KR102257661B1 - 유리 기판 지지용 지지핀 - Google Patents

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KR102257661B1
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Abstract

본 발명은 막대 형상으로 형성되는 지지부와, 지지부의 상부에 결합되어 유리 기판의 하면을 지지하는 헤드부 및 헤드부를 지지부에 고정하는 고정부를 포함하며, 헤드부는 그래파이트로 형성되며, 적어도 상기 유리 기판과 접촉되는 영역에 형성되는 박막층을 포함하는 유리 기판 지지용 지지핀을 개시한다.
본 발명의 유리 기판 지지용 지지핀은 유리 기판과 접촉되는 부분이 그래파이트의 표면에 파이로카본에 의한 박막층이 형성되므로 유리 기판의 하면에 스크래치가 발생되는 것을 감소시킬 수 있다.

Description

유리 기판 지지용 지지핀{Support Pin for Supporting Glass Substrate}
본 발명은 유리 기판과 같은 기판을 지지하는 지지핀에 관한 것이다.
평판 디스플레이 장치는 기판으로 유리 기판을 사용하며, 유리 기판의 표면에 형성되는 박막 트랜지스터를 포함하는 다양한 소자와 모듈을 포함한다. 상기 트랜지스터는 다결정 실리콘, 실리콘 산화물 또는 실리콘 질화물등을 포함하는 다양한 박막의 증착 및 식각과 같은 공정에 의하여 제조된다. 상기 박막의 증착은 복수의 공정 챔버에서 진행되며, 유리 기판은 공정의 진행에 따라 복수의 공정 챔버들 사이로 이송된다. 상기 유리 기판은 통상적으로 공정 챔버 내에 위치하는 지지판 또는 서셉터의 상면에 안착된다. 상기 공정 챔버는 유리 기판을 이송할 때 지지핀을 이용하여 유리 기판을 지지판의 상면과 이격시킨다. 상기 지지핀은 유리 기판의 하면을 지지하여 지지판의 상면에서 상부로 들어올린다. 상기 지지핀은 유리 기판의 하면과 지지판의 상면 사이에 로봇팔과 같은 이송 기구가 이동하는 공간을 형성한다.
상기 지지핀은 일반적으로 세라믹 또는 금속 재질로 형성되며, 유리 기판의 지지 과정에서 유리 기판과 마찰을 일으킨다. 상기 지지핀은 유리 기판과의 마찰에 의하여 유리 기판의 하면에 스크래치를 유발하며, 마모 입자를 발생시킬 수 있다.
본 발명은 유리 기판에 스크래치가 유발되는 것을 감소시킬 수 있는 유리 기판 지지용 지지핀을 제공하는 것으로 목적으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 유리 기판 지지용 지지핀은 막대 형상으로 형성되는 지지부와, 상기 지지부의 상부에 결합되어 유리 기판의 하면을 지지하는 헤드부 및 상기 헤드부를 상기 지지부에 고정하는 고정부를 포함하며, 상기 헤드부는 그래파이트로 형성되며, 적어도 상기 유리 기판과 접촉되는 영역에 형성되는 박막층을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 지지부는 상면에서 하부 방향으로 연장되는 홈 형상으로 형성되는 지지 수직 홈 및 상기 지지부의 일측의 외주면에서 상기 지지 수직 홈을 관통하여 타측의 외주면으로 개방되는 지지 수평 홀을 포함하며, 상기 헤드부는 블록 형상으로 형성되는 헤드 본체 및 상기 헤드 본체의 하부에 결합되는 기둥 형상으로 형성되어 상기 지지 수직 홈에 삽입되는 헤드 바를 포함하며, 상기 헤드 바는 상기 지지 수직 홈에 결합될 때 상기 지지 수평 홀과 관통하는 헤드 홀을 포함할 수 있다.
또한, 상기 고정부는 내부에 중심 축에 평행이며 일측과 타측으로 개방되는 본체 홀을 구비하는 관 본체 및 링 형상이며 상기 관 본체의 일측단에서 외주면에 수직한 방향으로 연장되어 형성되는 관 플랜지를 포함하는 고정 관 및 바 형상이며 상기 본체 홀에 삽입되는 바 본체 및 링 형상이며 상기 바 본체의 타측단에서 외주면 방향으로 연장되어 형성되는 바 플랜지를 포함하는 고정 바를 포함하며, 상기 고정 관은 상기 관 본체가 상기 지지 수평 홀의 일측을 통하여 헤드 홀의 내부로 삽입되어 헤드 바에 결합되고, 상기 관 플랜지가 상기 헤드 홀의 일측에 위치하며, 상기 고정 바는 바 본체가 상기 지지 수평 홀의 타측을 통하여 상기 관 본체의 본체 홀에 삽입되어 상기 고정 관에 결합되고, 상기 바 플랜지가 상기 헤드 홀의 타측에 위치하며, 상기 고정 바는 상기 바 본체의 일측단면에 형성되는 코킹 홈에 의하여 코킹되면서 상기 고정 관에 결합될 수 있다.
또한, 상기 바 본체는 일측단이 상기 관 본체의 일측단에서 돌출되는 길이로 형성될 수 있다.
또한, 상기 본체 홀은 일측단부에 내주면으로 개방되는 단턱 또는 내주면으로 경사지는 챔퍼를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 박막층은 10 ~ 30㎛의 두께로 형성될 수 있다.
또한, 상기 박막층은 상기 헤드 본체의 상면과 측면 및 상기 헤드 바의 외주면에 형성될 수 있다.
본 발명의 유리 기판 지지용 지지핀은 유리 기판과 접촉되는 부분이 그래파이트의 표면에 파이로카본에 의한 박막층이 형성되므로 유리 기판의 하면에 스크래치가 발생되는 것을 감소시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 유리 기판 지지용 지지핀은 헤드부가 지지부에 타이트하게 조립되므로 사용중에 분리되는 현상을 감소시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유리 기판 지지용 지지핀의 부분 수직 단면도이다.
도 2는 도 1의 헤드부에 대한 부분 수직 단면도이다.
도 3은 도 1의 헤드부에서 그래파이트와 박막층의 단면에 대한 SEM 사진이다.
도 4는 도 1의 고정부에 대한 확대 수직 단면도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 고정부의 확대 수직 단면도이다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 고정부의 확대 수직 단면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 따른 유리 기판 지지용 지지핀에 대하여 설명한다.
먼저, 본 발명의 실시예들에 따른 유리 기판 지지용 지지핀에 대하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유리 기판 지지용 지지핀의 부분 수직 단면도이다. 도 2는 도 1의 헤드부에 대한 부분 수직 단면도이다. 도 3은 도 1의 헤드부에서 그래파이트와 박막층의 단면에 대한 SEM 사진이다. 도 4는 도 1의 고정부에 대한 확대 수직 단면도이다. 도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 고정부의 확대 수직 단면도이다. 도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 고정부의 확대 수직 단면도이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 유리 기판 지지용 지지핀(100)은, 도 1 내지 도 4를 참조하면, 지지부(110)와 헤드부(120) 및 고정부(130)를 포함한다. 상기 유리 기판 지지용 지지핀(100)은 지지부(110)의 상부에 헤드부(120)가 고정부(130)에 의하여 고정된다. 상기 유리 기판 지지용 지지핀(100)은 헤드부(120)에서 적어도 유리 기판과 접촉되는 영역이 파이로카본(pyrocarbon)에 의한 박막층을 구비하므로 유리 기판의 하면에 스크래치가 발생되는 것을 감소시킬 수 있다. 또한, 상기 유리 기판 지지용 지지핀(100)은 고정부(130)에 의하여 헤드부(120)가 지지부(110)에 타이트하게 조립되므로 사용중에 분리되는 현상이 감소된다.
상기 지지부(110)는 지지 수직 홈(111) 및 지지 수평 홀(112)을 포함한다. 상기 지지부(110)는 소정 길이의 막대 형상으로 형성된다. 상기 지지부(110)는 수평 단면이 원형 또는 사각형, 오각형, 육각형과 같은 다각형인 형상으로 형성될 수 있다. 상기 지지부(110)는 상면이 평면인 형상으로 형성될 수 있다. 상기 지지부(110)는 지지핀이 장착되는 지지판의 구조에 따라 적정한 길이로 형성될 수 있다. 상기 지지부(110)는 알루미나 또는 실리콘카바이드와 같은 세라믹 재질로 형성될 수 있다. 상기 지지부(110)는 소정의 지지 직경으로 형성될 수 있다.
상기 지지 수직 홈(111)은 지지부(110)의 상면에서 하부 방향으로 연장되는 홈 형상으로 형성된다. 상기 지지 수직 홈(111)은 수평 단면이 원형 또는 사각형, 오각형, 육각형과 같은 다각형인 형상으로 형성될 수 있다. 상기 지지 수직 홈(111)은 지지부(110)의 상면에서 내측에 위치할 수 있다. 상기 지지 수직 홈(111)은 소정의 깊이로 형성될 수 있다. 상기 지지 수직 홈(111)은 소정의 직경 또는 폭으로 형성될 수 있다. 상기 상부 직경 또는 상부 폭은 지지부(110)의 상면의 직경 또는 폭보다 작게 형성된다.
상기 지지 수평 홀(112)은 지지 수직 홈(111)이 형성된 영역에서 지지부(110)를 관통하여 형성된다. 상기 지지 수평 홀(112)은 지지부(110)의 일측의 외주면에서 지지 수직 홈(111)을 관통하여 타측의 외주면으로 개방되어 형성된다. 상기 지지 수평 홀(112)은 지지 수직 홈(111)의 내주면에서 서로 반대 방향으로 연장되어 지지부(110)의 외주면으로 관통하여 형성된다.
상기 헤드부(120)는 헤드 본체(121) 및 헤드 바(125)를 포함한다. 상기 헤드부(120)는 헤드 바(125)가 지지부(110)의 지지 수평 홀(112)에 삽입되고 헤드 본체(121)의 하면이 지지부(110)의 상면에 안착되어 고정된다. 상기 헤드부(120)는 헤드 본체(121)와 헤드 바(125)가 일체로 형성될 수 있다. 상기 헤드부(120)는 전체적으로 볼트 형상으로 형성될 수 있다.
상기 헤드부(120)는 그래파이트(graphite) 재질로 형성될 수 있다. 또한, 상기 헤드부(120)는, 도 2와 도 3에서 보는 바와 같이, 그래파이트(120a)의 표면에 파이로카본(pyrocarbon)으로 이루어지는 박막층(120b)이 형성될 수 있다. 상기 박막층(120b)은 파이로카본이 증착되어 형성될 수 있다. 상기 박막층(120b)은 적어도 유리 기판이 접촉되는 영역에 형성될 수 있다. 예를 들면, 상기 박막층(120b)은 헤드 본체(121)의 상면을 포함하는 영역에 형성될 수 있다. 또한, 상기 박막층(120b)은 헤드 본체(121)의 상면과 측면을 포함하는 영역에 형성될 수 있다. 또한, 상기 박막층(120b)은 헤드 바(125)의 외주면을 포함하는 영역에 형성될 수 있다.
상기 박막층(120b)은 파이로카본이 증착되어 형성되므로 그래파이트(120a)보다 낮은 표면 경도를 가지며 유리 기판에 스크래치가 발생되는 것을 최소화시킬 수 있다. 또한, 상기 박막층(120b)은 그래파이트(120a)의 표면을 감싸도록 형성되므로 그래파이트(120a)에 의한 이물 입자가 유발되는 것을 방지할 수 있다.
상기 박막층(120b)은 10 ~ 30㎛의 두께로 형성될 수 있다. 상기 박막층(120b)의 두께가 너무 얇으면 박막층(120b)이 균일하게 형성되지 않아 그래파이트(120a)가 부분적으로 노출될 수 있다. 이러한 경우에 상기 헤드부(120)는 노출되는 그래파이트(120a)에 의하여 이물 입자를 발생시킬 수 있다. 상기 박막층(120b)의 두께가 너무 두꺼우면 불필요하게 공정 비용이 증가될 수 있다.
상기 헤드 본체(121)는 소정의 높이와 직경을 갖는 블록 형상으로 형성될 수 있다. 상기 헤드 본체(121)는 원형 블록으로 형성될 수 있다. 또한, 상기 헤드 본체(121)는 사각형, 오각형 또는 육각형과 같은 다각형 블록으로 형성될 수 있다. 상기 상기 헤드 본체(121)는 지지부(110)의 직경보다 큰 직경 또는 폭으로 형성될 수 있다.
상기 헤드 바(125)는 헤드 홀(126)을 포함한다. 상기 헤드 바(125)는 원기둥 또는 사각기둥, 오각 기둥, 육각 기둥과 같은 다각 기둥으로 형성될 수 있다. 상기 헤드 바(125)는 지지 수직 홈(111)의 상부 직경에 대응되는 직경으로 형성된다. 또한, 상기 헤드 바(125)는 지지 수직 홈(111)의 깊이보다 작은 높이로 형성된다.
상기 헤드 홀(126)은 헤드 바(125)의 중앙을 관통하는 홀 형상으로 형성된다. 상기 헤드 홀(126)은 지지 수평 홀(112)의 내경보다 작은 내경으로 형성된다. 상기 헤드 홀(126)은 헤드 바(125)의 일측 외주면에서 중앙을 관통하여 타측 외주면으로 관통되어 형성된다. 상기 헤드 홀(126)은 헤드 바(125)가 지지 수직 홈(111)에 결합되었을 때 지지 수평 홀(112)에 대응되는 위치에 형성된다. 따라서, 상기 헤드 홀(126)은 헤드 바(125)가 지지 수직 홈(111)에 결합되었을 때 지지 수평 홀(112)과 관통되어 형성된다. 상기 헤드 홀(126)은 지지 수평 홀(112)보다 작은 내경으로 형성되므로 헤드 바(125)가 지지 수직 홈(111)에 결합되면 헤드 바(125)의 외주면이 지지 수평 홀(112)에 노출된다. 또한, 상기 헤드 홀(126)과 지지 수평 홀(112)의 사이에는 단턱이 형성된다.
상기 고정부(130)는 고정 관(131) 및 고정 바(135)을 포함한다. 상기 고정부(130)는 지지 수평 홀(112)과 헤드 홀(126)을 관통하여 지지부(110)와 헤드 바(125)에 결합되며, 헤드부(120)를 지지부(110)에 고정한다. 상기 고정부(130)는 모두 알루미늄 재질로 형성될 수 있다.
상기 고정 관(131)은 관 본체(132) 및 관 플랜지(134)를 포함할 수 있다. 상기 고정 관(131)은 지지 수평 홀(112)과 헤드 홀(126)을 관통하여 지지부(110)와 헤드 바(125)에 결합된다. 상기 고정 관(131)은 지지부(110)의 지지 수평 홀(112)의 일측을 통하여 삽입되어 헤드 홀(126)을 관통하여 지지 수평 홀(112)의 타측으로 유입된다.
상기 관 본체(132)는 내부가 중공이고, 일측과 타측으로 개방되며, 소정의 내경과 외경을 갖는 관 형상으로 형성된다. 즉, 상기 관 본체(132)는 일측에서 타측으로 개방되는 본체 홀(133)이 형성된다. 상기 관 본체(132)의 외경은 헤드 홀(126)의 내경에 대응되는 직경으로 형성될 수 있다. 상기 관 본체(132)는 헤드 바(125)의 직경보다 긴 길이로 형성될 수 있다. 상기 관 본체(132)는 지지 수평 홀(112)의 일측을 통하여 헤드 홀(126)의 내부로 삽입되어 헤드 바(125)에 결합된다. 상기 관 본체(132)는 헤드 홀(126)에 삽입될 때 외주면이 헤드 홀(126)의 내주면에 접촉될 수 있다. 상기 관 본체(132)는 헤드 홀(126)에 삽입된 후에 유격이 최소화되어 움직이지 않는다. 상기 관 본체(132)는 헤드 홀(126)에 삽입될 때 양측단이 헤드 바(125)의 외주면으로 노출된다.
한편, 상기 관 본체(132)는, 도 5를 참조하면, 일측단부에 내주면으로 개방되는 단턱(132a)을 더 구비할 수 있다. 상기 단턱(132a)은 일측단부에서 소정 깊이로 형성될 수 있다. 상기 단턱(132a)은 고정 바(135)가 코킹될 때 고정 바(135)의 변형되는 부분이 유입되는 공간을 제공한다. 따라서, 상기 관 본체(132)는 고정 바(135)가 분리되지 않도록 고정 바(135)를 고정할 수 있다.
또한, 상기 관 본체(132)는, 도 6을 참조하면, 일측단부에서 내주면으로 경사지는 챔퍼(132a)를 더 구비할 수 있다. 상기 챔퍼(132a)는 일측단부에서 소정 깊이로 형성될 수 있다. 상기 챔퍼(132a)는 고정 바(135)가 코킹될 때 고정 바(135)의 변형되는 부분이 유입되는 공간을 제공한다. 따라서, 상기 관 본체(132)는 고정 바(135)가 분리되지 않도록 고정 바(135)를 고정할 수 있다.
상기 본체 홀(133)은 중심 축에 평행이며 일측과 타측으로 개방되어 형성된다. 상기 본체 홀(133)은 중심 축에 수직인 평면이 원형 또는 사각형, 오각형, 육각형과 같은 다각형인 형상으로 형성될 수 있다. 상기 본체 홀(133)은 고정 바(135)가 삽입되어 결합되는 공간을 제공한다.
상기 관 플랜지(134)는 링 형상이며, 관 본체(132)의 일측단에서 외주면에 수직한 방향으로 연장되어 형성된다. 상기 관 플랜지(134)는 지지 수평 홀(112)의 내경보다 작은 외경으로 형성된다. 상기 관 플랜지(134)는 관 본체(132)가 지지 수평 홀(112)과 헤드 홀(126)에 삽입될 때 헤드 홀(126)의 일측에 위치한다. 상기 관 플랜지(134)는 헤드 바(125)의 외주면에 접촉되거나 외주면으로부터 이격될 수 있다. 따라서, 상기 관 플랜지(134)는 관 본체(132)가 헤드 홀(126)에 삽입되면서 일측이 헤드 바(125)의 외주면에 고정되도록 한다.
상기 관 플랜지(134)는 지지 수평 홀(112)의 내경보다 작은 외경으로 형성되므로, 지지 수평 홀(112)의 내부로 용이하게 삽입될 수 있다. 상기 관 플랜지(134)의 외경이 지지 수평 홀(112)의 내경에 대응되는 내경으로 형성되는 경우에 지지 수평 홀(112)에 삽입이 용이하지 않을 수 있다. 예를 들면, 상기 고정 관(131)이 지지부(110)와 헤드 바(125)에 삽입될 때 관 본체(132)는 헤드 고정부(130)의 헤드 홀(126)에 일치되어야 하고, 관 플랜지(134)는 지지부(110)의 지지 수평 홀(112)에 일치되어야 한다. 즉, 상기 관 본체(132)와 관 플랜지(134)가 각각 헤드 홀(126)과 지지 수평 홀(112)에 동시에 일치되어야 하므로, 결합에 어려움이 있을 수 있다.
상기 고정 바(135)는 바 본체(136) 및 바 플랜지(138)를 포함할 수 있다. 상기 고정 바(135)는 지지부(110)의 지지 수평 홀(112)의 타측을 통하여 삽입되어 관 본체(132)의 타측에서 내부로 유입되어 고정 관(131)에 결합된다. 상기 고정 바(135)는 관 본체(132)의 일측으로 소정 길이로 노출될 수 있다.
상기 바 본체(136)는 코킹 홈(137)을 포함할 수 있다. 상기 바 본체(136)는 바 형상이며 본체 홀(133)에 대응되는 형상과 길이로 형성된다. 상기 바 본체(136)는 본체 홀(133)의 길이에 대응되는 길이 또는 더 긴 길이로 형성될 수 있다. 따라서, 상기 바 본체(136)는 관 본체(132)에 삽입되었을 때 일측이 관 본체(132)의 일측에서 돌출되는 길이로 형성될 수 있다. 상기 바 본체(136)는 중심 축에 수직인 평면이 원형 또는 사각형, 오각형, 육각형과 같은 다각형인 형상으로 형성될 수 있다. 상기 바 본체(136)는 본체 홀(133)의 내경에 대응되는 직경으로 형성될 수 있다. 상기 바 본체(136)는 지지 수평 홀(112)의 타측을 통하여 관 본체(132)의 본체 홀(133)에 삽입되어 결합된다. 이때, 상기 바 본체(136)는 지지부(110)의 지지 수평 홀(112)의 타측을 통하여 삽입된다. 상기 바 본체(136)는 본체 홀(133)에 삽입될 때 외주면이 본체 홀(133)의 내주면에 접촉될 수 있다. 또한, 상기 바 본체(136)는 본체 홀(133)에 삽입된 후에 유격이 최소화되어 움직이지 않는다.
상기 코킹 홈(137)은 바 본체(136)의 일측단면에 소정 깊이의 홈 형상으로 형성된다. 상기 바 본체(136)는 코킹 홈(137)에 의하여 일측단부가 코킹되어 관 본체(132)에 결합된다. 상기 코킹 홈(137)은 바 본체(136)의 일측단부가 용이하게 코킹되어 관 본체(132)에 결합되도록 한다. 또한, 상기 바 본체(136)의 길이가 관 본체(132)의 길이보다 길게 형성되는 경우에 코킹 과정에서 바 본체(136)의 일측단부가 용이하게 변형되므로 관 본체(132)에 보다 확실하게 고정될 수 있다.
상기 바 플랜지(138)는 링 형상이며, 바 본체(136)의 타측단에서 외주면 방향으로 연장되어 형성된다. 상기 바 플랜지(138)는 지지 수평 홀(112)의 내경보다 작은 외경으로 형성된다. 또한, 상기 바 플랜지(138)는 헤드 홀(126)의 내경보다 큰 외경으로 형성된다. 상기 바 플랜지(138)는 바 본체(136)가 지지 수평 홀(112)과 본체 홀(133)에 삽입될 때 관 본체(132)의 타측단에 접촉된다. 따라서, 상기 바 플랜지(138)는 바 본체(136)가 본체 홀(133)에 삽입되는 깊이를 제한한다. 또한, 상기 바 플랜지(138)는 헤드 홀(126)의 내경보다 큰 외경으로 형성되므로 헤드 홀(126)로 삽입되지 않으며, 관 본체(132)가 헤드 홀(126)로부터 분리되는 것을 방지한다.
다음은 본 발명의 일 실시예에 따른 유리 기판 지지용 지지핀의 작용에 대하여 설명한다.
상기 유리 기판 지지용 지지핀(100)은 복수 개가 지지판에 형성되는 복수 개의 관통 홀을 통하여 상하로 이동하며 지지판의 상면에 안착되는 유리 기판을 지지하여 상하로 이송한다.
상기 유리 기판 지지용 지지핀(100)은 아래와 같은 과정으로 조립될 수 있다. 먼저, 상기 헤드부(120)가 지지부(110)의 지지 수직 홈(111)으로 삽입된다. 이때, 상기 지지부(110)의 지지 수평 홀(112)과 헤드부(120)의 헤드 홀(126)이 서로 관통되도록 위치한다.
다음으로, 상기 고정관은 관 본체(132)가 지지 수평 홀(112)의 일측을 통하여 헤드 홀(126)을 관통하도록 삽입된다. 상기 관 플랜지(134)는 관 본체(132)가 삽입되는 깊이를 제한한다. 상기 관 플랜지(134)는 헤드 바(125)의 외주면에 접촉한다.
다음으로, 상기 고정 바(135)는 바 본체(136)가 지지 수평 홀(112)의 타측을 통하여 관 본체(132)의 본체 홀(133)에 삽입된다. 상기 바 플랜지(138)는 바 본체(136)가 삽입되는 깊이를 제한한다. 상기 바 플랜지(138)는 관 본체(132)의 타측단에 접촉한다. 상기 고정 바(135)의 코킹 홈(137)을 이용하여 바 본체(136)를 관 본체(132)에 코킹하여 바 본체(136)가 관 본체(132)로부터 분리되지 않도록 한다. 또한, 상기 바 플랜지(138)는 헤드 홀(126)의 내경보다 큰 외경으로 형성되므로 관 본체(132)가 헤드 홀(126)에서 분리되지 않도록 한다.
상기 헤드부(120)는 고정 관(131)과 고정 바(135)에 의하여 지지부(110)에 타이트하게 결합되므로 사용 중에 분리되지 않는다. 또한, 상기 고정 관(131)과 고정 바(135)는 코킹에 의하여 서로 결합되므로 서로 분리되지 않는다.
또한, 상기 유리 기판 지지용 지지핀(100)은 유리 기판과 접촉되는 영역이 파이로카본에 의한 박막층(120b)이 형성되므로 상부에 지지되는 유리 기판에 스크래치가 발생되는 것을 최소화시킬 수 있다.
지금까지 본 발명에 대하여 도면에 도시된 바람직한 실시예들을 중심으로 상세히 살펴보았다. 이러한 실시예들은 이 발명을 한정하려는 것이 아니라 예시적인 것에 불과하며, 한정적인 관점이 아니라 설명적인 관점에서 고려되어야 한다. 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 전술한 설명이 아니라 첨부된 청구범위의 기술적 사상에 의해서 정해져야 할 것이다.
100: 유리 기판 지지용 지지핀
110: 지지부 111: 지지 수직 홈
112: 지지 수평 홀 120: 헤드부
121: 헤드 본체 125: 헤드 바
126: 헤드 홀 130: 고정부
131: 고정 관 132: 관 본체
133: 본체 홀 134: 관 플랜지
135: 고정 바 136: 바 본체
137: 코킹 홈 138: 바 플랜지

Claims (7)

  1. 막대 형상으로 형성되는 지지부와,
    상기 지지부의 상부에 결합되어 유리 기판의 하면을 지지하는 헤드부 및
    상기 헤드부를 상기 지지부에 고정하는 고정부를 포함하며,
    상기 헤드부는 그래파이트로 형성되며, 적어도 상기 유리 기판과 접촉되는 영역에 형성되는 박막층을 포함하며,
    상기 지지부는 상면에서 하부 방향으로 연장되는 홈 형상으로 형성되는 지지 수직 홈 및 상기 지지부의 일측의 외주면에서 상기 지지 수직 홈을 관통하여 타측의 외주면으로 개방되는 지지 수평 홀을 포함하며,
    상기 헤드부는 블록 형상으로 형성되는 헤드 본체 및 상기 헤드 본체의 하부에 결합되는 기둥 형상으로 형성되어 상기 지지 수직 홈에 삽입되는 헤드 바를 포함하며,
    상기 헤드 바는 상기 지지 수직 홈에 결합될 때 상기 지지 수평 홀과 관통하는 헤드 홀을 포함하며,
    상기 고정부는
    내부에 중심 축에 평행이며 일측과 타측으로 개방되는 본체 홀을 구비하는 관 본체 및 링 형상이며 상기 관 본체의 일측단에서 외주면에 수직한 방향으로 연장되어 형성되는 관 플랜지를 포함하는 고정 관 및
    바 형상이며 상기 본체 홀에 삽입되는 바 본체 및 링 형상이며 상기 바 본체의 타측단에서 외주면 방향으로 연장되어 형성되는 바 플랜지를 포함하는 고정 바를 포함하며,
    상기 고정 관은 상기 관 본체가 상기 지지 수평 홀의 일측을 통하여 헤드 홀의 내부로 삽입되어 상기 헤드 바에 결합되고, 상기 관 플랜지가 상기 헤드 홀의 일측에 위치하며,
    상기 고정 바는 상기 바 본체가 상기 지지 수평 홀의 타측을 통하여 상기 관 본체의 본체 홀에 삽입되어 상기 고정 관에 결합되고, 상기 바 플랜지가 상기 헤드 홀의 타측에 위치하며,
    상기 고정 바는 상기 바 본체의 일측단면에 형성되는 코킹 홈에 의하여 코킹되면서 상기 고정 관에 결합되는 것을 특징으로 하는 유리 기판 지지용 지지핀.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 바 본체는 일측단이 상기 관 본체의 일측단에서 돌출되는 길이로 형성되는 것을 특징으로 하는 유리 기판 지지용 지지핀.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 본체 홀은 일측단부에 내주면으로 개방되는 단턱 또는 내주면으로 경사지는 챔퍼를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 지지용 지지핀.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 박막층은 10 ~ 30㎛의 두께로 형성되는 것을 특징으로 하는 유리 기판 지지용 지지핀.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 박막층은 상기 헤드 본체의 상면과 측면 및 상기 헤드 바의 외주면에 형성되는 것을 특징으로 하는 유리 기판 지지용 지지핀.
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KR200493645Y1 (ko) * 2015-03-31 2021-05-07 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 비-스크래칭의 내구성 기판 지지 핀

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