KR20110036915A - 빅 푸트 리프트 핀 - Google Patents
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Abstract
여기에 설명된 실시예들은 일반적으로 증가 웨이퍼 배치 정확도, 반복성, 안정성 및 내식성을 증가시키는 리프트 핀 조립체를 제공한다. 일 실시예에서, 기판 지지체에 대해 기판을 위치시키기 위한 리프트 핀 조립체가 제공된다. 리프트 핀 조립체는 핀 샤프트, 상기 기판을 지지하기 위해 상기 핀 샤프트의 제 1 단부와 커플링되는 핀 헤드, 및 상기 핀 샤프트의 제 2 단부와 커플링되는 쇼울더를 포함하는 리프트 핀을 포함한다. 리프트 핀 조립체는 상기 핀 샤프트와 슬라이딩되게 커플링되는 원통형 본체, 및 상기 원통형 본체가 상기 샤프트를 따라 슬라이딩되는 것을 방지하기 위한 잠금 핀을 더 포함하고, 상기 쇼울더가 상기 잠금 핀을 수용하기 위한 치수로 된 관통 홀을 갖는다.
Description
[0001] 여기에 설명된 실시예들은 일반적으로 기판 지지부로부터 기판들을 이격하기 위한 리프트 핀 및 리프트 조립체에 관한 것이다.
[0002] 집적 회로들은 단일칩에 수백만의 트랜지스터들, 커패시터들 및 레지스터들을 포함하는 복잡한 소자들로 진화되었다. 칩 설계의 진화는 더 빠른 회로 및 더 큰 회로 밀도의 결과를 가져왔다. 집적 회로에 대한 수요가 지속적으로 증가하면서, 칩 제조는 증가된 웨이퍼 처리량, 더 증가된 생산 수율, 및 더 강건한 프로세스 장비를 구비한 반도체 프로세스 공구를 요구하였다. 요구를 충족시키기 위해, 공구는 웨이퍼 인계 에러들(handoff errors)을 최소화하여, 입자 오염을 줄이고, 공구 구성요소들의 유효 수명을 증가시킨다.
[0003] 리프트 핀들은 일반적으로 기판 지지체를 통해 배치된 가이드 홀들에 존재한다. 리프트 핀들의 상부 단부들은 일반적으로 핀들이 가이드 홀들을 관통하는 것을 방지하도록 플래어된다. 리프트 핀들의 하부 단부들은 기판 지지체 아래로 연장되어 그 하부 단부들에서 핀들을 접촉하는 리프트 플레이트에 의해 작용된다. 리프트 플레이트는 상부와 하부 위치들 사이에서 수직 방향으로 움직일 수 있다. 상단 위치에서, 리프트 플레이트는 기판 지지체 위에 리프트 핀들의 플래어된 단부들을 연장하기 위해 기판 지지체를 통해 형성된 가이드 구멍들을 관통하게 리프트 핀들을 움직여서, 기판 전달을 촉진하도록 기판을 기판 지지체에 대해 이격된 관계로 상승시킨다.
[0004] 현재 부동 리프트 핀(floating lift pin) 설계들은 웨이퍼 인계 에러들을 야기하는 꽉 죄인 히터 포켓들(tight heater pockets)로의 웨이퍼 배치에 어려움이 있다. 고정 부동 리프트 핀 설계들은 침식되는(corrode) 금속 스프링 와셔들을 포함하는 오버 스트레인 설계(over constrained design)로 인해 리프트 핀 파손에서 결과적인 증가에 의해 꽉 죄인(tight) 히터 포켓들로 웨이퍼 배치의 문제를 해결한다.
[0005] 따라서, 향상된 리프트 핀 조립체에 대한 본 발명이 속한 기술 분야에서 필요가 있다.
[0006] 여기에 설명된 실시예들은 일반적으로 기판을 지지하기 위한 리프트 핀 조립체에 관한 것이다. 일 실시예에서, 기판 지지체에 대해 기판을 위치시키기 위한 리프트 핀 조립체가 제공된다. 리프트 핀 조립체는 핀 샤프트, 상기 샤프트와 슬라이딩되게 커플링되는 푸트(foot), 및 상기 푸트가 상기 샤프트를 따라 슬라이딩되는 것을 방지하기 위한 잠금 핀을 갖는 리프트 핀을 포함한다.
[0007] 다른 일 실시예에서, 기판 지지체에 대해 기판을 위치시키기 위한 리프트 핀 조립체가 제공된다. 리프트 핀 조립체는 핀 샤프트, 기판을 지지하기 위해 상기 핀 샤프트의 제 1 단부와 커플링되는 핀 헤드, 및 상기 핀 샤프트의 제 2 단부와 커플링되는 쇼울더(shoulder)를 포함하는 리프트 핀을 포함한다. 리프트 핀 조립체는 상기 핀 샤프트와 슬라이딩되게 커플링되는 원통형 본체, 및 상기 원통형 본체가 상기 샤프트를 따라 슬라이딩되는 것을 방지하기 위한 잠금 핀을 더 포함하고, 상기 쇼울더가 상기 잠금 핀을 수용하기 위한 치수로 된 관통 홀을 갖는다.
[0008] 또 다른 실시예에서, 그 위에 기판을 조작하기 위한 기판 지지 조립체(substrate support assembly)가 제공된다. 기판 지지 조립체는 리프트 핀 - 상기 리프트 핀은 핀 샤프트, 상기 기판을 지지하기 위해 상기 핀 샤프트의 제 1 단부와 커플링되는 핀 헤드, 및 상기 핀 샤프트의 제 2 단부와 커플링되는 쇼울더를 포함함-, 상기 핀 샤프트와 슬라이딩되게 커플링되는 원통형 본체; 및 상기 원통형 본체가 상기 샤프트를 따라 슬라이딩되는 것을 방지하기 위한 잠금 핀을 포함하고, 상기 쇼울더가 상기 잠금 핀을 수용하기 위한 치수로 된 관통 홀을 갖는 리프트 핀 조립체를 포함한다. 상기 기판 지지 조립체는 관통하여 배치된 복수의 가이드 홀들을 갖는 기판 지지체 - 각각 가이드 홀은 상기 리프트 핀 조립체의 리프트 핀을 수용하기 위한 것임 -, 리프트 플레이트; 및 상기 리프트 플레이트의 상승을 제어하기 위한 액츄에이터를 포함하는 기판 지지 조립체.
[0009] 본 발명의 전술된 특징들이 상세하게 이해될 수 있는 방식으로, 위에 짧게 요약된 본 발명의 더 구체적인 설명이 첨부된 도면에서 설명된 실시예들을 참조하여 이루어진다. 그러나, 본 발명은 다른 동등한 효과적인 실시예들에서 인정될 수 있기 때문에, 첨부된 도면은 단지 본 발명의 전형적인 실시예를 도시하며 따라서 그 범위의 제한이 고려되지 않아야 한다는 것이 주목되어야 한다.
[0010] 도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 리프트 핀 조립체를 구비한 증착 챔버의 단면도이고;
[0011] 도 2A 내지 2C는 리프트 핀 조립체의 다양한 실시예들에 따른 단면도이고;
[0012] 도 3A는 본 발명의 일 실시예에 따른 리프트 핀의 사시도이고;
[0013] 도 3B는 본 발명의 일 실시예에 따른 리프트 핀의 측면도이고;
[0014] 도 3C는 본 발명의 일 실시예에 따른 리프트 핀의 측면도이고;
[0015] 도 3D는 도 3C의 핀 헤드의 일 실시예의 확대된 사시도이고;
[0016] 도 4A는 본 발명의 일 실시예에 따른 푸트(foot)의 사시도이고;
[0017] 도 4B는 본 발명의 일 실시예에 따른 푸트의 저면도이고;
[0018] 도 4C는 도4B의 라인 4C를 따라 취해진 푸트의 일 실시예에 대한 단면도이고;
[0019] 도 5A는 본 발명의 일 실시예에 따른 잠금 핀의 사시도이고;
[0020] 도 5B는 도 5A의 잠금 핀의 일 실시예의 측면도이고;
[0021] 도 5C는 도 5A의 잠금 핀의 일 실시예의 정면도이고; 그리고
[0022] 도 6A 내지 도 6D는 본 발명의 실시예들에 따른 리프트 핀 조립체의 설치를 보여주는 단면도들이다.
[0011] 도 2A 내지 2C는 리프트 핀 조립체의 다양한 실시예들에 따른 단면도이고;
[0012] 도 3A는 본 발명의 일 실시예에 따른 리프트 핀의 사시도이고;
[0013] 도 3B는 본 발명의 일 실시예에 따른 리프트 핀의 측면도이고;
[0014] 도 3C는 본 발명의 일 실시예에 따른 리프트 핀의 측면도이고;
[0015] 도 3D는 도 3C의 핀 헤드의 일 실시예의 확대된 사시도이고;
[0016] 도 4A는 본 발명의 일 실시예에 따른 푸트(foot)의 사시도이고;
[0017] 도 4B는 본 발명의 일 실시예에 따른 푸트의 저면도이고;
[0018] 도 4C는 도4B의 라인 4C를 따라 취해진 푸트의 일 실시예에 대한 단면도이고;
[0019] 도 5A는 본 발명의 일 실시예에 따른 잠금 핀의 사시도이고;
[0020] 도 5B는 도 5A의 잠금 핀의 일 실시예의 측면도이고;
[0021] 도 5C는 도 5A의 잠금 핀의 일 실시예의 정면도이고; 그리고
[0022] 도 6A 내지 도 6D는 본 발명의 실시예들에 따른 리프트 핀 조립체의 설치를 보여주는 단면도들이다.
[0023] 이해를 돕기 위해, 가능하면, 도면에서 공통된 동일한 구성요소를 지징하기 위해 동일한 도면 번호가 사용되었다. 일 실시예에서 개시된 구성요소들은 특정 인용없이 다른 실시예들에서 바람직하게 사용될 수 있다는 것이 고려된다.
[0024] 여기에 설명된 실시예들은 일반적으로 반도체 기판을 프로세싱하기 위한 장치를 제공한다. 여기에 설명된 실시예들은 캘리포니아 산타클라라의 어플라이드 머티어리얼즈사로부터 입수가능한 CVD 프로세싱 시스템과 같은 프로세싱 시스템에서 예시적으로 활용된다. 그러나, 여기에 설명된 실시예들은 물리 기상 증착 챔버, 에칭 챔버, 이온 주입 챔버, 및 다른 반도체 프로세싱 챔버들과 같은 다른 챔버 구성들에 통합될 수 있다.
[0025] 도 1은 프로세싱 시스템(100)의 단면도이다. 이 시스템(100)은 일반적으로 가스 공급원(104)에 커플링된 챔버 본체(102)를 포함한다. 챔버 본체(102)는 알루미늄과 같은 소재의 강성 블록으로 제조된 단일의 기계 구조체이다. 챔버 본체(102) 내에서 샤워헤드(106) 및 기판 지지 조립체(108)가 있다. 샤워헤드(106)는 챔버 본체(102)의 상단 표면 또는 리브에 커플링되어 기판 지지 조립체(108) 상에 위치된 기판(101) 위에 배치되는 가스 공급원(104)으로부터 가스의 균일한 유동을 제공한다.
[0026] 기판 지지 조립체(108)는 일반적으로 기판 지지체(110) 및 스템(112)을 포함한다. 스템(112)은 챔버 본체(102) 내에 기판 지지체(110)를 위치시킨다. 기판(101)은 프로세싱 동안 기판 지지체(110) 상에 위치된다. 기판 지지체(110)는 서셉터, 히터, 정전기 척 또는 진공 척일 수 있다. 일반적으로, 기판 지지체(110)는 세라믹, 알루미늄, 스테인리스 스틸, 및 이들의 조합으로부터 제조된다. 기판 지지체(110)는 이를 관통해 배치된 복수의 가이드 홀들(118)을 가지며, 각각의 홀(118)은 리프트 핀 조립체(114)의 리프트 핀(120)을 수용한다.
[0027] 리프트 핀 조립체(114)는 기판 지지체(110)와 상호작용하여 기판 지지체(110)에 대해 기판(101)을 위치시킨다. 리프트 핀 조립체(114)는 전형적으로 리프트 핀들(120), 리프트 플레이트(124) 및 상기 리프트 플레이트(124)의 상승을 제어하기 위한 액츄에이터(116)를 포함한다. 리프트 플레이트(124)의 상승은 액츄에이터(116)에 의해 제어된다. 액추에이터(116)는 공압 실린더, 유압 실린더, 리드 스크류, 솔레노이드, 스테퍼 모터 또는 일반적으로 챔버 본체(102)의 외측에 배치되어 리프트 플레이트(124)를 움직이도록 구성된다. 리프트 플레이트(124)가 기판 지지체(110) 쪽으로 이동됨으로써, 리프트 플레이트(124)는 리프트 핀들(120)의 하부 단부들과 접촉하여 기판 지지체(110)를 통해 리프트 핀들(120)을 이동시킨다. 리프트 핀들(120)의 상부 단부들은 기판 지지체(110)로부터 멀어지게 이동하여 기판 지지체(110)에 대해 이격되는 관계로 기판(101)을 상승시킨다.
[0028] 도 2A 내지 도 2C는 리프트 핀 조립체(114)의 다양한 실시예들에 따른 단면도를 도시한다. 도 2A는 작은 직경을 갖는 푸트(126)의 일 실시예를 포함하는 리프트 핀 조립체(114)의 일 실시예의 단면도이다. 도 2B는 중간 직경을 갖는 푸트(126)의 일 실시예를 포함하는 리프트 핀 조립체(114)의 일 실시예의 단면도이다. 도 2C는 큰 직경을 갖는 푸트(126)의 일 실시예를 포함하는 리프트 핀 조립체(114)의 일 실시예의 단면도이다. 리프트 핀 조립체(114)는 리프트 핀(120), 푸트(126), 및 상기 푸트를 상기 리프트 핀(120)과 커플링하기 위한 잠금 핀(128)을 포함한다.
[0029] 복수의 리프트 핀들(120)은 기판 지지체(110)를 통해 형성된 리프트 핀 가이드 홀들(118)을 통해 축 방향으로 배치된다. 가이드 홀들(118)은 기판 지지체(110)에 통합적으로 형성될 수 있거나, 대안적으로 기판 지지체(110)에 배치된 가이드 부싱(미도시)의 내부 통로에 의해 한정된다. 리프트 핀(120)은 제 1 단부(206) 및 제 2 단부(208)를 포함한다.
[0030] 리프트 핀(120)의 제 1 단부(206)는 플래어되어 리프트 핀(120)이 기판 지지체(110)를 통해 배치된 가이드 홀(118)을 통과해 떨어지는 것을 방지한다. 가이드 홀(118)은 일반적으로 접시형 구멍가공되어 핀(120)이 정상적인 위치(즉, 기판 지지체(110)에 대해 집어 넣어진)일 때 제 1 단부(206)가 기판 지지체(110)로부터 실질적으로 같은 높이이거나 약간 리세스되게 한다.
[0031] 리프트 핀(120)의 제 2 단부(208)는 기판 지지체(110)의 저변 위에 연장되고 리프트 플레이트(124)에 의해 가압되어 리프트 핀(120)의 제 1 단부(206)를 기판 지지체(110) 위로 연장시키도록 구성된다. 제 2 단부(208)는 라운딩, 평평할 수 있거나 다른 형상을 가질 수 있다. 일 실시예에서, 제 2 단부(208)은 평평하(예, 리프트 핀(120)의 중심 라인에 수직으로 배향된)다. 제 2 단부(208)는 푸트(126)에 의해 둘러쌓인다. 푸트(126)는 리프트 플레이트(124) 상에 리프트 핀(120)을 세우고, 이에 의해 리프트 핀들(120)을 리프트 핀들 가이드 홀들(118)의 중심 축선에 실질적으로 평행하게 유지하여, 바람직하게 가이드 홀들(118)의 하부 에지와 핀 사이에서 접촉 및 바인딩을 감소시킨다. 또한, 푸트(126)는 리프트 핀 가이드 홀(118) 내에서 리프트 핀(120)의 용이한 중심잡기(centering)를 허용하여, 리프트 핀(120)이 경사지거나(tilt) 가이드 홀(118)에서 기울어(lean)져서 움직이지 않거나 스크래칭될 가망성(likelihood)을 감소시킨다.
[0032] 도 3A는 본 발명의 일 실시예에 따른 리프트 핀(120)의 사시도이다. 도 3B는 본 발명의 일 실시예에 따른 리프트 핀(120)의 측면도이다. 도 3C는 본 발명의 일 실시예에 따라 리프트 핀(120)의 또 다른 측면도이다. 도 3D는 도 3C의 핀 헤드(302)의 일 실시예의 확대된 사시도이다. 리프트 핀(120)은 전형적으로 세라믹, 스테인리스 스틸, 알루미늄, 또는 기타 적합한 소재로 구성된다. 리프트 핀(120)의 원통형 외부 표면은 마찰 및 표면 마모를 감소시키도록 추가적으로 처리된다.
예를 들어, 리프트 핀(120)의 원통형 외부 표면은 도금되어지고(plated), 플라즈마 불꽃 분부되거나, 또는 전자 연마되어(electropolished) 마찰을 감소시키고, 표면 경도를 변경하고, 매끄러움을 향상시키고, 그리고 스크래칭 및 부식에 대한 저항성을 향상시킬 수 있다.
[0033] 리프트 핀(120)은 제 1 단부(206) 및 제 2 단부(208)에 커플링된 직경 "G"을 갖는 샤프트(202)를 포함한다. 리프트 핀(120)의 제 1 단부(206)는 핀 헤드(302)를 포함한다. 핀 헤드(302)는 기판(101)을 지지하기 위한 핀 샤프트(202)의 단부 부분이다. 핀 헤드(302)는 볼록 지지 표면(305A)을 가지며, 여기서 플랫부(flat portion, 305B)가 중심, 상단 영역 상에 위치된다. 볼록 지지 표면(305A) 및 플랫부(305B)가 일반적으로 원형 영역들이지만, 다른 모양들이 적용될 수 있다.
[0034] 리프트 핀(120)의 제 2 단부(208)는 직경"H"를 갖는 쇼울더(306)를 포함하고, 여기서 직경 "H"는 샤프트(202)의 직경 "G"보다 더 크다. 쇼울더(306)는 테이퍼된 단부들(308 및 310)을 포함한다. 테이퍼된 단부(308)는 샤프트(202)에 의해 쇼울더(306)로 전환(transition)된다. 쇼울더(306)는 잠금 핀(128)을 수용하도록 치수된 관통-홀(312)을 갖는다. 일 실시예에서, 쇼울더의 길이 "I"는 리프트 핀(120)의 총 길이 "J"의 대략 1/3이다. 일 실시예에서, 관통-홀(312)의 중심에서 리프트 핀의 제 2 단부(208)까지 거리 "K"는 쇼울더(306)의 대략 1/4 길이 "I"이다.
[0035] 도 4A는 본 발명의 일 실시예에 따라 푸트(126)의 사시도이다. 도 4B는 여기에 설명된 일 실시예에 따라 푸트(126)의 저면도이다. 도 4C는 도 4B의 라인 4C를 따라 취한 푸트(126)의 일 실시예의 단면도이다. 푸트(126)은 원통형 본체(402)의 바닥을 한정하는 제 1 표면(404) 및 원통형 본체(402)의 상단을 한정하는 제 2 표면(406)을 구비한 원통형 본체(402)를 포함한다. 원통형 본체(402)는 직경 "C"를 갖는다. 일 실시예에서, 제 1 표면(404)은 원통형 본체(402)의 바닥을 한정하고 제 2 표면(406)은 실린더 본체(402)의 상단을 한정한다. 일 실시예에서, 제 1 표면(404)의 에지 및 제 2 표면(406)의 에지가 테이퍼될 수 있다. 푸트(126)는 전형적으로 세라믹, 스테인레스 스틸, 알루미늄, 및 이들의 조합으로 선택된 소재로 구성된다.
[0036] 원통형 본체(402)는 제 1 직경"A" 및 제 2 직경 "B"를 갖는 관통-홀(408)을 가지며, 여기서 제 2 직경"B"은 제 1 직경 "A"보다 크다. 제 1 직경 "A"은 리프트 핀(120)의 쇼울더(306)를 수용하기 위한 치수로 된다. 관통 홀(408)의 제 2 직경 "B"는 리프트 핀(120)의 관통 홀(312) 내로 삽입될 때 리프트 핀(120)의 쇼울더(306) 및 잠금 핀(128) 모두를 수용하기 위한 치수로 된다. 일 실시예에서, 관통 홀(408)의 제 1 직경"A"과 관통 홀(408)의 제 2 직경 "B" 사이의 전환 포인트(transition point, 410)가 스텝식 표면(412)을 형성한다. 스텝식 표면(412)은 리프트 핀 조립체(114)가 조립될 때 잠금 핀(128) 위에 위치할 수 있다. 제 1 직경 "A"를 갖는 관통 홀(408)은 실린더 본체(402)를 부분적으로 통해 제 2 표면(406)으로부터 연장된다. 일 실시예에서, 제 1 직경 "A"을 갖는 관통 홀(408)은 원통형 본체(402)의 총 길이 "M"의 약 3/4 길이 "L"을 갖는다. 관통 홀의 제 2 직경 "B"은 원통형 본체(402)의 제 1 표면(404)에서 스텝식 표면(412)이 형성된 전환점(410)으로 연장된다.
[0037] 도 5A는 여기에 설명된 일 실시예에 따른 잠금핀의 사시도이다. 도 5B는 도 5A의 잠금 핀(128)의 측면도이다. 도 5C는 도 5A의 잠금 핀(128)의 정면도이다. 잠금 핀(128)은 리프트 핀(120)에 의해 푸트(126)를 고정되게 커플링한다. 잠금 핀(128)은 제 1 단부(508)로 이어지는 제 1 테이퍼된 부분(504) 및 제 2 단부(510)로 이어지는 제 2 테이퍼된 부분(506)을 포함하는 원통형 본체(502)를 포함한다. 원통형 단부(502)의 직경"D"는 리프트 핀(120)의 관통 홀(312) 내에 피팅될 치수로 된다. 잠금 핀(128)의 길이는 관통 홀(408)의 제 2 직경 "B" 내에 피팅될 치수로 된다. 잠금 핀(128)은 전형적으로 세라믹, 스테인리스 스틸, 알루미늄 및 이들의 조합들로 구성된다.
[0038] 도 6A 내지 도 6D는 여기에 설명된 일 실시예에 따른 리프트 핀 조립체(114)의 설치를 보여주는 단면도이다. 리프트 핀 조립체(114)의 설치는 리프트 핀(120)이 기판 지지체(110)의 가이드 홀(118)에 위치되는 것으로 시작된다. 도 6B에서, 푸트(126)는 리프트 핀(120)의 쇼울더(306) 및 샤프트(202) 위로 슬라이딩 업(slide up)된다. 도 6C에서, 잠금 핀(128)은 리프트 핀(120)의 샤프트(202)의 관통 홀(312)로 삽입되고, 이에 의해 잠금 핀(128)을 캡쳐한다.
도 6D에서, 푸트(126)는 푸트(126)의 스탭식 표면(412)이 잠금 핀(128) 상에 위치되어, 모든것을 함께 잠금할 때까지 쇼울더(306) 및 샤프트(202) 아래로 슬라이된다.
[0039] 전술한 실시예에 따르면, 증가된 웨이퍼 위치 정밀도 및 반복성의 장점들을 갖는 리프트 핀 조립체가 제공된다. 리프트 핀 조립체는 또한 리프트 핀 및 푸트의 적절한 길이 대 직경 비율(L/D)에 의해 제공된 리프트 핀 안정성을 증가시켰다. 또한, 현재 시스템에서 리프트 핀 조립체의 설치는 전방으로 매우 바로 곧다.
[0040] 전술한 내용은 본 발명의 실시예들을 지향하는 반면, 다른 또는 추가적인 본 발명의 실시예들이 기본적인 범위로부터 벗어남없이 고안될 수 있고, 그 범위가 후속하는 청구범위에 의해 결정된다.
Claims (15)
- 기판 지지체에 대해 기판을 위치시키기 위한 리프트 핀 조립체로서,
리프트 핀 - 상기 리프트 핀은
핀 샤프트;
상기 기판을 지지하기 위해 상기 핀 샤프트의 제 1 단부와 커플링되는 핀 헤드; 및
상기 핀 샤프트의 제 2 단부와 커플링되는 쇼울더를 포함함 -;
상기 핀 샤프트와 슬라이딩되게 커플링되는 원통형 본체; 및
상기 원통형 본체가 상기 샤프트를 따라 슬라이딩되는 것을 방지하기 위한 잠금 핀을 포함하고,
상기 쇼울더가 상기 잠금 핀을 수용하기 위한 치수로 된 관통 홀을 갖는
리프트 핀 조립체.
- 제 1 항에 있어서,
상기 쇼울더가 상기 핀 샤프트의 직경보다 더 큰 직경을 갖는
리프트 핀 조립체.
- 제 1 항에 있어서,
상기 쇼울더가 상기 리프트 핀의 길이의 약 1/3 길이를 갖는
리프트 핀 조립체.
- 제 3 항에 있어서,
상기 관통 홀의 중심에서 상기 쇼울더의 단부까지 거리가 상기 쇼울더의 길이의 약 1/4인
리프트 핀 조립체.
- 제 1 항에 있어서,
상기 원통형 본체가 상기 원통형 본체의 바닥을 한정하는 제 1 표면; 및
상기 원통형 본체의 상단을 한정하는 제 2 표면을 포함하고,
상기 원통형 본체는 상기 리프트 핀의 쇼울더를 수용하기 위한 치수로 된 제 1 직경 및 상기 리프트 핀의 관통 홀 내로 삽입될 때 상기 리프트 핀 및 상기 잠금 핀의 쇼울더 모두를 수용하기 위한 치수로 된 제 2 직경을 구비한 관통 홀을 갖는
리프트 핀 조립체.
- 제 5 항에 있어서,
상기 원통형 본체가 상기 관통 홀의 제 1 직경과 상기 관통 홀의 제 2 직경 사이의 전환 포인트(transition point)에 형성된 스텝식 표면을 더 포함하고,
상기 스텝식 표면은 상기 잠금 핀이 상기 쇼울더의 관통형 홀에 삽입될 때 상기 잠금 핀 상에 위치하는
리프트 핀 조립체.
- 제 6 항에 있어서,
상기 제 1 직경을 갖는 관통 홀이 상기 원통형 본체의 제 2 표면으로부터 상기 원통형 본체를 부분적으로 통해 연장되고 상기 관통 홀의 제 2 직경이 상기 원통형 본체의 제 1 표면으로부터 상기 스텝식 표면이 형성된 상기 전환 포인트까지 연장되는
리프트 핀 조립체.
- 제 1 항에 있어서,
상기 핀 헤드는 플랫부(flat portion)가 상기 핀 헤드의 중심, 상단 영역에 위치되는 볼록 지지 표면을 갖는
리프트 핀 조립체.
- 제 8 항에 있어서,
상기 볼록 지지 표면 및 상기 플랫부가 전체적으로 원형 영역들인
리프트 핀 조립체.
- 기판을 조작하기 위한 기판 지지 조립체로서,
리프트 핀 조립체;
관통하여 배치된 복수의 가이드 홀들을 갖는 기판 지지체 - 각각 가이드 홀은 상기 리프트 핀 조립체의 리프트 핀을 수용하기 위한 것임 -;
리프트 플레이트; 및
상기 리프트 플레이트의 상승을 제어하기 위한 액츄에이터를 포함하고,
상기 리프트 핀 조립체는
리프트 핀 - 상기 리프트 핀이
핀 샤프트;
상기 기판을 지지하기 위해 상기 핀 샤프트의 제 1 단부와 커플링되는 핀 헤드; 및
상기 핀 샤프트의 제 2 단부와 커플링되는 쇼울더를 포함함-;
상기 핀 샤프트와 슬라이딩되게 커플링되는 원통형 본체; 및
상기 원통형 본체가 상기 샤프트를 따라 슬라이딩되는 것을 방지하기 위한 잠금 핀을 포함하고,
상기 쇼울더가 상기 잠금 핀을 수용하기 위한 치수로 된 관통 홀을 갖는
기판 지지 조립체.
- 제 10 항에 있어서,
상기 원통형 본체가 상기 원통형 본체의 바닥을 한정하는 제 1 표면; 및
상기 원통형 본체의 상단을 한정하는 제 2 표면을 포함하고, 상기 원통형 본체는 상기 리프트 핀의 쇼울더를 수용하기 위한 치수로 된 제 1 직경 및 상기 리프트 핀의 관통 홀 내로 삽입될 때 상기 리프트 핀 및 상기 잠금 핀의 쇼울더 모두를 수용하기 위한 치수로 된 제 2 직경을 구비한 관통 홀을 갖는
리프트 핀 조립체.
- 제 11 항에 있어서,
상기 원통형 본체가 상기 관통 홀의 제 1 직경과 상기 관통 홀의 제 2 직경 사이의 전환 포인트에 형성된 스텝식 표면을 더 포함하고,
상기 스텝식 표면은 상기 잠금 핀이 상기 쇼울더의 관통형 홀에 삽입될 때 상기 잠금 핀 상에 위치하는
리프트 핀 조립체.
- 제 12 항에 있어서,
상기 제 1 직경을 갖는 관통 홀이 상기 원통형 본체의 제 2 표면으로부터 상기 원통형 본체를 부분적으로 통해 연장되고 상기 관통 홀의 제 2 직경이 상기 원통형 본체의 제 1 표면으로부터 상기 스텝식 표면이 형성된 상기 전환 포인트까지 연장되는
리프트 핀 조립체.
- 제 10 항에 있어서,
상기 원통형 본체의 직경이 상기 핀 샤프트의 직경보다 더 큰
리프트 핀 조립체.
- 제 14 항에 있어서,
상기 리프트 핀 및 상기 원통형 본체가 세라믹 소재를 포함하는
리프트 핀 조립체.
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