KR20110021779A - 태양전지 검사장치 및 검사장치용 반송장치 - Google Patents

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KR20110021779A
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미츠히로 시모토마이.
후미노부 바바
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닛신보 홀딩스 가부시키 가이샤
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Abstract

태양전지에 순방향의 전류를 흘려보내어 EL 발광시키는 검사장치이고, 구조가 간단하고 저렴한 태양전지 검사장치, 및 라미네이트 처리 전의 피측정물인 태양전지의 구성부재를 적층한 상태로 상기 검사장치에 반송할 때에 피측정물인 태양전지의 구성부재의 위치 변동이 발생하지 않는 반송장치를 제공한다.
상면에 개구부(또는, 투명판)(112)를 구비하는 암실(110)과, 상기 암실의 상면(111)에 마련되어 피측정물을 재치하는 지지수단과, 상기 암실(110)의 내부에 마련된 카메라(120)를 구비하는 태양전지 검사장치에, 상기 개구부 및 상기 개구부(112)와 상기 지지수단에 재치된 상기 태양전지의 경계의 틈으로부터 상기 암실 내에 들어오는 광을 차광하기 위한 차광 커버를 마련하였다. 또한, 상기 검사장치에 있어서, 태양전지의 구성부재를 라미네이트 처리하기 전에 적층한 상태로 상기 검사장치에 반송하는 반송장치를, 반송하는 태양전지의 상기 구성부재인 투명기판 등을, 그 두께 사이즈보다 낮은 벽부를 구비하는 복수의 반송부재를 엔드리스 형태로 접속하고, 반송 방향에 대하여 대칭으로 한 쌍(2열) 마련하여 반송/가이드하는 것에 의해 반송중에 태양전지의 구성부재가 변동하지 않도록 하였다.

Description

태양전지 검사장치 및 검사장치용 반송장치{SOLAR CELL EXAMINATION APPARATUS AND TRANSFER DEVICE FOR EXAMINATION DEVICES}
본 발명은 태양전지 셀, 태양전지 셀을 일렬로 접속한 스트링, 스트링을 평행하게 복수로 배치한 태양전지 패널 등, 태양전지 일반의 성능을 검사하는 장치 및 그 검사장치에 사용하는 반송장치에 관한 것이다.
태양 에너지의 이용방법으로서, 실리콘형 태양전지가 알려져 있다. 태양전지의 제조에 있어서는, 태양전지가 목적의 발전 능력을 구비하고 있는지 여부의 성능평가가 중요하다. 성능평가에는 통상, 출력 특성의 측정이 시행된다.
출력 특성은, 광 조사하에서 태양전지의 전류전압특성을 측정하는 광전변환 특성으로 진행된다. 광원으로서는, 태양광이 바람직하지만, 날씨에 따라 조사 강도가 변화되기 때문에, 솔라 시뮬레이터가 사용되고 있다. 솔라 시뮬레이터에서는, 태양광 대신에 제논램프나 메탈핼라이드램프 등을 사용하고 있다. 또한, 이들의 광원을 장시간 점등하고 있으면, 온도상승 등에 의해 광량이 변화한다. 따라서, 이들 램프의 플래시 광을 사용하고, 횡축을 전압, 종축을 전류로 하여, 수집한 데이터를 플롯하는 것에 의해 태양전지의 출력 특성곡선을 얻고 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조).
솔라 시뮬레이터와 다른 방법으로서, 특허문헌 2에는, 다결정 실리콘형 태양전지 소자에 대하여 순방향으로 전압을 인가하는 것에 의해, 일렉트로루미네슨스(EL)를 발생시키는 방법을 제안하고 있다. 태양전지 소자로부터 발광되는 EL를 관찰하는 것에 의해, 전류밀도분포를 알 수 있고, 전류밀도분포의 불균일에 근거하여 태양전지 소자의 결함을 알 수 있다. 즉, 발광하지 않는 부분이 결함부분인 것으로 판단할 수 있고, 이 결함부분의 면적이 미리 정해진 양보다 적으면, 소정의 발전 능력을 구비하는 것으로 판단할 수 있게 된다.
도 15는 특허문헌 2에 기재된 검사장치의 구성을 모식적으로 나타내는 도면이다. 검사장치(10)는 암실(11)과, 당해 암실(11)의 상부에 마련된 CCD 카메라(12)와, 암실(11)의 바닥면에 재치된 태양전지 셀(13)에 전류를 흘려보내는 전원(14)과, CCD 카메라(12)로부터의 화상 신호를 처리하는 화상 처리장치(15)로 구성되어 있다.
암실(11)에는 창(11a)이 있고, 여기에 CCD 카메라(12)의 파인더(12a)가 있어, 여기로부터 육안으로 관측하는 것으로, CCD 카메라(12)의 촬영 화상을 확인할 수 있다. 화상 처리장치(15)로서는 퍼스널 컴퓨터를 사용하고 있다.
[특허문헌 1] 일본특허공개 2007-88419 [특허문헌 2] WO/2006/059615
도 15에 나타내는 검사장치(10)는, 태양전지 셀(13)을 밑에 놓고 위에서 카메라로 촬영하는 것이지만, 태양전지 셀(13)로부터 발광되는 EL은 1,000㎚로부터 1,300㎚의 파장인 미약한 광이며, 암실(11)이 아니면 검지할 수 없다. 피측정물이 한 장의 태양전지 셀이면, 100㎟ 정도이므로, 암실(11)도 작은 것이어도 상관없다.
그러나, 태양전지의 경우 2m×1m 정도의 크기가 되고, 암실(11)도 이를 수용할 수 있는 크기가 필요하다. 또한, 피측정물인 태양전지는, 암실 내에 들이지 않으면 카메라(12)로 촬영할 수 없으므로, 암실에 태양전지의 출입이 가능한 도어(door)를 마련해야 한다. 검사장치를 이러한 암실 내에 반입하는 구성으로 하면, 설치한 도어가 닫혔을 경우의 차광성도 확보해야 한다. 또한, 검사장치에 반입된 태양전지의 위치 결정부재나 반송 가이드부재도 암실 내에 마련할 필요가 있다. 또한, 태양전지에 전류를 흘려보내기 위한 통전수단도 암실 내에 마련할 필요가 있다. 이와 같이 구조적으로 복잡해지고, 고가로 된다.
나아가, 이러한 검사장치를 태양전지 제조 라인의 일 장치로서 도입하는 경우 아래와 같은 문제가 발생한다. 피측정물인 태양전지의 대형화에 따라, 태양전지 전체를 카메라로 촬영하여 검사하는 경우에, 그 카메라를 태양전지보다 하방에 마련한 경우 태양전지와 카메라 사이의 거리를 길게 설정할 필요가 있다. 따라서 제조 라인에 있어서의 태양전지의 패스라인(공장 바닥면으로부터 태양전지를 반송하는 위치까지의 높이 사이즈)을 통일하고자 하면, 이 검사장치를 설치하는 장소만 공장 바닥면을 굴삭하여 설치해야 하는 경우도 있다. 따라서 장치를 도입하는 경우의 부대 비용이 고가로 된다.
또한, 이러한 검사장치를 태양전지 제조 라인의 일 장치로서 도입하는 경우 아래와 같은 요구가 있다. 피측정물인 태양전지를 구성하는 부재인 투명기판/태양전지 셀(이하, "태양전지 셀"이란 기재는 태양전지 셀을 직렬로 접속한 스트링, 나아가 스트링을 복수 열로 접속한 패널도 포함한다.)/충전재/이면재를 적층하여 라미네이트 처리하기 전에 상기 검사장치에 반송하여 검사하고자 하는 요구이다. 태양전지는 대형화되는 추세이고 2m×1m 이상의 크기가 된다. 후술하지만 라미네이트 처리하기 전의 피측정물은 최 상면의 이면재가 최 하면의 투명기판/태양전지 셀/충전재를 덮고 투명기판보다 외측으로 튀어나와 적층되어 있다. 따라서 상기 검사장치로 반송할 때에 이면재가 장치의 구성부재에 접촉되면, 적층된 태양전지의 구성부재는 상호 위치가 변동하게 된다. 또한, 이러한 반송중의 트러블에 의해 스트링이나 태양전지 패널을 구성하는 셀의 상호 위치도 변동하게 되고, 태양전지 셀의 정확한 결함검사를 할 수 없게 되어, 후 공정의 라미네이트 처리에도 지장을 초래하게 된다.
본 발명은 이러한 실정에 비추어 이루어진 것으로, 태양전지에 순방향의 전류를 흘려보내어 EL 발광시키는 검사장치이고, 구조가 간단하고 저렴한 태양전지 검사장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 또한, 본 발명은 라미네이트 처리 전의 피측정물인 태양전지의 구성부재를 적층한 상태로 상기 검사장치에 반송할 때에 피측정물인 태양전지의 구성부재의 위치 변동이 발생하지 않는 반송장치를 제공하는 것을 제 2의 목적으로 한다.
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 태양전지 검사장치는, 상면에 개구부를 구비하는 암실과, 당해 암실의 상기 상면에 마련되어 피측정물인 태양전지를 재치하는 지지수단과, 상기 암실의 내부에 마련된 카메라를 구비하는 태양전지 검사장치이고, 상기 개구부 및 상기 개구부와 상기 지지수단상에 재치된 상기 태양전지의 경계의 틈으로부터 상기 암실 내에 들어오는 광을 차광하기 위한 차광 커버를 구비한 것을 특징으로 하고 있다.
또한, 상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 태양전지 검사장치는, 평평한 상면을 구비하는 암실과, 당해 암실의 상기 상면에 마련되어 피측정물인 태양전지를 재치하는 투명판과, 상기 암실의 내부에 마련된 카메라를 구비하는 태양전지 검사장치이고, 상기 투명판 및 상기 투명판과 상기 투명판상에 재치된 상기 태양전지의 경계의 틈으로부터 상기 암실 내에 들어오는 광을 차광하기 위한 차광 커버를 구비한 것을 특징으로 하고 있다.
상기 검사장치의 차광 커버는, 그 측면에 피측정물인 태양전지를 반입/반출하기 위한 개폐식 도어를 마련한 구성으로 할 수도 있고, 또한, 차광 커버의 상면에 개폐식 도어를 마련한 구성으로 할 수도 있다.
상기 검사장치는, 그 촬영용 카메라의 이동기구를 마련한 구성으로 할 수도 있고, 검사장치의 상기 암실의 내부에 위치하고 상기 암실의 상면에 대하여 경사지게 반사판을 마련한 구성으로 할 수도 있다.
상기 문제를 해결하기 위한 본 발명의 태양전지 검사장치용 반송장치는, 평평한 상면을 구비하는 암실과, 당해 암실의 상기 상면에 마련되어 피측정물인 태양전지를 재치하는 투명판과, 피측정물의 이미지를 촬영하는 카메라를 구비하는 것을 특징으로 하는 태양전지 검사장치에 있어서, 태양전지의 구성부재를 라미네이트 처리하기 전에 적층한 상태로 상기 검사장치에 반송하는 반송장치이고, 반송하는 태양전지의 상기 구성부재인 투명기판 등을, 그 두께 사이즈보다 낮은 벽부를 구비하는 복수의 반송부재를 엔드리스 형태로 접속한 반송 가이드부를, 반송 방향에 대하여 대칭으로 한 쌍(2열) 마련하고, 상기 벽부로 상기 투명기판 등을 가이드하여 반송하는 것을 특징으로 하고 있다.
또한, 반송하는 태양전지의 상기 구성부재인 투명기판 등을, 그 두께 사이즈보다 낮은 벽부를 구비하는 엔드리스 형태의 띠 모양부재를 구비하는 반송 가이드부를 반송 방향에 대하여 대칭으로 한 쌍(2열) 마련하고, 상기 벽부로 상기 투명기판 등을 가이드하여 반송하는 구성으로 할 수도 있다.
또한, 반송하는 태양전지의 구성부재인 상기 투명기판 등의 폭 사이즈에 상응하여 상기 반송장치의 반송 가이드부의 반송부재 또는 띠 모양부재의 벽부의 위치를 변경 가능하도록 한 구성으로 할 수도 있다.
본 발명의 태양전지 검사장치는, 암실의 외측에서 암실의 상면의 투명판상에 피측정물인 태양전지를 재치한 경우, 차광 커버에 의해 암실의 상면과 피측정물인 태양전지의 경계의 틈으로부터 광을 차폐할 수 있어, 암실 내에 있는 카메라가 화상을 촬영할 수 있다. 촬영시에는, 태양전지에 전류를 흘려놓으므로, 태양전지는 EL 발광을 하고 있다. 이 발광 상태를 카메라로 촬영하고, 카메라에 접속된 화상 처리장치로 분석하는 것에 의해, 태양전지의 결함의 유무를 알 수 있다.
본 발명의 검사장치의 차광 커버의 상면에 개폐식 도어를 마련하였으므로, 태양전지 셀에 순방향의 전류를 흘려보내는 경우에 그 태양전지의 전극에 대한 커넥터의 접속을 쉽게 할 수 있다. 또한, 본 검사장치의 차광 커버의 측면에 개폐식 도어를 마련하였으므로, 피측정물인 태양전지를 장치 내에 쉽게 반입/반출하는 것이 가능하게 되었다.
또한, 본 발명의 검사장치의 차광 커버에 의해, 태양전지 제조 라인에 설치한 경우에 피측정물의 반입/반출이나 태양전지의 전극에 커넥터를 접속하는 작업을 자동화하는 것이 쉽게 되었다.
태양전지는, 암실의 밖에서 암실의 상면에 재치하는 것으로 검사할 수 있어, 피측정물로서의 태양전지를 암실에 출입시키기 위한 도어를 마련할 필요가 없다. 그 때문에, 암실을 소형화할 수 있고, 그 구조를 간단하게 할 수 있다.
특히, 상기 암실의 상면에 대하여 경사지게 반사판을 마련하고 있으므로, 카메라를 암실의 측면에 배치할 수 있다. 따라서 피측정물인 태양전지가 대형화하여도, 암실의 높이를 낮게 할 수 있다. 이에 의해 제조 라인의 패스 라인을 본 발명의 검사장치의 전 공정이나 후 공정과 통일할 수 있다.
더욱이, 태양전지의 경우, 제조 라인(라미네이트장치 등의 제조장치 등)에서는, 수광면을 아래로 하여 반송된다. 따라서 본 발명의 검사장치를 암실의 상면에 피측정물인 태양전지의 지지수단이나 암실의 상면에 투명판을 마련하는 구성으로 하는 것에 의해, 태양전지를 반전시키지 않고 본 검사장치에 재치할 수 있다.
본 발명의 태양전지 검사장치용 반송장치에 의하면, 라미네이트 처리하기 전의 태양전지의 구성부재를 적층한 상태로 상기 검사장치에 반송할 때에, 구성부재가 반송장치의 다른 부재에 접촉되어 상호 위치가 변동하지 않는다.
따라서 라미네이트 처리 전에도 태양전지 셀의 결함을 정상적으로 검사할 수 있음과 함께, 후 공정의 라미네이트 처리에 지장을 초래하지 않는다.
도 1은 본 발명의 태양전지 검사장치를 나타내는 평면도이다.
도 2는 본 발명의 태양전지 검사장치를 나타내는 정면도이다.
도 3은 본 발명의 태양전지 검사장치를 나타내는 좌측면도이다.
도 4는 본 발명의 태양전지 검사장치의 차광 커버의 설명도로서, (a)는 평면도이고, (b)는 정면도이다.
도 5는 본 발명의 태양전지 검사장치의 차광 커버의 설명도로서, (a)는 피측정물의 반입 방향(A 방향)에서 본 측면도이고, (b)는 피측정물의 반출 방향(B 방향)에서 본 측면도이다.
도 6은 본 발명의 태양전지 검사장치의 차광 커버의 평면도이며, 상면의 개폐식 도어가 열린 상태의 설명도이다.
도 7은 본 발명의 검사장치로 측정하는 태양전지 구성의 설명도로서, (a)는 태양전지 내부의 태양전지 셀을 알 수 있도록 기재한 평면도이고, (b)는 그 단면도이다.
도 8은 암실 내에 반사판을 마련한 본 발명의 태양전지 검사장치를 나타내는 평면도이다.
도 9는 암실 내에 반사판을 마련한 본 발명의 태양전지 검사장치를 나타내는 좌측면도이다.
도 10은 본 발명의 검사장치에 사용하는 카메라 이동기구의 설명도로서, (a)는 평면도이고, (b)는 정면도이고, (c)는 우측면도이다.
도 11은 본 발명의 반송장치의 제 1 실시예의 반송 방향에서 본 설명도이다.
도 12는 본 발명의 반송장치의 제 1 실시예의 반송 방향과 직각인 방향에서 본 설명도이다.
도 13은 본 발명의 반송장치의 제 2 실시예의 반송 방향에서 본 설명도이다.
도 14는 본 발명의 검사장치로 측정하는 태양전지 구성의 설명도로서, (a)는 태양전지 내부의 태양전지 셀을 알 수 있도록 기재한 평면도이고, (b)는 그 반송 방향에서 본 단면도이다.
도 15는 종래의 태양전지 검사장치의 구성을 모식적으로 나타내는 도면이다.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부의 도면을 참조하여 설명한다.
< 1 > 피측정물(태양전지)
우선, 본 발명의 검사장치의 처리 대상인 피측정물(200)의 예에 대하여 설명한다. 도 7은 본 발명의 검사장치로 측정하는 태양전지 구성의 설명도로서, (a)는 태양전지 내부의 태양전지 셀을 알 수 있도록 기재한 평면도이고, (b)는 그 단면도이다.
도 7(a)의 평면도에 나타내는 바와 같이, 피측정물(200)인 태양전지는 사각형의 태양전지 셀(28)이 리드선(29)에 의해 복수로 직렬 접속된 스트링(25)을 형성하고, 나아가 그 스트링을 복수 열의 리드선(29)에 의해 접속한 구성으로 되어 있다.
피측정물(200)인 태양전지로서는, 태양전지 셀(28)이 한 장만인 것도 좋고, 태양전지 셀(28)을 복수 장 직선적으로 연결한 스트링(25) 상태인 것도 좋고, 스트링(25)을 평행으로 복수 열 배열하여, 태양전지 셀(28)이 매트릭스 형태로 배치된 태양전지 패널(30)이어도 좋다.
또한, 피측정물의 단면구조는 도 7(b)에 나타내는 바와 같이, 상측에 배치된 이면재(22)와 하측에 배치된 투명 커버글라스(21) 사이에, 충전재(23, 24)를 개재하여 복수 열의 스트링(25)을 샌드위치한 구성을 구비한다.
이면재(22)는 예를 들면, PET 또는 불소계 수지 등의 재료가 사용된다. 충전재(23, 24)에는 예를 들면, EVA 수지(폴리에틸렌비닐아세이트 수지) 등이 사용된다. 스트링(25)은 상기한 바와 같이 전극(26, 27)의 사이에, 태양전지 셀(28)을 리드선(29)을 개재하여 접속한 구성이다.
이와 같은 태양전지는, 상기한 바와 같이 구성부재를 적층하여 라미네이트장치 등에 의해, 진공의 가열 상태하에서 압력을 가하여, EVA를 가교 반응시켜 라미네이트 가공하여 얻어진다.
또한, 피측정물(200)로서는, 일반적으로 박막식으로 불리는 태양전지를 대상으로 할 수 있다.
이 박막식의 대표적인 구조예에서는, 하측에 배치된 투명 커버글라스에는 미리 투명전극, 반도체, 이면전극으로 이루어지는 발전 소자가 증착되어 있다. 그리고, 이러한 박막형 태양전지를, 투명 커버글라스를 하향으로 배치하고, 글라스상의 태양전지 소자상에 충전재를 덮고, 더욱이, 충전재상에 이면재를 덮은 구조로서, 마찬가지로 라미네이트 가공하는 것에 의해 얻어진다.
이와 같이 피측정물(200)로서의 박막식 태양전지는, 결정계 셀이 증착된 발전 소자로 바뀔 뿐으로, 기본적인 봉지구조는 상기한 결정계 셀의 경우와 동일하다.
< 2 > 검사장치의 전체구조
도 1은 본 발명의 검사장치의 구성을 나타내는 평면도, 도 2는 정면도, 도 3은 좌측면도이다. 이들의 도면에 나타내는 본 발명의 태양전지 검사장치(100)는 사각 상자 모양의 암실(110) 및 그 평평한 상면(111)에는 개구부(112)가 마련되어 있다. 또, 이 개구부(112)는 암실 내부에 먼지나 이물의 침입을 방지하고, 또한, 피측정물이 암실 내에 낙하하는 것을 방지하기 위하여 투명판을 마련할 수도 있다. 투명판은 아크릴수지 등의 합성 수지제 또는 글라스제의 투명판을 장착하는 구성으로 하여도 좋다. 암실 내에는 피측정물(200)인 태양전지(태양전지 셀, 스트링, 태양전지 패널)를 검사 측정하는 카메라(120)가 마련되어 있다. 카메라는 암실 내에 고정하여 사용해도 좋고, 카메라(120)를 이동시켜 사용하는 경우도 있어, 그 경우 이동기구를 마련할 수도 있다. 카메라 이동기구는 후술한다.
암실(110)은 상면(111)의 개구부(투명판)(112) 이외에는, 암실(110) 내에 광이 들어오지 않도록 차광성 소재로 이루어지는 구성으로 하고 있다. 다만, 상면(111)에 피측정물(200)인 태양전지를 재치한 후, 피측정물(200)을 포함하는 상면(111)의 전체를 차광수단으로 덮도록 하면, 상면(111) 전체를 개구부로 하여도 좋고 투명판으로 하여도 좋다. 또한, 상면 이외의 네 측면과 저면은 차광성 부재로 하고 있다.
또, 암실의 상면(111)의 개구부(112)에 투명판을 마련하지 않는 경우에는, 피측정물인 태양전지의 지지수단을 마련한다. 지지수단은 후술하는 피측정물의 반송 가이드기구이어도 좋고, 피측정물인 태양전지의 양단이나 네 모서리를 서포트할 수 있는 부재를 마련하는 것도 좋다.
< 3 > 피측정물의 반송 및 위치 결정
상면(111)의 상부에는 피측정물(200)을 본 검사장치에 반입, 전 공정 및 후 공정으로 주고받기 위하여 반송장치(220)가 마련되어 있다. 본 반송장치는 전기 모터로 작동되는 체인 컨베이어 또는 벨트 컨베이어를 사용할 수 있다. 이 반송장치(220)는 피측정물(200)을 반송 및 가이드하는 기능을 구비하는 반송 가이드부(221R, 221L)가 마련되어 있다. 반송 가이드부(221R, 221L) 사이의 거리는 피측정물(200)의 사이즈에 상응하여 변경가능한 구성으로 되어 있다.
본 발명의 검사장치의 전 공정으로부터 피측정물인 태양전지가 반송되어 오면, 본 검사장치의 반입 컨베이어(210)에 의해 도 1의 굵은 흑색 화살표 방향으로 본 검사장치의 반송 가이드부(221R, 221L)에 옮겨져 재치된다. 피측정물(200)은 반송 가이드부의 컨베이어장치(220)에 의해 이동/반송된다. 따라서 피측정물(200)을 반송중 및 측정중에 하면의 커버글라스(21)가 검사장치(100) 상면의 투명판(112)에 접촉되지 않는다. 피측정물(200)은 본 검사장치 내에서 반송되어, 이하와 같은 방법에 의해 측정 위치로 위치 결정된다.
반송 가이드부(221R, 221L)의 측면에는 액추에이터 등에 의해 출입이 가능한 위치 결정기구가 있고, 반송된 피측정물(200)은 이 위치 결정기구를 돌출시키는 것에 의해 반송 방향의 위치가 결정된다. 위치 결정기구는 반송 가이드부재(221R, 221L)의 측면으로부터 출입하는 구성이 아닌, 가이드부재의 상방으로부터 상하로 이동시키는 방법 또한, 가이드부재로부터 선회 하강시키는 등의 구성으로 하는 것도 가능하다.
위치 결정이 완료되고 컨베이어장치가 정지하여 검사가 개시된다. 검사방법은 후술한다. 검사가 완료되면 컨베이어장치(220)가 작동하여, 피측정물(200)은 반출 컨베이어(230)에 옮겨져 재치되어(도 1의 굵은 흑색 화살표 방향으로) 다음 공정으로 반송된다.
또한, 피측정물인 태양전지의 반송 수단으로서는, 도 10에 나타내는 바와 같은 구성이어도 좋다. 암실 상면의 가이드부재(114)는 직사각형 단면인 가늘고 긴 레일 형태로, 본 발명의 검사장치(100)의 상면에 피측정물(200)의 흐름 방향을 따라 한 쌍 마련되어 있다. 각 가이드부재(114)의 내측 측면에는 복수의 롤러가 배치되고, 피측정물(200)은 이 롤러상에서 이동/반송된다. 이동 수단은 수동이어도 좋고, 롤러를 전기 모터 등에 의해 구동하는 구성이어도 좋다.
< 4 > 촬영용 카메라
피측정물(200)로부터 발광하는 EL 발광은, 1,000㎚로부터 1,300㎚의 파장인 미약한 광이며, 암실 내에서 발광시켜 촬영용 카메라(120)로 이 미약한 광을 촬영한다. 이 때문에, 촬영용 카메라(120)로서는 미약한 광에 대한 감도가 양호한 CCD 카메라를 사용할 필요가 있다.
실시예의 도 1, 도 2, 도 3에서는 카메라 이동기구는 도시하지 않고 있지만, 카메라 이동기구를 마련하는 것에 의해 카메라(120)를 x-y 평면 내의 임의 위치에 이동하여 피측정물(200)의 구석구석까지 전면을 촬영하는 것도 가능하다. 또한, 카메라(120)의 이동기구는 마련하지 않고, 카메라(120)를 고정하여 사용하는 것도 가능하다.
< 5 > 암실 내부의 카메라 이동기구
도 10에 카메라의 이동기구의 구성을 나타낸다. 암실(110) 내에는 카메라(120)와, 이 카메라(120)를 y축 방향으로 이동하는 y축 가이드부(130)가 있다. y축 가이드부(130)의 일단에는 모터(132)가 있고, 이것이 회전하는 것으로 카메라(120)를 y축 방향으로 진퇴시킬 수 있다.
y축 가이드부(130)의 양단은 x축 가이드부(140, 140)에 지지되어 있다. 그리고, 모터(142)와 양측의 타이밍벨트(144)에 의해, y축 가이드부(130)는 x축 가이드부상을 x축 방향에 따라 진퇴 가능하도록 되어 있다. 이상의 구성에 있어서, x축 가이드부(140, 140), y축 가이드부(130), 모터(132, 142), 타이밍벨트(144)로 카메라(120)의 구동기구를 구성하고 있다. x축 가이드부(140, 140) 및 y축 가이드부(130)는 각종의 리니어 액추에이터를 사용할 수 있지만, 이 실시예에서는 볼스크류 및 모터를 사용하고 있다.
구동기구의 모터(132, 142)를 회전 제어하는 것에 의해, 카메라(120)를, x-y 평면 내의 임의 위치에 이동하여, 피측정물(200)의 구석구석까지 전면을 촬영하는 것이 가능하도록 되어 있다.
또, 구동 방식은 모터 및 볼스크류를 사용한 상기의 실시예에 한정되지 않고, 각종의 리니어 액추에이터를 사용할 수 있다.
< 6 > 암실 내부의 반사판
본 검사장치는 암실 내부에, 암실의 상면(111)에 대하여 경사지게 반사판(190)을 마련하는 구성으로 할 수도 있다. 도 8은 암실 내에 반사판을 마련한 검사장치의 구성을 나타내는 평면도이고, 도 9는 그 좌측면도이다. 반사판은 알루미늄제 또는 스테인리스제 등의 금속판을 표면 가공하여 사용된다. 단, 그 재질은 금속에 한정되지 않고 광을 투과 흡수하지 않고 반사율이 높은 재질이면 사용 가능하다. 이 반사판은 반사판 지지부재(191)에 의해 개구부(투명판)(112)에 대하여 경사지게 지지되어 있다. 이에 의해 암실의 측면에 장착된 카메라(120)가 개구부(투명판)(112)상에 재치된 피측정물(200)의 이미지를 촬영할 수 있다. 실시예의 도 9에 있어서, 경사각은 거의 45°로 되어 있지만, 이 각도에 한정되지 않는다.
도 8, 도 9에서는, 카메라(120)의 이동기구는 마련하지 않고 있다. 카메라(120)는 카메라 수납부(121)에 고정하여 사용한다. 또, 도 10에서 설명한 이동기구를 마련하는 것에 의해, 카메라(120)를, z-x 평면 내의 임의 위치에 이동하여, 피측정물(200)의 구석구석까지 전면을 촬영하는 것도 가능하다. 이 경우, 도 8 및 도 9의 카메라 수납부(121)는 x방향으로 이동 스트로크만큼 연장하여 카메라가 이동 가능한 구조로 하면 된다.
< 7 > 기타 기기(機器)
상기한 이외에, 도시를 생략하지만, 도 15의 종래예에서 나타낸 전원(14)이나 퍼스널 컴퓨터를 이용한 화상 처리장치(15)가 마련되어 있다. 이들은 도 2의 제어장치(400)에 수납되어 있다. 또한, 퍼스널 컴퓨터를 이용하여 카메라(120)의 이동기구를 제어하여, 피측정물(200)로서의 태양전지 전체를 한 장의 사진으로 촬영하거나, 각각의 태양전지 셀(28) 별로 촬영하거나 할 수 있다.
< 8 > 검사장치의 사용방법
피측정물(200)로서 태양전지를 예로 하여, 본 발명의 태양전지 검사장치의 사용방법을 설명한다.
라미네이트장치 등으로 제조되어 반출된 태양전지는, 그 다음, 반입 컨베이어(210)에 의해 본 발명의 태양전지 검사장치의 앞에까지 반송된다. 반송되어 온 태양전지는 한 쌍의 반송 가이드부(221R, 221L)의 사이에서 반송/가이드되어 암실(110) 위에 도착한다. 그 후, 반송 가이드부(221R, 221L)의 측면에 액추에이터 등에 의해 출입 가능하도록 마련된 위치 결정기구를 돌출시키는 것에 의해, 반송 방향의 위치가 결정된다.
암실의 상면(111)의 개구부(또는, 투명판)(112)와 피측정물(200) 사이의 틈 등으로부터 광이 암실(110) 내에 들어오지 않도록 차광 커버(240)가 마련되어 있다.
암실 상면(111)의 소정의 위치에 도달한 피측정물(200)인 태양전지는, 투명한 커버글라스판을 아래로 향하여 암실(110)의 개구부(투명판)(112) 위에서 정지하고, 도시하지 않는 전원의 사이에서 커넥터 접속된다. 피측정물(200)이 개구부(투명판)(112)보다 작아 주위로부터 암실 내에 광이 들어오기 때문에, 피측정물(200)의 위로부터 암실(110)의 상면 전체를, 후술하는 차광 커버 등으로 덮는다. 그 다음 피측정물(200)에 전원으로부터 순방향의 전류를 흘려보낸다. 이에 의해 피측정물(200)이 EL 발광하기 때문에, 카메라(120)로 촬영한다.
본 검사장치(100)에 의해 피측정물(200)의 전체를 촬영하여 그 화상에 의해 검사하는 경우, 카메라의 이동기구를 마련하지 않고, 또는 이동기구를 사용하지 않고 카메라(120)를 암실(110) 저부의 거의 중앙 위치에 고정하여 촬영할 수 있다. 또, 암실 내에 반사판을 사용하는 경우, 카메라를 도 8의 위치에 고정하여 촬영할 수 있다. 이 경우의 피측정물(200)로서는, 태양전지 셀(28), 태양전지 셀을 복수의 리드선으로 접속한 스트링(25), 또한 스트링(25)을 복수 열의 리드선으로 접속한 매트릭스 형태의 태양전지 패널(30) 중의 어느 하나이어도 좋다.
본 검사장치(100)에 의해 태양전지 패널(30)에 매트릭스 형태로 배치된 태양전지 셀을 한 장씩 촬영하여 그 화상에 의해 검사하는 경우, 암실 내에서 카메라를 이동할 수 있도록 도 10과 같은 카메라 이동기구를 마련한다.
퍼스널 컴퓨터를 이용한 제어장치(400)에 의해, 카메라 이동기구를 구동하여, 카메라(120)는 태양전지 패널(30)에 매트릭스 형태로 배치되어 있는 태양전지 셀(28)을 한 장씩 촬영하고, 퍼스널 컴퓨터 등으로 이루어지는 화상 처리장치에 화상 데이터를 전송한다. 화상 처리장치는 각 태양전지 셀의 화상으로부터 발광하지 않는 부분을 인출하여 분석하고, 태양전지 셀(28) 별로의 부합 여부를 판단하여, 모든 태양전지 셀에 관한 부합 여부의 결과에 근거하여, 태양전지 패널(30) 전체로서의 부합 여부를 판단한다.
또, 카메라(120)에 의한 촬영에 있어서도, 카메라를 이동하여 태양전지 셀을 한 장씩 촬영하여도 좋고, 여러 장씩 촬영하여도 좋고, 카메라를 이동하지 않고 고정하여 태양전지 패널(30) 전체를 촬영하여도 좋다.
< 9 > 차광 커버
차광 커버는 암실의 상면(111)의 상부 전체를 덮는 것이다. 그러나 태양전지의 경우, 수지제의 이면재(22)는 불투명하고 차광성이 충분하다. 또한, 암실(110)의 상면(111)도 투명판(112) 이외는 차광성 부재로 구성되어 있다. 따라서 암실(110)과 피측정물(200) 사이의 틈부분만 차광부재로 커버하면 충분하다. 피측정물(200)이 투명판(112)에 밀착됨과 동시에, 투명판(112)보다 커 투명판(112) 전체가 피측정물(200)로 덮여지는 경우에는, 차광수단은 불필요하다.
본 실시예의 경우, 도 1, 도 2, 도 3에 나타내는 바와 같이, 암실의 상면(111)과 반송부(221R, 221L), 나아가 피측정물(200)을 차광성 커버(240)에 의해 덮는 구성으로 하고 있다. 본 검사장치의 반입 컨베이어(210)측과 반출 컨베이어(230)측에 개폐식 도어(241)가 마련되어 있다. 도어(241)의 개폐는 에어 실린더 등에 의해 자동개폐하는 구성이어도 좋고, 또한, 작업자가 수동조작으로 개폐하는 것이어도 좋다. 전 공정으로부터 피측정물이 반송되어, 반입 컨베이어 위를 이동하여 본 검사장치의 직전까지 도착하면, 이 입구측의 도어가 열리고 피측정물이 본 검사장치 내에 반송장치(220)에 의해 반입 완료되고, 또한, 이 도어가 닫히는 구성으로 되어 있다. 또한, 검사가 완료되면 출구측의 도어가 열리고 피측정물(200)이 반출된다. 이와 같이, 검사중에는 피측정물을 반출/반입하는 도어는 닫혀 있어 피측정물이 재치되어 있는 부분으로 외부로부터의 광이 들어오지 않는다.
본 발명의 검사장치의 차광 커버의 실시형태에 대하여, 도 4, 도 5, 도 6을 참조하여 설명한다. 도 4(a)는 차광 커버의 평면도이고, 도 4(b)는 정면도이다. 도 5(a)는 차광 커버를 피측정물의 반입측(A 방향)에서 본 측면도이고, 도 5(b)는 차광 커버를 피측정물의 반출측(B 방향)에서 본 측면도이다. 도 6은 차광 커버 상면의 개폐식 도어를 열린 상태의 설명도이다.
도 4와 같이, 차광 커버(240)는 암실에 고정되어 있고 암실의 상면(110)의 상부 전체를 덮는 것이다. 241은 피측정물을 반입 및 반출하기 위한 개폐식 도어, 242는 차광 커버 상면의 개폐식 도어, 243은 메인터넌스용 떼어낼 수 있는 덮개이다. 이들의 부재는 모두 차광성 부재로 구성되어 있다. 또한, 개폐식 도어와 차광 커버 본체의 이음 부분에는 광이 들어오지 않도록 도어측 또는 차광 커버의 본체측에 고무 시트 등에 의한 백시트를 부착하는 것이 바람직하다.
도어(241)의 개폐는 에어 실린더 등에 의해 자동개폐하는 구성이어도 좋고, 또한, 작업자가 수동조작으로 개폐하는 구성이어도 좋다. 전 공정으로부터 피측정물이 반송되어, 반입 컨베이어 위를 이동하여 본 검사장치의 직전까지 도착하면, 이 입구측의 도어가 열리고 피측정물이 본 검사장치 내에 반입 완료되고, 또한, 이 도어가 닫히는 구성으로 되어 있다. 또한, 검사가 완료되면 출구측의 도어가 열리고 피측정물(200)이 반출된다. 이와 같이, 검사중에는 피측정물을 반출/반입하는 도어는 닫혀 있어, 피측정물이 재치되어 있는 부분, 나아가 암실 내에는 외부로부터의 광이 들어오지 않는다.
또한, 차광 커버의 상면에는 개폐식 도어(242)가 마련되어 있다. 도어(242)의 개폐는 에어 실린더 등에 의해 자동개폐하는 구성이어도 좋고, 또한 작업자가 수동조작으로 개폐하는 구성이어도 좋다. 전 공정으로부터 피측정물이 반송되어, 상기한 개폐식 입구측의 도어(241)가 열리고, 피측정물이 검사장치에 반입되어 소정의 위치에 도달하면, 이 도어(242)를 연다. 이 도어(242)가 열리면, 도 6과 같이 피측정물(200)이 나타난다. 차광 커버 내의 커넥터(244)를 피측정물의 전극(26, 27)에 접속한다. 접속이 완료되면 도어(241)와 도어(242)를 닫는다. 이에 의해 암실 내에는 외부로부터 광이 들어오지 않으므로, 피측정물에 전류를 흘려보내 EL 발광시켜 검사를 진행한다. 검사가 완료되면 도어(242)를 다시 열고, 전극으로부터 커넥터(244)를 떼어낸다. 그 후, 출구측의 도어(241)를 다시 열고, 피측정물이 본 검사장치로부터 반출된다. 또, 전극에 대한 커넥터의 접속 및 떼어냄 작업은, 작업자가 수작업으로 진행하여도 좋고, 로봇 등으로 자동화하여도 좋다.
본 검사장치의 차광 커버에는 적당히 메인터넌스용 개구부를 마련하는 것이 바람직하다. 예를 들어 도 4에서는, 이 개구부는 차광 커버의 상면에 두 군데(이점쇄선으로 나타낸 부분) 마련되어 있고, 덮개(243)로 덮여 있다. 이에 한정되지 않고, 이러한 개구부는 덮개로 덮는 것에 의해 차광 커버의 상면이나 측면에 적당히 마련할 수 있다.
본 실시형태의 설명에서는, 차광 커버(240)를, 암실의 상면 전체를 덮어 암실에 고정하는 구성으로 하였지만, 이 차광 커버(240)를 액추에이터에 의해 상하로 움직일 수 있도록 하는 구성으로 하는 것도 가능하다.
또한, 태양전지의 수지제의 이면재(22)는 불투명하고 차광성이 충분하다. 또한, 암실(110)의 상면(111)도, 개구부(투명판)(112) 이외는 차광성 부재로 구성되어 있다. 따라서 암실(110)의 개구부(투명판)(112)와 피측정물(200) 사이의 틈부분만 차광부재로 커버하는 구성으로 하는 것도 가능하다.
본 발명의 태양전지 검사장치(100)에서는, 피측정물(200)로서의 태양전지를 암실의 외측에 재치하면 되기 때문에, 암실에는 피측정물(200)을 출입시키기 위한 도어는 불필요하다. 또한, 태양전지에 전류를 흘려보내는 전원이나 배선도 암실(110)의 밖에 마련하면 되고, 암실 내에는 일체 불필요하다. 그 때문에, 암실(110)의 구조를 간단하게 할 수 있다.
본 발명의 검사장치의 차광 커버의 상면에 개폐식 도어를 마련하였기 때문에, 태양전지 셀에 순방향의 전류를 흘려보내는 경우에 그 태양전지의 전극에 대한 커넥터의 접속을 쉽게 할 수 있다. 더욱이, 본 검사장치의 차광 커버의 측면에 개폐식 도어를 마련하였기 때문에, 피측정물인 태양전지를 장치 내에 쉽게 반입/반출하는 것이 가능하다.
또한, 본 발명의 검사장치의 차광 커버에 의해, 피측정물에 반입/반출이나 태양전지의 전극에 커넥터를 접속하는 작업을 자동화하는 것이 쉽게 되었다. 따라서 본 발명의 검사장치는 태양전지의 제조 라인의 자동화에 적합하다.
특히, 반사판(190)을 피측정물(200)에 대하여 경사시켜 장착하는 것에 의해, 카메라를 암실 내에서 횡향으로 설치하는 것에 의하여 암실(110)의 높이를 낮출 수 있어, 장치의 더욱 소형화를 실현할 수 있다. 이에 의해, 제조 라인의 패스 라인을 통일하기 위하여 장치를 설치하는 부분의 바닥면을 굴삭하는 등의 부대공사가 불필요하다.
나아가, 본 발명의 태양전지 검사장치(100)는 태양전지 등의 제조 라인에 배치하여 사용하는데, 이때, 암실(110)의 상면(111)에 태양전지의 수광면을 하측으로 하여 재치하고 있다. 태양전지의 라미네이트 가공 등, 통상의 가공 공정에서는, 태양전지의 수광면을 아래로 하여 반송하고 있으므로, 검사장치(100)에 재치할 때, 반전할 필요가 없으므로 제조 공정을 간략화할 수 있다.
다음으로, 본 발명의 태양전지 검사장치용 반송장치의 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 설명한다.
< 10 > 피측정물(태양전지의 구성부재를 적층한 상태인 것)
우선, 본 검사장치의 처리 대상인 피측정물(200)의 예에 대하여 설명한다. 도 14는 본 검사장치로 측정하는 태양전지 구성의 설명도로서, (a)는 태양전지 내부의 태양전지 셀을 알 수 있도록 기재한 평면도이고, (b)는 (a)의 단면도(반송 방향에서 본)이다.
도 14(a)의 평면도에 나타내는 바와 같이, 피측정물(200)인 태양전지는 사각형의 태양전지 셀(28)이 리드선(29)에 의해 복수로 직렬 접속된 스트링(25)을 형성하고, 나아가 그 스트링을 복수 열의 리드선(29)에 의해 접속한 구성으로 되어 있다.
피측정물(200)인 태양전지로서는, 태양전지 셀(28)이 한 장만인 것도 좋고, 태양전지 셀(28)을 복수 개 직렬로 연결한 스트링(25) 상태인 것도 좋고, 스트링(25)을 평행으로 복수 열 배열하여, 태양전지 셀(28)이 매트릭스 형태로 배치된 태양전지 패널(30)이어도 좋다.
또한, 피측정물의 단면구조는 도 14(b)에 나타내는 바와 같이, 상측에 배치된 이면재(22)와 하측에 배치된 투명기판(21) 사이에, 충전재(23, 24)를 개재하여 복수 열의 스트링(25)을 적층한 상태를 나타내고 있다. 본 검사장치로는, 이와 같이 라미네이트 처리 전의 태양전지를 구성하는 부재를 적층한 상태로 태양전지 셀의 결함을 측정한다. 도 14(b)에 나타내는 바와 같이, 라미네이트 처리 전이므로 투명기판/태양전지 셀/충전재를 덮는 이면재가 그들보다 외부로 많이 튀어나온 상태로 되어 있다. 또한, 본 예의 이외에, 투명기판(21), 충전재(23)와 태양전지 셀(28)((25) 또는 (30))을 적층한 상태로 본 검사장치로 검사를 하고, 그 후 이면재(22)와 충전재(24)를 적층해도 된다.
이면재(22)는 예를 들면, PET 또는 불소계 수지 등의 재료가 사용된다. 따라서 투명기판으로부터 외부로 튀어나온 부분은 하방으로 늘어진 상태가 된다. 충전재(23, 24)에는 예를 들면, EVA 수지(폴리에틸렌비닐아세이트 수지) 등이 사용된다. 스트링(25)은 상기한 바와 같이 전극(26, 27) 사이에 태양전지 셀(28)을 리드선(29)을 개재하여 접속한 구성이다.
또한, 피측정물(200)로서는, < 1 >의 설명에서 기재한 박막식으로 불리는 태양전지를 대상으로 할 수 있다.
< 11 > 본 발명의 반송장치의 제 1 실시예
상기 < 10 >의 태양전지 검사장치의 반송장치의 제 1 실시예를, 도 11 및 도 12를 참조하여 설명한다. 도 11은 반송 방향에서 본 정면도이며, 도 12는 측면도이다. 반송부(221R, 221L)는 체인(222), 상부 체인 가이드(223), 하부 체인 가이드(224), 반송 가이드(225), 반송 가이드 설치용 어태치먼트(226)로 구성되어 있다. 반송 가이드는 체인에 어태치먼트를 이용하여 복수로 마련되어 있고, 체인을 개재하여 엔드리스 형태로 접속되어 있다. 이들 체인은 반송 방향으로 마련된 상부 체인 가이드와 하부 체인 가이드에 의해 지지되어 있다. 이러한 반송부가 반송 방향에 대하여 대칭으로 한 쌍(2열) 마련되어 있다. 도 11에 나타내는 바와 같이, 반송 가이드(225)에 피측정물(200)이 재치되어 반송된다.
이미 기술한 바와 같이, 반송되는 피측정물은 라미네이트 처리 전이므로, 투명기판, 태양전지 셀, 충전재, 이면재가 적층된 상태이다. 따라서 이면재가 투명기판보다 많이 외측으로 튀어나와 있다. 그리고, 그 이면재가 튀어나온 부분이 하방으로 늘어진다. 이 늘어진 부분(20)이 반송장치의 부재에 접촉되지 않도록 반송 가이드(225)에는 이하와 같은 대책을 마련하고 있다. 반송 가이드(225)를 반송 방향에서 본 형상은 대략 "L"형을 이루고 있다. 그 벽부(227)로 투명기판(21)의 단을 가이드하고 있다. 그 벽부의 높이 사이즈는 투명기판의 두께 사이즈보다 가능한 낮게 하고 있다. 또한, 벽부의 사이즈를 가능한 낮게 하여도, 이면재가 반송장치의 부재에 접촉하는 것을 방지할 수 없는 경우, 반송 가이드의 두께부(228)의 사이즈를 조정하는 것에 의해, 이면재의 늘어진 부분이 반송장치의 부재에 접촉하는 것을 방지할 수 있다.
또, 반송 가이드(225)의 투명기판 지지부(229)는, 투명기판에 대하여 단부의 태양전지 셀의 거리(S)(도 14(a) 참조)에 따라 결정된다.
또한, 반송부(221R, 221L)는, 그 위치를 태양전지의 투명기체의 폭 사이즈에 상응하여 위치 변경이 가능한 구성으로 되어 있다. 방법은, 반송부(221R, 221L)를 각각 단독으로 위치 변경해도 좋고, 스크류 기구에 의해 각각 동시에 균등하게 접근 또는 이격시키는 것이어도 좋다.
< 12 > 본 발명의 반송장치의 제 2 실시예
상기 < 10 >의 태양전지 검사장치의 반송장치의 제 2 실시예는, 도 11 및 도 12에 있어서의 체인에 마련한 복수의 반송 가이드 대신에, 도 13에 나타내는 바와 같이 반송 가이드를 반송 가이드(225)와 동일한 단면형상을 가지는 엔드리스 형태의 띠 모양체(322)를 사용하고 있다.
반송부(321R, 321L)는 엔드리스 형태의 띠 모양체(322), 상부 벨트 서포트(323), 하부 벨트 서포트(324)로 구성되어 있다. 이러한 반송부가 반송 방향에 대하여 대칭으로 한 쌍(2열) 마련되어 있다. 띠 모양체(322)에, 도 13에 나타내는 바와 같이 피측정물(200)이 재치되어 반송된다.
제 1 실시예와 동일한 식으로 반송되는 피측정물은, 라미네이트 처리 전이므로, 투명기판, 태양전지 셀, 충전재, 이면재가 적층된 상태이다. 따라서, 이면재가 투명기판보다 많이 외측으로 튀어나와 있다. 그리고, 그 이면재가 튀어나온 부분이 하방으로 늘어진다. 이 늘어진 부분(20)이 반송장치의 부재에 접촉하지 않도록 띠 모양체에는 이하와 같은 대책을 마련하고 있다. 띠 모양체(322)를 반송 방향에서 본 형상은 대략 "L"형을 이루고 있다. 그 벽부(327)로 투명기판(21)의 단을 가이드하고 있다. 그 벽부의 높이 사이즈는 투명기판의 두께 사이즈보다 가능한 낮게 하고 있다. 또한, 벽부의 사이즈를 가능한 낮게 하여도, 이면재가 반송장치의 부재에 접촉하는 것을 방지할 수 없는 경우, 띠 모양체의 두께부(328)의 사이즈를 조정하는 것에 의해, 이면재의 늘어진 부분이 반송장치의 부재에 접촉하는 것을 방지할 수 있다.
또, 띠 모양체의 투명기판 지지부(329)는, 투명기판에 대하여 단부의 태양전지 셀의 거리(S)(도 14(a) 참조)에 따라 결정된다.
또한, 반송부(321R, 321L)는, 그 위치를 태양전지의 투명기체의 폭 사이즈에 상응하여 위치 변경이 가능한 구성으로 되어 있다. 방법은, 반송부(321R, 321L)를 각각 단독으로 위치 변경해도 좋고, 스크류 기구에 의해 각각 동시에 균등하게 접근 또는 이격시키는 것이어도 좋다.
< 13 > 본 검사장치 및 본 발명의 반송장치의 사용방법
피측정물(200)로서 태양전지의 구성부재를 적층한 상태를 예로 하여, 태양전지 검사장치용 반송장치의 사용방법을 설명한다.
피측정물(200)은 태양전지의 구성부재인 투명기체, 태양전지 셀, 충전재 및 이면재이고, 라미네이트 처리 전에 적층된 상태이다. 피측정물은 반입 컨베이어(210)에 의해 태양전지 검사장치 앞에까지 반송된다. 반송되어 온 피측정물은 한 쌍의 반송 가이드(225, 225) 사이 또는 띠 모양체(322, 322) 사이에서 반송/가이드되어 암실(110) 위에 도착한다. 그 후, 반송장치의 측면에 액추에이터 등에 의해 출입 가능하도록 마련된 위치 결정기구를 돌출시키는 것에 의해 반송 방향의 위치가 결정된다.
또, 반송 가이드 및 띠 모양체를 상술한 바와 같이 대책을 마련하고 있으므로, 반송중에 피측정물의 이면재의 늘어진 부분(20)이 반송장치의 구성부재에 접촉되지 않으므로, 피측정물의 각 구성부재는 상호의 위치가 변동되지 않은 상태로 본 검사장치에 반송된다.
본 검사장치(100) 및 본 발명의 반송장치의 사용방법은 상기한 바와 같다. 따라서, 피측정물인 태양전지의 구성부재인 투명기체, 태양전지 셀, 충전재, 이면재를 라미네이트 처리하기 전에 적층한 상태인 것이고, 본 검사장치에 본 발명의 반송장치를 사용하는 것에 의해, 태양전지의 구성부재가 서로 위치 변동되지 않고 검사장치에 반송되므로, 상기의 검사방법에 의해 결함검사를 정상적으로 진행할 수 있다.
28 태양전지 셀
30 태양전지 패널
100 태양전지 검사장치
110 암실
111 상면
112 개구부(투명판)
114 가이드부재(반송 가이드부)
120 카메라
121 카메라 수납부
130 y축 가이드부
132, 142 모터
140 x축 가이드부
144 타이밍벨트
190 반사판
191 반사판 지지부재
200 피측정물
210 반입 컨베이어
220 컨베이어장치(반송장치)
221R, 221L 반송 가이드부
221, 321 반송부
222 체인
223 상부 체인 가이드
224 하부 체인 가이드
225 반송 가이드
226 어태치먼트
227, 327 벽부
228, 328 두께부
229, 329 지지부
322 띠 모양체
323 상부 벨트 서포트
324 하부 벨트 서포트
230 반출 컨베이어
240 차광 커버
241, 242 도어
243 덮개
244 커넥터
400 제어장치

Claims (13)

  1. 상면에 개구부를 구비하는 암실과, 당해 암실의 상기 상면에 마련되어 피측정물인 태양전지를 재치하는 지지수단과, 상기 암실의 내부에 마련된 카메라를 구비하는 태양전지 검사장치이고,
    상기 개구부, 및 상기 개구부와 상기 지지수단상에 재치된 상기 태양전지의 경계의 틈으로부터 상기 암실 내에 들어오는 광을 차광하기 위한 차광 커버를 구비한 것을 특징으로 하는 태양전지 검사장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 검사장치의 상기 차광 커버의 측면에 피측정물인 태양전지를 반입/반출하기 위한 개폐식 도어를 마련한 것을 특징으로 하는 태양전지 검사장치.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 검사장치의 상기 차광 커버의 상면에 개폐식 도어를 마련한 것을 특징으로 하는 태양전지 검사장치.
  4. 제 1항 내지 제 3항 중의 어느 한 항에 있어서,
    상기 카메라의 이동기구를 마련한 것을 특징으로 하는 태양전지 검사장치.
  5. 제 1항 내지 제 4항 중의 어느 한 항에 있어서,
    상기 암실의 내부에 위치하고, 상기 암실의 상면에 대하여 경사지게 설치되는 반사판을 마련한 것을 특징으로 하는 태양전지 검사장치.
  6. 평평한 상면을 구비하는 암실과, 당해 암실의 상기 상면에 마련되어 피측정물인 태양전지를 재치하는 투명판과, 상기 암실의 내부에 마련된 카메라를 구비하는 태양전지 검사장치이고,
    상기 투명판, 및 상기 투명판과 상기 투명판상에 재치된 상기 태양전지의 경계의 틈으로부터 상기 암실 내에 들어오는 광을 차광하기 위한 차광 커버를 구비한 것을 특징으로 하는 태양전지 검사장치.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 검사장치의 상기 차광 커버의 측면에 피측정물인 태양전지를 반입/반출하기 위한 개폐식 도어를 마련한 것을 특징으로 하는 태양전지 검사장치.
  8. 제 6항 또는 제 7항에 있어서,
    상기 검사장치의 상기 차광 커버의 상면에 개폐식 도어를 마련한 것을 특징으로 하는 태양전지 검사장치.
  9. 제 6항 내지 제 8항 중의 어느 한 항에 있어서,
    상기 카메라의 이동기구를 마련한 것을 특징으로 하는 태양전지 검사장치.
  10. 제 6항 내지 제 9항 중의 어느 한 항에 있어서,
    상기 암실의 내부에 위치하고, 상기 암실의 상면에 대하여 경사지게 설치되는 반사판을 마련한 것을 특징으로 하는 태양전지 검사장치.
  11. 평평한 상면을 구비하는 암실과, 당해 암실의 상기 상면에 마련되어 피측정물인 태양전지를 재치하는 투명판과, 피측정물의 이미지를 촬영하는 카메라를 구비하는 것을 특징으로 하는 태양전지 검사장치에 있어서, 태양전지의 구성부재를 라미네이트 처리하기 전에 적층한 상태로 상기 검사장치에 반송하는 반송장치이고,
    반송하는 태양전지의 상기 구성부재인 투명기판 등을, 그 두께 사이즈보다 낮은 벽부를 구비하는 복수의 반송부재를 엔드리스 형태로 접속한 반송 가이드부를, 반송 방향에 대하여 대칭으로 한 쌍(2열) 마련하고, 상기 벽부로 상기 투명기판 등을 가이드하여 반송하는 것을 특징으로 하는 태양전지 검사장치용 반송장치.
  12. 제 11항에 있어서,
    반송하는 태양전지의 상기 구성부재인 투명기판 등을, 그 두께 사이즈보다 낮은 벽부를 구비하는 엔드리스 형태의 띠 모양부재를 구비하는 반송 가이드부를 반송 방향에 대하여 대칭으로 한 쌍(2열) 마련하고, 상기 벽부로 상기 투명기판 등을 가이드하여 반송하는 것을 특징으로 하는 태양전지 검사장치용 반송장치.
  13. 제 11항 또는 제 12항에 있어서,
    반송하는 태양전지의 구성부재인 상기 투명기판 등의 폭 사이즈에 상응하여 상기 반송장치의 반송 가이드부의 상기 벽부의 위치를 변경 가능하도록 한 것을 특징으로 하는 태양전지 검사장치용 반송장치.
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