서 분산 용액(23)의 액적(복수)의 직경이 점차 축소되고, 스페이서 입자(20)가 스페이서 분산 용액(23)의 액적의 중앙 위치의 방향으로 끌어당겨진다. 제1 기판(1)의 가열 온도는, 제1 용매의 비점을 ta로 하고, 제1 기판(1)의 가열 온도를 t1으로 한 경우, t1＜ta가 되는 온도로 조정된다.

제1 용매가 증발할 때, 제2 용매의 표면 장력보다 제1 용매의 표면 장력 쪽이 작기 때문에, 기액(氣液) 계면의 국소적인 표면 장력차를 발생시킨다. 그 때문에, 표면 장력이 큰 쪽, 즉 스페이서 분산 용액(23)의 중심 위치를 향하여 도 3b 중 화살표로 나타내는 대류(對流)를 발생시킨다. 이 대류는 표면 장력차가 클수록 발생하기 쉽다. 따라서, 예컨대 돌기물(12)의 외측 상에 얹혀 있는 스페이서 입자(20)(복수)를 포함하여, 스페이서 입자(20)는 스페이서 분산 용액(23)의 중심 위치를 향하여 대류하면서 끌어당겨진다.

그 후, 도 3c에 도시하는 바와 같이, 제1 기판(1)을 가열하여, 스페이서 분산 용액(23) 내의 제2 용매를 서서히 저속도로 증발시켜, 스페이서 분산 용액(23)의 액적(복수)의 중심 위치에 스페이서 입자(20)(복수)를 응집시킨다. 이 때, 스페이서 입자(20)(복수)는 제2 용매보다 비중이 가볍기 때문에, 스페이서 분산 용액(23)의 액적(복수)의 직경이 축소되어도, 스페이서 분산 용액(23) 중에서 부유하기 쉬운 상태로 응집된다.

도 3c의 공정에서, 제1 기판(1)의 가열 온도는, 제1 용매의 비점을 ta로 하고, 제2 용매의 비점을 tb, 제1 기판(1)의 가열 온도를 t2로 한 경우, ta＜t2＜tb가 되는 온도로 조정된다. 이 가열이 종료되면, 도 3d에 도시하는 바와 같이, 제1 기판(1) 상의 스페이서 분산 용액(23)의 액적(복수) 중심 위치에 스페이서 입자(20)(복수)가 응집한 상태가 된다.

이러한 가열에 의한 건조 처리가 종료된 후에는, 도 1에 도시한 제2 기판(2)이, 제1 기판(1)과 함께 스페이서 입자(20)를 사이에 끼우도록 배치된다. 이 제2 기판(2)은, 제2 기판 본체(4) 위에 제2 전극막(6)을 형성하고, 또한, 제2 기판 본체(4)의 부분과 제2 전극막(6)을 덮는 제2 배향막(8)을 형성함으로써 얻어진다.

또한, 제1 기판(1)과 제2 기판(2) 사이에 액정 재료(30)가 충전된다. 그 후, 제1 기판(1)과 제2 기판(2)의 주위를 시일 부재로 시일함으로써 도 1에 도시하는 바와 같은 액정 표시 장치(13)가 완성된다.

본 실시형태에 따르면, 제1 용매와 제2 용매의 혼합 용매(22)에 스페이서 입자(복수)(20)를 분산시켜 얻어진 스페이서 분산 용액(23)이 준비된다. 제1 용매는, 비교적으로 저비점이고, 또한 비교적으로 표면 장력이 작으며, 스페이서 입자(복수)보다 비중이 작다. 제2 용매는, 비교적으로 고비점이고, 또한 표면 장력이 제1 용매의 표면 장력보다도 크며, 스페이서 입자(복수)보다 비중이 크다.

스페이서 분산 용액(23)은, 가열에 의해 서서히 증발하게 되어, 대류한다. 그 결과, 스페이서 분산 용액(23)의 액적의 중심 위치에서 보아, 예컨대 돌기물(12)의 외측에 스페이서 입자(20)가 체류하지 않고서 응집하는 것이 가능해진다. 따라서, 신뢰성이 높은 액정 표시 장치(13)를 제조할 수 있다.

또한, 스페이서 분산 용액(23)의 건조의 과정에서, 비교적으로 고비점이고, 또한 표면 장력이 제1 용매의 표면 장력보다도 크며, 스페이서 입자(20)보다 비중이 큰 제2 용매와 스페이서 입자(20)가 혼재하는 상태가 되어도, 스페이서 입자(20)가 부유하기 쉬운 상태이다. 그 때문에, 스페이서 분산 용액(23)의 중심 위치에 가까운 장소에, 예컨대 돌기물(12)이 존재해도, 스페이서 입자(20)를 체류시키는 일이 없이 응집하는 것이 가능해진다. 그 결과, 보다 신뢰성이 높은 액정 표시 장치(13)를 제조할 수 있다.

본 실시형태는, 액정 표시 장치의 제조 방법이다. FED(전계 방출 표시 장치)에 대해서도, 기판 사이에 스페이서 입자를 마련하고 있으며, 본 실시형태와 동일하게 제조할 수 있다.

본 발명의 몇 가지 실시형태를 설명하였으나, 이들 실시형태는, 예로서 제시한 것이며, 발명의 범위를 한정하는 것은 의도하고 있지 않다. 이들 신규의 실시형태는, 그 외의 여러 가지 형태로 실시되는 것이 가능하며, 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서, 여러 가지 생략, 치환, 변경을 행할 수 있다. 이들 실시형태나 그 변형은, 발명의 범위나 요지에 포함되며, 특허 청구의 범위에 기재된 발명과 그 균등한 범위에 포함된다.

Claims

적어도, 제1 용매와, 상기 제1 용매보다 비점이 높고 상기 제1 용매보다 표면 장력이 큰 제2 용매의 혼합 용액에, 스페이서 입자(복수형)를 분산시킨 스페이서 분산 용액의 액적을, 표면을 따라 서로 이격된 복수의 전극막을 구비한 기판의 표면에서의 상기 전극막 사이의 영역의 상측의 영역 상에 마련하고,
상기 기판을 상기 제1 용매의 비점보다도 낮은 온도로 가열하여, 상기 스페이서 분산 용액 중의 상기 제1 용매를 증발시키며,
상기 제1 용매의 증발 후, 상기 기판을 상기 제1 용매의 비점보다 높고 상기 제2 용매의 비점보다도 낮은 온도로 가열하여, 상기 스페이서 분산 용액의 상기 제2 용매를 증발시켜, 상기 기판 상에 상기 스페이서 입자를 남기는 표시 장치의 제조 방법.
제1항에 있어서, 상기 제1 용매의 비중은 상기 스페이서 입자의 비중보다 작고, 상기 제2 용매의 비중은 상기 스페이서 입자의 비중보다 큰 것인 표시 장치의 제조 방법.
제1항에 있어서, 상기 액적은, 상기 기판의 상기 표면에서의 상기 전극막 사이의 상기 영역 및 그 주변의 상측에 마련되는 것인 표시 장치의 제조 방법.
제1 기판 본체의 표면 상에, 기판 표면을 따라 서로 이격되어 배치되는 복수의 제1 전극막을 마련하고,
상기 제1 전극막 및 상기 제1 기판 본체의 부분을 덮도록 제1 배향막을 형성하여 제1 기판을 제작하며,
제2 기판 본체의 표면 상에 제2 전극막을 마련하고, 이 제2 전극막 상에 제2 배향막을 형성하여 제2 기판을 제작하며,
적어도, 제1 용매와, 상기 제1 용매보다 비점이 높고 상기 제1 용매보다 표면 장력이 큰 제2 용매의 혼합 용액에, 스페이서 입자(복수형)를 분산시킨 스페이서 분산 용액의 액적을, 상기 제1 배향막의 표면에서의 상기 제1 전극막 사이의 영역의 상측의 영역 상에 마련하고,
상기 제1 기판을 상기 제1 용매의 비점보다도 낮은 온도로 가열하여, 상기 스페이서 분산 용액 중의 상기 제1 용매를 증발시키며,
상기 제1 용매의 증발 후, 상기 제1 기판을 상기 제1 용매의 비점보다 높고 상기 제2 용매의 비점보다도 낮은 온도로 가열하여, 상기 스페이서 분산 용액의 상기 제2 용매를 증발시켜 상기 제1 기판 상에 상기 스페이서 입자를 남기고,
상기 제2 기판을 상기 스페이서 입자에 접촉시켜, 상기 제1 및 제2 배향막 사이에 상기 스페이서 입자를 끼우는 표시 장치의 제조 방법.
제4항에 있어서, 상기 제1 용매의 비중은 상기 스페이서 입자의 비중보다 작고, 상기 제2 용매의 비중은 상기 스페이서 입자의 비중보다 큰 것인 표시 장치의 제조 방법.
제4항에 있어서, 상기 액적은, 상기 제1 기판의 상기 제1 전극막 사이의 상기 영역 및 그 주변의 상측에 마련되는 것인 표시 장치의 제조 방법.
제4항에 있어서, 상기 제1 및 제2 배향막 사이에 상기 스페이서 입자를 끼운 후, 상기 제1 및 제2 배향막 사이에 액정 재료를 더 마련하는 표시 장치의 제조 방법.
제7항에 있어서, 상기 액정 재료를 마련한 후, 상기 제1 및 제2 기판 주위를 시일 부재에 의해 시일하는 표시 장치의 제조 방법.
제1 기판 본체, 이 제1 기판 본체의 표면 상에 이 표면을 따라 서로 이격되어 마련되는 복수의 제1 전극막, 및 이들 제1 전극막 및 상기 제1 기판 본체의 부분을 덮도록 형성되는 제1 배향막을 갖는 제1 기판과,
제2 기판 본체, 이 제2 기판 본체의 표면 상에 마련되는 제2 전극막, 및 이 제2 전극막 상에 형성되는 제2 배향막을 갖고, 상기 제1 기판에 거리를 두고 대향하는 제2 기판과,
상기 제1 및 제2 기판의 상기 제1 및 제2 배향막 사이에 끼워지고, 상기 제1 전극막(복수) 사이의 영역 상에 배치되는 스페이서 입자(복수)
를 구비한 표시 장치로서,
상기 스페이서 입자는 제1항에 기재된 방법에 의해 마련된 것인 표시 장치.
제9항에 있어서, 상기 제1 용매의 비중은 상기 스페이서 입자의 비중보다 작고, 상기 제2 용매의 비중은 상기 스페이서 입자의 비중보다 큰 것인 표시 장치.
제9항에 있어서, 상기 액적은, 상기 기판의 상기 표면에서의 상기 전극막 사이의 상기 영역 및 그 주변의 상측에 마련되는 것인 표시 장치.
제9항에 있어서, 상기 제1 및 제2 배향막 사이에 마련되는 액정 재료를 더 구비하는 표시 장치.
제12항에 있어서, 상기 제1 및 제2 기판 주위를 시일하는 시일 부재를 더 구비하는 표시 장치.