TWM379760U - Inspecting apparatus for photovoltaic devices and transporting apparatus for inspecting apparatus - Google Patents

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TWM379760U
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TW098206347U
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Mitsuhiro Shimotomai
Fuminobu Baba
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Nisshinbo Holdings Inc
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Description

五、新型說明： 【新型所屬之技術領域】 本實用新型係有關用於檢查太陽能電池單元、將太陽 能電池單元連接成一列而成的電池串、平行配置有多個電 池串的太陽能電池板等太陽能電池的通常的性能的裝置及 用於該檢查裝置的輸送裝置。 【先前技術】 作為太陽能的利用方法已知有矽型太陽能電池。在太 陽能電池的製造中，太陽能電池是否具有目標發電能力的 性能評價是非常重要的。性能評價中通常進行輸出特性的 測定。 輸出特性在光照射下作為測定太陽能電池的電流電壓 特性的光電轉換特性來進行。作為光源，理想的是太陽光， 但由於照射強度會因天氣而變化，所以使用的是太陽模擬 器。在太陽模擬器中，代替太陽光使用氙氣燈或金屬鹵化 物燈等。若長期點亮上述光源，則會因溫度上升等而使光 量發生變化。因此，利用上述燈的閃光，將橫轴設成電壓、 縱軸設成電流，用收集到的資料製作曲線，由此獲得太陽 月b電池的輸出特性曲線（例如，參照專利文獻1 )。 作為不同於太陽模擬器的方法，專利文獻2中提出的 疋經由向多晶矽太陽能電池元件順向施加電壓來產生電致 發光（EL)的方法。經由觀察從太陽能電池元件發出的， 能夠獲知電流密度分佈’並能夠根據電流密度分佈的不均 M379760 勻得知太陽能電池元件的缺陷。即，不發光的部分可判斷 為缺陷部分，如果該缺陷部分的面積少於預定量，則可判 斷為具有規定的發電能力。 第十五圖是示意性表示專利文獻2所記載的檢查裝置 的結構的圖。檢查裝置10包括：暗室11、設置在該暗室 11的上部的CCD相機12、給載置在暗室11的地板面上的 太陽能電池單元13通電流的電源14、對來自CCD相機12 的圖像信號進行處理的圖像處理裝置15。 暗室11具有窗11 a，此處有CCD相機12的取景器 12 a ’經由從此處用肉眼觀察，能夠確認ccd相機12的 拍攝圖像。使用微電腦作為圖像處理裝置丨5。 〔專利文獻1〕JP特開2007 —88419; 〔專利文獻 2〕WO 2006/059615。 第十五圖所示的檢查裝置10是將太陽能電池單元13 放在下面，用相機從上面拍攝的裝置，但從太陽能電池單 元13發出的EL是lOOOnm至1300nm波長的微弱光，如果 不是在暗室11就無法檢測到。如果被測定物是丨塊太陽能 電池單元，則為大約1〇〇平方毫米，所以暗室11也可以很 小〇 但如果是太陽能電池’則為大約2mxlm的大小，暗 室11也需要有能夠收容該太陽能電池的大小。另外，只要 作為被測定物的太陽能電池不進入暗室内就無法用相機12 進行拍攝，所以在暗室必須設置能夠使太陽能電池出入的 門。若设置成將檢查裝置搬入這種暗室内的結構，則還必 6 M379760 須確保设置的門關閉時的遮光性。另外，在暗室内還需要 设置被搬入檢查裝置的太陽能電池的定位構件及輸送導向 構件。進而，在暗室内還需要設置用於給太陽能電池通電 流的通電手段。這種情況下結構複雜且成本高。 再有，在將這種檢查裝置作為太陽能電池生產線的一 個裝置進行組裝時產生以下問題。由於作為被測定物的太 陽能電池的大型化，當用相機拍攝太陽能電池整體來進行 铋查時，在將該相機設置在太陽能電池的下方的情況下， 需要在太陽能電池與相機之間設定較長的距離。因此，在 要統一生產線上的太陽能電池的通路線（從工廠地面到輸 送太陽能電池的位置的高度尺寸）時，只有設置該檢查裝 置的部位必須深挖工廠地面來進行設置。因而，導入裝置 曰的附帶成本增加。 另外，在將這種檢查裝置作為太陽能電池的生產線的 一個裝置進行組裝時有以下要求。即，希望將構成作為被 測定物的太陽能電池的構件即透明基板/太陽能電池單元 (以下’所謂太陽能電池單元還包括將太陽能電池單元串 聯連接而成的電池串、還有將電池串多列連接而成的板。） /填充材料/背©材料在層疊層麗處理前向上述檢查裳置輸 达進行檢查的要求。太陽能電池存在大型化的傾向達到2 = 以上的大小。如後所述，層壓處理前的被測定物是 取上面的背面材料覆蓋最下面的透明基板/太陽能電池單元 /填充㈣並伸㈣透喊_相層疊喊。㈣ 上述檢查裝置輸送時，若背面材料與裝置的結 7 觸，則層疊的太陽能電池的結構構件位置相互偏離。另外， 由於這種輸送過程中的誤動作導致構成電池串及太陽能電 池板的單7L相互之間的位置也偏離，無法進行太陽能電池 單兀的準確的缺陷檢查，給後製程的層壓處理也帶來障礙。 【新型内容】 本實用新型是馨於上述情況而實現的，目的在於提供 一種給太陽能電池通順向電流使其EL發光的檢查裝置，其 是結構簡單且廉價的太陽能電池的檢查裝置。另外，本實 用新型的第二目的在於提供一種將層壓處理前的作為被測 定物的太陽能電池的結構構件以層疊狀態向上述檢查裝置 輸送時，不會產生作為被測定物的太陽能電池的結構構件 位置偏離的輸送裝置。 為了達到上述目的’本實用新型的太陽能電池的檢查 裝置，包括：在上表面具有開口部的暗室；設置在該暗室 的上述上表面且载置作為被測定物的太陽能電池的支承手 段·’設置在上述暗室的内部的相機，其特徵在於，上述太 陽能電池的檢查裝置還包括遮光罩，該遮光罩用於遮擋從 上述開口部及上述開口部與載置在上述支承手段上的上述 太陽能電池的邊界的間隙進入上述暗室内的光。 另外，為了達到上述目的，本實用新型的太陽能電池 的檢查裝置，包括：具備平坦的上表面的暗室；設置在該 暗室的上述上表面且載置作為被測定物的太陽能電池的透 明板；設置在上述暗室的内部的相機’其特徵在於，上述 M379760 太陽能電池的檢查裝置還包括遮光罩，該遮光罩用於遮擋 從上述透明板及上述透明板與載置在上述透明板上的上述 太％能電池的邊界的間隙進入上述暗室内的光。 上述心查裝置的遮光罩既可以是在其側面設有用於搬 入搬出作為被測定物的太陽能電池的開閉式門的結構，也 可以是在遮光罩的上表面設有開閉式門的結構。 上述檢查裝置既可以是設有其拍攝用相機的移動機構 的結構，也可以是設有位於檢查裝置的上述暗室的内部且 相對於上述暗室的上表面傾斜的反射板的結構。 為了達到上述目的，在本實用新型的太陽能電池的檢 查裝置用輸送裝置中，上述太陽能電池的檢查裝置包括： 具備平坦的上表面的暗室；^置在該暗室的上述上表面且 經 載置作為摘定物的太陽能電池的透明板；㈣被測定物 的像的相機’上述太陽能電池的檢錄置用輸送裝置將太 陽能電池的結構構件在層壓處理前以層疊的狀態向上述檢 查裝置輸送’其特徵在於，將環料料個輪送構件而成 的輪送導向部相對於輸送方向對稱地設置1對（2列），其 中’上述多個輸送構件具有比作為輸送的太陽能電池的上 述結構構件的透㈣的厚度尺寸低的壁部，並且 由上述壁部引導上述透明基板等來進行輸送。 另外，也可以是以下結構，_，將具有環形的帶狀構 件的輸运導向部相對於輸送方向_地設置丨對（2列）， 其中’上述環形的帶狀構件具有比作為輸送的太陽能電池 的上述結構構件的料基㈣的厚度尺寸低的壁部，並 9 M379760 且’經由上述壁部料上述剌基板等來進行輸送。 另外’逛可以是以下結構，即，能夠根據作為輸送的 太陽能電池的結構構件的上述透明基板等的寬度尺寸改變 上述輸送裝置的輸it導向制輸送料或帶狀料的壁部 的位置。 實用新型效果 本實用新型的太陽能電池的檢查裝置，在將作為被測 定物的太陽能電池從暗室的外側置於暗室上表面的透明板 上時’能夠經由遮鮮遮擋來自暗室的上表面與作為被測 定物的太陽能電池的邊界之間的間隙的光，處於暗室中的 相機能夠拍攝圖像。在拍攝時，預先給太陽能電池通電流， 因此太陽能電池進行el發光。用相機拍攝該發光狀態，並 用與相機連接的圖像處理裝置進行分析，由此能夠獲知太 陽能電池有無缺陷。 在本實用新型的檢查裝置的遮光罩的上表面設有開閉 式門，所以在向太陽能電池單元通順向電流時，能夠容易 進行連接器與該太陽能電池的電極的連接。進而，由於在 本檢查裝置的遮光罩的側面設有開閉式門，所以能夠將作 為被測定物的太陽能電池容易地相對於裝置搬入搬出。 另外’根據本實用新型的檢查裝置的遮光罩，在設置 於太陽能電池的生產線上時，容易將被測定物的搬入搬出 及連接器與太陽能電池的電極連接的作業自動化。 能夠將太陽能電池從暗室外載置到暗室上表面來進行 檢查，所以無須設置用於使作為被測定物的太陽能電池出 M379760 入暗室的門。因此，能夠將暗室小型化，能夠簡化其結構。 特別是，由於設有相對於上述暗室的上表面傾斜設置 的反射板，所以能夠將相機配置在暗室的側面。因而，即 使作為被測定物的太陽能電池板大型化，也能夠降低暗室 尚度。由此能夠將生產線的通路線與本實用新型的檢查裝 置的前製程及後製程相統一。 進而，針對太陽能電池而言，在生產線（層壓裝置、 製造裝置等）上，將受光面設置在下方來進行輸送。因而， 經由將本實用新型的檢查裝置設置成在暗室的上表面設置 作為被測定物的太陽能電池的支承手段或在暗室上表面設 置透明板的結構，不用將太陽能電池翻轉就能夠載置到本 檢查裝置上。 根據本實用新型的太陽能電池的檢查裝置用輸送裝 置，在將層壓處理前的太陽能電池的結構構件以層疊狀態 向上述檢查裝置輸送時，不會發生結構構件與輸送裝置的 其他構件接觸造成位置相互偏離的情況。 因而，在層壓處理前也能夠正常檢查太陽能電池單元 的缺陷，並且不會給後製程的層壓處理帶來障礙。 【實施方式】 以下，參照附圖對本實用新型的實施例進行說明。 <1>被測定物（太陽能電池） 首先，對本實用新型的檢查裝置所處理的物件即被測 定物200的例子進行說明。第七圖是用本實用新型的檢查 M379760 裝置測定的太陽能電池的結構的說明圖，（a )是為了理解 太陽能電池内部的太陽能電池單元而作的平面圖，（b )為 其剖視圖。 ‘ 如第七圖（a )的平面圖所示，作為被測定物2〇〇的 太陽能電池是將多個方形太陽能電池單元28經由導線29 串聯連接而形成電池串25 ’再將該電池串經由多列導線 連接而成的結構。 " 作為被測定物200的太陽能電池，既可以是僅有1塊 太陽能電池單元28的結構’也可以是將多塊太陽能電池單 籲 元28直線連接而成的電池串25的狀態，還可以是將電池 串25平行排列多列，將太陽能電池單元28矩陣狀配置的 太陽能電池板30。 另外’被測定物的截面結構如第七圖（b )所示，具 -有在配置於上側的背面材料22和配置於下侧的透明罩玻璃 · 21之間，利用填充材料23、24將多列電池串25夾在中間 的三明治結構。 背面材料22例如使用P E T或氟類樹脂等材料。填充 籲 材料23、24例如使用E V A樹脂（乙烯-醋酸乙烯酯樹脂） 等。電池串25是如上所述在電極26、27之間，將太陽能 .. 電池單元28經由導線29連接而成的結構。 這種太陽能電池如上所述，將結構構件層疊並經由層 壓裝置等在真空的加熱狀態下施加壓力，使Eva交聯反 應，再進行層壓加工而獲得。 另外，作為被測定物200 ’ 一般可以將稱作薄膜式的太 12 M379760 陽能電池作為物件。 在該薄膜式的代表性結構例中，在配置於下側的透明 罩玻璃上’預先蒸鑛有由透明電極、半導體、背面電極構 成的發電7G件。並且，對於這種薄膜型太陽能電池，以將 透明罩玻璃朝下配置，在玻璃上的太陽能電池元件上覆蓋 填充材料’再在填充材料上覆蓋背面材料的結構，同樣進 行層壓加工而獲得。 廷樣，作為被測定物200的薄膜式太陽能電池，只是 變化成蒸鍍有結晶系單元的發電元件，基本的密封結構與 上述結晶系單元的情況相同。 <2>檢查裝置的整體結構 第一圖是表示本實用新型的檢查裝置的結構的平面 圖，第一圖是主視圖，第三圖是左視圖。這些圖所示的本 實用新型的太陽能電池的檢查裝置1〇〇設有四方形箱狀的 暗室110，並且在其平坦的上表面lu上設有開口部112。 此外，為了防止塵埃或異物侵入暗室内部，並防止被測定 物落到暗室内，該開口部112還可以設置透明板。關於透 明板’可以是安裝丙烯酸樹脂等合成樹脂製或玻璃製的透 明板的結構。暗室内設有對作為被測定物200的太陽能電 池（太陽能電池單元、電池串、太陽能電池板）進行檢查 測定的相機120。相機既可以在暗室内固定使用，也有使相 機120移動使用的情況，此時還可以設置移動機構。相機 移動機構後面敍述。 暗室110除了上表面111的開口部（透明板）丨丨2以外， 13 M379760 由防止光進入暗室110内的遮光性原材料構成。不過，如 果在上表面ill上作為被測定物2〇〇載置太陽能電池後， 將包括被測定物200在内的上表面in整體用遮光手段覆 蓋，則可以將上表面1U整體設成開口部，也可以設成透 明板。另外，上表面以外的4個側面和底面採用遮光性構 件。 此外’在暗室上表面111的開口部112不設置透明板 時，设置作為被測定物的太陽能電池的支承手段。支承手 •^又既可以是後述的被測定物的輸送導向機構，也可以設置 _ 能夠對作為被測定物的太陽能電池的兩端或4角進行支承 的構件。 <3>被測定物的輸送及定位 為了將被測定物200搬入到本檢查裝置、前製程及後 -製程的交接’在上表面U1的上部設有輸送裝置22〇。本輸 送裝·置可以使用電氣馬達驅動的鏈式輸送器或帶式輸送 器。該輸送裝置220設有具有對被測定物200進行輸送及 引導的功能的輸送導向部221R/L。輸送導向部221R、221L ^ 之間的距離能夠根據被測定物200的尺寸來改變。 在從本實用新型的檢查裝置的前製程輸送來作為被測 、 定物的太陽能電池時，經由本檢查裝置的搬入輸送裝置 . 21〇，沿著第一圖的黑色箭頭方向輸送，移送到本檢查裝置 的輸送導向部221R/L。被測定物200被輸送導向部的輸 送裂置220移動輸送。因而，在對被測定物2〇〇輸送過程 中及測定過程中，下面的罩玻璃21不會與檢查裝置1〇〇的 14 上表面的透明板112接觸。將被測定物200在本檢查裝置 内輸送，經由以下方法定位到測定位置。 、 在輸送導向部221R/L的側面具有可經由驅動器等出 入的定位構件，經由使蚊位構件突出，對輸送的被測定 物雇進行輸送方向蚊位。纽構件也可以不是從輸送 導向部221R/L的侧面出入的結構，而是從導向構件的上 方上下移動的方法及從導向構件迴旋下降等的結 定位結束後輸送裝置停止，開始檢查。檢查方法如後 所述。檢查結树，輸戠置⑽啟動，將制定物2〇〇 移送到搬出輸送裝置230(沿著第一圖黑色箭頭方向）並向 下一製程輸送。 另外，作為被測定物的太陽能電池的輸送機構，可以 是如第十圖所示的結構。暗室上表面的導向構件114為矩 形截面的細長導軌狀’在本實用新型的檢查裝置1〇〇的上 表面，沿著被測定物200的移動方向設置一對。在各導向 構件114的内側側面配置多個輥子，被測定物2〇〇在該輥 子上移動輸送。移動手段既可以是手動，也可以是經由電 氣馬達等驅動輥子的結構。 <4>拍攝用相機 從被測定物200發出的乱發光是lOOOnm至1300nm 波長的微弱光’在暗室内發光，用拍攝用相機120拍攝該 微弱光。因此’作為拍攝用相機12〇必須使用對微弱光的 靈敏度高的CCD相機。 在實施例的第一圖、第二圖、第三圖中，圖中未示相 M379760 機移動機構，但也可以經由 移動到”平面内的任意位置，=構使相機⑽ 角部進行全面拍攝。另外，也測讀從角部到 機構，而是將相機⑽固定使用。不設置相機12G的移動 5>暗至内部的相機移動機構 第十圖表示相機的移動機構 相機120和使嗲相嬙10Λ % 馎暗至11〇内具有 ay轴方向移動的y軸導向部 ㈣在y軸導向部13_ —端具有馬達132，㈣
的旋轉，能夠使相機120沿y軸方向進退。 y軸導向部13G的兩端支承在χ軸導向部14〇、_ 上。並且’經由馬達142和兩侧的同步帶Η4, y軸導向部 13〇能夠在x軸導向部上沿著又軸方向進退。在以上結構 中，由X軸導向部140、140、y軸導向部13〇、馬達132、 142同步帶144構成相機120的驅動機構。又軸導向部 140 及y轴導向部130可以使用各種線性驅動器，但
在該實施例中，使用了滾珠螺桿及馬達。 經由旋轉控制驅動機構的馬達132、142，能夠使相機 120移動到x — y平面内的任意位置，對被測定物2〇〇從角 部到角部進行全面拍攝。 此外’驅動方式不限定於使用馬達及滾珠螺捍的上述 實施例’還可以使用各種線性驅動器。 <6>暗室内部的反射板 本檢查裴置也可以採用在暗室内部設有相對於暗室上 表面111傾斜的反射板190的結構。第八圖是表示在暗室 16 内設有反射板的檢查裝置的結構的平面圖，第九圖是其左 視圖。反射板是經由對鋁製或不銹鋼製等的金屬板進行表 面加工而使用的。不過，其材質不限定於金屬，只要是不 會經由吸收光且反射率大的材質就可使用。該反射板由反 射板支承構件191相對於開口部（透明板）112傾斜地支 承。由此，安裝在暗室側面的相機12〇能夠拍攝载置在開 口部（透日月板）112上的被測定物2〇〇的像。實施例的第九 圖中傾斜角大致為45。’但並不限定於該角度。 第Θ帛九圖中，沒有言史置相機12〇的移動機構。 相機120在相機收納部121内固定使用。此外，經由設置 第十圖中朗的移軸構，還能触城12()移動到Z — =平面内的任意位置，對被測缝雇從角部到角部進行 ^面拍攝。此時，第八圖及第九圖的相機收納们21只要 採用在X方向上延長移動行程量而使相機能夠移動的結構 < 其他設備 除上述之外，設有省略圖示的第十五_現有例所示 源14及利用了微電腦的圖像處理裝£ 15。上述裝置收 =第二圖的控制裝置働+。進而，利用微電腦^控制 I也二Γ移動機構’可以對作為被測㈣的太陽能 電f整體賴1張照片，或對各個太陽能電池單元28的每 一個進行拍攝。 <8>檢查裝置的使用方法 作為被測定物2〇〇以太陽能電池為例，說明本實用新 M379760 型的太陽能電池的檢查裝置的使用方法。 經由層壓裝置專製造並搬出的太陽能電池，接著經由 搬入輸送裝置210被輸送到本實用新型的太陽能電池的檢 查裝置的刚面。輸送來的太IW能電池在一對輸送導向部 221R、221L之間被輸送導向而到達暗室11〇的上方。鈇後， 經由使在輸送導㈣22HI/L的側面可利用驅動器等出入 地設置的定位構件突出’進行輸送方向的定位。 没有遮光罩24〇,以使光不會從暗室上表面Ul的開口 部（或透明板）112與被測定物2〇〇之間的間隙等進入到暗 室110内。 到連暗室上表面 °\丨儿罝的作馮被測定物20( 的太陽能電池使透明的罩玻璃板向下並在暗室110的開口 (K透月板）m上+止，在與未圖示的電源之間經由連接 器連接。由於被測定物綱比開口部（透明板）ιΐ2小，所 Μ先會圍進人到暗室内，因此用__ 測定物200的上方覆蓋暗室no的上表面整體。接著，從 電源向被測定物200通順向 + 仗 , 、Π電机由此，被測定物2〇〇el 發先，用相機120進行拍攝。 在經由本檢纽置_對酬❹細 攝，並利用其圖像進行㈣進订拍 構，或不使用移動機構而1 不設置相機的移動機 部的大財央位相機—定在暗室⑽底 射技性 進仃拍攝。此外，當在暗室内使用及 ^夺’可以將相機固定在第八圖的位 此％的被測定物200， 才攝作為 了 乂疋太％月匕電池單元28、將太陽 M379760 能電池單元用多根導線連接而成的電池串25、以及將電池 串25用多列導線連接而成的矩陣狀太陽能電池板3〇中的 任一個。 當經由本檢查裝置100對在太陽能電池板30上矩陣狀 配置的太陽能電池單元逐一拍攝並利用其圖像進行檢查 時，設置如第十圖那樣的相機移動機構，使相機能夠在暗 室内移動。 經由利用了微電腦的控制裝置400驅動相機移動機 構，相機120對在太陽能電池板30上矩陣狀配置的太陽能 電池單元28逐一進行拍攝，並向由微電腦等構成的圖像處 理裝置傳送圖像資料。圖像處理裝置從各太陽能電池單元 的圖像提取不發光的部分進行分析，判斷各太陽能電池單 疋28的合格與否，根據全部太陽能電池單元合格與否的結 果’判斷太陽能電池板30整體的合格與否。 此外，相機120的拍攝既可以是移動相機對太陽能電 池單元逐一進行，也可以是幾塊幾塊進行，還可以不移動 相機而將其固定，對太陽能電池板30整體進行。 <9>遮光罩 遮光罩將暗室的上表面111的上部完全覆蓋。彳曰是， 針對太陽能電池而言，樹脂製的背面材料22為不透明，遮 光性充分。另外’暗室m的上表面lu除了透明板’⑴ 以外也由遮光性的構件構成。因而，用遮光構件只要蓋住 暗室110與被測定物200之間的間隙部分就足夠嗜則定 物200與透明板112密接且比透明板112大在透明板 19 M379760 整體被被測定物覆蓋時，不再需要遮光手段。 本實施例中，如第一圖、第二圖、第三圖所示，採用 的是用具有遮光性的罩覆蓋暗室上表面ui和輸送導 :部魏八還有被測定物2〇〇的結構。在本檢查裝置的 搬入輸送裝置2H)側和搬出輸送裳置23()侧設有開閉式門 門冰的開閉既可以採用經由汽缸等自動開閉的結 也可以採賴㈣業者手___結構。當從前 製錄运被測定物’在搬人輸送裝置上移動到本檢查裝置 的跟前時，該入口側的門打開，經由輸送裝置細將被測 =搬人本檢查震置内，完成後該Η關閉。另外，檢查結 後出口側的門打開’將被測定物200搬出。這樣，在 檢查過程巾，將被収物搬讀出的門咖，來自外部的 光不會進入載置有被測定物的部分。 ί於本實用新型的檢查裝置的遮光罩的實施方式利 ^:圖、第五圖、第六圖進行說明。第四圖（〇為遮 =罩的平面圖’第四圖⑻為主視圖。第五圖（a )是 攸被測定物的搬入側（A方向）觀察遮光罩的側視圖，第 五圖（b)是從被測定物的搬出側（B方向）觀察遮光 =側視圖。第六圖是打開遮光罩的上表面關 態的說明圖。 叩狀 第四圖所示’遮光罩240固定於暗室，覆蓋整個暗 1表面1K)的上部。241是麟搬人及搬出制絲 =門’242是遮光罩上表面的開閉式門，243是維修用的 "斥卸的蓋。上述構件全部由遮光性構件構成。另外，在 20 M379760 η側=光罩社體側錢轉膠難賴料薄板，以 使開閉式門與遮光罩的主體的對接部分不會進入光。 門241㈣閉既可以採用經由汽缸等自動開閉的結 構也:以才木用經由作業者手動操作開閉的結構 。當從前 裝程輸达被測定物，在搬人輸送裝置上移_本檢查裝置 的跟前時，該人口_門打開，將被測定物搬人到本檢查 震置内’完成後該Η關閉。另外，檢查結束後，出口側的
門打開，搬出被败物細。這樣，在檢查過程中，搬入搬 出被測定物關_ ’來自外部的光不會進人載置有被測 定物的部分及暗室内。
另外’在遮光罩的上表面設有開閉式門Μ2。門如 的開閉既可以採用經由汽料自朗閉的結構，也可以採 用經由作#者手動操作開_結構。在從前製程輸送被測 定物’打前敍述的_式的人口側的門241，將被測定 物搬入到檢查裝置而到達規定位置時，打開朗242。若該 門242打開’則如第六圖所示，被測定物2〇〇露出。將遮 光罩内的連接器244與被測定物的電極26、芴連接。連接 結束後，關閉門241和242。由此，光不會從外部進入到暗 室内，所以對被測定物通電使其EL發光來進行檢查。檢查 結束後，再次打開門242，將連接器244從電極上拆卸。然 後，再次打開出口侧的門24卜將被測定物從本檢查裝置= 出。此外，連接器與電極的連接及拆卸作業，作業者可以 經由手工作業進行，也可以用機器人等實現自動化。 宜在本檢查裝置的遮光罩上適當設置維修用的開口 M379760 部。例如在第四圖中，該開口部在遮光罩的上表面2處作 為雙點劃線部設置，並用蓋243覆蓋。不限於此，這種開 口部可以經由用蓋覆蓋而在遮光罩的上表面及側面適當設 置。 田口又 在本實施方式的說明中，將遮光罩240設置成覆蓋整 個暗室上表面並固定於暗室的結構，但也可以將該遮光罩 240設置成利用驅動器上下可動式的結構。 另外，太陽能電池的樹腊製的背面材料22為不透明， 遮光性充分。另外，暗室11〇的上表面lu除了開口部（透 明板）112以外也由遮光性構件構成。因而，還可以設置成 用遮光構件只蓋住暗室110的開口部（透明板）112與被測 定物200之間的間隙部分的結構。 在本實用新型的太陽能電池的檢查裝置1〇〇中，只要 將作為被測定物200的太陽能電池載置在暗室的外側即 可，所以不再需要用於使被測定物2〇〇出入暗室的門。另 外向太^此電池通電流的電源及佈線也可以設置在暗室 110之外，完全不需要在暗室内。因此，能夠簡化暗室11〇 的結構。 本實用新型的檢查裝置的遮光罩的上表面設有開閉式 門，所以在向太陽能電池單元通順向電流時可容易地進行 連接器與該太陽能電池的電極的連接。再有’由於在本檢 查裝置的遮光罩的側面設有開閉式門，所以能夠容易地將 作為被測定物的太陽能電池相對於裝置内搬入搬出。 另外，根據本實用新型的檢查襞置的遮光罩，容易實 22 M379760 現對被測定物的搬入搬出及連接器與太陽能電池的電極的 連接作業的自動化。因而’本實用新型的檢查農置適於太 陽能電池的生產線的自動化。 特別是，經由將反射板190相對於被測定物2〇〇傾斜 安裝，將相機在暗室内橫向設置，能夠降低暗室11〇的高 度，能夠實現裝置的進一步小型化。由此不再需要為了將 生產線的通路線統一而對設置裝置的部分的地面進行深挖 等附帶工程。 &
進而，本實用新型的太陽能電池的檢查裝置100在太 陽能電池等的生產線上配置使用，但此時，在暗室1⑺的 上表面111上將太陽能電池的受光面置於下側來载置。在 太陽能電池的層壓加工等通常的加工製程中，將太陽能電 池的受光面置於下方來輸送，所以當向檢查裝置觸載置 時無須翻轉，從而能夠簡化製造製程。
2著，參照附圖對本實用新型的太陽能電 置用輸送裝置的實施例進行說明。 一我 的構:1)。〉破測定物(太陽能電池的結構構件為層疊狀態 檢查裝置所處理的物件即被測定物篇的 ’订s日斜四圖是用本檢查裝置測定的太陽能 電池的結構的說明圖，（、β 女陪此雷、、m从 疋為了理解太陽能電池内部的 輸送方向觀察）。 S (b)為（a)的剖視圖（從 如第十四圖（a)的平面圖所示，作為被测定物· 23 M379760 的太陽能電池是將多個方形太陽能電池單元28經由導線 29串聯連接而形成電池串25，再將該電池串經由多列導線 29連接而成的結構。 作為被測定物200的太陽能電池單元，既可以是僅有^ 塊太陽能電池單元28的結構，也可以是將乡塊太陽能電池 單元28串聯連接而成的電池串25的狀態，還可以是將電 池串25平行排列多列，將太陽能電池單元28矩陣狀配置 的太陽能電池板30。
另外，被測定物的截面結構如第十四圖（b )所示， 表不的是在配置於上側的背面材料22和配置於下侧的透明 基板21之間’經由填充材料23、24層疊多列電池串乃的 狀態。本檢查裝置是以如上所述對層壓處理前的構成太 能電池的構件進行層疊陳態來敎太陽能電池單元的缺 陷。如第十四圖（b)所示，由於是層壓處理前，所、 蓋透明基板/太陽能電池單元/填充㈣时面材料是 伸出到上述構㈣外部陳態。另外，除本例之外可 以對透明基板21、填充材料23和太陽能電池單元可 或30)以層疊狀態用本檢查裝置進行檢查， 料22和填充材料24層疊。 灯牙曲材 背面材料22例如使用PET或氣系樹脂等 而，從透明基板向外部伸出的部分成為下垂狀能 = =23、24例如朗EVA樹脂（乙♦醋酸乙樹= 等。電池_25如上所述是在電極26、27 f月曰） 29連接太陽能電池單元28的結構。 曰，！由導線 24 M379760 為被測定物200,可以用ο的說明中記載 的稱作薄膜式的太陽能電池為物件。 <11>本實用新型的輸送裝置的實施例i =第十-圖及第十二圖對上述<10>的太陽能電池 的檢查裝置的輸送裝置的第—實施例進行說明。第十一圖 是從輸送方峨_主_，料二岐侧視圖。輸送導 向部二WL由鏈222、上部鏈導向件223、下部鏈導向件 225、輸送導向件安裝用的構件226構成。 輸达導向件在鏈上·構件設置多個，經_環形連接。 上述鏈由沿輸送方岐置的上部鏈導向件和下部鏈導向件 支承。這種輸送部相對於輸送方向對稱地設置^(2列）。 =十一圖所示，在輸送導向件225上載置被測定物· 並輸送。 如先前所述，被輸送的被測定物在層壓處理前，是透 明基=、太陽能電池單元、填充材料、背面材料層疊的狀 ι因而，背面材料比透明基板大且向外側伸出。並且， 該背面材料伸出的部分向下方下垂。為了使該下垂部分2〇 不與輸送裝置的構件接觸，在輸送導向件225上進行以下 處置。輸送導向件225的從輸送方向觀察的形狀呈大致l ^用其壁部227引導透明基板21的端部。該壁部的高度 尺寸儘量低於透明基板的厚度尺寸。另外，在即使儘量降 ，壁部的尺寸也無法防止背面材料與輸送襄置的構件接觸 經由調節輸送導向件的厚部228的尺寸，也能夠防止 背面材料的下垂部與輸送裝置的構件接觸。 25 M379760
此外’輸送導向件奶S承透明基板的支承部2 據端部的太陽能電池單元㈣於透明基板的距離 J 第十四圖（a ))確定。 >
,、守叼。P221R/L採用的是其位置可根 陽能電池的透明基體的寬度尺寸而改變的結構。採用的 法既可以將輸送導向部221R/L分別單獨地改變位置，也 可以經由轉機構使它們分顧時鱗地靠近或分開。 <12>本實用新型的輸送裝置的實施例2 上述<1〇>的太陽能電池的檢查裝置的輸送 二實施例’代替第十-圖及第十二圖中的鏈上設置的多^ 輸送導向件，如第十三圖所示，輸送導向 送導向件奶㈤樣截面形狀的環形的帶狀體切;、有，、輸 輸送部321R/L由環形的帶狀體322、上部 323、下部帶支架324構成。這種輸送部相對於輸送方向對 稱地設置1對（2列）。帶狀體322上如第十三圖所示 被測定物200來進行輸送。 Μ
與實施例1同樣輸送的被測定物為層墨處理前， 太單元、填充材料、背面材料層疊的狀 態。因而1面材料比透明基板大且向外側伸出。並且， 該背面材料伸出的部分向下方下垂。為了㈣下垂部分Μ 不與輸送裝置的構件麵，對帶狀體進行以 體322從輸送方向觀察的形狀呈大致L型。用其壁部奶 引導透喊板21的端部。職部的高紅讀量低ς透明 基板的厚度尺寸。另外’在較儘㈣㈣部的尺寸也益 26 M379760 法防止背面材料與輸送裝置的構件接觸時，經由調節帶狀 • 體的厚部328的尺寸，也能夠防止背面材料的下垂部盘輪 送裝置的構件接觸。 ~ ^ 此外，帶狀體支承透明基板的支承部329根據端部的 太陽能電池單元相對於透明基板的距離s (參照第十四圖 • ( a ))確定。 進而’輸送部321R/L採用的是其位置可根據太陽能 φ 電池的透明基體的寬度尺寸改變的結構。採用的方法既可 以是將輸送部321R/L分別單獨地改變位置，也可以經由 螺桿機構使它們分別同時均等地靠近或分開。 < 13 >本檢查裝置及本實用新型的輸送裝置的使用方 法 作為被測定物200以層疊太陽能電池的結構構件的狀 態為例，對太陽能電池的檢查裝置用的輸送裝置的使用方 法進行說明。 .被測定物200是作為太陽能電池的結構構件的透明基 體、太陽能電池單元、填充材料及背面材料，在層壓處理 前處於層疊的狀態。被測定物被搬入輸送裝置21〇輸送到 太陽能電池的檢查裝置的前面。輸送來的被測定物在i對 輸送導向件225、225之間或在帶狀體322、322之間被輸 送導向，到達暗室110的上方。然後，經由使在輸送裝置 的側面可利用驅動器等出入地設置的定位構件突出，進行 輸送方向的定位。 此外，由於對輸送導向件及帶狀體如上所述加以處 27 M379760 置’所以在輸送過程中被測定物的背面材料的下垂部不 會與輸送裝置的結構構件接觸，從而被測定物的各結構構 件能夠以相互位置不會偏離的狀態向本檢查裝置輸送。 本檢查裝置100及本實用新型的輸送裝置的使用方法 如上所述。因而，作為被測定物即太陽能電池的結構構件 的透明基體、太陽能電池單元、填充材料、背面材料在層 壓處理前為層疊狀態，本檢查裝置經由使用本實用新型= 輸送裝置，將太陽能電池的結構構件在位置不會相互偏離 的狀態下向檢查裝置輸送，經由上述檢查方法能夠 進行缺陷檢查。 28 【圖式簡單說明】 第一圖是表不本實用新型的太陽能電池的檢查裝置的 平面圖。 . 、第一圖是表示本實用新型的太陽能電池的檢查裝置的 主才見圖。 第二圖是表示本實用新型的太陽能電池的檢查裝置的 左視圖β • 帛四®是本實用新型的太陽能電池的檢查裝置的遮光 罩的說明圖’（a)為平面圖，（b)為主視圖。 第五圖是本實用新型的太陽能電池的檢查裝置的遮光 罩的說明圖，（a )為從被測定物的搬人方向（A方向）觀 • 察的側視圖’（b )為從被測定物的搬出方向（B方向）觀 察的側視圖。 第六圖是本實用新型的太陽能電池的檢查裝置的遮光 罩的平面圖，是上表面的開閉式門打開狀態的說明圖。 • »七圖是用本實用新型的檢查裝置駭的太陽能電池 的”構的―圖’（a )是為了理解太陽能電池内部的太陽 能電池單元而作的平面圖，（b)為其剖視圖。 : 第八圖是表示暗室内設有反射板的本實用新型的太陽 月匕電池的檢查裝置的平面圖。 第九圖是表示暗室内設有反射板的本實用新型的太陽 能電池的檢查裝置的左視圖。 第十圖是本實用新型的檢查裝置所使用的相機移動機 構的說明圖’（a)為平面圖，（b)為主視圖，（c)為右 29 M379760 視圖。 輸送=:=__裝置的第-實施例的 第十二圖是從與本實用新型杳 的輸送方向呈直角的方向觀察的說_置_ —實施例 M = f從本實用新型的輸送裝置的第二實施例的 輸运方向觀察的說明圖。 只 ，第十四圖是用本實用新型的檢查裝置測定的太陽能電 j的糾圖’（a)是為了理解太陽能電池内部的太 作的平面圖，（b)是從其輸送方向觀察的 第十五圖是示意性表示現有的太陽能電池的檢查裝置 的結構的圖。 【主要元件符號說明】 21 透明罩玻璃 22 背面材料 23'24 填充材料 25 電池串 26 ' 27 電極 28 太陽能電池單元 29 導線 3〇 太陽能電池板 太陽能電池的檢查裝置 30 100 M379760
110 暗室 111 上表面 112 開口部（透明板） 114 導向構件（輸送導向部） 120 相機 121 相機收納部 130 y軸導向部 132， 142 馬達 140 X軸導向部 144 同步帶 190 反射板 191 反射板支承構件 200 被測定物 210 搬入輸送裝置 220 輸送裝置 221R/L 輸送導向部 221 > 321 輸送部 222 鏈 223 上部鏈導向件 224 下部鏈導向件 225 輸送導向件 226 構件 227， 327 壁部 228， 328 厚部 M379760 229， 329 支承部 230 搬出輸送裝置 240 遮光罩 241 門 242 門 243 蓋 244 連接器 322 帶狀體 323 上部帶支架 324 下部帶支架 400 控制裝置 32

Claims (1)

  1. 7/ 修正 . , i年月曰广、 八、申請專利範圍： 1 饨尤, 1. 一種太陽能電池的檢查裝置，包括··在上表面具有 開口部的暗室，·設置在該暗室的上述上表面且載置作為被 測疋物的太陽能電池的支承手段；設置在上述暗室内部的 相機’其特徵在於， 上述太陽能電池的檢查裝置還包括遮光罩，該遮光罩 用於遮擋從上述開口部及上述開口部與載置在上述支承手 段上的上述太陽能電池的邊界的間隙進入上述暗室内的 光0 2·依據申請專利範圍第1項所述的太陽能電池的檢查 裝置，其中， 在上述檢查裝置的上述遮光罩的側面設有用於搬入搬 出作為被測定物的太陽能電池的開閉式門。 3·依據申請專利範圍第1項所述的太陽能電池的檢查 裝置，其中， 在上述檢查裴置的上述遮光罩的上表面設有開閉式 門。 4·依據申請專利範圍第1項所述的太陽能電池的檢查 裝置，其中， 上述太陽能電池的檢查裝置設有上述相機的移動機 構。 5.依據申請專利範圍第）至4項中任一項所述的太陽 能電池的檢查裝置，其中， 上述太陽能電池的檢查裝置設有反射板’該反射板位 33 M379760
    於上述暗室的内部，且相對於上述暗室的上表面傾斜設置。 6· —種太陽能電池的檢查裝置，包括：具借平坦的上 表面的暗室；設置在該暗室的上述上表面且載置作為被測 定物的太陽能電池的透明板；設置在上述暗室的内部的相 機，其特徵在於， 上述太陽能電池的檢查裝置還包括遮光罩，該遮光罩 用於遮擋從上述透明板及上述透明板與載置在上述透明板 上的上述太陽能電池的邊界的間隙進入上述暗室内的光。 7 ·依據申請專利範圍第6項所述的太陽能電池的檢查 裝置，其中， 在上述檢查裝置的上述遮光罩的側面設有用於搬入搬 出作為被測定物的太陽能電池的開閉式門。 8·依據申請專利範圍第6或7項所述的太陽能電池的 檢查裝置，其中， 在上述檢查裝置的上述遮光罩的上表面設有開閉式 門。 9 ·依據申請專利範圍第6項所述的太陽能電池的檢查 裝置，其中， 上述太陽能電池的檢查裝置設有上述相機的移動機 構。 10 ·依據申請專利範圍第6項所述的太陽能電池的檢 查裝置，其中， 上述太陽能電池的檢查裝置設有反射板，該反射板位 於上述暗室的内部，且相對於上述暗室的上表面傾斜設置。 34 M379760 ll 一種太陽能電池的檢查裝置用輸送裝置，,,％/、 陽能電池的檢查裝置包括：具備平坦的上表面的暗室Γ設 置在該暗室的上述上表面且載置作為被測定物的太陽能電 池的透明板；拍攝被測定物的像的相機，上述太陽能電池 的，查裝置用輸送裝置將太陽能電池的結構構件在層壓處 理前以層疊的狀態向上述檢絲置輸送，其中， 將環形連接多個輸送構件而成的輸送導 送方向對稱地設置1對即2列，其中，上述多個輸送十構: 具有比作為輸送的太陽能電池的上述結構構件的透明基板 等的厚度尺寸低的壁部，並且，經由上述壁部引導上述透 明基板等來進行輸送。 12·依據申請專利範圍第u項所述的太陽能電池的檢 查裝置用輸送裝置，其中， 將具有環形的帶狀構件的輸送導向部相對於輪送方 對稱地設置1對即2列，其中， Μ上述獅的帶狀構件具有 匕作為輸送的太陽能電池的上述結構構件的透明基板等的 厚度尺寸低的壁部’並^，經由上述壁部引導上述透 板等來進行輸送。 土 13 ·依據申請專利範圍第U或12項所述的太陽 池的檢查裝置用輸送裝置，其中， 能夠根據作為輸送的太陽能電池的結構構件的上 Ζ板等的寬度尺寸改變上述輪送裝置的輸送導 述壁部的位置。 35 M379760
    七、圖式：
    第一圖
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